金属-ポリマー直接接合における大気圧プラズマジェットによる表面処理の効果

竹中 弘祐, 小鑓 亮輔, 重森 俊祥, 陣田 尭哉, 都甲 将, 内田 儀一郎, 節原 裕一

第42回プラズマプロセシング研究会, J:COMホルトホール大分　2025年1月28日　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma-catalyst-zeolite system for high-efficiency methanation

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

第25回微粒子プラズマ研究会 (WFPP25), 岐阜県 核融合科学研究所　2025年1月16日　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Droplet Behavior Analysis in Plasma in Plasma-Assisted Mist CVD

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

25th Workshop on Fine Particle Plasmas (WFPP25) and 45th Workshop on Plasma Frontiers, National Institute for Fusion Science, Toki, Gifu & Hybrid　2025年1月16日　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effect of Molecular Sieve Type on Methanation Reaction

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

第34回 日本MRS年次大会, 横浜市開港記念会館 他　2024年12月18日　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

amorphous In-Ga-Zn-Ox (a-IGZO) gap states and TFT stability

S. Nunomura, K. Takenaka, Y. Hayashi, H. Komatsu, S. Toko, H. Tampo, Y. Setsuhara

第34回 日本MRS年次大会, 横浜市開港記念会館 他　2024年12月18日　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Deposition of InGaZnO film using high power impulse magnetron sputtering

T. Nagata, K. Ota, K. Takenaka, Y. Setsuhara, T. Ohta.

The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024), Chitose Civic Culture Center, Hokkaido, Japan　2024年11月15日　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Evaluation of Stability and Electronic Gap States of Amorphous In-Ga-Zn-Ox Thin Film Transistors

K. Takenaka, S. Nunomura, Y. Hayashi, H. Komatsu, S. Toko, H. Tampo, Y. Setsuhara

The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024), Chitose Civic Culture Center, Hokkaido, Japan　2024年11月15日　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Formation of ZnWO4/WO3 Composite by RF Magnetron Sputtering

S. Kakuta, K. Takenaka, Y. Setsuhara, T. Okada

The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024), Chitose Civic Culture Center, Hokkaido, Japan　2024年11月15日　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマとモレキュラーシーブの併用による低温下高効率メタネーションの実現

都甲 将, 奥村 賢直, 鎌滝 邦弘, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第40回九州・山口プラズマ研究会, 長崎県 五島コンカナ王国　2024年11月2日　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Deposition of tin monoxide film using high-power impulse magnetron sputtering

Yuta Saito, Kazuya Ota, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Takayuki Ohta

The 10th International Symposium on Surface Science（ISSS-10）, Kitakyushu International Conference Center, Fukuoka, Japan　2024年10月20日　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-assisted methanation with molecular sieves

Susumu Toko Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, and Masakuni Ozawa

The 4th International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-4), Kokukaikan Business Forum, Tokyo, Japan　2024年10月3日　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-temperature Formation of High-Quality Amorphous Oxide Films via Plasma-assisted Reactive Sputtering

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara, Keisuke Ide, Toshio Kamiya

The 4th International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-4), Kokukaikan Business Forum, Tokyo, Japan　2024年10月3日　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた結晶性IGZOの成膜

永田 健人、太田 和哉、竹中 弘祐、節原 裕一、太田 貴之

2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会, 朱鷺メッセ他2会場＆ハイブリッド開催　2024年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援メタネーションにおけるモレキュラーシーブの役割

都甲 将、奥村 賢直、鎌滝 晋礼、竹中 弘祐、古閑 一憲、白谷 正治、節原 裕一

2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会, 朱鷺メッセ他2会場＆ハイブリッド開催　2024年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマを用いたCO2のメタン化におけるモレキュラーシーブの活用

都甲 将, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会, 東京都市大学世田谷キャンパス＆オンライン　2024年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性パルスDCスパッタリングを用いたa-IGZO薄膜の特性制御

竹中 弘祐、上田 拓海、都甲 将、江部 明憲、節原 裕一

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会, 東京都市大学世田谷キャンパス＆オンライン　2024年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Formation of amorphous gallium oxide thin film transistors using plasma-assisted reactive processes

Kosuke Takenaka, Hibiki Komatsu, Kazuya Ota, Susumu Toko, Keisuke Ide, Toshio Kamiya, Yuichi Setsuhara

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2024) / 17th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2024), 13th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-13), Nagoya University, Nagoya, Japan　2024年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-assisted mist chemical vapor deposition for formation of 3D nanostructured oxide thin films

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2024) / 17th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2024), 13th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-13), Nagoya University, Nagoya, Japan　2024年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

酸素原子の除去によるプラズマ触媒作用を用いたCO2還元反応の効率化

都甲 将, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第41回プラズマプロセシング研究会, 東京工業大学大岡山キャンパス　2024年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧非平衡プラズマジェットを用いた表面処理による金属-ポリマー直接接合

竹中 弘祐, 小鑓 亮輔, 重森 俊祥, 陣田 尭哉, 中本 壮太郞, 都甲 将, 内田 儀一郎, 節原 裕一

第41回プラズマプロセシング研究会, 東京工業大学大岡山キャンパス　2024年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Improved efficiency of CO2 reduction reaction using plasma catalysis by removal of oxygen atoms

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, and Y. Setsuhara

41th Symposium on Plasma Processing, Tokyo Institute of Technology　2024年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Catalytic ability of Cu and Ni in methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023, Kyoto International Conference Center, Kyoto, Japan　2023年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Non-thermal atmospheric pressure plasma technology for advanced dissimilar-materials joining: enhancing metal joining with organic materials

K. Takenaka, R. Machida, T. Bono, A. Jinda, S. Nakamoto, R. Koyari, S. Toko, G. Uchida, Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023, Kyoto International Conference Center, Kyoto, Japan　2023年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Experimental study on the effect of plasma-catalyst interaction on methanation reaction

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, and Y. Setsuhara

97th IUVSTA Workshop on plasma-assisted conversion of gases for a sustainable future, Cerklje na Gorenjskem, Slovenia　2023年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Catalytic ability of Cu and Ni in methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, and Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023, Kyoto International Conference Center　2023年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Fabrication of amorphous gallium oxide thin film transistors by plasma-assisted reactive processes

K. Takenaka, T. Komatsu, S. Toko, Y. Setsuhara

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023), Winc Aichi, Nagoya, Japan　2023年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Synergistic Effects of Molecular Sieves and Plasma for CO2 Methanation

Yuichi Setsuhara, Susumu Toko, Kosuke Takenaka, Masatomo Hattori

The 3rd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-3), International Conference Center, Waseda University, Tokyo, Japan　2023年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Plasma Processing Technology for Low-temperature Formation of High Quality Functional Thin Films

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara, Keisuke Ide, Toshio Kamiya

The 3rd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-3), International Conference Center, Waseda University, Tokyo, Japan　2023年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマを用いたCO2の水素還元における選択性の制御

都甲 将、奥村 賢直、鎌滝 晋礼、竹中 弘祐、古閑 一憲、白谷 正治、節原 裕一

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会, 熊本城ホール他3会場＆ハイブリッド開催　2023年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧非平衡RFプラズマジェット照射が金属-有機材料異材直接接合に与える影響

竹中 弘祐、中本 壮太郞、小鑓 亮輔、都甲 将、内田 儀一郎、節原 裕一

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会, 熊本城ホール他3会場＆ハイブリッド開催　2023年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Formation of Ga-based amorphous oxide thin film transistors using plasma-assisted reactive processes

Kosuke Takenaka, Hibiki Komatsu, Susumu, Toko, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

25th International Symposium on Plasma Chemistry（ISPC25）, Miyako Messe、Kyoto, Japan　2023年5月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

大気圧非平衡プラズマジェットを用いた有機材料－金属異材接合技術の開発

竹中 弘祐, 中本 壮太郞, 小鑓 亮輔, 都甲 将, 内田 儀一郎, 節原 裕一

2023年第70回応用物理学会春季学術講演会, 上智大学四谷キャンパス＋オンライン　2023年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性スパッタリングによるアモルファス酸化ガリウム薄膜形成

竹中 弘祐, 小松 響, 藤村 知輝, 都甲 将, 井手 啓介, 江部 明憲, 神谷 利夫, 節原 裕一

2023年第70回応用物理学会春季学術講演会, 上智大学四谷キャンパス＋オンライン　2023年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Droplet-Vaporization Behavior Analysis in Plasma for Fabrication of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films by Plasma-assisted Mist CVD

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2023) / 16th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2023), Gifu University, Gifu, Japan　2023年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Plasma Assisted Reactive Process for Uniform Formation of High Mobility Oxide Semiconductor Thin Film Transistors over Large Areas

Kosuke Takenaka, Tomoki Yoshitani, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM2022), Centennial Hall of Kyushu University. Kyushu, Japan　2023年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Estimation of the excited CO density in plasma contributing to CO2 methanation by optical emission spectroscopy

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

AFM2023, 福岡県福岡市 九大医学部 百年記念講堂　2023年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Improvement of energy efficiency for CO2 decomposition using molecular capture catalysts

Susumu Toko, Taiki Hasegawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

第32回日本MRS年次大会 (MRS-J2021), 産業貿易センター（横浜）　2022年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

MRS-J 2022, 神奈川県横浜市 産業貿易センタービル　2022年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Plasma-Assisted Reactive Process for Large-Area Uniform Formation of High Mobility IGZO Thin-Film Transistors

K. Takenaka, T. Yoshitani, G. Uchida, A. Ebe, Y. Setsuhara

The 43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022), Osaka International Convention Center, (Osaka, Japan) & Online　2022年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援反応性プロセスを用いた機能性薄膜の低温形成

竹中 弘祐, 都甲 将, 内田 儀一郎, 江部 明徳、節原 裕一

第38回九州・山口プラズマ研究会, 指宿白水館　2022年11月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effect of H2O capture in methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

DPS2022, オンライン　2022年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ触媒作用によるメタネーションにおけるH2O吸着の効果

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

第38回九州山口プラズマ研究会, 鹿児島県指宿市 指宿白水館　2022年11月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Development Plasma Processing Technology for Low-temperature Formation of High Quality Functional Thin Films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Keisuke Ide, Toshio Kamiya

The 6th International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2022) & The 2nd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-2), Senri Life Science Center, Osaka, Japan　2022年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Virus Inactivation Technology with Integration of Atmospheric Pressure and Low Temperature Plasma Generation Control and Environmental Catalyst Technology

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Susumu Toko, and Masatomo Hattori

The 6th International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2022) & The 2nd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-2), Senri Life Science Center, Osaka, Japan　2022年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Haseagawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)/2022 Gaseous Electronics Conference (GEC 2022)/40th Symposium on Plasma Processing (SPP-40)/35th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM35), Sendai International Center, Sendai, Japan　2022年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Films Transistors Fabricated with Plasma-Assisted Reactive Processes

Yuichi Setsuhara, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)/2022 Gaseous Electronics Conference (GEC 2022)/40th Symposium on Plasma Processing (SPP-40)/35th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM35), Sendai International Center, Sendai, Japan　2022年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

11th International Conference on Reactive Plasmas/ 2022 Gaseous Electronics Conference/ 40 th Symposium on Plasma Processing/ 35th Symposium on Plasma Science for Materials, オンライン　2022年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションのためのゼロ次元シミュレーション

都甲 将, 長谷川 大樹, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会, 東北大学川内キャンパス＆ハイブリッド開催　2022年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

反応性プラズマプロセスを用いた高性能IGZO薄膜トランジスタの低温形成

竹中 弘祐, 林 祐仁, 都甲 将, 江部 明憲, 節原 裕一

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会, 東北大学川内キャンパス＆ハイブリッド開催　2022年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援ミストCVDによる３次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成に向けたプラズマ中の液滴蒸発挙動の解析

竹中 弘祐, 都甲 将, 節原 裕一

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会, 東北大学川内キャンパス＆ハイブリッド開催　2022年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションのためのゼロ次元シミュレーション

都甲 将, 長谷川 大樹, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第83回秋季応用物理学会, オンライン　2022年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ触媒作用を用いた低温下メタネーションプロセスの開発

都甲 将, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

2022年度 放電学会シンポジウム 「カーボンニュートラルの研究動向」, オンライン　2022年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションにおける振動回転励起CO分子の役割

都甲 将, 出口 雅志, 長谷川 大樹, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第69回春季応用物理学会, オンライン　2022年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションにおける振動回転励起CO分子の役割

都甲 将、出口 雅志、長谷川 大樹、奥村 賢直、鎌滝 晋礼、竹中 弘祐、古閑 一憲、白谷 正治、節原 裕一

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会, ハイブリッド開催(青山学院大学相模原キャンパス＋オンライン)　2022年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

高移動度IGZO薄膜トランジスタの大面積均一形成に向けたプラズマ支援反応性プロセスの開発

竹中 弘祐、吉谷 友希、都甲 将、内田 儀一郎、江部 明憲、節原 裕一

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会, ハイブリッド開催(青山学院大学相模原キャンパス＋オンライン)　2022年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ触媒を用いたCO2メタン化のためのプラズマシミュレーション

都甲 将, 出口 雅志, 長谷川 大樹, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

The 39-th Symposium on Plasma Processing/ The 34-th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP-39/SPSM34), オンライン　2022年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

大気圧RFプラズマジェットを用いた異材接合プロセスの開発

陣田 尭哉, 中本 壮太郞, 都甲 将, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 節原 裕一

The 39-th Symposium on Plasma Processing/The 34-th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP-39/SPSM34), Web会議　2022年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援反応プロセスで作成されたIGZO薄膜トランジスタの特性評価

林 祐仁, 小松 響, 都甲 将, 竹中 弘祐, 江部 明憲, 節原 裕一

The 39-th Symposium on Plasma Processing/The 34-th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP-39/SPSM34), Web会議　2022年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ触媒を用いたCO2メタン化のためのプラズマシミュレーション

都甲 将、出口 雅志、長谷川 大樹、鎌滝 晋礼、竹中 弘祐、古閑 一憲、白谷 正治、節原 裕一

The 39-th Symposium on Plasma Processing/The 34-th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP-39/SPSM34), Web会議　2022年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Improvement of energy cost in methanation of CO2 with plasma catalysis

S. Toko, M. Ideguchi, T. Haseagawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Materials Research Meeting 2021 (MRM2021), Web会議　2021年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Energy utilization efficiency in CO2 methanation with plasma catalysis

S. Toko, M. Ideguchi, T. Hasegawa, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021), Web会議　2021年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effect of process conditions on characteristics of InGaZnO thin-film transistors fabricated with plasma-assisted reactive process

K. Takenaka, H. Hirayama, Y. Hayashi, H. Komatsu, G. Uchida, A. Ebe, Y. Setsuhara

The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021), Web会議　2021年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ触媒反応において触媒が二酸化炭素リサイクリングのエネルギーコストに与える影響

都甲 将, 出口 雅志, 長谷川 大樹, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第82回秋季応用物理学会, オンライン　2021年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma-Enhanced Reactive Processes for Low-Temperature Fabrication of High-Mobility Oxide Thin Film Transistors

Kosuke Takenaka, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

INTERFINISH2020 20th World Congress, Web会議　2021年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ触媒反応において触媒が二酸化炭素リサイクリングのエネルギーコストに与える影響

都甲 将、出口 雅志、長谷川 大樹、鎌滝 晋礼、竹中 弘祐、古閑 一憲、白谷 正治、節原 裕一

2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会, Web会議　2021年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成(IV)

竹中 弘祐, 平山 裕之, 藤村 知輝, 林 祐仁, 内田 儀一郎, 江部 明憲, 節原 裕一

2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会, Web会議　2021年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成(II)

竹中 弘祐, 平山 裕之, 藤村 知輝, 林 祐仁, 内田 儀一郎, 江部 明憲, 節原 裕一

2021年第68回応用物理学会春季学術講演会, Web会議　2021年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of post-plasma annealing processing on performance on IGZO TFTs

Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Tomoki Fujimura, Yuji Hayashi, Akinori Ebe, and Yuichi Setsuhara

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2021) / 14th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2021), Web Conference　2021年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援反応性プロセスで作製されたIGZO薄膜トランジスタの特性に対するポストプロセス温度の影響

竹中 弘祐, 平山 裕之, 藤村 知輝, 林 祐仁, 内田 儀一郎, 江部 明憲, 節原 裕一

第38回プラズマプロセシング研究会(SPP-38)/第33回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM33), Web会議　2021年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成(II)

節原 裕一, 竹中 弘祐, 平山 裕之, 内田 儀一郎, 江部 明憲

第67回応用物理学会春季学術講演会, 東京　2020年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of post-processing temperature on performance of IGZO TFTs fabricated with plasma-enhanced reactive processes

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2020) / 13th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2020), Nagoya, Japan　2020年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-assisted Reactive Process for Fabrication of High Mobility IGZO Thin Film Transistor at Low-Temperature

Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, and Yuichi Setsuhara

Materials Researchmeeting 2019, Yokohama, Japan　2019年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Formation of amorphous oxide thin films using plasma-assisted reactive sputter deposition

Hiroyuki Hirayama, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development Satellite (iLIM-s), Nagoya, Japan　2019年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effect of hydrogen plasma treatment for ultra-wide bandgap amorphous oxide semiconductor, amorphous Ga-O

Keisuke Ide, Yurika Kasai, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Atsushi Hiraiwa, Hiroshi Kawarada, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Toshio Kamiya

4th International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-4), Sendai, Japan　2019年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Plasma Surface Modification Technique towards Application of Polymers to Biomaterials

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka

4th International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-4), Sendai, Japan　2019年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of low-temperature plasma process for formation of functional thin films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Keisuke Ide, and Toshio Kamiya

4th International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-4), Sendai, Japan　2019年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援ミストCVDにおけるプラズマ中の液滴蒸発挙動（II）

竹中 弘祐, 節原 裕一

第80回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道大学　2019年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成

節原 裕一, 竹中 弘祐, 平山 裕之, 遠藤 雅, 内田 儀一郎, 江部 明憲

第80回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道大学　2019年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Applications of plasma-treated amino acid water for killing cancer cells

Giichiro Uchida, Jun-ichiro Ikeda, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019), Jeju, Korea　2019年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Enhanced Reactivity-Control Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin-Film Transistors

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019), Jeju, Korea　2019年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Droplet-vaporization behavior in vacuum during plasma-assisted mist chemical vapor deposition

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

XXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), Sapporo, Hokkaido, Japan　2019年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-assisted reactive processes for low-temperature fabrication of high-mobility InGaZnOx TFTs

Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Horoyuki Hirayama, Tomoki Yoshitani, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

XXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), Sapporo, Hokkaido, Japan　2019年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of liquid properties on plasma-induced liquid flow

Keisuke Nishida, Makoto Kawaguchi, Yuka Hazama, Giichiro Uchida, Fumiaki Mitsugi, Nozomi Takeuchi, Kosuke Takenaka, Kazunari Koga, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Toshiyuki Kawasaki

XXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), Sapporo, Hokkaido, Japan　2019年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of surrounding gas on plasma-induced liquid flow

Toshiyuki Kawasaki, Keisuke Nishida, Makoto Kawaguchi, Yuka Hazama, Giichiro Uchida, Fumiaki Mitsugi, Nozomi Takeuchi, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani

XXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), Sapporo, Hokkaido, Japan　2019年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Gate-bias instability of amorphous In-Ga-Zn-Ox thin-film transistors fabricated by plasma-assisted reactive processes

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2019) / 12th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2019), Nagoya Institute of Technology, Nagoya, Japan　2019年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援ミストCVDにおけるプラズマ中の液滴蒸発挙動

竹中 弘祐, 節原 裕一

第６６回応用物理学会春季学術講演会, 東京工業大学 大岡山キャンパス　2019年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性プロセスを用いた大面積基板へのIGZO薄膜トランジスタの形成

節原 裕一, 竹中 弘祐, 吉谷 友希, 平山 裕之, 遠藤 雅, 内田 儀一郎, 江部 明憲

第６６回応用物理学会春季学術講演会, 東京工業大学 大岡山キャンパス　2019年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Gate-bias instability of Amorphous InGaZnOx Thin-film Transistors Prepared with Plasma-assisted Reactive Processes

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

第36回 プラズマプロセシング研究会/第31回 プラズマ材料科学シンポジウム, 高知城ホール　2019年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Positive-current-bias Instability of Post-deposition Plasma-treated IGZO TFTs Prepared with Plasma-assisted Reactive Sputtering

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara

第28回日本MRS年次大会, 西日本総合展示場 他　2018年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ接触照射で作製したプラズマ活性培養液のがん細胞殺傷効果

内田 儀一郎, 池田 純一郎, 鈴木 天翔, 竹中 弘祐, 節原 裕一

第35回プラズマ核融合学会年会, 大阪大学吹田キャンパス　2018年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Gate-bias instability of post-deposition plasma treated amorphous InGaZnOx thin-film transistors prepared with plasma-assisted reactive magnetron sputtering

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, and Giichiro Uchida

40th International Symposium on Dry Process (DPS2018), Nagoya University, Nagoya　2018年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Low-Temperature Plasma Process for Nitride and Oxide Functional Films Formation

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara, Takeru Okada

The 15th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2018), Sendai, Miyagi, Japan　2018年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ誘起流のPIV法による定量解析－照射距離が与える影響－

川口 諒, 西田 佳祐, 間 結夏, 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 節原 裕一, 白谷 正治, 川崎 敏之

平成30年度（第71回）電気・情報関係学会九州支部連合大会, 大分大学 旦野原キャンパス　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ誘起流のPIV法による定量解析－酸素添加の影響－

間 結夏, 川口 諒, 西田 佳祐, 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 節原 裕一, 白谷 正治, 川崎 敏之

平成30年度（第71回）電気・情報関係学会九州支部連合大会, 大分大学 旦野原キャンパス　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ誘起流のPIV法による定量解析－水質の影響－

西田 佳祐, 川口 諒, 間 結夏, 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 節原 裕一, 白谷 正治, 川崎 敏之

平成30年度（第71回）電気・情報関係学会九州支部連合大会, 大分大学 旦野原キャンパス　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Device characteristics of rare-earth doped amorphous oxide semiconductors

Toshio Kamiya, Kosuke Ide, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Atsushi Hiraiwa, H. Kawarada, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono

3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3), Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of base pressure on optoelectronic properties of amorphous In-Ga-Zn-O

Keisuke Ide, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Atsushi Hiraiwa, Hiroshi Kawarada, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Toshio Kamiya

3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3), Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of functionalization techniques of organic material surfaces for functional materials

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida

3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3), Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of low-temperature plasma process for formation of functional thin films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Keisuke Ide, and Toshio Kamiya

3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3), Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

様々なプラズマ照射条件で作製されたプラズマ活性培養液のがん細胞殺傷効果

内田 儀一郎, 池田 純一郎, 鈴木 天翔, 竹中 弘祐, 節原 裕一

第79回応用物理学会秋季学術講演会, 名古屋国際会議場、愛知　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成（III）

竹中 弘祐、遠藤 雅, 吉谷 友希、内田 儀一郎、節原 裕一

第79回応用物理学会秋季学術講演会, 名古屋国際会議場、愛知　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

ICP-Assisted Reactive Sputter Deposition and Plasma-Enhanced Annealing Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility In-Ga-Zn-O Thin-Film Transistors

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

16th International Conference on Plasma Surface Engineering, Congress Center, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマジェット照射が誘起する液体流に雰囲気ガスが与える影響

川崎 敏之, 川口 諒, 西田 佳祐, 間 結夏, 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 節原 裕一, 白谷 正治

第42回静電気学会全国大会, 東京工業大学大岡山キャンパス　2018年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

非平衡プラズマジェットと水溶液中アミノ酸との相互作用に関する研究

内田 儀一郎, 美濃 祐資, 鈴木 天翔, 竹中 弘祐, 節原 裕一

第６５回応用物理学会春季学術講演会,　2018年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性パルスDCスパッタリングによるC軸配向窒化アルミニウム薄膜の形成

竹中 弘祐, 吉谷 友希, 内田 儀一郎, 節原 裕一

第６５回応用物理学会春季学術講演会,　2018年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性プロセスを用いた高移動度IGZO薄膜の低温形成

節原 裕一, 遠藤 雅, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 江部 明憲

第６５回応用物理学会春季学術講演会,　2018年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Analysis of amino acids in plasma-activated water with mass spectrometer

Giichiro Uchida, Yusuke Mino, Tensho Suzuki, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018) / 11th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2018), Meijo University, Nagoya, Japan　2018年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-temperature fabrication of high-performance IGZO thin film transistor using plasma-assisted reactive processes

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara, and Akinori Ebe

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018) / 11th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2018), Meijo University, Nagoya, Japan　2018年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

機能性材料創成に向けたプラズマプロセス

竹中 弘祐

第２６回 プラズマ医療 サイエンスの扉／第２６回 サイエンスカフェ－プラズマ医療－, 名古屋大学　2017年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Development of a 60 MHz nonthermal plasma jet and selective production of reactive oxygen and nitrogen species in the plasma treated water

Giichiro Uchida, Yusuke Mino, Tensho Suzuki, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

第27回日本MRS年次大会, 横浜市開港記念館 他　2017年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Oxidation and decomposition of amino acids in water induced by plasma irradiation

Yusuke Mino, Giichiro Uchida, Tensho Suzuki, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

第27回日本MRS年次大会, 横浜市開港記念館 他　2017年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Fabrication of High Mobility IGZO Thin Film Transistor at Low Temperature using Plasma-assisted Reactive Processes

Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara, and Akinori Ebe

第27回日本MRS年次大会, 横浜市開港記念館 他　2017年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Development of plasma-assisted reactive sputtering processes for functional thin films formation

Kosuke Takenaka, Yoshiki Yoshitani, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

第27回日本MRS年次大会, 横浜市開港記念館 他　2017年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

非平衡プラズマジェット照射溶液中のアミノ酸成分に関する液体クロマトグラフ質量分析

内田 儀一郎、美濃 祐資、竹中 弘祐、節原 裕一

Plasma Conference 2017, 姫路商工会議所　2017年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

誘導結合プラズマ支援反応性DCパルススパッタリングを用いた窒化アルミニウム薄膜の堆積

竹中 弘祐、内田 儀一郎、節原 裕一

Plasma Conference 2017, 姫路商工会議所　2017年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Formation of c-axis Orientated AlN Films Using ICP-enhanced Reactive DC-pulsed Sputtering

Kosuke Takenaka, Yoshikatsu Satake, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

39th International Symposium on Dry Process (DPS2017), Tokyo, Japan　2017年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistors Using ICP-Enhanced Reactive Plasma Processes

Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

39th International Symposium on Dry Process (DPS2017), Tokyo, Japan　2017年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of film microstructures on operation characteristics of amorphous In-Ga-Zn-O thin-film transistors

Keisuke Ide, Masato Ota, Takayoshi Katase, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Atsushi Hiraiwa, Hiroshi Kawarada, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Toshio Kamiya

International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2017 (ICMaSS2017) in conjunction with 2nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinaryand International Researcher Development (iLIM-2), Nagoya, Japan　2017年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Functionalization of Organic Material Surfaces for Development of Functional Materials

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida

International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2017 (ICMaSS2017) in conjunction with 2nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinaryand International Researcher Development (iLIM-2), Nagoya, Japan　2017年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Low-Temperature Plasma Process for High Quality Functional Films Formation

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Keisuke Ide, Toshio Kamiya

International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2017 (ICMaSS2017) in conjunction with 2nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinaryand International Researcher Development (iLIM-2), Nagoya, Japan　2017年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Advanced Plasma Processing for Formation of Functional Thin Films

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Keisuke Ide, Toshio Kamiya, Yuichi Setsuhara

International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2017 (ICMaSS2017) in conjunction with 2nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinaryand International Researcher Development (iLIM-2), Nagoya, Japan　2017年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成（II）

節原 裕一、遠藤 雅、竹中 弘祐、内田 儀一郎、江部 明憲

第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター、福岡　2017年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

長尺高周波非平衡プラズマジェットの開発

内田 儀一郎、伊藤 泰喜、竹中 弘祐、節原 裕一

第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター、福岡　2017年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援パルスDCマグネトロンスパッタリングによる結晶化窒化アルミニウム薄膜の低温形成

竹中 弘祐、佐竹 義旦、内田 儀一郎、節原 裕一

第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター、福岡　2017年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Development of an atmospheric pressure very-high-frequency plasma jet

Giichiro Uchida, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, Yuichi Setsuhara

The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2017), Jeju, Republic of Korea　2017年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistors for Flexible Electrinics with ICP-Enhanced Reactive Plasma Processes

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2017), Jeju, Republic of Korea　2017年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Irradiation of a nonequilibrium plasma jettoliquidwaterwith amino acids

Giichiro Uchida, Yusuke Mino, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

IUMRS The15th Intesrnational Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017), Kyoto, Japan　2017年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

非平衡プラズマジェット照射による溶液中RNS 生成におけるアミノ酸の寄与

内田 儀一郎, 伊藤 泰喜, 美濃 裕資, 竹中 弘祐, 節原 裕一

第６４回応用物理学会春季学術講演会, 横浜　2017年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成

節原 裕一, 遠藤 雅, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 江部 明憲

第６４回応用物理学会春季学術講演会, 横浜　2017年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性スパッタ製膜による窒化アルミニウム薄膜の形成

竹中 弘祐, 佐竹 義旦, 内田 儀一郎, 節原 裕一

第６４回応用物理学会春季学術講演会, 横浜　2017年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Deposition of AlN films using ICP-enhanced reactive DC-pulsed sputtering

Kosuke Takenaka, Yoshikatsu Satake, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2017) / 10th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2017), Nagoya, Japan　2017年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Measurements of the ROS and RNS in liquid treated by a nonthermal plasma jet

Giichiro Uchida, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, and Yuichi Setsuhara

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2017) / 10th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2017), Nagoya, Japan　2017年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

ROS and RNS Production in Liquid under the Various Plasma Irradiation Conditions

Giichiro Uchida, Taiki Ito, Yusuke Mino, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, and Yuichi Setsuhara

International Conference on Plasma Medical Science Innovation (ICPMSI) 2017, Nagoya, Japan　2017年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Formation of High-mobility IGZO Thin Film Transistors Using ICP-enhanced Reactive Sputter Deposition

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, and Akinori Ebe

第34回プラズマプロセシング研究会(SPP34), 第29回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM29), 北海道　2017年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Selective Production of H2O2 and NO2- in Cell Culture Medium Exposed to Nonthermal Plasma Jet

Giichiro Uchida, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, and Yuichi Setsuhara

第34回プラズマプロセシング研究会(SPP34), 第29回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM29), 北海道　2017年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

The effects of nonthermal plasma irradiation on the surface of liquid and its effects on ROS and RNS generations in bulk solution

Giichiro Uchida, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, and Yuichi Setsuhara

第26回日本MRS年次大会, 横浜　2016年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Evaluation of H2O2 and NO2- concentrations in plasma activated liquid produced under various plasma-jet conditions

Taiki Ito, Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, and Yuichi Setsuhara

第26回日本MRS年次大会, 横浜　2016年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Properties of AlN thin films deposited with plasma-enhanced reactive DC-pulsed sputtering

Yoshikatsu Satake, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara

第26回日本MRS年次大会, 横浜　2016年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Combinatorial analysis of a-IGZO film properties deposited with ICP-enhanced reactive sputtering

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara, and Akinori Ebe

第26回日本MRS年次大会, 横浜　2016年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Combinatorial characterization of a-IGZO film properties deposited with ICP-enhanced reactive sputtering

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

38th International Symposium on Dry Process (DPS2016), Hokkaido, Japan　2016年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Influence of Mist Size on Surface Structure of ZnO Films Deposited with Plasma Assisted Mist Chemical Vapor Deposition

Kosuke TAKENAKA, Giichiro UCHIDA, Yuichi SETSUHARA

The International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2016), Osaka, Japan　2016年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Plasma Processing Technology for Low-Temperature Formation of High Quality Functional Films

Kosuke TAKENAKA, Yuichi SETSUHARA, Giichiro UCHIDA, Keisuke IDE, Toshio KAMIYA

The 1st International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-1), Osaka, Japan　2016年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Interactions with Organic Materials for Low-Temperature Processing of Engineering Polymers and Biomolecules

Kosuke TAKENAKA, Giichiro UCHIDA, Yuichi SETSUHARA

The 1st International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-1), Osaka, Japan　2016年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Control of ROS and RNS productions in liquid in atmospheric pressure plasma-jet system

Giichiro Uchida, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, Yuichi Setsuhara

69th Annual Gaseous Electronics Conference, Bochum, Germany　2016年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Dynamical-Behavior Characterization of Atmospheric-Pressure Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jets for Control of Reactive Oxygen and Nitrogen Species in Liquid

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Taiki Ito, Kosuke Takenaka

15th International Conference on Plasma Surface Engineering,　2016年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

周辺ガス制御型大気圧Heプラズマジェット照射による純水中RNS/ROS濃度比制御

伊藤 泰喜, 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 池田 純一郎, 節原 裕一

第77回応用物理学会学術講演会,　2016年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧プラズマジェット照射による培地中ROS，RNS生成制御

内田 儀一郎, 伊藤 泰喜, 竹中 弘祐, 池田 純一郎, 節原 裕一

第77回応用物理学会学術講演会,　2016年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマを重畳した反応性パルススパッタリングによる窒化物薄膜の低温形成

竹中 弘祐, 佐竹 義旦, 内田 儀一郎, 節原 裕一

第77回応用物理学会学術講演会,　2016年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of plasma-irradiation distance on ROS and RNS productions in liquid

G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka, T. Kawasaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6),　2016年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of surrounding gas flow on ROS and RNS productions in non-thermal plasma-jet system

Y. Setsuhara, G. Uchida, T. Ito, A. Nakajima, K. Takenaka, J. Ikeda

6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6),　2016年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Spatio-temporal behaviors of atmospheric-pressure dielectric barrier discharge plasma jets for reactive interactions with materials

Y. Setsuhara, G. Uchida, A. Nakajima, K. Kawabata, K. Takenaka

International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC’2016),　2016年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Spatio‐temporal behaviors of atmospheric‐pressure plasma jets for investigation of reactive‐species production in liquid

Y. Setsuhara, A. Nakajima, G. Uchida, T. Ito, K. Takenaka, J. Ikeda

43rd IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS 2016), Banff, Canada　2016年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

周辺雰囲気ガス制御型プラズマジェット照射による溶液中活性酸素･窒素種生成

内田 儀一郎, 中島 厚, 伊藤 泰喜, 竹中 弘祐, 節原 裕一

第63回応用物理学会春季学術講演会, 東京　2016年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性スパッタリングを用いたアモルファスIGZO薄膜トランジスタの低温形成

節原 裕一, 中田 慶太郎, 佐竹 義且, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 江部 明憲

第63回応用物理学会春季学術講演会, 東京　2016年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Electrical discharge characteristics of atmospheric plasma jets

Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2016) / 9th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2016), Nagoya, Japan　2016年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition of a-IGZO Films for Thin Film Transistor Applications

Yuichi Setsuhara, Keitaro Nakata, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) /28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28), Nagasaki, Japan　2015年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Assisted Mist CVD for Formation of Textured ZnO Films : Effect of Mists on Surface Structure of ZnO Films

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) /28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28), Nagasaki, Japan　2015年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Control of discharge characteristics of a plasma jet by ambient gas-flow conditions

Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

第25回日本MRS年次大会, 横浜　2015年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of plasma-irradiation distance on oxidation reaction in liquid induced by He/O2 plasma-jet irradiation

Atsushi Nakajima, Giichiro Uchida, Toshiyuki Kawasaki, Kazunori Koga, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

第25回日本MRS年次大会, 横浜　2015年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Reaction controllability of a-IGZO films deposited with plasma-enhanced reactive sputtering

Keitaro Nakata, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe

第25回日本MRS年次大会, 横浜　2015年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effect of Mists on Surface Structure of ZnO Films Deposited with Plasma-Assisted Mist CVD

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara

第25回日本MRS年次大会, 横浜　2015年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Gas flow rate dependence of the production of reactive oxygen species in liquid by a plasma-jet irradiation

Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Toshiyuki Kawasaki, Kazunori Koga, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68), Hawaii, USA　2015年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge characteristics in atmospheric plasma jets produced in various gas flow patterns

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68), Hawaii, USA　2015年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

ICP-Enhanced Sputter Deposition for Reactivity Control and Low-Temperature Formation of a-IGZO Films

Yuichi Setsuhara, Keitaro Nakata, Yoshikatsu Satake, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68), Hawaii, USA　2015年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition of Zinc Oxide Films for Flexible Electronics

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68), Hawaii, USA　2015年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Dynamical Characterizations of Atmospheric-Pressure Plasma Jets as Evaluation Protocols for Plasma Medicine

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka

The 21st Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Material, Yangyang, Korea　2015年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

非平衡プラズマジェットの動的放電特性

内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 川崎 敏之, 古閑 一憲, 白谷 正治

第21回 プラズマ新領域研究会 『プラズマ流の可視化』, 大阪　2015年10月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of discharge voltage waveform on discharge characteristics in a helium atmospheric plasma jet

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

The 10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015), Jeju, Korea　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge characteristics of a helium atmospheric plasma jet impinging onto the liquid surface

Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani

The 10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015), Jeju, Korea　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature Formation of a-IGZO TFTs with ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Keitaro Nakata, Giichiro Uchida, and Akinori Ebe

The 10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015), Jeju, Korea　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Atmospheric-Pressure-Plasma Assisted Mist CVD of Zinc Oxide Films

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara

The 10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015), Jeju, Korea　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ医療装置に求められている要素と世界動向

節原 裕一, 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝

第76回応用物理学会学術講演会, 名古屋　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

液面に入射するプラズマジェットの放電特性

内田 儀一郎, 中島 厚, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第76回応用物理学会学術講演会, 名古屋　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧He/O2プラズマジェット照射による液中活性酸素種生成に及ぼすガス流パターンの効果

中島 厚, 内田 儀一郎, 川崎 敏之, 古閑 一憲, Thapanut Sarinont, 天野 孝昭, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 節原 裕一

第76回応用物理学会学術講演会, 名古屋　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援ミスト化学気相堆積におけるミストが製膜形状に与える影響

竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 節原 裕一

第76回応用物理学会学術講演会, 名古屋　2015年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧非平衡プラズマと液面の相互作用の可視化

内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 節原 裕一

平成27年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会, 仙台　2015年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Formation of Thin Film Transistor using a-IGZO Channels Deposited by Plasma-Enhanced Reactive Sputtering

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Yutaro Suyama, Yuichiro Nakata, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

The 5th International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials and the 51st Summer Symposium on Powder Technology(ICCCI2015), Kurashiki, Japan　2015年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature Growth of Zinc Oxide Films by Atmospheric-Pressure Plasma-Assisted Mist CVD

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

The 5th International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials and the 51st Summer Symposium on Powder Technology(ICCCI2015), Kurashiki, Japan　2015年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

A Investigation of Metal Nanocluster Structure and Electronic Property

Tomonaga Ueno, T. Morishita, M. Mizushita, Nagahiro Saito, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida

The 6th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials (AMDI-6), Tokyo, Japan　2015年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-damage plasma processing technology for fabrication of advanced catalyst

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Tomonaga Ueno, Nagahiro Saito

The 6th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials (AMDI-6), Tokyo, Japan　2015年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of reactivity controlled low-temperature plasma processing for fabrication of flexible devices

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Toshio Kamiya

The 6th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials (AMDI-6), Tokyo, Japan　2015年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援反応性スパッタ製膜プロセスによるIGZO薄膜デバイス低温形成

節原 裕一, 陶山 悠太郎, 中田 慶太郎, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 江部 明憲

第27回酸化物半導体討論会, 東京　2015年5月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧非平衡プラズマ照射による液中ラジカル生成の制御

内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 節原 裕一

応用物理学会九州支部 特別講演会, 福岡　2015年4月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Discharge characteristics of atmospheric RF plasma jet

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015) / 8th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2015), Nagoya, Japan　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma interactions with organic materials in liquid through gas/liquid interface via atmospheric-pressure plasma

Kosuke Takenaka, Kazufumi Kawabata, Atsushi Nakajima, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015) / 8th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2015), Nagoya, Japan　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Deposition of zinc oxide films with atmospheric-pressure plasma-assisted mist CVD

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015) / 8th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2015), Nagoya, Japan　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-temperature formation of a-IGZO films with ICP-enhanced reactive sputter deposition

Yuichi Setsuhara, Yutaro Sutama, Keitaro Nakata, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015) / 8th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2015), Nagoya, Japan　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma/biomolecules interaction in liquid as fundamental processes in plasma medicine

Kosuke Takenaka, Kazufumi Kawabata, Atsushi Nakajima, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

The 2nd International Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015), Nagoya, Japan　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Influence of voltage pulse width on discharge characteristics in dbd plasma jet

Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

The 2nd International Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015), Nagoya, Japan　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Spatial and temporal properties of atmospheric-pressure dbd plasma jet

Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

The 2nd International Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015), Nagoya, Japan　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

大気圧プラズマジェット放電特性に及ぼす放電電圧パルス幅の効果

内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 川端 一史, 節原 裕一

第62回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

気液界面を介した大気圧非平衡プラズマ照射が液体中のアミノ酸へ与える影響

竹中 弘祐、内田 儀一郎、川端 一史、中島 厚、阿部 浩也、節原 裕一

第62回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いたアモルファスIGZO薄膜の低温形成とその特性評価

節原 裕一、陶山 悠太郎、中田 慶太郎、竹中 弘祐、内田 儀一郎、江部 明憲

第62回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川　2015年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

液面に入射するプラズマジェットの放電特性と動的挙動

内田儀一郎, 中島厚, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 76th　2015年

Spatio-temporal behaviors of atmospheric-pressure discharges

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

The 20th Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The 7th Workshop on NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials, Sapporo, Japan　2015年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Formation of Zinc Oxide Films Deposited by Plasma-Assisted Mist CVD for Transparent Conducting Oxide Application

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

2015 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells, Fukuoka, Japan　2015年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge characteristics of atmospheric pressure plasma jet operated under various gas conditions

Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

第24回日本MRS年次大会, 横浜　2014年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Dynamic Properties of Atmospheric Pressure Plasma Jet for Plasma Medicine

Kazufumi Kawabata, Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

第24回日本MRS年次大会, 横浜　2014年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Process Control of ICP-Enhanced Reactive Sputtering Deposition for Fabrication of IGZO TFT

Yutaro Suyama, Keitaro Nakata, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

第24回日本MRS年次大会, 横浜　2014年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma Interactions with Mist in Atmospheric-Pressure Plasma Irradiation

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

第24回日本MRS年次大会, 横浜　2014年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Frequency Dependence of Atmospheric-Pressure Discharge Generation

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

2014 MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, USA　2014年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Spatial and Temporal Characteristics of Atmospheric-Pressure Plasma Jet

Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

2014 MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, USA　2014年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Deposition of Zinc Oxide Film Using Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium Plasma

Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

The International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW 2014), Osaka, Japan　2014年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Process Controllability of ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition for Low-Temperature Formation of IGZO TFT

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe

36th International Symposium on Dry Process (DPS2014), YOKOHAMA, Japan　2014年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effect of Plasma Excitation Frequency on the Discharge Characteristics of Atmospheric Plasma Jet

Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

Plasma Conference 2014, 新潟　2014年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Deposition of Oxide Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Yutaro Suyama, Soichiro Osaki, Akinori Ebe

Plasma Conference 2014, 新潟　2014年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of low-damage plasma processing technology for advanced catalyst fabrication

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Tomonaga Ueno, Nagahiro Saito

The 5th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials, Tokyo, Japan　2014年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of low-temperature reactivity controlled process for flexible device fabrication

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Toshio Kamiya

The 5th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials, Tokyo, Japan　2014年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

ミストプラズマCVDを用いた透明導電酸化物薄膜の形成

竹中 弘祐、節原 裕一

平成26年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会, 仙台　2014年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧高周波放電プラズマの動的特性

内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 川端 一史, 節原 裕一

第75回応用物理学会学術講演会, 札幌　2014年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

気液界面を介した大気圧非平衡プラズマと生体分子との相互作用

竹中 弘祐、川端 一史、宮崎 敦史、阿部 浩也、内田 儀一郎、節原 裕一

第75回応用物理学会学術講演会, 札幌　2014年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

大気圧プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜の形成に向けたプラズマ/ミスト相互作用の解析

竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 節原 裕一

第75回応用物理学会学術講演会, 札幌　2014年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Discharge Characteristics and Interaction with Soft Materials in Vacuum, Air and Liquid

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka

14th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2014年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge Properties and Radical-Generation Chracteristics in DBD Plasma Jet

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Kazufumi Kawabata, Atsushi Miyazaki, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

14th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2014年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge Characteristics and Radical Generation in Dielectric Barrier Discharge

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Kazufumi Kawabata, Atsushi Miyazaki, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

14th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2014年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature Formation of a-IGZO Films by ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition

Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Yutaro Suyama, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida

International Union of Materials Research Societies-The IUMRS International Conference in Asia 2014, Fukuoka, Japan　2014年8月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Interactions with Biological Molecules in Atmospheric-Pressure Plasma Irradiation through Gas/Liquid Interface

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

International Union of Materials Research Societies-The IUMRS International Conference in Asia 2014, Fukuoka, Japan　2014年8月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Temporal Behavior of Reactive Particle Production in DBD Plasma Jet

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Kazufumi Kawabata, Atsushi Miyazaki, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Yuichi Setsuhara

International Union of Materials Research Societies-The IUMRS International Conference in Asia 2014, Fukuoka, Japan　2014年8月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge Characteristics and Dynamics of Atmospheric Pressure Plasmas for Plasma Medicine

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Kosuke Takenaka

19th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & 6th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials, Gunsan, Korea　2014年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

低ダメージプロセスに向けたプラズマ技術－フレキシブルデバイスからプラズマ医療－

節原 裕一, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎

日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第138回定例研究会, 大阪　2014年6月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Interactions of Atmospheric Pressure Non-equilibrium-Plasma with Organic Materials through Gas/Liquid Interface

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

5th International Conference on Plasma Medicine (ICPM5), Nara, Japan　2014年5月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Characteristics of Reactive Particle Production in Atmospheric Pressure DBD Plasma Jet

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

5th International Conference on Plasma Medicine (ICPM5), Nara, Japan　2014年5月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Interactions with Soft Materials in Air and Liquid

Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Masaru Hori

5th International Conference on Plasma Medicine (ICPM5), Nara, Japan　2014年5月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

RF plasma sources for PECVD and soft-material processes

Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes, Seoul, South Korea　2014年4月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Irradiation Effects on Properties of ZnO Films Prepared with Plasma-Assisted Mist-CVD

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014), Nagoya, Japan　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Molecular Structural Change of Soft Materials via Irradiation with Atmospheric-Pressure Plasma Jet for Plasma Medicine

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014), Nagoya, Japan　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Spatial profiles of emission spectra from atmospheric-pressure plasma jet for plasma medicine

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara, Masaru Hori

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014), Nagoya, Japan　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of gas-mixing structure on discharge properties of atmospheric-pressure plasma jet for plasma medicine

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, and Yuichi Setsuhara

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014), Nagoya, Japan　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Properties of ICP-Enhanced Reactive Sputter Discharge for Formation of Advanced Semiconductor Films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Soichiro Osaki, Yutaro Sutama, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014), Nagoya, Japan　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

大気圧誘電体バリア放電プラズマジェットにおける反応性粒子生成挙動 - 放電周波数に対する効果 -

内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 宮崎 敦史, 川端 一史, 節原 裕一, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝

第61回応用物理学会春季学術講演会, 東京　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

気液界面を介した大気圧非平衡プラズマと液体中有機物との相互作用

竹中 弘祐、宮崎 敦史、川端 一史、内田 儀一郎、阿部 浩也、節原 裕一

第61回応用物理学会春季学術講演会, 東京　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御性

節原 裕一、竹中 弘祐、大崎 創一郎、陶山 悠太郎、大谷 浩史、金井 厚毅、江部 明憲

第61回応用物理学会春季学術講演会, 東京　2014年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Properties of ZnO Film Deposited by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31), Fukuoka, Japan　2014年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition Process for Low-Temperature Formation of Semiconductor Films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai, and Soichiro Osaki

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31), Fukuoka, Japan　2014年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Molecular-Structure Variation of Soft Material Irradiated with Atmospheric-Pressure Plasma Jet

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31), Fukuoka, Japan　2014年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Optical Emission Characteristics of Atmospheric-Pressure Plasma Jet for Plasma Biomedicine

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara, and Masaru Hori

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31), Fukuoka, Japan　2014年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge Characteristics of Plasma Jet Operated in Gas-Mixture System for Plasma Biomedicine

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, and Yuichi Setsuhara

International workshop on control of fluctuation of plasma processes, Fukuoka, Japan　2014年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Pressure Dependence of Carbon Film Deposition Using H-assisted Plasma CVD

Xiao Dong, Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Makoto Sekine, and Masaru Hori

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31), Fukuoka, Japan　2014年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Advanced reactive sputter deposition system enhanced with ICPs driven by new type of low--inductance antenna modules

Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2013), Las Vegas, USA　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Surface Structure Analysis of Zinc Oxide Thin films Deposited by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition

Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

第23回日本MRS年次大会, 横浜　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Control Capability of ICP-Enhanced Reactive Sputtering System with Inner Type Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Hirofumi Otani, Atsuki Kanai, Kosuke Takenaka, and Akinori Ebe

第23回日本MRS年次大会, 横浜　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Variation of Molecular Structure of Bio-molecules after Atmospheric-Pressure Plasma Irradiation

Kosuke Takenaka, Atushi Miyazaki, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

第23回日本MRS年次大会, 横浜　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Basic characteristics of atmospheric-pressure dielectric barrier discharge plasma jet for biomedical applications (I)

Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Atushi Miyazaki, Kosuke Takenaka

第23回日本MRS年次大会, 横浜　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Basic characteristics of atmospheric-pressure dielectric barrier discharge plasma jet for biomedical applications (II)

Giichiro Uchida, Atushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Takayoshi Tsutsumi, Keigo Tekeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

第23回日本MRS年次大会, 横浜　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Low-Temperature and Low-Damage Plasma Processing of Inorganic/Organic Hybrid Structure for Fabrication of Electronics on Polymers

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

The 4th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials, Nagoya, Japan　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Processing of Functional Oxide Material for Creations of Rare Metal-Free Catalyst

Kosuke Takenaka, Tomonaga Ueno, Nagahiro Saito, Yuichi Setsuhara

The 4th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials, Nagoya, Japan　2013年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Atmospheric-Pressure Gas-Breakdown Characteristics with RF and UHF Voltage for Plasma Medicine

Giichiro Uchida, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013), Busan, Korea　2013年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

DC-Voltage Gas-Breakdown Characteristics at Atmospheric Pressure for Plasma Medicine

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara

International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013), Busan, Korea　2013年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Properties of Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet for Plasma Medicine

Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara

International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013), Busan, Korea　2013年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Interaction with Soft Materials in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Hiroya Abe, and Yuichi Setsuhara

International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013), Busan, Korea　2013年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Atmospheric-Pressure Plasma Interaction with Soft Materials as Fundamental Processes in Plasma Medicine

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara

International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013), Busan, Korea　2013年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Deposition of Textured Zinc Oxide Thin films Using Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

International Symposium on Interfacial Joining and Surface Technology (IJST2013), Osaka, Japan　2013年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Formation of Textured Zinc Oxide Thin films by Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26), 福岡　2013年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Controllability of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition Process with ICPs Sustained by Multiple Inner Type Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Soishiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26), 福岡　2013年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Yuichi Setsuhara

第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26), 福岡　2013年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Yuichi Setsuhara

第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26), 福岡　2013年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma Interactions with Biological Molecules in Aqueous Solution

Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, Masaru Hori

2013 JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan　2013年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援ミストCVDによる微小凹凸構造を有した酸化亜鉛薄膜形成

竹中 弘祐, 節原 裕一

第74回応用物理学会学術講演会, 京都　2013年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御

節原 裕一、竹中 弘祐、大谷 浩史、金井 厚毅、大崎 創一郎、江部 明憲

第74回応用物理学会学術講演会, 京都　2013年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition Processes for Low-Temperature Formation of IGZO TFT

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

35th International Symposium on Dry Process (DPS2013), Jeju, Korea　2013年8月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition with New Type of Low-Inductance Antenna Modules for High-Rate and Large-Area Deposition of Functional Films

Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013), Jeju, Korea　2013年8月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Degradation of methylene blue in aqueous solution via plasma exposure through gas/liquid interface

Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Yuichi Setsuhara

The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12), The third Asia-Europe Physics Summit (ASEPS3), Chiba, Japan　2013年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition for Formation of Textured Zinc Oxide Thin films

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

1st Japan-Taiwan workshop on Materials Design and Joining, Osaka, Japan　2013年5月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ医療の基礎過程としての気液界面を介したプラズマと液体中有機物との相互作用

竹中 弘祐、節原 裕一

第60回応用物理学関係連合講演会, 厚木　2013年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御性

節原 裕一、竹中 弘祐、大谷 浩史、金井 厚毅、江部 明憲

第60回応用物理学関係連合講演会, 厚木　2013年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Designing Plasma-Enhanced Magnetron Sputtering with Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

The 6th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2013), Gifu, Japan　2013年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Biomaterials Interaction Analysis as a Basis of Fundamental Processes in Plasma Medicine

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

5rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013), Nagoya, Japan　2013年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

ICP-Enhanced Reactive Sputtering with Multiple Inner Type Low-Inductance Antenna Modules for Large-Area Formation of Thin Film Devices

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, and Akinori Ebe

5rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013), Nagoya, Japan　2013年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Surface Structure Control of ZnO Films by Plasma-Assisted Mist-CVD

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

5rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013), Nagoya, Japan　2013年2月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

表面ナノ構造を制御した酸化物セラミックス薄膜の低温・高速形成技術の開発

竹中 弘祐

財団法人日本板硝子材料工学助成会成果報告書 Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering report　No. 34　p. 134-138　2013年

Plasma Interactions with Organic Materials in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine

Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Yuichi Setsuhara

第30回プラズマプロセシング研究会, 浜松　2013年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Structure Control of ZnO Film Surface Using Plasma-Assisted Mist CVD

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

第30回プラズマプロセシング研究会, 浜松　2013年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Low-Temperature Formation of Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofimi Ohtani, Akinori Ebe

第30回プラズマプロセシング研究会, 浜松　2013年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma-Assisted Mist CVD for Formation of Zinc Oxide Film as Transparent Conducting Oxide

Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

The International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2012), Osaka, Japan　2012年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of ICP-Enhanced Reactive Sputtering System with Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Large-Area Deposition of Silicon Films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, and Akinori Ebe

34th International symposium on Dry Process, Tokyo, Japan　2012年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Inductively Coupled Plasma-Assisted Mist CVD for Low Temperature and High Rate Deposition of ZnO Films

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

34th International symposium on Dry Process, Tokyo, Japan　2012年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Water Plasma Interactions in Solution

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka

First International Symposium on Advanced Water Science and Technology (ISAWST-1), Aichi, Japan　2012年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援ミストCVDを用いた酸化亜鉛薄膜の低温・高速形成

竹中 弘祐、節原 裕一

第28回九州・山口プラズマ研究会, 大分　2012年11月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Nano-Surface Plasma Processing of Functional Oxide Materials for Development of Rare Metal-Free Catalyst

Kosuke Takenaka, Tomonaga Ueno, Nobuyuki Zettsu, Nagahiro Saito, Yuichi Setsuhara

5th International Symposium on Designing, Processing and Properties of Advanced Engineering Materials (ISAEM-2012) and Advanced Materials Development and Integration of Novel Structural Metallic and Inorganic Materials, Aichi, Japan　2012年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature and Low-Damage Plasma Processing of Inorganic/Organic Hybrid Materials for Development of Flexible Electronics

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

5th International Symposium on Designing, Processing and Properties of Advanced Engineering Materials (ISAEM-2012) and Advanced Materials Development and Integration of Novel Structural Metallic and Inorganic Materials, Aichi, Japan　2012年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Control Capabilities of Reactive Sputter Deposition Process via ICPs Driven by Low-Inductance Antenna for Large-Area Formation of Thin Film Devices

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

65th Annual Gaseous Electronics Conference, Texas, USA　2012年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Process Control Capabilities Of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition With New Type Of Low-Inductance-Antenna Driven ICP For Large-Area Formation Of Semiconductor Films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Akinori Ebe

Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25), Kyoto, Japan　2012年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Investigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25), Kyoto, Japan　2012年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Temperature and High-Rate Deposition of Crystalline Zinc Oxide Films by Plasma-Enhanced Mist Chemical Vapor Deposition

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25), Kyoto, Japan　2012年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effect of Plasma Irradiation on Interfacial Nano Layers in Inorganic / Organic Hybrid Structures

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara

International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012), Yokohama, Japan　2012年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Radio Frequency Plasma Generation over Water Surface at Saturated Water Vapor Pressure

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012), Yokohama, Japan　2012年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Assisted Mist CVD with Inductively-Coupled RF Plasma Source for ZnO Film Formation

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012), Yokohama, Japan　2012年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Enhanced Sputtering Assisted with ICP via New Type of Low-Inductance Antenna for Reactivity-Controlled and Low-Damage Formation of Semiconductor Films

Yuichi Setsuhara, Yasufumi Ohchi, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

13th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2012年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いた長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲

第73回応用物理学会学術講演会, 松山　2012年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援ミストCVDを用いた酸化亜鉛薄膜の形成と表面形状評価

竹中 弘祐, 奥村 祐介, 節原 裕一

第73回応用物理学会学術講演会, 松山　2012年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma-Assisted Mist CVD for Low-Temperature and High-Rate Formation of Zinc Oxide Films

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, and Yuichi Setsuhara

The Fourth International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials (ICCCI 2012), Kurashiki, Japan　2012年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

XPS Studies on Plasma Interactions with Soft-materials as a Basis of Investigations on Fundamental Processes with Biomolecules in Plasma Medicine

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

2012 MRS Spring Meeting & Exhibit, San Francisco, USA　2012年4月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

プラズマ支援ミストCVDを用いた酸化亜鉛薄膜形成におけるプラズマ照射の効果

竹中 弘祐, 奥村 祐介, 節原 裕一

第59回応用物理学関係連合講演会, 東京　2012年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援反応性スパッタリング法による透明アモルファス酸化物半導体薄膜トランジスタ低温形成技術の開発

節原 裕一, 趙 研, 大地 康史, 竹中 弘祐, 江部 明憲

第59回応用物理学関係連合講演会, 東京　2012年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

ICP-Enhanced Reactive Processes with Low-Inductance Antenna

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Akinori Ebe

The 5th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2012), Aichi, Japan　2012年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Assisted Sputtering with ICP Driven by Inner-Type Low-Inductance Antenna

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, and Akinori Ebe

4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2012), Aichi, Japan　2012年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Nano-Surface Analysis of Plasma-Polymer Interactions for Fabrications of Flexible Electronics with Inorganic/Organic Hybrid Structures

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2012), Aichi, Japan　2012年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Deposition of ZnO Films by Plasma-Assisted Mist-CVD with Inductively-Coupled RF Plasma Source

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2012), Aichi, Japan　2012年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Characterization of Inductively-Coupled RF Plasmas with Inner-Type Low-Inductance Antennas and Application to Plasma-Assisted Reactive Sputter Deposition

Ken Cho, Yasufumi Ohchi, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

第21回日本MRS学術シンポジウム, 横浜　2011年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Formation of ZnO by Plasma Assisted Mist-CVD Using Zn(CH3COO)2 Solution

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

第21回日本MRS学術シンポジウム, 横浜　2011年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Nano-Surface analysis of plasma-polymer interactions for development of low-damage and low-temperature plasma processes of organic materials

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

International Symposium on Materials Science and Innovation for Sustainable Society (ECO-MATES 2011), Osaka, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Zinc Oxide Films Formation Using Plasma-Assisted Mist- CVD

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

International Symposium on Materials Science and Innovation for Sustainable Society (ECO-MATES 2011), Osaka, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effect of Plasma Irradiation on Interfacial Nano Layers in Organic/Inorganic Hybrid Structures

Ken Cho, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara

Plasma Conference 2011, Ishikawa, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Low-Damage Reactive Sputter Deposition Processes with Inner-Type Low Inductance Antenna

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, and Akinori Ebe

Plasma Conference 2011, Ishikawa, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Formation of ZnO Films by Plasma-Assisted Mist-CVD Using Zn(CH3COO)2

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

Plasma Conference 2011, Ishikawa, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Investigation of Chemical Bonding States at Inorganic/Organic Interface For Development of Low-Damage Fabrication Processes of Hybrid Multi-Layer Structure

Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

7th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium, Osaka, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Deposition of Zinc Oxide films with Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition Method

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

7th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium, Osaka, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Investigation of plasma interactions with organic semiconductors for fabrication of flexible electronics devices

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

33rd International symposium on Dry Process, Kyoto, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Assisted Mist CVD for Deposition of Zinc Oxide Films

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

33rd International symposium on Dry Process, Kyoto, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Oxidation Behaviors of Zn Nano Films

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

15th International Conference on Thin Films (ICTF-15), Kyoto, Japan　2011年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

埋め込み型低インダクタンスアンテナを用いたプラズマ支援反応性スパッタリング法により作製したa-IGZO膜の特性評価

大地 康史、趙 研、竹中 弘祐、節原 裕一、江部 明憲

応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年（研究会創設25周年）記念 特別シンポジウム, 名古屋　2011年10月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

次世代フレキシブルデバイスの作製プロセスに向けたプラズマ－有機相互作用のナノ表面解析

趙 研、竹中 弘祐、節原 裕一、白谷 正治、関根 誠、堀 勝

応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年（研究会創設25周年）記念 特別シンポジウム, 名古屋　2011年10月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマ支援ミストCVDによる酸化亜鉛薄膜形成

竹中 弘祐、奥村 祐介、節原 裕一

応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年（研究会創設25周年）記念 特別シンポジウム, 名古屋　2011年10月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma Interaction with Zn Nano layer on Organic Materials for Analysis of Early Stage of Inorganic/Organic Hybrid Multi-Layer Formation

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, Dalian city, China　2011年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge Control Capabilities of Low-Inductance-Antenna-Driven RF Plasmas

Kosuke Takenaka, Ken Cho, and Yuichi Setsuhara

The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, Dalian city, China　2011年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

埋込型低インダクタンスアンテナによるプラズマ生成技術の開発と大面積・低ダメージ反応性プロセスへの応用

節原 裕一, 趙 研, 竹中 弘祐, 江部 明憲

第72回応用物理学会学術講演会, 山形　2011年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

無機／有機積層構造形成初期過程における界面の化学結合状態分析

趙 研, 節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第72回応用物理学会学術講演会, 山形　2011年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

酢酸亜鉛を含むミストを用いたプラズマ支援による酸化亜鉛薄膜形成

竹中 弘祐, 奥村 祐介, 節原 裕一

第72回応用物理学会学術講演会, 山形　2011年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Investigation of chemical bonding states at interface of Zn/organic materials for analysis of early stage of inorganic/organic hybrid multi-layer formation

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

第24回プラズマ材料科学シンポジウム, 大阪　2011年7月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma-Assisted Mist-CVD of Zinc Oxide Films with Zinc Acetate Solution

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

第24回プラズマ材料科学シンポジウム, 大阪　2011年7月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Development of Surface Modification Process for Fabrication of Alternative Rare-Metal Catalyst

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara

Joint Conference of The Fifth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC5) and The 2nd International Conference on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials (AMDI2), Yokohama, Japan　2011年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Low-Temperature and Low-Damage Interface Control Process For Fabrication of Flexible Electronics

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara

Joint Conference of The Fifth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC5) and The 2nd International Conference on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials (AMDI2), Yokohama, Japan　2011年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

気相中に導入した酢酸亜鉛のプラズマ照射による酸化亜鉛形成

竹中 弘祐, 奥村 祐介, 節原 裕一

第58回応用物理学関係連合講演会,　2011年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマを用いた無機／有機積層構造の形成初期過程における界面の化学結合状態分析

趙 研, 節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第58回応用物理学関係連合講演会,　2011年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

埋込型低インダクタンスアンテナを用いた高周波プラズマ源の開発と大面積・低ダメージ反応性プロセスへの応用

節原 裕一, 趙 研, 竹中 弘祐, 江部 明憲

第58回応用物理学関係連合講演会,　2011年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

HXPES Analysis of Ar+O2 Plasma Exposed Zn/PET Interface for Inorganic Layer Formation on Organic Materials

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 4th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2011), Gifu, Japan　2011年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Mist-Plasma CVD of ZnO Films with Zn(CH3COO)2 Solution

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara

The 4th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2011), Gifu, Japan　2011年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Inveastigation of Plasma-Polymer Interactions with Combinatorial Method

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2011), Nagoya, Japan　2011年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of Irradiations with Ions and Photons in UV-VUV Regions on Nano-Surface of Polymers Exposed to Plasma

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2011), Nagoya, Japan　2011年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Combinatorial Analyses of Plasma Materials Processing

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics, Fukuoka, Japan　2011年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Combinatorial Analyses of Plasma Interactions with Organic Materials

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

第20回日本MRS学術シンポジウム, 横浜　2010年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of Photo-Irradiations in UV-VUV Regions on Chemical Bonding States of Soft Materials Exposed to Plasmas

Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

第20回日本MRS学術シンポジウム, 横浜　2010年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

次世代デバイス創製に向けたプラズマー材料相互作用に関する光電子分光分析

趙 研, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第12回関西表面技術フォーラム, 宇治　2010年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置の開発

竹中 弘祐, 趙 研, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第12回関西表面技術フォーラム, 宇治　2010年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Combinatorial Analysis of Plasma-Polymer Interactions for Soft Material Processing

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

32nd International symposium on Dry Process, Tokyo, Japan　2010年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of Photo-Irradiations in VUV and UV Regions on Chemical Bonding States of Polymers during Plasma Exposure

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

32nd International symposium on Dry Process, Tokyo, Japan　2010年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Processing of Soft Materials for Development of Inorganic/Organic Hybrid Devices

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka

2010 KISE Fall Meeting & International Symposium, Korea　2010年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of photon irradiation in UV and VUV regions during plasma processing of organic materials

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Visual-JW2010, Osaka, Japan　2010年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Combinatorial analysis of plasma-polymer interactions for formation of inorganic-soft materials hybrid structure

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Visual-JW2010, Osaka, Japan　2010年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of Photoemissions in UV and VUV Regions on Nano-Surface Strucures of Soft Materials during Plasma Processes

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference (ICRP-7/SPP-28/GEC-63), Paris, France　2010年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Investigation of Plasma Interactions with Soft Materials via Combinatorial Plasma-Process Analyzer for Plasma Nano Processes

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference (ICRP-7/SPP-28/GEC-63), Paris, France　2010年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Nanoparticle film deposition via mist-included plasma source

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Ken Cho, Yuichi Setsuhara

7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference (ICRP-7/SPP-28/GEC-63), Paris, France　2010年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Damage Plasma Processing of Inorganic/Organic Hybrid Materials for Development of Flexible Devices

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Twelfth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2010年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Combinatorial Analyses of Plasma-Polymer Interactions for Development of Advanced Nano-Process Technologies

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Twelfth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2010年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Ｘ線光電子分光によるプラズマーソフト材料相互作用の解析 -UV-VUV領域の発光がナノ表面に及ぼす影響-

趙 研, 節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第71回応用物理学会学術講演会, 長崎　2010年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置を用いたプラズマ・ポリマー相互作用の解析（IV）

竹中 弘祐, 趙 研, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第71回応用物理学会学術講演会, 長崎　2010年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of Irradiations with Ions and Photoemissions in UV-VUV Regions on Chemical Bonding States of Polymers Exposed to Plasmas

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics, Jeju, Korea　2010年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma Processing of Soft Materials for Development of Flexible Electronics

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (10th APCPST) and Symposium on Plasma Science for Materials (23th SPSM), Jeju, Korea　2010年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of Photo-Irradiation in UV and VUV Regions during Plasma Exposure to Polymers

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (10th APCPST) and Symposium on Plasma Science for Materials (23th SPSM), Jeju, Korea　2010年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Investigations of Plasma-Polymer Interactions via Combinatorial Plasma-Process Analyzer for Development of Advanced Nano Processes

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (10th APCPST) and Symposium on Plasma Science for Materials (23th SPSM), Jeju, Korea　2010年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Combinatorial plasma-process analysis for research and development of nano devices

Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, M. Shiratani, M. Sekine, M. Hori

International Symposium on Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics (ISTESNE), Tokyo,Japan　2010年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Enhanced Nanoparticle-Beam Deposition for Formation of High-Quality Nanocomposite Films

Kosuke Takenaka, Yusuke Okumura, Yuki Nakajima, Hiroya Abe, Yuichi Setsuhara

International Conference on Core Research and Engineering Science of Advanced Materials (Global COE Program) & Third International Conference on Nanospintronics Design and Realization, 3rd-ICNDR, Osaka,Japan　2010年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

低温・低ダメージプラズマプロセスによる無機／有機ハイブリッド積層構造の形成

竹中 弘祐, 趙 研, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第57回応用物理学関係連合講演会, 神奈川　2010年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低温・低ダメージプラズプロセスの開発に向けたプラズマ・ポリマー相互作用のナノ表面解析

趙 研, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第57回応用物理学関係連合講演会, 神奈川　2010年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置を用いたプラズマ・ポリマー相互作用の解析（III）

節原 裕一, 趙 研, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第57回応用物理学関係連合講演会, 神奈川　2010年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

XPS Analysis of Plasma-Polymer Interactions for Organic-Inorganic Hybrid Material

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 3rd International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2010), Nagoya, Japan　2010年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Analysis of Plasma Interactions with Soft Materials Using Combinatorial Plasma Process Analyzer

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 3rd International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2010), Nagoya, Japan　2010年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Combinatorial Analysis of Plasma Interactions with Soft Materials

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Second International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2010), Nagoya, Japan　2010年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy for Analysis of Plasma-Exposed Polymer Surface

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Second International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2010), Nagoya, Japan　2010年3月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

先進セラミックスナノコンポジット作製のためのプラズマ支援ナノ粒子ビーム堆積

竹中 弘祐, 中嶋 悠揮, 奥村 祐介, 阿部 浩也, 節原 裕一

第27回プラズマプロセシング研究会, 横浜　2010年2月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低温・低ダメージプラズマプロセスの開発に向けたＸ線光電子分光法を用いたプラズマ-ポリマー相互作用の解析

趙 研, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝, 池永 英司, 中塚 理, 財満 鎭明

第27回プラズマプロセシング研究会, 横浜　2010年2月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

傾斜プラズマを用いたプラズマ－ポリマー相互作用に関するコンビナトリアル解析

節原 裕一, 趙 研, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第27回プラズマプロセシング研究会, 横浜　2010年2月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Development of Plasma-Enhanced Nanoparticles-Beam Deposition for Fabrication of Functional Nanocomposite Films

Kosuke Takenaka, Yuki Nakajima, Yusuke Okumura, Yuichi Setsuhara, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

第19回日本MRS学術シンポジウム, 横浜　2009年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Investigation of Plasma-Polymer Interactions Using Hard X-Ray Photoelectron Spectroscopy

Ken Cho, Kota Fujiwara, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

第19回日本MRS学術シンポジウム, 横浜　2009年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Analysis of Plasma-Polymer Interaction with Combinatorial Plasma-Process Analyzer for Plasma Nano Processing of Soft Materials

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

第19回日本MRS学術シンポジウム, 横浜　2009年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Combinatorial analysis of plasma-materials interaction for advanced R＆D of future nano devices

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

31st International symposium on Dry Process, Busan, Korea　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Advanced Research and Development for Plasma Processing of Polymers with Combinatorial Plasma-Process Analyzer

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

Second International Conference on Microelectronics and Plasma Technology, Busan, Korea　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Combinatorial Plasmaprocess Analyzer for Advanced R&D of Next Generation Nanodevice Fabrications

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The Third International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials, and Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (ICCCI 2009), Kurashiki, Japan　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Hard X-Ray Photoelectron Spectroscopy Analysis for Organic-Inorganic Hybrid Materials Formation

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori, Eiji Ikenaga, Hiroki Kondo, Osamu Nakatsuka, Shigeaki Zaima

The Third International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials, and Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (ICCCI 2009), Kurashiki, Japan　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Plasma-Enhanced Nanoparticles-Beam Deposition for High-Rate Formation of Nanocomposite Films

Kosuke Takenaka, Yuki Nakajima, Yuichi Setsuhara, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

The Third International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials, and Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (ICCCI 2009), Kurashiki, Japan　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

High-Rate Formation of Oxide-Ceramics Nanocomposite Using Plasma-Enhanced Nanoparticle-Beam Deposition Method

Kosuke Takenaka, Yuki Nakajima, Yuichi Setsuhara, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

5th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium, Osaka, Japan　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置を用いたプラズマ・ポリマー相互作用の解析(2)

節原 裕一, 趙 研, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第70回応用物理学会学術講演会, 富山　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

機能性ナノコンポジットの形成のための気相分散ナノ粒子堆積法の開発

竹中弘祐, 中嶋悠揮, 節原裕一

第70回応用物理学会学術講演会, 富山　2009年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Ion-damage Control in Argon/Oxygen Mixture Plasmas Sustained with Low-Inductance Antenna Units for Low-Damage Plasma Processing of Polymers

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Akinori Ebe, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, and Masaru Hori

第22回プラズマ材料科学シンポジウム, 東京　2009年6月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置を用いたプラズマ・ポリマー相互作用の解析

趙 研, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第56回応用物理学関係連合講演会, 筑波　2009年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置の創製 -傾斜分布プラズマの特性-

竹中 弘祐, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第56回応用物理学関係連合講演会, 筑波　2009年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

プラズマナノプロセスの先進的研究開発に向けたコンビナトリアル・プラズマプロセス解析装置の開発

節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋　2009年2月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低インダクタンスアンテナを用いて生成した低ダメージプラズマを照射したポリマーの表面分析

竹中 弘祐, 趙 研, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝, 池永 英司, 近藤 博基, 中塚 理, 財満 鎮明

プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋　2009年2月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Low Energetic Ion Bombardment on Polymer Surfaces

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hor

The 8th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics, Gifu, Japan　2009年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Optical Emission Analysis of Water Vapor Plasmas

Shogo Kawajiri, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

The IUMRS International Conference in Asia 2008, Nagoya, Japan　2008年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Modification and Deposition of Nanoparticles with ICPs Sustained in High Pressure

Yuki Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

The IUMRS International Conference in Asia 2008, Nagoya, Japan　2008年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Characterization of Reactive Plasmas Sustained with Low-Inductance Antenna Units for Low Damage Processing of Materials

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe

The IUMRS International Conference in Asia 2008, Nagoya, Japan　2008年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Nano-Layer Chemical Bonding-State Analysis of Polymer Surface Exposed to Low-Damage Plasmas via Hard X-Ray Photoelectron Spectroscopy

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Hiroki Kondo, Osamu Nakatsuka, Eiji Ikenaga, Shigeaki Zaima

The IUMRS International Conference in Asia 2008, Nagoya, Japan　2008年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Simulation-Aided Designing of Density-Inclination Plasmas for Advanced Analysis of Plasma Processes via Combinatorial Method

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The IUMRS International Conference in Asia 2008, Nagoya, Japan　2008年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Simulation Aided Designing of Density-Inclination Plasmas for Combinatorial Plasmas-Process Analyzer

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

30th International Symposium on Dry Process (DPS2008), Tokyo, Japan　2008年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Combinatorial Plasma Process Analyzer for Next-Generation Plasma Nano Technologies

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

30th International Symposium on Dry Process (DPS2008), Tokyo, Japan　2008年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Damage Processing of Polymers Using Argon/Oxygen Mixture Plasmas Sustained with Multiple Internal Antenna Units

Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori, Jeon G. Han, Eiji Ikenaga, Hiroki Kondo, Osamu Nakatsuka, and Shigeaki Zaima

30th International Symposium on Dry Process (DPS2008), Tokyo, Japan　2008年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Control Capabilities of Low-Inductance-antenna-Driven RF Plasmas for Low-Damage Processing of Polymers

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Akinori Ebe, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

The Sixty First Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), Dallas, Texas, USA　2008年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-Damage Processing of Polymers with Low-inductance-Antenna-Driven Inductivity-Coupled RF Plasmas

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Akinori Ebe, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori, Eiji Ikeitaga, Hiroki Kondo, Osamu Nakatsuka, Shigeaki Zaima

9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST9) and 21st Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM21), Huangshan, China　2008年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Density-Inclination Plasmasfor Analysis of Plasma Nano-Processes via Combinatorial Method

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, and Masaru Hori

9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST9) and 21st Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM21), Huangshan, China　2008年10月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Spatio-Temporal Control of Low-Inductance-Antenna-Driven RF Plasmas for Advanced Ultra-Low-Damage Processes

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

Eleventh International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2008年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Low-damage Plasma Processing of Polymers for High-quality Organic-inorganic Hybrid Device Fabrications with Low-potential Plasmas Driven by Low-inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, and Jeon G. Han

The 14th International Congress on Plasma Physics (ICPP2008), Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan　2008年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Control of Ion energy Distributions in Inductively-coupled Plasmas Driven by Low-inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, and Akinori Ebe

The 14th International Congress on Plasma Physics (ICPP2008), Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan　2008年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Combinatorial Plasma-process Analyzer for Next-generation Plasma-nano-fabrications

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Keigo Takeda, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 14th International Congress on Plasma Physics (ICPP2008), Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan　2008年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

硬X線光電子分光法によるポリマーのプラズマ照射損傷に関するナノ表面分析

趙 研, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 近藤 博基, 中塚 理, 池永 英司, 財満 鎮明

第69回応用物理学会学術講演会, 愛知　2008年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

マルチ低インダクタンスアンテナで生成した誘導結合プラズマによるポリマーの低ダメージプロセス

竹中 弘祐, 趙 研, 節原 裕一, 江部 明憲, Han Jeon

第69回応用物理学会学術講演会, 愛知　2008年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置の創製 -傾斜分布プラズマの生成と制御-

節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第69回応用物理学会学術講演会, 愛知　2008年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Nano-Surface Analysis of Polymers Exposed to Low-Damage Plasmas Inductively Sustained with Low-Inductance Antenna Modules

Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Jeon G. Han

The 7th Korea-Japan Workshop on Plasma Technology, Sungkyunkwan University, Korea　2008年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Nano-Surface Processing of Polymer with Low-Damage Reactive high-Density Plasma for Fexibele Electronics

Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe, Jeon G. Han

The 7th Korea-Japan Workshop on Plasma Technology, Sungkyunkwan University, Korea　2008年7月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置の創製 -傾斜分布プラズマの設計と制御-

節原 裕一, 長尾 勝久, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝

第55回応用物理学関係連合講演会, 日本大学理工学部 船橋キャンパス　2008年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

マルチ内部アンテナ型I C P 生成におけるアンテナ近接配置の効果

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲

第55回応用物理学関係連合講演会, 日本大学理工学部 船橋キャンパス　2008年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Spatio-Temporal Control of Inductively-Coupled RF Plasmas Sustained with Multiple Low-Inductance Antenna Modules

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

第25回プラズマプロセシング研究会, 山口県教育会館 / ゆーあいプラザ山口県社会福祉会館　2008年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Plasma Surface Modification of Polymers with Argon/Oxygen Mixture Discharge Sustained with Multiple Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Jeon G. Han

第25回プラズマプロセシング研究会, 山口県教育会館 / ゆーあいプラザ山口県社会福祉会館　2008年1月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Dependence of electron density in main discharge on main discharge power in H-assisted plasma CVD

Jun Umetsu, Kazuhiko Inoue, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka

第18回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学理工学部駿河台キャンパス　2007年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Modification of Oxide Ceramics Nano-particles Using Inductively-Coupled RF Plasmas

Kosuke Takenaka, Hiroaki Nakayama, Yuichi Setsuhara, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

第18回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学理工学部駿河台キャンパス　2007年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effect of Antenna Configurations on Discharge Characteristics of Inductively Coupled Plasmas Driven by Low-Inductance Internal-Antenna Units

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

第18回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学理工学部駿河台キャンパス　2007年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Control Capabilities of Low-Inductance-Antenna-Driven RF Plasmas for Low-Temperature Processes

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

第18回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学理工学部駿河台キャンパス　2007年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Deposition of Carbon-Related Films Using Inductively-Coupled Plasmas Sustained with Multiple Low-Inductance Internal Antenna Units

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

The Second International Symposium on Smart Processing Technology, Osaka, Japan　2007年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Controllability of Plasmas Using Multiple Low-Inductance-Antenna Modules for Ultra-Large-Area Processing

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

The Second International Symposium on Smart Processing Technology, Osaka, Japan　2007年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Control Capabilities of RF Plasmas Sustained with Multiple Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

2007 International Symposium on Dry Process, Tokyo International Exchange Center, Tokyo, Japan　2007年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Surface Treatment of Polymers Using Argon/Oxygen Mixture Plasmas Sustained with Multiple Internal Antenna Units

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe, Yong-Mo Kim, Jeon G. Han

2007 International Symposium on Dry Process, Tokyo International Exchange Center, Tokyo, Japan　2007年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Ultra-Large Area RF Plasma Sources Employing Multiple Low-Inductance Internal Antenna Modules for Flat Panel Display Processing

Yuichi Setsuhara, Daisuke Tsukiyama, Kosuke Takenaka, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

The 6th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, Jeju Island, Korea　Vol. 561-565　No. PART 2　p. 1237-1240　2007年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Mechanical Milling of Nanoparticles under Electric Discharge

J.Noma, H.Abe, M.Naito, K.Takenaka, Y. Setsuhara

6th Asian-European Int. Conf. Plasma Surface Eng. (AEPSE 2007), Nagasaki,Japan　2007年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Uniformity of 500-mm Cylindrical Plasma Source Sustained with Multiple Low-inductance Antenna Units

Kosuke Takenaka, Daisuke Tsukiyama, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

6th Asian-European Int. Conf. Plasma Surface Eng. (AEPSE 2007), Nagasaki,Japan　2007年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Effects of Antenna Shapes on Discharge Profiles of Internal-antenna-driven Inductively-coupled Plasmas

Kosuke Takenaka, Takashi Sera, Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe

6th Asian-European Int. Conf. Plasma Surface Eng. (AEPSE 2007), Nagasaki,Japan　2007年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Modification of Yttrium-iron-oxide Nanoparticle Films Using Inductively-coupled Plasma Annealing

Kosuke Takenaka, Hiroaki Nakayama, Yuichi Setsuhara, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

6th Asian-European Int. Conf. Plasma Surface Eng. (AEPSE 2007), Nagasaki,Japan　2007年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Characterization of Mass-separated Ion Energy Distributions in Rf Plasmas Driven by Multiple Internal-antenna Units

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe, Yong-Mo Kim, Jeon G. Han

6th Asian-European Int. Conf. Plasma Surface Eng. (AEPSE 2007), Nagasaki,Japan　2007年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

マルチ内部アンテナで生成したアルゴン酸素混合プラズマによるポリマーの表面改質

節原 裕一, 竹中 弘祐, 江部 明憲, 西坂 和晃, キム ヨンモ, ハン ジェオン

第68回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学　2007年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

マルチ内部アンテナ型誘導結合放電で生成したアルゴン酸素混合プラズマの特性

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲, 西坂 和晃, キム ヨンモ, ハン ジェオン

第68回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学　2007年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Meters-Scale Ultra-Large-Area Plasma-Source Designs Employing Multiple Low-Inductance -Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Daisuke Tsukiyama, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

The 18th International Symposium on Plasma Chemistry, Kyoto, Japan　2007年8月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Characterization of Argon/Oxygen Mixture Plasmas Driven by Multiple Internal-Antenna Units

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe, Yong-Mo Kim, Jeon G. Han

The 18th International Symposium on Plasma Chemistry, Kyoto, Japan　2007年8月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Control Capabilities of Large-Area Plasmas Sustained with Multiple Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Daisuke Tsukiyama, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

第20回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-20), 名古屋大学 野依記念学術交流館　2007年6月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Characterization of Argon/Oxygen Mixture Plasmas Sustained with Multiple Internal-Antenna Units

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe, Yong-Mo Kim, Jeon G. Han

第20回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-20), 名古屋大学 野依記念学術交流館　2007年6月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Modification of Yttrium-Iron-Oxide Nanoparticle Films Using Inductively-Coupled RF Plasmas

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Hiroaki Nakayama, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

第20回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-20), 名古屋大学 野依記念学術交流館　2007年6月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Discharge Profiles of Internal-Antenna-Driven Inductive-Coupled Plasmas - Investigations on Plasma Profiles in the Vicinity of RF Antenna -

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe, Kazuaki Nishisaka

第20回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-20), 名古屋大学 野依記念学術交流館　2007年6月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

マルチ内部アンテナを用いて生成した誘導結合プラズマのイオンエネルギー分布

節原 裕一, 竹中 弘祐, 江部 明憲, 西坂 和晃

第54回応用物理学関係連合講演会, 青山学院大学 相模原キャンパス　2007年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

マルチ内部アンテナを用いてアルゴン酸素混合気体中で生成した誘導結合プラズマの特性

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲, Kim Yong-Mo, Han Jeon G.

第54回応用物理学関係連合講演会, 青山学院大学 相模原キャンパス　2007年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

内部アンテナを用いて生成した誘導結合プラズマの構造

竹中 弘祐, 世良 崇, 節原 裕一, 江部 明憲

第54回応用物理学関係連合講演会, 青山学院大学 相模原キャンパス　2007年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

高気圧誘導結合プラズマを用いたナノ粒子膜の改質

節原 裕一, 中山 浩明, 竹中 弘祐, 阿部 浩也, 野城 清

第17回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学駿河台校舎　2006年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

マルチ低位インダクタンスアンテナを用いた次世代フラットパネルディスプレー製造に向けた大面積低ダメージプラズマ源

竹中 弘祐, 節原 裕一, 西坂 和晃, 江部 明憲

第17回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学駿河台校舎　2006年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低インダクタンス内部アンテナを用いて生成したアルゴンプラズマの電位形成

竹中 弘祐, 節原 裕一, 世良 崇, 築山 大輔, 西坂 和晃, 江部 明憲

第17回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学駿河台校舎　2006年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Ion Energy Distributions and Large-Area Deposition of Thin Films Employing ICP Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Takashi Sera, Daisuke Tsukiyama, Akinori Ebe

The 4th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & Thin Film Technology for Electronic Materials, Green Hotel Sangane, Aichi, Japan　2006年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Properties of Inductively-Coupled Plasmas Sustained with Low-Inductance Antenna Units - Effects of Antenna Size -

Kosuke Takenaka, Takashi Sera, Daisuke Tsukiyama, Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe

The 4th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & Thin Film Technology for Electronic Materials, Green Hotel Sangane, Aichi, Japan　2006年12月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of High-Density RF Plasma Sources Using Multiple Low-Inductance Antenna Units for Materials Processing

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium, Nakanoshima Center, Osaka University　2006年11月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Ultra-Large-Area Plasma Source for Meters-Scale Flat-Panel-Display Processing with Profile Control by Independently-Operated Multiple Low-Inductance Antenna Modules

Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe, Kazuaki Nishisaka, Kosuke Takenaka

Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2006年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Duplex Processing with Mechanical Milling and Plasma Irradiation for Surface Modification of Nanoparticles

Hiroya Abe, Kosuke Takenaka, Akira Kondo, Yuichi Setsuhara, Makio Naito

Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2006年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Modifications of Nano-Sized Oxide Particles by High-Density RF Plasmas

Hiroaki Nakayama, Yoichi Sakawa, Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi, Yuichi Setsuhara

Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2006年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Discharge Structures of Inductively-Coupled Plasmas Sustained with Low-Inductance Internal Antennas

Takashi Sera, Akinori Ebe, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara

Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2006年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Properties of Inductively-Coupled Plasmas Driven by Multiple Low-Inductance Internal-Antenna Units

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe, Shinya Sugiura, Kazuo Takahashi, Koichi Ono

Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany　2006年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Properties of Inductively-Coupled RF Plasmas Sustained with Internal Antenna for Deposition of Carbon-Related Films

Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazuaki Nishisaka, Akinori Ebe

The Second International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials, and Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (ICCCI2006), Kurashiki, Japan　2006年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Modifications of Oxide Nanoparticles with High-density RF Plasmas

Yuichi Setsuhara, Hiroaki Nakayama, Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Kiyoshi Nogi

The Second International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials, and Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (ICCCI2006), Kurashiki, Japan　2006年9月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

内部アンテナ型誘導結合プラズマ生成におけるアンテナ周辺構造とプラズマ分布の相関

世良 崇, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲

第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス　2006年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

高気圧誘導結合プラズマを用いた気相中でのナノ粒子改質(II)

中山 浩明, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 阿部 浩也, 野城 清

第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス　2006年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低インダクタンス型マルチ内部アンテナを用いた誘導結合プラズマによるa-C:H膜堆積

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲, 西坂 和晃

第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス　2006年8月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Surface Modification of Nanopowder by Milling under Electric Discharge

H.Abe, A.Kondo, K.Takenaka, Y.Setsuhara, M.Naito

CIMTEC 2006, Sicily, Italy　2006年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Internal-Antenna-Driven RF Plasma Sources for Ultra-Large Area Deposition of Carbon-Related Films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

International Conference on Modern Materials & Technologies 2006, Sicily, Italy　2006年6月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

低インダクタンス型内部アンテナを用いた誘導結合プラズマの特性

世良 崇, 竹中 弘祐, 節原 裕一

第５３回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学　2006年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

高気圧誘導結合プラズマを用いた気相中でのナノ粒子改質

中山 浩明, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 阿部 浩也, 野城 清

第５３回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学　2006年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

マルチ低インダクタンスアンテナによるメートル級大面積プラズマの生成と制御

節原 裕一, 竹中 弘祐, 江部 明憲, 西坂 和晃, 高橋 英二, 林 司, 緒方 潔

第５３回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学　2006年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低インダクタンス型マルチ内部アンテナを用いた誘導結合高周波プラズマ中のラジカル計測

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲, 西坂 和晃

第５３回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学　2006年3月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Properties of Inductively-Coupled RF Plasma Sources with Multiple Low-Inductance Antenna Modules

K. Takenaka, Y. Setsuhara, A. Ebe, T. Shoji

Joint Conference of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and the 24rd Symposium on Plasma Processing, Hotel Taikanso, Matsushima/Sendai, Japan　2006年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

Development of Meters-Scale Large-Area RF Plasma Sources with Control Capabilities of Power Deposition Profiles

Y. Setsuhara, K. Takenaka, A. Ebe, T. Shoji

Joint Conference of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and the 23rd Symposium on Plasma Processing, Hotel Taikanso, Matsushima/Sendai, Japan　2006年1月　研究発表ペーパー・要旨（国際会議）

NH3プラズマ照射によるTiO2ナノ粒子の表面改質

阿部 浩也, 佐藤 和好, 内藤 牧男, 竹中 弘祐, 節原 裕一

第１６回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学駿河台校舎　2005年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

電気泳動法によるセラミックス膜堆積におけるナノ粒子分散液中の電位分布とイオン挙動

佐野 友彦, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 佐藤 和好, 阿部 浩也, 野城 清

第１６回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学駿河台校舎　2005年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

統合制御型マルチ内部アンテナモジュールを用いたメートル級大面積誘導結合プラズマ源の開発

節原 裕一, 竹中 弘祐, 江部 明憲, 西坂 和晃

第１６回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学駿河台校舎　2005年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低インダクタンス型マルチ内部アンテナを用いた誘導結合高周波プラズマの特性

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲, 西坂 和晃, 杉浦 慎哉, 高橋 和生, 斧 高一

第１６回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学駿河台校舎　2005年12月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

銅のプラズマ異方性CVDにおけるイオン照射効果に関する検討

白谷 正治, 鍜治 昂男, 古閑 一憲, 竹中 弘祐, 渡辺 征夫

第５８回電気関係学会九州支部連合大会, 福岡工業大学　2005年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

銅のプラズマ異方性CVD における成膜速度の基板温度依存性

鍜治 昂男, 古閑 一憲, 白谷 正治, 竹中 弘祐, 久保田 智広, 寒川 誠二

第６６回応用物理学会学術講演会, 徳島大学常三島キャンパス　2005年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低メートル級大面積プラズマ制御のためのマルチ内部アンテナモジュールの開発(II)

節原 裕一, 竹中 弘祐, 江部 明憲, 西坂 和晃

第６６回応用物理学会学術講演会, 徳島大学常三島キャンパス　2005年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

低インダクタンス型マルチ内部アンテナを用いたRFプラズマ源の特性

竹中 弘祐, 節原 裕一, 江部 明憲, 西坂 和晃, 杉浦 慎哉, 高橋 和生, 斧 高一

第６６回応用物理学会学術講演会, 徳島大学常三島キャンパス　2005年9月　研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

Effects of spruttering due to ion irradiation on plasma anisotropic CVD of Cu

Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe

Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources　p. 75-78　2005年

プラズマ異方性CVDを用いたトレンチ内へのRuの堆積

白谷 正治, 鍛治 昂男, 竹中 弘祐 [他]

九州大学ベンチャービジネスラボラトリー年報　Vol. 2004　p. 115-116　2004年

プラズマ異方性CVDによる超高集積回路内配線用銅薄膜の堆積

竹中 弘祐

九州大学ベンチャービジネスラボラトリー年報　Vol. 2002　p. 132-133　2002年

Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法により堆積したCuの成膜初期観察

白谷 正治, 竹中 弘祐, 大西 将夫[他]

九州大学ベンチャービジネスラボラトリー年報　Vol. 2002　p. 19-22　2002年

Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法による高純度銅薄膜形成

白谷 正治, 竹中 弘祐, 金 洪杰[他]

九州大学ベンチャービジネスラボラトリー年報　Vol. 2001　p. 19-24　2001年

H assisted control of quality and conformality in Cu film deposition using plasma CVD method

Masaharu Shiratani, Hong Jie Jin, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Toshio Kinoshita, Yukio Watanabe

Advanced Metallization Conference (AMC)　p. 271-278　2000年12月1日

プラズマCVD法による電気メッキ用銅シード層の形成

金 洪杰, 竹中 弘祐, 古閑 一憲[他]

九州大学ベンチャービジネスラボラトリー年報　Vol. 2000　p. 95-99　2000年

Cu(hfac)_2を用いたプラズマCVDによる銅薄膜の形成機構

白谷 正治, 金 洪杰, 竹中 弘祐[他]

九州大学ベンチャービジネスラボラトリー年報　Vol. 2000　p. 19-23　2000年

Cu(EDMDD)_2を用いたプラズマCVD法による銅薄膜堆積

竹中 弘祐

九州大学ベンチャービジネスラボラトリー年報　Vol. 2000　p. 143-144　2000年