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孫　栄硯
SUN RONGYAN
孫　栄硯
SUN RONGYAN
機関リポジトリ
工学研究科，助教
r-sun prec.eng.osaka-u.ac.jp

keyword 超精密加工，難加工機能材料，プラズマ

機関リポジトリ

経歴 2

  1. 2022年4月 ～ 継続中
    大阪大学 大学院工学研究科 附属精密工学研究センター　助教

  2. 2019年4月 ～ 2022年3月
    独立行政法人日本学術振興会　特別研究員（DC1）

学歴 4

  1. 大阪大学　大学院工学研究科　精密科学・応用物理学専攻（博士後期課程）

    2019年4月 ～ 2022年3月

  2. 大阪大学　大学院工学研究科　精密科学・応用物理学専攻（博士前期課程）

    2017年4月 ～ 2019年3月

  3. 大阪大学　工学部　応用自然科学科（研究生）

    2016年4月 ～ 2017年3月

  4. 吉林大学　工学部　機械工学科

    2011年9月 ～ 2015年7月

委員歴 2

  1. 公益社団法人 砥粒加工学会　次世代ものづくり技術研究会（山椒魚）運営委員会

    2024年4月 ～ 継続中

  2. 公益社団法人 精密工学会　アフィリエイト

    2022年3月 ～ 継続中

所属学会 3

  1. 応用物理学会

  2. 砥粒加工学会

  3. 精密工学会

研究内容・専門分野 1

  1. ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /

受賞 16

  1. 【第16回岩木賞・優秀賞】

    孫栄硯　一般社団法人未来生産システム学協会　2024年2月

  2. 【第25回（2022年度）精密工学会高城賞】

    孫栄硯,野副厚訓,永橋潤司,有馬健太,川合健太郎,山村和也　公益社団法人 精密工学会　2023年3月

  3. 【Best Paper Award】

    R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura　16th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022)　2022年3月

  4. 【Excellent Paper Award】

    R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura　23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)　2021年12月

  5. 【ベストプレゼンテーション賞】

    孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也　公益社団法人 精密工学会 2021年度精密工学会秋季大会学術講演会　2021年12月

  6. 【優秀講演賞】

    孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也　公益社団法人 砥粒加工学会 2021年度砥粒加工学会学術講演会　2021年10月

  7. 【優秀論文賞】

    孫栄硯　公益財団法人 マザック財団　2021年5月

  8. 【海外論文発表奨励賞】

    孫栄硯　一般社団法人 生産技術振興協会　2020年4月

  9. 【Young Researcher Award】

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura　8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019)　2019年11月

  10. 【Excellent Paper Award】

    R. Sun, K. Watanabe, S. Miyazaki, T. Fukano, M. Kitada, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura　15th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2019)　2019年9月

  11. 【ベストポスタープレゼンテーション賞】

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也　公益社団法人 精密工学会 2019年度関西地方定期学術講演会　2019年6月

  12. 【優秀論文賞】

    孫栄硯　公益財団法人 マザック財団　2019年5月

  13. 【Young Researcher Award】

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura　14th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2018)　2018年9月

  14. 【Best Paper Award】

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura　14th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2018)　2018年9月

  15. 【ベストポスタープレゼンテーション賞】

    孫栄硯, 渡辺啓一郎, 宮崎史朗, 深野徹, 北田勝信, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也,　公益社団法人 精密工学会 2018年度関西地方定期学術講演会　2018年6月

  16. 【Best Paper Award】

    R. Sun, K. Tsujiuchi, Y. Ohkubo, K. Endo, K. Yamamura　13rd CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2017)　2017年11月

論文 14

  1. A proposed methodology to develop digital twin framework for plasma processing

    Alasdair Mitchell, Xinyang Wei, Rongyan Sun, Kazuya Yamamura, Long Ye, Jonathan Corney, Nan Yu

    Results in Engineering　Vol. 24　2024年12月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  2. A Review of Simulation Modeling of the State Evaluation and Process Prediction of Plasma Processing under Atmospheric Pressure

    Xinyang Wei, Alasdair Mitchell, Rongyan Sun, Nan Yu, Kazuya Yamamura

    Nanomanufacturing and Metrology　Vol. 7　No. 1　2024年6月26日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  3. Oxidation mechanism of 4H-SiC in slurry-less ECMP with weak alkaline electrolyte

    Rongyan Sun, Ryosuke Kinoshita, Kazufumi Aoki, Shota Hayakawa, Kantaro Hori, Koichiro Yasuda, Yuji Ohkubo, Kazuya Yamamura

    CIRP Annals　Vol. 73　No. 1　p. 277-280　2024年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  4. Highly efficient finishing of large-sized single crystal diamond substrates by combining nanosecond pulsed laser trimming and plasma-assisted polishing

    Nian Liu, Kentaro Sugimoto, Naoya Yoshitaka, Hideaki Yamada, Rongyan Sun, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

    Ceramics International　Vol. 49　No. 11　p. 19109-19123　2023年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  5. Effects of polishing pressure and sliding speed on the material removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing

    Nian Liu, Kentaro Sugimoto, Naoya Yoshitaka, Hideaki Yamada, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

    Diamond and Related Materials　Vol. 124　p. 108899-108899　2022年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  6. Novel highly-efficient and dress-free polishing technique with plasma-assisted surface modification and dressing

    Rongyan Sun, Atsunori Nozoe, Junji Nagahashi, Kenta Arima, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura

    Precision Engineering　Vol. 72　p. 224-236　2021年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  7. Comparison of surface and subsurface damage of mosaic single-crystal diamond substrate processed by mechanical and plasma-assisted polishing

    Nian Liu, Hideaki Yamada, Naoya Yoshitaka, Kentaro Sugimoto, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

    Diamond and Related Materials　Vol. 119　p. 108555-108555　2021年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  8. High-quality plasma-assisted polishing of aluminum nitride ceramic

    Rongyan Sun, Xu Yang, Kenta Arima, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura

    CIRP Annals　Vol. 69　No. 1　p. 301-304　2020年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  9. Obtaining Atomically Smooth 4H–SiC (0001) Surface by Controlling Balance Between Anodizing and Polishing in Electrochemical Mechanical Polishing

    Xu Yang, Xiaozhe Yang, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

    Nanomanufacturing and Metrology　Vol. 2　No. 3　p. 140-147　2019年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Springer Science and Business Media LLC

  10. Etching Characteristics of Quartz Crystal Wafers Using Argon-Based Atmospheric Pressure CF4 Plasma Stabilized by Ethanol Addition

    Rongyan Sun, Xu Yang, Keiichiro Watanabe, Shiro Miyazaki, Toru Fukano, Masanobu Kitada, Kenta Arima, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura

    Nanomanufacturing and Metrology　Vol. 2　No. 3　p. 168-176　2019年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Springer Science and Business Media LLC

  11. Surface Modification and Microstructuring of 4H-SiC(0001) by Anodic Oxidation with Sodium Chloride Aqueous Solution

    Xu Yang, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

    ACS Applied Materials & Interfaces　Vol. 11　No. 2　p. 2535-2542　2019年1月16日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：American Chemical Society (ACS)

  12. Optimization of Gas Composition Used in Plasma Chemical Vaporization Machining for Figuring of Reaction-Sintered Silicon Carbide with Low Surface Roughness

    Rongyan Sun, Xu Yang, Yuji Ohkubo, Katsuyoshi Endo, Kazuya Yamamura

    Scientific Reports　Vol. 8　No. 1　2018年12月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Springer Science and Business Media LLC

  13. Investigation of anodic oxidation mechanism of 4H-SiC (0001) for electrochemical mechanical polishing

    Xu Yang, Rongyan Sun, Yuji Ohkubo, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Katsuyoshi Endo, Kazuya Yamamura

    Electrochimica Acta　Vol. 271　p. 666-676　2018年5月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  14. Damage-free highly efficient polishing of single-crystal diamond wafer by plasma-assisted polishing

    K. Yamamura, K. Emori, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Endo, H. Yamada, A. Chayahara, Y. Mokuno

    CIRP Annals　Vol. 67　No. 1　p. 353-356　2018年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

MISC 28

  1. Development of polishing plate used in plasma-assisted polishing for gallium nitride

    T. Tao, Y. Ohnishi, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    The 18th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process　2024年11月

  2. Etching Characteristics of Plasma Chemical Vaporization Machining for CVD-SiC

    I. Noto, X. Wei, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    The 18th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process　2024年11月

  3. Optimization of oscillation control by simulation for uniform polishing amount in ECMP processing of SiC wafers

    A. Kaneko, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    The 20th International Conference on Precision Engineering　2024年10月

  4. Numerical Analysis of Atmospheric Pressure Inductively Coupled Argon Plasma

    X. Wei, C. Wang, R. Sun, H. Deng, K. Yamamura

    The 20th International Conference on Precision Engineering　2024年10月

  5. Numerical Analysis of Periodic Characteristics in Atmospheric Pressure Inductively Coupled Argon Plasma

    X. Wei, C. Wang, R. Sun, H. Deng, K. Yamamura

    19th International Conference on Plasma Surface Engineering　2024年9月

  6. Additive manufacturing in ceramics: targeting lightweight mirror applications in the visible, ultraviolet and X-ray

    C. Atkins, Y. Chahid, G. Lister, R. Tuck, D. Isherwood, N. Yu, R. Sun, I. Noto, K. Yamamura, M. Civitani, G. Vecchi, G. Pareschi, S. G. Alcock, I. T. Nistea, M. B. Da Silva

    SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation　2024年6月

  7. Temperature-dependent modification of gallium nitride using vacuum hydrogen plasma

    T. Tao, Y. Onishi, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    24th International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2024)　2024年6月

  8. Highly efficient flattening and smoothing process for PCD substrates by combining laser-trimming and plasma-assisted polishing

    S. Sugihara, J. Dong, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    24th International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2024)　2024年6月

  9. High-efficiency lapping of gallium nitride wafers using a fixed diamond lapping plate

    T. Tao, H. Kitade, Y. Ohnishi, J. Nagahashi, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2023)　2023年12月

  10. Investigation of Plasma Gas for Modifying Gallium Nitride in Plasma-assisted Polishing

    Y. Ohnishi, T. Tao, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2023)　2023年11月

  11. Numerical analysis of process gas flow for plasma chemical vaporization machining

    X. Wei, I. Noto, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    The 17th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2023)　2023年10月

  12. Numerical analysis of CF4 diffusion behaviours in plasma chemical vaporization machining regarding processing gap changes

    X. Wei, I. Noto, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura

    The 5th AET International Symposium on ACSM and Digital Manufacturing　2023年8月

  13. Highly-efficient plasma-assisted polishing technique with auto-dressing

    R. Sun, T. Tao, A. Nozoe, J. Nagahashi, K. Arima, K. Yamamura

    23rd International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2023)　2023年6月

  14. Optimization of modification conditions used in plasma assisted polishing for improving the material removal rate of Gallium nitride

    T. Tao, R. Sun, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura

    The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)　2022年11月

  15. Elucidation of plasma-assisted polishing mechanism through evaluating the adhesion force between diamond abrasive and AlN wafer

    R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)　2022年11月

  16. Polishing characteristics of AlN ceramics in plasma-assisted polishing using diamond grinding stone with different abrasive particle sizes

    R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    16th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022)　p. 91-95　2022年3月

  17. Consideration on suppression of grinding stone components adhesion in dry polishing with the aid of surface modification by fluorine-based plasma

    R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)　Vol. C011　2021年11月

  18. Roughness evaluation of sintered AlN surface processed by plasma-assisted polishing using diamond grinding stone

    R. Sun, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura

    18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)　Vol. B-5-8　2020年11月

  19. High-quality plasma-assisted polishing of aluminum nitride ceramic, 70th CIRP General Assembly

    R. Sun, X. Yang, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura

    70th CIRP General Assembly　Vol. STC-G 05　No. 1　p. 301-304　2020年8月

    出版者・発行元：Elsevier BV

  20. Feasibility using ethanol-added argon instead of helium as the carrier gas used in atmospheric-pressure plasma chemical vaporization machining

    R. Sun, K. Watanabe, S. Miyazaki, T. Fukano, M. Kitada, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    euspen’s 20th International Conference & Exhibition (euspen2020)　Vol. P2.08　2020年6月

  21. Surface modification of AlN by irradiation of fluorine-based atmospheric pressure plasma for damage-free polishing

    R. Sun, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    The 22nd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2019)　Vol. N07　2019年12月

  22. Aspherical Shape Figuring on Reaction-sintered Silicon Carbide by Plasma Chemical Vaporization Machining

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2019)　Vol. B28　2019年11月

  23. Stabilization of argon-based atmospheric pressure CF4 plasma by adding ethanol for precision thickness correction of quartz crystal wafer

    R. Sun, K. Watanabe, S. Miyazaki, T. Fukano, M. Kitada, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    The 15th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2019)　Vol. C000075　2019年9月

  24. Preliminary Study on Figuring of Reaction-sintered Silicon Carbide by Plasma Chemical Vaporization Machining

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    33rd American Society for Precision Engineering Annual Meeting Proceedings (ASPE2018)　p. 335-338　2018年11月

  25. Damage-free figuring of reaction-sintered silicon carbide by plasma chemical vaporization machining

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    The 14th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2018)　Vol. S1-21　2018年9月

  26. Investigation of etching characteristics of reaction-sintered silicon carbide using plasma chemical vaporization machining

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura

    International Symposium on Extreme Optical Manufacturing and Laser-Induced Damage in Optics　2018年9月

  27. Application of Plasma Chemical Vaporization Machining for Figuring of Reaction-sintered Silicon Carbide

    R. Sun, Y. Ohkubo, K. Endo, K. Yamamura

    18th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2018)　Vol. O6.01　p. 391-392　2018年6月

  28. Polishing characteristics of reaction-sintered silicon carbide by plasma-assisted polishing

    R. Sun, K. Tsujiuchi, Y. Ohkubo, K. Endo, K. Yamamura

    The 13th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2017)　p. 241-244　2017年11月

講演・口頭発表等 79

  1. プラズマ援用研磨による2インチ多結晶ダイヤモンドの粒界段差フリー・超平滑表面仕上げ

    董佳遠, 杉原聡太, 藤原歌文, 孫栄硯, 大久保雄司, 王俊沙, 須賀唯知, 山村和也

    第38回ダイヤモンドシンポジウム　2024年11月

  2. 2インチ多結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨における機械的作用が及ぼす影響

    杉原聡太, 董佳遠, 須賀唯知, 王俊沙, 藤原歌文, 大久保雄司, 孫栄硯, 山村和也

    第38回ダイヤモンドシンポジウム　2024年11月

  3. プラズマ CVM による積層 SiC セラミックスへの高精度表面形状創成－前工程における固定砥粒定盤を用いたラップ加工特性－

    能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会　2024年9月

  4. 多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究(第5報)－プラズマ援用研磨における加工能率とプラズマ生成条件の相関－

    杉原聡太, 董佳遠, 藤原歌文, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会　2024年9月

  5. 紫外線を援用した電気化学機械研磨によるGaNの高能率スラリーレス加工法の開発

    大西雄也, 陶通, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    2024年度砥粒加工学会学術講演会　2024年8月

  6. ハバード項を付加した密度汎関数理論に基づく酸化銅表面とフッ素系分子の吸着エネルギーの計算

    山口孝太, 西野実沙, 稲垣耕司, 森川良忠, 大越正治, 才津良太, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司

    日本接着学会 第62回年次大会　2024年6月

  7. レーザーおよびプラズマによる二段階処理がフッ素樹脂の接着性に及ぼす影響の調査

    大越正治, 才津良太, 山口孝太, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司

    日本接着学会 第62回年次大会　2024年6月

  8. プラズマ CVM による積層 SiC セラミックスの高精度表面形状創成－前工程のラップ加工特性－

    能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会　2024年6月

  9. 紫外光照射を援用した窒化ガリウム基板のスラリーレスECMPプロセスに使用する光源の検討

    大西雄也, 陶通, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会　2024年6月

  10. スラリーレス電気化学機械研磨による SiC の高能率加工プロセスの開発－研磨量分布に影響を及ぼす因子の解明と評価－

    金子蒼, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会　2024年6月

  11. 砥石定盤を用いたGaNウエハの高能率加工プロセスの開発(第1報)－各種加工液とGaNの研磨特性の相関評価－

    髙梨慎也, 田口茉奈, 永橋潤司, 大西雄也, 孫栄硯, 山村和也

    2024年度精密工学会春季大会学術講演会　2024年3月

  12. 多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究(第4報)－研磨圧力が研磨に及ぼす影響－

    杉原聡太, 董佳遠, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    2024年度精密工学会春季大会学術講演会　2024年3月

  13. プラズマ CVM における基板保持方法が加工特性へ及ぼす影響

    能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    2024年度精密工学会春季大会学術講演会　2024年3月

  14. 砥石定盤を用いたGaNウエハの高能率加工プロセスの開発(第2報)－AFMを用いた摩擦力の評価－

    大西雄也, 孫栄硯, 田口茉奈, 髙梨慎也, 永橋潤司, 山村和也

    2024年度精密工学会春季大会学術講演会　2024年3月

  15. プラズマ処理中の電極-試料間ギャップの接近フッ素樹脂の表面改質に与える影響の調査とその原因解明

    大越正治, 今嶋航世, 西野実沙, 小玉拓海, 才津良太, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司

    日本接着学会関西支部第19回若手の会　2023年12月

  16. 環構造を有するフッ素樹脂の電荷安定性の検証

    小玉拓海, 西野実沙, 今嶋航世, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司

    表面技術協会関西支部第25回関西表面技術フォーラム　2023年12月

  17. プラズマ処理により接着性を向上させたフッ素樹脂とCu薄膜の剥離界面分析

    才津良太, 今嶋航世, 西野実沙, 小玉拓海, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司

    日本接着学会接着界面科学研究会　2023年11月

  18. 難加工材料に対するスラリーレス超音波援用電気化学機械研磨法の開発（第4報）－4インチSiCウエハに対する研磨パラメータの最適化－

    曹健傑, 木下亮祐, 孫栄硯, 山村和也

    2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2023年9月

  19. 多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究（第3報）－レーザトリミング効果の検証とプラズマ援用研磨後の結晶性評価－

    杉原聡太, 董佳遠, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2023年9月

  20. 電気化学機械研磨におけるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第11報）－KOH 電解液の濃度変化による4H-SiC(0001)の酸化特性の解明－

    木下亮祐, 曹健傑, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也, 青木一史

    2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2023年9月

  21. プラズマCVMにおけるキャリアガス流量が加工に及ぼす影響

    能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2023年9月

  22. Surface roughness evaluation of polycrystalline diamond substrate processed by plasma-assisted polishing

    J. Dong, K. Sugimoto, S. Sugihara, R. Sun, J. Wang, T. Suga, K. Yamamura

    33rd International Conference on Diamond and Carbon Materials　2023年9月

  23. 軟質砥石を用いた電気化学機械研磨によるSiCの高能率加工法の開発

    曹健傑, 木下亮祐, 孫栄硯, 山村和也

    2023年度砥粒加工学会学術講演会論文集　2023年8月

  24. 電気化学機械研磨による4H-SiCのファセット部における段差形成の原因調査

    木下亮祐, 曹健傑, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也, 青木一史

    精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集　2023年6月

  25. プラズマ CVM における基板支持方法が加工レートにもたらす影響

    能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集　2023年6月

  26. 水蒸気プラズマを用いたGaNウエハの表面改質

    大西雄也, 陶通, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集　2023年6月

  27. 多結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨における結晶面方位と表面モフォロジーの相関

    董佳遠, 杉本健太郎, 杉原聡太, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集　2023年6月

  28. 多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究－レーザトリミングの適用によるプラズマ援用研磨時間の短縮－

    杉原聡太, 董佳遠, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

    精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集　2023年6月

  29. ナノグラフェン上での長方形状構造を呈するSTM像の第一原理計算に基づく考察

    李君寰, 稲垣耕司, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    第70回応用物理学会春季学術講演会　2023年3月

  30. 数値制御PCVMによる反応焼結SiC材の高精度形状創成－非球面形状の加工精度評価－

    能登樹, 須場健太, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集　2023年3月

  31. ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択領域加工－エッチング液に添加した酸化剤が加工特性に与える影響－

    山本聖也, 李君寰, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集　2023年3月

  32. 多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究－プラズマ援用研磨における前加工としてのレーザトリミング－

    杉原聡太, 杉本健太郎, 董佳遠, 孫栄硯, 有馬健太, 王俊沙, 須賀唯知, 山村和也

    精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集　2023年3月

  33. 固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築－ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質－

    大西雄也, 北出隼人, 陶通, 永橋潤司, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集　2023年3月

  34. 全ウエットプロセスによるSi原子層シートの創製に関する研究－ウェットエッチングによるSOI層表面の構造制御－

    橋本龍人, 竹内鉄朗, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集　2023年3月

  35. プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究（第 2 報）－2 inch多結晶ダイヤモンド基板に対する研磨圧力が表面粗さにおよぼす影響について－

    Dong Jiayuan, 杉本健太郎, 杉原聡太, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也, 須賀唯知, Wang Junsha

    2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　2023年3月

  36. 電気化学機械研磨によるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第10報）－パルス幅変調電圧の印加により4H-SiC(0001) の研磨レートの向上－

    曹健傑, 木下亮祐, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也

    2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　2023年3月

  37. 電気化学機械研磨による SiC の高能率スラリーレス加工法の開発（第 9 報）－電解液の液性における4H-SiC(0001) の 酸化特性の評価－

    木下亮祐, 曹健傑, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也, 青木一史

    2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　2023年3月

  38. グラフェンナノシート上に現れる特異な電子状態の STM 観察－グラフェンナノリボンの第一原理計算に基づく起源の考察－

    李君寰, 稲垣耕司, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文　2023年3月

  39. Origin of Rectangular-like Lattice on Nanographene in STM Images Unveiled by First-Principles Calculations

    J. Li, K. Inagaki, R. Sun, K. Yamamura, K. Arima

    48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48)　2023年1月

  40. Nanotrench Formation along Step Edges of Vicinal Si(111) Surfaces by Wet-chemical Treatments

    K. Arima, Z. Ma, T. Takeuchi, R. Hashimoto, R. Sun, K. Yamamura

    48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48)　2023年1月

  41. 砥石定盤を用いたGaNウエハのラップ加工

    北出隼人, 永橋潤司, 孫栄硯, 山村和也

    応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第9回講演会予稿集　2022年12月

  42. サブ分子層レベルの水分子吸着履歴を持つGeO2/Ge構造の電気特性測定法の開発

    佐野修斗, 和田陽平, 川合健太郎, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第7回ポスター発表展　2022年9月

  43. 湿式法によるSi(111)表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の自己組織的形成

    竹内鉄朗, 馬智達, 橋本龍人, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第7回ポスター発表展　2022年9月

  44. 制御した水分子吸着の履歴を持つGeO2/Ge型MOS構造の作製と評価

    佐野修斗, 和田陽平, 川合健太郎, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月

  45. 湿式法によるSi(111)表面の原子ステップに沿ったナノ溝構造の形成と制御

    竹内鉄朗, 馬智達, 橋本龍人, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月

  46. 全ウェットプロセスによる Si(111) 表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の形成と制御

    有馬健太, 馬智達, 竹内鉄朗, 橋本龍人, 孫栄硯, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2022年9月

  47. プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)

    杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2022年9月

  48. 中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第14報)-PCVMにおける加工温度と表面粗さの相関-

    須場健太, 山本有悟, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 丸山龍治, 曽山和彦, 林田洋寿

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2022年9月

  49. Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~

    東知樹, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2022年9月

  50. ダイヤモンド砥粒を用いたプラズマ援用研磨による窒化ガリウム基板の高能率研磨

    陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)　2022年8月

  51. プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー 平坦・平滑化に関する研究(第1報)

    杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)　2022年8月

  52. Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~

    東知樹, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2022年7月

  53. プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性および摺動速度依存性に関する検討-

    杉本健太郎, 劉念, 吉鷹直也, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2022年7月

  54. 第一原理計算を用いたナノグラフエン上の特異な超構造電子状態の解析

    李君寰, 稲垣耕司, 川合健太郎, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2022年7月

  55. サブ分子層の吸着水がGeO2/Ge界面の電気特性に与える影響の超精密計測

    佐野修斗, 和田陽平, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2022年7月

  56. 数値制御プラズマCVMによるWolterミラーマンドレルの高精度加工

    須場健太, 山本有悟, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 丸山龍治, 曽山和彦, 林田洋寿

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2022年7月

  57. プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-

    陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2022年3月

  58. プラズマ援用研磨法の開発(第24報)-CF4プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化-

    孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2022年3月

  59. ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発

    孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)　2021年9月

  60. 窒化アルミニウムセラミックス材のプラズマ援用研磨に関する研究-異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いたAlN基板の研磨特性-

    陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)　2021年9月

  61. プラズマ援用研磨法の開発(第22報)-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-

    孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2021年9月

  62. マイクロ波プラズマジェット型プラズマCVMにおける加工痕形状の考察

    北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2021年9月

  63. プラズマ援用研磨法の開発(第23報)-AlN基板の研磨における砥粒材質と研磨特性の相関-

    陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2021年9月

  64. 減圧プラズマフッ化における焼結AlN基板のフッ化レートの評価

    孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2021年6月

  65. 減圧プラズマ酸化における反応焼結SiCの酸化特性

    陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2021年6月

  66. プラズマCVM加工におけるガス組成と最適加工ギャップの関係

    北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2021年6月

  67. プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究（第4報）－反応生成物の堆積量の温度依存性－

    北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会第27回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集　2021年3月

  68. プラズマ援用研磨法の開発(第21報)-ビトリファイドボンド砥石を用いたドレスフリー研磨法の開発-

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 永橋潤司, 野副厚訓

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2021年3月

  69. プラズマ援用研磨法の開発(第20報)-焼結AlN基板の脱粒フリー研磨-

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2020年9月

  70. プラズマ援用研磨法の開発(第19報)-AlN基板の研磨特性の評価-

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2020年3月

  71. プラズマ援用研磨法の開発(第18報)-フッ素系プラズマの照射によるAlN基板の表面改質効果の評価-

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2019年9月

  72. プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究(第3報)-反応焼結SiC材の加工における反応生成堆積物の影響-

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 大久保雄司

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2019年6月

  73. プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究(第2報)-反応焼結SiC材に対する非球面形状の創成-

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 大久保雄司

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2018年9月

  74. プラズマCVMによる水晶ウエハの加工に関する研究-エタノール添加によるCF4含有大気圧Arプラズマの安定化-

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 渡辺啓一郎, 宮崎史朗, 深野徹, 北田勝信

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2018年6月

  75. プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究（第1報）－反応ガス組成の最適化による表面粗さの改善－

    孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

    2018年3月

  76. 反応性プラズマを援用したセラミックス材料のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術の開発

    山村和也, 孫栄硯, 大久保雄司

    粉体粉末冶金協会講演大会(Web)　2018年

  77. プラズマ援用研磨法の開発（第17報）－減圧型プラズマ援用研磨による4H-SiCの軟質砥粒研磨特性の評価－

    辻内健太郎, 孫栄硯, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2017年9月

  78. プラズマ援用研磨による反応焼結SiC材の高精度ダメージフリー加工に関する研究 －プラズマ酸化におけるSiCとSiの酸化レートの評価－

    孫栄硯, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山村和也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2017年9月

  79. 大気圧プラズマを用いた金型用反応焼結SiC材のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術-プラズマCVMの基礎加工特性-

    孫栄硯, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山村和也

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　2017年

特許・実用新案・意匠 2

  1. 多成分材料のプラズマエッチング加工方法

    山村和也, 大久保雄司, 孫栄硯

    特許第6843396号

    出願日:2018/02/02

    登録日:2021/02/26

  2. プラズマ援用加工方法及びプラズマ援用加工装置

    山村和也, 孫栄硯, 永橋潤司, 野副厚訓

    出願日:2021/03/01

機関リポジトリ 1

大阪大学の学術機関リポジトリ（OUKA）に掲載されているコンテンツ

  1. 脆性機能材料に対するプラズマを用いたナノ精度形状創成・表面仕上げ技術の開発

    ソン エイケン