顔写真

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木内　正人
Kiuchi Masato
木内　正人
Kiuchi Masato
機関リポジトリ
工学研究科　マテリアル生産科学専攻，特任教授

keyword バイオ処理 プラズマ分解 硬質薄膜 イオンビーム蒸着 分子軌道法

機関リポジトリ

経歴 7

  1. 2023年4月 ～ 継続中
    大阪大学　工学研究科 マテリアル生産科学専攻　特任教授

  2. 2020年4月 ～ 2023年3月
    大阪大学　工学研究科附属アトミックデザイン研究センター　特任教授

  3. 2001年4月 ～ 2020年3月
    国立研究開発法人産業技術総合研究所　主任研究員

  4. 2003年4月 ～ 2008年3月
    産業技術総合研究所　連携研究体長

  5. 1991年10月 ～ 2001年3月
    通商産業省工業技術院大阪工業技術試験所　主任研究官

  6. 1997年6月 ～ 1999年3月
    大阪大学　工学研究科　助教授

  7. 1986年4月 ～ 1991年9月
    通商産業省工業技術院大阪工業技術試験所　研究員

学歴 2

  1. 大阪大学 工学研究科

    1982年4月 ～ 1986年3月

  2. 大阪大学 工学部

    1978年4月 ～ 1982年3月

所属学会 4

  1. 日本表面真空学会

  2. 日本水環境学会

  3. 表面技術協会

  4. 応用物理学会

研究内容・専門分野 5

  1. ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 /

  2. 社会基盤（土木・建築・防災） / 土木環境システム /

  3. ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学 /

  4. エネルギー / プラズマ科学 /

  5. エネルギー / プラズマ応用科学 /

受賞 2

  1. 第60回注目発明選定

    文部科学省

  2. 第50回注目発明選定

    科学技術庁

論文 172

  1. 50 eV O+ ion induced deposition of tin dioxide using tetramethyltin

    Satoru Yoshimura, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    Heliyon　Vol. 11　No. 3　p. e42442-e42442　2025年2月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  2. Low-energy N+ ion beam induced chemical vapor deposition using tetraethyl orthosilicate, hexamethyldisiloxane, or hexamethyldigermane

    Satoru Yoshimura, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    AIP Advances　Vol. 14　No. 9　2024年9月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  3. Self-inhibition of growth and allelopathy through volatile organic compounds in Fusarium solani and Aspergillus fumigatus

    Takae Takeuchi, Takahito Suzuki, Tomoko Kimura, Masato Kiuchi

    PLOS ONE　2024年9月　研究論文（学術雑誌）

  4. Low-energy O+ or SiO+ ion beam induced deposition of silicon oxide using hexamethyldisiloxane

    Satoru Yoshimura, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms　Vol. 549　p. 165276-165276　2024年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  5. Silicon oxide film formation by spraying tetraethyl orthosilicate onto substrate with simultaneous low-energy SiO+ ion-beam irradiation

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    AIP Advances　Vol. 13　No. 11　2023年11月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  6. Deposition of germanium dioxide films by the injection of oxygen ion beam in conjunction with hexamethyldigermane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment　Vol. 1056　p. 168707-168707　2023年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  7. Low energy Si+, SiCH5+, or C+ beam injections to silicon substrates during chemical vapor deposition with dimethylsilane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    Heliyon　p. e19002-e19002　2023年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  8. Low-energy Ar+ ion-beam-induced chemical vapor deposition of silicon dioxide films using tetraethyl orthosilicate

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    Heliyon　p. e14643-e14643　2023年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  9. Injection of low-energy SiCH5+ ion-beam to Si substrate during chemical vapor deposition process using methylsilane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    AIP Advances　Vol. 12　No. 11　p. 115104-115104　2022年11月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  10. Low-energy oxygen ion beam induced chemical vapor deposition using methylsilane or dimethylsilane for the formation of silicon dioxide films

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    Thin Solid Films　p. 139508-139508　2022年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  11. Low-energy Ar+ ion beam induced chemical vapor deposition of silicon carbide films using dimethylsilane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms　Vol. 527　p. 40-44　2022年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  12. Low-energy O+ ion beam induced chemical vapor deposition using tetraethyl orthosilicate for silicon dioxide film formation

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms　Vol. 511　p. 113-117　2022年1月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  13. Low-energy O+ ion beam induced chemical vapor deposition using hexamethyldisilane or hexamethyldisilazane for silicon dioxide film formation

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    AIP Advances　Vol. 11　No. 12　p. 125328-125328　2021年12月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  14. Low-energy Ar+ and N+ ion beam induced chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane for the formation of nitrogen containing SiC and carbon containing SiN films

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    PLOS ONE　Vol. 16　No. 10　p. e0259216-e0259216　2021年10月27日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Public Library of Science (PLoS)

  15. Identification of fragment ions produced by the decomposition of tetramethyltin and the production of low-energy Sn+ ion beam

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    PLOS ONE　Vol. 16　No. 6　p. e0253870-e0253870　2021年6月25日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Public Library of Science (PLoS)

  16. Macroaggregation effect of TiO2nanoparticles on the photocatalytic activity and post-reaction separation for aqueous degradation of organic compounds

    Hiroaki Sakurai, Masato Kiuchi, Tetsuro Jin

    Journal of Environmental Chemical Engineering　Vol. 9　No. 1　2021年2月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier Ltd

  17. Production of low-energy SiCH3+ and SiC2H7+ ion beams for 3C-SiC film formation by selecting fragment ions from dimethylsilane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 487　p. 85-89　2021年1月　研究論文（学術雑誌）

  18. Production of low-energy fragment-ion beams from hexamethyldisiloxane and the irradiation of SiO+ ion beam to substrates with supplemental oxygen gas for SiO2 film formation

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 479　p. 13-17　2020年9月　研究論文（学術雑誌）

  19. Stability of hexafluoroacetylacetone molecules on metallic and oxidized nickel surfaces in atomic-layer-etching processes

    Abdulrahman H. Basher, Marjan Krstić, Takae Takeuchi, Michiro Isobe, Tomoko Ito, Masato Kiuchi, Kazuhiro Karahashi, Wolfgang Wenzel, Satoshi Hamaguchi

    Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films　Vol. 38　No. 2　p. 022610-1-022610-8　2020年3月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：A V S AMER INST PHYSICS

  20. Suppression of cooking oil deterioration by electromagnetic field with harmonics generated by asymmetric circuit

    Masato Kiuchi, Tatsuji Miyagawa

    Plasma Medicine　Vol. 10　No. 2　p. 103-111　2020年　研究論文（学術雑誌）

  21. Characteristics of films deposited by the irradiation of GeCHx+ ions produced from hexamethyldigermane and their dependence on the injected ion energy

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 461　p. 1-5　2019年12月　研究論文（学術雑誌）

  22. Effects of injected ion energy on silicon carbide film formation by low-energy SiCH3+ beam irradiation

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    THIN SOLID FILMS　Vol. 685　p. 408-413　2019年9月　研究論文（学術雑誌）

  23. Low-energy mass-selected ion beam deposition of silicon carbide with Bernas-type ion source using methylsilane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    AIP ADVANCES　Vol. 9　No. 9　p. 09501-2-095051-4　2019年9月　研究論文（学術雑誌）

  24. Identification of fragment ions produced from hexamethyldigermane and the production of low-energy beam of fragment ion possessing Ge-C bond

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi

    AIP ADVANCES　Vol. 9　No. 2　2019年2月　研究論文（学術雑誌）

  25. Identification of fragment ions produced from hexamethyldisilazane and production of low-energy mass-selected fragment ion beam

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 430　p. 1-5　2018年9月　研究論文（学術雑誌）

  26. Pt/TiO 2 granular photocatalysts for hydrogen production from aqueous glycerol solution: Durability against seawater constituents and dissolved oxygen

    Hiroaki Sakurai, Masato Kiuchi, Tetsuro Jin

    Catalysis Communications　Vol. 114　2018年8月

    出版者・発行元：Elsevier {BV}

  27. Low-energy mass-selected ion beam production of fragments from tetraethylorthosilicate for the formation of silicon dioxide film

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    THIN SOLID FILMS　Vol. 655　p. 22-26　2018年6月　研究論文（学術雑誌）

  28. Deposition of Indium Nanoparticles on Powdered Material by Pulse Arc Plasma to Synthesize Catalysts for Friedel-Crafts Alkylation

    Satoru Yoshimura, Yoshihiro Nishimoto, Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi, Makoto Yasuda

    E-JOURNAL OF SURFACE SCIENCE AND NANOTECHNOLOGY　Vol. 16　p. 105-110　2018年4月　研究論文（学術雑誌）

  29. Injected ion energy dependence of SiC film deposited by low-energy SiC3H9+ ion beam produced from hexamethyldisilane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 420　p. 6-11　2018年4月　研究論文（学術雑誌）

  30. Indium nano-particles deposition to zeolite powder by a pulse arc plasma processs for synthesizing catalysts

    S. Yoshimura, Y. Nishimoto, S. Sugimoto, M. Kiuchi, M. Yasuda

    The 8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8), 22-26 October, 2017, Epochal Tsukuba, Tsukuba, Japan (6PN-113).　2017年10月

  31. Catalytic property of an indium-deposited powder-type material containing silicon and its dependence on the dose of indium nano-particles irradiated by a pulse arc plasma process

    Satoru Yoshimura, Yoshihiro Nishimoto, Masato Kiuchi, Yoshiaki Agawa, Hiroyuki Tanaka, Makoto Yasuda

    AIP ADVANCES　Vol. 7　No. 6　2017年6月　研究論文（学術雑誌）

  32. Low-energy mass-selected ion beam production of fragments produced from hexamethyldisiloxane for the formation of silicon oxide film

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 313　p. 402-406　2017年3月　研究論文（学術雑誌）

  33. Low-energy SiC2H6+ and SiC3H9+ ion beam productions by the mass-selection of fragments produced from hexamethyldisilane for SiC film formations

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Kensuke Murai, Masato Kiuchi

    AIP ADVANCES　Vol. 6　No. 12　2016年12月　研究論文（学術雑誌）

  34. Hydrogen evolution from glycerol aqueous solution under aerobic conditions over Pt/TiO2 and Au/TiO2 granular photocatalysts.

    Hiroaki Sakurai, Masato Kiuchi, Claire Heck, Tetsuro Jin

    Chemical communications (Cambridge, England)　Vol. 52　No. 93　p. 13612-13615　2016年11月15日　研究論文（学術雑誌）

  35. Low-energy mass-selected ion beam production of fragments produced from hexamethyldisilane for SiC film formation

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 119　No. 10　2016年3月　研究論文（学術雑誌）

  36. Erratum: Indium implantation onto zeolite by pulse arc plasma process for the development of novel catalysts (Chemistry Letters (2015) (1292-1294) DOI: 10.1246/cl.150499)

    Satoru Yoshimura, Yoshihiro Nishimoto, Masato Kiuchi, Makoto Yasuda

    Chemistry Letters　Vol. 45　No. 11　2016年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Chemical Society of Japan

  37. Fragment ion production from hexamethyldisilane in a Freeman-type ion source for SiC film formation

    S. Yoshimura, M. Kiuchi

    Proceedings of 37th International Symposium on Dry Process, November 5-6, 2015, Awaji Yumebutai International Conference Center, Awaji Island, Japan　2015年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  38. Fragment ions produced from hexamethyldisilane in a Freeman-type ion source

    Satoru Yoshimura, Masato Kiuchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 54　No. 10　2015年10月　研究論文（学術雑誌）

  39. Indium Implantation onto Zeolite by Pulse Arc Plasma Process for the Development of Novel Catalysts

    Satoru Yoshimura, Yoshihiro Nishimoto, Masato Kiuchi, Makoto Yasuda

    CHEMISTRY LETTERS　Vol. 44　No. 10　p. 1292-1294　2015年10月　研究論文（学術雑誌）

  40. Gold nanoparticles deposited on Amberlyst-15: Metal-acid bifunctional catalyst for cellobiose conversion to gluconic acid

    Hiroaki Sakurai, Kenji Koga, Masato Kiuchi

    CATALYSIS TODAY　Vol. 251　p. 96-102　2015年8月　研究論文（学術雑誌）

  41. 新規反応触媒開発を目指したゼオライトへのインジウム担持の試み

    吉村 智, 浜口 智志, 木内 正人, 木内 正人, 西本 能弘, 西本 能弘, 安田 誠, 馬場 章夫, 杢野 由明, 杉本 敏司

    スマートプロセス学会誌　Vol. 4　No. 5　p. 228-233　2015年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 スマートプロセス学会 （旧高温学会）

  42. Application of Ion Beam Induced Chemical Vapor Deposition for SiC Film Formation on Si Substrates using Methylsilane

    Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Kensuke Murai, Kuniaki Honjo, Masato Kiuchi

    E-JOURNAL OF SURFACE SCIENCE AND NANOTECHNOLOGY　Vol. 13　p. 174-178　2015年　研究論文（学術雑誌）

  43. Low energy indium or gallium ion implantations to SiO<inf>2</inf> thin films for development of novel catalysts

    Satoru Yoshimura, Masato Kiuchi, Yoshihiro Nishimoto, Makoto Yasuda, Akio Baba, Satoshi Hamaguchi

    e-Journal of Surface Science and Nanotechnology　Vol. 12　p. 197-202　2014年4月　研究論文（学術雑誌）

  44. Low energy gallium ion injections to silicon dioxide thin films for development of novel catalysts

    S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi

    International Symposium on Non-equilibrium Plasma and Complex-System Sciences (IS-NPCS), 26-28 February, 2014, Icho Kaikan, Osaka University, Osaka, Japan (P-04).　2014年2月

  45. Air modification apparatus by using a UV lamp and corona discharge

    Masato Kiuchi, Hiroaki Sakurai, Susumu Kitagawa, Takae Takeuchi

    Plasma Medicine　Vol. 4　No. 1-4　p. 131-135　2014年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Begell House Inc.

  46. Dependence of catalytic properties of indium implanted SiO<inf>2</inf> thin films on the film-substrate temperature during indium ion implantation

    S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms　Vol. 315　p. 222-226　2013年11月15日　研究論文（学術雑誌）

  47. Low energy indium or gallium iom beam injection to SiO2 thin films for development of novel catalysts

    S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi

    12th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12) & 21st International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM21), 4-8 November, 2013, Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, 5P　2013年11月

  48. Surface Modification of Poly(methyl methacrylate) by Hydrogen-Plasma Exposure and Its Sputtering Characteristics by Ultraviolet Light Irradiation

    Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Satoshi Sugimoto, Kensuke Murai, Kuniaki Honjo, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 52　No. 9　2013年9月　研究論文（学術雑誌）

  49. Colorless alkaline solution of chloride-free gold acetate for impregnation: An innovative method for preparing highly active Au nanoparticles catalyst

    Hiroaki Sakurai, Kenji Koga, Yasuo Iizuka, Masato Kiuchi

    APPLIED CATALYSIS A-GENERAL　Vol. 462　p. 236-246　2013年7月　研究論文（学術雑誌）

  50. ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ曝露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング

    吉村 智, 幾世 和将, 杉本 敏司, 村井 健介, 木内 正人, 浜口 智志

    真空　Vol. 56　No. 4　p. 129-132　2013年4月10日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  51. 臭い化合物による汚染微生物の検出技術の開発

    鈴木 孝仁, 木内 正人, 竹内 孝江

    日本防菌防黴学会誌 = Journal of antibacterial and antifungal agents　Vol. 41　No. 2　p. 93-97　2013年2月10日

    出版者・発行元：日本防菌防黴学会

  52. Sputtering yields and surface modification of poly(methyl methacrylate) (PMMA) by low-energy Ar+/CF3+ ion bombardment with vacuum ultraviolet (VUV) photon irradiation

    Satoru Yoshimura, Yasuhiro Tsukazaki, Masato Kiuchi, Satoshi Sugimoto, Satoshi Hamaguchi

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS　Vol. 45　No. 50　2012年12月　研究論文（学術雑誌）

  53. Sputtering yields of magnesium hydroxide [Mg(OH)(2)] by noble-gas ion bombardment

    Kazumasa Ikuse, Satoru Yoshimura, Masato Kiuchi, Masaharu Terauchi, Mikihiko Nishitani, Satoshi Hamaguchi

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS　Vol. 45　No. 43　2012年10月　研究論文（学術雑誌）

  54. Sputtering Yields of CaO, SrO, and BaO by Monochromatic Noble Gas Ion Bombardment

    Satoru Yoshimura, Kiyohiro Hine, Masato Kiuchi, Jun Hashimoto, Masaharu Terauchi, Yosuke Honda, Mikihiko Nishitani, Satoshi Hamaguchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 51　No. 8　2012年8月　研究論文（学術雑誌）

  55. Analysis of volatile metabolites emitted by soil-derived fungi using head space solid-phase microextraction/gas chromatography/mass spectrometry: I. Aspergillus fumigatus, Aspergillus nidulans, Fusarium solani and Penicillium paneum

    Takae Takeuchi, Tomoko Kimura, Haruna Tanaka, Sachiyo Kaneko, Shoko Ichii, Masato Kiuchi, Takahito Suzuki

    SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS　Vol. 44　No. 6　p. 694-698　2012年6月　研究論文（学術雑誌）

  56. Dependence of catalytic properties of indium-implanted SiO2 thin films on the energy and dose of incident indium ions

    S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi

    THIN SOLID FILMS　Vol. 520　No. 15　p. 4894-4897　2012年5月　研究論文（学術雑誌）

  57. Low energy metal ion beam production with a modified freeman-type ion source for development of novel catalysts

    S. Yoshimuray, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi

    e-Journal of Surface Science and Nanotechnology　Vol. 10　p. 139-144　2012年4月　研究論文（学術雑誌）

  58. Chromium nitride films formed by ion beam assisted deposition at low nitrogen ion energies in comparison to high energies

    W. Ensinger, S. Flege, M. Kiuchi, K. Honjo

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 272　p. 437-440　2012年2月　研究論文（学術雑誌）

  59. Low energy mass-selected metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source

    S. Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    The 8th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2012), 16-18 January, 2012, Todaiji Culture Center, Nara, Japan, P-21　2012年1月

  60. Fungal Oder Analysis for Conservation of Cultural Properties

    Takae Takeuchi, Masato Kiuchi, Takahito Suzuki

    J. Jpn. Assoc. Oder Environ.　Vol. 43　No. 3　p. 211-216　2012年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：社団法人 におい・かおり環境協会

  61. Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation

    Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 206　No. 5　p. 816-819　2011年11月　研究論文（学術雑誌）

  62. Measurement of MgO, CaO, SrO, and BaO sputtering yields by noble gas ions for plasma display panel cells

    S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, Y. Honda, M. Nishitani, S. Hamaguchi

    Proceedings of International Symposium on Dry Process　2011年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  63. Experimental evaluation of CaO, SrO and BaO sputtering yields by Ne+ or Xe+ ions

    Satoru Yoshimura, Kiyohiro Hine, Masato Kiuchi, Jun Hashimoto, Masaharu Terauchi, Yosuke Honda, Mikihiko Nishitani, Satoshi Hamaguchi

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS　Vol. 44　No. 25　2011年6月　研究論文（学術雑誌）

  64. Novel catalysts: Indium implanted SiO2 thin films

    S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi

    APPLIED SURFACE SCIENCE　Vol. 257　No. 1　p. 192-196　2010年10月　研究論文（学術雑誌）

  65. Effect of light irradiation from inductively coupled Ar plasma on etching yields of SiO(2) film by CF(3) ion beam injections

    S. Yoshimura, Y. Tsukazaki, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    FOURTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATOMIC TECHNOLOGY　Vol. 232　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  66. Measurement of sputtering/etching yields by CF3 ion beam injection with UV light irradiation

    Y. Tsukazaki, K. IKuse, S.Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    The 4th International Symposium on Atomic Technologies (ISAT-4), 18-19 November, 2009, Seaside Hotel MAIKO VILLA KOBE, Hyogo, Japan, P-21　2009年11月

  67. Sputtering yields of Au by low-energy noble gas ion bombardment

    Kazumasa Ikuse, Satoru Yoshimura, Kiyohiro Hine, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS　Vol. 42　No. 13　2009年7月　研究論文（学術雑誌）

  68. Ion beam assisted deposition of nitrogen-containing chromium films: A comparison of argon vs nitrogen ions

    W. Ensinger, M. Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 203　No. 17-18　p. 2763-2766　2009年6月　研究論文（学術雑誌）

  69. CF_3^+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果

    幾世 和将, 吉村 智, 塚崎 泰裕, 木内 正人, 浜口 智志

    真空　Vol. 52　No. 3　p. 127-130　2009年3月20日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  70. Effect of ultraviolet light irradiation on etching process of poly(methyl methacrylate) by ion beam injections

    S. Yoshimura, K. Ikuse, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 191　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  71. Experimental evaluation of MgO sputtering yields by monochromatic Ne, Kr, or Xe ion beams

    Kiyohiro Hine, Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Masato Kiuchi, Jun Hashimoto, Masaharu Terauchi, Mikihiko Nishitani, Satoshi Hamaguchi

    THIN SOLID FILMS　Vol. 517　No. 2　p. 835-840　2008年11月　研究論文（学術雑誌）

  72. 光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測定

    幾世 和将, 吉村 智, 滝澤 敏史, 唐橋 一浩, 木内 正人, 浜口 智志

    真空　Vol. 51　No. 3　p. 158-161　2008年3月20日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  73. 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO_2/Si基板へのインジウムイオン注入

    日根 清裕, 吉村 智, 唐橋 一浩, 木内 正人, 浜口 智志

    真空　Vol. 51　No. 3　p. 218-220　2008年3月20日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  74. “Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.　p. 90-93　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  75. Measurement of Au sputtering yields by Ar and He ions with a low-energy mass selected ion beam system - art. no. 012019

    Kiyohiro Hine, Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi

    SECOND INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATOMIC TECHNOLOGY　Vol. 106　p. 12019-12019　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  76. Measurement of Sticking Probability and Sputtering Yield of Au by Low-Energy Mass Selected Ion Beams with a Quartz Crystal Microbalance - art. no. 012016

    Kazumasa Ikuse, Satoru Yoshimura, Masato Kiuchi, Kiyohiro Hine, Satoshi Hamaguchi

    SECOND INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATOMIC TECHNOLOGY　Vol. 106　p. 12016-12016　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  77. MgO sputtering yields by noble gas ions at relatively low injection energies

    S. Yoshimura, K. Hine, M. Matsukuma, K. Ikuse, M. Kiuchi, T. Nakao, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi

    IDW '08 - Proceedings of the 15th International Display Workshops　Vol. 3　p. 1865-1868　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  78. Highly oriented ZnO thin films deposited by grazing ion-beam sputtering: Application to acoustic shear wave excitation in the GHz range

    Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi

    Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters　Vol. 46　No. 45-49　p. L1167-L1169　2007年12月14日　研究論文（学術雑誌）

  79. Measurement of magnesium oxide sputtering yields by He and Ar ions with a low-energy mass-selected ion beam system

    Kiyohiro Hine, Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Masato Kiuchi, Jun Hashimoto, Masaharu Terauchi, Mikihiko Nishitani, Satoshi Hamaguchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　Vol. 46　No. 45-49　p. L1132-L1134　2007年12月　研究論文（学術雑誌）

  80. Sputtering yields by noble gas injections measured with a low-energy mass analyzed ion beam system

    K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    2nd International Symposium on Atomic Technologies (ISAT-2), 1-2 October, 2007, Awaji Yumebutai International Conference Center, Yumebutai, Awaji City, Hyogo, Japan, P-27　2007年10月

  81. Control of in-plane and out-of-plane texture in shear mode piezoelectric ZnO films by ion-beam irradiation

    Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 102　No. 4　2007年8月　研究論文（学術雑誌）

  82. Effect of ultraviolet (UV) light irradiation on sputtering yields by CF3 ion beam injection

    K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, T. Takizawa, T. Toyoshima, K. Karahashi, S. Hamaguchi

    18th International Symposium on Plasma Chemistry, August 26-31, 2007, Kyoto University, Kyoto, Japan　2007年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  83. Characteristics of pure-shear mode BAW resonators consisting of (1120) textured ZnO films.

    Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe

    IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control　Vol. 54　No. 8　p. 1680-6　2007年8月　研究論文（学術雑誌）

  84. Shear mode electromechanical coupling coefficient k(15) and crystallites alignment of (11(2)over-bar0) textured ZnO films

    Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 102　No. 2　2007年7月　研究論文（学術雑誌）

  85. Temporal evolution of ion fragment production from dimethylsilane by a hot tungsten wire and compounds deposited on the tungsten surface

    Satoru Yoshimura, Akinori Toh, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 46　No. 4A　p. 1707-1709　2007年4月　研究論文（学術雑誌）

  86. Incident-energy dependence of crystalline structures of ion beam deposited Au thin films

    T. Takizawa, T. Maeda, M. Kiuchi, S. Yoshimura, S. Hamaguchi

    PHILOSOPHICAL MAGAZINE　Vol. 87　No. 10　p. 1487-1495　2007年4月　研究論文（学術雑誌）

  87. Preparation of Ge-C films by low-energy ion beam induced chemical vapor deposition with hexamethyldigermane

    Takaomi Matsutani, Masato Kiuchi, Takae Takeuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 257　p. 261-264　2007年4月　研究論文（学術雑誌）

  88. 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたネオンによる金のスパッタ率の測定

    日根 清裕, 吉村 智, 木内 正人, 浜口 智志

    真空　Vol. 50　No. 3　p. 217-219　2007年3月20日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  89. Measurement of sputtering yields of Au thin film with low-energy mass analyzed ion beam system

    K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    The 1st International Symposium on Atomic Technology (ISAT-2007), 16-17 March, 2007, Tsukuba, Japan.　2007年3月

  90. “Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.　p. 1413-+　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  91. イオンビーム誘起化学蒸着法による酸化スズ薄膜の作製

    藤川 友佳, 木内 正人, 松谷 貴臣, 竹内 孝江

    真空　Vol. 49　No. 12　p. 780-781　2006年12月20日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  92. Temporal evolution of ion fragment production from methylsilane by a hot tungsten wire

    Satoru Yoshimura, Akinori Toh, Takahiro Toyoshima, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 100　No. 9　2006年11月　研究論文（学術雑誌）

  93. “Temperature characteristics of pure shear mode FBARs consisting of (11-20) textured ZnO films,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.　Vol. 1　p. 1459-1462　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  94. Electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (112̄0) textured Zno films

    Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe

    Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium　Vol. 1　p. 1463-1466　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  95. Crystalline structure control of Au thin films in ion beam deposition processes

    T. Takizawa, T. Maeda, S. Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23th Symposium on Plasma Processing　2006年1月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  96. Fragment ions of methylsilane and dimethylsilane generated in tungsten-based catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) processes

    S. Yoshimura, A. Toh, T. Maeda, S. Sugimoto, M. Kiuchi, S. Hamaguchi

    Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23th Symposium on Plasma Processing　2006年1月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  97. Structural characterization of nanocrystalline TiO2 and TiO2 : SiO2 powders and thin films at 35 degrees C

    C Liu, Q Fu, JB Wang, WK Zhao, YL Fang, T Mihara, M Kiuchi

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY　Vol. 46　p. S104-S108　2005年6月　研究論文（学術雑誌）

  98. LPI法によるナノ形状セラミックスの高感度ガスセンサへの適用

    出来 成人, 水畑 穣, 梶並 昭彦, 大前 伸夫, 田川 雅人, 横田 久美子, 竹内 俊文, 石川 博, 蔡 奎千, 前川 享, 前田 浩一, 齋藤 靖弘, 関口 幸成, 小林 哲彦, 木内 正人, 桜井 宏昭, 山中 直樹, 山口 寿一

    地域新生コンソーシアム研究開発事業 平成16年度報告書　Vol. 全24p　2005年3月　研究論文（学術雑誌）

  99. Self-assembled nano-dots of heteroepitaxial SiC on Si

    Takashi Matsumoto, Masato Kiuchi, Satoshi Sugimoto, Seiichi Goto

    Materials Research Society Symposium Proceedings　Vol. 908　p. 114-117　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Materials Research Society

  100. Exploration of diamond thin-film formation dynamics using low-energy C+ ion beam

    T. Takizawa, T. Sadahiro, M. Kiuchi, T. Fukuda, S. Goto

    Proc. International COE Forum on Plasma Science and Technology, 5-7 April 2004, Nagoya, Japan　2004年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  101. Exploration of the dynamics of group IV heteroepitaxial structure formation using extremely low-energy ion beam

    T. Fukuda, S. Goto, M. Inomoto, T. Isono, M. Kiuchi, T. Maeda, T. Sadahiro, T. Takizawa

    Proc. International Workshop on Plasma-Nano Technology and Its Future Vision, Takayama, Japan, 4-6 February, P-9 (2004)　2004年2月

  102. Exploration of the dynamics of nano-structure formation of group IV crystals using extremely low-energy ion Beam

    T. Fukuda, S. Goto, S. Okada, M. Kiuchi, S. Sugimoto, M. Inomoto, Y. Kitano, T. Sadahiro, T. Takizawa, T. Isono, S. Ueda, T. Maeda, T. Yamada

    Proc. International Symposium on the Creation of Novel Nanomaterials, Osaka, Japan, 20-22 January, p.83 (2004)　2004年1月

  103. Research activities at science and technology center for atoms, molecules and ions control, graduate school of engineering, Osaka University

    T. Fukuda, S. Goto, S. Okada, M. Kiuchi, S. Sugimoto, M. Inomoto, Y. Yano, F. Kodera, M. Ohta, Y. Kitano, T. Sadahiro, T. Takizawa, T. Isono, S. Ueda, T. Maeda, D. Kohno, T. Yamada

    Proc. 21st Symposium on Plasma Processing, Sapporo, Japan, 28-30 January, p.16 (2004)　2004年1月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  104. 低エネルギーイオンビームプロセス

    木内 正人, 松本 貴士, 杉本 敏司, 後藤 誠一, 竹内 孝江

    高温学会誌　Vol. 29　No. 5　p. 193-195　2003年9月20日

    出版者・発行元：高温学会

  105. 極低エネルギーイオンビーム技術と材料開発への応用

    木内 正人

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research　Vol. 79　No. 7　p. 645-649　2003年7月25日

    出版者・発行元：The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

  106. Characteristics of an Inverter Power Discharge for Plasma Production

    Seiji Takechi, Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi, Katsutoshi Tanaka, Seiichi Goto

    Proceedings of XXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases, Vol.1, pp.253-256　2001年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  107. Ionization of Organosilicon in Freeman-type Ion Source

    Takae Takeuchi, Masato Kiuchi, Takashi Matsumoto, Kazuhiko Mimoto, Satoshi Sugimoto, Seiichi Goto

    Advances in Mass Spectrometry, edited E. Gelpi, Vol.15, pp.807-808 (Wiley 2001)　2001年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  108. Analysis of hydrophile process of a polymer surface with an inverter plasma

    Nariaki Murakami, Katsutoshi Tanaka, Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi, Seiichi Goto

    Surface and Coatings Technology　Vol. 136　No. 1-3　p. 265-268　2001年2月2日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier Sequoia SA

  109. Ion-assisted deposition of copper using an inverter plasma

    Masato Kiuchi, Kensuke Murai, Katsutoshi Tanaka, Seiji Takechi, Satoshi Sugimoto, Seiichi Goto

    Surface and Coatings Technology　Vol. 136　No. 1-3　p. 273-275　2001年2月2日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier Sequoia SA

  110. Operational parameter effects on inverter plasma performance

    Seiji Takechi, Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi, Katsutoshi Tanaka, Seiichi Goto

    Surface and Coatings Technology　Vol. 136　No. 1-3　p. 69-72　2001年2月2日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier Sequoia SA

  111. Inverter plasma discharge system

    Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi, Seiji Takechi, Katsutoshi Tanaka, Seiichi Goto

    Surface and Coatings Technology　Vol. 136　No. 1-3　p. 65-68　2001年2月2日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier Sequoia SA

  112. Formation of Cubic-SiC Thin Films on Si(111) using the Molecular Ion Beam Technique

    Takashi Matsumoto, M. Kiuchi, Masato Kiuchi, Satoshi Sugimoto, Seiichi Goto

    Materials Research Society Symposium Proceedings, pp.165-169　2001年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  113. Crystallization in low-energy deposition of titanium ions

    M Kiuchi, T Matsumoto, T Yoshikawa, S Goto, W Ensinger

    COLLOIDS AND SURFACES B-BIOINTERFACES　Vol. 19　No. 3　p. 269-273　2000年12月　研究論文（学術雑誌）

  114. Deposition of 3C-SiC films using ECR plasma of methylsilane

    Takaomi Matsutani, Masato Kiuchi, Takae Takeuchi, Takashi Matsumoto, Kazuhiko Mimoto, Seiichi Goto

    Vacuum　Vol. 59　No. 1　p. 152-158　2000年10月　研究論文（学術雑誌）

  115. Tantalum nitride films formed by ion beam assisted deposition: analysis of the structure in dependence on the ion irradiation intensity

    K Volz, M Kiuchi, W Ensinger

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 128　p. 298-302　2000年6月　研究論文（学術雑誌）

  116. Ion beam-assisted deposition of nitrides of the 4th group of transition metals

    W Ensinger, K Volz, M Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 128　p. 81-84　2000年6月　研究論文（学術雑誌）

  117. C-SiC-Si gradient films formed on silicon by ion beam assisted deposition at room temperature

    K Volz, M Kiuchi, M Okumura, W Ensinger

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 128　p. 274-279　2000年6月　研究論文（学術雑誌）

  118. Development and properties of a Freeman-type hybrid ion source

    T Matsumoto, K Mimoto, S Goto, M Ohba, Y Agawa, M Kiuchi

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　Vol. 71　No. 2　p. 1168-1170　2000年2月　研究論文（学術雑誌）

  119. Production of organosilicon ions for SiC epitaxy

    M Kiuchi, T Matsumoto, K Mimoto, T Takeuchi, S Goto

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　Vol. 71　No. 2　p. 1157-1159　2000年2月　研究論文（学術雑誌）

  120. Deposition of cubic-SiC thin films on Si(111) using the molecular ion beam technique

    T Matsumoto, K Mimoto, M Kiuchi, S Sugimoto, S Goto

    FUNDAMENTAL MECHANISMS OF LOW-ENERGY-BEAM-MODIFIED SURFACE GROWTH AND PROCESSING　Vol. 585　p. 165-169　2000年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  121. 有機ケイ素イオンビームを用いた炭化ケイ素結晶成長

    木内正人, 松谷貴臣, 竹内孝江, 松本貴士, 美本和彦, 後藤誠一

    真空　Vol. 43　No. 3　2000年1月　研究論文（学術雑誌）

  122. Formation of hafnium nitride films by medium-energy ion-beam-assisted deposition

    K Volz, M Kiuchi, W Ensinger

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 120　p. 353-357　1999年11月　研究論文（学術雑誌）

  123. An ab initio molecular orbital study of the electron affinity of boron clusters

    T Takeuchi, M Yamamoto, M Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 153　No. 1-4　p. 298-301　1999年6月　研究論文（学術雑誌）

  124. フリーマン型スパッターイオン源の開発とその製膜への応用

    松本 貴士, 美本 和彦, 吉川 貴文, 木内 正人, 後藤 誠一, 大庭 昌俊, 阿川 義昭

    真空　Vol. 42　No. 3　p. 341-344　1999年3月

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  125. Effect of charge on ion-solid interaction at the surface of two-dimensional materials

    T Takeuchi, M Yamamoto, M Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 148　No. 1-4　p. 132-136　1999年1月　研究論文（学術雑誌）

  126. Structural investigations of chromium nitride films formed by ion beam-assisted deposition

    K Volz, M Kiuchi, W Ensinger

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 108　No. 1-3　p. 303-307　1998年10月　研究論文（学術雑誌）

  127. The microstructure of transparent and electrically conducting titanium nitride films

    M. Kiuchi, A. Chayahara, M. Tarutani, Y. Takai, R. Shimizu

    Materials Chemistry and Physics　Vol. 54　No. 1-3　p. 330-333　1998年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  128. The formation of chromium/nitrogen phases by nitrogen ion implantation during chromium deposition as a function of ion-to-atom arrival ratio

    W Ensinger, M Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 94-5　No. 1-3　p. 433-436　1997年10月　研究論文（学術雑誌）

  129. Effects of charge in ion-surface interactions

    M Kiuchi, T Takeuchi, M Yamamoto

    SURFACE SCIENCE　Vol. 372　No. 1-3　p. L319-L322　1997年2月　研究論文（学術雑誌）

  130. The charge effects in the low-energy ion depositing processes

    M Kiuchi, T Takeuchi, M Yamamoto

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 121　No. 1-4　p. 154-156　1997年1月　研究論文（学術雑誌）

  131. Cubic nitrides of the sixth group of transition metals formed by nitrogen ion irradiation during metal condensation

    W Ensinger, M Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 84　No. 1-3　p. 425-428　1996年10月　研究論文（学術雑誌）

  132. LOW-TEMPERATURE FORMATION OF METASTABLE CUBIC TANTALUM NITRIDE BY METAL CONDENSATION UNDER ION IRRADIATION

    W ENSINGER, M KIUCHI, M SATOU

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 77　No. 12　p. 6630-6635　1995年6月　研究論文（学術雑誌）

  133. EFFECT OF ION AND ATOM MASSES ON THE CRYSTALLOGRAPHIC ORIENTATION OF NITRIDE FILMS PREPARED BY ION-BEAM-ASSISTED DEPOSITION

    W ENSINGER, M KIUCHI, M SATOU

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 66　No. 1-3　p. 313-317　1994年8月　研究論文（学術雑誌）

  134. NITRIDATION OF VANADIUM BY ION-BEAM IRRADIATION

    M KIUCHI, A CHAYAHARA, A KINOMURA

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 65　No. 1-3　p. 142-147　1994年7月　研究論文（学術雑誌）

  135. 3-DIMENSIONAL ANALYSIS OF LOCALLY DEPOSITED SILICON-OXIDE ON FERRITE BY A COMBINATION OF MICROPROBE RBS AND PIXE

    A KINOMURA, Y HORINO, Y MOKUNO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M TAKAI, YF LU

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 85　No. 1-4　p. 689-692　1994年3月　研究論文（学術雑誌）

  136. OBSERVATION OF LOCAL SIMOX LAYERS BY MICROPROBE RBS

    A KINOMURA, Y HORINO, Y MOKUNO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M TAKAI, T LOHNER, H RYSSEL, R SCHORK

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 85　No. 1-4　p. 921-924　1994年3月　研究論文（学術雑誌）

  137. MEV HEAVY-ION MICROPROBE PIXE FOR THE ANALYSIS OF THE MATERIALS SURFACE

    Y MOKUNO, Y HORINO, A KINOMURA, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M TAKAI

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 85　No. 1-4　p. 741-743　1994年3月　研究論文（学術雑誌）

  138. TITANIUM NITRIDE FOR TRANSPARENT CONDUCTORS

    M KIUCHI, A CHAYAHARA

    APPLIED PHYSICS LETTERS　Vol. 64　No. 8　p. 1048-1049　1994年2月　研究論文（学術雑誌）

  139. ダイナミックミキシング法による窒化チタン厚膜の形成

    木内 正人, 茶谷原 昭義, 嶋岡 智司, 長坂 浩志, 土屋 直樹

    表面技術　Vol. 45　No. 7　p. 741-742　1994年

    出版者・発行元：The Surface Finishing Society of Japan

  140. ダイナミックミキシング法による透光性窒化チタン超薄膜の形成

    木内 正人, 茶谷原 昭義

    表面技術　Vol. 45　No. 9　p. 954-955　1994年

    出版者・発行元：The Surface Finishing Society of Japan

  141. Surface and interface study of titanium nitride on si substrate produced by dynamic ion beam mixing method

    Young Whoan, Masayoshi Tarutani, Kyung-Youl Min, Masato Kiuchi, Ryuichi Shimizu

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 33　No. 4R　p. 2025-2030　1994年　研究論文（学術雑誌）

  142. 高温高ドーズMeVイオン注入によるSiC埋め込み層の形成

    茶谷原 昭義, 木内 正人, 木野村 淳, 杢野 由明, 堀野 裕治, 藤井 兼栄

    真空　Vol. 36　No. 11　p. 856-861　1993年11月20日

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  143. Reflection High Energy Electron Diffraction Observation of Dynamic Ion Beam Mixing Process in Titanium Nitride Crystal Growth

    Beag Young Whoan, Min Kyung-youl, Inoue Masahiko, Kiuchi Masato, Fujii Kanenaga, Shimizu Ryuichi

    Jpn J Appl Phys　Vol. 32　No. 10　p. 4714-4717　1993年10月20日

    出版者・発行元：社団法人応用物理学会

  144. FORMATION OF CRYSTALLINE SIC BURIED LAYER BY HIGH-DOSE IMPLANTATION OF MEV CARBON-IONS AT HIGH-TEMPERATURE

    A CHAYAHARA, M KIUCHI, A KINOMURA, Y MOKUNO, Y HORINO, K FUJII

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　Vol. 32　No. 9A　p. L1286-L1288　1993年9月　研究論文（学術雑誌）

  145. ION MONITORING OF ION-BEAM DYNAMIC MIXING PROCESS

    A CHAYAHARA, M KIUCHI, Y MOKUNO, Y HORINO, K FUJII, M SATOU

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 80-1　p. 124-127　1993年6月　研究論文（学術雑誌）

  146. THE PROPERTIES OF TITANIUM NITRIDE PREPARED BY DYNAMIC ION MIXING

    H NAGASAKA, N TSUCHIYA, M KIUCHI, A CHAYAHARA, K FUJII, M SATOU

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 80-1　p. 1380-1383　1993年6月　研究論文（学術雑誌）

  147. A HEAVY-ION MICROPROBE AND ITS APPLICATION TO MULTIDIMENSIONAL PROCESSING AND ANALYSIS

    Y HORINO, Y MOKUNO, A KINOMURA, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 79　No. 1-4　p. 424-427　1993年6月　研究論文（学術雑誌）

  148. MASKLESS FABRICATION OF CONTACT VIAS BY FOCUSED MEV HEAVY-ION BEAM

    Y MOKUNO, Y HORINO, A KINOMURA, A CHAYAHARA, M KIUCHI, S TAMURA, K FUJII, M TAKAI

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 80-1　p. 1292-1295　1993年6月　研究論文（学術雑誌）

  149. APPLICATION OF MEV HEAVY-ION MICROPROBES FOR PIXE MEASUREMENTS

    Y MOKUNO, Y HORINO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M SATOU, M TAKAI

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 77　No. 1-4　p. 128-131　1993年5月　研究論文（学術雑誌）

  150. HEAVY-ION MICROPROBES AND THEIR APPLICATIONS

    M TAKAI, Y HORINO, Y MOKUNO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M SATOU

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 77　No. 1-4　p. 8-16　1993年5月　研究論文（学術雑誌）

  151. INSITU MULTIDIMENSIONAL OBSERVATION OF MASKLESSLY IMPLANTED SITES USING MEV HEAVY-ION MICROPROBES

    Y MOKUNO, Y HORINO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M SATOU, M TAKAI

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 77　No. 1-4　p. 373-377　1993年5月　研究論文（学術雑誌）

  152. Simulator for dynamic ion beam mixing

    A. Seidl, K. Fujii, M. Kiuchi, M. Satou, M. Takai

    Materials Research Society Symposium Proceedings　Vol. 279　p. 29-34　1993年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Publ by Materials Research Society

  153. CONTROL OF PREFERENTIALLY ORIENTED CRYSTAL-GROWTH OF TITANIUM NITRIDE - EFFECTS OF NITROGEN ADSORPTION AND ION-BEAM IRRADIATION IN DYNAMIC MIXING PROCESS

    M KIUCHI, A CHAYAHARA, Y HORINO, K FUJII, M SATOU, W ENSINGER

    APPLIED SURFACE SCIENCE　Vol. 60-1　p. 760-764　1992年8月　研究論文（学術雑誌）

  154. PHASE-COMPOSITION OF CHROMIUM FILMS DEPOSITED UNDER NITROGEN ION-BOMBARDMENT AND THEIR CORROSION PROTECTION POTENTIAL

    W ENSINGER, A SCHROER, M KIUCHI, Y HORINO, A CHAYAHARA, K FUJII, M SATOU, R LEUTENECKER, C KLATT

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 51　No. 1-3　p. 466-470　1992年4月　研究論文（学術雑誌）

  155. バナジウム薄膜へのイオン注入による窒化

    木内 正人, 茶谷原 昭義, 堀野 裕治, 杢野 由明, 藤井 兼栄, 佐藤 守

    真空　Vol. 35　No. 3　p. 364-367　1992年3月20日

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  156. MICROANALYSIS OF MASKLESSLY MEV-ION-IMPLANTED AREA BY MEV HEAVY-ION MICROPROBE

    Y HORINO, Y MOKUNO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M SATOU, M TAKAI

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 64　No. 1-4　p. 358-361　1992年2月　研究論文（学術雑誌）

  157. Effect of high energy ion implantation on sapphire

    T. Miyano, T. Matsumae, H. Yoko-o, Y. Andoh, M. Kiuchi, M. Satou

    Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B　Vol. 59-60　No. 2　p. 1167-1172　1991年7月1日　研究論文（学術雑誌）

  158. A FOCUSED MEV HEAVY-ION BEAM LINE FOR MATERIALS MODIFICATION AND MICROANALYSIS

    Y HORINO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M SATOU, M TAKAI

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 59　p. 139-144　1991年7月　研究論文（学術雑誌）

  159. THE INFLUENCE OF THERMODYNAMIC PHASE STABILITIES ON THE FORMATION OF NITRIDE PHASES OF CHROMIUM AND TITANIUM BY DYNAMIC ION-BEAM MIXING

    W ENSINGER, M KIUCHI, Y HORINO, A CHAYAHARA, K FUJII, M SATOU

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 59　p. 259-263　1991年7月　研究論文（学術雑誌）

  160. MeVイオン注入による表層改質

    茶谷原 昭義, 木内 正人, 堀野 裕治, 藤井 兼栄, 佐藤 守

    応用物理　Vol. 60　No. 7　p. 674-681　1991年

    出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics

  161. MICROBEAM LINE OF MEV HEAVY-IONS FOR MATERIALS MODIFICATION AND INSITU ANALYSIS

    Y HORINO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M SATOH, M TAKAI

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　Vol. 29　No. 11　p. 2680-2683　1990年11月　研究論文（学術雑誌）

  162. FOCUSED HIGH-ENERGY HEAVY-ION BEAMS

    Y HORINO, A CHAYAHARA, M KIUCHI, K FUJII, M SATOU, F FUJIMOTO

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　Vol. 29　No. 6　p. 1230-1233　1990年6月　研究論文（学術雑誌）

  163. Preferentially oriented crystal growth in dynamic mixing process–an approach by monte carlo simulation–

    Masato Kiuchi, Akiyoshi Chayahara, Yuji Horino, Kanenaga Fujii, Mamoru Satou, Hee Jae Kang, Young Whoan Beag, Yoshihide Kimura, Ryuichi Shimizu

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 29　No. 10　p. 2059-2065　1990年　研究論文（学術雑誌）

  164. Variation of crystallization with arrival ratio in titanium nitride films formed by dynamic mixing method

    M. Satou, K. Fujii, M. Kiuchi, F. Fujimoto

    Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B　Vol. 39　No. 1-4　p. 166-169　1989年3月2日　研究論文（学術雑誌）

  165. RBS ANALYSIS OF BEAM-PROCESSED MICROAREA BY FOCUSED MEV ION-BEAM

    A KINOMURA, M TAKAI, T MATSUO, S UJIIE, S NAMBA, M SATOU, M KIUCHI, K FUJII, T SHIOKAWA

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 39　No. 1-4　p. 40-42　1989年3月　研究論文（学術雑誌）

  166. Film formation of dititanium nitride by the dynamic mixing method

    Masato Kiuchi, Kanenaga Fujii, Hiroshi Miyamura, Kohei Kadono, Mamoru Satou, Fuminori Fujimoto

    Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B　Vol. 37-38　No. C　p. 701-703　1989年2月2日　研究論文（学術雑誌）

  167. INFLUENCE OF EXCITATION-CURRENT DEVIATION OF A QUADRUPOLE MAGNET ON BEAM SPOT SIZE FOR MEV MICROBEAMS

    M TAKAI, A KINOMURA, T MATSUO, S NAMBA, M SATOU, M KIUCHI, K FUJII

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 37-8　p. 244-247　1989年2月　研究論文（学術雑誌）

  168. OPTIMIZATION IN SPOT SIZES OF FOCUSED MEV ION-BEAM BY PRECISE ADJUSTMENT OF LENS-CURRENT EXCITATIONS

    A KINOMURA, M TAKAI, T MATSUO, M KIUCHI, K FUJII, M SATOU, S NAMBA

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　Vol. 27　No. 7　p. L1346-L1348　1988年7月　研究論文（学術雑誌）

  169. Microstructure of titanium nitride films produced by the dynamic mixing method

    Kiuchi Masato, Fujii Kanenaga, Tanaka Toshimitsu, Satou Mamoru, Fuminori Fujimoto

    Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B　Vol. 33　No. 1-4　p. 649-652　1988年6月2日　研究論文（学術雑誌）

  170. イオンミキシング法による高Ｃ‐高Ｃｒ鋼へのＴｉＮ皮膜の形成と耐摩耗性

    下村 順一, 木村 達巳, 上田 修三, 佐藤 守, 藤井 兼榮, 木内 正人

    金属表面技術　Vol. 39　No. 10　p. 630-635　1988年

    出版者・発行元：The Surface Finishing Society of Japan

  171. Surface Modification by Ion Beam Mixing

    Kanenaga Fujii, Masato Kiuchi, Akiyoshi Chayahara, Mamoru Satou

    Journal of the Society of Materials Science, Japan　Vol. 37　No. 421　p. 1131-1138　1988年　研究論文（学術雑誌）

  172. Titanium nitride crystal growth with preferred orientation by dynamic mixing method

    Masato Kiuchi, Masato Tomita, Kanenaga Fujii, Mamoru Satou, Ryuichi Shimizu

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 26　No. 6A　p. 938-940　1987年　研究論文（学術雑誌）

MISC 122

  1. 質量分離有機金属分子イオンビーム堆積法のストイキオメトリ成膜への応用

    吉村智, 杉本敏司, 竹内孝江, 村井健介, 木内正人

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 80th　2019年

  2. TiO2系光触媒上での水中酢酸酸化分解における二次粒子径の影響

    櫻井宏昭, 木内正人, 神哲郎

    触媒討論会討論会A予稿集(CD-ROM)　Vol. 124th　2019年

  3. Indium Implantation onto Zeolite by Pulse Arc Plasma Process for the Development of Novel Catalysts (vol 44, pg 1292, 2015)

    Satoru Yoshimura, Yoshihiro Nishimoto, Masato Kiuchi, Makoto Yasuda

    CHEMISTRY LETTERS　Vol. 45　No. 11　p. 1333-1333　2016年11月　その他

  4. Aspergillus fumigatusおよびFusarium solaniにおける気相を介した増殖抑制作用と作用物質について

    鈴木 孝仁, 木村 知子, 竹内 孝江, 木内 正人

    Medical Mycology Journal　Vol. 57　No. Suppl.1　p. 96-96　2016年9月

    出版者・発行元：(一社)日本医真菌学会

  5. 大気圧プラズマジェットの質の可視化とCVDへの応用

    木内正人, 本城国明, 伊藤智子, 浜口智志

    表面技術協会講演大会講演要旨集　Vol. 131st　2015年

  6. 医真菌Aspergillus fumigatusとFusarium solaniに見られる揮発性有機化合物による自己増殖抑制と多感作用

    鈴木 孝仁, 竹内 孝江, 木村 知子, 田中 春菜, 木内 正人

    Medical Mycology Journal　Vol. 55　No. Suppl.1　p. 107-107　2014年10月

    出版者・発行元：(一社)日本医真菌学会

  7. ゼオライトへの低エネルギーインジウムイオン照射と触媒効果

    吉村智, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 55th　2014年

  8. ファインバブルに分散したオリーブオイルの質量分析

    木内正人, 岩松雅子, 竹内孝江

    日本水環境学会シンポジウム講演集　Vol. 17th　2014年

  9. 低エネルギーインジウム照射SiO2の触媒効果の基板温度依存性

    吉村智, 幾世和将, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 60th　2013年

  10. 気相を介した異種真菌間の成長抑制作用

    木内 葉子, 鈴木 孝仁, 竹内 孝江, 木村 知子, 木内 正人

    Medical Mycology Journal　Vol. 53　No. Suppl.1　p. 67-67　2012年10月

    出版者・発行元：(一社)日本医真菌学会

  11. 低エネルギーイオンビーム照射によるPMMAエッチングイールドへの紫外線照射および水素プラズマ暴露の影響

    幾世和将, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 53rd　2012年

  12. 低エネルギーイオンビーム照射によるPMMAエッチングイールドの測定と水素プラズマ暴露のエッチングイールドへの影響

    吉村智, 塚崎泰裕, 杉本敏司, 木内正人, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 59th　2012年

  13. 希ガスイオン照射による水酸化マグネシウムのスパッタ率測定

    幾世和将, 吉村智, 木内正人, 寺内正治, 西谷幹彦, 西谷幹彦, 浜口智志

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 73rd　2012年

  14. インジウム照射SiO2基板の触媒効果の入射エネルギー依存性

    吉村智, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 72nd　2011年

  15. フロロカーボンプラズマからのイオン照射によるPMMAのエッチングイールド

    塚崎泰裕, 吉村智, 木内正人, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 58th　2011年

  16. ESIに近い大気圧マトリックス支援レーザー脱離イオン化(AP-MALDI)の特性

    高岡真也, 川崎英也, 木内正人, 荒川隆一

    質量分析総合討論会講演要旨集　Vol. 59th　2011年

  17. 超音波計測 (1120)配向AIN薄膜を用いた純横波モード共振子

    柳谷 隆彦, 木内 正人, 松川 真美

    超音波techno　Vol. 22　No. 1　p. 46-49　2010年1月

    出版者・発行元：日本工業出版

  18. SiO2基板への低エネルギーインジウムイオンビームの照射と触媒効果

    吉村智, 日根清裕, 木内正人, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 浜口智志

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 70th　No. 1　2009年

  19. 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いたシリカ基板へのインジウムおよびガリウムの注入

    吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 木内正人, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 50th　2009年

  20. NeおよびXeイオンの照射によるMgO,CaO,SrO,BaOのスパッタ率測定

    吉村智, 日根清裕, 木内正人, 木内正人, 橋本潤, 寺内正治, 本多洋介, 坂井全弘, 西谷幹彦, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 56th　No. 1　2009年

  21. Microbial volatile organic compounds (MVOCs) and their presumed physiological role for growth regulation in the soil-derived fungal organisms.

    SUZUKI Takahito, Sachiyo Kaneko, Haruna Tanaka, Tomoko Kimura, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi, Shin-ichi Iwaguchi, Koji Yokoyama, Takahito Suzuki

    In Papers of JSPS-IIAS Joint International Symposium on Conservation Technology for Cultural Heritage, held at the International Institute for Advanced Studies　Vol. 1　No. 1　p. 46-51　2009年

  22. 1P4-9 (112^^-0)配向AlN 薄膜を用いた純横波モード共振子(ポスターセッション)

    柳谷 隆彦, 木内 正人

    超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集　Vol. 29　p. 111-112　2008年11月11日

    出版者・発行元：超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会

  23. CF3イオンビームと光の重畳照射によるSiO2エッチングイールドの測定

    幾世和将, 吉村智, 唐橋一浩, 滝澤敏史, 木内正人, 木内正人, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 55th　No. 1　2008年

  24. CF3+イオンビームを用いたPMMAエッチングにおける光照射重畳効果

    幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 木内正人, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 49th　2008年

  25. 圧電・超音波材料 イオン照射によるZnO圧電膜の配向制御

    柳谷 隆彦, 木内 正人

    超音波techno　Vol. 20　No. 1　p. 67-70　2008年1月

    出版者・発行元：日本工業出版

  26. 1-05-05 イオンビーム照射によるZnO圧電膜の配向制御(バルク波デバイス)

    柳谷 隆彦, 木内 正人

    超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集　Vol. 28　p. 155-156　2007年11月14日

    出版者・発行元：超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会

  27. 光照射を重畳したCF3イオンビームによるスパッタ率の測定

    幾世和将, 吉村智, 木内正人, 木内正人, 滝澤敏史, 豊島隆寛, 唐橋一浩, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 54th　No. 1　2007年

  28. 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いたシリカ基板へのインジウム注入

    日根清裕, 吉村智, 木内正人, 木内正人, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 48th　2007年

  29. 希ガスイオンの照射によるMgOのスパッタ率測定

    日根清裕, 吉村智, 幾世和将, 木内正人, 木内正人, 橋本潤, 寺内正治, 中尾武寿, 西谷幹彦, 浜口智志

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 68th　No. 1　2007年

  30. 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いた酸化マグネシウムのスパッタ率測定

    日根清裕, 吉村智, 幾世和将, 木内正人, 木内正人, 橋本潤, 寺内正治, 西谷幹彦, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 54th　No. 2　2007年

  31. P1-16 Characteristics of shear mode FBAR using (112^^-0) textured ZnO films(Poster session 1)

    Yanagitani Takahiko, Kiuchi Masato, Matsukawa Mami, Watanabe Yoshiaki

    超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集　Vol. 27　p. 75-76　2006年11月15日

    出版者・発行元：超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会

  32. Fragment ions of dimethylsilane produced by hot tungsten wires

    Satoru Yoshimura, Akinori Toh, Satoshi Sugimoto, Masato Kiuchi, Satoshi Hamaguchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 45　No. 10B　p. 8204-8207　2006年10月

  33. C2F6 plasma treatment of a carbon support for a PEM fuel cell electrocatalyst

    Hiroshi Shioyama, Kuniaki Honjo, Masato Kiuchi, Yusuke Yamada, Atsushi Ueda, Nobuhiro Kuriyama, Tetsuhiko Kobayashi

    JOURNAL OF POWER SOURCES　Vol. 161　No. 2　p. 836-838　2006年10月

  34. Heteroepitaxy of zinc-blende SiC nano-dots on Si substrate by organometallic ion beam

    T. Matsumoto, M. Kiuchi, S. Sugimoto, S. Goto

    THIN SOLID FILMS　Vol. 515　No. 2　p. 648-650　2006年10月

  35. Self-assembled nanotiles of heteroepitaxial SiC on Si

    Takashi Matsumoto, Masato Kiuchi, Satoshi Sugimoto, Seiichi Goto

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE　Vol. 34　No. 4　p. 1109-1111　2006年8月

  36. フリーマン型イオン源におけるメチルシランのフラグメントイオンとタングステンワイヤ表面状態

    藤 章至, 吉村 智, 杉本 敏司, 木内 正人, 浜口 智志

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN　Vol. 49　No. 6　p. 383-385　2006年6月20日

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  37. 有機金属イオンビーム法によるヘテロエピタキシャルSiCナノドットの結晶成長

    松本 貴士, 木内 正人, 杉本 敏司, 後藤 誠一

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN　Vol. 49　No. 5　p. 320-322　2006年5月20日

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  38. 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いた金の堆積率の測定

    日根 清裕, 吉村 智, 前田 拓也, 木内 正人, 浜口 智志

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN　Vol. 49　No. 3　p. 177-179　2006年3月20日

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  39. Fragment ions of methylsilane produced by hot tungsten wires

    S Yoshimura, A Toh, T Maeda, S Sugimoto, M Kiuchi, S Hamaguchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 45　No. 3A　p. 1813-1815　2006年3月

  40. インバータープラズマ処理装置

    杉本 敏司, 木内 正人, 大藪 展榮

    コンバーテック　Vol. 34　No. 2　p. 78-81　2006年2月

    出版者・発行元：加工技術研究会

  41. 有機ケイ素化合物の表面電離フラグメントイオンとタングステンワイヤの表面状態

    豊島隆寛, 藤章至, 吉村智, 木内正人, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 53rd　No. 1　2006年

  42. 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いた希ガスイオンによる金のスパッタ率の精密測定

    日根清裕, 吉村智, 木内正人, 木内正人, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 47th　2006年

  43. イオンビーム蒸着法を用いたAu薄膜形成における結晶配向性のエネルギー依存性

    滝沢敏史, 前田拓也, 木内正人, 木内正人, 吉村智, 浜口智志

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 53rd　No. 2　2006年

  44. 低エネルギーCF3イオンビームによるSiO2のエッチング機構

    滝澤敏史, 豊島隆寛, 木内正人, 木内正人, 吉村智, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 47th　2006年

  45. サブミクロンオーダーの構造体におけるタンパク質のレーザー脱離イオン化

    奥野昌二, 奥野昌二, 柳下崇, 益田秀樹, 益田秀樹, 木内正人, 和田芳直, 和田芳直

    質量分析総合討論会講演要旨集　Vol. 54th　2006年

  46. Temperature characteristics of pure shear mode FBARs consisted of (1120) textured ZnO films

    渡辺 好章, Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe

    p. 1459-1462　2006年

  47. Zinc-blende aluminum nitride formation using low-energy ion beam assisted deposition

    T Matsumoto, M Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 242　No. 1-2　p. 424-426　2006年1月

  48. Structural characterization of polyethers using matrix-assisted laser desorption/ionization quadrupole ion trap time-of-flight mass spectrometry.

    Shoji Okuno, Masato Kiuchi, Ryuichi Arakawa

    European journal of mass spectrometry (Chichester, England)　Vol. 12　No. 3　p. 181-7　2006年

  49. Self-assembled nano-tiles of zinc-blende SiC on Si(100) using organometallic ion beam deposition with simultaneous electron beam irradiation

    T Matsumoto, M Kiuchi, S Sugimoto, S Goto

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 200　No. 5-6　p. 1436-1438　2005年11月

  50. Low-temperature activity of Au/CeO2 for water gas shift reaction, and characterization by ADF-STEM, temperature-programmed reaction, and pulse reaction

    H Sakurai, T Akita, S Tsubota, M Kiuchi, M Haruta

    APPLIED CATALYSIS A-GENERAL　Vol. 291　No. 1-2　p. 179-187　2005年9月

  51. Sealing performance of thin amorphous carbon films formed by ion beam assisted deposition at low temperature for protection of aluminium against aggressive media: the influence of the ion energy

    J von Ringleben, C Sundermann, Matsutani, I, M Kiuchi, W Ensinger

    THIN SOLID FILMS　Vol. 482　No. 1-2　p. 115-119　2005年6月

  52. Corrosion performance of thin amorphous carbon films on aluminum formed by ion beam-based coating techniques

    W Ensinger, O Lensch, T Matsutani, M Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 196　No. 1-3　p. 231-235　2005年6月

  53. Mass spectrometric and theoretical studies on the fragmentation mechanisms of hexamethyldigermane and hexamethyldisilane ions in the gas phase

    T Takeuchi, Y Shirai, T Matsutani, M Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 232　No. 1-4　p. 217-222　2005年5月

  54. 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いた金の堆積率の精密測定

    日根清裕, 吉村智, 前田拓也, 木内正人, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 46th　2005年

  55. メチルシランおよびジメチルシランの表面解離フラグメントイオンの測定

    藤章至, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 浜口智志

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 46th　2005年

  56. 有機ケイ素化合物の表面電離フラグメントイオンの測定

    藤章至, 前田拓也, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 浜口智志

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 66th　No. 1　2005年

  57. イオンビーム誘起CVD法による酸化スズ薄膜の作製

    藤川友佳, 木内正人, 松谷貴臣, 竹内孝江

    真空に関する連合講演会講演予稿集　Vol. 46th　2005年

  58. Formation of aluminum nitride film for high power soft X-ray source using ion-beam assisted deposition method

    T Matsutani, M Kiuchi, K Shirouzu, A Yoshioka, R Shimizu, S Takahashi

    PARTICLE BEAMS & PLASMA INTERACTION ON MATERIALS AND ION & PLASMA SURFACE FINISHING 2004　Vol. 107　p. 43-46　2005年

  59. 強力軟X線源の開発-AlN/Cuタｰゲット

    松谷 貴臣, 木内 正人, 白水 清孝, 吉岡 明浩, 志水 隆一, 高橋 貞幸

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN　Vol. 47　No. 11　p. 802-805　2004年11月20日

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  60. Characteristics of a low-energy ion beam used for deposition

    T Matsumoto, K Mimoto, M Kiuchi, K Matsuyama, T Sadahiro, M Okubo, S Sugimoto, S Goto

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 188　p. 404-408　2004年11月

  61. Improvement in ion beam quality for thin-film formation

    T Sadahiro, K Matsuyama, M Kiuchi, T Matumoto, T Takizawa, S Sugimoto, T Fukuda, S Goto

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 188　p. 265-267　2004年11月

  62. Momentum effects of the molecular ion beam in SiC crystal growth

    T Matsumoto, M Kiuchi, S Sugimoto, S Goto

    THIN SOLID FILMS　Vol. 464　p. 103-106　2004年10月

  63. Growth temperature effect on a self-assembled SiC nanostructure

    T Matsumoto, M Kiuchi, S Sugimoto, S Goto

    THIN SOLID FILMS　Vol. 464　p. 211-214　2004年10月

  64. Structural and optical properties of titanium dioxide films deposited by reactive magnetron sputtering in pure oxygen plasma

    T Asanuma, T Matsutani, C Liu, T Mihara, M Kiuchi

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 95　No. 11　p. 6011-6016　2004年6月

  65. Brillouin scattering study on the wave properties in thin SiC films.

    Mami Matsukawa, Satoshi Murata, Takashi Matsumoto, Takaomi Matsutani, Masato Kiuchi

    Ultrasonics　Vol. 42　No. 1-9　p. 391-4　2004年4月

  66. インバータプラズマによるカーボンナノチューブの生成実験

    上田 智史, 杉本 敏司, 木内 正人, 三原 敏行, 後藤 誠一

    高温学会誌　Vol. 30　No. 1　p. 31-31　2004年1月30日

  67. Organosilicon ion beam for SiC heteroepitaxy

    M Kiuchi, T Matsutani, T Takeuchi, T Matsumoto, S Sugimoto, S Goto

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 177　p. 260-263　2004年1月

  68. Deposition of SiO2 films by low-energy ion-beam induced chemical vapor deposition using hexamethyldisiloxane

    T Matsutani, T Asanuma, C Liu, M Kiuchi, T Takeuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 177　p. 365-368　2004年1月

  69. 実環境における広い濃度範囲のCOの常温酸化除去 : 金触媒と白金触媒との比較

    桜井 宏昭, 坪田 年, 伊達 正和, 春田 正毅, 木内 正人

    触媒 = Catalysts & Catalysis　Vol. 45　No. 6　p. 425-427　2003年9月10日

    出版者・発行元：触媒学会

  70. 低エネルギーイオンビーム誘起CVD法によるGe‐C薄膜の形成

    松谷貴臣, 浅沼達哉, 木内正人, 竹内孝江

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 64th　No. 2　2003年8月30日

  71. 有機金属イオンビームによるシリコン基板上へのSiCナノ結晶のヘテロエピタキシャル成長

    松本 貴士, 木内 正人, 杉本 敏司, 後藤 誠一

    高温学会誌　Vol. 29　No. 4　p. 18-18　2003年7月20日

  72. 極低エネルギーイオンビーム法によるAu薄膜形成とその結晶配向性

    滝澤 敏史, 貞弘 哲弥, 松本 貴士, 木内 正人, 後藤 誠一

    高温学会誌　Vol. 29　No. 4　p. 19-19　2003年7月20日

  73. Ion beam-induced chemical vapor deposition with hexamethyldisilane for hydrogenated amorphous silicon carbide and silicon carbonitride films

    T Matsutani, T Asanuma, C Liu, M Kiuchi, T Takeuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 169　p. 624-627　2003年6月

  74. Argon versus nitrogen ion beam assisted deposition of amorphous carbon and carbon-nitrogen films on aluminum for protection against aqueous corrosion

    W Ensinger, O Lensch, F Sittner, J Knecht, K Volz, T Matsutani, M Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 206　p. 334-338　2003年5月

  75. Structural, electrical and optical properties of indium tin oxide films prepared by low-energy oxygen-ion-beam assisted deposition

    C Liu, T Matsutani, T Asanuma, M Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 206　p. 348-352　2003年5月

  76. Comparison of surface morphologies of SiO2 films prepared by ion-beam induced chemical vapor deposition and ion-beam assisted deposition

    T Matsutani, T Asanuma, C Liu, M Kiuchi, T Takeuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 206　p. 343-347　2003年5月

  77. Preparation and characterization of indium tin oxide films formed by oxygen ion beam assisted deposition

    C Liu, T Mihara, T Matsutani, T Asanuma, M Kiuchi

    SOLID STATE COMMUNICATIONS　Vol. 126　No. 9　p. 509-513　2003年5月

  78. Room-temperature growth of crystalline indium tin oxide films on glass using low-energy oxygen-ion-beam assisted deposition

    C Liu, T Matsutani, T Asanuma, K Murai, M Kiuchi, E Alves, M Reis

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 93　No. 4　p. 2262-2266　2003年2月

  79. インバータプラズマ成膜プロセスにおけるイオンアシスト効果

    宮地 和哉, 鈴木 裕, 武智 誠次, 杉本 敏司, 後藤 誠一, 木内 正人

    高温学会誌　Vol. 29　No. 1　p. 14-14　2003年1月20日

  80. Ionization of hexamethyldisilane for SiC deposition

    T Takeuchi, M Tanaka, T Matsutani, M Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 158　p. 408-411　2002年9月

  81. Pitting corrosion of aluminum coated by ion beam assisted deposition of carbon with argon ions at different ion-to-atom arrival ratios

    W Ensinger, O Lensch, J Knecht, K Volz, T Matsutani, M Kiuchi

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY　Vol. 158　p. 594-598　2002年9月

  82. High-quality indium tin oxide films prepared at room temperature by oxygen ion beam assisted deposition

    C Liu, T Matsutani, N Yamamoto, M Kiuchi

    EUROPHYSICS LETTERS　Vol. 59　No. 4　p. 606-611　2002年8月

  83. Nondestructive evaluation of SiC layer by Brillouin scattering method

    S Murata, M Matsukawa, T Matsumoto, S Sugimoto, S Goto, M Kiuchi, N Ohtori

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　Vol. 41　No. 5B　p. 3374-3375　2002年5月

  84. Lattice location and annealing behavior of Mn implanted GaN

    C Liu, E Alves, AR Ramos, MF da Silva, JC Soares, T Matsutani, M Kiuchi

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 191　p. 544-548　2002年5月

  85. 有機ケイ素を用いたイオン誘起CVD法の開発

    松谷 貴臣, 浅沼 達哉, 劉 昌, 木内 正人, 竹内 孝江, 後藤 誠一

    高温学会誌　Vol. 28　No. 1　p. 12-12　2002年1月20日

  86. プラズマ・イオンプロセスの流れと将来動向

    木内 正人

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会　Vol. 2001　No. 252　p. 23-24　2001年12月10日

  87. イオンビーム誘起CVDによる有機ケイ素を用いたアモルファス炭化ケイ素薄膜の作製

    松谷 貴臣, 浅沼 達哉, 劉 昌, 木内 正人, 竹内 孝江

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan　Vol. 52　No. 12　p. 891-892　2001年12月1日

    出版者・発行元：一般社団法人 表面技術協会

  88. 有機金属イオンビーム法によるシリコン基板上への3C-SiC薄膜の低温ヘテロエピタキシャル成長

    松本 貴士, 木内 正人, 杉本 敏司

    イオン注入表層処理シンポジウム予稿集　No. 17　p. 19-21　2001年11月30日

    出版者・発行元：イオン注入表層処理研究会

  89. ヘキサメチルジシランを用いたイオンビーム誘起CVD法

    木内 正人, 松谷 貴臣, 竹内 孝江

    イオン注入表層処理シンポジウム予稿集　No. 17　p. 15-17　2001年11月30日

    出版者・発行元：イオン注入表層処理研究会

  90. Growth of 3C-SiC(100) thin films on Si(100) by the molecular ion beam deposition

    T Matsumoto, M Kiuchi, S Sugimoto, S Goto

    SURFACE SCIENCE　Vol. 493　No. 1-3　p. 426-429　2001年11月

  91. インバーター電源励起プロセスプラズマの特性と応用

    杉本 敏司, 武智 誠次, 後藤 誠一, 木内 正人

    真空　Vol. 44　No. 9　p. 844-844　2001年9月20日

  92. ブリユアン光散乱法を用いたSiC薄膜の非破壊評価

    村田 哲志, 松川 真美, 大谷 隆彦, 松本 貴士, 木内 正人

    電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波　Vol. 101　No. 116　p. 81-87　2001年6月13日

    出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会

  93. Pitting corrosion of aluminium coated with amorphous carbon films by argon ion beam assisted deposition at low process temperature

    O Lensch, K Volz, M Kiuchi, W Ensinger

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS　Vol. 175　p. 575-579　2001年4月

  94. イオンアシスト蒸着のためのインバータープラズマ装置

    木内 正人, 田中 勝敏, 武智 誠次, 杉本 敏司, 後藤 誠一

    真空　Vol. 44　No. 3　p. 344-344　2001年3月20日

  95. インバータ電源生成プラズマのラングミュアプローブ特性

    武智 誠次, 杉本 敏司, 木内 正人, 田中 勝敏, 後藤 誠一

    真空　Vol. 44　No. 3　p. 381-381　2001年3月20日

  96. イオンビームに含まれる中性粒子のための計測器の試作

    木内 正人, 美本 和彦, 松本 貴士, 杉本 敏司, 後藤 誠一

    真空　Vol. 44　No. 3　p. 380-380　2001年3月20日

  97. インバータ電源による両極性パルスDC放電プラズマ特性

    武智 誠次, 杉本 敏司, 木内 正人, 田中 勝敏, 後藤 誠一

    高温学会誌　Vol. 27　No. 1　p. 21-21　2001年1月20日

  98. P2-21 Brillouin散乱法によるSiC薄膜の評価(ポスターセッション2,ポスター発表)

    村田 哲志, 松川 真美, 松本 貴士, 木内 正人, 大鳥 範和

    超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集　Vol. 22　No. 0　p. 213-214　2001年

    出版者・発行元：特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会

  99. 有機ケイ素イオンビームによるSiC結晶成長

    松本 貴士, 木内 正人, 杉本 敏司

    イオン注入表層処理シンポジウム予稿集　No. 16　p. 81-83　2000年11月24日

    出版者・発行元：イオン注入表層処理研究会

  100. 低エネルギーイオンビーム堆積法におけるビームの質の検討

    木内 正人, 美本 和彦, 松本 貴士

    イオン注入表層処理シンポジウム予稿集　No. 16　p. 85-88　2000年11月24日

    出版者・発行元：イオン注入表層処理研究会

  101. 有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長

    木内 正人, 松谷 貴臣, 竹内 孝江, 松本 貴士, 美本 和彦, 後藤 誠一

    真空　Vol. 43　No. 3　p. 454-454　2000年3月20日　記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）

  102. 23pB-1 インバーター電源生成によるプラズマ特性

    武智 誠次, 杉本 敏司, 木内 正人, 田中 勝敏, 後藤 誠一

    日本物理学会講演概要集　Vol. 55　No. 0　p. 156-156　2000年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本物理学会

  103. 27pA26P インバータ電源による両極性パルスプラズマ生成とその応用(プラズマ基礎・応用)

    武智 誠次, 杉本 敏司, 木内 正人, 田中 勝敏, 後藤 誠一

    プラズマ・核融合学会年会予稿集　No. 17　p. 87-87　2000年

    出版者・発行元：プラズマ・核融合学会

  104. サマリー・アブストラクト

    西脇 みちる, 関 孝男, 船場 一郎, 沖村 邦雄, 荒川 知洋, 竹澤 英朗, 中村 忠, 稲生 親紀, 荒木 康弘, 伊ヶ崎 泰宏, 斎藤 順雄, 仲秋 勇, 阿部 彰雄, 岩田 弘, 中村 茂昭, 吉岡 捷爾, 山口 十六夫, 相 龍太, 和佐 清孝, 森川 良樹, 西口 哲也, 宮本 正春, 一村 信吾, 栗山 大人, 野中 秀彦, 川田 正国, 村上 寛, 長谷川 秀雄, 日置 亜也子, 夏川 一輝, 西沢 伸一, 町田 和雄, 板倉 明子, 成島 哲也, 平山 孝人, 北島 正弘, BERGER Ruediger, GERBER Christoph, GIMZEWSKI James K., 三重野 哲, 伊藤 裕亮, 川田 洋揮, 山根 未有希, 橘内 浩之, 妻木 伸夫, 荒川 一郎, 山下 学, 鈴木 慎一, 内藤 賀公, 高柳 邦夫, 大島 義文, 平山 博之, 田中 虔一, 猪飼 正道, 山本 恵彦, 金持 徹, 宮崎 照宣, 森居 隆史, 西浦 正倫, 田中 誠, 安田 幸夫, 池田 浩也, 財満 鎭明, 木村 康男, 庄子 大生, 篠原 正典, 庭野 道夫, 菊地 直人, 北原 武, 田中 英樹, 脇本 裕之, 水谷 五郎, 潮田 資勝, 見附 孝一郎, 桜井 誠, 五十嵐 慎一, 戸坂 亜希, 井口 大介, 沢平 嘉浩, 平岡 知己, 柳生 進二郎, 近藤 剛弘, 池内 俊之, 山本 恵彦, 魯 大凌, 斉藤 隆義, 彩木 傑, 福島 和宏, 水野 茂, 草野 英二, 田口 信一郎, 佐藤 英樹, 佐々木 雅夫, 佐藤 誠, 中川 行人, Bhuiyan K.Hassan, 井上 英明, 高橋 善和, 池田 佳広, 木内 正人, 南戸 秀仁, 松谷 貴臣, 竹内 孝江, 松本 貴士, 美本 和彦, 後藤 誠一, 山本 顕弘, 金原 あきら, 松井 慎, 井口 征夫, 鈴木 一弘, 菊池 通真, 東野 徒士之, 棚橋 克人, 大坂 次郎, 河村 裕一, 井上 直久, 加藤 茂樹, 本間 芳和, 高柳 邦夫, 平田 正紘, 大田 暢彦, 品部 慎治, 福間 勇人, 塩川 善郎, 市川 昌和, 金澤 健一, 久松 広美, 末次 祐介, 嶋本 真幸, 佐藤 政行, 白井 満, 今野 牧, 西脇 みちる, 渡邉 祐樹, 小林 信一, 斉藤 芳男, 関川 健太郎, 浅野 清光, 加藤 進, 浅利 宏紀, 松島 秀治, 美馬 宏司, 村上 和嗣, 川原 淳史, 増岡 俊夫, 小川 倉一, 杉沼 茂実, HONG S.S., CHUNG K.H., 高橋 明久, 濱田 晃一, 部坂 正樹, 栗巣 普揮, 山本 節夫, 松浦 満, 柳沢 保徳, 笠原 章, 土佐 正弘, 金 龍成, 吉原 一紘, 麻蒔 立男, 寺岡 有殿, 吉越 章隆, 佐野 睦, 加地 博子, 垣谷 公徳, 矢城 陽一朗, 吉森 昭夫, 辻 博司, 佐々木 仁志, 佐藤 弘子, 八木原 美奈, 後藤 康仁, 石川 順三, 木戸 俊介, 吉武 道子, APARNA Yarrama-Reddy, 田中 洋晶, 奥野 公夫, 永井 稔, 富取 正彦, 安部 薫, 安達 俊, 継枝 孝行, 斎藤 一也, 松浦 正道, 大谷 寿幸, 長濱 博之, 下村 哲生, 横山 誠一郎, 三橋 雅彦, 大屋 誠志郎, 篠原 小太郎

    真空　Vol. 43　No. 3　p. 381-454　2000年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  105. フリーマン型ガスイオン源によるイオンビームの特性

    美本 和彦, 松本 貴士, 吉川 貴文, 木内 正人, 後藤 誠一, 大庭 昌俊, 阿川 義昭

    真空　Vol. 42　No. 3　p. 481-481　1999年3月

  106. サマリー・アブストラクト

    黒河内 智, 吉信 達夫, 岡本 昭夫, 野坂 俊紀, 吉竹 正明, 小川 倉一, 中村 茂昭, 斎藤 順雄, 吉岡 捷爾, 仲秋 勇, 長谷川 秀雄, 三原 敏行, 岩崎 裕, 望月 昭一, 田村 繁治, 小林 弘典, 真壁 遼治, 石田 正, 佐藤 義幸, 安藤 昌儀, 小林 哲彦, 日置 亜也子, 夏川 一輝, 田中 洋晶, 井上 幸二, 中山 喜萬, 佐藤 隆幸, 道園 真一郎, 斉藤 芳男, 小林 信一, 国分 清秀, 渡邉 祐樹, 徳高 平蔵, 藤村 喜久郎, 奥野 公夫, 清水 達夫, 西岡 泰城, 田中 英樹, 脇本 裕之, 宮崎 俊彦, 水谷 五郎, 潮田 資勝, 山口 良隆, 高草木 達, 嘉藤 誠, 三浦 忠男, 境 悠治, 黒河 明, 一村 信吾, 中村 健, 青木 孝憲, 戸田 昌吾, 鈴木 晶雄, 松下 辰彦, 奥田 昌宏, 浜路 和昭, 角谷 透, 筧 芳治, 四谷 任, 松岡 憲弘, 堤 芳紹, 富岡 秀起, 岡本 良雄, 村井 健介, 安本 正人, 梅咲 則正, 中野 博彦, 本多 克也, 立田 利明, 松尾 二郎, 山田 公, 真柄 宏之, 田畑 収, 畑野 東一, 小寺 正敏, 山口 清, 堀井 直宏, 沖村 邦雄, 田中 俊一郎, 柴田 明, 村上 寛, 亀山 育也, 祐延 悟, 美本 和彦, 松本 貴士, 吉川 貴文, 木内 正人, 後藤 誠一, 大庭 昌俊, 井口 征夫, 阿川 義昭, 渋谷 和真, 辻 博司, 後藤 康仁, 石川 順三, 川田 洋揮, 橘内 浩之, 妻木 伸夫, 勝山 雅則, 鈴木 慎一, 鈴木 一弘, 棚橋 克人, 河村 裕一, 井上 直久, 本間 芳和, 菊池 通真, 井上 直久, 石川 一政, 本間 禎一, 菅沼 由典, LI Nan, 岡部 政之, 高橋 夏木, 小林 功佳, 榊原 伸義, 上野 祥樹, 青木 賢之, 安井 利明, 森本 圭人, 田原 弘一, 吉川 孝雄, 小寺 秀和, 魚田 雅彦, 大久保 治, 佐藤 吉博, 久保 富夫, 持地 広造, 板橋 直志, 清水 宏, 大谷 俊介, 奥野 和彦, 小林 信夫, 沢平 嘉浩, 佐藤 彰繁, 菊地 直人, 草野 英二, 南戸 秀仁, 金原 粲, 成島 哲也, 板倉 明子, 斎藤 三良, 河邊 隆也, 北島 正弘, 北河 勝, 大谷 寿幸, 長濱 博之, 横山 誠一郎, 荒川 一郎, 安達 俊, 平山 孝人, 見附 孝一郎, 森田 晋作, 桜井 誠, 五十嵐 慎一, 阿部 雪子, 入江 泰雄, 神戸 美雪, 戸坂 亜希, 浜松 諭子, 石井 聖土, 則光 良幸, 須東 稔実, 塩川 善郎, 生方 則往, 老沼 良浩, 斉藤 茂, 加藤 正明, 田島 健一, 堀本 大介, 大手 丈夫, 小島 明, 大井 聖也, 塩谷 隆, 市川 昌和, 小林 和彦, 中島 秀文, 横山 哲志, 小原 宏之, 酒井 創, 大越 康宏, 小池 卓郎, 内村 幸一郎, 田畑 仁, 川合 知二, 菅野 誠一郎, 日比野 豊, 徐 國春, 鈴木 泰雄, 谷原 正夫, 今西 幸男, 杉沼 茂実, 平田 正紘, 秋道 斉, 竹内 協子, 辻 泰, 臼井 建人, 土佐 正弘, 笠原 章, 李 京〓, 吉原 一紘, 田中 智成, 澤田 雅, 杉山 渉, 織田 晃祐, 山内 大輔, 佐藤 忍, 須藤 孝一, 田中 正俊, 岸田 将明, 富取 正彦, 朝倉 清高, 田 旺帝, 岩澤 康裕, 垣谷 公徳, 加地 博子, 矢城 陽一朗, 吉森 昭夫

    真空　Vol. 42　No. 3　p. 417-495　1999年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  107. イオンビ-ムプロセスにおける電荷の役割--正イオンと負イオンはどう違うか

    木内 正人, 竹内 孝江

    大阪工業技術研究所報告　No. 392　p. 29-33　1998年3月

    出版者・発行元：工業技術院大阪工業技術研究所

  108. 入射炭素イオンとグラファイト表面の電子構造

    木内 正人, 竹内 孝江, 山本 正夫

    真空　Vol. 40　No. 8　p. 639-642　1997年8月20日

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  109. イオン-表面相互作用における電子構造 (特集/イオンビ-ムと表面・表層・界面のかかわり(7))

    木内 正人, 竹内 孝江, 山本 正夫

    Ionics　Vol. 23　No. 7　p. 3-7　1997年7月

    出版者・発行元：アイオニクス

  110. イオンビ-ムプロセスにおいて混入する不純物の分析

    木内 正人, Ensinger W., Alberts L.

    大阪工業技術研究所報告　No. 391　p. 48-52　1997年3月

    出版者・発行元：工業技術院大阪工業技術研究所

  111. An ab initio molecular orbital study of ion-solid interaction in carbon deposition processes

    Masato Kiuchi, Takae Takeuchi, Masao Yamamoto

    Applied Surface Science　Vol. 113-114　p. 652-655　1997年

    出版者・発行元：Elsevier

  112. Formation of Tungsten Nitride Films by Dynamic Ion Beam Mixing

    KIUCHI Masato, ENSINGER Wolfgang

    真空　Vol. 38　No. 9　p. 804-804　1995年9月20日

  113. 窒化チタン超薄膜の光学特性

    木内 正人, 村井 健介, 茶谷原 昭義, 角野 広平, 阪口 享

    真空　Vol. 38　No. 9　p. 803-803　1995年9月20日

  114. サマリー・アブストラクト

    高木 憲一, 斉藤 幸典, 尾崎 立哉, 井上 成美, 戸嶋 成忠, 柏原 茂, 井口 征夫, 鈴木 一弘, 小林 康宏, 大久保 治, 高橋 夏木, 関口 敦, 菅ノ又 伸治, 戸部 了己, 佐々木 雅夫, 岡田 修, 細川 直吉, 斎藤 順雄, 後藤 智弘, 山口 十六夫, 仲秋 勇, 吉岡 捷爾, 中村 茂昭, 佐々木 伸也, 木内 正人, 村井 健介, 茶谷原 昭義, 角野 広平, 阪口 享, KIUCHI Masato, ENSINGER Wolfgang, 杢 哲次, 朝原 康之, 大塚 康二, 西村 栄一, 大城 裕二, 蟹江 壽, 村上 寛, 遠藤 和弘, 吉田 貞史, 工藤 勲, 市川 洋, 瀬恒 謙太郎, 泉 順, 大手 丈夫, 辻 博司, 加藤 正明, 根岸 恒雄, 大谷 杉郎, 小島 昭, 西村 興男, 矢部 勝昌, 久保 和也, 相原 育貴, 原田 誠, 藤田 一郎, 富田 哲生, 種村 誠太, 宮川 草児, 丹羽 博昭, 池山 雅美, 中尾 節男, 斎藤 和雄, 宮川 佳子, 塩川 善郎, 市川 昌和, 荒井 孝夫, 豊田 啓孝, 岩佐 康史, 伊藤 進, 菊地 俊雄, 柿原 和久, 土佐 正弘, 板倉 明子, 笠原 章, 荒井 雅嗣, 池田 省三, 鈴木 豊, 後藤 康仁, 本間 禎一, 湊 道夫, 伊藤 好男, 池田 佳直, 西浦 正満, 佐藤 勝, 大石 政治, 佐久間 泰, 道園 真一郎, 福田 茂樹, 石川 順三, 穴見 昌三, 林 和孝, 楠本 淑郎, 劉 身健, 村田 真朗, 高橋 誠一, 東 健司, 吉野 幸夫, 片山 祐三, 伊ヶ崎 泰宏, 松岡 長, 笹倉 幸一, 鈴木 晶雄, 松下 辰彦, 坂本 吉亮, 和田 直己, 奥田 昌宏, 森井 浩, 峯岡 和博, 田中 武, 川畑 敬志, 中川 行人, 圓山 敬史, 岡山 英夫, 小西 永祥, 久保 吏, 長田 昭義, 伊佐 弘, 長谷川 秀雄, 吉岡 捷爾, 中村 茂昭, 辻村 瑛, 原田 寛治, 岸田 悟, 徳高 平蔵, 藤村 喜久郎, 小柳 剛, 藤井 隆満, 畠山 雅規, 一木 克則, 長濱 一郎太, 塚田 勉, 中尾 政之, 畑村 洋太郎, 加藤 隆男, 田中 秀治, 小風 豊, 後藤 哲二, 高木 祥示, 亀山 浩二, 島田 茂樹, ZHU Changxin, 金子 英司, FUJIWARA Shiro, 井谷 誠, 田中 武, 川畑 敬志, 黒河 明, 吉原 一紘, NAKAMURA Ken, 一村 信吾, 川田 洋揮, REIFF Stefan, 岡本 幸雄, BLOCK Joachim H., 永井 康睦, 浅野 清光, 田中 智成, 竹内 協子, 辻 泰, 斉藤 芳男, 吉村 敏彦, 石川 雄一, 尾高 憲二, 青柳 健二, 上田 新次郎, 稲吉 さかえ, 谷内 友希子, 斎藤 一也, 三沢 俊司, 塚原 園子, 佐藤 幸恵, 湊 道夫, 伊藤 好男, 赤石 憲也, 楠 秀樹, 江崎 和弘, 久保田 雄輔, 本島 修, 橋場 正男, 広畑 優子, 日野 友明, 山科 俊郎, 小出 明生, 千代田 博宜, 三角 明, 永関 一也, 秋道 斉, 高橋 直樹, 荒川 一郎, 関根 重幸, 国分 清秀, 清水 肇, IWASAKI Akira, 平田 正紘, 黒河内 智, 渡部 秀, 石川 稜威男, 加藤 茂樹, 堀越 源一, 本田 広史, 田村 繁治, 大谷 和男, 上條 長生, 鈴木 芳生, 木原 裕, 中野 寛, 上條 栄治

    真空　Vol. 38　No. 9　p. 765-836　1995年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本真空学会

  115. ダイナミックミキシング法による表面改質

    木内 正人

    大阪工業技術試験所季報　Vol. 44　No. 1　p. p25-31　1993年3月

    出版者・発行元：工業技術院大阪工業技術試験所

  116. Advantages of dynamic ion beam mixing

    Nucl. Instrum. Meth. B80/81 (1993) 1343-1348　Vol. 80-81　p. 1343-1348　1993年1月

    出版者・発行元：Elsevier BV

  117. 窒化チタン薄膜の耐エロージョン特性

    木内正人, 茶屋原昭義, 堀野裕治, 木野村淳, 杢野由明, 藤井兼栄, 長坂浩志, 土屋直樹, 南吉夫

    表面技術　Vol. 43　No. 12　p. 1237-1238　1992年12月　速報，短報，研究ノート等（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Surface Finishing Society of Japan

  118. HIGH-DOSE IMPLANTATION OF MEV CARBON ION INTO SILICON

    A CHAYAHARA, M KIUCHI, Y HORINO, K FUJII, M SATOU

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　Vol. 31　No. 1　p. 139-140　1992年1月　記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）

  119. Microbeam Line of MeV Heavy Ions for Materials Modification and In-Situ Analysis : Beam-Induced Physics and Chemistry :

    HORINO Yuji, CHAyAHARA Akiyoshi, KIUCHI Masato, FUJII Kanenaga, SATOH Mamoru, TAKAI Mikio

    JJAP series　Vol. 4　p. 267-270　1991年

    出版者・発行元：Japanese Journal of Applied Physics

  120. イオンビ-ムによる表面改質 (薄膜の合成プロセスと応用--イオンインプランテ-ションを含めた新しい領域<特集>)

    藤井 兼栄, 木内 正人, 佐藤 守

    セラミックス　Vol. 23　No. 2　p. p107-112　1988年2月

    出版者・発行元：日本セラミックス協会

  121. 120 ダイナミックミキシング(イオン注入併用蒸着)法による窒化チタン膜形成に関する研究-第1報-

    吉田 云一, 橋本 陽一, 前山 能孝, 町田 一道, 木内 正人, 藤井 兼栄, 佐藤 守

    溶接学会全国大会講演概要　No. 43　p. 98-99　1988年

    出版者・発行元：溶接学会

  122. 1a-C-9 三次元層状三角格子XY反強磁性体の相転移

    川村 光, 木内 正人

    秋の分科会予稿集　Vol. 1985　No. 0　p. 253-253　1985年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本物理学会

機関リポジトリ 7

大阪大学の学術機関リポジトリ（OUKA）に掲載されているコンテンツ

  1. Low-energy O⁺ or SiO⁺ ion beam induced deposition of silicon oxide using hexamethyldisiloxane

    Yoshimura Satoru, Takeuchi Takae, Kiuchi Masato

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms　Vol. 549　2024年4月1日

  2. Deposition of germanium dioxide films by the injection of oxygen ion beam in conjunction with hexamethyldigermane

    Yoshimura Satoru, Sugimoto Satoshi, Takeuchi Takae, Murai Kensuke, Kiuchi Masato

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment　Vol. 1056　2023年11月1日

  3. Stability of hexafluoroacetylacetone molecules on metallic and oxidized nickel surfaces in atomic-layer-etching processes

    Basher Abdulrahman H., Krstić Marjan, Takeuchi Takae, Isobe Michiro, Ito Tomoko, Kiuchi Masato, Karahashi Kazuhiro, Wenzel Wolfgang, Hamaguchi Satoshi

    Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films　Vol. 38　No. 2　2020年3月

  4. Low energy indium or gallium ion implantations to SiO2 thin films for development of novel catalysts

    Yoshimura Satoru, Kiuchi Masato, Nishimoto Yoshihiro, Yasuda Makoto, Baba Akio, Hamaguchi Satoshi

    e-Journal of Surface Science and Nanotechnology　Vol. 12　p. 197-202　2014年4月26日

  5. Low energy metal ion beam production with a modified freeman-type ion source for development of novel catalysts

    Yoshimura S., Kiuchi M., Nishimoto Y., Yasuda M., Baba A., Hamaguchi S.

    e-Journal of Surface Science and Nanotechnology　Vol. 10　p. 139-144　2012年4月27日

  6. 浄水処理の新概念 : WHOの飲料水ガイドラインの遵守を目指して

    落合 壽昭, 宇山 浩, 木内 正人

    目で見るWHO　Vol. 41　p. 9-13　2009年10月1日

  7. Temporal evolution of ion fragment production from methylsilane by a hot tungsten wire

    Yoshimura Satoru, Toh Akinori, Toyoshima Takahiro, Kiuchi Masato, Hamaguchi Satoshi

    Journal of Applied Physics　Vol. 100　No. 9　2006年11月1日