経歴 3
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2017年1月 ~ 2019年3月東北大学 金属材料研究所 講師
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2012年3月 ~ 2016年12月東北大学 金属材料研究所 助教
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2010年4月 ~ 2012年3月独立行政法人日本学術振興会 特別研究員(DC2)
名古屋大学 工学研究科 電子情報システム専攻
2009年4月 ~ 2012年3月
名古屋大学 工学研究科 電子情報システム専攻
2007年4月 ~ 2009年3月
名古屋大学 工学部 電気電子情報工学科
2003年4月 ~ 2007年3月
日本結晶成長学会 日本結晶成長学会 学協会
2023年4月 ~ 継続中
一般社団法人ワイドギャップ半導体学会 総務委員(会計委員) 学協会
2021年4月 ~ 継続中
APEX 編集委員 学協会
2019年4月 ~ 継続中
応用物理学会結晶工学分科会 企画担当幹事 学協会
2018年4月 ~ 継続中
応用物理学会 プログラム編集委員 学協会
2017年9月 ~ 継続中
日本結晶成長学会ナノエピ分科会 第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 プログラム委員 学協会
2023年4月 ~ 2024年6月
LEDIA2024 実行委員 学協会
2023年4月 ~ 2024年4月
第14回窒化物半導体国際会議 ICNS-14 実行委員(庶務委員) 学協会
2019年4月 ~ 2024年3月
日本光学会 光光委員会(関西) 委員 学協会
2019年4月 ~ 2023年3月
LEDIA2022 実行委員 学協会
2021年4月 ~ 2022年4月
2020年発光素子および産業応用に関する国際会議 LEDIA2020 実行委員(会計委員)・プログラム委員
2019年4月 ~ 2020年4月
第9回 ワイドギャップ半導体に関するアジア太平洋ワークショップ APWS2019 現地実行委員(庶務) 学協会
2017年4月 ~ 2019年11月
2019年発光素子および産業応用に関する国際会議 LEDIA2019 実行委員(会計委員)・プログラム委員 学協会
2018年4月 ~ 2019年4月
窒化物半導体国際ワークショップ IWN-2018 実行委員(広報委員) 学協会
2016年4月 ~ 2018年11月
2018年発光素子および産業応用に関する国際会議 LEDIA2018 実行委員(会計委員)・プログラム委員 学協会
2017年4月 ~ 2018年4月
紫外光材料及び素子に関する国際会議 IWUMD 2017 実行委員(展示委員) 学協会
2016年4月 ~ 2017年11月
2017年発光素子および産業応用に関する国際会議 LEDIA2017 実行委員(会計委員)・プログラム委員 学協会
2016年4月 ~ 2017年4月
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides 総務委員 学協会
2014年10月 ~ 2015年11月
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides 総務委員 学協会
2014年10月 ~ 2015年11月
2nd Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductors (IDGN-2) 実行委員 学協会
2014年4月 ~ 2014年11月
2nd Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductors (IDGN-2) 実行委員 学協会
2014年4月 ~ 2014年11月
第33回電子材料シンポジウム 会場委員 学協会
2013年10月 ~ 2014年7月
第33回電子材料シンポジウム 会場委員 学協会
2013年10月 ~ 2014年7月
第32回電子材料シンポジウム 会場委員 学協会
2012年10月 ~ 2013年9月
第32回電子材料シンポジウム 会場委員 学協会
2012年10月 ~ 2013年9月
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 委員 学協会
2015年5月 ~
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 委員 学協会
2015年5月 ~
ワイドギャップ半導体学会
応用物理学会結晶工学分科会
日本結晶成長学会
応用物理学会
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電気電子材料工学 /
ナノテク・材料 / 結晶工学 /
ナノテク・材料 / 応用物性 /
第41回(2019年度)応用物理学会論文賞
谷川智之, 大西一生, 加納雅也, 向井孝志, 松岡隆志 応用物理学会 2019年9月
応用物理学会論文誌編集貢献賞
谷川智之 応用物理学会 2024年3月
第19回奨励賞
谷川智之 日本結晶成長学会 2021年10月
Young Scientist Award
Tomoyuki Tanikawa, Mayuko Tsukakoshi, Masahiro Uemukai, Ryuji Katayama The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology 2021年3月
第47回結晶成長国内会議 講演奨励賞
谷川智之, 松岡隆志 日本結晶成長学会 2018年11月
第7回(2018年度) 研究開発奨励賞 優秀賞
谷川智之 一般財団法人エヌエフ基金 2018年11月
第42回(2017年春季)応用物理学会 講演奨励賞
谷川智之, 大西一生, 加納聖也, 向井孝志, 松岡隆志 公益社団法人 応用物理学会 2017年9月
EMS賞
第35回電子材料シンポジウム 2016年7月
第7回薄膜太陽電池セミナー ポスター発表アワード
第7回薄膜太陽電池セミナー組織委員 2016年3月14日
Young Scientist Award
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides 2015年11月12日
第6回 窒化物半導体結晶成長講演会 研究奨励賞
日本結晶成長学会 2014年7月26日
Young Researcher's Paper Award
Conference on LED and its industrial application '14 (LEDIA'14) 2014年4月25日
第126回 金研講演会(2013年秋季)優秀ポスター賞
東北大学金属材料研究所 2013年11月28日
応用物理学会東北支部講演奨励賞
応用物理学会東北支部 2012年12月6日
応用物理学会・結晶工学分科会発表奨励賞
応用物理学会・結晶工学分科会 2010年12月17日
電子情報通信学会 平成21年度学生研究奨励賞
電子情報通信学会 東海支部 2010年6月8日
第2回 窒化物半導体結晶成長講演会 発表奨励賞
日本結晶成長学会ナノエピ分科会 2010年5月15日
名古屋大学学術奨励賞
名古屋大学 2010年3月24日
ALPS Student Paper Award
Ryosuke Noro, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama The 9th Advanced Lasers and Photon Sources (ALPS2020)
Identification of Burgers vectors of threading dislocations in freestanding GaN substrates via multiphoton-excitation photoluminescence mapping
Mayuko Tsukakoshi, Tomoyuki Tanikawa, Takumi Yamada, Masayuki Imanishi, Yusuke Mori, Masahiro Uemukai, Ryuji Katayama
Applied Physics Express Vol. 14 No. 5 p. 055504-1-055504-4 2021年4月23日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingThree-dimensional imaging of threading dislocations in GaN crystals using two-photon excitation photoluminescence
Tomoyuki Tanikawa, Kazuki Ohnishi, Masaya Kanoh, Takashi Mukai, Takashi Matsuoka
Applied Physics Express Vol. 11 No. 3 2017年9月7日 研究論文(学術雑誌)
Epitaxial Growth of AlGaN/AlN Strained-Layer Superlattices by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy for Far-UV Second Harmonic Generation
Shahzeb Malik, Masaaki Ito, Hiroto Honda, Ryosuke Noro, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Crystal Growth & Design 2025年5月21日 研究論文(学術雑誌)
Investigation of characteristics of GaN-based blue DFB laser diodes over a wide detuning range
Toshihiko Fukamachi, Junichi Nishinaka, Kohei Miyoshi, Koichi Naniwae, Shuichi Usuda, Haruki Fukai, Akihiko Sugitani, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics 2025年5月1日 研究論文(学術雑誌)
Polarity inversion of N-polar GaN by metalorganic vapor phase epitaxy via thermal oxidation
Kazuhisa Ikeda, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics 2025年2月1日 研究論文(学術雑誌)
Detuning dependence in current-light-output characteristics of GaN-based DFB laser diodes
Toshihiko Fukamachi, Junichi Nishinaka, Koichi Naniwae, Shuichi Usuda, Haruki Fukai, Akihiko Sugitani, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics 2025年2月1日 研究論文(学術雑誌)
Polarity inversion of GaN from +c to −c polarity by metalorganic vapor phase epitaxy
Kazuhisa Ikeda, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics 2025年2月1日 研究論文(学術雑誌)
Analysis of inversion-domain boundaries in four-layer polarity-inverted AlN structure
Tomohiro Tamano, Kanako Shojiki, Toru Akiyama, Ryota Akaike, Takao Nakamura, Hiroto Honda, Eiki Sato, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama, Hideto Miyake
Applied Physics Letters Vol. 126 No. 3 2025年1月20日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:AIP PublishingMetalorganic Vapor‐Phase Epitaxy of +c/−c GaN Polarity Inverted Bilayer for Transverse Quasi‐Phase‐Matched Wavelength Conversion Device
Kazuhisa Ikeda, Shahzeb Malik, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
physica status solidi (b) 2024年11月 研究論文(学術雑誌)
199 nm vacuum-ultraviolet second harmonic generation from SrB4O7 vertical microcavity pumped with picosecond laser
Tomoaki Nambu, Masashi YOSHIMURA, Yusuke Mori, Yasufumi FUJIWARA, Ryota Ishii, Yoichi KAWAKAMI, Masahiro Uemukai, Tomoyuki TANIKAWA, Ryuji KATAYAMA
Applied Physics Express 2024年8月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingContinuous-wave operation of InGaN tunable single-mode laser with periodically slotted structure
Taisei Kusui, Takumi Wada, Naritoshi Matsushita, Masahiro Uemukai, Tomoyuki TANIKAWA, Ryuji KATAYAMA
Applied Physics Express 2024年7月23日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingDesign of Horizontally Stacked AlN and Dielectric Cores Transverse Quasi‐Phase‐Matched Channel Waveguide for Squeezed Light Generation
Hiroto Honda, Ryosuke Noro, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
physica status solidi (a) 2024年7月22日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:WileyBuried annealed proton-exchanged waveguide in periodically-poled MgO:LiTaO<inf>3</inf> fabricated by surface-activated bonding for high-power wavelength conversion
Ryosuke Noro, Masahide Okazaki, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 63 No. 6 2024年6月3日 研究論文(学術雑誌)
Demonstration of a violet-distributed feedback laser with fairly small temperature dependence in current-light characteristics
Toshihiko Fukamachi, Junichi Nishinaka, Koichi Naniwae, Shuichi Usuda, Haruki Fukai, Akihiko Sugitani, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Applied Physics Express Vol. 17 No. 5 2024年5月1日 研究論文(学術雑誌)
Large Area Epitaxial Lateral Overgrowth of Semipolar (1(Formula Presented)01) GaN Stripes on Patterned Si Substrates Prepared using Maskless Lithography
Naofumi Takeda, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Physica Status Solidi (B) Basic Research 2024年 研究論文(学術雑誌)
Fabrication of polarity inverted LiNbO3/GaN channel waveguide by surface activated bonding for high-efficiency transverse quasi-phase-matched wavelength conversion
Ryosuke Noro, Mariko Adachi, Yasufumi Fujiwara, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 62 No. 10 p. 102001-102001 2023年10月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingSecond harmonic generation from a-plane GaN vertical monolithic microcavity pumped with femtosecond laser
Tomoaki Nambu, Tomohiro Nakahara, Yuma Yasuda, Yasufumi Fujiwara, Masayoshi Tonouchi, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Applied Physics Express Vol. 16 No. 7 p. 72005-72005 2023年7月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP Publishing229 nm far-ultraviolet second harmonic generation in a vertical polarity inverted AlN bilayer channel waveguide
Hiroto Honda, Soshi Umeda, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Shuhei Ichikawa, Jun Tatebayashi, Yasufumi Fujiwara, Kazunori Serita, Hironaru Murakami, Masayoshi Tonouchi, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Applied Physics Express Vol. 16 No. 6 p. 62006-62006 2023年6月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingObservation of nanopipes in edge-defined film-fed grown β-Ga2O3 substrate and their effect on homoepitaxial surface hillocks
Tomoka Nishikawa, Ken Goto, Hisashi Murakami, Yoshinao Kumagai, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 62 2023年6月1日 研究論文(学術雑誌)
N-Polar growth of nitride semiconductors with MOVPE and its applications
Takashi Matsuoka, Toshitsugu Mitate, Seiichiro Mizuno, Hiroko Takahata, Tomoyuki Tanikawa
Journal of Crystal Growth 2023年3月23日 研究論文(学術雑誌)
Polarity Inversion of GaN via AlN Oxidation Interlayer Using Metal–Organic Vapor Phase Epitaxy
Tomotaka Murata, Kazuhisa Ikeda, Jun Yamasaki, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
physica status solidi (b) Vol. 260 No. 8 2023年3月22日 研究論文(学術雑誌)
Second harmonic generation in GaN transverse quasi-phase-matched waveguide pumped with femtosecond laser
Naoki Yokoyama, Yoshiki Morioka, Tomotaka Murata, Hiroto Honda, Kazunori Serita, Hironaru Murakami, Masayoshi Tonouchi, Shigeki Tokita, Shuhei Ichikawa, Yasufumi Fujiwara, Toshiki Hikosaka, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
APPLIED PHYSICS EXPRESS Vol. 15 No. 11 2022年11月22日 研究論文(学術雑誌)
Fabrication and evaluation of rib-waveguide-type wavelength conversion devices using GaN-QPM crystals
Hiroki Ishihara, Keiya Shimada, Soshi Umeda, Naoki Yokoyama, Hiroto Honda, Kazuhiro Kurose, Yoshimasa Kawata, Atsushi Sugita, Yoku Inoue, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama, Takayuki Nakano
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 No. SK p. SK1020-SK1020 2022年8月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingEnlargement of mode size in annealed proton-exchanged periodically-poled MgO doped stoichiometric LiTaO3 waveguide for high power second harmonic generation
Ryosuke Noro, Masahide Okazaki, Ikuo Mizobata, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 No. 7 p. 72006-72006 2022年7月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingDUV coherent light emission from ultracompact microcavity wavelength conversion device
Tomoaki Nambu, Taketo Yano, Soshi Umeda, Naoki Yokoyama, Hiroto Honda, Yasunori Tanaka, Yutaka Maegaki, Yusuke Mori, Masashi Yoshimura, Shuhei Kobayashi, Shuhei Ichikawa, Yasufumi Fujiwara, Ryota Ishii, Yoichi Kawakami, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Optics Express Vol. 30 No. 11 p. 18628-18628 2022年5月23日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:Optica Publishing GroupGaN channel waveguide with vertically polarity inversion formed by surface activated bonding for wavelength conversion
Naoki Yokoyama, Ryo Tanabe, Yuma Yasuda, Hiroto Honda, Shuhei Ichikawa, Yasufumi Fujiwara, Toshiki Hikosaka, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 No. 5 p. 50902-50902 2022年5月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingEmission color modulation of InGaN/GaN multiple quantum wells by selective area metalorganic vapor phase epitaxy on hexagonal windows
Shin Yoshida, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 No. 3 p. 30904-30904 2022年3月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingNondestructive characterization of threading dislocations in graded buffer layers of inverted metamorphic solar cells by two-photon excitation spectroscopy
Akio Ogura, Tomoyuki Tanikawa, Tatsuya Takamoto, Ryuji Oshima, Takeyoshi Sugaya, Mitsuru Imaizumi
Applied Physics Express Vol. 14 No. 11 p. 111002-111002 2021年11月1日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingMonolithic microcavity second harmonic generation device using low birefringence paraelectric material without polarity-inverted structure
Tomoaki Nambu, Takumi Nagata, Soshi Umeda, Keishi Shiomi, Yasufumi FUJIWARA, TOSHIKI HIKOSAKA, Abdul Mannan, Filchito Renee G. Bagsican, Kazunori Serita, Iwao Kawayama, Masayoshi TONOUCHI, Masahiro Uemukai, Tomoyuki TANIKAWA, Ryuji KATAYAMA
Applied Physics Express Vol. 14 No. 6 p. 61004-61004 2021年5月10日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:IOP PublishingObservation of Dislocations in Graded Buffer Layers of IMM Single Junction InGaAs Solar Cells by Two-Photon Excitation Photoluminescence
Akio Ogura, Tomoyuki Tanikawa, Tatsuya Takamoto, Ryuji Oshima, Hidetoshi Suzuki, Mitsuru Imaizumi, Takeyoshi Sugaya
Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference p. 273-276 2019年6月19日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Reuse of scalmgo<inf>4</inf> substrates utilized for halide vapor phase epitaxy of gan
Kazuki Ohnishi, Shigeyuki Kuboya, Tomoyuki Tanikawa, Takuya Iwabuchi, Kazuya Yamamura, Noriyuki Hasuike, Hiroshi Harima, Tsuguo Fukuda, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 58 No. SC 2019年3月1日 研究論文(学術雑誌)
Growth of GaN and improvement of lattice curvature using symmetric hexagonal SiO<inf>2</inf> patterns in HVPE growth
Satoru Fujimoto, Hideyuki Itakura, Tomoyuki Tanikawa, Narihito Okada, Kazuyuki Tadatomo
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 58 No. SC 2019年3月1日 研究論文(学術雑誌)
Reverse-bias-induced virtual gate phenomenon in N-polar GaN HEMTs
T. Suemitsu, K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Matsuoka
2018 MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, MA, USA, Nov. 25-30 2018年12月18日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
N-polar GaN/AlGaN inversed high electron mobility transistors
T. Suemitsu, K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Matsuoka
4th Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductors (IDGN-4), Sendai, Japan, Nov. 19-20 2018年11月18日 研究論文(学術雑誌)
Three dimensional and non-destructive investigation of relation between reverse leakage current and threading dislocation in vertical GaN Schottky barrier diodes
T. Fujita, T. Tanikawa, H. Fukushima, S. Usami, A. Tanaka, T. Suemitsu, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2018), Kanazawa, Japan, Nov. 12-16 2018年11月16日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
窒素極性GaN MIS-HEMT における逆バイアスアニールの効果
末光哲也, K. Prasertsuk, 谷川智之, 木村健司, 窪谷茂幸, 松岡隆志
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 名古屋, Sep. 18-21, 2018 2018年9月18日 研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
Temperature-dependent radiative and non-radiative dynamics of photo-excited carriers in extremely high-density and small InGaN nanodisks fabricated by neutral-beam etching using bio-nano-templates
Yafeng Chen, Takayuki Kiba, Junichi Takayama, Akio Higo, Tomoyuki Tanikawa, Shula Chen, Seiji Samukawa, Akihiro Murayama
Journal of Applied Physics Vol. 123 No. 20 2018年5月28日 研究論文(学術雑誌)
Reverse bias annealing effects in N-polar GaN/AlGaN/GaN HEMTs
T. Suemitsu, K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Matsuoka
Compound Semiconductor Week, Boston, MA, USA, May 29-Jun. 1, 2018 p. 705-706 2018年5月1日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Threshold voltage engineering of recessed MIS-gate N-polar GaN HEMTs
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡, Sep. 5-8 2017年9月7日 研究論文(その他学術会議資料等)
Biexciton Emission From Single Quantum-Confined Structures in N-Polar (000-1) InGaN/GaN Multiple Quantum Wells
Kengo Takamiya, Shuhei Yagi, Hiroyuki Yaguchi, Hidefumi Akiyama, Kanako Shojiki, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
Physica Status Solidi (B) Basic Research Vol. 255 No. 5 2017年9月7日 研究論文(学術雑誌)
Halide vapor phase epitaxy of thick GaN films on ScAlMgO<inf>4</inf> substrates and their self-separation for fabricating freestanding wafers
Kazuki Ohnishi, Masaya Kanoh, Tomoyuki Tanikawa, Shigeyuki Kuboya, Takashi Mukai, Takashi Matsuoka
Applied Physics Express Vol. 10 No. 10 2017年9月7日 研究論文(学術雑誌)
Ga-polar GaN film grown by MOVPE on cleaved ScAlMgO<inf>4</inf> (0001) substrate with millimeter-scale wide terraces
Takuya Iwabuchi, Shigeyuki Kuboya, Tomoyuki Tanikawa, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Tsuguo Fukuda, Takashi Matsuoka
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science Vol. 214 No. 9 2017年8月1日 研究論文(学術雑誌)
Control of impurity concentration in N-polar (0001¯) GaN grown by metalorganic vapor phase epitaxy
Tomoyuki Tanikawa, Shigeyuki Kuboya, Takashi Matsuoka
Physica Status Solidi (B) Basic Research Vol. 254 No. 8 2017年8月1日 研究論文(学術雑誌)
Absolute technique for measuring internal electric fields in InGaN/GaN light-emitting diodes by electroreflectance applicable to all crystal orientations
Tomoyuki Tanikawa, Kanako Shojiki, Ryuji Katayama, Shigeyuki Kuboya, Takashi Matsuoka, Yoshio Honda, Hiroshi Amano
Applied Physics Express Vol. 10 No. 8 2017年8月1日 研究論文(学術雑誌)
Optical Study of Sub-10 nm In<inf>0.3</inf>Ga<inf>0.7</inf>N Quantum Nanodisks in GaN Nanopillars
Akio Higo, Takayuki Kiba, Shula Chen, Yafeng Chen, Tomoyuki Tanikawa, Cedric Thomas, Chang Yong Lee, Yi Chun Lai, Takuya Ozaki, Junichi Takayama, Ichiro Yamashita, Akihiro Murayama, Seiji Samukawa
ACS Photonics Vol. 4 No. 7 p. 1851-1857 2017年7月19日 研究論文(学術雑誌)
N-polar GaN MIS-HEMTs with flat interface grown by optimized MOVPE
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
信学技報 Vol. 117 No. 58 p. 59-64 2017年5月26日 研究論文(その他学術会議資料等)
出版者・発行元:電子情報通信学会Reduced gate leakage current in N-polar GaN MIS-HEMTs
K. Prasertsuk, A. Miura, S. Tanaka, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
第64回応用物理学会春季学術講演会, 横浜, Mar 14-17 2017年3月15日 研究論文(その他学術会議資料等)
Nanometer scale fabrication and optical response of InGaN/GaN quantum disks
Yi Chun Lai, Akio Higo, Takayuki Kiba, Cedric Thomas, Shula Chen, Chang Yong Lee, Tomoyuki Tanikawa, Shigeyuki Kuboya, Ryuji Katayama, Kanako Shojiki, Junichi Takayama, Ichiro Yamashita, Akihiro Murayama, Gou Chung Chi, Peichen Yu, Seiji Samukawa
Nanotechnology Vol. 27 No. 42 p. 425401_1-425401_5 2016年9月15日 研究論文(学術雑誌)
MOVPE growth of N-polar GaN/Al<inf>x</inf>Ga<inf>1-x</inf>N/GaN heterostructure on small off-cut substrate for flat interface
K. Prasertsuk, S. Tanaka, T. Tanikawa, K. Shojiki, T. Kimura, A. Miura, R. Nonoda, F. Hemmi, S. Kuboya, R. Katayama, T. Suemitsu, T. Matsuoka
2016 Compound Semiconductor Week, CSW 2016 - Includes 28th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, IPRM and 43rd International Symposium on Compound Semiconductors, ISCS 2016 2016年8月1日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Homogeneity Improvement of N-polar (0001(_)) InGaN/GaN Multiple Quantum Wells by Changing Substrate Off-Cut-Angle Direction
K. Shojiki, T. Hanada, T. Tanikawa, Y. Imai, S. Kimura, R. Nonoda, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 55 No. 5S p. 05FA09-1-05FA09-8 2016年3月4日 研究論文(学術雑誌)
Homogeneity improvement of N-polar (000-1) InGaN/GaN multiple quantum wells by using c-plane sapphire substrate with off-cut-angle toward a-sapphire plane
Kanako Shojiki, Takashi Hanada, Tomoyuki Tanikawa, Yasuhiko Imai, Shigeru Kimura, Ryohei Nonoda, Shigeyuki Kuboya, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 No. 5 2016年3月4日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Electrical characteristics of N-polar (0001) p-type GaN Schottky contacts
Toshichika Aoki, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka, Kenji Shiojima
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 No. 4 p. 05FE01_1-05FE01_4 2016年3月4日 研究論文(学術雑誌)
Large Stokes-like shift in N-polar (000-1) InGaN/GaN multiple-quantum-well light-emitting diodes
Tomoyuki Tanikawa, Kanako Shojiki, Shigeyuki Kuboya, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 No. 5 p. 05FJ03_1-05FJ03_4 2016年3月4日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Effects of Mg/Ga and V/III source ratios on hole concentration of N-polar (000-1) p-type GaN grown by metalorganic vapor phase epitaxy
Ryohei Nonoda, Kanako Shojiki, Tomoyuki Tanikawa, Shigeyuki Kuboya, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 No. 5 p. 05FE01_1-05FE01_4 2016年3月4日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Polarity control of GaN grown on pulsed-laser-deposited AlN/GaN template by metalorganic vapor phase epitaxy
Jinyeop Yoo, Kanako Shojiki, Tomoyuki Tanikawa, Shigeyuki Kuboya, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 No. 5 p. 05FA04_1-05FA04_5 2016年3月4日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
InGaN quantum nanodisks fabrication by bio-template and neutral beam etching
Y.C. Lai, A. Higo, C. Thomas, C.Y. Lee, T. Tanikawa, K. Shojiki, S. Kuboya, R. Katayama, T. Kiba, I. Yamashita, A. Murayama, P. Yu, S. Samukawa
AVS 62nd International symposium and exhibition 2015年10月23日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Fabrication of InGaN/GaN nanodisk structure by using bio-template and neutral beam etching process
Yi Chun Lee, Akio Higo, Chang Yong Lee, Cedric Thomas, Tomoyuki Tanikawa, Kanako Shojiki, Shigeyuki Kuboya, Ryuji Katayama, Takayuki Kiba, Peichen Yu, Ichiro Yamashita, Akihiro Murayama, Seiji Samukawa
IEEE-NANO 2015 - 15th International Conference on Nanotechnology p. 1278-1281 2015年7月7日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Suppression of metastable-phase inclusion in N-polar (000 1¯) InGaN/GaN multiple quantum wells grown by metalorganic vapor phase epitaxy
Kanako Shojiki, Jung Hun Choi, Takuya Iwabuchi, Noritaka Usami, Tomoyuki Tanikawa, Shigeyuki Kuboya, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Applied Physics Letters Vol. 106 No. 22 p. 222102_1-222102_4 2015年6月1日 研究論文(学術雑誌)
Red to blue wavelength emission of N-polar (0001¯) InGaN light-emitting diodes grown by metalorganic vapor phase epitaxy
Kanako Shojiki, Tomoyuki Tanikawa, Jung Hun Choi, Shigeyuki Kuboya, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Applied Physics Express Vol. 8 No. 6 p. 061005_1-061005_4 2015年6月1日 研究論文(学術雑誌)
Optically pumped lasing properties of (1101) InGaN/GaN stripe multiquantum wells with ridge cavity structure on patterned (001) Si substrates
Maki Kushimoto, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Hiroshi Amano
Applied Physics Express Vol. 8 No. 2 p. 22702-022702_3 2015年2月1日 研究論文(学術雑誌)
Effect of sapphire nitridation and group-iii source flow rate ratio on in-incorporation into InGaN grown by metalorganic vapor phase epitaxy
J. H. Choi, K. Shojiki, T. Tanikawa, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
Journal of Nanoscience and Nanotechnology Vol. 14 No. 8 p. 6112-6115 2014年8月14日 研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元:American Scientific PublishersImprovement of surface morphology of nitrogen-polar GaN by introducing indium surfactant during MOVPE growth
Takashi Aisaka, Tomoyuki Tanikawa, Takeshi Kimura, Kanako Shojiki, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 53 No. 8 p. 085501_1-085501_4 2014年8月14日 研究論文(学術雑誌)
Enhancement of surface migration by Mg doping in the metalorganic vapor phase epitaxy of N-polar (0001) GaN/sapphire
Tomoyuki Tanikawa, Kanako Shojiki, Takashi Aisaka, Takeshi Kimura, Shigeyuki Kuboya, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 53 No. 5 SPEC. ISSUE 1 p. 05FL05-1-05FL05-4 2014年5月14日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Effect of c-plane sapphire substrate miscut angle on indium content of MOVPE-grown N-polar InGaN
Kanako Shojiki, Jung Hun Choi, Hirofumi Shindo, Takeshi Kimura, Tomoyuki Tanikawa, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 53 No. 5 SPEC. ISSUE 1 p. 05FL07-1-05FL07-5 2014年5月14日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Fabrication of InGaN/GaN multiple quantum wells on (1-101) GaN
Tomoyuki Tanikawa, Tomotaka Sano, Maki Kushimoto, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Hiroshi Amano
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 52 No. 8 PART 2 2013年8月13日 研究論文(学術雑誌)
Growth of GaN on Si(111) substrates via a reactive-sputter-deposited AlN intermediate layer
Takaya Yamada, Tomoyuki Tanikaway, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Hiroshi Amano
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 52 No. 8 p. 08JB16-1-08JB16-3 2013年8月13日 研究論文(学術雑誌)
AlN/air distributed Bragg reflector by GaN sublimation from microcracks of AlN
T. Mitsunari, T. Tanikawa, Y. Honda, M. Yamaguchi, H. Amano
Journal of Crystal Growth Vol. 370 p. 16-21 2013年5月1日 研究論文(学術雑誌)
Investigation of indium incorporation into InGaN by nitridation of sapphire substrate in MOVPE
Jung Hun Choi, Kanako Shojiki, Tomoyuki Tanikawa, Takashi Hanada, Ryuji Katayama, Takashi Matsuoka
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics Vol. 10 No. 3 p. 417-420 2013年3月13日 研究論文(学術雑誌)
Effects of low energy e-beam irradiation on cathodoluminescence from GaN
S. Suihkonen, H. Nykänen, T. Tanikawa, M. Yamaguchi, Y. Honda, H. Amano
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science Vol. 210 No. 2 p. 383-385 2013年2月13日 研究論文(学術雑誌)
Defects generation and annihilation in GaN grown on patterned silicon substrate
N. Sawaki, S. Ito, T. Nakagit, H. Iwat, T. Tanikawa, M. Irie, Y. Honda, M. Yamaguchi, H. Amano
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Vol. 8625 2012年7月5日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Strain relaxation in thick (11̄01) InGaN grown on GaN/Si substrate
Tanikawa, T, Honda, Y, Yamaguchi, M, Amano, H.a, Sawaki, N
Phys. Status Solidi B Basic Res. Vol. 249 No. 3 p. 468-471 2012年3月12日 研究論文(学術雑誌)
In-situ void formation technique using an AlN shell structure grown on GaN stripes on Si(111) and c-plane sapphire substrates
Tadashi Mitsunari, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Hiroshi Amano
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics Vol. 9 No. 3月4日 p. 480-483 2012年3月12日 研究論文(学術雑誌)
Selective MOVPE growth of InGaN/GaN MQW on microfacet GaN stripes
Tomoyuki Tanikawa, Tasuku Murase, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Hiroshi Amano
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics Vol. 8 No. 7月8日 p. 2038-2040 2011年7月11日 研究論文(学術雑誌)
Optical properties of (1-101) InGaN/GaN MQW stripe laser structure on Si substrate
Tasuku Murase, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Hiroshi Amano
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics Vol. 8 No. 7月8日 p. 2160-2162 2011年7月11日 研究論文(学術雑誌)
Effect of lateral vapor phase diffusion during the selective growth of InGaN/GaN MQW on semipolar and nonpolar GaN stripes
Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Hiroshi Amano
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science Vol. 208 No. 5 p. 1175-1178 2011年5月11日 研究論文(学術雑誌)
Optical properties of (1 1̄ 0 1) semi-polar InGaN/GaN multiple quantum wells grown on patterned silicon substrates
Chiu, C.-H.a, d Lin, D.-W.a, Lin, C.-C.c and Li, Z.-Y.a, Chen, Y.-C.a, Ling, S.-C.a, Kuo, H.-C.a and Lu, T.-C.a, Wang, S.-C.a, Liao, W.-T, Tanikawa, T, Honda, Y, Yamaguchi, M, Sawaki, N
J Cryst Growth Vol. 318 No. 1 p. 500-504 2011年3月1日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Photonic properties of erbium doped InGaN alloys grown on Si (001) substrates
I. W. Feng, X. K. Cao, J. Li, J. Y. Lin, H. X. Jiang, N. Sawaki, Y. Honda, T. Tanikawa, J. M. Zavada
Applied Physics Letters Vol. 98 No. 8 2011年2月21日 研究論文(学術雑誌)
Partial strain relaxation by stacking fault generation in InGaN multiple quantum wells grown on (1 1- 01) semipolar GaN
Z. H. Wu, T. Tanikawa, T. Murase, Y. Y. Fang, C. Q. Chen, Y. Honda, M. Yamaguchi, H. Amano, N. Sawaki
Applied Physics Letters Vol. 98 No. 5 2011年1月31日 研究論文(学術雑誌)
Reduction of efficiency droop in Semipolar (11̄01) InGaN/GaN light emitting diodes grown on patterned silicon substrates
Chiu, C.H.a, Lin, D.W.a, Lin, C.C.c and Li, Z.Y.a, Kuo, H.C.a, Lu, T.C.a, Wang, S.C.a, Liao, W.T, Tanikawa, T, Honda, Y, Yamaguchi, M, Sawaki, N
CLEO: - Laser Sci. Photonic Appl., CLEO 2010年7月3日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
IQE and EQE of the nitride-based UV/DUV LEDs
H. Amano, G. J. Park, T. Tanikawa, Y. Honda, M. Yamaguchi, K. Ban, K. Nagata, K. Nonaka, K. Takeda, M. Iwaya, T. Takeuchi, S. Kamiyama, I. Akasaki
Optics InfoBase Conference Papers 2010年7月3日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Growth of semi-polar GaN-based light-emitting diodes grown on an patterned Si substrate
Ching Hsueh Chiu, Da Wei Lin, Zhen Yu Li, Shih Chun Ling, Hao Chung Kuo, Tien Chang Lu, Shing Chung Wang, Wei Tasi Liao, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Nobuhiko Sawaki
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Vol. 7939 2010年7月3日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Drastic reduction of dislocation density in semipolar (1122) GaN stripe crystal on Si substrate by dual selective metal-organic vapor phase epitaxy
Tasuku Murase, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Hiroshi Amano, Nobuhiko Sawaki
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 50 No. 1 PART 2 2010年1月11日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Reduction of efficiency droop in semipolar (1101) InGaN/GaN light emitting diodes grown on patterned silicon substrates
Ching Hsueh Chiu, Da Wei Lin, Chien Chung Lin, Zhen Yu Li, Wei Ting Chang, Hung Wen Hsu, Hao Chung Kuo, Tien Chang Lu, Shing Chung Wang, Wei Tsai Liao, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Nobuhiko Sawaki
Applied Physics Express Vol. 4 No. 1 2010年1月11日 研究論文(学術雑誌)
Fabrication of InGaN/GaN stripe structure on (1 1 1)Si and stimulated emission under photo-excitation
B. J. Kim, T. Tanikawa, Y. Honda, M. Yamaguchi, N. Sawaki
Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures Vol. 42 No. 10 p. 2575-2578 2009年9月10日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
HVPE growth of a-plane GaN on a GaN template (110)Si substrate
Tomoyuki Tanikawa, Noriyuki Suzuki, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Nobuhiko Sawaki
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics Vol. 7 No. 7月8日 p. 1760-1763 2009年7月2日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Influence of a SiO <inf>2</inf> mask on the growth of semi-polar (11-22) GaN on patterned Si (311) substrates
Min Yang, Hyung Soo Ahn, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Nobuhiko Sawaki
Journal of the Korean Physical Society Vol. 54 No. 6 p. 2363-2366 2009年6月9日 研究論文(学術雑誌)
Influence of a SiO2 Mask on the Growth of Semi-Polar (11-22) GaN on Patterned Si (311) Substrates
Min Yang, Hyung Soo Ahn, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Nobuhiko Sawaki
JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY Vol. 54 No. 6 p. 2363-2366 2009年6月9日 研究論文(学術雑誌)
Maskless selective growth of semi-polar (1 12̄ 2) GaN on Si (3 1 1) substrate by metal organic vapor phase epitaxy
Yang, M.a b c, Ahn, H.S.a, Tanikawa, T, Honda, Y, Yamaguchi, M, Sawaki, N
J Cryst Growth Vol. 311 No. 10 p. 2914-2918 2009年5月1日 研究論文(学術雑誌)
HVPE growth of semi-polar (1 1 2̄ 2)GaN on GaN template (1 1 3)Si substrate
Suzuki, N, Uchida, T, Tanikawa, T, Hikosaka, T, Honda, Y, Yamaguchi, M, Sawaki, N
J Cryst Growth Vol. 311 No. 10 p. 2875-2878 2009年5月1日 研究論文(学術雑誌)
Reduction of dislocations in a (1 1 2̄ 2)GaN grown by selective MOVPE on (1 1 3)Si
Tanikawa, T, Kagohashi, Y, Honda, Y, Yamaguchi, M, Sawaki, N
J Cryst Growth Vol. 311 No. 10 p. 2879-2882 2009年5月1日 研究論文(学術雑誌)
Growth of non-polar (1 1 2̄ 0)GaN on a patterned (1 1 0)Si substrate by selective MOVPE
Tanikawa, T, Rudolph, D, Hikosaka, T, Honda, Y, Yamaguchi, M, Sawaki, N
J Cryst Growth Vol. 310 No. 23 p. 4999-5002 2008年11月15日 研究論文(学術雑誌)
Fabrication and properties of semi-polar (1-101) and (11-22) InGaN/GaN light emitting diodes on patterned Si substrates
T. Hikosaka, T. Tanikawa, Y. Honda, M. Yamaguchi, N. Sawaki
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics Vol. 5 No. 6 p. 2234-2237 2008年6月30日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Fabrication and properties of semi-polar (1-101) and (11-22) InGaN/GaN light emitting diodes on patterned Si substrates
T. Hikosaka, T. Tanikawa, Y. Honda, M. Yamaguchi, N. Sawaki
PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 5, NO 6 Vol. 5 No. 6 p. 2234-2237 2008年6月30日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
Growth of semi-polar (11-22)GaN on a (113)Si substrate by selective MOVPE
T. Tanikawa, T. Hikosaka, Y. Honda, M. Yamaguchi, N. Sawaki
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics Vol. 5 No. 9 p. 2966-2968 2008年6月30日 研究論文(国際会議プロシーディングス)
多光子励起フォトルミネセンスによるGaN結晶の3次元非破壊解析
谷川 智之
応用物理 Vol. 89 No. 9 p. 524-528 2020年9月 記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会窒化アルミニウム薄膜の結晶極性制御とそのデバイス応用
正直花奈子, 正直花奈子, 玉野智大, 秋山亨, 三宅秀人, 本田啓人, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
電気学会基礎・材料・共通部門大会(Web) Vol. 2024 2024年
4層極性反転AlN薄膜のスパッタ・アニール法による作製と界面評価
玉野智大, 正直花奈子, 正直花奈子, 秋山亨, 本田啓人, 佐藤栄希, 上杉謙次郎, 上杉謙次郎, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人
結晶成長国内会議予稿集(CD-ROM) Vol. 52nd 2023年
Frontiers of Nitride Semiconductor Research FOREWORD
Shigefusa F. Chichibu, Yoshinao Kumagai, Kazunobu Kojima, Momoko Deura, Toru Akiyama, Munetaka Arita, Hiroshi Fujioka, Yasufumi Fujiwara, Naoki Hara, Tamotsu Hashizume, Hideki Hirayama, Mark Holmes, Yoshio Honda, Masataka Imura, Ryota Ishii, Yoshihiro Ishitani, Motoaki Iwaya, Satoshi Kamiyama, Yoshihiro Kangawa, Ryuji Katayama, Yoichi Kawakami, Takahiro Kawamura, Atsushi Kobayashi, Masaaki Kuzuhara, Koh Matsumoto, Yusuke Mori, Takashi Mukai, Hisashi Murakami, Hideaki Murotani, Satoshi Nakazawa, Narihito Okada, Yoshiki Saito, Akira Sakai, Hiroto Sekiguchi, Koji Shiozaki, Kanako Shojiki, Jun Suda, Tetsuya Takeuchi, Tomoyuki Tanikawa, Jun Tatebayashi, Shigetaka Tomiya, Yoichi Yamada
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 58 2019年6月 その他
多光子励起フォトルミネッセンスを用いたGaN 結晶中の転位の非破壊・三次元観察
谷川 智之
まてりあ Vol. 58 No. 3 p. 144-149 2019年3月1日
出版者・発行元:公益社団法人 日本金属学会多光子励起による窒化ガリウム結晶の時間分解フォトルミネセンス分光(1)
谷川智之, 小島一信, 粕谷拓生, 秩父重英, 田中敦之, 本田善央, 天野浩, 上向井正裕, 片山竜二
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 80th 2019年
多光子励起による窒化ガリウム結晶の時間分解フォトルミネセンス分光(2)
小島一信, 谷川智之, 粕谷拓生, 上向井正裕, 片山竜二, 田中敦之, 本田善央, 天野浩, 秩父重英, 秩父重英
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 80th 2019年
GaNの二光子励起フォトルミネッセンス測定における自己吸収の影響
谷川智之, 小島一信, 秩父重英, 松岡隆志
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 65th 2018年
トップダウンナノテクノロジーで作製したIn0.3Ga0.7Nナノディスクにおける光励起キャリアの熱脱離
CHEN Yafeng, 木場隆之, 高山純一, 肥後昭男, 谷川智之, 寒川誠二, 村山明宏
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) Vol. 79th 2018年
非弾性散乱電子による厚いGaN結晶中の貫通転位の観察
木口 賢紀, 白石 貴久, 今野 豊彦, 谷川 智之
まてりあ Vol. 57 No. 12 p. 615-615 2018年
出版者・発行元:公益社団法人 日本金属学会有機金属気相成長法によるN極性窒化物半導体の成長技術 (特集 特異構造の結晶科学 : 結晶成長と構造・物性相関)
谷川 智之, プラスラットスック キャッティウット, 木村 健司, 窪谷 茂幸, 松岡 隆志
日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth Vol. 45 No. 1 2018年
出版者・発行元:日本結晶成長学会有機金属気相成長法によるN極性窒化物半導体の成長技術
谷川 智之, プラスラットスック キャッティウット, 木村 健司, 窪谷 茂幸, 松岡 隆志
日本結晶成長学会誌 Vol. 45 No. 1 2018年
出版者・発行元:日本結晶成長学会N-polar GaN/AlGaN/GaN metal-insulator-semiconductor high-electron-mobility transistor formed on sapphire substrate with minimal step bunching
Kiattiwut Prasertsuk, Tomoyuki Tanikawa, Takeshi Kimura, Shigeyuki Kuboya, Tetsuya Suemitsu, Takashi Matsuoka
Applied Physics Express Vol. 11 No. 1 2018年1月
出版者・発行元:Japan Society of Applied PhysicsN極性n型GaN上Niショットキー特性に対するアニール効果の評価
寺島 勝哉, 野々田 亮平, 正直 花奈子, 谷川 智之, 松岡 隆志, 岡本 浩
電気関係学会東北支部連合大会講演論文集 Vol. 2017 No. 0 p. 30-30 2017年
出版者・発行元:電気関係学会東北支部連合大会実行委員会N極性p形GaNショットキー接触の電気的特性の評価 (電子デバイス)
青木 俊周, 谷川 智之, 片山 竜二
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 Vol. 115 No. 156 p. 1-4 2015年7月24日
出版者・発行元:電子情報通信学会Fabrication of InGaN/GaN Multiple Quantum Wells on (1101) GaN (Special Issue : Recent Advances in Nitride Semiconductors)
Tanikawa Tomoyuki, Sano Tomotaka, Kushimoto Maki
Japanese journal of applied physics : JJAP Vol. 52 No. 8 p. 08JC05-1-3 2013年8月
出版者・発行元:The Japan Society of Applied PhysicsIn-situ void formation technique using an AlN shell structure grown on GaN stripes on Si(111) and c-plane sapphire substrates
Mitsunari, Tadashi, Tanikawa, Tomoyuki, Honda, Yoshio, Yamaguchi, Masahito, Amano, Hiroshi
Physca Status Solidi c Vol. 9 No. 3-4 2012年7月1日 速報,短報,研究ノート等(学術雑誌)
Si基板上半極性面(1-101)GaNストライプ上InGaN/GaN多重量子井戸構造の偏光特性
久志本 真希, 谷川 智之, 本田 善央, 山口 雅史, 天野 浩
電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 Vol. 112 No. 33 p. 15-18 2012年5月10日
出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会(1-101)GaN/Si上InGaN厚膜のMOVPE成長
谷川 智之, 本田 善央, 山口 雅史, 天野 浩, 澤木 宣彦
電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス Vol. 111 No. 44 p. 63-66 2011年5月12日
出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会AlGaN系紫外発光素子の通電特性 : UV-LEDの劣化メカニズム
朴 貴珍, 杉山 貴之, 谷川 智之, 本田 善央, 山口 雅史, 天野 浩, 稲津 哲彦, 藤田 武彦, ペルノー シリル, 平野 光
電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 Vol. 111 No. 45 p. 123-126 2011年5月12日
出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会Erratum: Reduction of efficiency droop in semipolar (11̄01) InGaN/GaN light emitting diodes grown on patterned silicon substrates (Applied Physics Express (2011) 4 (012105))
Ching Hsueh Chiu, Ching Hsueh Chiu, Da Wei Lin, Da Wei Lin, Chien Chung Lin, Chien Chung Lin, Zhen Yu Li, Zhen Yu Li, Wei Ting Chang, Wei Ting Chang, Hung Wen Hsu, Hung Wen Hsu, Hao Chung Kuo, Hao Chung Kuo, Tien Chang Lu, Tien Chang Lu, Shing Chung Wang, Shing Chung Wang, Wei Tsai Liao, Wei Tsai Liao, Tomoyuki Tanikawa, Tomoyuki Tanikawa, Yoshio Honda, Yoshio Honda, Masahito Yamaguchi, Masahito Yamaguchi, Nobuhiko Sawaki, Nobuhiko Sawaki
Applied Physics Express Vol. 4 No. 3 2011年3月 その他
Spatially homogeneous ferromagnetism of (Ga, Mn)As
S. R. Dunsiger, J. P. Carlo, T. Goko, G. Nieuwenhuys, T. Prokscha, A. Suter, E. Morenzoni, D. Chiba, Y. Nishitani, T. Tanikawa, F. Matsukura, H. Ohno, J. Ohe, S. Maekawa, Y. J. Uemura
Nature Materials Vol. 9 No. 4 p. 299-303 2010年4月
選択MOVPE法を用いた極性・非極性GaNストライプ上へのInGaN/GaN MQW構造の作製
谷川 智之, 本田 善央, 山口 雅史
電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス Vol. 109 No. 422 p. 23-28 2010年2月15日
出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会Tunnel magnetoresistance in MgO-barrier magnetic tunnel junctions with bcc-CoFe(B) and fcc-CoFe free layers
S. Ikeda, J. Hayakawa, Y. M. Lee, T. Tanikawa, F. Matsukura, H. Ohno
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 99 No. 8 2006年4月
半導体高効率波長変換技術を用いた紫外光発生とその量子情報技術への応用
片山 竜二, 三宅 秀人, 吉村 政志, 上向井 正裕, 谷川 智之
多元技術融合光プロセス研究会 2024年7月24日
高速変調に向けたGaN p-i-n構造電界印加型マッハツェンダ干渉計に関する研究
菅野竜輝, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
日本材料学会 2024年度 半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回研究会 2024年7月20日
垂直微小共振器構造を用いた a 面 GaN 第二高調波発生デバイスの設計と製作
松本知季, 南部誠明, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
日本材料学会 2024年度 半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回研究会 2024年7月20日
パターンウエハ接合を用いたAlN極性反転リブ導波路による遠紫外第二高調波発生
百崎怜, 本田啓人, 古川裕也, 旭雄大, 岡山芳央, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
日本材料学会 2024年度 半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回研究会 2024年7月20日
N極性GaN薄膜の有機金属気相成長におけるInサーファクタント効果
池田和久, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2024年5月30日
−c-ZnO/+c-GaN横型擬似位相整合チャネル導波路の設計と作製
谷川智之, 畠中祐喜, 本田啓人, 阿部友紀, 上向井正裕, 片山竜二
第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2024年5月31日
周期スロット構造を用いたInGaN波長可変単一モードレーザ
上向井 正裕, 楠井 大晴, 和田 拓巳, 谷川 智之, 片山 竜二
第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2024年5月31日
Interlayer-Free GaN Epitaxial Polarity Inversion by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
Kazuhisa Ikeda, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
21st International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE XXI) 2024年5月14日
Epitaxial Growth of AlGaN/AlN Multiple Quantum Wells (MQWs) by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy for Far-UV Second Harmonic Generation
Shahzeb Malik, Masaaki Ito, Hiroto Honda, Ryosuke Noro, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
21st International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE XXI) 2024年5月13日
有機金属気相成長法による中間層フリーGaN極性反転積層構造の作製
池田和久, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月23日
横型擬似位相整合4層極性反転AlN導波路による第二高調波発生の実証
佐藤栄希, 本田啓人, 百崎怜, 玉野智大, 正直花奈子, 三宅秀人, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月24日
AlN/SiNx水平積層横型擬似位相整合導波路の設計と作製
本田 啓人, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月24日
超短パルスレーザ励起微小共振器型第二高調波発生デバイス
南部 誠明, 中原 智裕, 安田 悠馬, 藤原 康文, 斗内 政吉, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月23日
波長変換を用いた波長220 nm帯遠紫外光源の開発
片山 竜二, 三宅 秀人, 吉村 政志, 上向井 正裕, 谷川 智之
第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月23日
多光子励起フォトルミネッセンス法によるワイドギャップ半導体の結晶欠陥の3次元評価
谷川 智之, 上向井 正裕, 片山 竜二
応用物理学会 半導体の結晶成長と加工および評価に関する産学連携委員会 第 5 回研究会 2024年3月14日
超短パルスレーザー励起におけるGaN垂直微小共振器からの青色第二高調波発生
南部 誠明, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
電子情報通信学会総合大会 レーザ・量子エレクトロニクス(LQE) 2024年3月4日
遠紫外波長変換光源開発の進展:モノリシック微小共振器
片山竜二, 南部誠明, 吉村政志, 上向井正裕, 谷川智之
ワイドギャップ半導体学会 第15回研究会 ~次世代紫外光源の新展開~ 2024年3月1日
多光子吸収顕微鏡による転位の3次元計測
谷川 智之, 上向井 正裕, 片山 竜二
日本学術振興会・産学協力委員会 R025 先進薄膜界面機能創成委員会 第18回委員会・第17回研究会「薄膜・界面の最先端実験室系評価技術」 2024年2月20日
InGaN 周期スロットレーザーのCW 波長可変単一モード動作実証
楠井 大晴, 和田 拓巳, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
レーザー学会学術講演会第44回年次大会 2024年1月16日
パターンウエハ接合によるAlNAlN 極性反転横型擬似位相整合リブ導波路を用いた遠紫外第二高調波発生
百崎 怜, 本田 啓人, 古川 裕也, 旭 雄大, 岡山 芳央, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
レーザー学会学術講演会第44回年次大会 2024年1月16日
横型擬似位相整合導波路およびモノリシック微小共振器からの遠紫外第二高調波発生
片山竜二, 吉村政志, 上向井正裕, 谷川智之
レーザー学会学術講演会第44回年次大会 2024年1月16日
4層極性反転AlN薄膜のスパッタ‧アニール法による作製と界面評価
玉野 智大, 正直 花奈子, 秋山 亨, 本田 啓人, 佐藤 栄希, 上杉 謙次郎, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二, 三宅 秀人
第52回 結晶成長国内会議 JCCG-52 2023年12月5日
Design of AlN/Ta2O5 Horizontally Stacked Transverse-QPM Channel Waveguide for Squeezed Light Generation
Hiroto Honda, Masahiro Uemukai, Tanikawa Tomoyuki, Ryuji Katayama
14th International Conference on Nitride Semiconductors ICNS-14 2023年11月16日
Fabrication of transverse quasi-phase-matched channel waveguide using 4-layer polarity inverted AlN structure for second harmonic generation
Eiki Sato, Hiroto Honda, Ryo Momosaki, Tomohiro Tamano, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
14th International Conference on Nitride Semiconductors ICNS-14 2023年11月16日
Fabrication of AlN Polarity Inverted Transverse QPM Rib WaveGuide for Second Harmonic Generation Fabricated by Patterned Wafer Bonding
Ryo Momosaki, Hiroto Honda, Yuya Furukawa, Takehiro Asahi, Yoshio Okayama, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
14th International Conference on Nitride Semiconductors ICNS-14 2023年11月16日
Selective-Area Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Semipolar (1-101) GaN Stripes on Patterned Si Substrates for MicroLED Application
Naofumi Takeda, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama
14th International Conference on Nitride Semiconductors ICNS-14 2023年11月17日
Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of +c/–c GaN Polarity Inverted Bilayer for Transverse Quasi Phase Matched Photon Pair Generation Device Application
Kazuhisa Ikeda, Yuya Furukawa, Tomotaka Murata, Shuhei Ichikawa, Yasufumi Fujiwara, Tomoyuki Tanikawa, Masahiro Uemukai, Ryuji Katayama
14th International Conference on Nitride Semiconductors ICNS-14 2023年11月13日
Fabrication of Multiple Polarity Inverted AlN Structures by Multiple Sputtering and High-Temperature Annealing
Tomohiro Tamano, Kanako Shojiki, Hiroto Honda, Eiki Sato, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama, Hideto Miyake
14th International Conference on Nitride Semiconductors ICNS-14 2023年11月13日
Nitride-semiconductor-based wavelength converters
Ryuji Katayama, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa
14th International Conference on Nitride Semiconductors ICNS-14 2023年11月6日
等方性常誘電体による遠紫外波長変換と量子光源応用:極性反転AlN導波路とSrB4O7微小共振器
片山竜二, 吉村政志, 上向井正裕, 谷川智之
光材料応用技術研究会 2023年11月10日
Horizontally Stacked Transverse QPM Channel Waveguide for Squeezed Light Generation
H. Honda, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第41回電子材料シンポジウム EMS41 2023年10月11日
Fabrication of InGaN Tunable Single-Mode Laser Using Periodically Slotted Structure
T. Kusui, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第41回電子材料シンポジウム EMS41 2023年10月11日
High-Order Guided Mode Excitation Grating Coupler for GaN Transverse Quasi-Phase-Matched Photon Pair Generation Device
Y. Furukawa, H. Honda, K. Ikeda, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第41回電子材料シンポジウム EMS41 2023年10月13日
Fabrication of;T;ansverse Quasi-Phase-Matched Channel Waveguide using;Layer Polarity Inverted AlN Structure;for Seco;Harmonic Generation
E. Sato, H. Honda, R. Momosaki, T. Tamano, K. Shojiki, H. Miyake, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第41回電子材料シンポジウム EMS41 2023年10月12日
"Fabrication Process for Large Area Selective-Area Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Semi-polar (1-101) GaN on Patterned Si Substrate"
N. Takeda, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第41回電子材料シンポジウム EMS41 2023年10月12日
InGaN Tapered Semiconductor Optical Amplifier for Laser Isotope Separation
T. Wada, T. Kusui, M Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第41回電子材料シンポジウム EMS41 2023年10月12日
"AlN polarity inverted transverse QPM rib waveguide for second harmonic generation fabricated by patterned wafer bonding"
R. Momosaki, H. Honda, Y. Furukawa, T. Asahi, Y. Okayama, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第41回電子材料シンポジウム EMS41 2023年10月12日
GaN横型擬似位相整合光子対発生デバイスに向けた高次導波モード励起グレーティング結合器
古川 裕也, 本田 啓人, 池田 和久, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
超短パルスレーザ励起におけるa面GaN垂直微小共振器デバイスからの428 nm第二高調波発生
南部 誠明, 中原 智裕, 安田 悠馬, 藤原 康文, 斗内 政吉, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月19日
大口径化に向けた加工Si基板上への半極性GaNのMOVPE選択成長プロセス
竹田尚史, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第15回 日本結晶成長学会 ナノ構造・エピタキシャル成長講演会 2023年6月15日
DCパルススパッタリング法によるGaNの選択成長
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月18日
光ニードル顕微鏡法を用いたGaN結晶内転位の3次元可視化における球面収差補正と空間分解能の評価
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月18日
多層極性反転 AlN 構造を用いた横型 QPM 導波路の設計
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月18日
マルチ・スパッタアニール法による多層極性反転 AlN 構造の作製
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月18日
多光子励起過程を利用したβ-Ga2O3の時間分解フォトルミネッセンス分光
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月16日
GaN光導波路電界印加型マッハツェンダ干渉計の構造検討と作製
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
電界印加位相シフタを有するGaN導波路型マッハツェンダ干渉計の設計と作製
レーザー学会学術講演会第43回年次大会 2023年1月19日
グレーティング結合器集積化GaN横型擬似位相整合光子対発生デバイスの設計と作製
レーザー学会学術講演会第43回年次大会 2023年1月19日
高効率スクイーズド光発生に向けた MgO:CLN/GaN横型擬似位相整合導波路波長変換デバイスの作製
レーザー学会学術講演会第43回年次大会 2023年1月19日
SrB4O7微小共振器型深紫外第二高調波発生デバイス
レーザー学会学術講演会第43回年次大会 2023年1月19日
電界印加型GaN光導波路マッハツェンダ干渉計の構造検討
第14回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2022年11月25日
a面GaN/c面GaNの表面活性化接合に向けた表面平坦化プロセス
第14回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2022年11月25日
Second harmonic generation of 230 nm DUV light from transverse quasiphase-matched −c-AlN/+c-AlN channel waveguide
H. Honda, S. Umeda, K. Shojiki, H. Miyake, S. Ichikawa, J. Tatebayashi, Y. Fujiwara, K. Serita, H. Murakami, M. Tonouchi, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2022) 2022年11月14日
Observation of nanopipes in edge-defined film-fed grown β-Ga2O3 substrate and their effect on homoepitaxial surface hillocks
T. Nishikawa, M. Tsukakoshi, K. Goto, H. Murakami, Y. Kumagai, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials (IWGO2022) 2022年11月14日
Blue Second Harmonic Generation from GaN Monolithic Microcavity
T. Nambu, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2022) 2022年11月13日
Identification of Burgers vectors of threading dislocations in HVPE-Grown GaN using Multiphoton-Excitation Photoluminescence
T. Tanikawa, Y. Ishii, M. Tsukakoshi, R. Terada, M. Adachi, M. Uemukai, R. Katayama
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2022) 2022年11月11日
Polarity inversion of GaN via AlN oxidation interlayer using metalorganic vapor phase epitaxy
T. Murata, K. Ikeda, J. Yamasaki, T. Tanikawa, M. Uemukai, and R. Katayama
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2022) 2022年11月11日
Deep-Ultraviolet Second-Harmonic Generation from Microcavity Structure with SrB4O7 Nonlinear Optical Crystal
第41回電子材料シンポジウム 2022年10月20日
Fabrication of GaN transverse quasi phase matching photon pair generation device using MOVPE-based epitaxial polarity inversion technology
第41回電子材料シンポジウム 2022年10月20日
Demonstration of 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation from HfO2/AlN Transverse Quasi-Phase-Matched Channel Waveguide
第41回電子材料シンポジウム 2022年10月20日
窒化物半導体結晶成長技術を駆使した量子光源の開発
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月22日
HfO2/AlN横型擬似位相整合チャネル導波路を用いた230 nm遠紫外第二高調波発生
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日
2層極性反転AlN横型擬似位相整合チャネル導波路を用いた230 nm遠紫外第二高調波発生
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日
MOVPEエピタキシャル極性反転技術を用いたGaN横型擬似位相整合光子対発生デバイスの作製
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日
微小共振器構造を用いた面発光型広帯域光子対発生デバイスの設計
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日
Three-dimensional characterization of threading dislocations in heteroepitaxial diamond substrate using multiphoton-excitation photoluminescence
T. Tanikawa, R. Katayama, S. Ohmagari
32nd International Conference on Diamond and Carbon Materials 2022年9月4日
SrB4O7 微小共振器を用いた深紫外第二高調波発生
レーザー学会第564回研究会「高機能固体レーザーとその応用」 2022年7月15日
ヘテロエピタキシャル成長ダイヤモンド基板中の貫通転位の伝搬挙動
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月25日
電界印加型光導波路マッハツェンダ干渉計へ向けたGaN方向性結合器の作製と評価
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月22日
高効率スクイーズド光発生に向けたLiNbO3/GaN横型擬似位相整合波長変換デバイスの設計
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月22日
EFG成長 (010)β-Ga2O3結晶中のナノパイプの三次元形状
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月22日
230 nm遠紫外第二高調波発生に向けたHfO2/AlN横型擬似位相整合チャネル導波路の作製
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月22日
GaN-QPM結晶を用いたリブ導波路型波長変換デバイスの作製と評価
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月22日
SrB4O7微小共振器を用いた234 nm深紫外第二高調波発生
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月22日
GaN縦型pnダイオード中の特異なフォトルミネッセンス発光
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月22日
多光子励起フォトルミネッセンス法によるβ-Ga2O3結晶のナノパイプ観察
西河巴賀, 塚越真悠子, 後藤 健, 村上 尚, 熊谷義直, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第13回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2021年12月2日
フルカラーInGaN多重量子井戸の作製に向けた接合可能な非極性GaN平坦膜の成長
安田悠馬, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
第13回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2021年12月2日
サファイア基板上N極性GaN薄膜の有機金属気相成長法における平坦化条件の探索
池田和久, 村田知駿, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第50回結晶成長国内会議(JCCG-50) 2021年10月27日
気相拡散効果を利用したマルチカラーInGaN多重量子井戸の有機金属気相選択成長
吉田 新, 正直花奈子, 三宅秀人, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
第50回結晶成長国内会議(JCCG-50) 2021年10月28日
Fabrication of 3.3 um Periodically-Poled MgO:SLT Structure for Quantum Light Sources at 810 nm
H. Nishigaki, R. Noro, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
第40回電子材料シンポジウム 2021年10月11日
Improved Fabrication of Transverse Quasi-Phase-Matched Double-Layer Polarity Inverted AlN Waveguide for 230-nm Second Harmonic Generation
S. Umeda, H. Honda, T. Nambu, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, K. Shojiki, H. Miyake, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第40回電子材料シンポジウム 2021年10月11日
Design of Non-Polar/AlN Transverse Quasi-Phase Matched Channel Waveguides for 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation
H. Honda, K. Shojiki, H. Miyake, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
第40回電子材料シンポジウム 2021年10月11日
Fabrication of GaN Polarity Inverted Structure via Ultrathin AlN Oxidation Interlayer using Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
T. Murata, T. Tanikawa, M. Uemukai and R. Katayama
第40回電子材料シンポジウム 2021年10月11日
Efficiency Evaluation of GaN Transverse Quasi-Phase-Matched Wavelength Conversion Device under Femtosecond Laser Excitation
N. Yokoyama, H. Honda, T. Murata, K. Serita, H. Murakami, M. Tonouchi, S. Tokita, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
第40回電子材料シンポジウム 2021年10月11日
Fabrication of Orientation Modulated GaN Template for Monolithic Integrated Full-Color InGaN Light-Emitting Diodes
Y. Yasuda, R. Tanabe, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
第40回電子材料シンポジウム 2021年10月11日
Correlation Between MPPL and Raman Mapping Images of GaN for Nondestructive Identification of Threading Dislocations
M. Tsukakoshi, T. Tanikawa, M. Uemukai and R. Katayama
第40回電子材料シンポジウム 2021年10月11日
230 nm遠紫外第二高調波発生に向けた横型擬似位相整合2層極性反転AlN導波路の作製
梅田颯志, 本田啓人, 南部誠明, 市川修平, 藤原康文, 正直花奈子, 三宅秀人, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年8月12日
230 nm遠紫外第二高調波発生に向けた横型擬似位相整合HfO2/AlN導波路の設計
本田啓人, 梅田颯志, 正直花奈子, 三宅秀人, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年8月12日
多光子励起フォトルミネッセンス法によるβ-Ga2O3結晶の三次元イメージング
西河巴賀, 塚越真悠子, 後藤 健, 村上 尚, 熊谷義直, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年8月12日
電界印加型光導波路マッハツェンダ干渉計へ向けたGaN導波路型方向性結合器の作製
久田雄太, 亀井拓哉, 市川修平, 藤原康文, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年8月12日
有機金属気相成長法を用いたGaNエピタキシャル極性反転技術の開発
村田知駿, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年8月13日
Experimental Determination of Wavelength Conversion Efficiency in Transverse Quasi-Phase-Matched GaN SHG Waveguide Excited with Femtosecond Laser
N. Yokoyama, Y. Morioka, T. Murata, H. Honda, F. R. G. Bagsican, K. Serita, H. Murakami, M. Tonouchi, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
2021 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2021) 2021年9月8日
Nondestructive Characterization of Dislocations Using Multiphoton-Excitation Photoluminescence
T. Tanikawa, A. Ogura, M. Uemukai, R. Katayama
SemiconNano2021 2021年9月3日
窒化物半導体の波長変換デバイス応用
谷川智之
応用物理学会中国四国支部・若手半導体研究会 2021年8月23日
多光子励起過程を利用した次世代半導体材料の欠陥評価技術
谷川智之
日本学術振興会第R032委員会 第2回研究会「R032委員会キックオフ研究会:結晶作製Ⅱ」 2021年8月6日
MgO:SLTを用いた3.3 μm周期分極反転構造の作製
野呂諒介, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月18日
GaN結晶中の貫通転位の非破壊分類に向けた多光子励起PLマッピング像とラマンマッピング像の相関解析
谷川智之, 足立真理子, 寺田陸斗, 塚越真悠子, 上向井正裕, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月17日
表面活性化接合を用いた面方位変調GaNテンプレートの作製と組成変調InGaN量子井戸の有機金属気相成長
田辺 凌, 吉田 新, 安田悠馬, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月16日
GaN横型擬似位相整合第二高調波発生デバイスの効率評価
横山尚生, 村田知駿, 本田啓人, 市川修平, 藤原康文, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月16日
AlN微小二重共振器型面発光DUV第二高調波発生デバイスの検討
南部誠明, 矢野岳人, 永田拓実, 田辺 凌, 梅田颯志, 市川修平, 藤原康文, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月16日
230 nm深紫外光発生に向けた2層極性反転AlN導波路の設計と作製
本田啓人, 永田拓実, 市川修平, 藤原康文, 正直花奈子, 三宅秀人, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月16日
広帯域光子対発生に向けたGaN導波路型微小共振器デバイスの作製
永田拓実, 梅田颯志, 隈部岳瑠, 安藤悠人, 出来真斗, 本田善央, 天野 浩, トーマスポージン, 山田和輝, 岩谷素顕, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月16日
InGaN高次結合ディープエッチDBRレーザ
樋口晃大, 松下就哉, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月16日
Novel wavelength converters made of nitride semiconductors: transverse QPM waveguides and monolithic microcavities
R. Katayama, M. Uemukai, T. Tanikawa
SPIE Photonics West: Conference 11686 -Gallium Nitride Materials and Devices XVI- 2021年3月3日
Nondestructive characterization of GaN by multiphoton-excitation photoluminescence mapping
T. Tanikawa, M. Tsukakoshi, M. Uemukai, R. Katayama
SPIE Photonics West: Conference 11686 -Gallium Nitride Materials and Devices XVI- 2021年3月3日
Novel Method of Short-Wavelength Emission from Polarity-Inverted Nitride Semiconductor Waveguides
R. Katayama, M. Uemukai, T. Tanikawa
The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8) 2021年3月1日
Classification of threading dislocations in HVPE-grown n-type GaN substrates by multiphoton-excitation photoluminescence imaging
M. Tsukakoshi, T. Tanikawa, M. Uemukai, R. Katayama
The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8) 2021年3月1日
Core structure of threading dislocations in GaN
T. Kiguchi, Y. Kodama, Y. Hayasaka, T. Tanikawa, T. J. Konno
The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8) 2021年3月1日
多光子励起フォトルミネッセンスによる結晶欠陥の非侵襲観察
谷川智之
新学術領域研究 特異構造の結晶科学 オンライン成果報告・連絡会(Zoom) 2021年2月24日
窒化物半導体極性制御特異構造の形成技術の深化と物性・機能の制御
片山竜二
新学術領域研究 特異構造の結晶科学 オンライン成果報告・連絡会(Zoom) 2021年1月13日
ワイドギャップ窒化物半導体波長変換デバイスによる紫外光発生
片山 竜二, 上向井 正弘, 谷川 智之
応用物理学会 応用電子物性分科会 研究例会 紫外材料 ・デバイス開発の最前線 ~物性の理解 とデバイス開発~ 2020年11月18日
Design of GaN Waveguide Microcavity Device for Broadband Photon Pair Generation
T. Nagata, S. Umeda, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
Design of Waveguide Directional Coupler for Electric-Field Driven GaN Mach-Zehnder Interferometer
Y. Hisada, A. Tomibayashi, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
Comparative study of dislocation classification in HVPE-grown GaN by etch pit method and multiphoton-excitation photoluminescence imaging
M. Tsukakoshi, T. Tanikawa, M. Uemukai, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
Design of Ttransverse Quasi-Phase-Matched Double-Layer AlN Waveguide for 230-nm DUV Second Harmonic Generation
H. Honda, N. Yokoyama, A. Yamauchi, T. Komatsu, K. Shojiki, H. Miyake, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
First Demonstration of Tunable Single-Mode InGaN Laser with Periodically Slotted Structure
A. Higuchi, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
Role of Low-Temperature Buffer Layer and GaN Flattening Layer on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Lattice-Matched InGaN on ScAlMgO4
S. Yoshida, N. Ryoki, K. Miyano, T. Tanikawa, M. Uemukai, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
Electrical and Optical Characteristics of ITO Electrode for Electrically-Tunable Waveguide Phase Shifter
A. Tomibayashi, Y. Hisada, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
Design and Fabrication of AlN Waveguide Microcavity SHG Device
S. Umeda, T. Nagata, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月8日
Annealed Proton-Exchanged Waveguide with Large Mode Size in Quasi-Phase-Matched MgO:SLT for High Power Second Harmonic Generation
R. Noro, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月7日
Transverse Quasi-Phase-Matched Second Harmonic Generation using Polarity-Inverted GaN Channel Waveguide with Input Grating Coupler
T. Murata, N. Yokoyama, T. Komatsu, Y. Morioka, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月7日
Fabrication of GaN Polarity-Inverted Structure by Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching and Surface Activated Bonding
N. Yokoyama, R. Tanabe, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月7日
Epitaxial Growth of InGaN Thin Film with High InN Molar Fraction by Pulsed DC Sputtering
Y. Onishi, H. Miura, N. Takahashi, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
第39回電子材料シンポジウム 2020年10月7日
グレーティング結合器集積GaN横型擬似位相整合第二高調波発生デバイス
横山尚生, 森岡佳紀, 森川隆哉, 藤原康文, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月10日
周期的スロット構造を用いたInGaN波長可変単一モードレーザ
樋口晃大, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月10日
量子もつれ光子対発生に向けたZnO/ZnMgO多重量子井戸微小共振器の設計
矢野岳人, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月9日
ワイドギャップ半導体の分極制御と量子光学応用:遠UVC全固体光源
片山竜二, 上向井正裕, 谷川智之
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月9日
多光子励起フォトルミネッセンス法によるHVPE-GaN結晶の貫通転位の観察と分類 (2)
塚越真悠子, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月8日
高出力第二高調波発生に向けたMgO:SLT擬似位相整合アニールプロトン交換導波路
野呂諒介, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月8日
多光子励起フォトルミネッセンス測定における 集光スポットサイズを考慮した GaN結晶中の貫通転位の判別
塚越真悠子, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
日本結晶成長学会ナノエピ分科会「第12回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会」 2020年7月31日
多光子励起PL三次元測定によるGaN基板中の転位の判別
谷川智之, 塚越真悠子, 上向井正裕, 片山竜二
ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会 第118回研究会「最先端評価技術を用いたワイドギャップ半導体結晶中の転位評価」 2020年7月3日
Fabrication of Annealed ProtonExchanged Waveguide in PeriodicallyPoled MgO:s-LiTaO3 for High Power Second Harmonic Generation
R. Noro, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
9th Advanced Lasers and Photon Sources Conference (ALPS2020) 2020年4月23日
Fabrication process of InGaN high-order deeply etched DBR laser
A. Higuchi, D. Tazuke, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
8th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Application (LEDIA2020) 2020年4月21日
Design of AlN doubly-resonant waveguide microcavity SHG device
S. Umeda, T. Nagata, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
8th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Application (LEDIA2020) 2020年4月21日
Inductively coupled plasma reactive ion etching of GaN films maintaining surface flatness for surface activated bonding
N. Yokoyama, R. Tanabe, T. Morikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
8th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Application (LEDIA2020) 2020年4月21日
Correlation between etch pit size and threading dislocation propagation habit in GaN substrate observed by multiphoton-excitation photoluminescence
M. Tsukakoshi, T. Tanikawa, M. Uemukai, R. Katayama
8th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Application (LEDIA2020) 2020年4月21日
GaN縦型p-nダイオードにおける2光子吸収光電流の測定
川崎晟也, 安藤悠人, 田中敦之, 塚越真悠子, 谷川智之, 出来真斗, 久志本真希, 新田州吾, 本田善央, 天野浩
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月15日
AlN導波路型微小二重共振器第二高調波発生デバイスの設計
梅田颯志, 永田拓実, 彦坂年輝, 布上真也, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月15日
表面活性化接合に必要な表面平坦性を維持するGaNのエッチング
横山尚生, 田辺凌, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月14日
横型擬似位相整合 GaN 導波路型波長変換デバイスの開発
小松天太, 彦坂年輝, 布上真也, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月13日
高出力第二高調波発生に向けた周期分極反転MgO:s-LiTaO3アニールプロトン交換導波路の作製
野呂諒介, 岡﨑雅英, 溝端一国雄, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月12日
多光子励起フォトルミネッセンス法によるHVPE-GaN結晶中貫通転位の観察と分類
塚越真悠子, 谷川智之, 上向井正裕, 片山竜二
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月12日
ワイドギャップ材料における貫通転位と量子井戸構造の解析
木口賢紀, 兒玉裕美子, 白石貴久, 今野豊彦, 谷川智之
大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点 微細構造解析プラットフォーム 2019 年度 第 2 回地域セミナー デバイス開発に資する微細構造解析 - 次世代エレクトロニクスを支える先端デバイス開発を目指して - 2020年1月16日
量子光応用に向けた酸化物・窒化物ハイブリッド半導体ヘテロ構造の実現
小島一信, 窪谷茂幸, 谷川智之, 片山竜二
東北大学 若手アンサンブルP・リコレクションシンポジウム 2019年12月18日
多光子励起フォトルミネッセンスによる結晶欠陥の非侵襲観察
谷川智之
科学研究費補助金 新学術領域研究 「特異構造の結晶科学」第5回領域全体会議(金沢商工会議所会館) 2019年11月28日
窒化物半導体極性制御特異構造の形成技術の深化と物性・機能の制御
片山竜二
科学研究費補助金 新学術領域研究 「特異構造の結晶科学」第5回領域全体会議(金沢商工会議所会館) 2019年11月27日
窒化物半導体極性制御特異構造の形成技術の深化と物性・機能の制御
片山竜二
科学研究費補助金 新学術領域研究 「特異構造の結晶科学」第4回領域全体会議(金沢商工会議所会館) 2019年11月20日
Development of GaN Waveguide Wavelength Filter for Quantum Optical Application
T. Komatsu, M. Kihira, T. Hikosaka, S. Nunoue, M. Uemukai, T. Tanikawa, R Katayama
9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2019) 2019年11月12日
Nondestructive defect characterization of widegap semiconductors using multiphotonexcitation photoluminescence
T. Tanikawa, M. Uemukai, R. Katayama
9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2019) 2019年11月12日
Design of Deep Ultraviolet Second Harmonic Generation Device with Double-Layer Polarity Inverted AlN Waveguide
A. Yamauchi, T. Komatsu, K. Ikeda, K. Uesugi, K. Syojiki, H. Miyake, T. Hikosaka, S. Nunoue, T. Morikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2019) 2019年11月12日
Bonding Strength of Polarity-Inverted GaN Structure Fabricated by Surface-Activated Bonding
R. Tanabe, N. Yokoyama, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2019) 2019年11月11日
Design and Fabrication of GaN Doubly-Resonant Waveguide Microcavity SHG Device
T. Nagata, M. Uemukai, T. Hikosaka, S. Nunoue, T. Morikawa, Y. Fujiwara, T. Tanikawa, R. Katayama
9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2019) 2019年11月11日
Quantum Optical Application of Nitride Semiconductor
Ryuji Katayama, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa
Singularity Project Workshop of China-Korea-Japan October 18th, 2019 (Mie University, Japan) 2019年10月18日
GaN Waveguide Directional Coupler and Wavelength Filter for Quantum Optical Application
M. Maeda, T. Komatsu, M. Kihira, T. Hikosaka, S. Nunoue, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第38回電子材料シンポジウム (EMS-38) 2019年10月11日
Input Focusing Grating Coupler for Deep UV AlN Waveguide SHG Device
Y. Morioka, M. Uemukai, K. Uesugi, K. Shojiki, H. Miyake, T. Morikawa, Y. Fujiwara, T. Tanikawa, R. Katayama
第38回電子材料シンポジウム (EMS-38) 2019年10月11日
Bonding Strength Optimization of Polarity-Inverted GaN/GaN Structure Fabricated by Surface-Activated Bonding
N. Yokoyama, R. Tanabe, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第38回電子材料シンポジウム (EMS-38) 2019年10月11日
Fabrication of Periodically-Poled Structure in MgO:s-LiTaO3 by Voltage Application with SiO2 Insulation Layer
R. Noro, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第38回電子材料シンポジウム (EMS-38) 2019年10月10日
Design of GaN Doubly-Resonant Waveguide Microcavity SHG Device
S. Umeda, T. Nagata, T. Hikosaka, S. Nunoue, T. Morikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第38回電子材料シンポジウム (EMS-38) 2019年10月10日
Raman Scattering Evaluation of Strain Evolution During Surface-Activated Bonding of GaN and Removal of Si Substrate
R. Tanabe, N. Yokoyama, M. Uemukai, T. Hikosaka, S. Nunoue, K. Shojiki, H. Miyake, M. Kushimoto, H. Cheong, Y. Honda, H. Amano, T. Tanikawa, R. Katayama
第38回電子材料シンポジウム (EMS-38) 2019年10月10日
Pulsed DC sputtering growth of Mg-doped GaN thin film
Y. Onishi, S. Imai, H. Miura, N. Takahashi, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
第38回電子材料シンポジウム (EMS-38) 2019年10月10日
Input Focusing Grating Coupler for AlN Deep UV Waveguide SHG Device
Y. Morioka, M. Uemukai, T. Tanikawa, K. Uesugi, K. Shojiki, H. Miyake, T. Morikawa, Y. Fujiwara, R. Katayama
7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures (SemiconNano2019) 2019年9月25日
InGaN Laser Pumped Nitride Semiconductor Transverse Quasi-Phase-Matched Waveguide Second Harmonic Generation Devices
M. Uemukai, S. Yamaguchi, A. Yamauchi, D. Tazuke, A. Higuchi, R. Tanabe, T. Tanikawa, T. Hikosaka, S. Nunoue, Y. Hayashi, H. Miyake, Y. Fujiwara, R. Katayama
7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures (SemiconNano2019) 2019年9月24日
多光子励起による窒化ガリウム結晶の時間分解フォトルミネセンス分光(1)
谷川智之, 小島一信, 粕谷拓生, 秩父重英, 田中敦之, 本田善央, 天野 浩, 上向井正裕, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
多光子励起による窒化ガリウム結晶の時間分解フォトルミネセンス分光(2)
小島一信, 谷川智之, 粕谷拓生, 秩父重英, 田中敦之, 本田善央, 天野 浩, 上向井正裕, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
界面顕微光応答法によるN極性p形GaNショットキー電極の2次元評価
塩島謙次, 谷川智之, 片山竜二, 松岡隆志
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
GaN導波路型微小二重共振器第二高調波発生デバイスの設計と試作
永田拓実, 上向井正裕, 彦坂年輝, 布上真也, 森川隆哉, 藤原康文, 谷川智之, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
2層極性反転積層AlN導波路を用いた深紫外第二高調波発生デバイスの設計
山内あさひ, 小松天太, 池田和久, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 三宅秀人, 彦坂年輝, 布上真也, 森川隆哉, 藤原康文, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
横型擬似位相整合AlN導波路による第二高調波発生の原理実証
山内あさひ, 山口修平, 小野寺卓也, 林 侑介, 三宅秀人, 彦坂年輝, 布上真也, 塩見圭史, 藤原康文, 芹田和則, 川山 巌, 斗内政吉, 上向井正裕, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
AlN導波路第二高調波発生デバイスのための集光グレーティング結合器
森岡佳紀, 上向井正裕, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 三宅秀人, 森川隆哉, 藤原康文, 谷川智之, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
量子光学応用のためのGaN導波路型波長フィルタの開発
小松天太, 紀平将史, 上向井正裕, 谷川智之, 彦坂年輝, 布上真也, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
[優秀論文賞受賞記念講演] Three-dimensional imaging of threading dislocations in GaN crystals using two-photon excitation photoluminescence
谷川智之, 大西一生, 加納聖也, 向井孝志, 松岡隆志
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
表面活性化接合により作製したGaN分極反転積層構造の接合強度評価
田辺 凌, 横山尚生, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
多光子励起フォトルミネッセンスによる格子不整合系逆成長InGaAs単一接合太陽電池のバッファ層内における転位の観察 (II)
小倉暁雄, 谷川智之, 高本達也, 大島隆治, 菅谷武芳, 今泉 充
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月18日
ワイドギャップ半導体を用いた新規波長変換デバイスの開発 -極性反転導波路と微小共振器-
片山竜二, 上向井正裕, 谷川智之
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月18日
Multiphoton-Excitation Photoluminescence: Novel Nondestructive Deffect Characterization Technology
T. Tanikawa, T. Matsuoka
19th International Conference on Crystal Growth and Epitaxy (ICCGE-19) and the 19th US Biennial Workshop on Organometallic Vapor Phase Epitaxy (OMVPE-19) 2019年8月1日
Observation of Dislocations in Graded Buffer Layers of IMM Single Junction InGaAs Solar Cells by Two-Photon Excitation Photoluminescence
A. Ogura, T. Tanikawa, T. Takamoto, R. Oshima, H. Suzuki, M. Imaizumi, T. Sugaya
46th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC 46) 2019年6月17日
多光子顕微鏡によるGaN結晶中の転位伝搬評価
谷川智之, 松岡隆志
第145委員会,第161委員会 合同研究会 「窒化物半導体における欠陥低減技術の進展と評価技術の最前線」 2019年5月8日
First Demonstration of GaN Monolithic Doubly-Resonant Microcavity SHG Device on Si Pedestal Structure
M. Uemukai, T. Nambu, T. Nagata, T. Hikosaka, S. Nunoue, K. Shiomi, Y. Fujiwara, K. Ohnishi, T. Tanikawa, R. Katayama
The 7th International Conference on Light-Emitting Devices and their Industrial Applications (LEDIA'19) 2019年4月25日
多光子励起フォトルミネッセンスによる結晶欠陥の非侵襲観察
谷川智之
科学研究費補助金 新学術領域研究 「特異構造の結晶科学」第4回領域全体会議(金沢商工会議所会館) 2019年4月19日
Quantum Optical Application of Nitride Semiconductor
Ryuji Katayama, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa
Singularity Project Workshop of China-Korea-Japan October 18th, 2019 (Mie University, Japan) 2019年3月18日
多光⼦励起フォトルミネッセンスによる格⼦不整合系逆成⻑InGaAs単 ⼀接合太陽電池のバッファ層内における転位の観察
⼩倉 暁雄, ⾕川 智之, ⾼本 達也, ⼤島 隆治, 菅⾕ 武芳, 今泉 充
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月11日
Si台座構造上GaNモノリシック微⼩⼆重共振器型第⼆⾼調波発⽣デ バイスの作製
南部誠明, 永⽥拓実, 塩⾒圭史, 藤原康⽂, ⼤⻄⼀⽣, ⾕川智之, 上向井正裕, ⽚⼭⻯⼆
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月10日
多光子励起PLマッピングによるGaN系特異構造の3次元マッピング
谷川智之, 松岡隆志
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月9日
Three-dimensional characterization of GaN crystals using multiphoton-excitation photoluminescence
T. Tanikawa, T. Matsuoka
Photonics West 2019 2019年2月5日
Reverse-bias-induced virtual gate phenomenon in N-polar GaN HEMTs
T. Suemitsu, Kiattiwut Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Matsuoka
2018 MRS Fall Meeting 2018年11月25日
Novel Characterization Technique of Threading Dislocations in GaN Using Multiphoton-Excitation Photoluminescence
T. Tanikawa, T. Matsuoka
4th Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductors (IDGN-4) 2018年11月20日
Evaluation of deep levels in N-polar GaN epitaxial layers by photo-current DLTS: An approach to reveal the self-compensation effect of Mg doping in p-type GaN
H. Okamoto, H. Suzuki, R. Nonoda, T. Tanikawa
4th Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductors (IDGN-4) 2018年11月20日
Reuse of ScAlMgO4 Substrates Utilized for Halide Vapor Phase Epitaxy of GaN
K. Ohnishi, S. Kuboya, T. Tanikawa, T. Fukuda, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018) 2018年11月15日
Defect structure analysis of N-polar InGaN/GaN quantum-well structure
T. Kiguchi, Y. Kodama, T. Shiraishi, T. J. Konno, T. Tanikawa
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018) 2018年11月15日
Three-Dimensional and Non-Destructive Investigation of Relation between Reverse Leakage Current and Threading Dislocation in Vertical GaN Schottky Barrier Diodes
T. Fujita, T. Tanikawa, H. Fukushima, S. Usami, A. Tanaka, T. Suemitsu, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018) 2018年11月14日
Challenge to MOVPE growth of N-polar InAlN film with high InN mole fraction
S. Kuboya, K. Omura, T. Tanikawa, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018) 2018年11月13日
Nondestructive analysis of threading dislocations in HVPE-grown GaN crystals using multiphoton-excitation photoluminescence
T. Tanikawa, T. Yoshida, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018) 2018年11月13日
多光子励起フォトルミネッセンスによるHVPE成長GaN結晶の貫通転位と成長形態の非破壊観察
谷川智之, 松岡隆志
第47回結晶成長国内会議 (JCCG-47) 2018年11月1日
InGaN/GaNヘテロ構造のRF-MBE成長における格子緩和過程のその場観察:格子極性の影響
谷川智之, 山口智広, 藤川誠司, 佐々木拓生, 高橋正光, 松岡隆志
第47回結晶成長国内会議 (JCCG-47) 2018年11月1日
MOVPEによる窒素極性窒化物半導体成長
松岡隆志, 谷川智之, 窪谷茂幸
第47回結晶成長国内会議 (JCCG-47) 2018年10月31日
多光子励起過程を用いたGaN結晶の三次元蛍光イメージング
谷川智之, 松岡隆志
第37回電子材料シンポジウム 2018年10月10日
多光子励起顕微鏡を用いたHVPE成長GaN結晶の貫通転位と成長形態の非破壊観察
谷川智之, 松岡隆志
日本学術振興会 ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会 第110回研究会・特別公開シンポジウム『紫外発光デバイスの最前線と将来展望』 2018年9月27日
窒素極性GaN MIS-HEMTにおける逆バイアスアニールの効果
末光哲也, Prasertsuk Kiattiwut, 谷川智之, 木村健司, 窪谷茂幸, 松岡隆志
第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月21日
トップダウンナノテクノロジーで作製したIn0.3Ga0.7Nナノディスクにおける光励起キャリアの熱励起
陳 亜鳳, 木場隆之, 高山純一, 肥後昭男, 谷川智之, 寒川誠二, 村山明宏
第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月20日
MOVPE窒素極性成長による窒化物半導体の新展開
松岡隆志, 窪谷茂幸, 谷川智之, 加納聖也
第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月20日
GaNの二光子励起フォトルミネッセンス測定における自己吸収の影響
谷川智之, 小島一信, 秩父重英, 松岡隆志
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年9月20日
N極性InGaN/GaN量子井戸構造における構造の不均一性
木口賢紀, 白石貴久, 兒玉裕美子, 今野豊彦, 谷川智之
第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月18日
GaN結晶の多光子励起PL画像からの転位の3次元配置に関する数値情報抽出
沓掛健太朗, 谷川智之, 松岡隆志, 井上憲一
第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月18日
多光子励起フォトルミネッセンスによるHVPE成長GaNの選択成長過程と転位の伝搬の観察
谷川智之, 吉田丈洋, 松岡隆志
第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月18日
Characterization of Threading Dislocations in Thick GaN Films Using Multiphoton-Excitation Photoluminescence
T. Tanikawa, K. Ohnishi, T. Fujita, T. Matsuoka
International Symposium of Growth of III-Nitrides (ISGN-7) 2018年8月9日
High-temperature carrier dynamics responsible for a non-radiative process in InGaN nanodisks fabricated by top-down nanotechnology
Y. Chen, T. Kiba, J. Takayama, A. Higo, T. Tanikawa, S. Samukawa, A. Murayama
12th International Conference on Excitonic and Photonic Processes in Condensed Matter and Nano Materials (EXCON 2018) 2018年7月10日
Growth of Indium-Including Nitride Semiconductors
T. Matsuoka, S. Kuboya, T. Tanikawa
The 19th International Conference on Metalogranic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XIX) 2018年6月7日
Influence of Self Absorption in Two-Photon-Excitation Photoluminescence of GaN
T. Tanikawa, T. Fujita, K. Kojima, S. F. Chichibu, T. Matsuoka
The 19th International Conference on Metalogranic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XIX) 2018年6月7日
Reverse bias annealing effects in N-polar GaN/AlGaN/GaN MIS-HEMTs
T. Suemitsu, K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Matsuoka
Compound Semiconductor Week 2018 2018年6月1日
Nondestructive Analysis of Threading Dislocations in GaN by Multiphoton Excitation Photoluminescence
T. Tanikawa, T. Matsuoka
The 6th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA'18) 2018年4月27日
多光子励起フォトルミネッセンス測定によるGaN結晶中の貫通転位の種別判定
谷川智之, 吉田丈洋, 松岡隆志
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年3月19日
電子顕微鏡によるワイドギャップ材料のマルチスケール欠陥評価
木口賢紀, 白石貴久, 今野豊彦, 谷川智之
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年3月19日
HVPE法による(000-1)面GaN基板上へのGaN厚膜成長
加納聖也, 谷川智之, 松岡隆志, 向井孝志
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年3月18日
GaN成長に用いたScAlMgO4基板の再利用
大西一生, 窪谷茂幸, 谷川智之, 福田承生, 松岡隆志
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年3月17日
多光子励起フォトルミネッセンスによるワイドギャップ半導体の三次元イメージング
谷川智之, 松岡隆志
応用物理学会 第13回励起ナノプロセス研究会 2018年1月21日
ScAlMgO4基板上InGaN/GaN多重量子井戸構造の内部量子効率
萩原千拡, 岩渕拓也, 窪谷茂幸, 谷川智之, 松岡隆志
第134回東北大学金属材料研究所講演会 2017年11月29日
多光子励起フォトルミネッセンス法によるGaNの三次元光物性評価
谷川智之, 松岡隆志
第134回東北大学金属材料研究所講演会 2017年11月29日
有機金属気相成長法によるN極性InGaNチャンネルHEMT構造の作製
田中真二, プラスラットスック, キャッティウット, 木村健司, 谷川智之, 末光哲也, 松岡隆志
第134回東北大学金属材料研究所講演会 2017年11月29日
N極性GaNHEMTの結晶成長と貫通転位の三次元イメージング
谷川智之, 松岡隆志
応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 研究集会 テーマ 「窒化物半導体パワーデバイスの研究動向」 2017年11月16日
Improvement of heterointerface abruptness in N-polar InGaN/AlGaN/GaN heterostructures grown by metalorganic vapor phase epitaxy
S. Tanaka, K. Prasertsuk, T. Kimura, T. Tanikawa, T. Suemitsu, T. Matsuoka
第36回電子材料シンポジウム 2017年11月10日
Three-Dimensional Imaging of Threading Dislocations in Thick GaN Films by Two-Photon-Excitation Photoluminescence
T. Tanikawa, K. Ohnishi, T. Matsuoka
第36回電子材料シンポジウム 2017年11月10日
Internal quantum efficiency of InGaN/GaN multiple quantum wells grown on ScAlMgO4 substrate
C. Hagiwara, S. Kuboya, T. Tanikawa, T. Fukuda, T. Matsuoka
第36回電子材料シンポジウム 2017年11月9日
多光子励起フォトルミネッセンス法を用いたGaN結晶中の転位解析
谷川智之, 松岡隆志
ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会 平成29年度特別事業企画 委員会100回記念特別公開シンポジウム 『ワイドギャップ半導体の基盤技術と将来展望』〜パワー半導体を中心として〜 2017年10月26日
N-polar GaN MIS-HEMTs on Small Off-cut Sapphire Substrate for Flat Interface
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会 平成29年度特別事業企画 委員会100回記念特別公開シンポジウム 『ワイドギャップ半導体の基盤技術と将来展望』〜パワー半導体を中心として〜 2017年10月26日
Three-dimensional Imaging of Threading Dislocations in GaN crystals by Multiphoton-Excitation Photoluminescence
T. Tanikawa, K. Ohnishi, T. Matsuoka
International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2017 (ICMaSS2017) 2017年10月1日
Reduction of Impurity Incorporation into MOVPE-grown GaN films on ScAlMgO4 Substrate
T. Iwabuchi, S. Kuboya, C. Hagiwara, T. Tanikawa, T. Hanada, T. Fukuda, T. Matsuoka
The 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017) 2017年9月20日
Threshold Voltage Engineering of Recessed MIS-Gate N-polar GaN HEMTs
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
第78回 応用物理学会秋季学術講演会 2017年9月7日
多光子励起PL法によるGaN結晶の貫通転位の三次元イメージング
谷川智之, 大西一生, 松岡隆志
第78回 応用物理学会秋季学術講演会 2017年9月7日
N極性MgドープGaNの光電流DLTS評価
鈴木 秀明, 寺島勝哉, 及川峻梧, 野々田亮平, 谷川智之, 松岡隆志, 岡本 浩
第78回 応用物理学会秋季学術講演会 2017年9月6日
二光子励起フォトルミネッセンスを用いて観測したGaN中の貫通転位の伝搬特性
谷川智之, 大西一生, 加納聖也, 向井孝志, 松岡隆志
第78回 応用物理学会秋季学術講演会 2017年9月6日
N極性n型GaN上Niショットキー特性に対するアニール効果の評価
寺島勝哉, 野々田亮平, 正直花奈子, 谷川智之, 松岡隆志, 岡本 浩
平成29年度電気関係学会東北支部連合大会 2017年8月24日
Propagation and reduction of dislocation in ELO-grown GaN layer
T. Matsubara, K. Yukizane, T. Ezaki, S. Fujimoto, T. Tanikawa, R. Inomoto, N. Okada, K. Tadatomo
29th International Conference on Defects in Semiconductors (ICDS 2017) 2017年8月1日
Biexciton emission from single quantum-confined structures in N-polar (000-1) InGaN/GaN multiple quantum wells
K. Takamiya, S. Yagi, H. Yaguchi, H. Akiyama, K. Shojiki, T. Tanikawa, R. Katayama, T. Matsuoka
The 12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12) 2017年7月26日
Three-dimensional analysis of threading dislocation in HVPE-grown GaN using two-photon-excitation photoluminescence spectroscopy
T. Tanikawa, K. Ohnishi, M. Kanoh, T. Mukai, T. Matsuoka
The 12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12) 2017年7月26日
Evaluation of stacking faults free semipolar {11-22} GaN substrate grown by Na-flux point seed technique
N. Okada, Y. Ikeuchi, N. Morishita, T. Matsubara, T. Tanikawa, K. DoHun, M. Imanishi, M. Imade, Y. Mori, K. Tadatomo
The 12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12) 2017年7月25日
Hydride Vapor Phase Epitaxy of Thick GaN Layers on ScAlMgO4 Substrates and their Free-Standing by Self-Separation
K. Ohnishi, M. Kanoh, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Mukai, T. Matsuoka
The 12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12) 2017年7月25日
多光子励起フォトルミネッセンスによるGaNの内部欠陥の三次元観察
谷川智之, 大西一生, 藤田達也, 加納聖也, 向井孝志, 松岡隆志
第9回 ナノ構造・エピタキシャル成長講演会 2017年7月14日
多光子顕微鏡を用いたワイドギャップ半導体結晶の三次元構造解析
谷川智之
第3回 東北大学若手研究者アンサンブルワークショップ 2017年7月3日
GaNのMOVPE成長用ScAlMgO4基板の裏面保護膜に関する研究
岩渕拓也, 窪谷茂幸, 萩原千拡, 谷川智之, 福田承生, 松岡隆志
第133回東北大学金属材料研究所講演会 2017年5月26日
N極性InAlN薄膜の有機金属気相成長とそのXPS分析
窪谷茂幸, 大村和世, 谷川智之, 松岡隆志
第133回東北大学金属材料研究所講演会 2017年5月26日
Growth of InGaN films on ZnO substrates via AlN protection layers by metalorranic vapor phase epitaxy
J. Yoo, R. Katayama, S. Kunoya, T. Tanikawa, T. Hanada, T. Matsuoka
第133回東北大学金属材料研究所講演会 2017年5月26日
ScAlMgO4の剥離特性を生かしたGaN自立基板の作製
大西一生, 加納聖也, 谷川智之, 窪谷茂幸, 向井孝志, 松岡隆志
第133回東北大学金属材料研究所講演会 2017年5月26日
二光子励起フォトルミネッセンス法を用いたGaNエピタキシャル膜中の貫通転位の三次元解析
谷川智之, 大西一生, 加納聖也, 向井孝志, 松岡隆志
第133回東北大学金属材料研究所講演会 2017年5月26日
N-polar GaN MIS-HEMTs with Flat Interface Grown by Optimized MOVPE
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
電子情報通信学会 2017年5月26日
N-polar GaN/AlGaN/GaN MIS-HEMTs on sapphire substrates with small off-cut for flat interface by MOVPE
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimuram, T. Suemitsu, T. Matsuoka
Compound Semiconductor Week 2017 2017年5月15日
InGaN growth on AlN protection layer deposited ZnO substrates by metalorganic vapor phase epitaxy
J. Yoo, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
2017 Annual Meeting of Excellent Graduate Schools for Materials Integration Center and Materials Science Center 2017年3月21日
Reduction of gate leakage current in N-polar GaN metal-insulator-semiconductor high electron mobility transistors
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, A. Miura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
2017 Annual Meeting of Excellent Graduate Schools for Materials Integration Center and Materials Science Center 2017年3月21日
二光子励起フォトルミネッセンス法によるGaN中の貫通転位の三次元分布評価
谷川智之, 大西一生, 加納聖也, 向井孝志, 松岡隆志
第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年3月14日
ハイドライド気相成長法によるScAlMgO4基板上へのGaN厚膜成長と自己剥離プロセス
大西一生, 加納聖也, 窪谷茂幸, 谷川智之, 向井孝志, 松岡隆志
第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年3月14日
N極性GaN HEMTsにおけるMIS構造導入によるリーク電流の低減
プラスラットスック, キャッティウット, 三浦輝紀, 田中真二, 谷川智之, 木村健司, 窪谷茂幸, 末光哲也, 松岡隆志
第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年3月14日
MOVPE Growth of N-polar GaN/AlGaN/GaN Inverted HEMT Structures and Their Electrical Properties
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, T. Kimura, A. Miura, S. Kuboya, T. Suemitsu, T. Matsuoka
3rd Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductor (IDGN-3) 2017年1月16日
Novel Approach to Fabrication of Free-standing GaN Wafer for Transistors Enabling Energy Saving
T. Matsuoka, S. Kuboya, T. Tanikawa, T. Hanada, T. Fukuda
10th Intern. Conf. on Polish Soc. for Crystal Growth (ICPSCG10) 2016年10月16日
Control of Impurity Concentration of Undoped N-polar (000-1) GaN Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2016) 2016年10月2日
Improvement of Emission Wavelength Homogeneity in N-polar (000-1) InGaN Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
R. Nonoda, T. Tanikawa, K. Shojiki, S. Tanaka, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2016) 2016年10月2日
Ga-polar GaN Film Grown by MOVPE on Cleaved ScAlMgO4 (0001) Substrate with Nillimeter-scale Wide Terraces
T. Hanada, T. Iwabuchi, S. Kuboya, H. Tajiri, K. Inaba, T. Tanikawa, T. Fukuda, T. Matsuoka
2016 European Materials Research Society (E-MRS) Fall Meeting 2016年9月19日
N 極性 n 型 GaN 上 Ni ショットキーダイオード特性の蒸着法依存性
寺島 勝哉, 野々田 亮平, 正直 花奈子, 谷川 智之, 松岡 隆志, 鈴木 秀明, 岡本 浩
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月13日
NH3雰囲気で熱処理した ScAlMgO4のラマン分光評価
山村 和也, 蓮池 紀幸, 播磨 弘, 福田 承生, 窪谷 茂幸, 谷川 智之, 花田 貴, 松岡 隆志
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月13日
Ni/N 極性 p-GaN ショットキー電極界面の電流-電圧特性の温度依存性
青木俊周, 谷川智之, 松岡隆志, 塩島謙次
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月13日
Polarity in the Growth of Nitride Semiconductors
T. Matsuoka, T. Kimura, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Suemitsu
Collaborative Conf. on Crystal Growth (EMN 3CG) 2016年9月4日
Localized emission from quantum-dot-like InGaN islands formed in N-polar InGaN/GaN multiple quantum wells
T. Tanikawa, K. Shojiki, R. Nonoda, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
第35回電子材料シンポジウム 2016年7月6日
Dependence of group-III source ratio on photoluminescence of N-polar (000-1) InGaN grown by metalorganic vapor phase epitaxy
R. Nonoda, T. Tanikawa, K. Shojiki, T. Kimura, S. Tanaka, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
第35回電子材料シンポジウム 2016年7月6日
Phonon mode assignments of ScAlMgO4 single crystal by polarized Raman scattering spectroscopy
K. Yamamura, N. Hasuike, H. Harima, T. Fukuda, S. Kuboya, T. Tanikawa, R. Katayama, T. Matsuoka
第35回電子材料シンポジウム 2016年7月6日
MOVPE Growth of N-polar GaN/AlxGa1-xN/GaN Heterostructure on Small Off-cut Substrate for Flat Interface
K. Prasertsuk, S. Tanaka, T. Tanikawa, K. Shojiki, T. Kimura, A. Miura, R. Nonoda, F. Hemmi, S. Kuboya, R. Katayama, T. Suemitsu, T. Matsuoka
Compound Semiconductor Week 2016 2016年6月26日
Influence of Growth Conditions on Transport Properties in Undoped N-polar (000-1) GaN Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
T. Tanikawa, K. Prasertsuk, A. Miura, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
The 4th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications(LEDIA’16) 2016年5月18日
N極性InGaN/GaN量子井戸の微視的構造・光学特性
谷川智之, 正直花奈子, 野々田亮平, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志, 高宮健吾, 矢口裕之, 秋山英文
第8回窒化物半導体結晶成長講演会 2016年5月9日
N 極性(000–1)InGaN における局所発光の III 族原料供給比依存性
野々田 亮平, 谷川 智之, 正直 花奈子, 木村 健司, 窪谷 茂幸, 片山 竜二, 松岡 隆志
第8回窒化物半導体結晶成長講演会 2016年5月9日
N極性InGaN/GaN LEDに形成されたInGaN微小島からの局所発光
谷川 智之, 正直 花奈子, 片山 竜二, 窪谷 茂幸, 松岡 隆志
第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月19日
ScAlMgO4 基板上GaN の不純物混入の抑制
矢原弘崇, 岩渕拓也, 窪谷茂幸, 谷川智之, 花田貴, 片山竜二, 福田承生, 松岡隆志
第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月19日
InGaN Quantum Nanodisks by Fusion of Bio-nano-template and Neutral Beam Etching processes
A. Higo, C. Thomas, C. Y. Lee, T. Kiba, S. Chen, T. Tanikawa, S. Kuboya, R. Katayama, K. Shojiki, I. Yamashita, A. Murayama, S. Samukawa
第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月19日
Polarity control of GaN grown on pulsed-laser-deposited AlN/GaN template by metal-organic vapor phase epitaxy
J. Yoo, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
Japan-Russia Joint Seminar "Advanced Materials Synthesis Process and Nanostructure" 2016年3月18日
Two-dimensional electron gas in N-polar GaN/AlGaN/GaN heterostructures grown by metalorganic vapor phase epitaxy
K. Prasertsuk, S. Tanaka, T. Tanikawa, K. Shojiki, T. Kimura, A. Miura, R. Nonoda, F. Hemmi, S. Kuboya, R. Katayama, T. Suemitsu, T. Matsuoka
Japan-Russia Joint Seminar "Advanced Materials Synthesis Process and Nanostructure" 2016年3月18日
Electrical properties of GaN films on ScAlMgO4 substrates grown by MOVPE
T. Iwabuchi, H. Yahara, S. Kuboya, T. Tanikawa, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
Japan-Russia Joint Seminar "Advanced Materials Synthesis Process and Nanostructure" 2016年3月18日
InGaN/GaN太陽電池の格子極性と発電特性
谷川智之, 川島静人, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志
第7回薄膜太陽電池セミナー 2016年3月13日
N極性(000-1)窒化物半導体混晶InGaNの結晶成長表面と発光素子応用
正直花奈子, 高宮健吾, 谷川智之, 花田貴, 野々田良平, 窪谷茂幸, 秋山英文, 矢口裕之, 片山竜二, 松岡隆志
平成27年度日本表面科学会東北・北海道支部講演会 2016年3月9日
N極性(000-1)p型GaNのMOVPE成長における原料供給比の正孔濃度への影響
野々田亮平, 正直花奈子, 谷川智之, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志
第70回東北支部学術講演会 2015年12月3日
ScAlMgO4基板上SiドープGaNの電気伝導特性評価
矢原弘崇, 岩渕拓也, 窪谷茂幸, 谷川智之, 花田 貴, 片山竜二, 福田承生, 松岡隆志
第70回東北支部学術講演会 2015年12月3日
Effects of Mg/Ga and V/III source ratios on hole concentration of N-polar (000-1) p-type GaN grown by MOVPE
R. Nonoda, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6) 2015年11月8日
Homogeneity improvement of N-polar (000-1) InGaN/GaN multiple quantum wells by changing substrate off-cut-angle direction
K. Shojiki, T. Hanada, T. Tanikawa, Y. Imai, S. Kimura, R. Nonoda, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6) 2015年11月8日
Polarity control of GaN grown on PLD-AlN/GaN templates by MOVPE
J. Yoo, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6) 2015年11月8日
Microscopic structure of N-polar (000-1) InGaN/GaN multiple quantum wells and light-emitting diodes
K. Shojiki, T. Tanikawa, T. Hanada, Y. Imai, S. Kimura, R. Nonoda, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6) 2015年11月8日
Large Stokes shift in N-polar (0001) InGaN/GaN multiple-quantum-well light-emitting diodes
T. Tanikawa, K. Shojiki, R. Katayama, S. Kuboya, T. Matsuoka
The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6) 2015年11月8日
Direct measurement of polarization-induced electric fields in InGaN/GaN light-emitting diodes
T. Tanikawa, R. Katayama, K. Shojiki, S. Kuboya, T. Matsuoka
6th RIEC-RIE Meeting on Research Collaboration in Photonics 2015年10月26日
−c 面 InGaN/GaN 量子井戸の MOVPE 成長における相純度制御
片山竜二, 正直花奈子, 谷川智之, 窪谷茂幸, 松岡隆志, 矢口裕之, 尾鍋研太郎
第45回結晶成長国内会議(NCCG-45) 2015年10月19日
Electrical Characteristics of N-polar p-type GaN Schottky Contacts
T. Aoki, T. Tanikawa, R. Katayama, T. Matsuoka, K. Shiojima
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015) 2015年9月28日
変調分光法によるInGaN/GaN LEDの内部電界の観測
谷川 智之, 片山 竜二, 正直 花奈子, 窪谷 茂幸, 松岡 隆志, 本田 善央, 天野 浩
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2015年9月17日
サファイア基板上MOVPE成長N極性面(000-1)InGaNを用いた赤・緑・青色発光ダイオードの作製
正直 花奈子, 崔 正焄, 谷川 智之, 窪谷 茂幸, 花田 貴, 片山 竜二, 松岡 隆志
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2015年9月17日
MOVPE成長N極性(000-1)p型GaNの正孔濃度に与えるMg/Ga・V/III原料比の影響
野々田 亮平, 正直 花奈子, 谷川 智之, 窪谷 茂幸, 片山 竜二, 松岡 隆志
第76回 応用物理学会秋季学術講演会 2015年9月13日
Two-Dimensional Electron Gas in N-polar GaN/AlGaN/GaN Heterostructures Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
K. Prasertsuk, T. Tanikawa, K. Shojiki, T. Kimura, A. Miura, F. Hemmi, S. Kuboya, T. Suemitsu, R. Katayama, T. Matsuoka
2nd 2015 Tohoku Univ.-MIT Student Meeting on Research Collaboration in Photonics and Electronics 2015年8月27日
N極性p形ショットキー接触の電気的特性の評価
青木俊周, 谷川智之, 片山竜二, 松岡隆志, 塩島謙次
電子情報通信学会 2015年7月24日
Polarity-controlled MOVPE growth of GaN on PLD-AlN templates
J. Yoo, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
第34回電子材料シンポジウム 2015年7月15日
Design of the Transverse Quasi-Phase Matched AlN Waveguides for Deep-UV Second Harmonic Generation
Y. Mitani, R. Katayama, J. Yoo, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Matsuoka
第34回電子材料シンポジウム 2015年7月15日
Effects of V/III source ratio on the hole concentration of N-polar (000-1) p-type GaN grown by MOVPE
R.Nonoda, K.Shojiki, T.Tanikawa, S.Kuboya, R.Katayama, T.Matsuoka
第34回電子材料シンポジウム 2015年7月15日
Surface energy and facet formation in InN films grown by pressurized-reactor MOVPE
A. Kusaba, Y. Kangawa, S. Krukowski, T. Kimura, T. Tanikawa, R. Katayama, T. Matsuoka, K. Kakimoto
第34回電子材料シンポジウム 2015年7月15日
Possibility of N-Polarity in Applications for GaN-based Devices
T. Matsuoka, K. Shojiki, T. Kimura, T. Tanikawa, R. Katayama
the Compound Semiconductor Week 2015, the common venue for the 42nd Intern. Symp. on Comp. Semicond. and the 27th Intern. Conf. Indium Phosphide and Related Mat. 2015年6月28日
窒化物半導体の窒素極性面成長におけるin situ表面反射率測定
谷川智之, 逢坂崇, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志, 三宅秀人
CVD反応分科会主催 第23回シンポジウム「窒化物半導体の成長技術とメカニズム理解(ノーベル賞受賞記念)」 2015年5月22日
N極性(000-1)GaNの選択MOVPE成長における横方向成長の促進
谷川智之, 逢坂崇, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志, 三宅秀人
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 2015年5月7日
MOVPE成長N極性(000-1)p型GaNの正孔濃度に与えるV/III原料比の影響
野々田良平, 正直花奈子, 谷川智之, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 2015年5月7日
Polarity control of MOVPE-grown GaN on AlN/GaN templates
J. H. Yoo, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 2015年5月7日
横型擬似位相整合AlN導波路を用いた深紫外第二高調波発生素子の設計
三谷悠貴, 片山竜二, 劉陳燁, 正直花奈子, 谷川智之, 窪谷茂幸, 松岡隆志
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 2015年5月7日
3C-SiC/Si基板上InGaN/GaN縦型発光ダイオード
谷川智之, 生川満久, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志, 川村啓介
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 2015年5月7日
MOVPE成長したScAlMgO4基板上GaNの構造特性
岩渕拓也, 窪谷茂幸, 矢原弘崇, 谷川智之, 花田貴, 片山竜二, 福田承生, 松岡隆志
第7回窒化物半導体結晶成長講演会 2015年5月7日
N極性GaN系光デバイスの作製と分極電界の直接観測
谷川智之
~国際光年記念式典~国際光年記念シンポジウム 2015年4月22日
±c面GaNの表面熱的安定性に関する研究
岡田 俊祐, 三宅 秀人, 平松 和政, 逢坂 崇, 谷川 智之, 松岡 隆志
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年3月11日
N極性p形GaNショットキー電極の電気的特性の評価
青木俊周, 谷川智之, 片山竜二, 松岡隆志, 塩島謙次
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年3月11日
MOVPE成長N極性(0001)InGaN多重量子井戸構造と発光ダイオードの構造・光学特性
正直 花奈子, 崔 正焄, 谷川 智之, 窪谷 茂幸, 花田 貴, 片山 竜二, 松岡 隆志
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年3月11日
N極性(0001)GaNのMOVPE選択成長における貫通転位密度の低減
逢坂 崇, 谷川 智之, 木村 健司, 正直 花奈子, 窪谷 茂幸, 片山 竜二, 松岡 隆志, 三宅 秀人
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年3月11日
オール窒化物半導体による白色LEDの開発に向けて
松岡隆志, 正直花奈子, 谷川智之, 窪谷茂幸, 片山竜二
日本学術振興会 光電相互変換第125委員会 EL分科会第46回研究会 2015年2月4日
N 極性(000-1)GaN のMOVPE 選択成長における結晶形態変化
逢坂崇, 谷川智之, 木村健司, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志
第69回 東北支部学術講演会 2014年12月4日
MOVPE 法による可視光全域波長の発光を有するN 極性(000-1)InGaN 発光ダイオードの作製
正直花奈子, 崔正焄, 谷川智之, 窪谷茂幸, 花田貴, 片山竜二, 松岡隆志
第69回 東北支部学術講演会 2014年12月4日
N-polar Solar Cells in Nitride Semiconductors with Potential of High Efficiency
T. Tanikawa, J. H. Choi, K. Shojiki, R. Katayama, T. Matsuoka
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6) 2014年11月23日
Crystallographic Polarity in Nitride Semicondcutors
T. Matsuoka, T. Tanikawa, T. Kimura, K. Shojiki, T. Iwabuchi, R. Katayama
2014 Intern.Symp. Crystal Growth and Crystal Technol 2014年11月12日
N極性(000-1)InGaN/GaN多重量子井戸構造のMOVPE成長と発光ダイオード作製
正直花奈子, 崔正焄, 谷川智之, 窪谷茂幸, 花田貴, 片山竜二, 松岡隆志
第44回結晶成長国内会議(NCCG-44) 2014年11月6日
Control of GaN growth orientation by MOVPE
T. Tanikawa, K. Shojiki, T. Aisaka, T. Kimura, S. Kuboya, T. Hanada, T. Matsuoka, Y. Honda, H. Amano
2nd Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductors (IDGN-2) 2014年10月29日
Overview on Crystallographic Polarization
T. Matsuoka, T. Tanikawa, T. Kimura, K. Shojiki, T. Iwabuchi, R. Katayama
2nd Intensive Discussion on Growth of Nitride Semiconductors (IDGN-2) 2014年10月29日
Modulation Spectroscopic Investigation on Internal Electric Fields in InGaN/GaN Light-Emitting Diodes
T. Tanikawa, R. Katayama, K. Shojiki, S. Kuboya, T. Matsuoka, Y. Honda, H. Amano
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2014) 2014年8月24日
Accurate Determination of Modal Dispersion in Nonlinear Optical TiOx/GaN Waveguide by Spectroscopic m-line Technique
R. Katayama, N. Yoshinogawa, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2014) 2014年8月24日
Emission Wavelength Extension of Light Emitting Diode Using MOVPE-Grown N-Polar (000-1) InGaN
K. Shojiki, J.H. Choi, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2014) 2014年8月24日
MOVPE Growth of GaN on ScAlMgO4 Substrate
T. Iwabuchi, S. Kuboya, T. Tanikawa, R. Katayama, T. Hanada, A. Minato, T. Fukuda, T. Matsuoka
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2014) 2014年8月24日
Crystallographic Polarity in Nitride Semiconductors and its Device Applications
T. Matsuoka, T. Tanikawa, T. Kimura, K. Shojiki, R. Katayama
4th RIEC-RLE Meeting 2014年8月24日
N 極性面(000-1)InGaN による発光ダイオードの長発光波長化
正直花奈子, 崔正焄, 谷川智之, 窪谷茂幸, 花田貴, 片山竜二, 松岡隆志
第6回窒化物半導体研究会 2014年7月25日
様々な極性面GaN上へのInGaNの結晶成長
谷川智之, 正直花奈子, Jung-Hun Choi, 窪谷茂幸, 片山竜二, 松岡隆志, 久志本真希, 本田善央, 天野浩
第6回窒化物半導体研究会 2014年7月25日
ZnAl2O4 interlayer for suppressing impurity out-diffusion in HVPE growth of GaN on ZnO substrate
J. Yoo, J. Chang, J. Lee, S. Choi, H. Lee, S. Kim, T. Tanikawa, R. Katayama, T. Matsuoka
第33回電子材料シンポジウム 2014年7月9日
MOVPE growth of GaN on ScAlMgO4 Substrates
T. Iwabuchi, S. Kuboya, T. Tanikawa, K. Shojiki, R. Katayama, T. Hanada, A. Minato, T.Fukuda, T. Matsuoka
第33回電子材料シンポジウム 2014年7月9日
Investigation of surface morphology of -c GaN crystals grown by selective area metalorganic vapor phase epitaxy
T. Aisaka, T. Tanikawa, T. Kimura, K. Shojiki, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
第33回電子材料シンポジウム 2014年7月9日
Suppression of metastable-phase inclusion in MOVPE-grown N-polar (000-1) InGaN/GaN multiple quantum wells
K. Shojiki, J. H. Choi, T. Iwabuchi, N. Usami, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
第33回電子材料シンポジウム 2014年7月9日
Fabrication of red, green, and blue light emitting diodes using MOVPE-grown N-polar (000-1) InGaN on sapphire substrate
K. Shojiki, J. H. Choi, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
第33回電子材料シンポジウム 2014年7月9日
Stimulated emission properties of semipolar (1-101) InGaN micro cavity structure on patterned (001) Si substrate
M. Kushimoto, T. Tanikawa, Y. Honda, H. Amano
第33回電子材料シンポジウム 2014年7月9日
Investigation of modal dispersion in nonlinear optical TiOx/GaN waveguide by m-line spectroscopy
N. Yoshinogawa, R. Katayama, K. Shojiki, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Matsuoka
第33回電子材料シンポジウム 2014年7月9日
窒化物半導体において高効率を望める 窒素極性太陽電池
谷川智之, 崔正焄, 正直花奈子, 片山竜二, 松岡隆志
第 11回 「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム 2014年7月3日
Realization of p-Type Conduction in Mg-Doped N-Polar (000-1) GaN Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
T. Tanikawa, J. H. Choi, K. Shojiki, S. Kuboya, R. Katayama, T. Matsuoka
Conference on LED and Its Industrial Application (LEDIA '14) 2014年7月1日
Suppression of Metastable-Phase Inclusion in MOVPE-Grown N-Polar (000-1) InGaN/GaN Multiple Quantum Wells
K. Shojiki, J. H. Choi, T. Iwabuchi, N. Usami, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
Conference on LED and Its Industrial Application (LEDIA '14) 2014年4月22日
Effect of indium surfactant on MOVPE growth of N-polar GaN
T. Aisaka, T. Tanikawa, T. Kimura, K. Shojiki, T. Iwabuchi, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
8th International Symposium on Medical, Bio- and Nano-Electronics 2014年4月22日
MOVPE成長 -c面InGaN/GaN多重量子井戸構造における準安定相混在の抑制
第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月17日
ScAlMgO4基板上におけるGaNのMOVPE成長
第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月17日
c面ScAlMgO4基板上にMOVPE成長したGaNの異常分散X線回折による極性判定
第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月17日
c面Al2O3基板上にMOVPE成長したGaNの異常分散X線回折による極性判定
第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月17日
Crystallographic Polarity Dependence of Surface Morphology Evolution during MOVPE Growth of GaN/Sapphire
N. Yoshinogawa, T. Iwabuchi, K. Shojiki, T. Kimura, T. Tanikawa, R. Katayama, T. Matsuoka
8th International Symposium on Medical, Bio- and Nano-Electronics 2014年3月5日
Investigation and Suppression of Metastable-phase Inclusion in MOVPE-grown –c-plane InGaN/GaN Multiple Quantum Wells
K. Shojiki, J. H. Choi, T. Iwabuchi, N. Usami, T. Tanikawa, S. Kuboya, T. Hanada, R. Katayama, T. Matsuoka
KINKEN-WAKATE 2013 10th Materials Science School for Young Scientists 2014年3月5日
MOVPE成長 –c面InGaN/GaN多重量子井戸構造における準安定相混在の抑制
第68回東北支部学術講演会 2013年12月5日
Investigation and Suppression of Metastable-phase Inclusion in MOVPE-grown –c-plane InGaN/GaN Multiple Quantum Wells
KINKEN-WAKATE 2013 10th Materials Science School for Young Scientists 2013年11月21日
Progress in Research on InN for D-WDM Systems
T. Matsuoka, T. Kimura, T. Iwabuchi, T. Hanada, T. Tanikawa, R. Katayama
Resarch Institute of Electronic Communication- Research Laboratory of Electronics (RIEC-RLE) Meeting in Boston 2013年9月30日
ヒロック形成にともなうm面InGaN薄膜のIn組成分布観察
第74回応用物理学会学術講演会 2013年9月16日
The improvement of N-polar GaN surface during MOVPE growth with indium surfactant
2013 JSAP-MRS Joint Symposia 2013年9月16日
Effect of c-plane Sapphire Substrate Miscut-angle on Indium Content of MOVPE-grown N-polar InGaN
2013 JSAP-MRS Joint Symposia 2013年9月16日
Enhancement of Surface Migration by Mg Doping in the Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of (000-1) GaN/sapphire
2013 JSAP-MRS Joint Symposia 2013年9月16日
Nonlinear Optical Application of Periodic Polarity-inverted GaN Waveguide
2013 JSAP-MRS Joint Symposia 2013年9月16日
Anisotropic Optical Properties of Semipolar (1-101) InGaN/GaN Multiple Quantum Wells on a Patterned Si Substrate
2013 JSAP-MRS Joint Symposia 2013年9月16日
Influence of Mg-Doping on the Surface Morphology of (000-1) GaN/Sapphire Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
10th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-10) 2013年8月25日
Evaluation and Solution of Metastable-Phase Inclusion in MOVPE-grown −c-plane InGaN/GaN Multiple Quantum Wells
10th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-10) 2013年8月25日
Light Emission Polarization Properties of (1-101) InGaN/GaN MQWs with Cavity Structure on Patterned Si Substrate
10th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-10) 2013年8月25日
Optical properties of semipolar (1-101) InGaN/GaN multiple quantum wells with cavity structure on patterned Si (001) substrate
EDISON18 : The 18th International Conference on Electron Dynamics in Semiconductors, Optoelectronics and Nanostructures 2013年7月22日
Crystallographic Polarity Dependence of Surface Morphology Evolution during MOVPE Growth of GaN/Sapphire
第32回電子材料シンポジウム 2013年7月10日
Effect of indium surfactant on MOVPE growth of N-polar GaN
第32回電子材料シンポジウム 2013年7月10日
Observation of Phase Separation on m-plane InGaN Films with Micro-vicinal surface by Micro-beam XRD
第32回電子材料シンポジウム 2013年7月10日
Stimulated emission by photo excitation in (1-101) InGaN/GaN multiple quantum well with cavity structure on a patterned Si substrate
第32回電子材料シンポジウム 2013年7月10日
Lattice-matching Substrates to InGaAlN and its Epitaxial Growth
2nd International Symposium on Single Crystals and Wafers 2013年6月25日
窒化物半導体フォトニックナノ構造の量子光学応用
第5回 窒化物半導体結晶成長講演会 2013年6月21日
Crystal growth of InGaN on GaN/Sapphire template by high pressure MOVPE
The 40th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2013) 2013年5月19日
Improvement of Surface Morphology in (000-1) GaN/Sapphire Grown by MOVPE with Indium Surfactant
The 40th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2013) 2013年5月19日
発光材料としての窒化物半導体の役割
第三回先端フォトニクスシンポジウム 2013年4月26日
MOVPE法による窒素極性面InxGa1-xNの結晶成長とデバイス応用
第三回先端フォトニクスシンポジウム 2013年4月26日
Improvement of surface morphology in (000-1) GaN/Sapphire grown by MOVPE with indium surfactant
Conference on LED and its industrial application '13 (LEDIA '13) 2013年4月23日
MOVPE 成長N 極性InGaN におけるIn 組成のc 面サファイア基板微傾斜角依存性
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013年3月27日
(000-1)GaNのMOVPE成長におけるステップフロー成長の促進
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013年3月27日
サファイア基板上GaN薄膜のMOVPE成長挙動の格子極性依存性
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013年3月27日
Effect of N-polar Growth in In-incorporation into Nitride Semiconductors
2nd IMR & KMU Joint Workshop 2013年2月18日
Fabrication of semipolar/nonpolar GaN on patterned silicon substrate for optical device application
2nd IMR & KMU Joint Workshop 2013年2月18日
Comparison of growth behavior in thick InGaN on (000-1) and (0001) GaN/Sapphire by metalorganic vapor phase epitaxy
5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013) 2013年1月28日
Crystal growth of semipolar/nonpolar GaN on patterned silicon substrates by metalorganic vapor phase epitaxy
Collaborative Conference on Crystal Growth (3CG) 2012年12月11日
MOVPE成長(000-1) GaNのステップフロー成長の促進
第67回応用物理学会東北支部学術講演会 2012年12月6日
MOVPE成長N極性InGaNにおけるIn組成のc面サファイア基板微傾斜角依存性
第67回応用物理学会東北支部学術講演会 2012年12月6日
サファイア基板上GaN薄膜の有機金属気相成長初期過程における表面モフォロジーの格子極性依存性
第67回応用物理学会東北支部学術講演会 2012年12月6日
(0001)面、(000-1)面GaN上へMOVPE成長したInGaNの表面モフォロジーとIn取り込み
第67回応用物理学会東北支部学術講演会 2012年12月6日
Effect of Sapphire Nitridation and Group-III Source Flow Rate Ratio on In-incorporation into InGaN Grown by MOVPE
International Conference on Nano Science and Nano Technology (ICNST 2012) 2012年11月8日
Growth of GaN on (111) Si substrates via a reactive sputter-deposited AlN intermediate layer
International Workshop on Nitride Semiconductors 2012 2012年10月14日
Comparison of crystalline quality in InGaN grown on (000-1) and (0001)GaN/Sapphire by metalorganic vapor phase epitaxy
International Workshop on Nitride Semiconductors 2012 2012年10月14日
Study of In-composition of faceted InGaN on m-plane GaN substrate using high-resolution microbeam XRD
International Workshop on Nitride Semiconductors 2012 2012年10月14日
Optical polarization properties in semipolar (1–101) InGaN/GaN multiple quantum well on a patterned Si Substrate
International Workshop on Nitride Semiconductors 2012 2012年10月14日
Fabrication of InGaN/GaN multiple quantum wells on (1-101) GaN
International Workshop on Nitride Semiconductors 2012 2012年10月14日
InGaN growth on GaN/Sapphire by high pressure MOVPE
International Workshop on Nitride Semiconductors 2012 2012年10月14日
Violet second harmonic generation from polarityinverted GaN waveguides
International Workshop on Nitride Semiconductors 2012 2012年10月14日
(0001)および(000-1)面GaN上へMOVPE成長したInGaNの結晶品質比較
第73回応用物理学会学術講演会 2012年9月11日
反応性スパッタリング法によるAlN中間層を用いたSi基板上GaN成長
第73回応用物理学会学術講演会 2012年9月11日
加工Si基板上(1-101)InGaN/GaN MQWストライプ結晶の光学利得
第73回応用物理学会学術講演会 2012年9月11日
Violet-colored enhanced second harmonic generation from periodic polarity-inverted GaN waveguide
第31 回 電子材料シンポジウム 2012年7月11日
Optical and crystalline properties of InGaN/GaN MQWs on (1-101) GaN
第31 回 電子材料シンポジウム 2012年7月11日
Polarization properties in InGaN/GaN multiple quantum well on semipolar (1-101) GaN/Si
第31 回 電子材料シンポジウム 2012年7月11日
High pressure InGaN growth by MOVPE
第31 回 電子材料シンポジウム 2012年7月11日
AlN/air distributed Bragg reflector using GaN sublimation from micro-cracks of AlN
第31 回 電子材料シンポジウム 2012年7月11日
How to improve performance of In-rich InGaN LEDs ?
16th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XVI) 2012年5月20日
Fabrication of selective-area AlN/air reflector by GaN sublimation in the growth chamber
16th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XVI) 2012年5月20日
Si基板上半極性面(1-101)GaNストライプ上InGaN/GaN多重量子井戸構造の偏光特性
信学会電子デバイス(ED)研究会 2012年5月17日
加圧 MOVPE による InGaN 結晶成長
第4回 窒化物半導体結晶成長講演会 (プレIWN2012) 2012年4月27日
加圧MOVPE法によるInxGa1-xN 結晶成長
第59回 応用物理学関係連合講演会 2012年3月15日
GaNの昇華を用いた選択領域AlN/Air反射構造の作製
第59回 応用物理学関係連合講演会 2012年3月15日
Reduction of dislocations and residual stress in GaN grown on patterned Si substrate
11th Akasaki Research Center Symposium 2011年12月9日
加工Si基板上(1-101)InGaN/GaN MQWストライプの偏光特性
第72回 応用物理学会学術講演会 2011年8月29日
AlN/GaN多層膜反射鏡の高反射率化
第72回 応用物理学会学術講演会 2011年8月29日
(1-101)GaN/Si 上InGaN 厚膜のMOVPE 成長
第72回 応用物理学会学術講演会 2011年8月29日
Strain relaxation in thick (1-101) InGaN grown on GaN/Si substrate
9th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-9) 2011年7月10日
In Situ Void Formation Technique Using AlN Shell Structure on GaN Stripes Grown on C-sapphire Substrates
9th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-9) 2011年7月10日
Growth of AlInN by raised-pressure metalorganic vapor phase epitaxy
9th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-9) 2011年7月10日
Lattice relaxation in semipolar (1-101)InGaN/GaN on silicon substrates
第30 回 電子材料シンポジウム 2011年6月29日
Reduction of residual stress of GaN on Si(111) substrates using void formation techniques
第30 回 電子材料シンポジウム 2011年6月29日
加圧MOVPE 法を用いたAlInN の結晶成長
日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会第3回窒化物半導体結晶成長講演会「窒化物半導体の応用・評価および結晶成長基礎」 2011年6月17日
加圧MOVPE 法によるInGaN/GaN MQW 構造のIn 組成揺らぎの改善
日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会第3回窒化物半導体結晶成長講演会「窒化物半導体の応用・評価および結晶成長基礎」 2011年6月17日
組成および井戸層厚を変調させたInGaN 擬周期構造に関する研究
日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会第3回窒化物半導体結晶成長講演会「窒化物半導体の応用・評価および結晶成長基礎」 2011年6月17日
HVPE 成長を用いた微細加工Si 基板上半極性GaN 自立基板の作製
日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会第3回窒化物半導体結晶成長講演会「窒化物半導体の応用・評価および結晶成長基礎」 2011年6月17日
Internal quantum efficiency of nitride-basedlight emitting devices
5th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS-2011) 2011年5月22日
Reduction of residual stress of GaN on Si(111) substrates using void formation techniques
5th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS-2011) 2011年5月22日
AlGaN系紫外発光素子の通電特性
信学会電子デバイス(ED)研究会 2011年5月19日
(1-101)GaN/Si上InGaN厚膜のMOVPE成長
信学会電子デバイス(ED)研究会 2011年5月19日
High temperature MOVPE of AlGaN for UV/DUV devices and increased pressure MOVPE of InGaN for green/yellow devices
E-MRS 2011 Spring Meeting 2011年5月9日
IQE and EQE of the nitride-based UV/DUV LEDs
CLEO:2011 2011年5月1日
(111)Si 基板上GaN のボイドを用いた残留応力低減
第58回 応用物理学関係連合講演会 2011年3月24日
加圧MOVPE 法を用いたAlInN の結晶成長
第58回 応用物理学関係連合講演会 2011年3月24日
FTIR Spectra and LVMs in a Carbon Doped (1-101)GaN Grown on a (001)Si Substrate by MOVPE
3nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2011) 2011年3月6日
Growth of semi-polar GaN-based light-emitting diodes grown on an patterned Si substrate
SPIE Photonics West 2011年1月22日
加圧MOVPE法を用いたInGaN結晶成長
応用物理学会結晶工学分科会主催2010年・年末講演会 「エレクトロニクスの将来ビジョン~発展史マップとアカデミックロードマップ~&若手ポスター発表会」 2010年12月17日
マイクロファセットGaNストライプ上へのInGaN選択成長
応用物理学会結晶工学分科会主催2010年・年末講演会 「エレクトロニクスの将来ビジョン~発展史マップとアカデミックロードマップ~&若手ポスター発表会」 2010年12月17日
Optical Properties of (1-101) InGaN/GaN MQW Stripe Laser Structure on a Si Substrate
International Workshop on Nitride semiconductors (IWN2010) 2010年9月19日
Selective MOVPE Growth of InGaN/GaN MQW on Microfacet GaN Stripes
International Workshop on Nitride semiconductors (IWN2010) 2010年9月19日
加工Si基板上(1-101)GaNの不純物取り込み
第71回 応用物理学会学術講演会 2010年9月14日
半極性面GaN ストライプ上InGaN/GaN MQW のMOVPE 選択成長(II)
第71回 応用物理学会学術講演会 2010年9月14日
Si基板上(1-101)InGaN/GaN MQWストライプレーザー構造の光学特性
第71回 応用物理学会学術講演会 2010年9月14日
Effect of lateral vapor-phase diffusion during the selective growth of InGaN/GaN MQW on semi-polar and non-polar GaN stripes
Third International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-3) 2010年6月4日
加工Si基板上への非極性GaN選択成長
日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会 第2回窒化物半導体結晶成長講演会「窒化物半導体結晶成長の新しい流れ」 2010年5月14日
半極性、非極性GaNストライプ上InGaN/GaN MQWのMOVPE成長
日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会 第2回窒化物半導体結晶成長講演会「窒化物半導体結晶成長の新しい流れ」 2010年5月14日
加工Si 基板上非極性InGaN/GaN MQW のMOVPE 選択成長
第57回 応用物理学関係連合講演会 2010年3月17日
Recent development of nitride-based micro- and nano-rod structure on Si and their application to high performance light emitters
9th International Akasaki Research Center Symposium 2010年3月12日
Crystal growth of GaN on etched Si substrate
9th International Akasaki Research Center Symposium 2010年3月12日
Dislocation Decrease of Semi-polar GaN on Si Substrate by Selective MOVPE
2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2010) 2010年3月7日
Infrared Reflectance Spectra of (1-101)GaN Grown on a (001)Si Substrate
2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2010) 2010年3月7日
選択MOVPE法を用いた極性・非極性GaNストライプ上へのInGaN/GaN MQW構造の作製
信学会電子デバイス(ED)研究会 2010年2月22日
HVPE Growth of A-Plane GaN on a GaN Template (110)Si Substrate
8th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-8) 2009年10月18日
選択MOVPE法を用いたSi基板上(11-22)GaNの転位低減
第70回 応用物理学会学術講演会 2009年9月8日
Fabrication of InGaN/GaN stripe structure on (111)Si and stimulated emission properties under photo-excitation
The 14th International Conference on Modulated Semiconductor structures (MSS-14) 2009年7月19日
HVPE growth of a-plane GaN on GaN template (110) Si substrate
第28 回 電子材料シンポジウム 2009年7月8日
GaN/InGaN hetero growth on (1-101) and (11-22) GaN on Si substrate
第28 回 電子材料シンポジウム 2009年7月8日
(111)Si上InGaN/GaN ストライプ構造の光学特性 (II)
第56回 応用物理学関係連合講演会 2009年3月30日
HVPE法を用いた加工(110)Si基板上(11-20)GaNの厚膜成長
第56回 応用物理学関係連合講演会 2009年3月30日
Crystal growth of a-plane GaN on a patterned (110)Si substrate by selective MOVPE
First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma2009) 2009年3月8日
Selective Growth of (1-101)GaN on Large Size Si Substrate with SiO2 Mask Deposited by Oblique EB Evaporation
First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma2009) 2009年3月8日
Optical properties of InGaN/GaN stripe structure grown on (111)Si
First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma2009) 2009年3月8日
Crystal Growth of semi-polar (11-22)GaN on a (113)Si substrate
8th Akasaki Research Center Symposium, To the New Horizon of the Nitride Research 2008年11月20日
(111)Si 上InGaN/GaN ストライプ構造の光学特性
第69回 応用物理学会学術講演会 2008年9月2日
(110)Si基板を用いた無極性(11-20)GaNの結晶成長
特定領域研究「窒化物光半導体のフロンティア―材料潜在能力の極限発現―」公開シンポジウム 2008年8月1日
加工Si基板上(1-101)及び(11-22)GaNへのInGaNヘテロ成長
特定領域研究「窒化物光半導体のフロンティア―材料潜在能力の極限発現―」公開シンポジウム 2008年8月1日
Maskless selective growth of semi-polar (11-22) GaN on Si (113) substrate by metal organic vapor phase epitaxy
Second International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-2) 2008年7月6日
HVPE growth of semi-polar (11-22)GaN on a GaN template (113)Si substrate
Second International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-2) 2008年7月6日
Reduction of dislocations in a (11-22)GaN grown by selective MOVPE on (113)Si
Second International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-2) 2008年7月6日
Growth of Non-polar (11-20)GaN on a patterned (110)Si substrate by selective MOVPE
14th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XIV) 2008年6月1日
(113)Si 上(11-22)GaN のMOVPE 選択再成長 (II)
第55回 応用物理学関係連合講演会 2008年3月27日
(113) 加工Si 基板上への(11-22)GaN のHVPE 成長 (II)
第55回 応用物理学関係連合講演会 2008年3月27日
(113)Si基板を用いた半極性(11-22)GaNの選択MOVPE成長
結晶工学分科会 2007年年末講演会「結晶から広がる科学」 2007年12月14日
加工シリコン基板上への半極性GaNの選択成長と物性
学振第162委員会研究会 2007年12月1日
Growth of Semi-polar (11-22)GaN on a (113)Si Substrate by Selective MOVPE
34th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2007) 2007年10月15日
シリコン基板上の半極性窒化物半導体選択成長
平成19年度電気関係学会東海支部連合大会「窒化物半導体の新展開」シンポジウム 2007年9月27日
Fabrication and Properties of Semi-Polar (1-101) and (11-22) InGaN/GaN MQW Light Emitting Diodes on Patterned Si Substrates
7th International Conference on Nitride Semiconductors 2007年9月16日
(11-22)GaNの時間分解分光
第68回 応用物理学関係連合講演会 2007年9月4日
(311)加工Si基板上への(11-22)GaNのHVPE成長
第68回 応用物理学関係連合講演会 2007年9月4日
Polarity inversion of GaN films by metalorganic vapor epitaxy using an AlN interlayer
T. Tanikawa
The 3rd International Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity/ The 2nd International Symposium on Wide Gap Semiconductor Growth, Process and Device Simulation (IWSingularity 2022 / ISWGPDs 2022)
Design of Transverse Quasi-Phase-Matched Non-Polar/AlN Waveguides for 230-nm Far-UV Second
H. Honda, S. Umeda, K. Shojiki, H. Miyake, M. Kushimoto, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
2022 MRS Spring Meeting & Exhibit
3D Imaging of β-Ga2O3 Crystal Using Multiphoton-Excitation Photoluminescence
T. Nishikawa, M. Tsukakoshi, K. Goto, H. Murakami, Y. Kumagai, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
2022 MRS Spring Meeting & Exhibit
太陽電池
松岡 隆志, 片山 竜二, 谷川 智之
特許第6164685号
出願日:2013/07/03
登録日:2017/06/30
窒化物半導体構造及びその製造方法
澤木宣彦, 本田善央, 彦坂年輝, 谷川智之
特許第4913674号
出願日:2007/06/07
分散ブラッグ反射器およびその製造方法
光成 正, 谷川智之, 本田善央, 山口雅史, 天野 浩
Metalorganic Vapor-Phase Epitaxy of +c/−c GaN Polarity Inverted Bilayer for Transverse Quasi-Phase-Matched Wavelength Conversion Device
Ikeda Kazuhisa, Malik Shahzeb, Uemukai Masahiro, Tanikawa Tomoyuki, Katayama Ryuji
Physica Status Solidi (B) Basic Research Vol. 261 No. 11 2024年9月9日
Large Area Epitaxial Lateral Overgrowth of Semipolar (1(Formula Presented)01) GaN Stripes on Patterned Si Substrates Prepared using Maskless Lithography
Takeda Naofumi, Uemukai Masahiro, Tanikawa Tomoyuki, Katayama Ryuji
Physica Status Solidi (B) Basic Research Vol. 261 No. 11 2024年6月21日