prec.eng.osaka-u.ac.jp
Osaka University Graduate School of Engineering
2019/04 - 2022/03
Osaka University Graduate School of Engineering
2017/04 - 2019/03
Osaka University School of Engineering
2016/04 - 2017/03
Jilin University
2011/09 - 2015/07
公益社団法人 砥粒加工学会 次世代ものづくり技術研究会（山椒魚）運営委員会
2024/04 - Present
The Japan Society for Precision Engineering affiliate
2022/03 - Present
応用物理学会
砥粒加工学会
精密工学会
Manufacturing technology (mechanical, electrical/electronic, chemical engineering) / Manufacturing and production engineering /
【第16回岩木賞・優秀賞】
孫栄硯 一般社団法人未来生産システム学協会 2024/02
【第25回（2022年度）精密工学会高城賞】
孫栄硯,野副厚訓,永橋潤司,有馬健太,川合健太郎,山村和也 公益社団法人 精密工学会 2023/03
【Best Paper Award】
R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura 16th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022) 2022/03
【Excellent Paper Award】
R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021) 2021/12
【ベストプレゼンテーション賞】
孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也 公益社団法人 精密工学会 2021年度精密工学会秋季大会学術講演会 2021/12
【優秀講演賞】
孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也 公益社団法人 砥粒加工学会 2021年度砥粒加工学会学術講演会 2021/10
【優秀論文賞】
孫栄硯 公益財団法人 マザック財団 2021/05
【海外論文発表奨励賞】
孫栄硯 一般社団法人 生産技術振興協会 2020/04
【Young Researcher Award】
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019) 2019/11
【Excellent Paper Award】
R. Sun, K. Watanabe, S. Miyazaki, T. Fukano, M. Kitada, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura 15th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2019) 2019/09
【ベストポスタープレゼンテーション賞】
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也 公益社団法人 精密工学会 2019年度関西地方定期学術講演会 2019/06
【優秀論文賞】
孫栄硯 公益財団法人 マザック財団 2019/05
【Young Researcher Award】
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura 14th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2018) 2018/09
【Best Paper Award】
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura 14th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2018) 2018/09
【ベストポスタープレゼンテーション賞】
孫栄硯, 渡辺啓一郎, 宮崎史朗, 深野徹, 北田勝信, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 公益社団法人 精密工学会 2018年度関西地方定期学術講演会 2018/06
【Best Paper Award】
R. Sun, K. Tsujiuchi, Y. Ohkubo, K. Endo, K. Yamamura 13rd CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2017) 2017/11
A proposed methodology to develop digital twin framework for plasma processing
Alasdair Mitchell, Xinyang Wei, Rongyan Sun, Kazuya Yamamura, Long Ye, Jonathan Corney, Nan Yu
Results in Engineering Vol. 24 2024/12 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
A Review of Simulation Modeling of the State Evaluation and Process Prediction of Plasma Processing under Atmospheric Pressure
Xinyang Wei, Alasdair Mitchell, Rongyan Sun, Nan Yu, Kazuya Yamamura
Nanomanufacturing and Metrology Vol. 7 No. 1 2024/06/26 Research paper (scientific journal)
Publisher: Springer Science and Business Media LLC
Oxidation mechanism of 4H-SiC in slurry-less ECMP with weak alkaline electrolyte
Rongyan Sun, Ryosuke Kinoshita, Kazufumi Aoki, Shota Hayakawa, Kantaro Hori, Koichiro Yasuda, Yuji Ohkubo, Kazuya Yamamura
CIRP Annals Vol. 73 No. 1 p. 277-280 2024 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
Highly efficient finishing of large-sized single crystal diamond substrates by combining nanosecond pulsed laser trimming and plasma-assisted polishing
Nian Liu, Kentaro Sugimoto, Naoya Yoshitaka, Hideaki Yamada, Rongyan Sun, Kenta Arima, Kazuya Yamamura
Ceramics International Vol. 49 No. 11 p. 19109-19123 2023/06 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
Effects of polishing pressure and sliding speed on the material removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing
Nian Liu, Kentaro Sugimoto, Naoya Yoshitaka, Hideaki Yamada, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura
Diamond and Related Materials Vol. 124 p. 108899-108899 2022/04 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
Novel highly-efficient and dress-free polishing technique with plasma-assisted surface modification and dressing
Rongyan Sun, Atsunori Nozoe, Junji Nagahashi, Kenta Arima, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura
Precision Engineering Vol. 72 p. 224-236 2021/11 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
Comparison of surface and subsurface damage of mosaic single-crystal diamond substrate processed by mechanical and plasma-assisted polishing
Nian Liu, Hideaki Yamada, Naoya Yoshitaka, Kentaro Sugimoto, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura
Diamond and Related Materials Vol. 119 p. 108555-108555 2021/11 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
High-quality plasma-assisted polishing of aluminum nitride ceramic
Rongyan Sun, Xu Yang, Kenta Arima, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura
CIRP Annals Vol. 69 No. 1 p. 301-304 2020 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
Obtaining Atomically Smooth 4H–SiC (0001) Surface by Controlling Balance Between Anodizing and Polishing in Electrochemical Mechanical Polishing
Xu Yang, Xiaozhe Yang, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura
Nanomanufacturing and Metrology Vol. 2 No. 3 p. 140-147 2019/09 Research paper (scientific journal)
Publisher: Springer Science and Business Media LLC
Etching Characteristics of Quartz Crystal Wafers Using Argon-Based Atmospheric Pressure CF4 Plasma Stabilized by Ethanol Addition
Rongyan Sun, Xu Yang, Keiichiro Watanabe, Shiro Miyazaki, Toru Fukano, Masanobu Kitada, Kenta Arima, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura
Nanomanufacturing and Metrology Vol. 2 No. 3 p. 168-176 2019/09 Research paper (scientific journal)
Publisher: Springer Science and Business Media LLC
Surface Modification and Microstructuring of 4H-SiC(0001) by Anodic Oxidation with Sodium Chloride Aqueous Solution
Xu Yang, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura
ACS Applied Materials & Interfaces Vol. 11 No. 2 p. 2535-2542 2019/01/16 Research paper (scientific journal)
Publisher: American Chemical Society (ACS)
Optimization of Gas Composition Used in Plasma Chemical Vaporization Machining for Figuring of Reaction-Sintered Silicon Carbide with Low Surface Roughness
Rongyan Sun, Xu Yang, Yuji Ohkubo, Katsuyoshi Endo, Kazuya Yamamura
Scientific Reports Vol. 8 No. 1 2018/12 Research paper (scientific journal)
Publisher: Springer Science and Business Media LLC
Investigation of anodic oxidation mechanism of 4H-SiC (0001) for electrochemical mechanical polishing
Xu Yang, Rongyan Sun, Yuji Ohkubo, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Katsuyoshi Endo, Kazuya Yamamura
Electrochimica Acta Vol. 271 p. 666-676 2018/05 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
Damage-free highly efficient polishing of single-crystal diamond wafer by plasma-assisted polishing
K. Yamamura, K. Emori, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Endo, H. Yamada, A. Chayahara, Y. Mokuno
CIRP Annals Vol. 67 No. 1 p. 353-356 2018 Research paper (scientific journal)
Publisher: Elsevier BV
Development of polishing plate used in plasma-assisted polishing for gallium nitride
T. Tao, Y. Ohnishi, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
The 18th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process 2024/11
Etching Characteristics of Plasma Chemical Vaporization Machining for CVD-SiC
I. Noto, X. Wei, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
The 18th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process 2024/11
Optimization of oscillation control by simulation for uniform polishing amount in ECMP processing of SiC wafers
A. Kaneko, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
The 20th International Conference on Precision Engineering 2024/10
Numerical Analysis of Atmospheric Pressure Inductively Coupled Argon Plasma
X. Wei, C. Wang, R. Sun, H. Deng, K. Yamamura
The 20th International Conference on Precision Engineering 2024/10
Numerical Analysis of Periodic Characteristics in Atmospheric Pressure Inductively Coupled Argon Plasma
X. Wei, C. Wang, R. Sun, H. Deng, K. Yamamura
19th International Conference on Plasma Surface Engineering 2024/09
Additive manufacturing in ceramics: targeting lightweight mirror applications in the visible, ultraviolet and X-ray
C. Atkins, Y. Chahid, G. Lister, R. Tuck, D. Isherwood, N. Yu, R. Sun, I. Noto, K. Yamamura, M. Civitani, G. Vecchi, G. Pareschi, S. G. Alcock, I. T. Nistea, M. B. Da Silva
SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2024/06
Temperature-dependent modification of gallium nitride using vacuum hydrogen plasma
T. Tao, Y. Onishi, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
24th International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2024) 2024/06
Highly efficient flattening and smoothing process for PCD substrates by combining laser-trimming and plasma-assisted polishing
S. Sugihara, J. Dong, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
24th International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2024) 2024/06
High-efficiency lapping of gallium nitride wafers using a fixed diamond lapping plate
T. Tao, H. Kitade, Y. Ohnishi, J. Nagahashi, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2023) 2023/12
Investigation of Plasma Gas for Modifying Gallium Nitride in Plasma-assisted Polishing
Y. Ohnishi, T. Tao, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2023) 2023/11
Numerical analysis of process gas flow for plasma chemical vaporization machining
X. Wei, I. Noto, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
The 17th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2023) 2023/10
Numerical analysis of CF4 diffusion behaviours in plasma chemical vaporization machining regarding processing gap changes
X. Wei, I. Noto, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Yamamura
The 5th AET International Symposium on ACSM and Digital Manufacturing 2023/08
Highly-efficient plasma-assisted polishing technique with auto-dressing
R. Sun, T. Tao, A. Nozoe, J. Nagahashi, K. Arima, K. Yamamura
23rd International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2023) 2023/06
Optimization of modification conditions used in plasma assisted polishing for improving the material removal rate of Gallium nitride
T. Tao, R. Sun, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura
2022/11
Elucidation of plasma-assisted polishing mechanism through evaluating the adhesion force between diamond abrasive and AlN wafer
R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
2022/11
Polishing characteristics of AlN ceramics in plasma-assisted polishing using diamond grinding stone with different abrasive particle sizes
R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
16th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2022) p. 91-95 2022/03
Consideration on suppression of grinding stone components adhesion in dry polishing with the aid of surface modification by fluorine-based plasma
R. Sun, T. Tao, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
Vol. C011 2021/11
Roughness evaluation of sintered AlN surface processed by plasma-assisted polishing using diamond grinding stone
R. Sun, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura
18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020) Vol. B-5-8 2020/11
High-quality plasma-assisted polishing of aluminum nitride ceramic, 70th CIRP General Assembly
R. Sun, X. Yang, K. Arima, K. Kawai, K. Yamamura
70th CIRP General Assembly Vol. STC-G 05 No. 1 p. 301-304 2020/08
Publisher: Elsevier BV
Feasibility using ethanol-added argon instead of helium as the carrier gas used in atmospheric-pressure plasma chemical vaporization machining
R. Sun, K. Watanabe, S. Miyazaki, T. Fukano, M. Kitada, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
euspen’s 20th International Conference & Exhibition (euspen2020) Vol. P2.08 2020/06
Surface modification of AlN by irradiation of fluorine-based atmospheric pressure plasma for damage-free polishing
R. Sun, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
The 22nd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2019) Vol. N07 2019/12
Aspherical Shape Figuring on Reaction-sintered Silicon Carbide by Plasma Chemical Vaporization Machining
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2019) Vol. B28 2019/11
Stabilization of argon-based atmospheric pressure CF4 plasma by adding ethanol for precision thickness correction of quartz crystal wafer
R. Sun, K. Watanabe, S. Miyazaki, T. Fukano, M. Kitada, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
The 15th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2019) Vol. C000075 2019/09
Preliminary Study on Figuring of Reaction-sintered Silicon Carbide by Plasma Chemical Vaporization Machining
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
33rd American Society for Precision Engineering Annual Meeting Proceedings (ASPE2018) p. 335-338 2018/11
Damage-free figuring of reaction-sintered silicon carbide by plasma chemical vaporization machining
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
The 14th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2018) Vol. S1-21 2018/09
Investigation of etching characteristics of reaction-sintered silicon carbide using plasma chemical vaporization machining
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
International Symposium on Extreme Optical Manufacturing and Laser-Induced Damage in Optics 2018/09
Application of Plasma Chemical Vaporization Machining for Figuring of Reaction-sintered Silicon Carbide
R. Sun, Y. Ohkubo, K. Endo, K. Yamamura
18th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen2018) Vol. O6.01 p. 391-392 2018/06
Polishing characteristics of reaction-sintered silicon carbide by plasma-assisted polishing
R. Sun, K. Tsujiuchi, Y. Ohkubo, K. Endo, K. Yamamura
The 13th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2017) p. 241-244 2017/11
プラズマ援用研磨による2インチ多結晶ダイヤモンドの粒界段差フリー・超平滑表面仕上げ
董佳遠, 杉原聡太, 藤原歌文, 孫栄硯, 大久保雄司, 王俊沙, 須賀唯知, 山村和也
第38回ダイヤモンドシンポジウム 2024/11
2インチ多結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨における機械的作用が及ぼす影響
杉原聡太, 董佳遠, 須賀唯知, 王俊沙, 藤原歌文, 大久保雄司, 孫栄硯, 山村和也
第38回ダイヤモンドシンポジウム 2024/11
プラズマ CVM による積層 SiC セラミックスへの高精度表面形状創成－前工程における固定砥粒定盤を用いたラップ加工特性－
能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 2024/09
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究(第5報)－プラズマ援用研磨における加工能率とプラズマ生成条件の相関－
杉原聡太, 董佳遠, 藤原歌文, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 2024/09
紫外線を援用した電気化学機械研磨によるGaNの高能率スラリーレス加工法の開発
大西雄也, 陶通, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
2024年度砥粒加工学会学術講演会 2024/08
ハバード項を付加した密度汎関数理論に基づく酸化銅表面とフッ素系分子の吸着エネルギーの計算
山口孝太, 西野実沙, 稲垣耕司, 森川良忠, 大越正治, 才津良太, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司
日本接着学会 第62回年次大会 2024/06
レーザーおよびプラズマによる二段階処理がフッ素樹脂の接着性に及ぼす影響の調査
大越正治, 才津良太, 山口孝太, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司
日本接着学会 第62回年次大会 2024/06
プラズマ CVM による積層 SiC セラミックスの高精度表面形状創成－前工程のラップ加工特性－
能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会 2024/06
紫外光照射を援用した窒化ガリウム基板のスラリーレスECMPプロセスに使用する光源の検討
大西雄也, 陶通, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会 2024/06
スラリーレス電気化学機械研磨による SiC の高能率加工プロセスの開発－研磨量分布に影響を及ぼす因子の解明と評価－
金子蒼, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会 2024/06
砥石定盤を用いたGaNウエハの高能率加工プロセスの開発(第1報)－各種加工液とGaNの研磨特性の相関評価－
髙梨慎也, 田口茉奈, 永橋潤司, 大西雄也, 孫栄硯, 山村和也
2024年度精密工学会春季大会学術講演会 2024/03
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究(第4報)－研磨圧力が研磨に及ぼす影響－
杉原聡太, 董佳遠, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
2024年度精密工学会春季大会学術講演会 2024/03
プラズマ CVM における基板保持方法が加工特性へ及ぼす影響
能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
2024年度精密工学会春季大会学術講演会 2024/03
砥石定盤を用いたGaNウエハの高能率加工プロセスの開発(第2報)－AFMを用いた摩擦力の評価－
大西雄也, 孫栄硯, 田口茉奈, 髙梨慎也, 永橋潤司, 山村和也
2024年度精密工学会春季大会学術講演会 2024/03
プラズマ処理中の電極-試料間ギャップの接近フッ素樹脂の表面改質に与える影響の調査とその原因解明
大越正治, 今嶋航世, 西野実沙, 小玉拓海, 才津良太, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司
日本接着学会関西支部第19回若手の会 2023/12
環構造を有するフッ素樹脂の電荷安定性の検証
小玉拓海, 西野実沙, 今嶋航世, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司
表面技術協会関西支部第25回関西表面技術フォーラム 2023/12
プラズマ処理により接着性を向上させたフッ素樹脂とCu薄膜の剥離界面分析
才津良太, 今嶋航世, 西野実沙, 小玉拓海, 孫栄硯, 山村和也, 大久保雄司
日本接着学会接着界面科学研究会 2023/11
難加工材料に対するスラリーレス超音波援用電気化学機械研磨法の開発（第4報）－4インチSiCウエハに対する研磨パラメータの最適化－
曹健傑, 木下亮祐, 孫栄硯, 山村和也
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 2023/09
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究（第3報）－レーザトリミング効果の検証とプラズマ援用研磨後の結晶性評価－
杉原聡太, 董佳遠, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 2023/09
電気化学機械研磨におけるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第11報）－KOH 電解液の濃度変化による4H-SiC(0001)の酸化特性の解明－
木下亮祐, 曹健傑, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也, 青木一史
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 2023/09
プラズマCVMにおけるキャリアガス流量が加工に及ぼす影響
能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 2023/09
Surface roughness evaluation of polycrystalline diamond substrate processed by plasma-assisted polishing
J. Dong, K. Sugimoto, S. Sugihara, R. Sun, J. Wang, T. Suga, K. Yamamura
33rd International Conference on Diamond and Carbon Materials 2023/09
軟質砥石を用いた電気化学機械研磨によるSiCの高能率加工法の開発
曹健傑, 木下亮祐, 孫栄硯, 山村和也
2023年度砥粒加工学会学術講演会論文集 2023/08
電気化学機械研磨による4H-SiCのファセット部における段差形成の原因調査
木下亮祐, 曹健傑, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也, 青木一史
精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集 2023/06
プラズマ CVM における基板支持方法が加工レートにもたらす影響
能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集 2023/06
水蒸気プラズマを用いたGaNウエハの表面改質
大西雄也, 陶通, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集 2023/06
多結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨における結晶面方位と表面モフォロジーの相関
董佳遠, 杉本健太郎, 杉原聡太, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集 2023/06
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究－レーザトリミングの適用によるプラズマ援用研磨時間の短縮－
杉原聡太, 董佳遠, 寺本龍樹, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也
精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集 2023/06
ナノグラフェン上での長方形状構造を呈するSTM像の第一原理計算に基づく考察
李君寰, 稲垣耕司, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023/03
数値制御PCVMによる反応焼結SiC材の高精度形状創成－非球面形状の加工精度評価－
能登樹, 須場健太, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也
精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集 2023/03
ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択領域加工－エッチング液に添加した酸化剤が加工特性に与える影響－
山本聖也, 李君寰, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集 2023/03
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究－プラズマ援用研磨における前加工としてのレーザトリミング－
杉原聡太, 杉本健太郎, 董佳遠, 孫栄硯, 有馬健太, 王俊沙, 須賀唯知, 山村和也
精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集 2023/03
固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築－ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質－
大西雄也, 北出隼人, 陶通, 永橋潤司, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也
精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集 2023/03
全ウエットプロセスによるSi原子層シートの創製に関する研究－ウェットエッチングによるSOI層表面の構造制御－
橋本龍人, 竹内鉄朗, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
精密工学会第30回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集 2023/03
プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究（第 2 報）－2 inch多結晶ダイヤモンド基板に対する研磨圧力が表面粗さにおよぼす影響について－
Dong Jiayuan, 杉本健太郎, 杉原聡太, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也, 須賀唯知, Wang Junsha
2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 2023/03
電気化学機械研磨によるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第10報）－パルス幅変調電圧の印加により4H-SiC(0001) の研磨レートの向上－
曹健傑, 木下亮祐, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也
2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 2023/03
電気化学機械研磨による SiC の高能率スラリーレス加工法の開発（第 9 報）－電解液の液性における4H-SiC(0001) の 酸化特性の評価－
木下亮祐, 曹健傑, 孫栄硯, 有馬健太, 山村和也, 青木一史
2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 2023/03
グラフェンナノシート上に現れる特異な電子状態の STM 観察－グラフェンナノリボンの第一原理計算に基づく起源の考察－
李君寰, 稲垣耕司, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文 2023/03
Origin of Rectangular-like Lattice on Nanographene in STM Images Unveiled by First-Principles Calculations
J. Li, K. Inagaki, R. Sun, K. Yamamura, K. Arima
48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48) 2023/01
Nanotrench Formation along Step Edges of Vicinal Si(111) Surfaces by Wet-chemical Treatments
K. Arima, Z. Ma, T. Takeuchi, R. Hashimoto, R. Sun, K. Yamamura
48th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-48) 2023/01
砥石定盤を用いたGaNウエハのラップ加工
北出隼人, 永橋潤司, 孫栄硯, 山村和也
応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第9回講演会予稿集 2022/12
サブ分子層レベルの水分子吸着履歴を持つGeO2/Ge構造の電気特性測定法の開発
佐野修斗, 和田陽平, 川合健太郎, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第7回ポスター発表展 2022/09
湿式法によるSi(111)表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の自己組織的形成
竹内鉄朗, 馬智達, 橋本龍人, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第7回ポスター発表展 2022/09
制御した水分子吸着の履歴を持つGeO2/Ge型MOS構造の作製と評価
佐野修斗, 和田陽平, 川合健太郎, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022/09
湿式法によるSi(111)表面の原子ステップに沿ったナノ溝構造の形成と制御
竹内鉄朗, 馬智達, 橋本龍人, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022/09
全ウェットプロセスによる Si(111) 表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の形成と制御
有馬健太, 馬智達, 竹内鉄朗, 橋本龍人, 孫栄硯, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022/09
プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)
杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022/09
中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第14報)-PCVMにおける加工温度と表面粗さの相関-
須場健太, 山本有悟, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 丸山龍治, 曽山和彦, 林田洋寿
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022/09
Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~
東知樹, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022/09
ダイヤモンド砥粒を用いたプラズマ援用研磨による窒化ガリウム基板の高能率研磨
陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2022/08
プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー 平坦・平滑化に関する研究(第1報)
杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2022/08
Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~
東知樹, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022/07
プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性および摺動速度依存性に関する検討-
杉本健太郎, 劉念, 吉鷹直也, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022/07
第一原理計算を用いたナノグラフエン上の特異な超構造電子状態の解析
李君寰, 稲垣耕司, 川合健太郎, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022/07
サブ分子層の吸着水がGeO2/Ge界面の電気特性に与える影響の超精密計測
佐野修斗, 和田陽平, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022/07
数値制御プラズマCVMによるWolterミラーマンドレルの高精度加工
須場健太, 山本有悟, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 丸山龍治, 曽山和彦, 林田洋寿
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022/07
プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-
陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022/03
プラズマ援用研磨法の開発(第24報)-CF4プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化-
孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022/03
ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発
孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2021/09
窒化アルミニウムセラミックス材のプラズマ援用研磨に関する研究-異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いたAlN基板の研磨特性-
陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2021/09
プラズマ援用研磨法の開発(第22報)-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-
孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021/09
マイクロ波プラズマジェット型プラズマCVMにおける加工痕形状の考察
北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021/09
プラズマ援用研磨法の開発(第23報)-AlN基板の研磨における砥粒材質と研磨特性の相関-
陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021/09
減圧プラズマフッ化における焼結AlN基板のフッ化レートの評価
孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021/06
減圧プラズマ酸化における反応焼結SiCの酸化特性
陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021/06
プラズマCVM加工におけるガス組成と最適加工ギャップの関係
北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021/06
プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究（第4報）－反応生成物の堆積量の温度依存性－
北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会第27回学生会員卒業研究発表講演会講演論文集 2021/03
プラズマ援用研磨法の開発(第21報)-ビトリファイドボンド砥石を用いたドレスフリー研磨法の開発-
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 永橋潤司, 野副厚訓
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021/03
プラズマ援用研磨法の開発(第20報)-焼結AlN基板の脱粒フリー研磨-
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020/09
プラズマ援用研磨法の開発(第19報)-AlN基板の研磨特性の評価-
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020/03
プラズマ援用研磨法の開発(第18報)-フッ素系プラズマの照射によるAlN基板の表面改質効果の評価-
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019/09
プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究(第3報)-反応焼結SiC材の加工における反応生成堆積物の影響-
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 大久保雄司
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2019/06
プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究(第2報)-反応焼結SiC材に対する非球面形状の創成-
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 大久保雄司
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018/09
プラズマCVMによる水晶ウエハの加工に関する研究-エタノール添加によるCF4含有大気圧Arプラズマの安定化-
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 渡辺啓一郎, 宮崎史朗, 深野徹, 北田勝信
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2018/06
プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究（第1報）－反応ガス組成の最適化による表面粗さの改善－
孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也
2018/03
反応性プラズマを援用したセラミックス材料のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術の開発
山村和也, 孫栄硯, 大久保雄司
粉体粉末冶金協会講演大会(Web) 2018
プラズマ援用研磨法の開発（第17報）－減圧型プラズマ援用研磨による4H-SiCの軟質砥粒研磨特性の評価－
辻内健太郎, 孫栄硯, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2017/09
プラズマ援用研磨による反応焼結SiC材の高精度ダメージフリー加工に関する研究 －プラズマ酸化におけるSiCとSiの酸化レートの評価－
孫栄硯, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山村和也
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2017/09
大気圧プラズマを用いた金型用反応焼結SiC材のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術-プラズマCVMの基礎加工特性-
孫栄硯, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山村和也
精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2017
多成分材料のプラズマエッチング加工方法
山村和也, 大久保雄司, 孫栄硯
特許第6843396号
出願日:2018/02/02
登録日:2021/02/26
プラズマ援用加工方法及びプラズマ援用加工装置
山村和也, 孫栄硯, 永橋潤司, 野副厚訓
出願日:2021/03/01
Development of plasma-based nano-precision figuring and finishing techniques for brittle functional materials
Sun Rongyan
