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Etching characteristics of tungsten and tungsten compounds by energetic fluorocarbon and argon ions
Hojun Kang, Shunta Kawabata, Tomoko Ito, Song-Yun Kang, Dongkyu Lee, Yuna Lee, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A 2025年7月1日 研究論文(学術雑誌)
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Influence of gas flow rate on modes of reactive oxygen and nitrogen species in a grid-type surface dielectric barrier discharge
A. N. Torres Segura, K. Ikuse, S. Hamaguchi, A. R. Gibson, L. Schücke
Journal of Applied Physics 2025年5月28日 研究論文(学術雑誌)
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Etching characteristics of aluminum oxide and Inconel 600 Ni-based alloy by energetic fluorine and chlorine ion beams
Hojun Kang, Tomoko Ito, Takuya Ishihara, Masaru Soeda, Masashi Sekine, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics 2025年4月1日 研究論文(学術雑誌)
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Numerical simulation of chemical reactions in phosphate-buffered saline (PBS) exposed to helium pulsed plasmas at atmospheric pressure
Enggar Alfianto, Kazumasa Ikuse, Zoltán Donkó, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics 2025年4月1日 研究論文(学術雑誌)
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Comparing the osteogenic effects of sputtered titanium- and strontium titanate (STO)-modified polyetheretherketone
Masato Ikuta, Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Kenta Fujita, Takayuki Kitahara, Masayuki Bun, Takuya Furuichi, Hiromasa Hirai, Yuichiro Ukon, Daisuke Tateiwa, Yuya Kanie, Masayuki Furuya, Takahito Fujimori, Seiji Okada, Satoshi Hamaguchi, Takashi Kaito
Emergent Materials 2025年2月25日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Springer Science and Business Media LLC
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Self-healing kinetics in monolayer graphene following very low energy ion irradiation
P. Vinchon, S. Hamaguchi, S. Roorda, F. Schiettekatte, L. Stafford
Carbon Vol. 233 p. 119852-119852 2025年2月 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Elsevier BV
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Ion and Plasma Interaction with Materials
Satoshi Hamaguchi
Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics p. 119-133 2025年 論文集(書籍)内論文
出版者・発行元:Springer Nature Switzerland
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Etching and fluorination of yttrium oxide (Y2O3) irradiated with fluorine ions or radicals
Hojun Kang, Tomoko Ito, Junghwan Um, Hikaru Kokura, Sungil Cho, Hyunjung Park, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A 2025年1月1日 研究論文(学術雑誌)
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3D track extraction from a fluorescent nuclear track detector via machine learning and an application to diagnostics of laser-driven ions
F. Nikaido, Y. Abe, T. Minami, K. Kuramoto, T. Yasui, K. Sakai, M. Kanasaki, Y. Fukuda, H. Kiriyama, C. S. Jao, C. M. Chu, K. T. Wu, W. Y. Woon, Y. L. Liu, T. Pikuz, S. Hamaguchi, N. Saura, S. Benkadda, T. Kusumoto, S. Kodaira, Y. Kuramitsu
Review of Scientific Instruments Vol. 95 No. 10 2024年10月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:AIP Publishing
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Self-consistent calculation of the optical emission spectrum of an argon capacitively coupled plasma based on the coupling of particle simulation with a collisional-radiative model
Zoltán Donkó, Tsanko V Tsankov, Peter Hartmann, Fatima Jenina Arellano, Uwe Czarnetzki, Satoshi Hamaguchi
Journal of Physics D: Applied Physics 2024年9月20日 研究論文(学術雑誌)
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Etch-stop mechanisms in plasma-enhanced atomic layer etching of silicon nitride: A molecular dynamics study
Jomar U. Tercero, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, Magdaleno R. Vasquez, Jr., Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A 2024年9月1日 研究論文(学術雑誌)
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Amine plasma polymers deposited on porous hydroxyapatite artificial bone with bipolar pulsed discharges
Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Hidekazu Kita, Joe Kodama, Takashi Kaito, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A Vol. 42 No. 5 2024年7月24日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:American Vacuum Society
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Machine learning-based prediction of the electron energy distribution function and electron density of argon plasma from the optical emission spectra
Fatima Jenina Arellano, Minoru Kusaba, Stephen Wu, Ryo Yoshida, Zoltán Donkó, Peter Hartmann, Tsanko V. Tsankov, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A Vol. 42 No. 5 2024年7月11日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:American Vacuum Society
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Molecular dynamics simulations of silicon nitride atomic layer etching with Ar, Kr, and Xe ion irradiations
Jomar U. Tercero, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics 2024年7月1日 研究論文(学術雑誌)
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Future of plasma etching for microelectronics: Challenges and opportunities
Gottlieb S. Oehrlein, Stephan M. Brandstadter, Robert L. Bruce, Jane P. Chang, Jessica C. DeMott, Vincent M. Donnelly, Rémi Dussart, Andreas Fischer, Richard A. Gottscho, Satoshi Hamaguchi, Masanobu Honda, Masaru Hori, Kenji Ishikawa, Steven G. Jaloviar, Keren J. Kanarik, Kazuhiro Karahashi, Akiteru Ko, Hiten Kothari, Nobuyuki Kuboi, Mark J. Kushner, Thorsten Lill, Pingshan Luan, Ali Mesbah, Eric Miller, Shoubhanik Nath, Yoshinobu Ohya, Mitsuhiro Omura, Chanhoon Park, John Poulose, Shahid Rauf, Makoto Sekine, Taylor G. Smith, Nathan Stafford, Theo Standaert, Peter L. G. Ventzek
Journal of Vacuum Science & Technology B 2024年7月1日 研究論文(学術雑誌)
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Optimization of laser-driven quantum beam generation and the applications with artificial intelligence
Y. Kuramitsu, T. Taguchi, F. Nikaido, T. Minami, T. Hihara, S. Suzuki, K. Oda, K. Kuramoto, T. Yasui, Y. Abe, K. Ibano, H. Takabe, C. M. Chu, K. T. Wu, W. Y. Woon, S. H. Chen, C. S. Jao, Y. C. Chen, Y. L. Liu, A. Morace, A. Yogo, Y. Arikawa, H. Kohri, A. Tokiyasu, S. Kodaira, T. Kusumoto, M. Kanasaki, T. Asai, Y. Fukuda, K. Kondo, H. Kiriyama, T. Hayakawa, S. J. Tanaka, S. Isayama, N. Watamura, H. Suzuki, H. S. Kumar, N. Ohnishi, T. Pikuz, E. Filippov, K. Sakai, R. Yasuhara, M. Nakata, R. Ishikawa, T. Hoshi, A. Mizuta, N. Bolouki, N. Saura, S. Benkadda, M. Koenig, S. Hamaguchi
Physics of Plasmas Vol. 31 No. 5 2024年5月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:AIP Publishing
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Special Issue: Papers by Plenary and Invited Lecturers at the 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 25), 21–26 May 2023, Kyoto, Japan
Tomohiro Nozaki, Takayuki Watanabe, Satoshi Hamaguchi
Plasma Chemistry and Plasma Processing Vol. 44 No. 3 p. 1105-1107 2024年3月25日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Springer Science and Business Media LLC
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Surface chemical reactions of etch stop prevention in plasma-enhanced atomic layer etching of silicon nitride
Jomar U. Tercero, Akiko Hirata, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Satoshi Hamaguchi
Surface and Coatings Technology Vol. 477 p. 130365-130365 2024年2月 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Elsevier BV
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First-principles simulation of optical emission spectra for low-pressure argon plasmas and its experimental validation
Fatima Jenina Arellano, Márton Gyulai, Zoltán Donkó, Peter Hartmann, Tsanko V Tsankov, Uwe Czarnetzki, Satoshi Hamaguchi
Plasma Sources Science and Technology 2023年12月1日 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulation of amine formation in plasma-enhanced chemical vapor deposition with hydrocarbon and amino radicals
Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Michiro Isobe, Lenka Zajíčková, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A 2023年12月1日 研究論文(学術雑誌)
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マグネトロンスパッタリングを用いたPEEK表面チタン酸ストロンチウム修飾の骨形成効果
生田 雅人, Harumningtyas Anjar Anggraini, 伊藤 智子, 北原 貴之, 古市 拓也, 文 勝徹, 平井 宏昌, 蟹江 祐哉, 古家 雅之, 藤森 孝人, 岡田 誠司, 浜口 智志, 海渡 貴司
日本バイオマテリアル学会大会予稿集 Vol. 45回 p. 397-397 2023年10月
出版者・発行元:日本バイオマテリアル学会
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Spectroscopic analysis improvement using convolutional neural networks
N Saura, D Garrido, S Benkadda, K Ibano, Y Ueda, S Hamaguchi
Journal of Physics D: Applied Physics Vol. 56 No. 35 2023年8月31日 研究論文(学術雑誌)
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High-throughput SiN ALE: surface reaction and ion-induced damage generation mechanisms
Akiko Hirata, Masanaga Fukasawa, Jomar, Unico Tercero, Katsuhisa Kugimiya, Yoshiya Hagimoto, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi, Hayato Iwamoto
Japanese Journal of Applied Physics 2023年7月1日 研究論文(学術雑誌)
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Inert-gas ion scattering at grazing incidence on smooth and rough Si and SiO2 surfaces
Charisse Marie D. Cagomoc, Michiro Isobe, Eric A. Hudson, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A 2023年3月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics study of SiO2 nanohole etching by fluorocarbon ions
Charisse Marie D Cagomoc, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 2023年3月 研究論文(学術雑誌)
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Foundations of machine learning for low-temperature plasmas: methods and case studies
Angelo D Bonzanini, Ketong Shao, David B Graves, Satoshi Hamaguchi, Ali Mesbah
Plasma Sources Science and Technology 2023年2月1日 研究論文(学術雑誌)
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Polyetheretherketone (PEEK) Implant Functionalization with Magnetron-Sputtered SrTiO3 for Regenerative Medicine
Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Masato Ikuta, Takashi Kaito, Satoshi Hamaguchi
Plasma Medicine Vol. 13 No. 3 p. 53-67 2023年 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Begell House
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2022 Review of Data-Driven Plasma Science
Rushil Anirudh, Rick Archibald, M. Salman Asif, Markus M. Becker, Sadruddin Benkadda, Peer-Timo Bremer, Rick H. S. Budé, C. S. Chang, Lei Chen, R. M. Churchill, Jonathan Citrin, Jim A. Gaffney, Ana Gainaru, Walter Gekelman, Tom Gibbs, Satoshi Hamaguchi, Christian Hill, Kelli Humbird, Sören Jalas, Satoru Kawaguchi, Gon-Ho Kim, Manuel Kirchen, Scott Klasky, John L. Kline, Karl Krushelnick, Bogdan Kustowski, Giovanni Lapenta, Wenting Li, Tammy Ma, Nigel J. Mason, Ali Mesbah, Craig Michoski, Todd Munson, Izumi Murakami, Habib N. Najm, K. Erik J. Olofsson, Seolhye Park, J. Luc Peterson, Michael Probst, David Pugmire, Brian Sammuli, Kapil Sawlani, Alexander Scheinker, David P. Schissel, Rob J. Shalloo, Jun Shinagawa, Jaegu Seong, Brian K. Spears, Jonathan Tennyson, Jayaraman Thiagarajan, Catalin M. Ticoş, Jan Trieschmann, Jan van Dijk, Brian Van Essen, Peter Ventzek, Haimin Wang, Jason T. L. Wang, Zhehui Wang, Kristian Wende, Xueqiao Xu, Hiroshi Yamada, Tatsuya Yokoyama, Xinhua Zhang
IEEE Transactions on Plasma Science p. 1-89 2023年 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
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Molecular dynamics simulation of oxide-nitride bilayer etching with energetic fluorocarbon ions
Charisse Marie D. Cagomoc, Michiro Isobe, Eric A. Hudson, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A Vol. 40 No. 6 2022年11月3日 研究論文(学術雑誌)
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Foundations of atomic-level plasma processing in nanoelectronics
Karsten Arts, Satoshi Hamaguchi, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Harm C M Knoops, Adriaan J M Mackus, Wilhelmus M M (Erwin) Kessels
Plasma Sources Science and Technology Vol. 31 No. 10 p. 103002-103002 2022年10月1日 研究論文(学術雑誌)
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Science-based, data-driven developments in plasma processing for material synthesis and device-integration technologies
Makoto Kambara, Satoru Kawaguchi, Hae June Lee, Kazumasa Ikuse, Satoshi Hamaguchi, Takeshi Ohmori, Kenji Ishikawa
Japanese Journal of Applied Physics 2022年9月13日 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulation of Si trench etching with SiO2 hard masks
Nicolas A. Mauchamp, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology A Vol. 40 No. 5 2022年8月10日 研究論文(学術雑誌)
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Improving penalized semi supervised nonnegative matrix factorization result’s confidence using deep residual learning approach in spectrum analysis
Nathaniel Saura, Koh Mastumoto, Sadruddin Benkadda, Kenzo Ibano, Heun Tae Lee, Yoshio Ueda, Satoshi Hamaguchi
2022 International Conference on Electrical, Computer and Energy Technologies (ICECET) 2022年7月20日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
出版者・発行元:IEEE
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Roles of the reaction boundary layer and long diffusion of stable reactive nitrogen species (RNS) in plasma-irradiated water as an oxidizing media — numerical simulation study
Kazumasa Ikuse, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 No. 7 p. 076002-076002 2022年6月24日 研究論文(学術雑誌)
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Low-energy ion irradiation effects on chlorine desorption in plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) for silicon nitride
Tomoko Ito, Hidekazu Kita, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 No. SI p. SI1011-SI1011 2022年6月13日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP Publishing
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Five-step plasma-enhanced atomic layer etching of silicon nitride with a stable etched amount per cycle
Akiko Hirata, Masanaga Fukasawa, Jomar U. Tercero, Katsuhisa Kugimiya, Yoshiya Hagimoto, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi, Hayato Iwamoto
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 No. 6 p. 066002-066002 2022年5月23日 研究論文(学術雑誌)
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Self-Sputtering of the Lennard-Jones Crystal
Satoshi Hamaguchi
ArXiv 2022年2月 研究論文(学術雑誌)
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Structural and electrical characteristics of ion-induced Si damage during atomic layer etching
Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics 2022年 研究論文(学術雑誌)
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The 2021 release of the Quantemol database (QDB) of plasma chemistries and reactions
Satoshi Hamaguchi
Plasma Sources Science and Technology 2022年 研究論文(学術雑誌)
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The 2022 Plasma Roadmap: low temperature plasma science and technology
Satoshi Hamaguchi
Journal of Physics D: Applied Physics 2022年 研究論文(学術雑誌)
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Self-sputtering of the Lennard-Jones crystal
Satoshi Hamaguchi
Physics of Plasmas 2022年 研究論文(学術雑誌)
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SiNのプラズマ支援ALDにおける低エネルギーイオンの効果
伊藤智子, 北英和, 鈴木歩太, 加賀谷宗仁, 松隈正明, 松崎和愛, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 69th 2022年
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機械学習を用いた低温プラズマパラメータの代理モデルの構築
市川将和, 幾世和将, CHEN Kuan-Lin, WU Jong-Shinn, 浜口智志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 69th 2022年
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高スループットSiN ALEを実現する表面反応メカニズムの解明
平田瑛子, 深沢正永, TERCERO J. U., 釘宮克尚, 萩本賢哉, 唐橋一浩, 浜口智志, 岩元勇人
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 83rd 2022年
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Amine modification of calcium phosphate by low-pressure plasma for bone regeneration
Joe Kodama, Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Miroslav Michlíček, Satoshi Sugimoto, Hidekazu Kita, Ryota Chijimatsu, Yuichiro Ukon, Junichi Kushioka, Rintaro Okada, Takashi Kamatani, Kunihiko Hashimoto, Daisuke Tateiwa, Hiroyuki Tsukazaki, Shinichi Nakagawa, Shota Takenaka, Takahiro Makino, Yusuke Sakai, David Nečas, Lenka Zajíčková, Satoshi Hamaguchi, Takashi Kaito
Scientific Reports Vol. 11 No. 1 p. 17870-17870 2021年12月 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Springer Science and Business Media LLC
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Molecular dynamics simulation for reactive ion etching of Si and SiO2 by SF 5 + ions
Erin Joy Capdos Tinacba, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science & Technology B Vol. 39 No. 4 p. 043203-043203 2021年7月 研究論文(学術雑誌)
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Surface damage formation during atomic layer etching of silicon with chlorine adsorption
Erin Joy Capdos Tinacba, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films Vol. 39 No. 4 2021年7月1日 研究論文(学術雑誌)
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Evaluation of nickel self-sputtering yields by molecular-dynamics simulation
Nicolas A. Mauchamp, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films Vol. 39 No. 4 2021年7月1日 研究論文(学術雑誌)
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Preface to Special Topic: Invited Papers from the 2nd International Conference on Data-Driven Plasma Science
Sadruddin Benkadda, Satoshi Hamaguchi, Magali Muraglia, Deborah O'Connell
Physics of Plasmas Vol. 28 No. 3 p. 030401-1-030401-2 2021年3月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:AIP Publishing
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原子層プロセスにおける低エネルギーイオン照射誘起表面反応
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 82nd 2021年
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Atomic Layer Etchingの吸着層が基板ダメージ生成に与える影響
平田瑛子, 平田瑛子, 深沢正永, 釘宮克尚, 萩本賢哉, 岩元勇人, TERCERO J. U., 礒部倫郎, 伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 82nd 2021年
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Monitoring of nonthermal plasma degradation of phthalates by ion mobility spectrometry
Ladislav Moravský, Bartosz Michalczuk, Jana Hrdá, Satoshi Hamaguchi, Štefan Matejčík
Plasma Processes and Polymers 2021年 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Wiley
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Development of a Massively Parallelized Fluid-Based Plasma Simulation Code with a Finite-Volume Method on an Unstructured Grid
Kuan Lin Chen, Meng Fan Tseng, Ming Chung Lo, Satoshi Hamaguchi, Meng Hua Hu, Yun Ming Lee, Jong Shinn Wu
IEEE Transactions on Plasma Science Vol. 49 No. 1 p. 104-119 2021年1月 研究論文(学術雑誌)
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Characterization of descriptors in machine learning for data-based sputtering yield prediction
Hiori Kino, Kazumasa Ikuse, Hieu Chi Dam, Satoshi Hamaguchi
Physics of Plasmas Vol. 28 No. 1 2021年1月1日 研究論文(学術雑誌)
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Mechanism of SiN etching rate fluctuation in atomic layer etching
Akiko Hirata, Masanaga Fukasawa, Katsuhisa Kugimiya, Kojiro Nagaoka, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi, Hayato Iwamoto
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films Vol. 38 No. 6 2020年12月1日 研究論文(学術雑誌)
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生体親和性材料の最新知見 プラズマ技術を用いた骨形成を有するアミン人工骨の開発
海渡 貴司, 小玉 城, 浜口 智志
臨床神経生理学 Vol. 48 No. 5 p. 447-447 2020年10月
出版者・発行元:(一社)日本臨床神経生理学会
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Molecular dynamics simulation of amine groups formation during plasma processing of polystyrene surfaces
Miroslav Michlíček, Satoshi Hamaguchi, Lenka Zajíčková
Plasma Sources Science and Technology Vol. 29 No. 10 2020年10月 研究論文(学術雑誌)
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Modeling characterisation of a bipolar pulsed discharge
Zoltán Donkó, Lenka Zajičková, Satoshi Sugimoto, Anjar Anggraini Harumningtyas, Satoshi Hamaguchi
Plasma Sources Science and Technology Vol. 29 No. 10 2020年10月 研究論文(学術雑誌)
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Formation and desorption of nickel hexafluoroacetylacetonate Ni(hfac)<inf>2</inf>on a nickel oxide surface in atomic layer etching processes
Abdulrahman H. Basher, Marjan Krstić, Karin Fink, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Wolfgang Wenzel, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films Vol. 38 No. 5 2020年9月1日 研究論文(学術雑誌)
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Self-limiting processes in thermal atomic layer etching of nickel by hexafluoroacetylacetone
Abdulrahman H. Basher, Ikutaro Hamada, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 59 No. 9 2020年9月1日 研究論文(学術雑誌)
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On-wafer monitoring and control of ion energy distribution for damage minimization in atomic layer etching processes
A. Hirata, M. Fukasawa, K. Kugimiya, K. Nagaoka, K. Karahashi, S. Hamaguchi, H. Iwamoto
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 59 No. SJ 2020年6月1日 研究論文(学術雑誌)
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Experimental and numerical analysis of the effects of ion bombardment in silicon oxide (SiO<inf>2</inf>) plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) processes
Hu Li, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Munehito Kagaya, Tsuyoshi Moriya, Masaaki Matsukuma, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 59 No. SJ p. SJJA01-SJJA01 2020年6月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP Publishing
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Stability of hexafluoroacetylacetone molecules on metallic and oxidized nickel surfaces in atomic-layer-etching processes
Abdulrahman H. Basher, Marjan Krstić, Takae Takeuchi, Michiro Isobe, Tomoko Ito, Masato Kiuchi, Kazuhiro Karahashi, Wolfgang Wenzel, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films Vol. 38 No. 2 2020年3月1日 研究論文(学術雑誌)
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プラズマ技術を用いたアミン修飾による骨形成を有する人工骨の開発
海渡貴司, 小玉城, 浜口智志
中部日本整形外科災害外科学会雑誌 Vol. 63 No. 秋季学会 p. 23-23 2020年
出版者・発行元:(一社)中部日本整形外科災害外科学会
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プラズマ技術を用いた骨形成を有するアミン人工骨の開発
海渡貴司, 小玉城, 浜口智志
臨床神経生理学(Web) Vol. 48 No. 5 2020年
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Molecular dynamics simulation of Si and SiO<inf>2</inf> reactive ion etching by fluorine-rich ion species
Erin Joy Capdos Tinacba, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Surface and Coatings Technology Vol. 380 2019年12月25日 研究論文(学術雑誌)
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Special issue: Plasmas for micro-fabrication
Hamaguchi Satoshi, Agarwal Sumit, Zajickova Lenka, Wertheimer Michael R
PLASMA PROCESSES AND POLYMERS Vol. 16 No. 9 2019年9月 研究論文(学術雑誌)
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Damage recovery and low-damage etching of ITO in H<inf>2</inf>/CO plasma: Effects of hydrogen or oxygen
Akiko Hirata, Masanaga Fukasawa, Katsuhisa Kugimiya, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi, Kojiro Nagaoka
Plasma Processes and Polymers Vol. 16 No. 9 2019年9月1日 研究論文(学術雑誌)
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Effects of excitation voltage pulse shape on the characteristics of atmospheric-pressure nanosecond discharges
Zoltán Donkó, Satoshi Hamaguchi, Timo Gans
Plasma Sources Science and Technology Vol. 28 No. 7 2019年7月24日 研究論文(学術雑誌)
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Analyses of Hexafluoroacetylacetone (Hfac) Adsorbed on Transition Metal Surfaces
Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
2019年7月
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原子層エッチングプロセスにおける表面反応解析
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2018.2 p. 262-262 2019年6月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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ヘキサフルオロアセチルアセトンによる遷移金属(Ni, Co)におけるサーマルエッチング反応解析
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2019.1 p. 1627-1627 2019年3月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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プラズマ原子層プロセシングにおけるアセチルアセトン-酸化ニッケル表面反応のab initio DFT計算
中村花菜, 伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志, 竹内孝江, 竹内孝江
日本化学会春季年会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 99th 2019年
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SiN Atomic Layer Etching表面状態の変動解析
平田瑛子, 深沢正永, 釘宮克尚, 長岡弘二郎, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 80th 2019年
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F+イオン照射によるY2O3表面層の変化
KANG Hojun, 伊藤智子, UM Junghwan, KOKURA Hikaru, KANG Taekyun, CHO Sungil, PARK Hyunjung, 磯部倫郎, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 80th 2019年
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プラズマ技術を用いた骨分化促進能を有する人工骨の開発
小玉城, 杉本敏司, 伊藤智子, ANJAR Anggraini Harumningtyas, 吉川秀樹, 浜口智志, 海渡貴司
日本整形外科学会雑誌 Vol. 93 No. 8 p. S1858-S1858 2019年
出版者・発行元:(公社)日本整形外科学会
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Molybdenum capping layer effect on electromigration failure of plasma etched copper lines
Jia Quan Su, Mingqian Li, Yue Kuo, Satoshi Hamaguchi
ECS Transactions Vol. 92 No. 5 p. 39-46 2019年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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The future for plasma science and technology
Klaus-Dieter Weltmann, Juergen F. Kolb, Marcin Holub, Dirk Uhrlandt, Milan Simek, Kostya (Ken) Ostrikov, Satoshi Hamaguchi, Uros Cvelbar, Mirko Cernak, Bruce Locke, Alexander Fridman, Pietro Favia, Kurt Becker
PLASMA PROCESSES AND POLYMERS Vol. 16 No. 1 2019年1月 研究論文(学術雑誌)
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Etching reactions by polyatomic molecular ions containing fluorine atoms
Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Takuya Hirohashi, Junichi Hashimoto, Mitsuhiro Omura, Hisataka Hayashi, Satoshi Hamaguchi
2018年11月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Ion energy and angular distributions in low-pressure capacitive oxygen RF discharges driven by tailored voltage waveforms
Zoltan Donko, Aranka Derzsi, Mate Vass, Julian Schulze, Edmund Schuengel, Satoshi Hamaguchi
Plasma Sources Science and Technology Vol. 27 No. 10 2018年9月18日 研究論文(学術雑誌)
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Enhanced etching of tin-doped indium oxide due to surface modification by hydrogen ion injection
Li Hu, Karahashi Kazuhiro, Friederich Pascal, Fink Karin, Fukasawa Masanaga, Hirata Akiko, Nagahata Kazunori, Tatsumi Tetsuya, Wenzei Wolfgang, Hamaguchi Satoshi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 57 No. 6 2018年6月 研究論文(学術雑誌)
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Cyclic etching of tin-doped indium oxide using hydrogen-induced modified layer
Hirata Akiko, Fukasawa Masanaga, Nagahata Kazunori, Li Hu, Karahashi Kazuhiro, Hamaguchi Satoshi, Tatsumi Tetsuya
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 57 No. 6 p. 1832-1832 2018年6月
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The effect of photoemission on nanosecond helium microdischarges at atmospheric pressure
Donko Zoltan, Hamaguchi Satoshi, Gans Timo
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY Vol. 27 No. 5 2018年5月 研究論文(学術雑誌)
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フルオロカーボン(Cx Fy+)イオンによるSiO2およびSiエッチング反応
唐橋一浩, 李虎, 伊藤智子, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2018.1 p. 1853-1853 2018年3月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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ヘキサフルオロアセチルアセトン吸着表面金属(Ni, Cu)におけるエッチング反応
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2018.1 p. 1849-1849 2018年3月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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Plasma Surface Functionalization of Biocompatible Materials
Tomoko Ito, Anjar Anggraini Harumningtyas, Satoshi Sugimoto, Satoshi Hamaguchi
2018年3月
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Foundations of low-temperature plasma enhanced materials synthesis and etching
Oehrlein Gottlieb S, Hamaguchi Satoshi
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY Vol. 27 No. 2 2018年2月 研究論文(学術雑誌)
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低エネルギーイオンによるフッ化物層のエッチング反応
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
プラズマ・核融合学会年会(Web) Vol. 35th 2018年
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遷移金属に対するβ-ジケトンによる吸着表面反応の解明
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
プラズマ・核融合学会年会(Web) Vol. 35th 2018年
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金属原子層エッチングプロセスにおける錯体形成表面反応解析
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 79th 2018年
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Preface: plasma sources for biological and biomaterial applications
Farzaneh Arefi-Khonsari, Satoshi Hamaguchi, Eric Robert
Plasma Medicine Vol. 8 No. 1 2018年 研究論文(学術雑誌)
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Impact of non-thermal plasma surface modification on porous calcium hydroxyapatite ceramics for bone regeneration.
Yu Moriguchi, Dae-Sung Lee, Ryota Chijimatsu, Khair Thamina, Kazuto Masuda, Dai Itsuki, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi, Akira Myoui
PloS one Vol. 13 No. 3 2018年 研究論文(学術雑誌)
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XPS Analysis of Adsorbed Organic Compounds on Magnetic Materials Surfaces
Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
2017年12月
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Amino Group Surface Modification of Cell Culture Polystyrene Dishes by an Inverter Plasma Process
Satoshi Sugimoto, Tomoko Ito, Kai Kubota, Kazuma Nishiyama, Satoshi Hamaguchi
2017年12月
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Editorial for achieving atomistic control in plasma-material interactions
Oehrlein Gottlieb S, Hamaguchi Satoshi, Von Keudell Achim
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 50 No. 49 2017年12月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulations of atomic-layer etching (ALE) of SiO2
Yuki Okada, Michiro Isobe, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
2017年11月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Surface reactions of metal surfaces with adsorbed organic compounds by Ar+ ion irradiation
Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
2017年11月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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金属表面におけるXeF2曝露によるフッ化物層のエッチング反応
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2017.2 p. 1752-1752 2017年9月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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Ni表面に対するヘキサフルオロアセチルアセトンによる表面反応の解明
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2017.2 p. 1750-1750 2017年9月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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Effects of hydrogen-damaged layer on tin-doped indium oxide etching by H-2/Ar plasma
Hirata Akiko, Fukasawa Masanaga, Shigetoshi Takushi, Okamoto Masaki, Nagahata Kazunori, Li Hu, Karahashi Kazuhiro, Hamaguchi Satoshi, Tatsumi Tetsuya
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 56 No. 6 2017年6月 研究論文(学術雑誌)
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Etching yields and surface reactions of amorphous carbon by fluorocarbon ion irradiation
Kazuhiro Karahashi, Hu Li, Kentaro Yamada, Tomoko Ito, Satoshi Numazawa, Ken Machida, Kiyoshi Ishikawa, Satoshi Hamaguchi
Vol. 56 No. 6 2017年5月 研究論文(学術雑誌)
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Effects of Hydrogen Ion Irradiation on Zinc Oxide Etch
Hu Li, Kazuhiro Karahashi, Pascal Friederich, Karin Fink, Masanaga Fukasawa, Akiko Hirata, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, Wolfgang Wenzel, Satoshi Hamaguchi
J. Vac. Sci. Tech. A Vol. 35 No. 5 2017年5月 研究論文(学術雑誌)
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プラズマ照射によるポリスチレン細胞培養皿表面のアミノ基修飾
伊藤智子, 西山一馬, 杉本敏司, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 2017.1 p. 1795-1795 2017年3月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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電解水による室内臭低減に関する研究
村上栄造, 伊藤智子, 浜口智志, 須山喜美
空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集 Vol. 34th 2017年
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電解水の消臭効果に関する研究
村上栄造, 伊藤智子, 浜口智志, 須山喜美
におい・かおり環境学会講演要旨集 Vol. 30th p. 66-69 2017年
出版者・発行元:(公社)におい・かおり環境協会
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Preface: Sixth International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6)
Zdenko Machala, Satoshi Hamaguchi, Gregory Fridman
Plasma Medicine Vol. 7 No. 2 p. v-vi 2017年 研究論文(学術雑誌)
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Atmospheric-pressure plasma-irradiation inhibits mouse embryonic stem cell differentiation to mesoderm and endoderm but promotes ectoderm differentiation
Taichi Miura, Satoshi Hamaguchi, Shoko Nishihara
J. Phys. D: Appl. Phys. 49 (2016) 165401 (12pp). Vol. 49 No. 16 2016年12月 研究論文(学術雑誌)
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Surface reactions of amorphous carbon layers by argon and fluorocarbon ion beams
Kazuhiro Karahashi, Hu Li, Tomoko Ito, Satoshi Hamaguchi
2016年11月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Molecular dynamics study on fluorine radical multilayer adsorption mechanism during Si, SiO2, and Si3N4 etching processes
Satoshi Numazawa, Ken Machida, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
Jpn. J. Appl. Phys. 55 (2016) 116204 (pp6). Vol. 55 No. 11 2016年11月 研究論文(学術雑誌)
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GENERATION AND TRANSPORT OF LIQUID-PHASE REACTIVE SPECIES DUE TO PLASMA-LIQUID INTERACTION
Ikuse Kazumasa, Ito Tomoko, Hamaguchi Satoshi
2016 43RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLASMA SCIENCE (ICOPS) 2016年4月 研究論文(学術雑誌)
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Mass-selected ion beam study on etching characteristics of ZnO by methane-based plasma
Li Hu, Karahashi Kazuhiro, Fukasawa Masanaga, Nagahata Kazunori, Tatsumi Tetsuya, Hamaguchi Satoshi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 55 No. 2 2016年2月 研究論文(学術雑誌)
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多能性幹細胞から分化誘導した骨芽細胞系細胞の特性
宮本諭, 濱本秀一, 吉田清志, 岡本美奈, 奥崎大介, 後藤直久, 浜口智志, 吉川秀樹, 名井陽
再生医療 Vol. 15 2016年
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Mass spectrometry analyses of ions generated by atmospheric-pressure plasma jets in ambient air
Tomoko Ito, Kensaku Gotou, Kanako Sekimoto, Satoshi Hamaguchi
Plasma Medicine Vol. 5 No. 2-4 p. 283-298 2015年12月 研究論文(学術雑誌)
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Sputtering yields and surface chemical modification of tin-doped indium oxide in hydrocarbon-based plasma etching
Li Hu, Karahashi Kazuhiro, Fukasawa Masanaga, Nagahata Kazunori, Tatsumi Tetsuya, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A Vol. 33 No. 6 2015年11月 研究論文(学術雑誌)
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Correlation between dry etching resistance of Ta masks and the oxidation states of the surface oxide layers
Satake Makoto, Yamada Masaki, Li Hu, Karahashi Kazuhiro, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B Vol. 33 No. 5 2015年9月 研究論文(学術雑誌)
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Numerical simulation of atomic-layer oxidation of silicon by oxygen gas cluster beams
Kohei Mizotani, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Plasma and Fusion Research Vol. 10 p. 1406079-1406079 2015年9月 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:社団法人 プラズマ・核融合学会
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Correlation between dry etching resistance of Ta masks and the oxidation states of the surface oxide layers
Makoto Satake, Masaki Yamada, Hu Li, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics Vol. 33 No. 5 2015年9月1日 研究論文(学術雑誌)
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In Focus: Plasma Medicine.
David Graves, Satoshi Hamaguchi, Deborah O'Connell
Biointerphases Vol. 10 No. 2 p. 029301-029301 2015年6月25日 研究論文(学術雑誌)
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Suboxide/subnitride formation on Ta masks during magnetic material etching by reactive plasmas
Hu Li, Yu Muraki, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
Vol. 33 No. 4 2015年4月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulation of silicon oxidation enhanced by energetic hydrogen ion irradiation
Kohei Mizotani, Michiro Isobe, Masanaga Fukasawa, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
J. Phys. D: Appl. Phys. Vol. 48 No. 15 2015年4月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamic simulation of damage formation at Si vertical walls by grazing incidence of energetic ions in gate etching processes
Kohei Mizotani, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
J. Vac. Sci. Tech. Vol. 33 No. 2 2015年3月 研究論文(学術雑誌)
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大気圧プラズマジェットの質の可視化とCVDへの応用
木内正人, 木内正人, 本城国明, 伊藤智子, 浜口智志
表面技術協会講演大会講演要旨集 Vol. 131st 2015年
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iPS細胞等の安定供給と臨床利用のための基盤整備に関する研究 iPS細胞からの骨・軟骨系細胞への培養技術を最適化するための基盤整備
吉川秀樹, 名井陽, 宮本諭, 浜口智志
「iPS細胞等の安定供給と臨床利用のための基盤整備」に関する研究 平成26年度 総括・分担研究報告書 2015年
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計算と実験の融合によるプラズマ表面反応解析
浜口智志, 寒川誠二, 唐橋一浩, 溝谷浩平, 久保田智広
東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学研究拠点活動報告書 Vol. 2014 2015年
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Turnover of sex chromosomes in Celebensis Group medaka fishes
Taijun Myosho, Yusuke Takehana, Satoshi Hamaguchi, Mitsuru Sakaizumi
G3: Genes, Genomes, Genetics Vol. 5 No. 12 p. 2685-2691 2015年 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Genetics Society of America
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Ion beam experiments for the study of plasma-surface interactions
Karahashi Kazuhiro, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 47 No. 22 2014年6月 研究論文(学術雑誌)
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Special Issue: 5th International Conference on Plasma Medicine (ICPM5), Nara, Japan, 18-23 May 2014: Forwards
Satoshi Hamaguchi
Plasma Medicine 4(1-4) (2014) vii. Vol. 4 No. 1-4 2014年4月 研究論文(学術雑誌)
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Low energy indium or gallium ion implantations to SiO2 thin films for development of novel catalysts
S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology Vol. 12 p. 197-202 2014年4月 研究論文(学術雑誌)
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Proliferation assay of mouse embryonic stem (ES) cells exposed to atmospheric pressure plasmas at room temperature
Taichi Miura, Ayumi Ando, Kazumi Hirano, Chika Ogura, Tatsuya Kanazawa, Masamichi Ikeguchi, Atsushi Seki, Shoko Nishihara, Satoshi Hamaguchi
J. Phys. D: Appl. Phys. Vol. 47 No. 44 2014年4月 研究論文(学術雑誌)
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Characterization of polymer layer formation during SiO2/SiN etching by fluoro/hydrofluorocarbon plasmas
Miyake Keita, Ito Tomoko, Isobe Michiro, Karahashi Kazuhiro, Fukasawa Masanaga, Nagahata Kazunori, Tatsumi Tetsuya, Hamaguchi Satoshi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 53 No. 3 2014年3月 研究論文(学術雑誌)
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Low energy gallium ion injections to silicon dioxide thin films for development of novel catalysts
S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
International Symposium on Non-equilibrium Plasma and Complex-System Sciences (IS-NPCS), 26-28 February, 2014, Icho Kaikan, Osaka University, Osaka, Japan (P-04). 2014年2月
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大気圧プラズマジェット照射による真鍮表面における硝酸化合物および亜硝酸化合物の生成
伊藤智子, 関本奏子, 浜口智志
質量分析総合討論会講演要旨集 Vol. 62nd 2014年
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プラズマエッチングプロセスにおけるナノスケール表面ダメージ解析
浜口智志, 寒川誠二, 唐橋一浩, 溝谷浩平, 久保田智広
東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学研究拠点活動報告書 Vol. 2013 2014年
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iPS細胞等の安定供給と臨床利用のための基盤整備 iPS細胞からの骨・軟骨系細胞への培養技術を最適化するための基盤整備
吉川秀樹, 名井陽, 宮本諭, 浜口智志
「iPS細胞等の安定供給と臨床利用のための基盤整備」に関する研究 平成25年度 総括・分担研究報告書 2014年
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ゼオライトへの低エネルギーインジウムイオン照射と触媒効果
吉村智, 木内正人, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 55th 2014年
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Low energy indium or gallium iom beam injection to SiO2 thin films for development of novel catalysts
S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
12th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12) & 21st International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM21) 2013年11月
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Dependence of catalytic properties of indium implanted SiO2 thin films on the film-substrate temperature during indium ion implantation
S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B Vol. 315 p. 222-226 2013年11月 研究論文(学術雑誌)
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Surface Modification of Poly(methyl methacrylate) by Hydrogen-Plasma Exposure and Its Sputtering Characteristics by Ultraviolet Light Irradiation
Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Satoshi Sugimoto, Kensuke Murai, Kuniaki Honjo, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 52 No. 9 p. 090201-1--4 2013年9月 研究論文(学術雑誌)
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Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication
Ando Ayumi, Uno Hidetaka, Urisu Tsuneo, Hamaguchi Satoshi
APPLIED SURFACE SCIENCE Vol. 276 p. 1-6 2013年7月 研究論文(学術雑誌)
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Quantum cascade laser absorption spectroscopy with the amplitude-to-time conversion technique for atmospheric-pressure plasmas
Takayoshi Yumi, Noriaki Kimura, Satoshi Hamaguchi
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 113 No. 21 2013年6月 研究論文(学術雑誌)
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Characteristics of silicon etching by silicon chloride ions
Ito Tomoko, Karahashi Kazuhiro, Kang Song-Yun, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A Vol. 31 No. 3 2013年5月 研究論文(学術雑誌)
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Oxidation of nitric oxide by atmospheric pressure plasma in a resonant plasma reactor
Takayoshi Yumii, Takashi Yoshida, Kyoji Doi, Noriaki Kimura, Satoshi Hamaguchi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 46 No. 13 2013年4月 研究論文(学術雑誌)
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プラズマ・ラジカルの物理とその医療応用
浜口智志
日本物理学会講演概要集 Vol. 68 No. 1 2013年
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プラズマエッチングプロセスにおけるナノスケール表面ダメージ解析
浜口智志, 寒川誠二
東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学研究拠点活動報告書 Vol. 2012 2013年
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低エネルギーインジウム照射SiO2の触媒効果の基板温度依存性
吉村智, 幾世和将, 木内正人, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 60th 2013年
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Taマスクの形状制御のための斜め入射イオンによるスパッタリング解析
LI Hu, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 60th 2013年
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磁性体エッチングプロセスにおけるN+イオン照射効果
村木裕, LI Hu, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 60th 2013年
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ハイドロフルオロカーボン(HFC)プラズマによるSiNエッチングにおける表面ポリマー形成過程の解析
三宅啓太, 礒部倫郎, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 60th 2013年
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酸素ガスクラスタービーム照射によるシリコン表面酸化プロセスの分子動力学シミュレーション
溝谷浩平, 礒部倫郎, 浜口智志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 60th 2013年
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高エネルギー水素イオン入射によるSi表面の増殖酸化
伊藤智子, 溝谷浩平, 礒部倫郎, 唐橋一浩, 深沢正永, 長畑和典, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 74th 2013年
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HBrプラズマにおける斜め入射イオンおよび反応生成物(SiBrx)イオンによる反応
村木裕, LI Hu, 伊藤智子, 唐橋一浩, 松隈正明, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 74th 2013年
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酸素ガスクラスタービーム照射によるシリコン表面酸化プロセスの分子動力学シミュレーション II
溝谷浩平, 礒部倫郎, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 74th 2013年
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Taマスクの形状制御の観点から見たTaNおよびTaOxに対するエッチング反応解析
LI Hu, 村木裕, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 74th 2013年
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フルオロカーボン(FC)・ハイドロフルオロカーボン(HFC)プラズマエッチングにおけるSiN/SiO2選択性の解析
三宅啓太, 礒部倫郎, 深沢正永, 長畑和典, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 74th 2013年
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プラズマの医療応用
浜口智志
パリティ Vol. 1月号 No. 1 p. 16-17 2013年1月 研究論文(学術雑誌)
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Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine
浜口 智志
AIP Conf. Proc. Vol. 1545 p. 214-222 2013年 研究論文(学術雑誌)
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Sputtering yields and surface modification of poly(methyl methacrylate) (PMMA) by low-energy Ar+/CF3+ ion bombardment with vacuum ultraviolet (VUV) photon irradiation
Satoru Yoshimura, Yasuhiro Tsukazaki, Masato Kiuchi, Satoshi Sugimoto, Satoshi Hamaguchi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 45 No. 50 p. 505201-1--10 2012年12月 研究論文(学術雑誌)
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Sputtering yields of magnesium hydroxide [Mg(OH)2] by noble-gas ion bombardment
K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, M. Terauchi, M. Mishitani, S. Hamaguchi
Journal of Physics D: Applied Physics Vol. 45 No. 43 p. 432001-1--5 2012年10月 研究論文(学術雑誌)
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Efficient modification of the surface properties of interconnected porous hydroxyapatite by low-pressure low-frequency plasma treatment to promote its biological performance
Lee Dae-Sung, Moriguchi Yu, Myoui Akira, Yoshikawa Hideki, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 45 No. 37 2012年9月 研究論文(学術雑誌)
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Si Damage Due to Oblique-Angle Ion Impact Relevant for Vertical Gate Etching Processes
Ito Tomoko, Karahashi Kazuhiro, Mizotani Kohei, Isobe Michiro, Kang Song-Yun, Honda Masanobu, Hamaguchi Satoshi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 51 No. 8 2012年8月 研究論文(学術雑誌)
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Sputtering Yields of CaO, SrO, and BaO by Monochromatic Noble Gas Ion Bombardment
Satoru Yoshimura, Kiyohiro Hine, Masato Kiuchi, Jun Hashimoto, Masaharu Terauchi, Yosuke Honda, Mikihiko Nishitani, Satoshi Hamaguchi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 51 No. 8 p. 08HB02-1--4 2012年8月 研究論文(学術雑誌)
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Microcavity array plasma system for remote chemical processing at atmospheric pressure
Lee Dae-Sung, Hamaguchi Satoshi, Sakai Osamu, Park Sung-Jin, Eden J. Gary
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 45 No. 22 2012年6月 研究論文(学術雑誌)
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Low energy metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source for development of novel catalysts
S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology Vol. 10 p. 139-144 2012年4月 研究論文(学術雑誌)
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Dependence of catalytic properties of Indium-implanted SiO2 thin films on the energy and dose of incident Indium ions
S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
Thin Solid Films Vol. 520 No. 15 p. 4894-4897 2012年4月 研究論文(学術雑誌)
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Extracellular matrix patterning for cell alignment by atmospheric pressure plasma jets
Ayumi Ando, Toshifumi Asano, Md Abu Sayed, Ryugo Tero, Katsuhisa Kitano, Tsuneo Urisu, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 51 No. 3 PART 1 2012年3月 研究論文(学術雑誌)
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ヘテロエピタキシャルダイヤモンド成長のためのIr(100)/MgOへの低エネルギー炭素イオン照射
井谷司, 井谷司, 山崎一寿, 伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 59th 2012年
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フロロカーボンイオン照射におけるSiNx:H膜中の水素の含有率の違いによるエッチング反応への影響
伊藤智子, 唐橋一浩, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 59th 2012年
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水素イオン入射によるシリコン中の増速酸化プロセスの入射エネルギー依存性
溝谷浩平, 礒部倫郎, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 59th 2012年
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メタノールプラズマ中のイオン照射によるFeCoBエッチング反応
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 59th 2012年
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大気圧放電に接した水中における活性酸素・活性窒素種の化学反応シミュレーション
金澤龍也, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 59th 2012年
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大気圧プラズマにより水中に誘起される化学種の反応シミュレーション
金澤龍也, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 73rd 2012年
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プラズマエッチングプロセスにおけるナノスケール表面ダメージ解析
浜口智志, 寒川誠二
東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学研究拠点活動報告書 Vol. 2011 2012年
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ビーム表面相互作用分子動力学(MD)シミュレーションにおける基板熱緩和過程の解析
三宅啓太, 溝谷浩平, 礒部倫郎, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 73rd 2012年
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プラズマエッチングにおけるゲートダメージ層形成機構の数値解析
溝谷浩平, 礒部倫郎, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 73rd 2012年
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メタノールプラズマ中のイオン照射によるCoFeBエッチング反応(2)
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 73rd 2012年
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SiFx+イオン照射によるSi,Si3N4およびSiO2エッチング反応解析
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 73rd 2012年
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低エネルギーイオンビーム照射によるPMMAエッチングイールドへの紫外線照射および水素プラズマ暴露の影響
幾世和将, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 53rd 2012年
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低エネルギーイオンビーム照射によるPMMAエッチングイールドの測定と水素プラズマ暴露のエッチングイールドへの影響
吉村智, 塚崎泰裕, 杉本敏司, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 59th 2012年
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量子カスケードレーザーを用いた大気圧RFプラズマリアクター内の赤外吸収分光計測
弓井孝佳, 弓井孝佳, 木村憲明, 木村憲明, 浜口智志
プラズマ・核融合学会年会(Web) Vol. 29th 2012年
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Low energy mass-selected metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source
S. Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
The 8th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2012), 16-18 January, 2012, Todaiji Culture Center, Nara, Japan, P-21 2012年1月
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Micro-pattern formation of extracellular matrix (ECM) layers by atmospheric-pressure plasmas and cell culture on the patterned ECMs
Ando Ayumi, Asano Toshifumi, Urisu Tsuneo, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 44 No. 48 2011年12月 研究論文(学術雑誌)
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Measurement of MgO, CaO, SrO, and BaO sputtering yields by noble gas ions for plasma display panel cells
S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, Y. Honda, M. Nishitani, S. Hamaguchi
Proceedings of International Symposium on Dry Process 2011年11月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Plasma Microchannel and Jet Enhanced by an Array of Ellipsoidal Microcavities
Lee D. -S, Sakai O, Park S. -J, Eden J. G, Hamaguchi S
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE Vol. 39 No. 11 p. 2690-2691 2011年11月 研究論文(学術雑誌)
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Improvement of Hydrophilicity of Interconnected Porous Hydroxyapatite by Dielectric Barrier Discharge Plasma Treatment
Lee Dae-Sung, Moriguchi Yu, Okada Kiyoshi, Myoui Akira, Yoshikawa Hideki, Hamaguchi Satoshi
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE Vol. 39 No. 11 p. 2166-2167 2011年11月 研究論文(学術雑誌)
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Dynamics of Near-Atmospheric-Pressure Hydrogen Plasmas Driven by Pulsed High Voltages
Lo Chieh-Wen, Hamaguchi Satoshi
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE Vol. 39 No. 11 p. 2100-2101 2011年11月 研究論文(学術雑誌)
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ハイドロキシアパタイト人工骨に対する低温プラズマ処理
名井 陽, 森口 悠, 李 大成, 増田 一仁, 浜口 智志, 吉川 秀樹
人工臓器 Vol. 40 No. 2 p. S140-S140 2011年10月
出版者・発行元:(一社)日本人工臓器学会
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Electron density measurement of inductively coupled plasmas by terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS)
浜口 智志
J.Appl.Phys. Vol. 110 No. 7 2011年10月1日 研究論文(学術雑誌)
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Hydrogen effects in hydrofluorocarbon plasma etching of silicon nitride: Beam study with CF+, CF2+, CH2F+, and CH2F+ ions
Ito Tomoko, Karahashi Kazuhiro, Fukasawa Masanaga, Tatsumi Tetsuya, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A Vol. 29 No. 5 2011年9月 研究論文(学術雑誌)
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Numerical analyses of hydrogen plasma generation by nanosecond pulsed high voltages at near-atmospheric pressure
Lo Chieh-Wen, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 44 No. 37 2011年9月 研究論文(学術雑誌)
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Rapid Breakdown Mechanisms of Open Air Nanosecond Dielectric Barrier Discharges
浜口 智志
Phys.Rev.Lett. Vol. 107 No. 6 p. 065002-065002 2011年8月5日 研究論文(学術雑誌)
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Si Recess of Polycrystalline Silicon Gate Etching: Damage Enhanced by Ion Assisted Oxygen Diffusion
Ito Tomoko, Karahashi Kazuhiro, Fukasawa Masanaga, Tatsumi Tetsuya, Hamaguchi Satoshi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 50 No. 8 2011年8月 研究論文(学術雑誌)
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Experimental evaluation of CaO, SrO and BaO sputtering yields by Ne+ or Xe+ ions
Satoru Yoshimura, Kiyohiro Hine, Masato Kiuchi, Jun Hashimoto, Masaharu Terauchi, Yosuke Honda, Mikihiko Nishitani, Satoshi Hamaguchi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 44 No. 25 2011年6月 研究論文(学術雑誌)
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国際宇宙ステーションにおける微粒子プラズマ実験の次期計画
林康明, 佐藤徳芳, 高橋和生, 東辻浩夫, 渡辺征夫, 石原修, 三重野哲, 上村鉄雄, 飯塚哲, 浜口智志, 足立聡, 高柳昌弘
宇宙利用シンポジウム Vol. 27th 2011年
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大気圧プラズマ照射による細胞増殖促進プロセス
増田一仁, 森口悠, 岡田潔, 名井陽, 吉川秀樹, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 58th 2011年
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分子動力学法を用いたシリコン窒化膜のエッチングシミュレーション
重川遼太, 礒部倫郎, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 58th 2011年
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CO+イオンによるCo,NiおよびTaエッチング反応
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 58th 2011年
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水素希釈炭化水素プラズマによるDLC薄膜堆積プロセスの分子動力学シミュレーション解析
村上泰夫, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 58th 2011年
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創傷治癒に対する低温プラズマの効果
金子恵子, 森口悠, 椚座康夫, 浜口智志, 吉川秀樹, 冨田哲也, 冨田哲也
日本抗加齢医学会総会プログラム・抄録集 Vol. 11th p. 279-279 2011年
出版者・発行元:(一社)日本抗加齢医学会
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インジウム照射SiO2基板の触媒効果の入射エネルギー依存性
吉村智, 木内正人, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 72nd 2011年
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大気開放誘電体バリア放電中での電界測定
伊藤剛仁, 金澤龍也, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 72nd 2011年
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大気圧プラズマによる培養液中の長寿命ラジカル生成と細胞増殖効果
増田一仁, 森口悠, 岡田潔, 名井陽, 吉川秀樹, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 72nd 2011年
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メタノールプラズマエッチングプロセス中のイオン照射によるNi薄膜酸化過程の解析
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 72nd 2011年
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水素イオン入射によるシリコン中の増速酸化プロセスの数値解析
溝谷浩平, 礒部倫郎, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 72nd 2011年
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SiClx+イオン照射によるSiエッチング反応解析
伊藤智子, 唐橋一浩, KAN Song-Yun, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 72nd 2011年
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SiNエッチングにおける水素反応:分子動力学シミュレーション解析
重川遼太, 礒部倫郎, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 72nd 2011年
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カーボン堆積膜の密着性解析
松隈正明, 礒部倫朗, 浜口智志
分子動力学シンポジウム講演論文集(CD-ROM) Vol. 16th 2011年
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フロロカーボンプラズマからのイオン照射によるPMMAのエッチングイールド
塚崎泰裕, 吉村智, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 58th 2011年
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PMMA(ポリメチルメタクリレート)のビームエッチング分子動力学シミュレーション
森田泰光, 礒部倫郎, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 58th 2011年
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骨粗鬆症のない腰椎圧迫骨折の保存的治療成績
漆谷信治, 浜口建紀, 鄭明和, 島田道明, 小川将司, 林智志
骨折 Vol. 33 No. 3 p. 757-760 2011年
出版者・発行元:(一社)日本骨折治療学会
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Si酸化反応における水素イオン照射効果
伊藤智子, 唐橋一浩, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 58th 2011年
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Novel catalysts: Indium implanted SiO2 thin films
S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
Applied Surface Science Vol. 257 No. 1 p. 192-196 2010年10月 研究論文(学術雑誌)
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Effect of light irradiation from inductively coupled Ar plasma on etching yields of SiO2 film by CF3 ion beam injections
S. Yoshimura, Y. Tsukazaki, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
Journal of Physics: Conference Series Vol. 232 No. 1 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Electric field measurements at near-atmospheric pressure by coherent Raman scattering of laser beams
Ito Tsuyohito, Kobayashi Kazunobu, Mueller Sarah, Czarnetzki Uwe, Hamaguchi Satoshi
14TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER-AIDED PLASMA DIAGNOSTICS (LAPD14) Vol. 227 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamondlike carbon deposition processes.
Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
Physical review. E, Statistical, nonlinear, and soft matter physics Vol. 81 No. 4 Pt 1 p. 041602-041602 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Electric field measurements in near-atmospheric pressure nitrogen and air based on a four-wave mixing scheme
Mueller Sarah, Ito Tsuyohito, Kobayashi Kazunobu, Luggenhoelscher Dirk, Czarnetzki Uwe, Hamaguchi Satoshi
14TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER-AIDED PLASMA DIAGNOSTICS (LAPD14) Vol. 227 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Plasma-surface Interactions in Material Processing
Hamaguchi Satoshi
25TH SUMMER SCHOOL AND INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON THE PHYSICS OF IONIZED GASES - SPIG 2010 Vol. 257 No. 1 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Evaluation of Si etching yields by Cl+, Br+, and HBr+ ion irradiation
Ito Tomoko, Karahashi Kazuhiro, Kang Song-Yun, Hamaguchi Satoshi
FOURTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATOMIC TECHNOLOGY Vol. 232 No. 1 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Reverse Propagation of Atmospheric Pressure Plasma Jets
Ito Tsuyohito, Raddenzati Aurelien, Shams Artabaze, Hamaguchi Satoshi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 49 No. 10 p. 1002091-1002093 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Facile Creation of Biointerface on Commodity Plastic Surface by Combination of Atmospheric Plasma and Reactive Polymer Coating
Kanayama Naoki, Saha Swapan Kumar, Nakayama Naoki, Nakanishi Jun, Kitano Katsuhisa, Hamaguchi Satoshi, Nagasaki Yukio
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY Vol. 23 No. 4 p. 579-583 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Particle-in-Cell Simulations of High-Pressure Hydrogen Plasmas Driven by Nano-second Pulsed High-Voltages
Lo Chieh-Wen, Hamaguchi Satoshi
FOURTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATOMIC TECHNOLOGY Vol. 232 No. 1 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Effects of Hydrogen Incorporation in the Formation of Hydrogenated Diamond-like Carbon Films
Murakami Yasuo, Hosaka Koji, Hamaguchi Satoshi
FOURTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATOMIC TECHNOLOGY Vol. 232 No. 1 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulation of the formation of sp(3) hybridized bonds in hydrogenated diamondlike carbon deposition processes
Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
PHYSICAL REVIEW E Vol. 81 No. 4 p. 041602-041602 2010年4月 研究論文(学術雑誌)
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Rapid formation of electric field profiles in repetitively pulsed high-voltage high-pressure nanosecond discharges
Ito Tsuyohito, Kobayashi Kazunobu, Czarnetzki Uwe, Hamaguchi Satoshi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 43 No. 6 2010年2月 研究論文(学術雑誌)
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CHxFy+イオン照射によるエッチング反応の評価
伊藤智子, 唐橋一浩, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 57th 2010年
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反応性イオンによるPt,CoおよびPtCoエッチング反応
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 57th 2010年
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大気圧プラズマジェットにおける発光部伝搬速度
伊藤剛仁, RADDENZATI Aurelien, SHAMS Artabaze, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 57th 2010年
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CO+イオンによるPt,CoおよびPtCoエッチング反応
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 71st 2010年
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フロロカーボンおよび水素イオン入射によるPMMA(ポリメチルメタクリレート)表面の改質に関する分子動力学シミュレーション
森田泰光, 礒部倫郎, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 71st 2010年
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CHxFy+イオンエッチングにおける水素の効果
伊藤智子, 唐橋一浩, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 71st 2010年
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小児上腕骨外顆骨折・内側上顆骨折に対する吸収糸を用いたtension band法
林智志, 鄭明和, 小川将司, 島田道明, 浜口建紀
骨折 Vol. 32 No. 1 p. 43-45 2010年
出版者・発行元:(一社)日本骨折治療学会
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高圧力液中プラズマ反応空間の創成
伊藤剛仁, 浜口智志
村田学術振興財団年報 No. 24 2010年
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Electron density measurement for plasmas by terahertz time-domain spectroscopy
A. Ando, H. Kitahara, T. Kurose, K. Kitano, K. Takano, M. Tani, M. Hangyo, S. Hamaguchi
Journal of Physics: Conference Series Vol. 227 2010年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Protein patterning by atmospheric-pressure plasmas
A. Ando, M. A. Sayed, T. Asano, R. Tero, K. Kitano, T. Urisu, S. Hamaguchi
Journal of Physics: Conference Series Vol. 232 No. 1 2010年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Effects of pH on Bacterial Inactivation in Aqueous Solutions due to Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma Application
S. Ikawa, K. Kitano, S. Hamaguchi
Plasma Process. Polym. 7(1), 33-42 (2010) Vol. 7 No. 1 p. 33-42 2010年1月 研究論文(学術雑誌)
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Diagnosis of atmospheric pressure plasmas by using terahertz time-domain spectroscopy
Hideaki Kitahara, Ayumi Ando, Katsuhisa Kitano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
IRMMW-THz 2010 - 35th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, Conference Guide 2010年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Effect of ultraviolet light irradiation on etching process of polymethylmethacrylate by ion beam injection
S. Yoshimura, K. Ikuse, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
Journal of Physics : Conference Series Vol. 191 2009年12月 研究論文(学術雑誌)
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Structure of laboratory ball lightning.
Tsuyohito Ito, Tomoya Tamura, Mark A Cappelli, Satoshi Hamaguchi
Physical review. E, Statistical, nonlinear, and soft matter physics Vol. 80 No. 6 Pt 2 p. 067401-067401 2009年12月 研究論文(学術雑誌)
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Measurement of sputtering/etching yields by CF3 ion beam injection with UV light irradiation
Y. Tsukazaki, K. IKuse, S.Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
4th International Symposium on Atomic Technologies, 18-19 November, 2009, Seaside Hotek MAIKO VILLA, Kobe 2009年11月
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Preparation of Stable Water-Dispersible PEGylated Gold Nanoparticles Assisted by Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Plasma Jets
Furusho H, Kitano K, Hamaguchi S, Nagasaki Y
Chemistry of Materials Vol. 21 No. 15 p. 3526-3535 2009年8月 研究論文(学術雑誌)
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Sputtering yields of Au by low-energy noble gas ion bombardment
K. Ikuse, S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
Journal of Physics D: Applied Physics Vol. 42 No. 13 2009年7月 研究論文(学術雑誌)
-
CoSix contact resistance after etching and ashing plasma exposure
Katahira Ken, Fukasawa Masanaga, Kobayashi Shoji, Takizawa Toshifumi, Isobe Michio, Hamaguchi Satoshi, Nagahata Kazunori, Tatsumi Tetsuya
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A Vol. 27 No. 4 p. 844-848 2009年7月 研究論文(学術雑誌)
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低周波大気圧マイクロプラズマジェットの放電メカニズム
北野 勝久, 浜口 智志
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 Vol. 2009 No. 1 p. 49-54 2009年6月12日
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Creation of Biointerface by Atmospheric Plasma Treatment of Plasma Sensitive Polymeric Materials
Saha Swapan Kumar, Nakanishi Jun, Kitano Katsuhisa, Hamaguchi Satoshi, Nagasaki Yukio
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY Vol. 22 No. 4 p. 481-484 2009年4月 研究論文(学術雑誌)
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Nonequilibrium Atmospheric Plasma Jets Assisted Stabilization of Drug Delivery Carriers: Preparation and Characterization of Biodegradable Polymeric Nano-Micelles with Enhanced Stability
Sumitani Shogo, Murotani Hiroki, Oishi Motoi, Kitano Katsuhisa, Hamaguchi Satoshi, Nagasaki Yukio
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY Vol. 22 No. 4 p. 467-471 2009年4月 研究論文(学術雑誌)
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Effect of UV light irradiation on sputtering by CF3 ion beams
S.Yoshimura, K. IKuse, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
3rd International Symposium on Atomic Technology and 3rd Polyscale Technology Workshop, 5-6 March, 2009, Tokyo International Exchange Center 2009年3月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Electric field measurement in an atmospheric or higher pressure gas by coherent Raman scattering of nitrogen
T. Ito, K. Kobayashi, S. Mueller, D. Luggenhölscher, U. Czarnetzki, S. Hamaguchi
J. Phys. D Vol. 42 No. 9 2009年2月 研究論文(学術雑誌)
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コヒーレントラマン散乱による高圧力水素・窒素・大気雰囲気での電界測定
伊藤剛仁, 小林和伸, MUELLER S., LUGGENHOELSCHER D., CZARNETZKI U., 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 56th No. 1 2009年
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Cl+,Br+イオン照射によるSiエッチング反応の評価
伊藤智子, 松本祥志, 唐橋一浩, KANG Song-Yun, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 56th No. 1 2009年
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イボキサゴ浮遊幼生に対するモノクローナル抗体の作成
浜口昌巳, 佐々木美穂, 大橋智志, 玉置昭夫, 上村了美
日本水産学会大会講演要旨集 Vol. 2009 2009年
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大気解放雰囲気における大容積低温放電の発生
伊藤剛仁, 小林和伸, 増田一仁, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 70th No. 1 2009年
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SiO2基板への低エネルギーインジウムイオンビームの照射と触媒効果
吉村智, 日根清裕, 木内正人, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 70th No. 1 2009年
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Cl+.Br+イオン照射によるSiエッチング反応における水素の影響
伊藤智子, 唐橋一浩, KANG Song-Yun, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 70th No. 1 2009年
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低エネルギーイオンビーム照射装置を用いたシリカ基板へのインジウムおよびガリウムの注入
吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 50th 2009年
-
Plasma Medicineの国際ネットワーク
浜口智志
プラズマ・核融合学会年会(Web) Vol. 26th 2009年
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Estimation of electron densities of plasmas by terahertz time-domain spectroscopy
Hideaki Kitahara, Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Katsuhisa Kitano, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
34th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW-THz 2009 p. 205-+ 2009年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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MgO sputtering yields by noble gas ions at relatively low injection energies
S. Yoshimura, K. Hine, M. Matsukuma, K. Ikuse, M. Kiuchi, T. Nakao, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
Proceedings of the 15th International Display Workshops, December 3-5, 2008, Toki Messe Niigata Convention Center Vol. 3 p. 1865-1868 2008年12月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Experimental evaluation of MgO sputtering yields by monochromatic Ne, Kr, or Xe ion beams
K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
Thin Solid Films Vol. 517 No. 2 p. 835-840 2008年11月 研究論文(学術雑誌)
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“Generation of Dust Seeds by Sputtering of Carbon-based Plasma Facing Materials under Low-energy H/D/T Ion Bombardment
Masashi Yamashiro, Satoshi Hamaguchi
Proceedings of the 22nd IAEA Fusion Energy Conference (13-18 Oct., 2008, Geneva, Switzerland) 2008年10月 研究論文(学術雑誌)
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Electromagnetic Self-Organization and Transport Barrier Relaxations in Fusion Plasmas
G. Fuhr, S. Benkadda, P. Beyer, M. Leconte, X. Garbet, I. Sandberg, H. Isliker, D. Reiser, I. Caldas, Z.O. Guimarães-Filho, S. Hamaguchi
Proceedings of the 22nd IAEA Fusion Energy Conference (13-18 Oct., 2008, Geneva, Switzerland) 2008年10月 研究論文(学術雑誌)
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Development of Diverse Lateral Line Patterns on the Teleost Caudal Fin
Hironori Wada, Satoshi Hamaguchi, Mitsuru Sakaizumi
DEVELOPMENTAL DYNAMICS Vol. 237 No. 10 p. 2889-2902 2008年10月 研究論文(学術雑誌)
-
Reducing damage to si substrates during gate etching processes
Ohchi Tomokazu, Kobayashi Shoji, Fukasawa Masanaga, Kugimiya Katsuhisa, Kinoshita Takashi, Takizawa Toshifumi, Hamaguchi Satoshi, Kamide Yukihiro, Tatsumi Tetsuya
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 47 No. 7 p. 5324-5326 2008年7月 研究論文(学術雑誌)
-
Measurement of Au sputtering yields by Ar and He with a low-energy mass selected ion beam system
K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
Journal of Physics: Conference Series Vol. 106 No. 1 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Measurement of sticking probability and sputtering yield of Au by low-energy mass selected ion beams with a quartz crystal microbalance
K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, K. Hine, S. Hamaguchi
Journal of Physics: Conference Series Vol. 106 No. 1 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Anomalous scaling of impurity transport in drift wave turbulence,
S. Futatani, S. Benkadda, Y. Nakamura, K. Kondo, S. Hamaguchi
Contrib. Plasma Phys. Vol. 48 No. 1-3 p. 111-115 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Electromagnetic Effects on Transport Barrier Relaxations,
G. Fuhr, S. Benkadda, P. Beyer, X. Garbet, S. Hamaguchi
Contrib. Plasma Phys. Vol. 48 No. 1-3 p. 23-26 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Plasma generation inside externally supplied Ar bubbles in water
H. Aoki, K. Kitano, S. Hamaguchi
Plasma Sources Sci. Technol. Vol. 17 No. 2 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Nonlinear evolution of pressure gradient driven modes and anomalous transport in plasmas
Hamaguchi Satoshi
TURBULENT TRANSPORT IN FUSION PLASMA Vol. 1013 p. 46-58 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Magnetized Microdischarge Plasma Generation at Low Pressure
T. Ito, K. Kobayashi, S. Hamaguchi, M. A. Cappelli
Thin Solid Films Vol. 516 No. 19 p. 6668-6672 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Magnetized microdischarge plasmas in low pressure argon and helium
K. Kobayashi, T. Ito, M. A. Cappelli, S. Hamaguchi
J. Phys.: Conf. Series Vol. 106 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Molecular dynamics simulation of microcrystalline Si deposition processes by silane plasmas
M. Matsukuma, S. Hamaguchi
Thin Solid Films Vol. 516 No. 11 p. 3443-3448 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
“Design of Biointerface by Nonequilibrium Atmospheric Plasma Jets -Approach from Plasma Susceptible Polymers-
Y. Nagasaki, M. Umeyama, M. Iijima, K. Kitano, S. Hamaguchi
J. Photopolym. Sci. Technol. Vol. 21 No. 2 p. 267-270 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Magnetic neutral loop discharge (NLD) plasmas for surface processing
Taijiro Uchida, Satoshi Hamaguchi
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 41 No. 8 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
Molecular dynamics simulations for nitridation of organic polymer surfaces due to hydrogen-nitrogen ion beam injections
Masashi Yamashiro, Hideaki Yamada, Satoshi Hamaguchi
THIN SOLID FILMS Vol. 516 No. 11 p. 3449-3453 2008年4月 研究論文(学術雑誌)
-
低周波大気圧マイクロプラズマジェット
北野勝久, 浜口智志
応用物理学会誌、 Vol. 2009 No. 1 p. 49-54 2008年4月
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The novel mutant scl of the medaka fish, Oryzias latipes, shows no secondary sex characters
Tadashi Sato, Aya Suzuki, Naoki Shibata, Mitsuru Sakaizumi, Satoshi Hamaguchi
Zoological Science Vol. 25 No. 3 p. 299-306 2008年3月 研究論文(学術雑誌)
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Development of NIR Bioimaging Systems,”
K. Soga, T. Tsuji, F. Tashiro, J. Chiba, M. Oishi, K. Yoshimoto, Y. Nagasaki, K. Kitano, S. Hamaguchi
Journal of Physics: Conference Series Vol. 106 No. 1 2008年3月1日 研究論文(学術雑誌)
-
CF3イオンビームと光の重畳照射によるSiO2エッチングイールドの測定
幾世和将, 吉村智, 唐橋一浩, 滝澤敏史, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 55th No. 1 2008年
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反応性イオンによるFe-Co合金エッチング反応の検討
松本祥志, 唐橋一浩, 犬飼和明, 上原裕二, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 55th No. 1 2008年
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ハルマンスナモグリ (十脚甲殻類) およびイボキサゴ (腹足類) 幼生の輸送
玉置昭夫, 万田敦昌, 大橋智志, 浜口昌巳, MANDAL Sumit, 中野善
日本海洋学会大会講演要旨集 Vol. 2008 2008年
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フロロカーボンビームによる低誘電率SiOCHエッチングの分子動力学シミュレーション
鈴木歩太, 滝澤敏史, 磯部倫朗, 小林正治, 深沢正永, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 55th No. 1 2008年
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分光学的手法によるAr直流グロー放電の電子温度,密度測定
田村知也, 伊藤剛仁, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 69th No. 1 2008年
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コヒーレントラマン散乱による高圧力水素放電雰囲気での電界測定
伊藤剛仁, 小林和伸, CZARNETZKI Uwe, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 69th No. 1 2008年
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大気圧・高気圧プラズマ研究の新しい展開
浜口智志
日本物理学会講演概要集 Vol. 63 No. 2 2008年
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反応性イオンを用いたFe-Co合金のエッチング
唐橋一浩, 松本祥志, 高須庸一, 犬飼和明, 上原裕二, 浜口智志
日本磁気学会学術講演概要集 Vol. 32nd 2008年
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CHxFyプラズマ処理とコンタクト抵抗の変動
片平研, 辰巳哲也, 小林正治, 深沢正永, 滝澤敏史, 礒部倫郎, 浜口智志, 長畑和典
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 55th No. 1 2008年
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CF3+イオンビームを用いたPMMAエッチングにおける光照射重畳効果
幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 49th 2008年
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Measurement of magnesium oxide sputtering yields by He and Ar ions with a low-energy mass-selected ion beam system
K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 46 No. 46 p. L1132-L1134 2007年11月 研究論文(学術雑誌)
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Sputtering yields by noble gas injections measured with a low-energy mass analyzed ion beam system
K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
2nd International Symposium on Atomic Technologies (ISAT-2), 1-2 October, 2007, Awaji Yumebutai International Conference Center, Yumebutai, Awaji City, Hyogo, Japan, P-27 2007年10月
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Radicals and non-equilibrium processes in low-temperature plasmas
Zoran Petrović, Nigel Mason, Satoshi Hamaguchi, Marija Radmilović-Radjenović
Journal of Physics: Conference Series Vol. 86 No. 1 2007年6月1日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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High-m multiple tearing modes in tokamaks: MHD turbulence generation, interaction with the internal kink and sheared flows
A. Bierwage, S. Benkadda, M. Wakatani, S. Hamaguchi, Q. Yu
2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Incident-energy dependence of crystalline structures of ion beam deposited Au thin films
T. Takizawa, T. Maeda, M. Kiuchi, S. Yoshimura, S. Hamaguchi
Philosophical Magazine Vol. 87 No. 10 p. 1487-1495 2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Control of atomic layer degradation on Si substrate
Y. Nakamura, T. Tatsumi, S. Kobayashi, K. Kugimiya, T. Harano, A. Ando, T. Kawase, S. Hamaguchi, S. Iseda
J.Vac.Sci.Tech.A Vol. 25 No. 4 p. 1062-1067 2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Dynamics of resistive double tearing modes with broad linear spectra
A. Bierwage, S. Benkadda, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Phys. Plasmas Vol. 14 No. 2 2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Synthesis of Uniformly Dispersed Metal Nanoparticles with Dispersion Stability by Nonequilibrium Atmospheric Plasma Jets
H. Furusho, D. Miyamoto, Y. Nagasaki, K. Kitano, S. Hamaguchi
J. Photopolymer Sci. Tech. Vol. 20 No. 2 p. 229-233 2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Modelling of plasma surface interaction
S. Hamaguchi, M. Yamashiro, M. Matsukuma, H. Yamada
J. Phys. :Conf. Series Vol. 86 No. 1 2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulations of organic polymer dry etching at high substrate temperatures
Masashi Yamashiro, Hideaki Yamada, Satoshi Hamaguchi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS Vol. 46 No. 4A p. 1692-1699 2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Temporal evolution of ion fragment production from dimethylsilane by a hot tungsten wire and compounds deposited on the tungsten surface
Satoru Yoshimura, Akinori Toh, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS Vol. 46 No. 4A p. 1707-1709 2007年4月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulation study on substrate temperature dependence of sputtering yields for an organic polymer under ion bombardment
Masashi Yamashiro, Hideaki Yamada, Satoshi Hamaguchi
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 101 No. 4 2007年2月 研究論文(学術雑誌)
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光照射を重畳したCF3イオンビームによるスパッタ率の測定
幾世和将, 吉村智, 木内正人, 木内正人, 滝澤敏史, 豊島隆寛, 唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 54th No. 1 2007年
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有機高分子膜エッチングにおけるCN膜形成のMDシミュレーション III
山城昌志, 山田英明, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 54th No. 1 2007年
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ドライエッチング表面反応シミュレーション
浜口智志
真空 Vol. 50 No. 6 2007年
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分子運動論に基づくエッチング/デポジション表面のシミュレーション
浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 68th 2007年
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水素イオン照射によるシリコン酸化膜基板損傷の分子動力学シミュレーション
滝澤敏史, 小林正治, 辰巳哲也, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 54th No. 1 2007年
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CF3+イオン照射によるSi,SiO2エッチング反応生成物の脱離角度分布
唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 54th No. 1 2007年
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低気圧直流マイクロ放電プラズマの発生
小林和伸, 伊藤剛仁, CAPPELLI Mark A., 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 68th No. 1 2007年
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低エネルギーイオンビーム照射装置を用いたシリカ基板へのインジウム注入
日根清裕, 吉村智, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 48th 2007年
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CF3+照射によるSiO2エッチング反応生成物のイオン入射角およびエネルギー依存性
唐橋一浩, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 68th No. 1 2007年
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水素終端されたSi結晶面上の吸着Si原子表面拡散に関する分子動力学シミュレーション
松隈正明, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 54th No. 1 2007年
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生態系保全型増養殖システム確立のための種苗生産・放流技術の開発事業(暖流系アワビ類の遺伝的,形態的および生態的差異の特定と類縁関係の解明)
大橋智志, 岩永俊介, 藤井明彦, 桐山隆哉, 堀井豊充, 清本節夫, 浜口昌巳
長崎県総合水産試験場事業報告 Vol. 2006 2007年
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国内に生息する大型アワビ類の浮遊幼生期の卵黄タンパク質の消費状況の比較
浜口昌巳, 堀井豊充, 清本節夫, 高見秀輝, 大橋智志, 藤井明彦
日本水産学会大会講演要旨集 Vol. 2007 2007年
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Atomic-scale analyses of non-equilibrium surface reactions during plasma processing
Satoshi Hamaguchi, Masashi Yamashiro, Hideaki Yamada
ECS Transactions Vol. 8 No. 1 p. 185-190 2007年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Expression profiles of DMRT1 in closely related species of medaka indicate DMY has acquired a new expression pattern after duplication event
Hiroyuki Otake, Ai Shinomiya, Masaru Matsuda, Satoshi Hamaguchi, Mitsuru Sakaizumi
ZOOLOGICAL SCIENCE Vol. 23 No. 12 p. 1223-1223 2006年12月
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Molecular dynamics study on Ar ion bombardment effects in amorphous SiO2 deposition processes
M. Taguchi, S. Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 100 No. 12 2006年12月 研究論文(学術雑誌)
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Temporal evolution of ion fragment production from methylsilane by a hot tungsten wire
Satoru Yoshimura, Akinori Toh, Takahiro Toyoshima, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 100 No. 9 2006年11月 研究論文(学術雑誌)
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Substrate temperature dependence of sputtering yields in organic polymer plasma etching processes; short-time effects by ion bombardment
M. Yamashiro, H. Yamada, S. Hamaguchi
2006年9月 研究論文(学術雑誌)
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Radio-Frequency (RF)-driven atmospheric-pressure plasmas in contact with liquid
K. Kitano, H. Aoki, S. Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45 No. 10 B p. 8294-8297 2006年9月 研究論文(学術雑誌)
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Numerical analysis of incident angle effects in reactive sputtering deposition of amorphous SiO2
M. Taguchi, S. Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45 No. 10 p. 8163-8167 2006年9月 研究論文(学術雑誌)
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プラズマの素過程とモデリング
浜口智志
第13回プラズマエレクトロニクス サマースクールテキスト 2006年8月
出版者・発行元:応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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High-m multiple tearing modes in tokamaks: MHD turbulence generation, interaction with the internal kink and sheared flows
A. Bierwage, S. Benkadda, M. Wakatani, S. Hamaguchi, Q. Yu
2006年8月
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Wild-derived XY sex-reversal mutants in the medaka, Oryzias latipes
Hiroyuki Otake, Ai Shinomiya, Masaru Matsuda, Satoshi Hamaguchi, Mitsuru Sakaizumi
GENETICS Vol. 173 No. 4 p. 2083-2090 2006年8月 研究論文(学術雑誌)
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Atomic-level simulation of non-equilibrium surface chemical reactions under plasma-wall interaction
S. Hamaguchi
Vol. 177 No. 1-2 SPEC. ISS. p. 108-109 2006年8月 研究論文(学術雑誌)
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Color reversion of the albino medaka fish associated with spontaneous somatic excision of the Tol-1 transposable element from the tyrosinase gene
Makiko Tsutsumi, Shuichiro Imai, Yoriko Kyono-Hamaguchi, Satoshi Hamaguchi, Akihiko Koga, Hiroshi Hori
PIGMENT CELL RESEARCH Vol. 19 No. 3 p. 243-247 2006年6月 研究論文(学術雑誌)
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Patterns Intermittent Transport and Universality in Convective Turbulence in Fusion Plasmas
S. Benkadda, P. Beyer, K. Takeda, X. Garbet, S. Hamaguchi, N. Bian
プラズマ・核融合学会年会予稿集 No. 23 p. 170-170 2006年6月
出版者・発行元:プラズマ・核融合学会
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Theory of breakdown phenomena in supercritical fluids
S. Hamaguchi
2006年5月
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RF barrier discharges on the liquid water surface
K. Kitano, H. Aoki, S. Hamaguchi
Proceedings of the 3rd International Workshop on Microplasmas (IWM2006) (ed. by G. Babucke, May 9-11, 2006, Greifswald, Germany)p.67 2006年5月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Fragment ions of methylsilane produced by hot tungsten wires
Satoru Yoshimura, Akinori Toh, Takuya Maeda, Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers Vol. 45 No. 3 A p. 1813-1815 2006年3月8日 研究論文(学術雑誌)
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Numerical analyses of subsurface reaction layers for reactive ion etching and sputtering deposition processes
S. Hamaguchi
2006年3月
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Fragment ions of methylsilane produced by hot tungsten wires
S. Yoshimura, A. Toh, T. Maeda, S. Sugimoto, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45 No. 3A p. 1813-1815 2006年3月 研究論文(学術雑誌)
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クロアワビとマダカアワビの類縁関係-I-遺伝学的アプローチ-
浜口昌巳, 佐々木美穂, 大橋智志, 堀井豊充
日本水産学会大会講演要旨集 Vol. 2006 2006年
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クロアワビとマダカアワビの類縁関係-II-形態学的アプローチ-
堀井豊充, 大橋智志, 浜口昌巳
日本水産学会大会講演要旨集 Vol. 2006 2006年
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生態系保全型増養殖システム確立のための種苗生産・放流技術の開発事業(暖流系アワビ類の遺伝的,形態的および生態的差異の特定と類縁関係の解明)
大橋智志, 岩永俊介, 藤井明彦, 桐山隆哉, 堀井豊充, 清本節夫, 浜口昌巳
長崎県総合水産試験場事業報告 Vol. 2005 2006年
-
有機高分子膜エッチングにおけるCN膜形成のMDシミュレーション II
山城昌志, 山田英明, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 67th No. 1 2006年
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有機ケイ素化合物の表面電離フラグメントイオンとタングステンワイヤの表面状態
豊島隆寛, 藤章至, 吉村智, 木内正人, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 53rd No. 1 2006年
-
エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴(in-vacuo ESR)法による観察 5
石川健治, 山崎雄一, 山崎聡, 森本幸裕, 陣内仏りん, 石川寧, 浜口智志, 寒川誠二
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 53rd No. 1 2006年
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Siトレンチ加工時の残さ発生のメカニズム解析
中村雄吾, 釘宮克久, 片平研, 牧田和明, 川瀬智人, 浜口智志, 上出幸洋, 辰巳哲也, 森田靖
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 53rd No. 1 2006年
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微結晶SiGe薄膜プラズマCVDおよび水素引き抜き反応の分子動力学シミュレーション
松隈正明, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 67th No. 1 2006年
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低エネルギーイオンビーム照射装置を用いた希ガスイオンによる金のスパッタ率の精密測定
日根清裕, 吉村智, 木内正人, 木内正人, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 47th 2006年
-
有機高分子膜エッチングにおけるCN膜形成のMDシミュレーション
山城昌志, 山田英明, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 53rd No. 1 2006年
-
イオンビーム蒸着法を用いたAu薄膜形成における結晶配向性のエネルギー依存性
滝沢敏史, 前田拓也, 木内正人, 木内正人, 吉村智, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 53rd No. 2 2006年
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低エネルギーCF3イオンビームによるSiO2のエッチング機構
滝澤敏史, 豊島隆寛, 木内正人, 木内正人, 吉村智, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 47th 2006年
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アワビ類初期生態解明のための種判別技術の開発
浜口昌巳, 佐々木美穂, 堀井豊充, 清本節夫, 大橋智志, 藤井明彦, 滝口直之, 橋本加奈子, 竹内泰介
水産総合研究センター研究報告 2006年
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Atomistic scale analyses of reactive ion etching and sputtering deposition processes by numerical simulations
S. Hamaguchi
2006年1月
-
Electrode voltage distribution analyses for large-area capacitively coupled plasmas based on transmission line models
M. Matsukuma, S. Hamaguchi
Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and the 23rd Symposium on Plasma Processing (January 24-27,2006, Matsushima/Sendai, Japan) 275-276 (2006). 2006年1月
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MD and MC simulations of amorphous SiO2 thin film formed by reactive sputtering deposition processes
M. Taguchi, S. Hamaguchi
Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and the 23rd Symposium on Plasma Processing (January 24-27,2006, Matsushima/Sendai, Japan) 103-104 (2006). 2006年1月
-
Molecular dynamics simulation analyses of surface damages during SiO2 selective etching processes,
T. Kawase, A. Ando, T. Tatsumi, S. Hamaguchi
Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and the 23rd Symposium on Plasma Processing (January 24-27,2006, Matsushima/Sendai, Japan) 89-90 (2006). 2006年1月
-
Investigation of RF-driven atmospheric-pressure plasmasin contact with liquid water
Katsuhisa Kitano, Hironori Aoki, Satoshi Hamaguchi
Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23th Symposium on Plasma Processing 2006年1月
-
Crystalline structure control of Au thin films in ion beam deposition processes
T. Takizawa, T. Maeda, S. Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23th Symposium on Plasma Processing 2006年1月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Fragment ions of methylsilane and dimethylsilane generated in tungsten-based catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) processes
S. Yoshimura, A. Toh, T. Maeda, S. Sugimoto, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23th Symposium on Plasma Processing 2006年1月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
-
Topography evolution of dielectric thin films on grating surfaces in Oblique Deposition by Multiple Sources (ODMS)
M. Taguchi, T. Kunisada, S. Kusaka, S. Hamaguchi
IEEE Trans. Plasma Sci Vol. 34 No. 4 I p. 1084-1093 2006年1月 研究論文(学術雑誌)
-
Gonadal development in XY sex-reversal mutants derived from wild populations of the medaka, Oryzias latipes
Hiroyuki Otake, Ai Shinomiya, Masaru Matsuda, Satoshi Hamaguchi, Mitsuru Sakaizumi
ZOOLOGICAL SCIENCE Vol. 22 No. 12 p. 1510-1510 2005年12月
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Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO2 sputtering yields by fluorocarbon beams
T. Kawase, S. Hamaguchi
Proceedings of the 5th International Symposium on Dry Process (November28-30, 2005, Jeju, Korea) 245-246 (2005). Vol. 515 No. 12 p. 4883-4886 2005年11月 研究論文(学術雑誌)
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Time evolution of electrode voltage distribution in large-area capacitively coupled plasmas
M. Matsukuma, S. Hamaguchi
Proceedings of the 5th International Symposium on Dry Process (November28-30, 2005, Jeju, Korea) 349-350 (2005). Vol. 515 No. 12 p. 5188-5192 2005年11月 研究論文(学術雑誌)
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MD simulation of amorphous SiO2 thin film formation in reactive sputter deposition processes,
M. Taguchi, S. Hamaguchi
Proceedings of the 5th International Symposium on Dry Process (November28-30,2005, Jeju, Korea) 243-244 (2005). Vol. 515 No. 12 p. 4879-4882 2005年11月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulation of plasma-surface interactions during dry etching processes
S. Hamaguchi, H. Yamada, M. Yamashiro
Proceedings of the 2005 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) Vol. 2005 p. 67-70 2005年9月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
出版者・発行元:Japan Society of Applied Physics, IEEE Electron Device Society,
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Atomistic modeling of etching and deposition processes via molecular dynamics simulations
S. Hamaguchi, H. Yamada, M. Yamashiro
Proceedings of the 2005 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (2005IMFEDK: April 11-13, 2005, Kyoto University Clock Tower Centennial Hall, Kyoto, Japan), 31-32 (2005). 2005年4月
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Atomisitic modeling of etching and deposition processes via molecular dynamics simulations
S. Hamaguchi, H. Yamada, M. Yamashiro
Proceedings of the 2005 International Meeting for Future of Electron Devices,Kanasai (2005IMFEDK) 2005年4月
出版者・発行元:IEEE EIC,2005
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Visualization of Interactions between Organic Polymer Surfaces and Ion beams obtained from Molecular Dynamics Simulations
H. Yamada, S. Hamaguchi
IEEE Trans. Plasma Sci. 33 (2) 246-247 Vol. 33 No. 2 I p. 246-247 2005年4月 研究論文(学術雑誌)
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Nusselt number scaling in tokamak plasma turbulence
K. Takeda, S. Benkadda, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Phys. Plasmas 12 (4) 052309-1 ~0523980-8 Vol. 12 No. 5 p. 1-8 2005年4月 研究論文(学術雑誌)
-
スパッタ成膜による薄膜の形状および非晶質膜質の数値解析予測
田口雅文, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 52nd No. 1 2005年
-
低エネルギーイオンビーム照射装置を用いた金の堆積率の精密測定
日根清裕, 吉村智, 前田拓也, 木内正人, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 46th 2005年
-
第2期魚介類種苗量産技術開発研究事業
大橋智志, 岩永俊介, 藤井明彦, 桐山隆哉, 堀井豊充, 清本節夫, 浜口昌巳
長崎県総合水産試験場事業報告 Vol. 2004 2005年
-
メチルシランおよびジメチルシランの表面解離フラグメントイオンの測定
藤章至, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 浜口智志
真空に関する連合講演会講演予稿集 Vol. 46th 2005年
-
CFxビームによるSiO2スパッタリングイールド角度依存性に関するMDシミュレーション解析
川瀬智人, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 66th No. 1 2005年
-
有機ケイ素化合物の表面電離フラグメントイオンの測定
藤章至, 前田拓也, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 66th No. 1 2005年
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暖流系アワビ類3種における着底基盤の設置方向および水深による浮遊幼生着底率の差異
大橋智志, 清本節夫, 堀井豊充, 浜口昌巳
日本水産学会大会講演要旨集 Vol. 2005 2005年
-
反応性スパッタ法による非晶質SiO2薄膜堆積プロセスのMDシミュレーション解析
田口雅文, 田口雅文, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 66th No. 1 2005年
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異なる温度の有機高分子基板-CH4ビーム間相互作用のMDシミュレーション
山城昌志, 山田英明, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 66th No. 1 2005年
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Study on Transport Regimes of Ion Temperature Gradient Driven Turbulence
K. Takeda, S. Benkadda, S. Hamaguchi, M. Wakatani
J. Plasma and Fusion Research SERIES 6, 570-572 2005年1月 研究論文(学術雑誌)
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Effects of Van der Waals interactions on SiO2 etching by CFx plasmas
H. Ohta, S. Hamaguchi
J. Plasma and Fusion Research SERIES 6, 399-401 2005年1月 研究論文(学術雑誌)
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Plasma Beam Irradiation into Organic Polymer Surfaces
H. Yamada, S. Hamaguchi
J. Plasma and Fusion Research SERIES 6, 402-405 2005年1月 研究論文(学術雑誌)
-
Molecular dynamics simulatin of low energy Au ion-beam deposition using the glue model
T. Takizawa, S. Hamaguchi, T. Fukuda, M. Kiuchi, K. Ito, H. Yamada
Proc. 22nd Symposium on Plasma Processing, Nagoya, Japan, 26-28 January, p.587-588 (2005) 2005年1月
-
Numerical analyses of surface interactions between radical beams and organic polymer surfaces
H. Yamada, S. Hamaguchi
Plasma Phys. Control. Fusion 47 A11-A18 Vol. 47 No. 5 A 2005年1月 研究論文(学術雑誌)
-
Plasma discharge in supercritical fluids
Satoshi Hamaguchi, Suresh C. Sharma
32nd EPS Conference on Plasma Physics 2005, EPS 2005, Held with the 8th International Workshop on Fast Ignition of Fusion Targets - Europhysics Conference Abstracts Vol. 3 p. 2298-2301 2005年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Nonlinear evolution of q=1 triple tearing modes in a tokamak plasma
A. Bierwage, S. Hamaguchi, M. Wakatani, S. Benkadda, X. Leoncini
Phy. Rev. Lett. 94(6), 065001-1~065001-4 Vol. 94 No. 6 p. 065001-065001 2005年1月 研究論文(学術雑誌)
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On Interatomic Potential Functions for Molecular Dynamics (MD) Simulations of Plasma-Wall Interactions
S. Hamaguchi, H. Ohta, H. Yamada
J. Plasma and Fusion Research 2004年12月 研究論文(学術雑誌)
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Mutations of the sex-determining gene DMY from wild populations of the medaka. Oryzias latipes
Hiroyuki Ohtake, Ai Shinomiya, Masaru Matsuda, Satoshi Hamaguchi, Mitsuru Sakaizumi
ZOOLOGICAL SCIENCE Vol. 21 No. 12 p. 1345-1345 2004年12月
-
Investigation of Interactions between Plasmas and Organic Polymer Surfaces using Molecular Dynamics Simulation
H. Yamada, S. Hamaguchi
Proceedings of the 21st Symposium on Plasma Processing(SPP-21)}, ed. by K. Ono, (Organizing Committee of SPP-21, Sapporo, 2004) p.214-215 2004年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Nonlinear Behavior of Resistive Pressure Driven Modes in Stellarator/Heliotron Plasmas with Vacuum Magnetic Islands
T. Unemura, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Phys. Plasmas 11, 1545-1551 Vol. 11 No. 4 p. 1545-1551 2004年12月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular-dynamics simulations of organic polymer etching by hydrocarbon beams
Hideaki Yamada, Satoshi Hamaguchi
Journal of Applied Physics Vol. 96 No. 11 p. 6147-6152 2004年12月1日 研究論文(学術雑誌)
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Onset of intermittent thermal transport by ion-temperature gradient (ITG)-driven turbulence based on a low-degree-of-freedom model
K. Takeda, S. Benkadda, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Phys. Plasmas 11(7), 3561-3571 Vol. 11 No. 7 p. 3561-3571 2004年12月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular dynamics simulations of organic polymer etching by hydrocarbon beams
H. Yamada, S. Hamaguchi
J. Appl. Phys. vol. 96, 6147 (2004). 2004年12月 研究論文(学術雑誌)
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Onset of intermittent thermal transport by ion-temperature-gradient-driven turbulence based on a low-degree-of-freedom model
K. Takeda, S. Benkadda, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Physics of Plasmas Vol. 11 No. 7 p. 3561-3571 2004年7月 研究論文(学術雑誌)
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Nonlinear behavior of resistive pressure driven modes in stellarator/heliotron plasmas with vacuum magnetic islands
T. Unemura, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Physics of Plasmas Vol. 11 No. 4 p. 1545-1551 2004年4月 研究論文(学術雑誌)
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(H,C,N)系原子間ポテンシアルを用いた有機ポリマーエッチングの分子動力学シミュレーション
山田英明, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 51st No. 1 2004年
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有機ポリマーエッチングおよび金属スパッタリングにおけるビーム表面相互作用
浜口智志, 山田英明, 伊藤憲司
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 65th No. 1 2004年
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プラズマの大規模シミュレーション
浜口智志
日本原子力研究所JAERI-Conf 2004年
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遺伝子解析識別技術を用いたクロアワビ,マダカアワビの資源特性に関する研究
大橋智志, 藤井明彦, 桐山隆哉, 堀井豊充, 浜口昌巳, 清本節夫
長崎県総合水産試験場事業報告 Vol. 2003 2004年
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CFxビームによるSiO2エッチングの数値計算による研究
太田裕朗, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 51st No. 1 2004年
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小特集:プラズマ応用技術におけるシミュレーション研究―はじめに
浜口智志
プラズマ・核融合学会誌 80, p.110-112 (2004) Vol. 80 No. 2 2004年1月
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シミュレーションによるプラズマ・システム構築
浜口智志
第14回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト 2003年12月
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Molecular Dynamics Simulation of Organic Polymer Etching
H. Yamada, S. Hamaguchi
Proceedings of International Symposium on Dry Process (DPS2003), Tokyo 2003 (The Institute of Electrical Engineers of Japan, Tokyo, 2003), 49-54 2003年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Relaxation time of strongly coupled Yukawa systems
T. Saigo, S. Hamaguchi
Proceedings of the 26th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXVI ICPIG) (ed. by J. Meichner, D. Loffhagen, and H. E. Wagner: XXVI ICPIG Committee, Greifswald, 2003) vol.1 pp.217-218 2003年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Molecular Dynamics simulation of polymer etching by H2 and N2 plasmas
H. Yamada, S. Hamaguchi
Proceedings of the 16th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC) (ed. by R. d'Agostino, P. Favia, F. Fracassi, F. Palumbo: Department of Chemistry, University of Bari, Institute of Inorganic Methodologies and Plasmas (IMIP), CNR Bari, 2003) pp. 209 2003年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Simulations of flattening processes on ion--bombarded silicon surfaces
T. Tani, S. Hamaguchi
Proceedings of the 20th Symposium on Plasma Processing (SPP-20)} (ed. by K. Ono: Organizing Committee of SPP-20, Kyoto, 2003) p.201-202 2003年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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MD simulations of (H,C,N) systems for investigation of plasma-polymer surface reaction mechanisms
H. Yamada, S. Hamaguchi
Proceedings of the 20th Symposium on Plasma Processing (SPP-20)} (ed. by K. Ono: Organizing Committee of SPP-20, Kyoto, 2003) p.191-192 2003年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Destabilization of nonlinear resistive wall mode due to suppression of poloidal rotation in a cylindrical tokamak
M. Sato, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Phys. Plasmas 10, 187-194 Vol. 10 No. 1 p. 187-194 2003年12月 研究論文(学術雑誌)
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Shear flow generation due to electromagnetic instabilities
M. Wakatani, M. Sato, N. Miyato, S. Hamaguchi
Nuclear Fusion 43(1), 63-67 Vol. 43 No. 1 p. 63-67 2003年12月 研究論文(学術雑誌)
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Masahiro Wakatani - Obituary
Hamaguchi S, Hasegawa A, Van Dam J
PHYSICS TODAY Vol. 56 No. 11 p. 91-92 2003年11月 研究論文(学術雑誌)
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Oxidation of cobalt(III)-sulfur-rich dithiolate complexes and spectroscopic and electrical properties of the oxidized species
Kazuya Kubo, Motohiro Nakano, Satoshi Hamaguchi, Gen Etsu Matsubayashi
Inorganica Chimica Acta Vol. 346 p. 43-48 2003年3月25日 研究論文(学術雑誌)
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中性気体圧力分布がアルゴンプラズマ分布に与える影響について
石渡寛隆, 浜口智志, 若谷誠宏
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 50th No. 1 2003年
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Si/SiO2へのCFビーム照射に対する表面緩和過程を含む分子動力学シミュレーション
太田裕朗, 浜口智志, 若谷誠宏, 山田英明
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 50th No. 1 2003年
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SiO2のCFxビームによるエッチング・堆積過程の分子間力を含んだMDシミュレーション
太田裕朗, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 64th No. 1 2003年
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H2/N2プラズマによるポリマーエッチングの分子動力学シミュレーション
山田英明, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 50th No. 1 2003年
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有機ポリマーエッチングの分子動力学シミュレーション
山田英明, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 64th No. 1 2003年
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ナノスケール表面反応モデリング
浜口智志
シリコンテクノロジー 2002年12月
出版者・発行元:社)応用物学会・シリコンテクノロジー分科会、東京
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強結合ダストプラズマ
浜口智志
プラズマ・核融合学会誌, 78(4), 313-319 Vol. 78 No. 4 p. 313-319 2002年12月
出版者・発行元:社団法人 プラズマ・核融合学会
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Interatomic potentials for MD simulation of polymer etching by N2/H2 and NH3 plasmas
H. Yamada, S. Hamaguchi
Proceedings of International Symposium on Dry Process (DPS2002), Tokyo 2002 : The Institute of Electrical Engineers of Japan, Tokyo, 2002), 189-194 2002年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Molecular Dynamics Simulation of Si and SiO2 Etching
S. Hamaguch
Proceedings of Joint Conference of ESCAMPIG16 and ICRP5, (ed. by N. Sadeghi and H. Sugai, European Physical Society and Japan Society of Applied Physics, Grenoble, 2002), Vol.II, pp.5-6 2002年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Shear viscosity of strongly coupled Yukawa systems
T. Saigo, S. Hamaguchi
Phys. Plasmas 9(4), 1210-1216 Vol. 9 No. 4 p. 1210-1216 2002年12月 研究論文(学術雑誌)
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Surface molecular dynamics of Si/SiO2 reactive ion etching
S. Hamaguchi, H. Ohta
Vacuum 66(3-4), 189-195 Vol. 66 No. 3-4 p. 189-195 2002年12月 研究論文(学術雑誌)
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Nonlinear behaviour of resistive drift-Alfven instabilities in a magnetized cylindrical plasma
N. Miyato, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Plasma Phys. Control. Fusion 44(8), 1689-1705 Vol. 44 No. 8 p. 1689-1705 2002年12月 研究論文(学術雑誌)
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Effect of poloidal shear flow on local flattening of density profile due to nonlinear resistive interchange mode
T. Unemura, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Plasma Phys. Control. Fusion 44(5A), A507-515 Vol. 44 No. 5 A p. 137-137 2002年12月
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会
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ELM-like behaviour generated by nonlinear ion-temperature-gradient-driven mode
K. Takeda, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Plasma Phys. Control. Fusion 44(5A), A487-494 Vol. 44 No. 5 A 2002年12月 研究論文(学術雑誌)
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Resistive drift-Alfvén instability in tokamak edge plasmas
N. Miyato, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Plasma Phys. Control. Fusion 44 No 5A A293-A298 Vol. 44 No. 5 A 2002年5月 研究論文(学術雑誌)
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CFxによるSiO2エッチングにおける表面反応の分子動力学シミュレーション
太田裕朗, 浜口智志, 若谷誠宏
分子動力学シンポジウム講演論文集 Vol. 7th 2002年
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プラズマエッチングにおける表面反応シミュレーションのための原子間ポテンシャルモデル
太田裕朗, 浜口智志, 若谷誠宏
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 63rd No. 1 2002年
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プロセスシミュレーション
浜口智志
第12回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト — プラズマCVDによる新材料プロセスとプラズマモニタリング・モデリングの最前線 2001年12月
出版者・発行元:(社)応用物理学会・プラズマエレクトロニクス分科会、東京
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IT革命とエネルギー問題
浜口智志
公開講座テキストNo. 6, 「21世紀のエネルギー科学 -新エネルギー・材料の創成-」 2001年12月
出版者・発行元:京都大学エネルギー科学研究科
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Fluid simulation of two-dimensional axially symmetric RF plasmas
H. Ishiwata, S. Hamaguchi
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p. 207-208 2001年12月
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反応性プラズマにおけるプラズマ表面相互作用シミュレーション
浜口智志
応用物理, 70(9), 1099-1103 Vol. 70 No. 9 p. 1099-1103 2001年12月
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会
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分子動力学法によるエッチング表面反応シミュレーション
浜口智志
プラズマ核融合学会誌, 77(12), 1221-1229 Vol. 77 No. 12 p. 1221-1229 2001年12月
出版者・発行元:プラズマ・核融合学会
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Waves in strongly-coupled classical one-component plasmas and Yukawa fluids
S. Hamaguchi, H. Ohta
Physica Scripta, T89, 127-129 Vol. 89 p. 127-129 2001年12月 研究論文(学術雑誌)
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Atomic-scale surface analysis of silicon etching by Cl/O plasmas
H. Ohta, S. Hamaguchi
Proceedings of International Symposium on Dry Process (DPS2001), Tokyo 2001 (The Institute of Electrical Engineers of Japan, Tokyo, 2001), 129-133 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Modeling of Surface Reactions for Silicon and Silicon Dioxide Etching Processes
S. Hamaguchi, H. Ohta
Proceedings of the First International Symposium on Advanced Fluid Information (Institute of Fluid Science, Tohoku University, Sendai, 2001) p206-207 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Numerical simulation of surface reaction dynamics for Si/SiO2 selective etching
S. Hamaguchi, H. Ohta
Extended Abstracts of International Symposium on Material Processing for Nanostructure Devices (MPND2001 Committee, Kyoto, 2001) p75-76 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Three dimensional model for plasma-induced charging in asymmetric microstructure
S. S. Kim, S. Hamaguchi
Proceedings of the 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXVICPIG) (ed. by T.~Goto: XXVICPIG Committee, Nagoya, 2001) pp.225-226 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Screening effects on shear viscosity in strongly coupled Yukawa systems
T. Saigo, S. Hamaguchi
Proceedings of the 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXVICPIG) (ed. by T.~Goto: XXVICPIG Committee, Nagoya, 2001) pp.53-54 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Finite--element drift--diffusion simulation of two-dimensional axisymmetric parallel plate Ar discharges
H. Ishiwata, S. Hamaguchi
Proceedings of the 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXVICPIG) (ed. by T.~Goto: XXVICPIG Committee, Nagoya, 2001) pp.209-210 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Surface reaction dynamics of Si/SiO2 selective etching for halogens
H. Ohta, S. Hamaguchi
Proceedings of the 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXVICPIG) (ed. by T.~Goto: XXVICPIG Committee, Nagoya, 2001) pp.159-160 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Molecular dynamics simulation of Si/SiO2 selective etching
S. Hamaguchi, H. Ohta
Proceedings of the 6th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2001) (ed. by E. Kusano: ISSP2001 Committee, Kanazawa, 2001) pp.85-89 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Molecular dynamics simulation of Si and SiO2 selective etching
S. Hamaguchi, H. Ohta
Proceedings of the 15th International Symposium on Plasma Chemistry (ed. by A. Bouchoule, J. M. Pouvesle, A. L. Thomann, J. M. Bauchire, and E. Robert:The Organization Committee of the 15th International Symposium on Plasma Chemistry, Orleans, 2001) Vol. V, 1701-1704 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Molecular dynamics simulations of Si and SiO2 reactive ion etching by halogens, in Semiconductor Technology
S. Hamaguchi, H. Ohta
by M. Yang: Proceeding of the 1st International Conference on Semiconductor Technology, The Electrochemical Society, Inc., New Jersey, 2001), vol. 2, 388-393 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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MD Simulation of Silicon and Silicon Dioxide Etching by Halogens: The Effect of Neutral Halogens on Etch Selectivities
H.Ohta, S. Hamaguchi
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p.~469-470 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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PIC/MCC simulation of a 2d axially symmetric dual-frequency RF plasma processing systems
S. Sunohara, S. Hamaguchi
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p. 209-210 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Shear Viscosity of Yukawa Systems: Influence of Coupling and Screening Effects in Fluid States
T. Saigo, S. Hamaguchi
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p.52-53 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Effect of Current on Resistive Drift-Alfven Instability in a Cylindrical Plasma
N. Miyato, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p. 47-48 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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The finite--element spectral method for three-dimensional reduced MHD equations
M. Yamamoto, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p.43-44 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Non-linear Saturation of Resistive Interchange Mode due to Flattening of Density Profile
T. Unemura, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p.41-42 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Low Order Dynamical Models for Ion Temperature Gradient (ITG) Mode
K. Takeda, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p. 39-40 Vol. 55 No. 0 p. 159-159 2001年12月
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会
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Nonlinear double tearing modes in negative shear tokamaks
M. Sato, S. Hamaguchi, W. Wakatani
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p. 15-16 Vol. 55 No. 0 p. 161-161 2001年12月
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会
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Reduction of growth rates of high-n ballooning modes due to sheared toroidal flows in tokamaks
M. Furukawa, Y. Nakamura, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 and the 18th Symposium on Plasma Processing (PSS-2001/SPP-18)} (ed. by N. Sato and H. Fujiyama: Organization Committee of PSS2001/SPP-18, Kyoto, 2001) p. 13-14 2001年12月 研究論文(その他学術会議資料等)
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Numerical investigation on plasma and poly-Si etching uniformity control over large area in a resonant inductively coupled plasma source
S. S. Kim, S. Hamaguchi, N. S. Yoon, C. S. Chang, Y. D. Lee, S. H. Ku
Phys. Plasmas 8, 1384-1394 Vol. 8 No. 4 p. 1384-1394 2001年12月 研究論文(学術雑誌)
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Classical interatomic potential functions for Si-O-F and Si-O-Cl systems
H. Ohta, S. Hamaguchi
J. Chem. Phys., 115, 6679-6690 Vol. 115 No. 14 p. 6679-6690 2001年12月 研究論文(学術雑誌)
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Molecular Dynamics Simulation of Silicon and Silicon Dioxide Etching by Energetic Halogen Beams
H. Ohta, S. Hamaguchi
J. Vac. Sci. Tech., A, 19(5), 2373-2381 Vol. 19 No. 5 p. 2373-2381 2001年12月 研究論文(学術雑誌)
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Nonlinear Double Tearing Mode in Negative Shear Cylindrical Tokamaks
M. Sato, S. Hamaguchi, M. Wakatani
J. Phys. Soc. Japan, 70(9), 2578-2587 Vol. 70 No. 9 p. 2578-2587 2001年12月 研究論文(学術雑誌)
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High-n ballooning instabilities in toroidally rotating tokamaks
M. Furukawa, Y. Nakamura, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Phys. Plasmas 8(11), 4889-4897 Vol. 8 No. 11 p. 4889-4897 2001年12月 研究論文(学術雑誌)
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Plasma current effects on unstable resistive drift-Alfven modes in a magnetized cylindrical plasma
Miyato N, Hamaguchi S, Wakatani M
JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN Vol. 70 No. 11 p. 3197-3200 2001年11月 研究論文(学術雑誌)
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サブサーフェスのモデリング・シミュレーション
浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 48th 2001年
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Si-O-F系およびSi-O-Cl系の原子間ポテンシャルを用いたMDシミュレーション
太田裕朗, 浜口智志
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol. 48th No. 1 2001年
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塩素/酸素を用いたシリコンの反応性イオンエッチングの分子動力学による研究
太田裕朗, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 62nd No. 1 2001年
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Modeling of reactive ion etching for Si/SiO2 systems
S Hamaguchi, H Ohta
SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES 2001 p. 170-173 2001年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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28aXH-6 二次元軸対称プロセスプラズマの流体シミュレーション
石渡 寛隆, 浜口 智志
日本物理学会講演概要集 Vol. 56 No. 0 p. 180-180 2001年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会
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Molecular dynamics evaluation of self diffusion in Yukawa systems
H. Ohta, S. Hamaguchi
Phys. Plasmas 7, 4506-4514 Vol. 7 No. 11 p. 4506-4514 2000年12月 研究論文(学術雑誌)
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Dynamical properties of strongly coupled dusty plasmas
S. Hamaguchi, H. Ohta
Frontiers in Dusty Plasmas (ed. by Y. Nakamura, T. Yokota, and P. K. Shukla: Elsevier Sci., 2000) 135-140 p. 135-140 2000年12月 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Resistive Drift-Alfven Instability in a Cylindrical Magnetized Plasma
N. Miyato, S. Hamaguchi, M. Wakatani
Contrib. Plasma Phys. 40, 362-367 Vol. 40 No. 3-4 p. 362-367 2000年12月 研究論文(学術雑誌)
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Resistive Drift-Alfven Instabilities in a Cylindrical Plasma
N. Miyato, S. Hamaguchi, M. Wakatani
J. Phys. Soc. Jpn. 69, 1401-1408 Vol. 69 No. 5 p. 1401-1408 2000年12月 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:
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Classical plasmas with Yukawa potentials
S. Hamaguchi, H. Ohta
J. Phys. IV France 10, Pr5-19-26 Vol. 10 No. 5 2000年12月 研究論文(学術雑誌)
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Tokamak equilibria with toroidal flows
M. Furukawa, Y. Nakamura, S. Hamaguchi, M. Wakatani
J. Plasma and Fusion Research, 76, 937-948 Vol. 76 No. 9 p. 937-948 2000年12月
出版者・発行元:プラズマ・核融合学会
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Wave dispersion relations in Yukawa fluids
H. Ohta, S. Hamaguchi
Phy. Rev. Lett. 84, 6026-6029 Vol. 84 No. 26 p. 6026-6029 2000年12月 研究論文(学術雑誌)
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イントロダクトリートーク-Feature Profile Evolutionのためのプラズマ物理化学とは-
浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 61st 2000年
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酸化シリコンのハロゲンによるエッチングのMDシミュレーション
太田裕朗, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 61st No. 1 2000年
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二次元軸対称二周波駆動型RFプラズマプロセシングシステムのPIC/MCCシミュレーション
春原聡, 浜口智志
応用物理学会学術講演会講演予稿集 Vol. 61st No. 1 2000年
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モデリング・シミュレーション
浜口智志
第6回プラズマエレクトロにクス・サマースクールテキスト 1999年12月
出版者・発行元:(社)応用物理学会・プラズマエレクトロニクス分科会
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Modeling of plasma processing
S. Hamaguch
IBM J. Res. Develop. 43, 199-215 1999年12月 研究論文(学術雑誌)
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Modeling and simulation methods for plasma processing
Hamaguchi S
IBM JOURNAL OF RESEARCH AND DEVELOPMENT Vol. 43 No. 1-2 p. 199-215 1999年4月 研究論文(学術雑誌)
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Strongly coupled Yukawa plasmasmodels for dusty plasmas and colloidal suspensions
Satoshi Hamaguchi
Plasmas & Ions 1999年 研究論文(学術雑誌)
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Strongly coupled Yukawa plasmas — models for dusty plasmas and colloidal suspensions
S. Hamaguchi
Plasmas & Ions Vol. 2 No. 2 p. 57-68 1999年1月 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Elsevier {BV}
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Static and dynamic properties of Yukawa systems
S Hamaguchi, H Ohta
INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GASES, VOL IV, PROCEEDINGS p. 133-134 1999年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Triple point of Yukawa systems
S. Hamaguchi, R. T. Farouki, D. H. E. Dubin
Phys. Rev. E 56, 4671-4682 Vol. 56 No. 4 p. 4671-4682 1997年12月 研究論文(学術雑誌)
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Numerical simulation of etching and deposition processes
S. Hamaguchi, A. A. Mayo, S. M. Rossnagel, D. E. Kotecki, K. R. Milkove, C. X. Wang, C. E. Farrell
Jpn. J. Appl. Phys. 36 4762-4768 Vol. 36 No. 7 p. 4762-4768 1997年12月 研究論文(学術雑誌)
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Across-wafer nonuniformity of long-throw sputter deposition
A. A. Mayo, S. Hamaguchi, J. H. Joo, S. M. Rossnagel
J. Vac. Sci. Tech. B 15, 1788-1793 Vol. 15 No. 5 p. 1788-1793 1997年12月 研究論文(学術雑誌)
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Electrostatic forces of plasma dust grains with position--dependent charges
S. Hamaguch
Comments Plasma Phys. Controlled Fusion 18, 95-101 1997年12月 研究論文(学術雑誌)
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Mathematical methods for thin film deposition simulations
S. Hamaguchi
Modeling of Film Deposition for Microelectronic Applications, ed. by S. M. Rossnagel and A. Ulman, (Academic Press, San Diego 1996), Thin Films, vol. 22, p. 81-115 Vol. 22 No. C p. 81-115 1996年12月 研究論文(学術雑誌)
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Ionized physical vapor deposition of Cu for high aspect ratio damascene trench fill applications
C. A. Nichols, S. M. Rossnagel, S. Hamaguchi
J. Vac. Sci. Tech. B 14, 3270-3275 Vol. 14 No. 5 p. 3270-3275 1996年12月 研究論文(学術雑誌)
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Phase diagram of Yukawa systems near the one-component-plasma limit revisited
S. Hamaguchi, R. T. Farouki, D. H. E. Dubin
J. Chem. Phys. 105 7641-7647 Vol. 105 No. 17 p. 7641-7647 1996年12月 研究論文(学術雑誌)
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Liner conformality in ionized magnetron sputter metal deposition processes
S. Hamaguchi, S. M. Rossnagel
J. Vac. Sci. Tech. B 14, 2603-2608 Vol. 14 No. 4 p. 2603-2608 1996年12月 研究論文(学術雑誌)
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Thin, high atomic weight refractory film deposition for diffusion barrier, adhesion layer and seed layer applications
S. M. Rossnagel, C. Nichols, S. Hamaguchi, D. Ruzic, R. Turkot
J. Vac. Sci. Tech. B 14, 1819-1827 Vol. 14 No. 3 p. 1819-1827 1996年12月 研究論文(学術雑誌)
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Simulations of trench--filling profiles under ionized magnetron sputter metal deposition
S. Hamaguchi, S. M. Rossnage
J. Vac. Sci. Tech. B, 13, 183-191 Vol. 13 No. 2 p. 183-191 1995年12月 研究論文(学術雑誌)
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Surface-topography simulations of ionized sputter metal deposition
S. Hamaguchi, S. M. Rossnagel
Materials Research Society Symposium - Proceedings Vol. 389 p. 113-117 1995年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Thermodynamics of strongly-coupled Yukawa systems near the OCP limit II. Molecular dynamics simulations
R. T. Farouki, S. Hamaguchi
J. Chem. Phys., 101, 9885-9893 Vol. 101 No. 11 p. 9885-9893 1994年12月 研究論文(学術雑誌)
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Thermodynamics of strongly-coupled Yukawa systems near the OCP limit I.~Derivation of the excess energy
S. Hamaguchi, R. T. Farouki
J. Chem. Phys., 101, 9876-9884 Vol. 101 No. 11 p. 9876-9884 1994年12月 研究論文(学術雑誌)
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Spline approximation of ``effective'' potentials under periodic boundary conditions
R. T. Farouki, S. Hamaguchi
J. Comp. Phys. 115, 276--287 Vol. 115 No. 2 p. 276-287 1994年12月 研究論文(学術雑誌)
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Plasma-particulate interactions in non--uniform plasmas with finite flows
S. Hamaguchi, R. T. Farouki
Phys. Plasmas, 1, 2110-2118 Vol. 1 No. 7 p. 2110-2118 1994年12月 研究論文(学術雑誌)
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Intrinsic and passivation-induced trench tapering during plasma etching
S. Hamaguchi, M. Dalvie
J. Electrochem. Soc., 141, 1964-1972 Vol. 141 No. 7 p. 1964-1972 1994年12月 研究論文(学術雑誌)
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The polarization force on a charged particulate in a non-uniform plasma
S. Hamaguchi, R. T. Farouki
Phys. Rev. E, 49, 4430-4441 Vol. 49 No. 5 p. 4430-4441 1994年12月 研究論文(学術雑誌)
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MICROPROFILE SIMULATIONS FOR PLASMA-ETCHING WITH SURFACE PASSIVATION
HAMAGUCHI S, DALVIE M
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS Vol. 12 No. 5 p. 2745-2753 1994年4月 研究論文(学術雑誌)
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SIMULATION OF SURFACE-TOPOGRAPHY EVOLUTION DURING PLASMA-ETCHING BY THE METHOD OF CHARACTERISTICS
ARNOLD JC, SAWIN HH, DALVIE M, HAMAGUCHI S
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS Vol. 12 No. 3 p. 620-635 1994年4月 研究論文(学術雑誌)
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Dynamics of charged particulates in plasmas
S. Hamaguchi, R. T. Farouki
IEEE International Conference on Plasma Science 1994年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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A shock-tracking algorithm for surface evolution under reactive-ion etching
S. Hamaguchi, M. Dalvie, R. T. Farouki, S. Sethuraman
J. Appl. Phys. 74, 5172-5184 Vol. 74 No. 8 p. 5172-5184 1993年12月 研究論文(学術雑誌)
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Thermal energy of the crystalline one-component plasma from dynamical simulations
R. T. Farouki, S. Hamaguchi
Phys. Rev. E 47, 4330-4336 Vol. 47 No. 6 p. 4330-4336 1993年12月 研究論文(学術雑誌)
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NEW FLUID MODEL FOR THE TURBULENT TRANSPORT DUE TO THE ION TEMPERATURE-GRADIENT
KIM CB, HORTON W, HAMAGUCHI S
PHYSICS OF FLUIDS B-PLASMA PHYSICS Vol. 5 No. 5 p. 1516-1522 1993年5月 研究論文(学術雑誌)
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ION-TEMPERATURE-GRADIENT-DRIVEN TRANSPORT IN A DENSITY MODIFICATION EXPERIMENT ON THE TOKAMAK FUSION TEST REACTOR - REPLY
HORTON W, LINDBERG D, KIM JY, DONG JQ, HAMMETT GW, SCOTT SD, ZARNSTORFF MC, HAMAGUCHI S
PHYSICS OF FLUIDS B-PLASMA PHYSICS Vol. 5 No. 3 p. 1034-1035 1993年3月 研究論文(学術雑誌)
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Ion temperature gradient driven transport in a density modification experiment on the Tokamak Fusion Test Reactor
W. Horton, D. Lindberg, J. Y. Kim, J. Q. Dong, Q. W. Hammet, S. D. Scott, M. C. Zarnstorff, S. Hamaguchi
Phys. Fluids B 4, 953-966 Vol. 4 No. 4 p. 953-966 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Dynamical N-body simulations of Coulomb scattering in plasma sheaths
R. T. Farouki, S. Hamaguchi, M. Dalvie, M. Surendra
Phys. Rev. A 46, 7815-7829 Vol. 46 No. 12 p. 7815-7829 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Self-consistent Monte-Carlo simulation of the cathode fall including treatment of negative glow electrons
M. Dalvie, S. Hamaguchi, R. T. Farouki
Phys. Rev. A 46, 1066-1077 Vol. 46 No. 2 p. 1066-1077 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Analysis of a kinematic model for ion transport in RF plasma sheaths
R. T. Farouki, S. Hamaguchi, M. Dalvie
Phys. Rev. A 45, 5913-5928 Vol. 45 No. 8 p. 5913-5928 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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The ponderomotive force and ion energy distribution in an RF sheath
S. Hamaguchi, R. T. Farouki, M. Dalvie
Phys. Rev. Lett. 68 44-47 Vol. 68 No. 1 p. 44-47 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Ion energetics in collisionless sheaths of RF process plasmas
S. Hamaguchi, R. T. Farouki, M. Dalvie
Phys. Fluids B 4, 2362-2367 Vol. 4 No. 7 p. 2362-2367 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Effects of sheared flows on ion temperature gradient driven turbulence
S. Hamaguchi, W. Horton
Phys. Fluids B 4, 319-328 Vol. 4 No. 2 p. 319-328 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Hydrodynamic analysis of electron motion in the cathode fall using a Monte Carlo simulation
M. Dalvie, S. Hamaguchi, R.T. Farouki, M. Surendra
J. Appl. Phys. 72, 2620-2631 Vol. 72 No. 7 p. 2620-2631 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Phase transitions of dense systems of charged ``dust'' grains in plasmas
R. T. Farouki, S. Hamaguchi
Appl. Phys. Lett. 61, 2973-2975 Vol. 61 No. 25 p. 2973-2975 1992年12月 研究論文(学術雑誌)
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Transition from resistive-g to eta_i driven turbulence in stellarator systems
B. G. Hong, W. Horton, S. Hamaguchi, M. Wakatani, M. Yagi, H. Sugama
Phys. Fluids B 3, 1638-1643 Vol. 3 No. 7 p. 1638-1643 1991年12月 研究論文(学術雑誌)
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Monte Carlo simulations of space-charge-limited ion transport through collisional plasma sheaths
R. T. Farouki, S. Hamaguchi, M. Dalvie
Phys. Rev. A 44, 2664-2681 Vol. 44 No. 4 p. 2664-2681 1991年12月 研究論文(学術雑誌)
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The Ion distribution function in a weakly collisional sheath
S. Hamaguchi, R. T. Farouki, M. Dalvie
Phys. Rev. A 44, 3804-3821 p. 137-138 1991年12月 研究論文(学術雑誌)
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Flux considerations in the coupling of Monte Carlo plasma sheath simulations with feature evolution models
M. Dalvie, R. T. Farouki, S. Hamaguchi
IEEE Trans. Electron Devices 39, 1090-1099 Vol. 39 No. 5 p. 1090-1099 1991年12月 研究論文(学術雑誌)
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ION DISTRIBUTION FUNCTION IN A WEAKLY COLLISIONAL SHEATH
HAMAGUCHI S, FAROUKI RT, DALVIE M
PHYSICAL REVIEW A Vol. 44 No. 6 p. 3804-3821 1991年9月 研究論文(学術雑誌)
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Flux integration in 2D vs. 3D feature evolution models of plasma processing
Manoj Dalvie, Rida T. Farouki, Satoshi Hamaguchi
1991年 研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Nonlinear behavior of magnetohydrodynamic modes near marginally stable state
N. Nakajima, S. Hamaguchi
Phys. Fluids B 2, 1184-1189 1990年12月 研究論文(学術雑誌)
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Wave particle power transfer in a steady state driven system
H. L. Berk, B. N. Breizman, S. Hamaguchi
Phys. Fluids B 2, 3212-3214 Vol. 2 No. 12 p. 3212-3214 1990年12月 研究論文(学術雑誌)
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Ion temperature gradient driven turbulence in the weak density gradient limit
S. Hamaguchi, W. Horton
Phys. Fluids B 2, 3040-3046 Vol. 2 No. 12 p. 3040-3046 1990年12月 研究論文(学術雑誌)
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Fluctuation spectrum and transport from ion temperature gradient driven modes in sheared magnetic fields
S. Hamaguchi, W. Horton
Phys. Fluids B 2, 1833-1851 Vol. 2 No. 8 p. 1833-1851 1990年12月 研究論文(学術雑誌)
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NONLINEAR BEHAVIOR OF MAGNETOHYDRODYNAMIC MODES NEAR MARGINALLY STABLE STATES .2. APPLICATION TO THE RESISTIVE FAST INTERCHANGE MODE
NAKAJIMA N, HAMAGUCHI S
PHYSICS OF FLUIDS B-PLASMA PHYSICS Vol. 2 No. 6 p. 1184-1189 1990年6月 研究論文(学術雑誌)
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Modelling of drift wave turbulence with a finite ion temperature gradient
S. Hamaguchi, W. Horton
Plasma Phys. Control. Fusion 34 No 2 203-233 Vol. 34 No. 2 p. 203-233 1990年2月 研究論文(学術雑誌)
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ηi-モードの非線形発展と径電場の効果
中島徳嘉, 浜口智志, HORTON W
プラズマ・核融合学会秋季講演会予稿集 Vol. 7th 1990年
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Theory of long-period magnetic pulsations
S. Hamaguchi, W. Grossmann
Courant Institute of Mathematical Sciences, MF-120 1989年12月
出版者・発行元:Courant Institute of Mathematical Sciences, MF-120
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Anomalous transport arising from nonlinear resistive pressure-driven modes in a plasma
S. Hamaguchi
Phys. Fluids B 1, 1416-1430 Vol. 1 No. 7 p. 1416-1430 1989年12月 研究論文(学術雑誌)
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Summary of very low-q discharges in Toriut tokamaks
H. Yamada, S. Hamaguchi, K. Hattori, Y. Kamada, M. Kikuchi, J. Morikawa, H. Nihei, Z. Yoshida, N. Inoue
核融合研究, 56, 341-354 Vol. 56 No. 5 p. 341-354 1986年12月 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:
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Selective acceleration of NBI-injected fast ion cyclotron wave in a tokomak plasma
Y. Murakami, K. Itami, S. Ishida, N. Suzuki, S. Hamaguchi, H. Yamada, H. Nihei, Morikawa, Z. Yoshida, N. Inoue
Jpn. J. Appl. Phys., 25, 1045-1047 Vol. 25 No. 7 p. 1045-1048 1986年12月 研究論文(学術雑誌)
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Helically assisted low-q tokamak with l = 2 helical winding
S. Hamaguchi, H. Yamada, Z. Yoshida, Y. Kamada, K. Hattori, N. Inoue, T. Uchida
Jpn. J. Appl. Phys., 23, 505-507 Vol. 23 No. 7 p. L505-L508 1984年12月 研究論文(学術雑誌)
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Shrinkage of a tokamak current channel by external ergodization
K. Hattori, Y. Seike, Z. Yoshida, S. Hamaguchi, H. Yamada, N. Suzuki, K. Itami, Y. Kamada, N. Inoue, T. Uchida
J. Nucl. Mater., 121, 368-373 Vol. 121 No. C p. 368-373 1984年12月 研究論文(学術雑誌)
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低q領域における破壊的不安定性の抑制
吉田善章, 岡野邦彦, 清家裕次郎, 伊丹潔, 鈴木信治, 山田弘司, 浜口智志, 井上信幸, 内田たい二郎
核融合研究 Vol. 49 No. 3 1983年