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髙谷 裕浩

Takaya Yasuhiro

工学研究科 機械工学専攻,教授

keyword 光応用加工,光応用計測,超精密ナノ加工計測

学歴

  • ~ 1992年,北海道大学
  • ~ 1989年03月,北海道大学,工学研究科,精密工学専攻
  • ~ 1987年03月,北海道大学,工学部,精密工学科
  • ~ 1987年,北海道大学

経歴

  • 2021年03月 ~ 継続中,大阪大学,大学院工学研究科,教授
  • 2016年04月01日 ~ 継続中,大阪大学 全学教育推進機構,高大接続オフィス運営委員
  • 2007年01月01日 ~ 継続中,大阪大学 工学研究科 機械工学専攻,教授
  • 2006年04月 ~ 継続中,大阪大学教授
  • 2005年04月01日 ~ 2006年12月31日,大阪大学 工学研究科 機械工学専攻,助教授
  • 1998年04月01日 ~ 2005年03月31日,大阪大学 工学研究科,助教授
  • 1997年07月 ~ 2005年03月,大阪大学助教授
  • 1995年07月 ~ 1997年06月,大阪大学講師
  • 1992年04月 ~ 1995年06月,大阪大学助手
  • 2006年 ~ ,-: - 大阪大学教授
  • 2006年 ~ ,-: - Osaka University, Professor,

研究内容・専門分野

  • ナノテク・材料,光工学、光量子科学
  • ナノテク・材料,ナノマイクロシステム
  • ナノテク・材料,ナノ材料科学
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学),計測工学
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学),加工学、生産工学

所属学会

  • 国際計測連合会議(IMEKO)
  • 自動車技術会
  • 国際生産工学アカデミー(CIRP)
  • 米国精密工学会(ASPE)
  • 国際計測連合会議
  • 国際生産工学アカデミー
  • 日本機械学会関西支部
  • 型技術協会
  • 米国精密工学会
  • 砥粒加工学会
  • 日本機械学会
  • 精密工学会

論文

  • Noise-robust deep learning ghost imaging using a non-overlapping pattern for defect position mapping,Shoma Kataoka,Yasuhiro Mizutani,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Takaya,Osamu Matoba,Applied Optics,Optica Publishing Group,Vol. 61,No. 34,p. 10126-10126,2022年11月28日,研究論文(学術雑誌)
  • Relationship between the kernel size of a convolutional layer and the optical point spread function in ghost imaging using deep learning for identifying defect locations,Shoma Kataoka,Yasuhiro Mizutani,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Takaya,Osamu Matoba,Applied Optics,Optica Publishing Group,Vol. 61,No. 23,p. 6714-6714,2022年08月10日,研究論文(学術雑誌)
  • 機能性光学・システムによるスマート計測・センシング,高谷 裕浩,水谷 康弘,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 88,No. 5,p. 363-369,2022年05月05日
  • Detection of shock wave in laser ablation using a photonic nanojet,Tsutomu Uenohara,Makoto Yasuda,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Measurement: Sensors,Elsevier BV,Vol. 18,p. 100217-100217,2021年12月,研究論文(学術雑誌)
  • 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第4報)—VIPA分光法を用いた回折像分光における光ファイバの空間モード分散の影響,板倉 聡史,上野原 努,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2021A,p. 590-591,2021年09月08日
  • フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第9報)—入射光の振幅分布と位相分布による強度分布の制御,上野原 努,高田 泰成,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2021A,p. 616-617,2021年09月08日
  • In-Process Height Displacement Measurement Using Crossed Line Beams for Process Control of Laser Wire Deposition,Takushima Shigeru,Shinohara Nobuhiro,Morita Daiji,Kawano Hiroyuki,Mizutani Yasuhiro,Takaya Yasuhiro,International Journal of Automation Technology,Fuji Technology Press Ltd.,Vol. 15,No. 5,p. 715-727,2021年09月05日
  • First Step Toward Laser Micromachining Realization by Photonic Nanojet in Water Medium,Reza Aulia Rahman,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,International Journal of Automation Technology,Fuji Technology Press Ltd.,Vol. 15,No. 4,p. 492-502,2021年07月05日,研究論文(学術雑誌)
  • 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第3報)—光周波数コムを光源とした回折像のVIPA分光,板倉 聡史,上野原 努,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2021S,p. 633-634,2021年03月03日
  • 光スピンホール効果エリプソメトリの開発(第5報)—光スピンホール効果の2D分布測定によるサブナノメートル表面トポグラフィー,LI ZHEHAN,水谷 康弘,上野原 努,田所 利康,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2021S,p. 641-642,2021年03月03日
  • タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第6報)—ディープラーニングを用いた露光光波の振幅位相制御,浦 直樹,水谷 康弘,江崎 隆,上野原 努,牧浦 良彦,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2021S,p. 647-648,2021年03月03日
  • タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第5報)—斜め入射光を利用した多重露光によるナノピラー構造の作製,江崎 隆,水谷 康弘,浦 直樹,上野原 努,牧浦 良彦,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2021S,p. 583-584,2021年03月03日
  • Ghost Imaging with Deep Learning for Position Mapping of Weakly Scattered Light Source,Yasuhiro Mizutani,Shoma Kataoka,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Takaya,Nanomanufacturing and Metrology,Springer Science and Business Media LLC,Vol. 4,No. 1,p. 37-45,2021年03月,研究論文(学術雑誌)
  • 量子もつれ光源を用いた表面形状と薄膜の同時計測—(量子もつれ光子の生成),家中 乾大,上野原 努,水谷 康弘,高谷 裕浩,年次大会,一般社団法人 日本機械学会,Vol. 2021,2021年
  • 3D Lithography Using Talbot Effect- Controlling the Periodicity of Structures by Deep Learning -,Ura Naoki,Mizutani Yasuhiro,Uenohara Tsutomu,Makiura Yoshihiko,Takaya Yasuhiro,Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21,The Japan Society of Mechanical Engineers,Vol. 2021.10,2021年
  • Ghost imaging for weak light imaging by using arrival time of photon and deep learning,Yasuhiro Mizutani,Shoma Kataoka,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Takaya,Biomedical Imaging and Sensing Conference 2020,SPIE,2020年06月15日,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • フォトニックナノジェットを用いたレーザ微細加工に関する研究 (第1報) フォトニックナノジェットの基本的加工特性,上野原努,水谷康弘,高谷裕浩,精密工学会誌,Vol. 86,No. 1,p. 113-119,2020年01月,研究論文(学術雑誌)
  • Comparison of intensity distribution of photonic nanojet according to Gaussian beam and radially polarization beam incidence,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Precision Engineering,Vol. 60,p. 274-279,2019年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Optical in-process height monitoring measurement system for in-process control of laser metal-wire deposition,Shigeru Takushima,Daiji Morita,Nobuhiro Shinohara,Hiroyuki Kawano,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Precision Engineering,Vol. 62,p. 23-29,2019年11月,研究論文(学術雑誌)
  • 【invited】High-speed ghost imaging with deep learning,Yasuhiro Mizuatni,Hiroki Taguchi,Yasuhiro Takaya,2019年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 3D surface measurement for tens-nanometers-scale groove using entanglement photons,Congxiang Zhang,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,2019年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fabrication of Three Dimensional High Aspect Ratio Structure by Talbot Lithography,Ryu Ezaki,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,2019年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Laser micro machining using a photonic nanojet controlled by intensity distribution of incident laser,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,2019年09月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fabrication of 3D Nano-Periodic Structure Using Multiple Exposure Lithography by Talbot Effect,Hiroki NAKANISHI,Mitsuru SHINOZAKI,Yasuhiro MIZUTANI,Yasuhiro TAKAYA,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Japan Society for Precision Engineering,Vol. 85,No. 8,p. 710-716,2019年08月05日,研究論文(学術雑誌)
  • タルボット効果による多重露光リソグラフィを用いた3 次元ナノ周期構造の作製,中西弘樹,篠崎充,水谷康弘,高谷裕浩,精密工学会誌,Vol. 85,No. 8,p. 710-716,2019年08月,研究論文(学術雑誌)
  • 【invited】 Single Pixel imaging and its application,Yasuhiro Mizutani,Hiroki Taguchi,Otoki Yagi,Yasuhiro Takaya,2019年08月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • In-Liquid Laser Nanomachining by Photonic Nanojet in Optical Tweezers Configuration,Reza Aulia Rahman,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,2019年06月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Comparison of intensity distribution of photonic nanojet according to Gaussian beam and radially polarization beam incidence,上野原努,水谷康弘,高谷裕浩,Precision Engineering,Vol. 60,p. 274-279,2019年04月,研究論文(学術雑誌)
  • 【invited】 High-speed ghost imaging with deep learning,Yasuhiro Mizutani,Otoki Yagi,Yasuhiro Takaya,2019年04月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • On-machine measurement of tool edge shape by using fluorescence of cutting fluid (Examination of applicability to water-soluble cutting fluid),Kohei MATSUMOTO,Yasuhiro MIZUTANI,Yasuhiro TAKAYA,Transactions of the JSME (in Japanese),Japan Society of Mechanical Engineers,Vol. 85,No. 880,p. 19-00238,2019年,研究論文(学術雑誌)
  • First photon ghost imaging by single photon counting,Yasuhiro Mizutani,Hiroki Taguchi,Yasuhiro Takaya,2018年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fundamental study on entangled photon probe for quantum optical metrology,Fumitake Yano,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,2018年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Surface imaging technique by an optically trapped microsphere in air condition,Masaki Michihata,Jonggang Kim,Satoru Takahashi,Kiyoshi Takamasu,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Nanomanufacturing and metrology,Vol. 1,No. 1,p. 32-38,2018年01月,研究論文(学術雑誌)
  • 【invited】Ghost imaging for single photon counting,Yasuhiro Mizutani,Hiroki Taguchi,Yasuhiro Takaya,2017年12月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Precise diameter measurement of a microsphere based on polarization analysis of whispering gallery mode resonance,Masaki Michihata,Akifumi Kawasaki,Yasuhiro Takaya,Applied Mechanics and Materials,Vol. 870,p. 108-113,2017年09月,研究論文(学術雑誌)
  • Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale,Masaki Michihata,Shin-Ichi Ueda,Satoru Takahashi,Kiyoshi Takamasu,Yasuhiro Takaya,Optical Engineering,SPIE,Vol. 56,No. 6,2017年06月01日,研究論文(学術雑誌)
  • Tool condition monitoring technique for deep-hole drilling of large components based on chatter identification in time–frequency domain,Masahiro Uekita,Yasuhiro Takaya,Measurement,Vol. 103,p. 199-207,2017年06月,研究論文(学術雑誌)
  • Tool condition monitoring for from milling of large parts by combining spindle motor current and acoustic emission signals,Masahiro Uekita,Yasuhiro Takaya,International Journal of Advanced Manufacturing Technology,Vol. 89,No. 1-4,p. 65-75,2017年06月,研究論文(学術雑誌)
  • First photon detection Ghost imaging,Hiroki Taguchi,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Optics InfoBase Conference Papers,OSA - The Optical Society,Vol. 2017,2017年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 微弱励起光による光相関を用いた蛍光イメージングに関する研究(第2報),田口 寛樹,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2017,p. 491-492,2017年
  • フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第3報),上野原 努,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2017,p. 515-516,2017年
  • タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第1報),篠崎 充,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2017,p. 511-512,2017年
  • 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第5報),山口 悠希,道畑 正岐,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2017,p. 271-272,2017年
  • 光スピンホール効果エリプソメトリの開発(第一報)基本原理の検証,藤田 寛之,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2017,p. 279-280,2017年
  • Time-resolved oblique incident interferometry for vibration analysis of an ultrasonic motor,Yasuhiro Mizutani,Takayuki Higuchi,Tetsuo Iwata,Yasuhiro Takaya,International Journal of Automation Technology,Fuji Technology Press,Vol. 11,No. 5,p. 800-805,2017年,研究論文(学術雑誌)
  • Laser micro machining beyond the diffraction limit using a photonic nanojet,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Takaya,Yasuhiro Mizutani,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 66,No. 1,p. 491-494,2017年,研究論文(学術雑誌)
  • Fabrication of Morpho like structure using Talbot effect,Mitsuru Shinozaki,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,2016年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Laser micro processing by position control of a photonic nanojet,Tsutomu Uenohara,Yasuhiro Takaya,Yasuhiro Mizutani,2016年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 【invited】Ghost imaging ellipsometry,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Yukitoshi Otani,2016年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Hybrid probing technique for coordinate measurement with optically trapped micro sphere,Yuki Yamaguchi,Masaki Michihata,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Proc. SPIE,Vol. 10023,2016年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Spin Hall effect of light applied in optical linear scale,Yasuhiro Mizutani,Kazunori Ueda,Yasuhiro Takaya,Proc. SPIE,Vol. 10023,p. 8-22,2016年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Hybrid SERS analysis of reactive nanoparticles for chemical interaction in copper CMP,Yasuhiro Takaya,Masafumi Asahi,Yasuhiro Mizutani,p. 374-377,2016年08月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Confocal fluorescence microscopic measurement of tool wear profile with cutting fluid layer,Yasuhiro Takaya,Kenji Maruno,Masaki Michihata,Yasuhiro Mizutani,CIRP Annals-Manufacturing Technology,Vol. 65,No. 1,p. 467-470,2016年07月,研究論文(学術雑誌)
  • タルボット効果を用いた金属3次元ナノ構造の作製(第1報),篠崎 充,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 1005-1006,2016年
  • フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第2報),上野原 努,高谷 裕浩,水谷 康弘,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 1011-1012,2016年
  • WGM共振を利用した微小球の直径計測(第5報),川嵜 彬史,道畑 正岐,高谷 裕浩,水谷 康弘,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 33-34,2016年
  • 表面増強ラマン分光法による反応性ナノ粒子を用いたCu-CMPの化学的研磨作用分析,旭 真史,高谷 裕浩,水谷 康弘,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 3-4,2016年
  • 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第3報),山口 悠希,道畑 正岐,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 37-38,2016年
  • 蛍光共焦点法による工具刃先形状の機上計測に関する研究(第2報),丸野 兼治,道畑 正岐,水谷 康弘,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 19-20,2016年
  • サブnmオーダ分解能を有する光スピンホール効果プローブの開発,水谷 康弘,上田 和徳,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 981-982,2016年
  • 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第2報),金 鐘剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,水谷 康弘,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 59-60,2016年
  • On-machine dimensional measurement of large parts by compensating for volumetric errors of machine tools,Masahiro Uekita,Yasuhiro Takaya,PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY,ELSEVIER SCIENCE INC,Vol. 43,p. 200-210,2016年01月,研究論文(学術雑誌)
  • Fundamental study on novel on-machine measurement method of a cutting tool edge profile with a fluorescent confocal microscopy,Kenji Maruno,Masaki Michihata,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,International Journal of Automation Technology,Fuji Technology Press,Vol. 10,No. 1,p. 106-113,2016年,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of a tool wear profile using confocal fluorescence microscopy of the cutting fluid layer,Yasuhiro Takaya,Kenji Maruno,Masaki Michihata,Yasuhiro Mizutani,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 65,No. 1,p. 467-470,2016年,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of a tool wear profile using confocal fluorescence microscopy of the cutting fluid layer,Yasuhiro Takaya,Kenji Maruno,Masaki Michihata,Yasuhiro Mizutani,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 65,No. 1,p. 467-470,2016年,研究論文(学術雑誌)
  • Fluorescence microscope by using computational ghost imaging,Yasuhiro Mizutani,Kyuki Shibuya,Tetsuo Iwata,Yasuhiro Takaya,MATEC Web of Conferences,EDP Sciences,Vol. 32,2015年12月02日,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fluorescence microscope by using computational ghost imaging,Yasuhiro Mizutani,Kyuki Shibuya,Yoshihiko Makiura,Hiroki Maruoka,Tetsuo Iwata,Yasuhiro Takaya,p. 03001-1-03001-5,2015年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • On–Machine Measurement of Cutting Tool Edge Profile by Detecting Fluorescence from Cutting Fluid,Kenji Maruno,Masaki Michihata,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Vol. 32,p. 03003-1-03003-5,2015年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Study on nanoparticle sizing using fluorescent polarization method with DNA fluorescent probe,Terutake Hayashi,Yuki Ishizaki,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Shin-Ichi Tanaka,International Journal of Automation Technology,Fuji Technology Press,Vol. 9,No. 5,p. 534-540,2015年09月01日,研究論文(学術雑誌)
  • Wide-Range Axial Position Measurement for Jumping Behavior of Optically Trapped Microsphere Near Surface Using Chromatic Confocal Sensor,Shin-Ichi Ueda,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,International Journal of Optomechatronics,Taylor and Francis Inc.,Vol. 9,No. 2,p. 131-140,2015年04月03日,研究論文(学術雑誌)
  • 【知的ナノ計測専門委員会】ものづくり基盤の進化からイノベーションの創出を担う知的ナノ計測,高谷 裕浩,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 81,No. 10,p. 911-914,2015年
  • フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究 (第1報),上野原 努,高谷 裕浩,水谷 康弘,道畑 正岐,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2015,p. 395-396,2015年
  • WGM共振を利用した微小球の直径計測(第4報),足立 篤,道畑 正岐,川嵜 彬史,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2015,p. 127-128,2015年
  • 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第5報),上田 真一,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2015,p. 121-122,2015年
  • DNAの相補性を用いたマイクロ部品自律的組み立てに関する研究(第3報),田代 裕之,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2015,p. 133-134,2015年
  • WGM共振を利用した微小球の直径計測(第3報),川嵜 彬史,道畑 正岐,足立 篤,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2015,p. 125-126,2015年
  • フェムトパストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第2報),大菊 崇弘,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2015,p. 129-130,2015年
  • Study on chemical interaction analysis of reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy,Ryota Murai,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Key Engineering Materials,Trans Tech Publications Ltd,Vol. 625,p. 332-338,2015年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Nanoparticle sizing method based on fluorescence anisotropy analysis,Terutake Hayashi,Yuki Ishizaki,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Shin-Ichi Tanaka,Measurement: Journal of the International Measurement Confederation,Elsevier B.V.,Vol. 59,p. 382-388,2015年,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of axial position of a microsphere using chromatic confocal system for probe system based on the laser trapping with the standing wave scale,Shin-ichi UEDA,Masaki MICHIHATA,Terutake HAYASHI,Yasuhiro TAKAYA,p. 223-227,2014年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fundamental study for measuring micro-flow with Michelson interferometer enhanced by external random signal,Masaki Michihata,Phong Tran Dang,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Journal of advanced mechanical design, systems, and manufacturing,Vol. 8,No. 4,p. 1-11,2014年10月,研究論文(学術雑誌)
  • 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第2報)−DNAプローブの回転拡散係数評価に基づく粒径計測手法の提案−,林 照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 80,No. 10,p. 956-960,2014年10月,研究論文(学術雑誌)
  • Feasibility study for optical micro-coordinate measurement based on fluorescence signal,Masaki Michihata,Ayano Fukui,Kenji Maruno,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,2014年09月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • パルストレインビームを用いたコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第1報 ) –コヒーレントフォノン励起加工システムの構築と加工基礎実験–,林 照剛,福田悠介,道畑正岐,高谷裕浩,精密工学会誌,Vol. 80,No. 9,p. 214-219,2014年09月,研究論文(学術雑誌)
  • パルストレインビームを用いたコヒーレントフォノン励起加工に関する研究 (第一報),林 照剛,福田 悠介,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 80,No. 9,p. 867-872,2014年09月,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Atsushi Adachi,Yasuhiro Takaya,CIRP Annals - Manufacturing technology,Vol. 63,No. 1,p. 469-472,2014年08月,研究論文(学術雑誌)
  • Fundamental validation for surface texture imaging using a microsphere as a laser-trapping-based microprobe,Masaki Michihata,Kosuke Takami,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Advanced Optical Technologies,Walter de Gruyter GmbH,Vol. 3,No. 4,p. 417-423,2014年08月01日,研究論文(学術雑誌)
  • Study on surface processing using femto pulse train beam -Processing by using double pulse train beam-,Terutake Hayashi,Yusuke Fukuta,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,2014年06月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Sensing a vertical surface by measuring a fluorescence signal using a confocal optical system,Masaki Michihata,Ayano Fukui,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Measurement science and technology,Vol. 25,No. 6,2014年06月,研究論文(学術雑誌)
  • 表面微細構造基板を用いた大気中レーザトラッピング技術,道畑正岐,林 照剛,高谷裕浩,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 80,No. 4,p. 382-387,2014年04月,研究論文(学術雑誌)
  • 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)−蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発−,石崎佑樹,林 照剛,道畑正岐,高谷裕浩,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 80,No. 2,p. 214-219,2014年02月,研究論文(学術雑誌)
  • ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究,村井亮太,高谷裕浩,林 照剛,道畑正岐,小松直樹,砥粒加工学会誌,社団法人 砥粒加工学会,Vol. 58,No. 2,p. 97-102,2014年02月,研究論文(学術雑誌)
  • Total Angle Resolved Scattering Characterization for Ultra-fine Finished Surface Areal-topography,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,PROCEEDINGS OF 2014 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTOMECHATRONIC TECHNOLOGIES (ISOT),IEEE,p. 200-204,2014年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Enhancement of sensing resolution for minute refractive index change of micro flow by light interferometer using stochastic resonance,Tran Dang Phong,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,2013年11月
  • Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectrometry,Ryota Murai,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Ken Kokubo,2013年11月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Study on surface processing process by using femto-second pulse train beam with excitation of coherent phonon,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Yusuke Fukuta,2013年10月
  • Optimization of Coupling Condition in Distance between the Sphere and the Tapered Fiber for Diameter Measurement of Microsphere by using WGM Resonance,Atsushi Adachi,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Vol. 306,p. 63-72,2013年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fundamental investigation for Stochastic metrology with multi-sensors for micro-system technology: In case of optical path length,Masaki Michihata,Tran Dang Phong,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,2013年09月
  • Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization,Yuki Ishizaki,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,2013年09月
  • Coordinate measurement of a microstructure using an optically trapped microprobe with two types of probing mode,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,2013年09月
  • Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance,Masaki Michihata,Ryosuke Gake,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,2013年07月
  • Surface detection of vertical sidewall by measuring fluorescent signal for three dimensional shape measurement of microstructures,Ayano Fukui,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,2013年07月
  • Fundamental study on chemical mechanical polishing of copper wafer surface using water-soluble fullerenol as a functional molecule,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,2013年06月
  • Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Vol. 8769,2013年04月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • DNAの相補性を用いたマイクロ部品自律的組み立てに関する研究(第2報):複数種のマイクロ部品の同時位置決めに関する検討,田代 裕之,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 513-514,2013年
  • 回折光トラッピングによるマイクロ部品の捕捉制御に関する研究(第1報):トラッピングの基本的特性の実験的検証,道畑 正岐,林 照剛,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 397-398,2013年
  • 蛍光検出によるマイクロトレンチ構造の3次元形状計測(第1報):垂直面から検出される蛍光信号特性,福井 彩乃,道畑 正岐,林 照剛,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 359-360,2013年
  • フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第1報):コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発,大菊 崇弘,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 273-274,2013年
  • 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第3報):スケールの内挿誤差の検討,上田 真一,道畑 正岐,林 照剛,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 355-356,2013年
  • WGM共振を利用した微小球の直径計測(第一報):結合条件が共振ピークに与える影響,足立 篤,道畑 正岐,林 照剛,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 67-68,2013年
  • 確率共鳴を利用した光干渉計によるマイクロ流れの微小屈折率変化の可視化(第1報):光散乱を用いた微小屈折率変化計測原理の検証,Tran Phong Dang,道畑 正岐,林 照剛,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 73-74,2013年
  • デジタルホログラフィを用いたリアルタイム3次元計測(キーノートスピーチ),林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 621-622,2013年
  • Surface analysis of the chemical polishing process using a fullerenol slurry by Raman spectroscopy under surface plasmon excitation,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Ryota Murai,Kazumasa Kano,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Vol. 62,No. 1,p. 571-574,2013年,研究論文(学術雑誌)
  • New Technique for Single-Beam Gradient-Force Laser Trapping in Air,Masaki Michihata,Tada-aki Yoshikane,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,International Journal of Optomechatronics,Vol. 7,No. 1,p. 46-59,2013年,研究論文(学術雑誌)
  • Development of a novel surface processing system using femto pulse train,Yusuke Fukuta,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Key Engineering Materials,Vol. 523-524,p. 220-225,2012年11月,研究論文(学術雑誌)
  • A novel batch fabrication of micro parts using DNA pattern recognition,Masafumi Yasuda,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Key Engineering Materials,Vol. 523-524,p. 598-603,2012年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Development of an optical heterogeneity evaluation system using phase-shift digital holography,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Key Engineering Materials,Vol. 523-524,p. 865-870,2012年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Taisuke Washitani,2012年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Improvement of laser trapping based microprobe for measuring vertical surface,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing,2012年09月,研究論文(学術雑誌)
  • Improvement of laser trapping based microprobe in laser shaded condition,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Journal of Advanced Mechanical Design, Systems and Manufacturing,The Japan Society of Mechanical Engineers,Vol. 6,No. 6,p. 764-770,2012年09月
  • Dimensional measurement of microform with high aspect ratio using an optically controlled particle with sensing standing wave scale,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Taisuke Washitani,CIRP Annals -Manufacturing Technology-,Vol. 61,No. 1,p. 479-482,2012年08月,研究論文(学術雑誌)
  • Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Taisuke Washitani,Terutake Hayashi,Proc. the 12th euspen international conference,2012年06月
  • Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarisation,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,International Journal of Nanomanufacturing,Vol. 8,No. 5/6,p. 54-66,2012年02月,研究論文(学術雑誌)
  • 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの選択的捕捉(第一報):微細構造による吸着力低減および光放射圧増強,吉兼 匡昭,道畑 正岐,林 照剛,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2012,p. 491-492,2012年
  • 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第1報):プローブ球挙動の簡易モデルの提案,道畑 正岐,高谷 裕浩,林 照剛,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2012,p. 971-972,2012年
  • DNAの相補性を用いたマイクロ部品自律的組み立てに関する研究,安田 聖文,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2012,p. 865-866,2012年
  • New technique of single-beam gradient-force laser trapping in air condition,Masaki Michihata,Tadaaki Yoshikane,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,2012 International Symposium on Optomechatronic Technologies, ISOT 2012,2012年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Evaluation of optical heterogeneity using phase-shift digital holography,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,International Journal of Nanomanufacturing,Vol. 8,No. 5-6,p. 508-521,2012年,研究論文(学術雑誌)
  • Total angle-resolved scattering: characterization of microlens mold surface,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Procedia Engineering,Vol. 19,2011年12月,研究論文(学術雑誌)
  • Optically controlled surface sensing probe enhanced by radially polarized laser beam,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proc. The 6th LEM21,2011年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • In-situ Raman analysis of chemical reaction for copper-CMP using water-soluble fullerenol,Kazumasa Kano,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Ken Kokubo,Proc. The 4th ASPEN,2011年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Damping nature of vibrated surface-sensing probe controlled by optical radiation pressure,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proc. LMPMI2011,Vol. 2156,p. 65-71,2011年09月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Profile measurement using standing wave trapping,Taisuke Washitani,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Proc. SPIE,Vol. 8097,2011年08月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Development of in-situ evaluation system for monitoring the size of nanoparticles based on fluorescence polarization,Kok Foong Lee,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Proc. ISMTII2011,2011年07月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • DNA autonomous joint for micro self-assembly,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Masafumi Yasuda,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the 11th euspen International Conference,2011年05月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Scanning type microprobe for displacement measurement based on standing wave detection using an optically trapped particle,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,International Journal of Automation Technology,Vol. 5,No. 3,p. 395-402,2011年05月,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of micro figure using microprobe for coordinate metrology controlled by optical radiation,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,ICOMM2011,2011年03月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発,福田 悠介,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2011,p. 387-388,2011年
  • Laser trapping based surface sensing probe using Brownian motion for nano-coordinate measurement,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,ICMT,2010年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Measurement of Micro Fine Figure Using Radiation Pressure Controlled Micro-Displacement Sensor,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,CIRP HPC,2010年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Coordinate Measurement of Micro Groove on MEMS Devise by Optically Controlled Microprobe,Mitsutoshi Kobayashi,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,ISOT,2010年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Microprobe for coordinate metrology controlled by optical radiation pressure,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Mitsutoshi Kobayashi,COMS,2010年09月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Development of In-Process Evaluation for Microlens Mold Using AngleResolved Scattering System,TERUTAKE Hayashi,YUKI Nakatsuka,YASUHIRO Takaya,Key Engineering Materials,Vol. 447-448,p. 595-598,2010年07月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Surface Inspection of Micro Glass Lens Mold Based on Total Angle Resolved Scattering Characterization,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Naohiro Motoishi,Yuki Nakatsuka,International Journal of Automation Technology,2010年05月,研究論文(学術雑誌)
  • 【知的ナノ計測専門委員会】 知的ナノ計測による革新的ものづくり基盤技術の創出,高谷 裕浩,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 76,No. 10,p. 1117-1120,2010年
  • Microdisplacement sensor using an optically trapped microprobe based on the interference scale,M. Michihata,T. Hayashi,D.Nakai,Y. Takaya,Review of Scientific Instruments,Vol. 81,No. 1,2010年01月,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of axial and transverse trapping stiffness of optical tweezers in air using a radially polarized beam,M. Michihata,T. Hayashi,Y. Takaya,Applied Optics,Vol. 48,No. 32,p. 6143-6151,2009年11月,研究論文(学術雑誌)
  • ナノ振動型レーザトラップにおけるプローブ周囲流体解析シミュレータの構築,田中晋平,高谷裕浩,林 照剛,日本機械学会論文集C編,Vol. 75,No. 757,p. 2453-2455,2009年10月,研究論文(学術雑誌)
  • Dynamic properties of a micro-sphere optically trapped in air by radially polarized laser beam,M.Michihata,Y.Takaya,T.Hayashi,Proceedings of SPIE,Vol. 7400,2009年08月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Novel contact probing method using single fiber optical trapping probe,Sang In Eom,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY,ELSEVIER SCIENCE INC,Vol. 33,No. 3,p. 235-242,2009年07月,研究論文(学術雑誌)
  • 3D microfabrication of silver nanoparticle composite having mesoporous structure(To be published),Terutake HAYASHI,Yasuhiro TAKAYA,Kenji SHIRAI,Proceedings of the European Society for Precision Engineering and Nanotechonology 2009 (EUSPEN),2009年06月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究-研磨特性の検証-,田近 英之,高谷 裕浩,林 照剛,田名田祐樹,小久保 研,鈴木恵友,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 75,No. 4,p. 489-495,2009年04月,研究論文(学術雑誌)
  • Probing technique using circular motion of a microsphere controlled by optical pressure for a nanocoordinate measuring machine,Masaki Michihata,Yuto Nagasaka,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Applied Optics,OSA - The Optical Society,Vol. 48,No. 2,p. 198-205,2009年01月10日,研究論文(学術雑誌)
  • 自己組織型マイクロ光造形法に関する研究,林 照剛,高谷 裕浩,岡部 弘道,馬場 惇,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 75,No. 10,p. 1227-1232,2009年
  • S1303-1-1 非球面マイクロレンズ金型の非接触表面性状評価システムの開発(加工計測・評価システム(1)),林 照剛,高谷 裕浩,本石 直弘,年次大会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2009,p. 267-268,2009年
  • SPECIAL ISSUE: ADVANCES IN INTELLIGENT NANO-MEASUREMENT TECHNOLOGY,Gao Wei,Takamasu Kiyoshi,Takaya Yasuhiro,Takahashi Satoru,INTERNATIONAL JOURNAL OF SURFACE SCIENCE AND ENGINEERING,Vol. 3,No. 3,p. 157-159,2009年
  • Fundamental study on the position detection signal analysis for the fibre optical trapping probe,S. I. Eom,T. Hayashi,Y. Takaya,INTERNATIONAL JOURNAL OF SURFACE SCIENCE AND ENGINEERING,INDERSCIENCE ENTERPRISES LTD,Vol. 3,No. 3,p. 208-226,2009年,研究論文(学術雑誌)
  • NANO-DIMENSIONAL MEASUREMENT USING OPTICALLY TRAPPED PROBE ENHANCED BY INTERFEROMETRIC SCALE,Masaki Michihata,Daisuke Nakai,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,XIX IMEKO WORLD CONGRESS: FUNDAMENTAL AND APPLIED METROLOGY, PROCEEDINGS,IMEKO,p. 1929-1934,2009年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces,Y. Takaya,H. Tachika,T. Hayashi,K. Kokubo,K. Suzuki,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,TECHNISCHE RUNDSCHAU EDITION COLIBRI LTD,Vol. 58,No. 1,p. 495-498,2009年,研究論文(学術雑誌)
  • 光放射圧プローブを用いたナノCMMの開発,高谷裕浩,計測と制御,Vol. 47,No. 9,p. 744-750,2008年09月
  • Nano position sensing based on laser trapping technique for flat surfaces,M. Michihata,Y. Takaya,T. Hayashi,MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY,IOP PUBLISHING LTD,Vol. 19,No. 8,2008年08月,研究論文(学術雑誌)
  • In-situ particle sizing system to visualizing the self-assembly process,Satoshi Ota,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE,2008年06月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • A novel CMP process using the size-controllable poly-hydroxylated fullerene cluster,Hideyuki TACHIKA,Yasuhiro TAKAYA,Terutake HAYASHI,Ken KOKUBO,Keisuke SUZUKI,Kenji SHIRAI,2008年05月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • LCD Microstereolithography of Photosensitive Resin with Functional Particles,Terutake HAYASHI,Yasuhiro TAKAYA,Dongkeon Lee,2008年03月,研究論文(学術雑誌)
  • 光放射圧を利用したナノCMMマイクロプローブ,高谷裕浩,精密工学会誌,2008年03月
  • 3404 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究 : 第2報 平坦化特性の検証(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境),田近 英之,高谷 裕浩,林 照剛,小久保 研,年次大会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2008,p. 251-252,2008年
  • 3403 光放射圧を利用したマイクロプローブによるナノ三次元座標測定に関する研究(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境),道畑 正岐,高谷 裕浩,林 照剛,中井 大介,年次大会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2008,p. 249-250,2008年
  • In-situ evaluation of nanoparticle diameter for visualizing self-assembly process,Satoshi Ota,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,NINTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY, PTS 1 AND 2,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 7155,2008年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 光応用マイクロ・ナノ加工計測技術,高谷裕浩,機械の研究,養賢堂,2008年01月
  • 計測・測定の現状と今後の動向,高谷裕浩,型技術,日刊工業新聞,2008年01月
  • Development of the nano-probe system based on the laser-trapping technique,M. Michihata,Y. Takaya,T. Hayashi,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Vol. 57,No. 1,p. 493-496,2008年,研究論文(学術雑誌)
  • Numerical Analysis of Fluid Resistance Exerted on Vibrating Micro-Sphere Controlled by Optical Radiation Pressure,Shimpei Tanaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION V,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 7038,2008年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • FUNDAMENTAL STUDY FOR DEVELOPING THE NANO-CMM WITH A MICRO PROBE BASED ON OPTICAL FORCE DYNAMICS,Yasuhiro Takaya,2007年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • A Study on a Fluorescence Polarization Measurement Using Grid Irradiation from LCD,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Hiroki Akase,2007年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Measurement of oscillating condition for 3D probing accuracy of microparts using the laser trapping probe for the nano-CMM,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Takashi Miyoshi,International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2007(ISMTII) in Sendai Japan,,2007年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 微細加工用マイクロ工具の光応用ナノ計測,高谷裕浩,機械技術,日刊工業新聞,2007年10月
  • 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウェハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第2報)―走査欠陥計測法の提案―,吉岡淑江,三好隆志,高谷裕浩,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 73,No. 6,p. 648-652,2007年06月,研究論文(学術雑誌)
  • インプロセス/オンマシン・ナノ計測技術の新展開,高谷裕浩,機械技術,日刊工業新聞,2007年06月
  • 3513 金属フィラーを用いた液晶マイクロ光造形に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム),岡部 弘道,高谷 裕浩,三好 隆志,林 照剛,年次大会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2007,p. 243-244,2007年
  • 3511 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム),田近 英之,高谷 裕浩,三好 隆志,林 照剛,年次大会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2007,p. 239-240,2007年
  • Circular motion control of an optically trapped microprobe for nano-position sensing,Yuto Nagasaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION IV,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 6644,2007年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 超微細形状・精密加工を支援するオンマシン・ナノ計測技術の開発動向,高谷裕浩,機械技術,日刊工業新聞,2006年12月
  • 銀粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究,李 東建,三好隆志,林 照剛,高谷裕浩,岡部弘道,精密工学会誌,Vol. 72,No. 11,p. 1411-1415,2006年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle,Hiroki Tanada,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Keiichi Suzuki,Proceedings of ASPE 21st Annual Meeting(ASPE'06),2006年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 赤外エバネッセント光によるSOIウエハ薄膜層欠陥検出に関する研究 : SOI層表面エバネッセント場の特性解析,中島 隆介,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会誌論文集,公益社団法人精密工学会,Vol. 72,No. 6,p. 785-790,2006年06月05日
  • 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究の測定実験),K. パナート,三好 隆志,高谷 裕浩,原田 孝,砂金 総一郎,日本機械学会論文集(C編),Vol. 72,No. 718,p. 1730-1737,2006年06月,研究論文(学術雑誌)
  • LCD Micro Stereolithography of Conductive Micro Shapes using Silver Particles Photosensitive Resin,Dongkeon Lee,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of the 7th International Symposium on Laser Precision Microfabrication,2006年05月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Nano surface texture evaluation of micro lens mold using light scattering pattern,Terutake Hayashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Kenji Shirai,Proceeding of the 6th international conference and 8th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,2006年05月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 1513 光散乱法を用いたマイクロレンズ金型の非接触表面性状評価(S76 加工計測・評価システム,S76 加工計測・評価システム),林 照剛,高谷 裕浩,三好 隆志,年次大会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2006,p. 79-80,2006年
  • Evaluation of laser trapping probe properties for coordinate measurement,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,OPTOMECHATRONIC SENSORS, INSTRUMENTATION, AND COMPUTER-VISION SYSTEMS,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 6375,2006年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • A novel surface finishing technique for microparts using an optically controlled,Y. Takaya,K. Hida,T. Miyoshi,T. Hayashi,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 55,No. 1,p. 613-616,2006年,研究論文(学術雑誌)
  • The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping,Sang In Eom,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION III,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 6326,2006年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • ナノ3次元形状計測技術,高谷 裕浩,表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan,一般社団法人 表面技術協会,Vol. 56,No. 12,p. 780-786,2005年12月01日
  • セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形に関する研究,李 東建,三好隆志,高谷裕浩,河 兌坪,林 照剛,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 71,No. 11,p. 1415-1420,2005年11月,研究論文(学術雑誌)
  • New Mass Measurement Method of Aerosol Particle Using Vibrating Probe Particle Controlled by Radiation Pressure,Tatsuo Hariyama,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,SPIE,2005年10月,研究論文(学術雑誌)
  • On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction,Panart KHAJORNRUNGRUANG,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Takashi HARADA,Soichiro ISAGO,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping,Sang In EOM,Yasuhiro TAKAYA,Takashi MIYOSHI,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force,Kenshiro Hida,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask,Hideaki Imahori,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method,Toshie Yoshioka,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Kenji Shirai,Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,2005年06月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography,Dongkeon Lee,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Taeho Ha,Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication,2005年04月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Laser-assisted CMP for Copper Wafer,Taeho Ha,Keiichi KIMURA,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Material Science Forum,Vol. 502,p. 351-356,2005年03月,研究論文(学術雑誌)
  • 2624 レーザ回折を利用した極小径エンドミルの3次元切れ刃プロファイル計測(S72 加工計測・評価システム),高谷 裕浩,カチョーンルンルアン パナート,林 照剛,三好 隆志,年次大会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2005,p. 85-86,2005年
  • Particle detection for patterned wafers of 100nm design rule by evanescent light illumination - Analysis of evanescent light scattering using Finite-Difference Time-Domain (FDTD) method,Toshie Yoshioka,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 6049,2005年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light,Ryusuke Nakajima,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 6013,2005年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Detection of defects on the surface of a cam shaft using laser scattering method,S. Dejima,T. Miyoshi,Y. Takaya,Y. Maeno,7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments,IOP PUBLISHING LTD,Vol. 13,p. 36-39,2005年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Development of an evanescent light measurement system for si wafer microdefect detection,S Takahashi,R Nakajima,T Miyoshi,Y Takaya,K Takamasu,MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI,TRANS TECH PUBLICATIONS LTD,Vol. 295-296,p. 15-20,2005年,研究論文(学術雑誌)
  • Laser scattering measurement of microdefects on silicon oxide wafer,T Ha,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI,TRANS TECH PUBLICATIONS LTD,Vol. 295-296,p. 3-8,2005年,研究論文(学術雑誌)
  • Dynamic properties measurement of vibrating microprobe for nano-position sensing using radiation pressure control,Yasuhiro Takaya,Keijiro Imai,Shuichi Dejima,Takashi Miyoshi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5930,p. 1-8,2005年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Nano-position sensing using optically motion-controlled microprobe with PSD based on laser trapping technique,Y Takaya,K Imai,S Dejima,T Miyoshi,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,TECHNISCHE RUNDSCHAU EDITION COLIBRI LTD,Vol. 54,No. 1,p. 467-470,2005年,研究論文(学術雑誌)
  • 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究ー第1報,光回折ゲージ法の提案とその検証実験ー,Panart KHAJORNRUNGRUANG,三好隆志,高谷裕浩,原田 孝,砂金 総一郎,日本機械学会論文集(C編),一般社団法人 日本機械学会,Vol. 70,No. 700,p. 3556-3563,2004年11月,研究論文(学術雑誌)
  • High-Precision On-Machine 3-D Shape Measurement using Hypersurface Calibration Method,Taeho Ha,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Shingo Ishizuka,SPIE,Vol. 5603,p. 40-50,2004年10月,研究論文(学術雑誌)
  • Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control,Yasuhiro Takaya,K. Imai,Taeho Ha,Takashi Miyoshi,CIRP ANNALS,Vol. 53,No. 1,p. 421-424,2004年08月,研究論文(学術雑誌)
  • Fundamental Properties of Chemical Mechanical Polishing for Copper Layer Assisted by Optical Radiation Pressure,Ryosuke TSUJIO,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Keiichi KIMURA,JSME International Journal,Vol. 47,No. 1,p. 85-92,2004年06月,研究論文(学術雑誌)
  • Optical 3D profilometer for in-process measurement of microsurface based on phase retrieval technique,Atsushi Taguchi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Vol. 28,No. 2,p. 152-163,2004年04月,研究論文(学術雑誌)
  • Microfabrication of overhanging shape using LCD microstereolithography,Gohki Oda,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,H. A. Taeho,Keiichi Kimura,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5662,p. 649-654,2004年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 測定点群データからの自由曲面生成(共著),後藤孝行,高谷裕浩,三好隆志,型技術,Vol. 19,No. 13,2004年
  • 実体モデルの測定点群データへの自由曲面あてはめ処理(共著),後藤孝行,高谷裕浩,三好隆志,型技術,Vol. 18,No. 13,p. 66-67,2003年12月
  • Lazer Diffraction Edge Profile Method of Micro Cutting Tool for On-Machine Measurement,Khajournrungruang, P,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Takashi Harada,Soichiro Isago,Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,p. 113-118,2003年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • A Robust Measurement for Tooth Form Ggrinding Works of a Helical Gear,Takashi Harada,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2003,p. 107-112,2003年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Size Determination of Microscratches on Silicon Oxide Wafer Surface Using Scattered Light,Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology,Vol. 27,No. 3,p. 265-272,2003年07月,研究論文(学術雑誌)
  • Phase retrieval profilometer for in-process measurement of 3D microstructure surfaces,A. Taguchi,H. Yamakita,Y. Takaya,T. Miyoshi,S. Takahashi,Optelectronics, Instrumentation and Data Processing,Vol. 39,No. 5,p. 16-24,2003年04月,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement and machining in microfabrication based on radiation pressure control,Yasuhiro TAKAYA,Takashi MIYOSHI,Satoru TAKAHASHI,Journal of OPTICS AND PRECISION ENGINEERING,2003年02月,研究論文(学術雑誌)
  • Rotational Micromachining Tool Controlled by Optical Radiation Pressure,Yasuhiro Hidaka,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Tetsuo Sasaki,Kenji Shirai,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5063,p. 238-241,2003年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 光放射圧制御微粒子集積現象に基づくCMP加工に関する基礎研究,木村景一,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲,精密工学会誌,2003年01月,研究論文(学術雑誌)
  • 液晶光造形法によるマイクロ3次元形状加工,高谷 裕浩,計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers,The Society of Instrument and Control Engineers,Vol. 41,No. 11,p. 803-806,2002年11月10日
  • Si Wafer SurfaceInspection Technique for Next-generation Semiconductor Using Infrared Evanescent Wave,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Mitsunori FUJITA,Ryusuke NAKAJIMA,Proceeding of the International Conference on Designing of Interfacial Structures in Advanced Materials and their Joints (DIS'02), (2002), 353-358,2002年11月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • New planarization method assisted by aggregated particles created with optical radiation pressure,Keiichi Kimura,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of 19th International VLSI multilevel interconnection conference (VMIC), (2002) 139,2002年11月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Annular Illumination with Crossed Nicols,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Takahiro ABE,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 41-46,2002年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping,Keiichi KIMURA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 37-40,2002年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • The Microprobe for Nano-Positional Detection Using Optically Forced Vibrationi Method,Yasuhiro TAKAYA,Masatoshi NISHIKAWA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 367-372,2002年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • New Chemical Mechanical Polishing Method Assisted by Laser Particle Trapping,Keiichi Kimura,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of 7th International Symposium on Chemical-Mechanical Polishing (2002),2002年08月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Study on Laser Microstructure Fabrication Using Colloidal Particles Contrlled by Radiation Pressure,Yasuhiro TAKAYA,Keiichi KIMURA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Proceedings of 2002 Japan-USA Symposium on Flexible Automation, (2002) 759-765,2002年07月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第2報)-高速欠陥計測法の提案-,高橋 哲,三好隆志,高谷裕浩,立野泰史,精密工学会誌,68,7(2002)962-966,公益社団法人精密工学会,Vol. 68,No. 7,p. 962-966,2002年07月,研究論文(学術雑誌)
  • Evaluation of Microdefects on SiO2 Filmed Wafer Surface form the Scattering Light,Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 745-748,2002年05月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Novel Measurement Method for Nano-Defects of Si Wafer Surface Using Evanescent Wave,Ryusuke NAKAJIMA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Mitsunori Fujita,Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 485-488,2002年05月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile,A. Taguchi,T. Miyoshi,Y. Takaya,S. Takahashi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 4900,No. 2,p. 739-746,2002年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile,A Taguchi,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,SEVENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY APPLIED TO SCIENCE, INDUSTRY, AND EVERYDAY LIFE, PTS 1 AND 2,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 4900,p. 739-746,2002年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Probing technique for microparts using optically trapped particle by annular beam,M Nishikawa,Y Takaya,S Takahashi,M Uekita,T Miyoshi,INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PHOTONICS IN MEASUREMENT,V D I-V D E - VERLAG GMBH,Vol. 1694,p. 103-108,2002年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Development of Automatic Light Scattering Measurement System for Si Wafer Microdefects,Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 4th International Symposium on Advances in Abrasive Technology-Intelligent Machining of the Components for Information Technology (ISAAT'01), (2001) 383-386,2001年11月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing for Planarization,Keiichi KIMURA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 16th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'01), (2001) 537-540,2001年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • FDTD Simulation of IR Evanescent Light for Nanodefects Inspection in Polished Si Wafer Subsurface,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Proceedings of the 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 21-25,2001年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Darkfield Optical System with Annular Laser Beam,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 13-19,2001年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 液晶動画像マスクを用いた非積層マイクロ光造形,高谷裕浩,林 照剛,三好隆志,高橋 哲,型技術,2001年08月,研究論文(学術雑誌)
  • Analysis of Defects on SiO2 filmed wafer -Evaluation of CMP Defect Detection Schemes using Computer simulation (BEM),Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 10th International Conference on Production Engineering (ICPE'01) , (2001) 684-688,2001年07月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第1報)-光リング画像によるエッジ自動検出-,Seojoon LEE,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会誌,67,6(2001)997-1002,公益社団法人精密工学会,Vol. 67,No. 6,p. 997-1002,2001年06月,研究論文(学術雑誌)
  • Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Ryusuke NAKAJIMA,Proceedings of the 2nd International Conference and 3rd General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'01), (2001) 102-105,2001年05月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究(第1報)-濃淡画像による非積層造形-,林 照剛,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会誌,67,6(2001)997-1002,2001年04月,研究論文(学術雑誌)
  • 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究 -濃淡画像による非積層造形-,林 照剛,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会誌,2001年04月,研究論文(学術雑誌)
  • Analysis of defects on SIO2 filmed wafer,T Ha,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,INITIATIVES OF PRECISION ENGINEERING AT THE BEGINNING OF A MILLENNIUM,SPRINGER,p. 684-688,2001年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • High sensitivity optical detection of oriented microdefects on silicon wafer surfaces using annular illumination,T Miyoshi,S Takahashi,Y Takaya,S Shimada,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,TECHNISCHE RUNDSCHAU EDITION COLIBRI LTD,Vol. 50,No. 1,p. 389-392,2001年,研究論文(学術雑誌)
  • マイクロマシンとナノCMMレーザトラッピングプローブ,高谷裕浩,第11回・三次元工学研究会 資料集, pp.~11-18,2000年12月
  • 高密度3-Dデジタイジングデータに基づく自由曲面生成処理,後藤孝行,高谷裕浩,高橋 哲,三好隆志,型技術, Vol.~15, No.~13, pp.~30-31,2000年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Study on The 3-D Laser Inverse Scattering Phase Method for Evaluationg Microstructure,Yasuhiro Takaya,Atsushi Taguchi,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Proceeding of SPIE's International Symposium on Process Control and Inspection for Industry, SPIE Vol.~4222, pp.~44-47, 2000,Vol. 4222,p. 44-47,2000年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the ASME Manufacturing Engineering Division, pp.~209-214,2000年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools,Jian Bai,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Satoru Takahashi,Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734,Vol. 66,No. 11,p. 1729-1734,2000年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Surface Fitting Based on Optical 3-D Measurement,Takayuki Gotoh,Asahikawa National,College of Technology,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Satoru Takahashi,Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume III, pp.~109-114,2000年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Laser Trapping Micro-probe for Nano-CMM,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume II, pp.~235-241,2000年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Patterned Wafer Defects Inspection by Laser Scattering Image,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume II, pp.~295-299,2000年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Microcrack Evaluation using Laser Backscattering,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume II, pp.~301-306,2000年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 液晶マスクを用いた非積層光造形法に関する研究,林 照剛,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,型技術,2000年08月,研究論文(学術雑誌)
  • ナノCMMレーザトラッピングプローブに関する研究(第1報)---3次元位置検出の基本原理---,高谷裕浩,佐藤憲章,高橋 哲,三好隆志,清水浩貴,渡辺万次郎,精密工学会誌, Vol.~66, No.~7, pp.~1081-1086,2000年07月,研究論文(学術雑誌)
  • Free-Form Surface Fitting 3-D Digitized Data in Reverse Engineering,Takayuki GOTOH,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,The 8th International Conference on Rapid Prototyping,p. 56-61,2000年06月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Direct 3D Forming Using TFT LCD Mask,Terutake Hayashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of the 8th International Conference on Rapid Prototyping, pp.~172-177,2000年06月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Nonlaminate Micro Stereolithography Using TFT LCD,Terutake Hayashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of the 2nd euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology, Volume 1, pp.~98-106,2000年06月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 液晶マスクを用いた非積層光造形法に関する研究,林 照剛,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,型技術, Vol.~15, No.~8, pp.~52-53,2000年06月,研究論文(学術雑誌)
  • 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する基礎的研究,清水浩貴,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会誌, Vol.~66, No.~6, pp.~901-906,Vol. 66,No. 6,p. 901-906,2000年06月,研究論文(学術雑誌)
  • Non-contact 3-D Edge Profile Measurement for Die and Mold Model Surface,Seojoon Lee,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of the International Conference on Precision Engineering (ICoPE) 2000, pp.~449-454,2000年03月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 3D micro-profile measurement using optical inverse scattering phase method,A Taguchi,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,K Saito,CIRP ANNALS 2000: MANUFACTURING TECHNOLOGY,HALLWAG PUBLISHERS,p. 423-426,2000年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Surface Fitting Based on Optical 3-D Measurement,高谷裕浩,(]G0008[)/,109,Proceedings of The 16th IMEKO World Congress,2000年
  • Patterned Wafer Defects Inspection by Laser Scattering Image,高谷裕浩,Volume (]G0002[)/,295,Proceedings of The 16th IMEKO World Congress,2000年
  • Direct 3D Forming Using TFT LCD Mask,高谷裕浩,Volume 1/,172,Proceedings of 2nd euspen(european society for precision engineering and nanotechnology),2000年
  • 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する基礎的研究(共著),高谷裕浩,65/6,901,精密工学会誌,2000年,研究論文(学術雑誌)
  • Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools,高谷裕浩,66/11,1729,精密工学会誌,Vol. 66,No. 11,p. 1729-1734,2000年,研究論文(学術雑誌)
  • 3D micro-profile measurement using optical inverse scattering phase method,A Taguchi,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,K Saito,CIRP ANNALS 2000: MANUFACTURING TECHNOLOGY,HALLWAG PUBLISHERS,p. 423-426,2000年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • CMMレーザとラッピングプローブに関する研究(第1報)-3次元位置検出の基本原理-(共著),高谷裕浩,66/7,1081,精密工学会誌,Vol. 66,No. 7,p. 1081-1086,2000年,研究論文(学術雑誌)
  • Simulation for laser trapping on arbitrary shaped particles,E Bai,Y Takaya,T Miyoshi,S Takahashi,PROCEEDINGS OF THE FIFTEENTH ANNUAL MEETING OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING,AMER SOC PRECISION ENGINEERING,p. 336-339,2000年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Nano-positional detection using laser trapping probe for microparts,Y Takaya,S Takahashi,T Miyoshi,PROCEEDINGS OF THE FIFTEENTH ANNUAL MEETING OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING,AMER SOC PRECISION ENGINEERING,p. 584-587,2000年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 3次元自由曲面のエッジプロファイル計測に関する研究,李 ソジュン,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,型技術, Vol.~14, No.~12, pp.~46-47,1999年12月,研究論文(学術雑誌)
  • 高密度3-Dデジタイジングデータに基づく自由曲面生成処理 ---B-spline閉曲線のあてはめ---,後藤孝行,高谷裕浩,高橋 哲,三好隆志,型技術, Vol.~14, No.~12, pp.~44-45,1999年12月,研究論文(学術雑誌)
  • Computer Simulation for Laser Trapping on Micro-particles with Arbitrary Shape,Jian Bai,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,International Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.~33, No.~4, pp.~363-368,Vol. 33,No. 4,p. 363-368,1999年12月,研究論文(学術雑誌)
  • 金型加工曲面の光リング式3D形状計測センサの開発(第1報)---金属面の光散乱シミュレーションとその検証---,聶 朝胤,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,梁田和雄,精密工学会誌, Vol.~65, No.~11, pp.~1668-1673,1999年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Optical Measurement of COP Defects on Silicon Wafer Surfac by Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Kenji Shirai,Nihon Univeri,Proceedings of the 14th ASPE Annual Meeting, pp.~344-347,p. 344-347,1999年11月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第2報)---擬頂点を用いた曲線曲面・曲面の接続法---,後藤孝行,高谷裕浩,高橋 哲,三好隆志,精密工学会誌, Vol.~65, No.~10, pp.~1430-1434,1999年10月,研究論文(学術雑誌)
  • 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第1報)---微小付着異物の光散乱パターン特性解析---,高橋 哲,三好隆志,高谷裕浩,立野泰史,平田文彦,劔持妥茂哉,精密工学会誌, Vol.~65, No.~9, pp.~1284-1289,1999年09月,研究論文(学術雑誌)
  • Analysis of Laser Scattered Defect Pattern for Optical Measurement of Silicon Wafer Surface Defects,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the 9th International Conference on Production Engineering (ICPE), pp.~384-389,1999年08月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 金型加工曲面の光リング式3次元形状計測センサーの開発研究 ---金属面の光散乱シミュレーションとその検証---,聶 朝胤,三好隆志,高谷裕浩,梁田和雄,型技術, Vol.~14, No.~7, pp.~140-141,1999年07月,研究論文(学術雑誌)
  • In-Process Error Compensation for Involute Spur Gear Tooth Form Grinding Works,Takashi Harada,Kazuhiro Kotani,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the 15th IMEKO World Congress, Vol.~3, pp.~207-214,1999年06月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Fundamental Characteristics of the Laser Trapping Probe for the Nano-CMM Based on Linnik Microscope Interferometer,Yasuhiro Takaya,Noriaki Sato,Hiroki Shimizu,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 15th IMEKO World Congress, Vol.~3, pp.~81-88,1999年06月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Development of the nano-CMM probe based on laser trapping technology,Y Takaya,S Takahashi,T Miyoshi,K Saito,CIRP ANNALS 1999 - MANUFACTURING TECHNOLOGY,HALLWAG PUBLISHERS,p. 421-424,1999年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fundamental study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and Mirau interferometer,Yasuhiro Takaya,Hiroki Shimizu,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Measurement: Journal of the International Measurement Confederation,Elsevier,Vol. 25,No. 1,p. 9-18,1999年,研究論文(学術雑誌)
  • Study on micro-machining using optical radiation pressure,H Shimizu,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,PRECISION ENGINEERING, NANOTECHNOLOGY, VOL 1, PROCEEDINGS,SHAKER VERLAG GMBH,p. 199-202,1999年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fundamental study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and Mirau interferometer,Yasuhiro Takaya,Hiroki Shimizu,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Measurement: Journal of the International Measurement Confederation,Elsevier,Vol. 25,No. 1,p. 9-18,1999年,研究論文(学術雑誌)
  • 19th JIMTOFにみる最新技術動向 ---計測技術---,高谷裕浩,機械と工具, Vol.~43, No.~1, pp.~24-31,1999年01月
  • Analysis of Laser Scattered Defect Pattern for Optical Measurement of Silicon Wafer Surface Defects,高谷裕浩,/,384,Proceedings of 9th ICPE(International Conference on Production Engineering),1999年
  • Study on micro-machining using optical radiation pressure,H Shimizu,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,PRECISION ENGINEERING, NANOTECHNOLOGY, VOL 1, PROCEEDINGS,SHAKER VERLAG GMBH,p. 199-202,1999年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fundamental Characteristics of The Laser Trapping Probe for The Nano-CMM Based on Linnik Microscope Interferometer,高谷裕浩,(]G0008[)/,81,Proceedings of The 15th IMEKO World Congress,1999年
  • 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第1報)-微小付着異物の光散乱パターン特性解析-(共著),高谷裕浩,69/9,1284,精密工学会誌,1999年,研究論文(学術雑誌)
  • Development of the nano-CMM probe based on laser trapping technology,Y Takaya,S Takahashi,T Miyoshi,K Saito,CIRP ANNALS 1999 - MANUFACTURING TECHNOLOGY,HALLWAG PUBLISHERS,p. 421-424,1999年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fundamental Study on The New Probe Technique for The Nano-CMM based on The Laser Trapping and Mirau Interferometer,高谷裕浩,25/1,9,Measurement,1999年,研究論文(学術雑誌)
  • 光リング式変位センサによる3次元エッジプロファイル計測に関する研究,李ソジュン,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,型技術, Vol.~13, No.~13, pp.~40-41,1998年12月,研究論文(学術雑誌)
  • 意匠設計における実体モデルの形状計測と複合パッチ曲面生成,後藤孝行,工業高等専門学校,高谷裕浩,高橋 哲,三好隆志,型技術, Vol.~13, No.~13, pp.~44-45,1998年12月,研究論文(学術雑誌)
  • Design Model Based In-process Measuring Method of a Three-Dimensional Micro-profile by Employing the Laser Inverse Scattering Phase Reconstruction Method,Yasuhiro Takaya,Kazuhiro Wake,Motoki Izukura,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Proceeding of SPIE's International Symposium on Intelligent Systems and Advanced Manufacturing, Vol.~3520, pp.~170-179,Vol. 3520,p. 170-179,1998年11月,研究論文(学術雑誌)
  • Optical Radiation Pressure Micro-machining Using Diamond Grain,Takashi Miyoshi,Hiroki Simizu,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the 4th Intrenational Micromachine Symposium, pp.~99-104,1998年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Development of a New Optical Ring Image Sensor for 3D Free Form Metal Surface --- Computer Simulation of Metal Rough Surface Scattering ---,Chaoyin Nie,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of the 4th Japan-France Congress \& 2nd Asia-Europe Congress on Mechatronics, Vol.~2, pp.~552-556,1998年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Study on 3-Dimensional Edge Profile Measurement for Free Form Surface by Optical Ring Image Sensor,Seojoon Lee,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Kenji Shirai,Nihon University,Proceedings of the 14th International Conference on Computer-Aded Production Engineering (CAPE'98), pp.~373-378,1998年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Fitting and Connecting Free-Form Surfaces onto Digitized Data in Reverse Engineering,Takayuki Gotoh,Asahikawa National,College of Technology,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 14th International Conference on Computer-Aded Production Engineering (CAPE'98), pp.~367-372,1998年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Profile Estimation of Ultra-precision Diamond Turned Surfaces by Laser Diffraction Method,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 6th ISMQC IMEKO Symposium, pp.~643-650,1998年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Development of Silicon Wafer Surface Defects Measurement System Based on Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of ISMTII'98 4th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, pp.~120-125,1998年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Develpment of the Laser Trapping Probe for the Three Dimentional Coordinate Measurement of Micro Parts,Yasuhiro Takaya,Seiji Tsuiji,Hiroki Shimizu,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Proceedings of ISMTII'98 4th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, pp.~196-203,1998年09月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • In-prcess Meaurement Method for Detection and Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Katsumasa Saito,Gumma Polytechnic College,Annals of CIRP, Vol.~47, No.~1, pp.~459-462,Vol. 47,p. 459-462,1998年07月,研究論文(学術雑誌)
  • 光リング式変位センサによる3次元自由曲面エッジプロファイル計測に関する研究 ---エッジライン抽出法の検討---,李ソジュン,高谷裕浩,三好隆志,高橋 哲,後藤孝行,型技術, Vol.~13, No.~8, pp.~116-117,1998年07月,研究論文(学術雑誌)
  • 計測制御に関する21世紀への展望 ---新たな波の原動力となる計測技術への期待---,高谷裕浩,計測技術, Vol.~26, No.~5, pp.~38-40,1998年04月
  • レーザ光検出パターンによるシリコンウェハ加工表面の欠陥識別,平田文彦,立野泰史,高橋 哲,高谷裕浩,三好隆志,砥粒加工学会誌, Vol. 42, No. 2, pp43-44,Vol. 42,No. 2,p. 85-86,1998年02月,研究論文(学術雑誌)
  • レーザ光検出パターンによるシリコンウェハ加工表面の欠陥識別(共著),平田文彦,立野泰史,高橋 哲,高谷裕浩,三好隆志,砥粒加工学会誌,Vol. 42,No. 2,p. 85-86,1998年02月,研究論文(学術雑誌)
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第一報)---境界高密度計測法と特徴領域抽出法の提案---,後藤孝行,工業高等専門学校,高谷裕浩,三好隆志,精密工学会誌, Vol. 64, No. 1, pp. 84-88,1998年01月,研究論文(学術雑誌)
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第1報) -境界高密度計測法と特徴領域抽出法の提案- (共著),高谷裕浩,64/1,84,精密工学会誌,1998年,研究論文(学術雑誌)
  • 非接触三次元形状計測技術の現状と課題,高谷裕浩,高橋 哲,三好隆志,後藤孝行,型技術, Vol. 12, No. 13, pp. 48-49,1997年12月,研究論文(学術雑誌)
  • 微細金型のマイクロポリシングに関する基礎的研究,清水浩貴,高谷裕浩,高橋 哲,三好隆志,型技術, Vol. 12, No. 13, pp. 82-83,1997年12月,研究論文(学術雑誌)
  • Characteristics of Optical Ring Image Displacement Sensor for Free Form Metal Surface,Chaoyin Nie,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of the 2nd China-Japan Symposium on Mechatronics, pp. 295-300,p. 295-300,1997年09月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Free Form Surface Fitting onto Dense Measured Point Data for Reverse Engineering,Takayuki Gotoh(Asahikawa National,College of Technology,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 8th International Conference on Production Engineering --- Rapid Product Development --- (8th ICPE), pp. 18-20,1997年08月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • 高密度計測点群による自由曲面生成のためのB-spline擬頂点処理,後藤孝行,工業高等専門学校,高谷裕浩,三好隆志,型技術, Vol. 12, No. 8, pp. 74-75,1997年07月,研究論文(学術雑誌)
  • 3D Profile On-machine Measurement Using Optical Ring Image Sensor,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Seojoon Lee,Proceedings of International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE'97), pp. 190-195,1997年07月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Inspection and Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyohsi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of The 14th IMEKO World Congress, Volume VIII, pp. 159-164,1997年06月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Study on The Laser Trapping Probe for The Nano-CMM,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Katsumasa Saito,Proceedings of The 14th IMEKO World Congress, Volume VIII, pp. 28-33,1997年06月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • Free Form Surface Fitting onto Dense Measured Point Data for Reverse Engineering,高谷裕浩,/,18,Proceedings of 8th International Conference on Production Engineering - Rapid Product Development - (8th ICPE),1997年
  • 3D Profile On-machine Measurement Using Optical Ring Image Sensor,高谷裕浩,/,190,Proceedings of International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment(MIPE'97),1997年
  • Inspection And Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern,高谷裕浩,/,159,Proceedings of The 14th IMEKO World Congress Volume VIII,1997年
  • 微細金型のマイクロポリシングに関する基礎的研究(共著),高谷裕浩,12/13,82,型技術,1997年,研究論文(学術雑誌)
  • 高密度計測点群のB-スプライン曲面へのあてはめに関する研究 -- 曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法 --,枝光毅彦,大阪ガスエンジニアリング,高谷裕浩,三好隆志,後藤孝行,高橋 哲,精密工学会誌, Vol.62, No.10, pp.1425-1429,1996年10月,研究論文(学術雑誌)
  • Study on Nano-inprocess Measurement of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the 3rd International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'96), pp.243-250,1996年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • B-Spline Curve Fitting of Non-Contact 3-D Digitizing Data by Taking Curvatures into Consideration,Takayuki Gotoh,Asahikawa National,College of Technology,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 3rd International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'96), pp.38-43,1996年10月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • The Laser Inverse Scattering Method for Measuring a Micro-profile in Micromachining Process,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Satoru Takahashi,Proceedings of the 4th International IMEKO Symposium on Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry, pp.45-54,p. 45-54,1996年10月,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • FAにおけるセンサ標準化の動向 -- FAセンサの現状と標準化の必要性 --,高谷裕浩,ファクトリーオートメーション, pp.18-24,1996年08月
  • 高密度計測点群のB-spline曲線あてはめとパッチ処理による自由曲面生成,高谷裕浩,後藤孝行,工業高等専門学校,三好隆志,型技術, Vol.11, No.8, pp.44-45,1996年07月,研究論文(学術雑誌)
  • 光逆散乱位相法による微細加工形状計測に関する研究 -- 周期微細溝形状の位相回復 --,三好隆志,高谷裕浩,木下浩一,高橋 哲,永田貴之,精密工学会誌, Vol.62, No.7, pp.958-963,1996年07月,研究論文(学術雑誌)
  • Micromachined Profile Measurement by Means of Optical Inverse Scattering Phase Method,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Katsumasa Saito,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Vol. 45,No. 1,p. 497-500,1996年,研究論文(学術雑誌)
  • Micromachined Profile Measurement by Means of Optical Inverse Scattering Phase Method,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Katsumasa Saito,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Vol. 45,No. 1,p. 497-500,1996年,研究論文(学術雑誌)
  • 高密度計測点群のB-スプライン曲面へのあてはめに関する研究-曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法-(共著),高谷裕浩,62/10,1425,精密工学会誌,Vol. 62,No. 10,p. 1425-1429,1996年,研究論文(学術雑誌)
  • 光逆散乱位相法による微細加工形状計測に関する研究-周期微細溝形状の位相回復-(共著),高谷裕浩,62/7,958,精密工学会誌,Vol. 62,No. 7,p. 958-963,1996年,研究論文(学術雑誌)
  • 金型磨き工程における表面欠陥自動測定評価法に関する研究 -光学的実像スペックル画像処理-,高谷裕浩,三好隆志,型技術, Vol.10, No.12, pp.78-79,1995年12月,研究論文(学術雑誌)
  • リバースエンジニアリングのための測定点データに基づく自由曲面形状処理,後藤孝行,工業高等専門学校,高谷裕浩,三好隆志,高橋文治,型技術, Vol.10, No.12, pp.82-83,1995年12月,研究論文(学術雑誌)
  • Fundamental Study on In-process Measurement of Micromachined Form Based on The Inverse Scattering Phase Reconstruction,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proc. of International Conference on Precision Engineering '95 (2nd ICMT), pp.437-440,1995年11月,研究論文(その他学術会議資料等)
  • シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究,高谷裕浩,精密工学会 画像応用技術専門委員会研究会報告「画像処理と工学処理」, Vol.10, No.2, pp.1-13,1995年09月
  • 光リング式変位センサを用いた3D形状複合計測システムの開発,高谷裕浩,滝澤 暢(NT,三好隆志,後藤孝行,型技術, Vol.10, No.7, pp.2-3,1995年07月,研究論文(学術雑誌)
  • 検査・計測技術における標準化の現状と今後,高谷裕浩,メカトロニクス センサ・計測器データファイル'95, pp.7-17,1995年07月
  • Calibration Method of Optical System Roughness Error for the Random Micro-Roughness Measuring Apparatus,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Masatoshi Arai,TOKYO SEIMITSU Co,Kazushi Hayashi,TOKYO SEIMITSU Co,Masafumi Setaka,TOKYO,SEIMITSU Co,International Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.29, No.1, pp.86-87,Vol. 29,No. 1,p. 86-87,1995年03月,研究論文(学術雑誌)
  • Fraunhofer回折による超精密加工表面粗さ測定装置の開発研究 -光学系誤差の補正法-,高谷裕浩,三好隆志,荒井正敏,東京精密,林 和志,精密工学会誌,Vol.61, No.3, pp.377-381,公益社団法人精密工学会,Vol. 61,No. 3,p. 377-381,1995年03月,研究論文(学術雑誌)
  • 3次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究(第3報)-光リング式3-D形状計測センサ-,三好隆志,高谷裕浩,滝澤 暢(NT,福沢亮太,島津製作,精密工学会誌, Vol.61, No.2, pp.258-262,公益社団法人精密工学会,Vol. 61,No. 2,p. 258-262,1995年02月,研究論文(学術雑誌)
  • Nanometer Measurement of Silicon Wafer Surface Texture Based on Fraunhofer Diffraction Pattern,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Katsumasa Saito,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Vol. 44,No. 1,p. 489-492,1995年,研究論文(学術雑誌)
  • エキスパ-ト支援金型自動みがき装置の開発(共著),高谷裕浩,39/1,29,砥粒加工学会誌,Vol. 39,No. 1,p. 29-32,1995年,研究論文(学術雑誌)
  • Nanometer Measurement of Silicon Wafer Surface Texture Based on Fraunhofer Diffraction Pattern,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Katsumasa Saito,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Vol. 44,No. 1,p. 489-492,1995年,研究論文(学術雑誌)
  • エキスパ-ト支援金型自動みがき装置の開発(共著),高谷裕浩,39/1,29,砥粒加工学会誌,1995年,研究論文(学術雑誌)
  • 三次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究(第3報)-光リング式3-D形状計測センサ-(共著),高谷裕浩,61/2,258,精密工学会誌,Vol. 61,No. 2,p. 258-262,1995年,研究論文(学術雑誌)
  • 曲率を考慮したB-スプライン曲線の測定点デ-タへのあてはめ(共著),高谷裕浩,60/7,964,精密工学会誌,1994年,研究論文(学術雑誌)
  • 回折パタ-ンによる極微細溝形状の測定評価に関する研究-矩形溝形状の測定評価-(共著),高谷裕浩,57/11,151,精密工学会誌,1991年,研究論文(学術雑誌)
  • Fraunhofer回折による超精密加工面粗さの測定評価に関する研究(共著),高谷裕浩,56/2,139,精密工学会誌,Vol. 56,No. 2,p. 373-380,1990年,研究論文(学術雑誌)

MISC

  • フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する基礎研究 (特集 レーザの特殊な使い方),高谷 裕浩,上野原 努,水谷 康弘,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,砥粒加工学会,Vol. 61,No. 4,p. 179-182,2017年04月
  • 【invited】Single-pixel imaging by Hadamard transform and ghost imaging and its application for hyperspectral imaging,Yasuhiro Mizutani,Hiroki Taguchi,Yasuhiro Takaya,Proc. SPIE,Vol. 10021,p. 8-14,2016年10月
  • 「先進ものづくりとメトロロジー: 測れないものは,つくれない?」小特集号発刊に際して : にわとり(加工)が先か,たまご(計測)が先か?(<小特集>先進ものづくりとメトロロジー: 測れないものは,つくれない?),高谷 裕浩,日本機械学會誌,一般社団法人日本機械学会,Vol. 118,No. 1164,p. 651-651,2015年11月05日
  • 1503 Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon,ASAHI Masafumi,TAKAYA Yasuhiro,MICHIHATA Masaki,Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2015,No. 8,p. "1503-1"-"1503-5",2015年10月18日
  • フェムト秒レーザーによるコヒーレントフォノン励起加工の可能性 (特集 レーザー加工の最先端),林 照剛,黒河 周平,高谷 裕浩,光アライアンス,日本工業出版,Vol. 26,No. 10,p. 33-38,2015年10月
  • S1320203 光放射圧プローブ精密定在場スケールによるマイクロ自由曲面形状のスキャニング測定,高谷 裕浩,道畑 正岐,上田 真一,年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2015,p. "S1320203-1"-"S1320203-4",2015年09月13日
  • 605 Whispering gallery modeを用いたマイクロ球の直径計測に関する研究(OS3 先進製造技術(3),研究討論セッション),道畑 正岐,川嵜 彬史,足立 篤,高谷 裕浩,関西支部講演会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2015,No. 90,p. 218-221,2015年03月16日
  • D34 DNA相補結合を用いたマイクロ光学システムの高集積化に関する研究(OS5 加工計測・評価(3)),田代 裕之,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2014,No. 10,p. 255-256,2014年11月14日
  • D27 コヒーレントフォノン励起面におけるパルストレインビーム照射応答の時間分解計測に関する研究(OS5 加工計測・評価(1)),大菊 崇弘,林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2014,No. 10,p. 245-246,2014年11月14日
  • 化学修飾ナノダイヤモンドを用いた銅薄膜表面の化学機械研磨,高谷 裕浩,村井 亮太,林 照剛,New diamond,オーム社,Vol. 30,No. 2,p. 25-27,2014年04月
  • 全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術,高谷 裕浩,林 照剛,道畑 正岐,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. 80,No. 6,p. 514-518,2014年01月01日
  • 水酸化フラーレンを用いたCu化学機械研磨特性と加工メカニズム解析 (特集 化学機械研磨の最新技術),高谷 裕浩,道畑 正岐,林 照剛,トライボロジスト,日本トライボロジー学会 ; 1989-,Vol. 59,No. 12,p. 765-772,2014年
  • ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた平坦化加工に関する研究,村井 亮太,高谷 裕浩,林 照剛,砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC,砥粒加工学会,p. 67-70,2013年
  • D19 位相シフトデジタルホログラフィを用いた光学部品屈折率計測システムの開発(OS5 加工計測・評価(2)),林 照剛,道畑 正岐,高谷 裕浩,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2012,No. 9,p. 223-224,2012年10月27日
  • High Precision Tool Cutting Edge Monitoring Using Laser Diffraction for On-Machine Measurement,Panart Khajornrungruang,Keiichi Kimura,Yasuhiro Takaya,Keisuke Suzuki,International Journal of Automation Technology,Vol. 6,No. 2,p. 163-167,2012年
  • 3次元レーザ光散乱によるナノ加工表面性状の測定評価,高谷 裕浩,砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers,砥粒加工学会,Vol. 55,No. 12,p. 697-700,2011年12月01日
  • Chemical mechanical polishing of patterned copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry,Yasuhiro Takaya,Hirotaka Kishida,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Ken Kokubo,CIRP Annals -Manufacturing Technology-,Vol. 60,p. 567-570,2011年05月
  • Verification of generation and removal process of surface brittle film, in polishing process using water soluble fullerenol,Kazumasa Kano,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Ken Kokubo,10th International Symposium on Measurement and Quality Control 2010, ISMQC 2010,p. 555-558,2010年12月01日
  • Weakly Copper-fullerenol Layer on Chemical Mechanical Polishing Using Water Soluble Fullerenol,Hirotaka Kishida,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Ken Kokubo,American Society of Precision Engineering,Vol. 50,p. 293-296,2010年11月
  • C11 Effect of Fullerene Poly-hydroxide on Cu-CMP Process(Abrasive finishing technology),KISHIDA Hirotaka,HAYASHI Terutake,TAKAYA Yasuhiro,KOKUBO Ken,SUZUKI Keisuke,Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2009,No. 5,p. 391-394,2009年12月01日
  • Effect of fullerene poly-hydroxide on Cu-CMP process,Hirotaka Kishida,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Ken Kokubo,Keisuke Suzuki,Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2009,2009年12月01日
  • Fundamental study on the position detection signal analysis for the fiber optical trapping probe (To be published),Sang In Eom,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,International Journal of Surface Science and Engineering,Vol. To be published,2009年12月
  • 光放射圧制御マイクロプローブ球を利用した定在場スケール変位センサの研究 (第14回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集),高谷 裕浩,道畑 正岐,林 照剛,知能メカトロニクスワークショップ講演論文集,〔精密工学会〕,Vol. 14,p. 90-95,2009年09月26日
  • Nano-dimensional measurement using optically trapped probe enhanced by interferometric scale(To be published),M. Michihata,D. Nakai,T. Hayashi,Y. Takaya,Proceeding of IMEKO World congress,Vol. To be published,2009年09月
  • Nano-dimensional measurement using optically trapped probe enhanced by interferometric scale,M.Michihata,D.Nakai,T.Hayashi,Y.Takaya,XIX IMEKO World Congress,Vol. To be published,p. 1929-1934,2009年09月
  • Dynamic properties of a micro-sphere optically trapped in air by radially polarized laser beam(To be published),M. Michihata,T. Hayashi,Y. Takaya,Proceeding of SPIE Optics&Photonics 2009,Vol. To be published,2009年08月
  • Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces (To be publishied),Yasuhiro Takaya,Hideaki Tachika,Terutake Hayashi,Ken Kokubo,Keisuke Suzuki,Annals of the CIRP,Vol. To be publishied,2009年08月
  • Novel contact probing method using single fiber optical trapping probe,Sang In Eom,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Precision Engineering,Vol. 33,No. 3,p. 235-242,2009年07月
  • 3D microfabrication of silver nanoparticle composite having mesoporous structure(To be published),Terutake HAYASHI,Yasuhiro TAKAYA,Kenji SHIRAI,Proceedings of the European Society for Precision Engineering and Nanotechonology 2009 (EUSPEN),Vol. To be published,2009年06月
  • A Novel Probing Technique Using Circular Motion of a Microsphere Controlled by Optical Pressure for a Nano-Coordinate Measuring Machine,Masaki Michihata,Yuto Nagasaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Applied Optics,Vol. 48,No. 2,p. 198-205,2009年02月
  • 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究:―研磨特性の検証―,田近 英之,高谷 裕浩,林 照剛,田名田 祐樹,小久保 研,鈴木 恵友,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. Vol.75, No.4, pp.489-495,No. 4,p. 489-495,2009年
  • 3D microfabrication of silver nanoparticle composite having mesoporous structure(To be published),Proceedings of the European Society for Precision Engineering and Nanotechonology 2009 (EUSPEN),Vol. To be published,2009年
  • Novel contact probing method using single fiber optical trapping probe,Precision Engineering,Vol. 33 (2009), pp. 235-242,2009年
  • Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces,Y. Takaya,H. Tachika,T. Hayashi,K. Kokubo,K. Suzuki,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Vol. 58,No. 1,p. 495-498,2009年
  • Dynamic properties of a micro-sphere optically trapped in air by radially polarized laser beam(To be published),Vol. To be published,2009年
  • Building an ambient fluid analysis around nm oscillated laser trapping probe,Shimpei Tanaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Nihon Kikai Gakkai Ronbunshu, C Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Part C,Japan Society of Mechanical Engineers,Vol. 75,No. 757,p. 2453-2455,2009年
  • Probing technique using circular motion of a microsphere controlled by optical pressure for a nanocoordinate measuring machine,Masaki Michihata,Yuto Nagasaka,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,APPLIED OPTICS,OPTICAL SOC AMER,Vol. 48,No. 2,p. 198-205,2009年01月
  • 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究-研磨特性の検証-,精密工学会誌,Vol. Vol.75, No.4, pp.489-495,2009年
  • ナノ振動型レーザトラップにおけるプローブ周囲流体解析シミュレータの構築,日本機械学会論文集C編,Vol. To be published,2009年
  • Fundamental study on the position detection signal analysis for the fibre optical trapping probe,S. I. Eom,T. Hayashi,Y. Takaya,International Journal of Surface Science and Engineering,Vol. 3,No. 3,p. 208-226,2009年
  • C37 非球面マイクロレンズ金型のオンマシン表面性状計測システムの開発(OS-5 加工計測・評価),林 照剛,高谷 裕浩,本石 直弘,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2008,No. 7,p. 277-278,2008年11月21日
  • 光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究 (第13回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集),高谷 裕浩,道畑 正岐,林 照剛,知能メカトロニクスワークショップ講演論文集,〔精密工学会〕,Vol. 13,p. 293-298,2008年09月08日
  • Nano position sensing based on laser trapping technique for flat surfaces,M. Michihata,Y. Takaya,T. Hayashi,Measurement Science and Technology,Institute of Physics Publishing,Vol. 19,No. 8,2008年08月01日
  • Numerical Analysis of Fluid Resistance Exerted on Vibrating Micro-Sphere Controlled by Optical Radiation Pressure,Shimpei Tanaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of SPIE,Vol. Volume 7038 Paper 7038-65,2008年08月
  • Nano position sensing based on laser trapping technique for flat surfaces,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Measurement Science and Technology,IOP Publishing,Vol. 19,No. 8,2008年08月
  • Development of the nano-probe system based on the laser-trapping technique,Masaki MICHIHATA,Yasuhiro TAKAYA,Terutake HAYASHI,Annals of the CIRP,ELSEVIER,Vol. 57,No. 1,p. 493-496,2008年08月
  • In-situ particle sizing system to visualizing the self-assembly process,Satoshi Ota,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE,2008年06月
  • A novel CMP process using the size-controllable poly-hydroxylated fullerene cluster,Hideyuki TACHIKA,Yasuhiro TAKAYA,Terutake HAYASHI,Ken KOKUBO,Keisuke SUZUKI,Kenji SHIRAI,Vol. pp.460-464,2008年05月
  • LCD Microstereolithography of Photosensitive Resin with Functional Particles,Terutake HAYASHI,Yasuhiro TAKAYA,Dongkeon Lee,Vol. Vol.2, No. 3, pp.182-189,2008年03月
  • 光放射圧を利用したナノCMMマイクロプローブ,高谷裕浩,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. vol.74, No.3, 230-234,No. 3,p. 230-234,2008年03月
  • A novel CMP process using the size-controllable poly-hydroxylated fullerene cluster,Vol. pp.460-464,2008年
  • In-situ particle sizing system to visualizing the self-assembly process,Proceedings of SPIE,2008年
  • Development of the nano-probe system based on the laser-trapping technique,M. Michihata,Y. Takaya,T. Hayashi,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,TECHNISCHE RUNDSCHAU EDITION COLIBRI LTD,Vol. 57,No. 1,p. 493-496,2008年
  • LCD Microstereolithography of Photosensitive Resin with Functional Particles,Vol. Vol.2, No. 3, pp.182-189,2008年
  • Numerical Analysis of Fluid Resistance Exerted on Vibrating Micro-Sphere Controlled by Optical Radiation Pressure,Shimpei Tanaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION V,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 7038,2008年
  • 計測・測定の現状と今後の動向,高谷裕浩,型技術,日刊工業新聞,Vol. vol.23, No.1, 67-70,2008年01月
  • 光応用マイクロ・ナノ加工計測技術,高谷裕浩,機械の研究,養賢堂,Vol. vol.60, No.1,192-200,2008年01月
  • 最新CMP技術と周辺部材,技術情報協会,Vol. 91-103,2008年
  • 光放射圧プローブを用いたナノCMMの開発,計測と制御,Vol. vol.47, No.9, 744-750,2008年
  • A Study on a Fluorescence Polarization Measurement Using Grid Irradiation from LCD,Terutake Hayashi,Yasuhiro Takaya,Hiroki Akase,Vol. pp.203-207,2007年11月
  • FUNDAMENTAL STUDY FOR DEVELOPING THE NANO-CMM WITH A MICRO PROBE BASED ON OPTICAL FORCE DYNAMICS,Yasuhiro Takaya,Vol. pp.21-29,2007年11月
  • Measurement of oscillating condition for 3D probing accuracy of microparts using the laser trapping probe for the nano-CMM,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Takashi Miyoshi,International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2007(ISMTII) in Sendai Japan,,Vol. pp.453-456,2007年10月
  • 微細加工用マイクロ工具の光応用ナノ計測,高谷裕浩,機械技術,日刊工業新聞,Vol. vol.55, No.10,18-21,2007年10月
  • Circular motion control of an optically trapped microprobe for nano-position sensing,Yuto Nagasaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of SPIE,Vol. 6644,2007年08月
  • インプロセス/オンマシン・ナノ計測技術の新展開,高谷裕浩,機械技術,日刊工業新聞,Vol. vol.55, No.6,18-21,2007年06月
  • 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第2報) : 走査欠陥計測法の提案,吉岡 淑江,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. Vol.73 No.6,No. 6,p. 648-652,2007年
  • Measurement of oscillating condition for 3D probing accuracy of microparts using the laser trapping probe for the nano-CMM,International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2007(ISMTII) in Sendai Japan,,Vol. pp.453-456,2007年
  • FUNDAMENTAL STUDY FOR DEVELOPING THE NANO-CMM WITH A MICRO PROBE BASED ON OPTICAL FORCE DYNAMICS,Vol. pp.21-29,2007年
  • A Study on a Fluorescence Polarization Measurement Using Grid Irradiation from LCD,Vol. pp.203-207,2007年
  • 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウェハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第2報)―走査欠陥計測法の提案―,吉岡 淑江,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. Vol.73 No.6,No. 6,p. 648-652,2007年
  • Circular motion control of an optically trapped microprobe for nano-position sensing,Yuto Nagasaka,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION IV,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 6644,2007年
  • 「スキルの科学」,国際高等研究所,Vol. 157-184,2007年
  • 超微細形状・精密加工を支援するオンマシン・ナノ計測技術の開発動向,高谷裕浩,機械技術,日刊工業新聞,Vol. vol.54, No.13,24-28,2006年12月
  • 316 光回折を用いたマイクロ工具オンマシン計測ユニットの試作 : 計測ユニットの基本特性(OS-10 加工計測・評価),カチョーンルンルアン パナート,木村 景一,三好 隆志,高谷 裕浩,上田 将寛,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2006,No. 6,p. 131-132,2006年11月24日
  • 317 UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究(OS-10 加工計測・評価),日高 敏揮,高谷 裕浩,三好 隆志,林 照剛,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2006,No. 6,p. 133-134,2006年11月24日
  • 315 レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究 : 2次元振動プローブの特性評価(OS-10 加工計測・評価),長坂 雄人,高谷 裕浩,三好 隆志,林 照剛,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2006,No. 6,p. 129-130,2006年11月24日
  • Evaluation of laser trapping probe properties for coordinate measurement,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,Proceedings of SPIE,Vol. 6375,2006年10月
  • Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle,Hiroki Tanada,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Keiichi Suzuki,Proceedings of ASPE 21st Annual Meeting(ASPE'06),Vol. (2006), pp.595-598,2006年10月
  • A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle tool,Yasuhiro Takaya,Kenshirou Hida,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,CIRP Annals - 2006,Vol. 55,No. 1,p. 613-616,2006年09月
  • The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping,Sang In Eom,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,Proceedings of SPIE,SPIE,Vol. [6326-70],2006年08月
  • 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験,吉岡 淑江,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会誌論文集,公益社団法人精密工学会,Vol. 72,No. 7,p. 878-883,2006年07月05日
  • LCD Micro Stereolithography of Conductive Micro Shapes using Silver Particles Photosensitive Resin,Dongkeon Lee,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of the 7th International Symposium on Laser Precision Microfabrication,Vol. (2006), pp.1-6,2006年05月
  • Nano surface texture evaluation of micro lens mold using light scattering pattern,Terutake Hayashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Kenji Shirai,Proceeding of the 6th international conference and 8th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,Vol. Volume1, (2006), pp.422-425,2006年05月
  • LCD Micro Stereolithography of Conductive Micro Shapes using Silver Particles Photosensitive Resin,Proceedings of the 7th International Symposium on Laser Precision Microfabrication,Vol. (2006), pp.1-6,2006年
  • Nano surface texture evaluation of micro lens mold using light scattering pattern,Proceeding of the 6th international conference and 8th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,Vol. Volume1, (2006), pp.422-425,2006年
  • Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle,Proceedings of ASPE 21st Annual Meeting(ASPE'06),Vol. (2006), pp.595-598,2006年
  • The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping,Proceedings of SPIE,Vol. [6326-70],2006年
  • The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping,Sang In Eom,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION III,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 6326,2006年
  • The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping,Proceedings of SPIE,Vol. [6326-70],2006年
  • 図解 砥粒加工技術のすべて,工業調査会,Vol. 196-199,2006年
  • The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping,Sang In Eom,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 6326,2006年
  • The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping,Proceedings of SPIE,Vol. [6326-70],2006年
  • A novel surface finishing technique for microparts using an optically controlled,Y. Takaya,K. Hida,T. Miyoshi,T. Hayashi,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 55,No. 1,p. 613-616,2006年
  • Evaluation of laser trapping probe properties for coordinate measurement,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Terutake Hayashi,OPTOMECHATRONIC SENSORS, INSTRUMENTATION, AND COMPUTER-VISION SYSTEMS,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 6375,2006年
  • 銀粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究,精密工学会誌,Vol. 72[11], pp.1411-1415,2006年
  • Particle Detection for Patterned Wafers of 100nm design rule by Evanescent Light Illumination - Analysis of evanescent light scattering using FDTD method -,Toshie Yoshioka,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,SPIE,Vol. 6049,2005年12月
  • Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light,Ryusuke NAKAJIMA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,SPIE,Vol. 6013,2005年10月
  • Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping,Sang In EOM,Yasuhiro TAKAYA,Takashi MIYOSHI,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年10月
  • New Mass Measurement Method of Aerosol Particle Using Vibrating Probe Particle Controlled by Radiation Pressure,Tatsuo Hariyama,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,SPIE,Vol. 5993,2005年10月
  • On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction,Panart KHAJORNRUNGRUANG,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Takashi HARADA,Soichiro ISAGO,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年10月
  • Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force,Kenshiro Hida,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年10月
  • Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask,Hideaki Imahori,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年10月
  • Detection of Defects on the Surface of a Cam Shaft Using Laser Scattering Method,Shuichi DEJIMA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Yoshihiro MAENO,Proceedings of the 7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments,2005年09月
  • Laser Scattering Measurement of Microdefects on Silicon Oxide Wafer,Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Measurement Technology and Intelligent Instruments VI,Trans Tech Publications,2005年09月
  • Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection,Satoru TAKAHASHI,Rusuke NAKAJIMA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Kiyoshi TAKAMASU,Measurement Technology and Intelligent Instruments VI,Trans Tech Publications,Vol. 295-296,p. 15-20,2005年09月
  • Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control,Yasuhiro Takaya,Keijiro Imai,Shuichi Dejima,Takashi Miyoshi,SPIE,Vol. 5930,2005年08月
  • Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD Based on Laser Trapping Technique,Yasuhiro Takaya,Keijiro Imai,Syuichi Dejima,Takashi Miyoshi,CIRP ANNALS,Vol. 54,No. 1,p. 467-470,2005年08月
  • Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method,Toshie Yoshioka,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Kenji Shirai,Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,2005年06月
  • 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography,Dongkeon Lee,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Taeho Ha,Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication,2005年04月
  • 暗視野エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥検出法に関する研究(第四報):擬似回路パターン表面上付着欠陥試料を用いたエバネッセント照明条件の検討,吉岡 淑江,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2005,No. 0,p. 646-646,2005年
  • Nano-position sensing using optically motion-controlled microprobe with PSD based on laser trapping technique,Y Takaya,K Imai,S Dejima,T Miyoshi,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,TECHNISCHE RUNDSCHAU EDITION COLIBRI LTD,Vol. 54,No. 1,p. 467-470,2005年
  • Detection of defects on the surface of a cam shaft using laser scattering method,S. Dejima,T. Miyoshi,Y. Takaya,Y. Maeno,7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments,IOP PUBLISHING LTD,Vol. 13,p. 36-39,2005年
  • Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection,Measurement Technology and Intelligent Instruments VI,2005年
  • Laser Scattering Measurement of Microdefects on Silicon Oxide Wafer,Measurement Technology and Intelligent Instruments VI,2005年
  • Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年
  • On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年
  • Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年
  • Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年
  • Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light,SPIE,Vol. 6013,2005年
  • Study on LCD Micro Stereolithography using Ceramic Nanoparticles Reinforced,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. Vol.71 No.11,2005年
  • Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method,Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,2005年
  • New mass measurement method of aerosol particle using vibrating probe particle controlled by radiation pressure,Tatsuo Hariyama,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5993,2005年
  • Particle detection for patterned wafers of 100nm design rule by evanescent light illumination - Analysis of evanescent light scattering using Finite-Difference Time-Domain (FDTD) method,Toshie Yoshioka,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 6049,2005年
  • Nano-position sensing using optically motion-controlled microprobe with PSD based on laser trapping technique,Y. Takaya,K. Imai,S. Dejima,T. Miyoshi,N. Ikawa,CIRP Annals - Manufacturing Technology,Hallwag Publishing Ltd,Vol. 54,No. 1,p. 467-470,2005年
  • Dynamic properties measurement of vibrating microprobe for nano-position sensing using radiation pressure control,Yasuhiro Takaya,Keijiro Imai,Shuichi Dejima,Takashi Miyoshi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5930,p. 1-8,2005年
  • 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography,Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication,2005年
  • Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection,Measurement Technology and Intelligent Instruments VI,2005年
  • Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年
  • Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年
  • On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年
  • Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年
  • Study on LCD Micro Stereolithography using Ceramic Nanoparticles Reinforced,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. Vol.71 No.11,2005年
  • Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method,Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,2005年
  • New mass measurement method of aerosol particle using vibrating probe particle controlled by radiation pressure,Tatsuo Hariyama,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5993,2005年
  • Particle Detection for Patterned Wafers of 100nm design rule by Evanescent Light Illumination - Analysis of evanescent light scattering using FDTD method -,SPIE,Vol. 6049,2005年
  • Nano-position sensing using optically motion-controlled microprobe with PSD based on laser trapping technique,Y Takaya,K Imai,S Dejima,T Miyoshi,CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY,TECHNISCHE RUNDSCHAU EDITION COLIBRI LTD,Vol. 54,No. 1,p. 467-470,2005年
  • Dynamic properties measurement of vibrating microprobe for nano-position sensing using radiation pressure control,Yasuhiro Takaya,Keijiro Imai,Shuichi Dejima,Takashi Miyoshi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5930,p. 1-8,2005年
  • 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography,Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication,2005年
  • Detection of defects on the surface of a cam shaft using laser scattering method,S. Dejima,T. Miyoshi,Y. Takaya,Y. Maeno,7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments,IOP PUBLISHING LTD,Vol. 13,p. 36-39,2005年
  • Laser scattering measurement of microdefects on silicon oxide wafer,T Ha,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI,TRANS TECH PUBLICATIONS LTD,Vol. 295-296,p. 3-8,2005年
  • On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年
  • Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年
  • Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask,Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting,2005年
  • Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light,Ryusuke Nakajima,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 6013,2005年
  • セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形に関する研究,精密工学会誌,Vol. Vol.71 No.11,2005年
  • Particle detection for patterned wafers of 100nm design rule by evanescent light illumination - Analysis of evanescent light scattering using Finite-Difference Time-Domain (FDTD) method,Toshie Yoshioka,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 6049,2005年
  • Dynamic properties measurement of vibrating microprobe for nano-position sensing using radiation pressure control,Yasuhiro Takaya,Keijiro Imai,Shuichi Dejima,Takashi Miyoshi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5930,p. 1-8,2005年
  • 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography,Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication,2005年
  • Development of an evanescent light measurement system for si wafer microdefect detection,S Takahashi,R Nakajima,T Miyoshi,Y Takaya,K Takamasu,MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI,TRANS TECH PUBLICATIONS LTD,Vol. 295-296,p. 15-20,2005年
  • Detection of defects on the surface of a cam shaft using laser scattering method,S. Dejima,T. Miyoshi,Y. Takaya,Y. Maeno,7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments,IOP PUBLISHING LTD,Vol. 13,p. 36-39,2005年
  • Laser scattering measurement of microdefects on silicon oxide wafer,T Ha,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI,TRANS TECH PUBLICATIONS LTD,Vol. 295-296,p. 3-8,2005年
  • Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping,Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,2005年
  • Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light,Ryusuke Nakajima,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 6013,2005年
  • セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形に関する研究,精密工学会誌,Vol. Vol.71 No.11,2005年
  • Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method,Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology,2005年
  • New mass measurement method of aerosol particle using vibrating probe particle controlled by radiation pressure,Tatsuo Hariyama,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 5993,2005年
  • 536 セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造型法 : グレースケールの効果(OS7 ナノ・マイクロ加工),李 東建,三好 隆志,高谷 裕浩,河 兌坪,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2004,No. 5,p. 209-210,2004年11月19日
  • 313 極小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 摩耗切れ刃の検証実験(OS10 加工計測・評価),KHAJORNRUNGRUANG Panart,三好 隆志,高谷 裕浩,原田 孝,砂金 総一郎,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2004,No. 5,p. 125-126,2004年11月19日
  • Nano-defects inspection of semiconductor wafer using evanescent wave,Satoru Takahashi,Satoru Takahashi,Ryusuke Nakajima,Ryusuke Nakajima,T. Miyoshi,Y. Takaya,T. Yoshioka,T. Hariyama,K. Kimura,T. Nakao,K. Takamasu,VDI Berichte,2004年10月06日
  • 光放射圧による微粒子集積現象を応用したCMP加工,木村 景一,三好 隆志,高谷 裕浩,機械の研究,養賢堂,Vol. 56,No. 6,p. 646-653,2004年06月
  • 光回折ゲージ法による小径工具切れ刃プロファイル計測に関する研究,高谷裕浩,K. パナート,三好隆志,河兌坪,原田孝,砂金総一郎,型技術,Vol. 19,No. 8,p. 120-121,2004年
  • 暗視野エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥検出法に関する研究(第三報):回路パターンが欠陥検出に及ぼす影響の理論的検討,吉岡 淑江,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2004,No. 0,p. 625-625,2004年
  • 暗視野エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥検出法に関する研究(第二報):エバネッセント照明特性の実験的検討,吉岡 淑江,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2004,No. 0,p. 409-409,2004年
  • 3次元微小形状のナノ加工計測,高谷 裕浩,塑性と加工,日本塑性加工学会,Vol. 44,No. 510,p. 708-712,2003年07月25日
  • 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究(第2報)ー液晶動画像を用いた薄層型積層造形ー,西野秀昭,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲,林 照剛,木村景一,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 69,No. 10,p. 1417-1422,2003年04月
  • Study of Particle Detection for Patterned Wafers by Evanescent Light Illumination,YOSHIOKA T.,MIYOSHI Takashi,TAKAYA Yasuhiro,TAKAHASHI Satoru,TAKAMASU Kiyoshi,Proc. of 2nd International Conference in LEM, 2003,一般社団法人日本機械学会,Vol. 21,p. 129-129,2003年
  • 124 Detection of defects on the paint panel surface of a car body using laser scattering method,Wang Jibo,MIYOSHI Takashi,TAKAYA Yasuhiro,TAKAHASHI Satoru,MAENO Yoshihiro,Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2003,p. 125-128,2003年
  • Novel edge profile measurement of micro cutting tool by laser diffraction,Panart Khajornrungruang,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Takashi Harada,Soichiro Isago,Proceedings of the 4th European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen) International Topical Conference,p. 463-466,2003年
  • 光放射圧制御粒子集積現象に基づくCMP加工に関する基礎的研究,木村 景一,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering,公益社団法人精密工学会,Vol. 69,No. 1,p. 89-94,2003年
  • Size Determination of Microscratches on Silicon Oxide Wafer Surface Using Scattered Light "jointly worked",Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology,Vol. 27,No. 3,p. 265-272,2003年
  • Measurement and machining in microfabrication based on radiation pressure control "jointly worked",Journal of OPTICS AND PRECISION ENGINEERING,Vol. 11,No. 1,2003年
  • 光放射圧制御微粒子集積現象に基づくCMP加工に関する基礎研究,精密工学会誌,2003年
  • 分子動力学法による光放射圧マイクロ加工現象の解析(共著),砥粒加工学会誌,Vol. 47,No. 12,2003年
  • 赤外エバネッセント光によるシリコンウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究(第1報)−理論的・実験的検討−(共著),中島 隆介,高橋 哲,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 69,No. 9,p. 1291-1295,2003年
  • 光放射圧制御微粒子集積現象に基づくCMP加工に関する基礎研究(共著),木村 景一,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 69,No. 1,p. 89-94,2003年
  • 313 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 光回折ゲージ法の提案,カチョーンルンルアン P,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,原田 孝,砂金 総一郎,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2002,No. 4,p. 151-152,2002年11月19日
  • New planarization method assisted by aggregated particles created with optical radiation pressure,Keiichi Kimura,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of 19th International VLSI multilevel interconnection conference (VMIC), (2002) 139,Vol. 139,2002年11月
  • Si Wafer SurfaceInspection Technique for Next-generation Semiconductor Using Infrared Evanescent Wave,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Mitsunori FUJITA,Ryusuke NAKAJIMA,Proceeding of the International Conference on Designing of Interfacial Structures in Advanced Materials and their Joints (DIS'02), (2002), 353-358,Vol. 353-358,2002年11月
  • 光放射圧制御マイクロ回転加工ツールの試作とその特性,宮本 優作,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 2,p. 222-222,2002年10月01日
  • レーザアシステッドCMP加工の研究 : 第5報 レーザ微粒子集積痕の形成,木村 景一,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,辻尾 良輔,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 2,p. 416-416,2002年10月01日
  • 金型三次元曲面の格子投影型オンマシン形状計測法の開発(第1報) : 動的参照面法の提案とその検証,孫 龍江,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 2,p. 557-557,2002年10月01日
  • 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第7報) : 格子標準による試作装置の検証,田口 敦清,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 2,p. 598-598,2002年10月01日
  • The Microprobe for Nano-Positional Detection Using Optically Forced Vibrationi Method,Yasuhiro TAKAYA,Masatoshi NISHIKAWA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 367-372,Vol. 367-372,2002年10月
  • New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Annular Illumination with Crossed Nicols,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Takahiro ABE,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 41-46,Vol. 41-46,2002年10月
  • Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping,Keiichi KIMURA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 37-40,Vol. 37-40,2002年10月
  • 2807 光逆散乱位相法に基づく三次元微細加工形状計測装置の開発,高谷 裕浩,田口 敦清,高橋 哲,三好 隆志,年次大会講演論文集 : JSME annual meeting,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2002,No. 5,p. 289-290,2002年09月20日
  • Optical Inverse Scattering Phase Method for Nano-Inprocess Measurement of Micro Surface Profile,Atsushi TAGUCHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASH,Proceedings of SPIE's Laser Metrology Applied to Science, Industry , and Everyday life, SPIE, 4900 (2002)739-746,Vol. 4900 739-746,2002年09月
  • New Chemical Mechanical Polishing Method Assisted by Laser Particle Trapping,Keiichi Kimura,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of 7th International Symposium on Chemical-Mechanical Polishing (2002),2002年08月
  • 光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第2報)-高速欠陥計測法の提案-,高橋 哲,三好隆志,高谷裕浩,立野泰史,精密工学会誌,68,7(2002)962-966,公益社団法人精密工学会,Vol. 68,7962-966,No. 7,p. 962-966,2002年07月
  • Study on Laser Microstructure Fabrication Using Colloidal Particles Contrlled by Radiation Pressure,Yasuhiro TAKAYA,Keiichi KIMURA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Proceedings of 2002 Japan-USA Symposium on Flexible Automation, (2002) 759-765,Vol. 759-765,2002年07月
  • Probing Technique for Microparts Using Optically Trapped Particle by Annular Beam,Masatoshi NISHIKAWA,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Masahiro UEKITA,Takashi MIYOSHI,Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement, (2002) 103-108,Vol. 1694,p. 103-108,2002年06月
  • Novel Measurement Method for Nano-Defects of Si Wafer Surface Using Evanescent Wave,Ryusuke NAKAJIMA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Mitsunori Fujita,Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 485-488,Vol. 485-488,2002年05月
  • Evaluation of Microdefects on SiO2 Filmed Wafer Surface form the Scattering Light,Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 745-748,Vol. 745-748,2002年05月
  • レーザアシステッドCMP加工の研究:第4報微小凸部の除去研磨特性,木村 景一,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,小松 直幸,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 516-516,2002年03月01日
  • 光放射圧マイクロ回転加工ツールの開発に関する研究(第2報):マイクロツールの二光子吸収光造形,松井 佑史,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 678-678,2002年03月01日
  • 光散乱によるCMP加工表面薄膜欠陥計測に関する研究(第3報):付着異物の散乱特性,新田 大輔,TAEHO Ha,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 709-709,2002年03月01日
  • 光散乱によるCMP加工表面薄膜欠陥計測に関する研究(第2報):表面マイクロスクラッチの散乱特性,TAEHO Ha,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,新田 大輔,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 710-710,2002年03月01日
  • 赤外エバネッセント光によるSiウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究(第4報):マイクロスクラッチの検出基礎実験,藤田 充紀,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 711-711,2002年03月01日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第10報):強制振動型プローブの提案,上北 将広,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 719-719,2002年03月01日
  • 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第4報):凹凸欠陥識別法の提案,阿部 崇広,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 723-723,2002年03月01日
  • 光回析による小径工具切れ刃の断面プロファイル計測法に関する研究(第1報):ねじれ刃の精度に及ぼす影響,PANART K,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,原田 孝,砂金 総一郎,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 724-724,2002年03月01日
  • 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第6報):高精度位相回復計測装置の設計,田口 敦清,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 1,p. 755-755,2002年03月01日
  • レーザ回折法による小径工具切れ刃先端の3次元プロファイル計測,高谷裕浩,K. パナート,三好隆志,高橋哲,原田孝,砂金総一郎,型技術,Vol. 17,No. 8,p. 106-107,2002年
  • The Microprobe for Nano-Positional Detection Using Optically Forced Vibrationi Method,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 367-372,Vol. 367-372,2002年
  • Novel Measurement Method for Nano-Defects of Si Wafer Surface Using Evanescent Wave,Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 485-488,Vol. 485-488,2002年
  • Study on Laser Microstructure Fabrication Using Colloidal Particles Contrlled by Radiation Pressure,Proceedings of 2002 Japan-USA Symposium on Flexible Automation, (2002) 759-765,Vol. 759-765,2002年
  • New planarization method assisted by aggregated particles created with optical radiation pressure,Proceedings of 19th International VLSI multilevel interconnection conference (VMIC), (2002) 139,Vol. 139,2002年
  • Evaluation of Microdefects on SiO2 Filmed Wafer Surface form the Scattering Light,Vol. 745-748,2002年
  • New Chemical Mechanical Polishing Method Assisted by Laser Particle Trapping,Proceedings of 7th International Symposium on Chemical-Mechanical Polishing (2002),2002年
  • New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Annular Illumination with Crossed Nicols,Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 41-46,Vol. 41-46,2002年
  • Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping,Vol. 37-40,2002年
  • Si Wafer SurfaceInspection Technique for Next-generation Semiconductor Using Infrared Evanescent Wave,Proceeding of the International Conference on Designing of Interfacial Structures in Advanced Materials and their Joints (DIS'02), (2002), 353-358,Vol. 353-358,2002年
  • Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile "jointly worked",SPIE,Vol. 4900, 44/,,2002年
  • Nonlaminate micro photo-stereolithography using LCD live-motion mask,Hideaki Nishino,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 4830,p. 201-205,2002年
  • Probing technique for microparts using optically trapped particle by annular beam,M Nishikawa,Y Takaya,S Takahashi,M Uekita,T Miyoshi,INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PHOTONICS IN MEASUREMENT,V D I-V D E - VERLAG GMBH,Vol. 1694,p. 103-108,2002年
  • Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile,A Taguchi,T Miyoshi,Y Takaya,S Takahashi,SEVENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY APPLIED TO SCIENCE, INDUSTRY, AND EVERYDAY LIFE, PTS 1 AND 2,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 4900,p. 739-746,2002年
  • 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第2報)−高速欠陥計測法の提案−(共著),高橋 哲,三好 隆志,高谷 裕浩,立野 泰史,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 68,No. 7,p. 962-966,2002年
  • 404 光回折による小径工具切れ刃の断面プロファイル計測法に関する研究 : 理論解析と基礎実験(OS11 計測・評価),パナート K,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,原田 孝,砂金 総一郎,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2001,No. 3,p. 105-106,2001年11月20日
  • 高精度金型製作における加工計測技術の現状と課題 (特集 金型品質を保証する最新計測技術),高谷 裕浩,三好 隆志,型技術,日刊工業新聞社,Vol. 16,No. 12,p. 18-23,2001年11月
  • Development of Automatic Light Scattering Measurement System for Si Wafer Microdefects,Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 4th International Symposium on Advances in Abrasive Technology-Intelligent Machining of the Components for Information Technology (ISAAT'01), (2001) 383-386,Vol. 383-386,2001年11月
  • Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing for Planarization,Keiichi KIMURA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 16th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'01), (2001) 537-540,Vol. 537-540,2001年10月
  • 光放射圧を利用した微粒子集積マイクロ加工に関する研究,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,木村 景一,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 213-214,2001年09月01日
  • REのための測定点群データに基づく自由曲面生成,後藤 孝行,高谷 裕浩,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 52-52,2001年09月01日
  • 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第5報) : 高アスペクト比形状の複素場数値解析,田口 敦清,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 215-215,2001年09月01日
  • 光放射圧マイクロ回転加工ツールの開発に関する研究(第1報) : 2光子吸収光造形法の検討,松井 佑史,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 439-439,2001年09月01日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第9報) : 輪帯ビームプロファイルの検討,上北 将広,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 630-630,2001年09月01日
  • 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第3報) : 暗視野検出部の改善,阿部 崇広,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 631-631,2001年09月01日
  • New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Darkfield Optical System with Annular Laser Beam,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 13-19,Vol. 13-19,2001年09月
  • FDTD Simulation of IR Evanescent Light for Nanodefects Inspection in Polished Si Wafer Subsurface,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Proceedings of the 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 21-25,Vol. 21-25,2001年09月
  • F-0522 動的硬化制御による液晶マイクロ光造形法(J17-1 マイクロトライボロジー&プロセッシング(1))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング),高谷 裕浩,林 照剛,高橋 哲,三好 隆志,年次大会講演論文集 : JSME annual meeting,一般社団法人日本機械学会,Vol. 0,No. 1,p. 15-16,2001年08月22日
  • High Sensitivity Optical Detection of Oriented Micro defects on Silicon Wafer Surfaces Using Annular Illumination,Takashi MIYOSHI,Satoru TAKAHASHI,Yasuhiro TAKAYA,Shoichi SHIMADA,CIRP ANNALS, 50, 1(2001)389-392,Vol. 50,No. 1,p. 389-392,2001年08月
  • Analysis of Defects on SiO2 filmed wafer -Evaluation of CMP Defect Detection Schemes using Computer simulation (BEM),Taeho HA,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Proceedings of the 10th International Conference on Production Engineering (ICPE'01) , (2001) 684-688,Vol. 684-688,2001年07月
  • 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第1報)-光リング画像によるエッジ自動検出-,Seojoon LEE,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会誌,67,6(2001)997-1002,公益社団法人精密工学会,Vol. 67,6997-1002,No. 6,p. 997-1002,2001年06月
  • Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Ryusuke NAKAJIMA,Proceedings of the 2nd International Conference and 3rd General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'01), (2001) 102-105,Vol. 102-105,2001年05月
  • 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究(第1報)-濃淡画像による非積層造形-,林 照剛,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会誌,67,6(2001)997-1002,Vol. 67,No. 4,p. 628-632,2001年04月
  • Development of Automatic Light Scattering Measurement System for Si Wafer Microdefects,Proceedings of the 4th International Symposium on Advances in Abrasive Technology-Intelligent Machining of the Components for Information Technology (ISAAT'01), (2001) 383-386,Vol. 383-386,2001年
  • Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method,Proceedings of the 2nd International Conference and 3rd General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'01), (2001) 102-105,Vol. 102-105,2001年
  • Analysis of Defects on SiO2 filmed wafer -Evaluation of CMP Defect Detection Schemes using Computer simulation (BEM),Vol. 684-688,2001年
  • High Sensitivity Optical Detection of Oriented Micro defects on Silicon Wafer Surfaces Using Annular Illumination,Vol. 50, 1389-392,2001年
  • New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Darkfield Optical System with Annular Laser Beam,Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 13-19,Vol. 13-19,2001年
  • FDTD Simulation of IR Evanescent Light for Nanodefects Inspection in Polished Si Wafer Subsurface,Proceedings of the 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 21-25,Vol. 21-25,2001年
  • Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing for Planarization,Proceedings of the 16th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'01), (2001) 537-540,Vol. 537-540,2001年
  • High Sensitivity Optical Detection of Micro defect on Silicon Wafer Surface Using Annular Illumination "jointly worked",CIRP ANNALS,Vol. 50,No. 1,2001年
  • 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究 -濃淡画像による非積層造形-,精密工学会誌,Vol. Vol.67 No.4 pp.628-632,2001年
  • 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究(第1報)-濃淡画像による非積層造形-,精密工学会誌,67,6(2001)997-1002,Vol. 67,6997-1002,2001年
  • 322 リニーク干渉計に基づくナノ CMM レーザトラッピングプローブの位置検出特性,高谷 裕浩,上北 将広,高橋 哲,三好 隆志,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2000,No. 2,p. 203-204,2000年11月20日
  • Nano-positional Detection Using Laser Trapping Probe for Microparts,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 15th ASPE Annual Meeting, pp.~584-587,Vol. pp.~584-587,2000年11月
  • Simulation for Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles,Jian Bai,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Satoru Takahashi,Proceedings of the 15th ASPE Annual Meeting, pp.~336-339,Vol. pp.~336-339,2000年11月
  • Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools,Jian Bai,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Satoru Takahashi,Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734,Vol. Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734,2000年11月
  • Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the ASME Manufacturing Engineering Division, pp.~209-214,Vol. pp.~209-214,2000年11月
  • レーザアシステッドCMP加工の研究 : 第1報 基本概念の提案,木村 景一,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 2,p. 19-19,2000年09月01日
  • 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究 : 暗視野輪帯光学系の設計,吉崎 大輔,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 2,p. 85-85,2000年09月01日
  • 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第5報) : 複合計測手法によるエッジプロファイルの高速検出,李 瑞〓,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 2,p. 90-90,2000年09月01日
  • 液晶マスクを用いた非積層光造形法に関する研究,林 照剛,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,型技術,Vol. Vol.15, No.8, (2000), pp.52-53,2000年08月
  • 3513 液晶を用いた非積層マイクロ光造形法の研究,林 照剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,年次大会講演論文集 : JSME annual meeting,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2000,No. 3,p. 507-508,2000年07月31日
  • 3604 非接触 3 次元エッジプロファイル自動計測に関する研究,高谷 裕浩,李 瑞〓,高橋 哲,三好 隆志,年次大会講演論文集 : JSME annual meeting,一般社団法人日本機械学会,Vol. 2000,No. 3,p. 541-542,2000年07月31日
  • 3D Micro-Profile Measurement using Optical Inverse Scattering Phase Method,Atsushi Taguchi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Katsumasa Saito,Gumma Polytechnic College,Annals of CIRP, Vol.~49, No.~1, pp.~423-426,Vol. 49,No. 1,p. 423-426,2000年07月
  • レーザトラッピングプローブによるナノ3次元座標測定,高谷 裕浩,三好 隆志,生産と技術,生産技術振興協会,Vol. 52,No. 2,p. 59-62,2000年04月
  • Dynamic Simulation for Laser Trapping on Designed Micro-particles,BAI Jian,TAKAYA Yasuhiro,MIYOSHI Takashi,TAKAHASHI Satoru,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 215-215,2000年03月01日
  • TFT液晶を用いた一体光造形法に関する研究(第2報) : 液晶動画像による連続形状創成,林 照剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 79-79,2000年03月01日
  • BSOによる位相共役光を用いたホログラフィー光造形法の基礎特性解析(第2報) : 硬化メカニズムの解析,木村 寛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,林 照剛,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 80-80,2000年03月01日
  • 光リング式変位センサによる機械加工曲面形状の誤差評価 : 光リング画像処理法の一考察,武 剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,白 剣,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 587-587,2000年03月01日
  • 赤外エバネッセント光によるシリコンウェハ加工表面層の微小欠陥検出に関する研究(第2報) : FDTD法に基づいた微小欠陥検出特性,剱持 妥茂哉,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 602-602,2000年03月01日
  • CMP加工によるSiウェハ酸化膜欠陥の光散乱シミュレーション,TAEHO Ha,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 603-603,2000年03月01日
  • レーザトラッピングによるナノCMMに関する研究(第7報) : マイクロプローブ球の挙動解析,渡辺 万次郎,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 607-607,2000年03月01日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第8報) : プローブ特性の計算機シミュレーション,木村 容子,高谷 裕浩,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 608-608,2000年03月01日
  • Nano-CMM Laser Trapping Probe for Micromachine parts,Vol. pp.~11-18,2000年
  • Nano-positional Detection Using Laser Trapping Probe for Microparts,Vol. pp.~584-587,2000年
  • Simulation for Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles,Vol. pp.~336-339,2000年
  • Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools,Jian Bai,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Satoru Takahashi,Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734,No. 11,p. 1729-1734,2000年
  • Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern,Vol. pp.~209-214,2000年
  • Surface Fitting Based on Optical 3-D Measurement,Proceedings of The 16th IMEKO World Congress,Vol. (]G0008[),2000年
  • Patterned Wafer Defects Inspection by Laser Scattering Image,Proceedings of The 16th IMEKO World Congress,Vol. Volume (]G0002[),2000年
  • Direct 3D Forming Using TFT LCD Mask,Proceedings of 2nd euspen(european society for precision engineering and nanotechnology),Vol. Volume 1,2000年
  • Study on Micro-Machining Using a Small Particle Dontroled by Optical Radiation Pressure,Hiroki SHIMIZU,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 66,No. 6,p. 901-906,2000年
  • Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools,BAI Jian,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 66,No. 11,p. 1729-1734,2000年
  • The Laser Trapping Probe for Nano-CMM(1st Report)-Positional Detection Principle of The Laser Trapping Probe and Its Nature-,Yasuhiro Takaya,Noriaki Sato,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Hiroki Shimizu,Manjiro Watanabe,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 66,No. 7,p. 1081-1086,2000年
  • マイクロマシンとナノCMMレーザトラッピングプローブ,第11回・三次元工学研究会 資料集, pp.~11-18,Vol. pp.~11-18,2000年
  • 画像処理応用システム ---基礎から応用まで---,東京電機大学出版局,Vol. 37-62,2000年
  • 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する基礎的研究(共著),清水 浩貴,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会誌,Vol. 66,No. 6,p. 901-906,2000年
  • ナノCMMレーザトラッピングプローブに関する研究(第1報)-3次元位置検出の基本原理-(共著),高谷裕浩,佐藤憲章,高橋哲,三好隆志,清水浩貴,渡辺万次郎,精密工学会誌,Vol. 66,No. 7,p. 1081-1086,2000年
  • 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究 (第5報) コロイダルシリカ付着加工現象の観察,清水浩貴,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,1999年09月13日
  • 測定誤差を考慮したへリカル歯形の成形研削誤差計測,原田 孝,小谷 和弘,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 637-637,1999年09月01日
  • TFT液晶を用いた一体光造形法に関する研究,林 照剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 9-9,1999年09月01日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第5報)-大気中トラッピングプローブの位置検出特性-,渡辺 万次郎,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 450-450,1999年09月01日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第6報)-プローブ特性の計算機シミュレーション-,木村 容子,高谷 裕浩,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 451-451,1999年09月01日
  • 赤外エバネッセント光によるシリコンウェハ加工表面層の微小欠陥検出に関する研究-エバネッセント光発生メカニズムのFDTD解析-,剱持 妥茂哉,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 566-566,1999年09月01日
  • Analysis of Laser Scattered Defect Pattern for Optical Measurement of Silicon Wafer Surface Defects,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of the 9th International Conference on Production Engineering (ICPE), pp.~384-389,1999年08月
  • Study on Micro-Machining Using Optical Radiation Pressure,Hiroki Shimizu,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Proceedings of the 1st European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), Vol.~1, pp.~199-202,Vol. 1,p. 199-202,1999年05月
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第5報)-B-spline閉曲線のあてはめ-,後藤 孝行,高谷 裕浩,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 78-78,1999年03月05日
  • シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究(第10報) -光散乱パターンを用いたCOP欠陥検出-,平田 文彦,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 440-440,1999年03月05日
  • レーザ後方散乱による精密加工表面マイクロクラックの測定評価に関する研究 -ガラス表面クラックのシミュレーションと実験による検討-,金次 達真,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,友沢 隆幸,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 441-441,1999年03月05日
  • 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第4報) -3次元エッジ抽出アルゴリズムの検証-,李 瑞〓,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,GOH Gordon,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 453-453,1999年03月05日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第4報) -大気中トラッピングプローブの検討-,佐藤 憲章,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 462-462,1999年03月05日
  • 金型加工曲面の光学式3D形状計測センサの開発研究(第3報) -光散乱シミュレータの構築とその検証-,聶 朝胤,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,梁田 和雄,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 463-463,1999年03月05日
  • 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第2報) -設計形状を用いた位相回復-,伊豆蔵 元樹,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,田口 敦清,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 469-469,1999年03月05日
  • 位相共役光による三次元造形に関する研究(第一報) -液晶濃淡画像の硬化特性-,林 照剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 719-719,1999年03月05日
  • Fundamental Study on the New Probe Technique for the Nano-CMM based on The Laser Trapping and Mirau Interferometer,Yasuhiro Takaya,Hiroki Shimizu,Satoru Takahashi,Takashi Miyoshi,Measurement, Vol.~25, No.~1, pp.~9-18,Vol. 25,No. 1,p. 9-18,1999年02月
  • Fundamental Characteristics of The Laser Trapping Probe for The Nano-CMM Based on Linnik Microscope Interferometer,Proceedings of The 15th IMEKO World Congress,Vol. (]G0008[),1999年
  • Studies on In-process Measurement of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattred Defect Pattern(1sr Report)-The Characteristics of Detecting Fine Contaminations by Laser Scattered Defect Pattern-,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Yasufumi TATSUNO,Fumihiko HIRATA,Tamoya KENMOCHI,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 65,No. 9,p. 1284-1289,1999年
  • Development of The Nano-CMM Probe Based on Laser Trapping Technology,高谷裕浩,48/1,421,CIRP ANNALS,Vol. 48,No. 1,1999年
  • 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第1報)-微小付着異物の光散乱パターン特性解析-(共著),高橋 哲,三好 隆志,高谷 裕浩,立野 泰史,平田 文彦,剱持妥 茂哉,精密工学会誌,Vol. 65,No. 9,p. 1284-1289,1999年
  • リバースエンジニアリングのための高密度形状計測と形状処理法,後藤 孝行,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 211-211,1998年09月01日
  • 測定誤差にロバストな歯車歯形の成形研削加工誤差計測方法,原田 孝,小谷 和弘,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 83-83,1998年09月01日
  • 位相共役光を用いた光造形法に関する基礎的研究 -液晶画像の利用-,林 照剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 61-61,1998年09月01日
  • レーザ後方散乱による超精密加工表面層マイクロクラック・インプロセス測定法に関する研究 -ガラス表面インデンテーションクラックによる検討-,高谷 裕浩,金次 達真,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 84-84,1998年09月01日
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面形状処理,後藤 孝行,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 440-440,1998年03月05日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第2報) -位置検出光学系の改良-,辻 誠司,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,清水 浩貴,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 207-207,1998年03月05日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第3報) -プローブ球の力学的挙動シミュレーション-,高谷 裕浩,飯野 武夫,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 208-208,1998年03月05日
  • 位相共役素子を用いたホログラフィ光造形法に関する研究(第二報) -像形成の基本原理-,林 照剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 409-409,1998年03月05日
  • 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第3報) -エッジライン抽出法-,李 瑞〓,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,山本 尚孝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 441-441,1998年03月05日
  • 非接触式義歯形状計測センサの開発研究(第2報) -光リング4点検出法による高精度化-,北村 幸太,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 442-442,1998年03月05日
  • 光逆散乱位相法による3次元微細形状の位相回復シミュレーション,和氣 一公,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 495-495,1998年03月05日
  • 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究(第4報) -加工メカニズムの実験的検討-,清水 浩貴,高谷 裕浩,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 563-563,1998年03月05日
  • Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Patterm,Journal of the Society of Grinding Engineers,Vol. 42,No. 2,1998年
  • Studies on Generating Free-Form Surfaces from High-Density Measured Point Data(! st Report)- A proposal of Boundary High-Density measuring and Character-Area Extracting-,Takayuki GOTOH,Yasuhiro TAKAYA,Takashi MIYOSHI,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 64,No. 1,p. 84-88,1998年
  • レーザ光検出パターンによるシリコンウェハ加工表面の欠陥識別(共著),砥粒加工学会誌,Vol. 42,No. 2,1998年
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第1報) -境界高密度計測法と特徴領域抽出法の提案- (共著),後藤 孝行,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会誌,Vol. 64,No. 1,p. 84-88,1998年
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第4報) -擬頂点を用いた曲線・曲面の接続-,後藤 孝行,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 250-250,1997年10月01日
  • 位相共役素子を用いたホログラフィ光造形法に関する研究,林 照剛,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 205-205,1997年10月01日
  • 非接触式義歯形状計測センサの開発研究,北村 幸太,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 279-279,1997年10月01日
  • 金型加工曲面の光学式3D形状計測センサの開発研究(第2報) -金属仕上面の光リング検出特性-,聶 朝胤,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 281-281,1997年10月01日
  • 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究(第3報)-ダイヤモンド砥粒加工痕の観察-,清水 浩貴,高谷 裕浩,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 359-359,1997年10月01日
  • 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究-位相回復シミュレーション-,和氣 一公,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 452-452,1997年10月01日
  • レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究 -位置検出精度-,辻 誠司,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,清水 浩貴,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 556-556,1997年10月01日
  • 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第2報) -エッジ位置検出の高精度化-,李 瑞〓,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 558-558,1997年10月01日
  • Free Form Surface Fitting onto Dense Measured Point Data for Reverse Engineering,Takayuki Gotoh(Asahikawa National,College of Technology,Yasuhiro Takaya,Takashi Miyoshi,Proceedings of the 8th International Conference on Production Engineering --- Rapid Product Development --- (8th ICPE), pp. 18-20,1997年08月
  • 3D Profile On-machine Measurement Using Optical Ring Image Sensor,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Satoru Takahashi,Seojoon Lee,Proceedings of International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE'97), pp. 190-195,1997年07月
  • Inspection and Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern,Satoru Takahashi,Takashi Miyohsi,Yasuhiro Takaya,Proceedings of The 14th IMEKO World Congress, Volume VIII, pp. 159-164,1997年06月
  • 光逆散乱位相法による二次元周期微細加工形状の測定評価 -光学系の改良と高精度化-,廣畑 憲明,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 1219-1220,1997年03月01日
  • 光放射圧を利用した微粒子操作によるマクロ加工に関する研究(第2報) -ダイヤモンド砥粒運動の基本特性-,清水 浩貴,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 1127-1128,1997年03月01日
  • レーザ後方散乱によるセラミックス加工表面クラックの検出,日下部 卓也,三好 隆志,高谷 裕浩,金次 達真,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 397-398,1997年03月01日
  • 自由曲面形状の三次元エッジプロファイル計測に関する研究 -光リング画像を用いたエッジ検出アルゴリズム-,李 瑞〓,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 369-370,1997年03月01日
  • シリコンウェハ薄膜層モデルによる電磁波散乱シミュレーション,吉田 晴行,三好 隆志,高谷 裕浩,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 395-396,1997年03月01日
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第3報) -擬頂点を用いたB-Spline曲線の接続-,後藤 孝行,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 347-348,1997年03月01日
  • 金型加工曲面の光学式3D形状計測センサの開発研究 -センサの原理と基本特性-,聶 朝胤,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 哲,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 367-368,1997年03月01日
  • シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究(第6報) -付着微粒子の検出パターンの発生メカニズムの検討-,高橋 哲,三好 隆志,高谷 裕浩,吉田 晴行,立野 泰史,濱田 守,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 393-394,1997年03月01日
  • Fandamental Study on New Micro-Polishing Technique for Fine Die and Mold,Die & Mold Technology,Vol. 12,No. 13,1997年
  • 微細金型のマイクロポリシングに関する基礎的研究(共著),型技術,Vol. 12,No. 13,1997年
  • 意匠設計支援システムにおける形状計測と自由曲面生成に関する研究,高谷 裕浩,後藤 孝行,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 2,p. 311-312,1996年09月01日
  • 非接触光造形3D形状計測に関する研究,高谷 裕浩,李 瑞〓,高橋 哲,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 2,p. 559-560,1996年09月01日
  • 超精密ダイヤモンド切削面周期構造の光散乱スペクトル解析,梁 渭,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 1113-1114,1996年03月01日
  • セラミックマイクロクラックの自動検出に関する研究 -マイクロクラックの光散乱特性-,曽根 威一郎,三好 隆志,高谷 裕浩,日下部 卓也,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 1117-1118,1996年03月01日
  • レーザトラッピングを用いたナノ三次元位置検出プローブに関する研究-プローブの基本特性-,塩谷 達也,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 673-674,1996年03月01日
  • 長作動距離光リング式三次元形状測定センサの基本特性,尻池 一郎,三好 隆志,高谷 裕浩,高橋 文治,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 671-672,1996年03月01日
  • 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第2報) -生成曲面の評価について-,後藤 孝行,高谷 裕浩,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 803-804,1996年03月01日
  • シリコンウェハ加工表面のナノインプロセス計測に関する研究 (第4報) -付着微粒子の検出パターン特性-,高橋 哲,三好 隆志,高谷 裕浩,沖田 孝典,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 1119-1120,1996年03月01日
  • Micro-machined Profile Measurement by Means of Optical Inverse Scattering Phase Method,高谷裕浩,45/1,497,CIRP Annals,Vol. 45,No. 1,p. 497-500,1996年
  • 高密度計測点群のB-スプライン曲面へのあてはめに関する研究-曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法-,枝光 毅彦,高谷 裕浩,三好 隆志,後藤 孝行,高橋 哲,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering,公益社団法人精密工学会,Vol. 62,No. 10,p. 1425-1429,1996年
  • Study on Micro-machined Profile Measurement by means of Optical Inverse Scattering Reconstruction Phase Method-Phase Retrieval of Periodic Fine Profile-,Takashi Miyoshi,Yasuhiro Takaya,Kohichi Kinoshita,Satoru Takahashi,Takayuki Nagata,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 62,No. 7,p. 958-963,1996年
  • 高密度計測点群のB-スプライン曲面へのあてはめに関する研究-曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法-(共著),枝光 毅彦,高谷 裕浩,三好 隆志,後藤 孝行,高橋 哲,精密工学会誌,Vol. 62,No. 10,p. 1425-1429,1996年
  • 光逆散乱位相法による微細加工形状計測に関する研究-周期微細溝形状の位相回復-(共著),三好隆志,高谷裕浩,木下浩一,高橋哲,永田貴之,精密工学会誌,Vol. 62,No. 7,p. 958-963,1996年
  • レーザトラッピングを用いたナノ3DCMMに関する基礎研究(第1報)-レーザトラップ非接触プローブの基本特性-,高谷 裕浩,塩谷 達也,三好 隆志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1995,No. 2,p. 571-572,1995年09月01日
  • シリコンウェハ加工表面のナイロンプロセス計測に関する研究(第3報)-SEM観察による付着微粒子の同定-,高橋 哲,三好 隆志,高谷 裕浩,沖田 孝典,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1995,No. 2,p. 547-548,1995年09月01日
  • Nanometer Measurement of Silicon Water Surface Texture Based on Fraunhofer Diffraction Pattern,高谷裕浩,44/1,489,CIRP Annals,Vol. 44,No. 1,p. 489-492,1995年
  • Development of Automated Polishing Apparatus for Injection Mold Based on the Knowledge of Expert,Journal of the Japan Society of Grinding Engineers,Vol. 39,No. 1,1995年
  • 三次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究(第3報) : 光リング式3-D形状計測センサ,三好 隆志,高谷 裕浩,滝澤 暢,福沢 亮太,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 61,No. 2,p. 258-262,1995年
  • エキスパ-ト支援金型自動みがき装置の開発(共著),砥粒加工学会誌,Vol. 39,No. 1,1995年
  • 三次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究(第3報)-光リング式3-D形状計測センサ-(共著),三好 隆志,高谷 裕浩,滝澤 暢,福沢 亮太,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 61,No. 2,p. 258-262,1995年
  • B-Spline Curve Fitting onto Measured Point Data under Consideration of Curvature,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 60,No. 7,p. 964-968,1994年
  • 曲率を考慮したB-スプライン曲線の測定点デ-タへのあてはめ(共著),後藤孝行,三好隆志,高谷裕浩,枝光毅彦,精密工学会誌,Vol. 60,No. 7,p. 964-968,1994年
  • Fundamental Study for Measurement of the Size Parameters of Fine Grooves based on Fraunhofer Diffraction-Analysis and Measurement of Rectangular Groove-,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,Vol. 57,No. 11,p. 2041-2047,1991年
  • 回折パタ-ンによる極微細溝形状の測定評価に関する研究-矩形溝形状の測定評価-(共著),高谷裕浩,三好隆志,外山潔,斎藤勝政,精密工学会誌,Vol. 57,No. 11,p. 2041-2047,1991年
  • Fraunhofer回折による超精密加工面粗さの測定評価に関する研究,高谷 裕浩,三好 隆志,斎藤 勝政,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 56,No. 2,p. 373-380,1990年
  • Fraunhofer回折による超精密加工面粗さの測定評価に関する研究(共著),高谷 裕浩,三好 隆志,斎藤 勝隊,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 56,No. 2,p. 373-380,1990年

著書

  • 教科書・概説・概論,機械製作要論,鬼鞍宏猷,養賢堂,ISBN:9784842505411,2016年03月
  • 教科書・概説・概論,機械製作要論,鬼鞍宏猷,養賢堂,ISBN:9784842505411,2016年03月
  • 学術書,光科学の世界,光科学センター 編,朝倉書店,ISBN:9784254210422,2014年07月
  • 学術書,光科学の世界,光科学センター 編,朝倉書店,ISBN:9784254210422,2014年07月
  • 学術書,機械実用便覧 改訂第7版,本阿彌眞治,梶島岳夫,藤田喜久雄,石田徹,高谷裕浩,梅田靖ほか,日本機械学会,2011年11月
  • 学術書,機械実用便覧 改訂第7版,本阿彌眞治,梶島岳夫,藤田喜久雄,石田徹,高谷裕浩,梅田靖ほか,日本機械学会,2011年11月
  • 学術書,最新CMP技術と周辺部材,高谷裕浩,小久保 研,林 照剛,大島巧,技術情報協会,2008年02月
  • 学術書,「スキルの科学」,高谷裕浩,国際高等研究所,2007年07月
  • 学術書,図解 砥粒加工技術のすべて,高谷裕浩,工業調査会,2006年08月
  • 学術書,画像処理応用システム ---基礎から応用まで---,高谷裕浩,東京電機大学出版局,2000年07月

特許・実用新案・意匠

  • 研磨スラリー,三好 隆志,高谷 裕浩,小久保 研,松林 賢司,大島 巧,特願2005-263163,出願日:2005年08月
  • 微細構造体及びその製造方法,水谷康弘,高谷裕浩,中西弘樹,江崎隆,牧浦良彦,特願2019-203525,出願日:2019年12月
  • 微細構造体及びその製造方法,水谷康弘,高谷裕浩,中西弘樹,江崎隆,牧浦良彦,特願2019-203528,出願日:2019年12月
  • 変位測定装置及び変位測定方法,高谷裕浩,林 照剛,道畑正岐,特願2009-110246,出願日:2009年04月
  • 変位測定装置及び変位測定方法,高谷裕浩,林 照剛,道畑正岐,特願2009-110246,出願日:2009年01月
  • 質量測定装置および質量測定法,高谷裕浩,三好隆志,林 照剛,特願2005-236899,出願日:2005年08月

作品

  • フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工,2011年 ~
  • デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究,2010年 ~
  • フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工,2010年 ~
  • フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工,2009年 ~
  • デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究,2009年 ~
  • 自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究,2009年 ~
  • 自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究,2008年 ~
  • フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究,2007年 ~
  • フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究,2006年 ~
  • 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究,2006年 ~
  • 高度要素技術の融合による高機能硬脆部材製造システムの構築,2005年 ~
  • 超精密ナノ加工計測装置の開発,2005年 ~
  • フラーレンナノ粒子の光放射圧制御による超平坦化CMP加工に関する研究,2005年 ~
  • カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究,2005年 ~
  • 微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究,2005年 ~
  • 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究,2005年 ~
  • 高度要素技術の融合による高機能硬脆部材製造システムの構築,2005年 ~
  • 超精密ナノ加工計測装置の開発,2005年 ~
  • フラーレンナノ粒子の光放射圧制御による超平坦化CMP加工に関する研究,2005年 ~
  • カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究,2005年 ~
  • 微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究,2005年 ~
  • 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究,2005年 ~
  • 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究,2004年 ~
  • 光放射圧制御ナノCMM加工装置の開発,2003年 ~
  • 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究,2003年 ~
  • 非積層型液晶3次元光造形装置の開発,2002年 ~
  • 光放射圧制御ナノCMM加工装置の開発,2002年 ~
  • 高アスペクト比をもつ微細加工形状計測用レーザトラッピングプローブに関する研究,2002年 ~
  • 非積層型液晶3次元光造形装置の開発,2001年 ~
  • 半導体CMP加工における薄膜表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究,2001年 ~

受賞

  • Best paper award 2017,Kenji Maruno,Masaki Michihata,Yasuhiro Mizutani,Yasuhiro Takaya,Int. J. of Automation Technology,2017年10月
  • 工作機械技術振興賞(奨励賞),上野原努,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,工作機械技術振興財団,2014年06月
  • Koh Young Best Paper Award,M. Michihata,T. Yoshikane,T. Hayashi,Y. Takaya,Taylor&Francis, International Journal of Optomechatronics,2013年10月
  • Best Paper Award,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,Taisuke Washitani,International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2012),2012年10月
  • ASPEN2011 President excellent award,Kazumasa Kano,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,Masaki Michihata,Ken Kokubo,The 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN),2011年11月
  • Best paper award,Masaki Michihata,Yasuhiro Takaya,Terutake Hayashi,The 10th IMEKO symposium Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry (LMPMI) 2011,2011年09月
  • 工作機械技術振興賞(奨励賞),市川雄一,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,工作機械技術振興財団,2011年05月
  • Outstanding Paper Award,Yasuhiro Takaya,Masaki Michihata,Terutake Hayashi,The International Institution for Micro-Manufacturing,2011年03月
  • 精密工学会沼田記念論文賞,近英之,高谷裕浩,林 照剛,田名田祐樹,小久保研,鈴木恵友,精密工学会,2010年03月
  • 第14回知能メカトロニクスワークショップ優秀講演賞,高谷裕浩,精密工学会,2009年09月
  • 精密工学会論文賞,秋田裕之,中原裕治,古澤公康,吉岡 孝,高谷裕浩,精密工学会,2009年03月
  • ファナックFAロボット財団論文賞,秋田裕之,中原裕治,古澤公康,吉岡 孝,高谷裕浩,ファナックFAロボット財団,2009年02月
  • ファナックFAロボット財団特別賞,高谷裕浩,三好隆志,田口敦清,高橋 哲,ファナックFAロボット財団,2006年03月
  • ファナックFAロボット財団特別賞,2006年
  • ファナック FA ロボット財団 論文賞特別賞,田口敦清,ファナックFAロボット財団,2005年04月
  • 精密工学会沼田記念論文賞,田口敦清,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会,2005年03月
  • 精密工学会 沼田記念論文賞,田口敦清,精密工学会,2004年03月
  • 精密工学会賞,西野秀昭,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲,林照剛,木村景一,精密工学会,2004年03月
  • 型技術者会議’2002 奨励賞,高谷裕浩,Panart,高橋 哲,三好隆志,型技術協会,2003年06月
  • 型技術者会議2002奨励賞,2003年
  • 日本機械学会,生産加工・工作機械部門「優秀講演論文賞」,高谷裕浩,上北将広,高橋 哲,三好隆志,精密工学会,2001年11月
  • 型技術者会議2000奨励賞,林 照剛,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,型技術者協会,2001年06月
  • 精密工学会論文賞,清水浩貴,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲,精密工学会,2001年03月
  • 精密工学会賞,高橋 哲,三好隆志,高谷裕浩,立野泰史,平田文彦,剱持妥茂哉,精密工学会,2000年03月
  • 日本機械学会生産加工工作機械部門優秀講演論文表彰,2000年
  • 型技術者会議2001 奨励賞,2000年
  • 精密工学会論文賞,2000年
  • 精密工学会賞,高谷 裕浩,1999年
  • 型技術者会議1996奨励賞,高谷裕浩,三好隆志,後藤孝行,型技術協会,1997年06月
  • 精密工学会賞,三好隆志,高谷裕浩,木下浩一,高橋 哲,永田貴之,精密工学会,1997年03月
  • 型技術者会議'96奨励賞,高谷 裕浩,1997年
  • IMEKO World Congress XIV Gyorgy Striker Award,高谷 裕浩,1997年
  • Gyogy Striker Award,1997年
  • 型技術者会議'96 奨励賞,1997年
  • IMEKO 論文賞 (GY(]J1051[)RGY STRIKER JUNIOR PAPER AWARD),1997年
  • 砥粒加工学会 ABTEC'93学術講演奨励賞,高谷 裕浩,1994年
  • 砥粒加工学会 ABTEC'93 学術講演奨励賞,1994年

報道

  • 高能率な生産環境の構築に貢献する計測・測定技術の最前線,日刊工業新聞,2002年10月

学術貢献

  • 国際高等研究所,2007年04月 ~ 2010年03月
  • 日本機械学会関西支部(商議員),2007年04月 ~ 2008年03月
  • 国際高等研究所,2004年04月 ~ 2006年03月
  • ものづくりクラスター協議会,2004年04月 ~ 2005年03月
  • 砥粒加工学会(編集委員),2003年04月 ~ 2005年03月
  • 型技術協会(編集委員),2002年06月 ~ 2004年05月
  • 4th CIRP International Conference on High Performance Cutting (HPC 2010),CIRP,2010年11月 ~
  • 10th International Symposium on Measurement and Quality Control (ISMQC2010),国際計測連合(IMEKO)幾何量計測に関する専門委員会 TC14,2010年09月 ~
  • The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21),日本機械学会,2009年11月 ~
  • The 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21),日本機械学会,2007年11月 ~
  • 講習会「CMPプロセスにおける消耗材の選定と平坦化・低ダメージ技術」,技術情報協会,2007年08月 ~
  • 基礎講座「これからの生産技術」,精密工学会関西支部,2006年12月 ~
  • 精密工学会第312回講習会・シリーズ実験・評価機器マスターへの道その2,精密工学会,2006年10月 ~
  • 平成17年度マイクロ・ナノ融合加工技術研究会,京都府中小企業技術センター,(社)京都経営・技術研究会,2006年03月 ~
  • (社)砥粒加工学会賛助会員会・見学会 「(株)島津製作所 三条工場を訪ねて」,(社)砥粒加工学会,2006年01月 ~
  • インターモールド・テクニカル・セミナー,インターモールド振興会,2006年01月 ~
  • オープンセミナー「砥粒加工の基礎講座」ー半日でわかる砥粒加工ー,2005年12月 ~
  • SPIE International Symposium on Optomechatronic Technologies(ISOT2005),SPIE,2005年12月 ~
  • 基礎講座「これからの生産技術」,精密工学会関西支部,2005年11月 ~
  • 日本機械学会関西支部第6回秋季技術交流フォーラム,日本機械学会,2005年10月 ~
  • The 3rd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21),日本機械学会,2005年10月 ~
  • 2005年度精密工学会学術講演会秋季大会,(社)精密工学会,2005年09月 ~
  • 光ナノテクフェアー2005,日本光学測定機工業会,日本精密測定機器工業会,2005年06月 ~
  • 型技術者会議2005,型技術協会,2005年06月 ~
  • 型技術者会議2004,型技術協会,2004年06月 ~
  • 2004光計測シンポジウム,日本光学測定機工業会,2004年06月 ~
  • 第4回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会,日本機械学会,2002年11月 ~
  • 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会,精密工学会,2002年10月 ~
  • 第14回プラスチックプロセスセミナー:次世代の市場を創る「マイクロモールド金型とナノモールドの可能性」,日本塑性加工学会 プラスチックプロセス分科会,2002年06月 ~
  • 型技術者会議2002,型技術協会,2002年06月 ~
  • 2002年度精密工学会春季大会学術講演会,精密工学会,2002年03月 ~
  • 第13回外観検査の自動化ワークショップ,精密工学会,2001年12月 ~
  • 第3回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会,日本機械学会,2001年11月 ~
  • 2001年度精密工学会秋季大会学術講演会,精密工学会,2001年09月 ~
  • 型技術者会議2001,型技術協会,2001年06月 ~
  • 2001年度精密工学会春季大会学術講演会,精密工学会,2001年03月 ~
  • 第11回三次元工学研究会,三次元工学研究会,精密工学会フォトニクス技術分科会,2000年12月 ~

委員歴

  • : 精密工学会 校閲委員,2000年 ~ 2002年
  • 学協会,精密工学会,校閲委員,2000年 ~ 2002年
  • -: 日本機械学会関西支部 商議員,2007年 ~
  • 学協会,日本機械学会関西支部,商議員,2007年 ~
  • -: 精密工学会 校閲委員会・幹事,2004年 ~
  • -: 日本機械学会 生産加工・工作機械部門・第1企画部・幹事,2004年 ~
  • -: 日本機械学会 校閲委員,2004年 ~
  • -: 型技術協会 理事,2004年 ~
  • 学協会,精密工学会,校閲委員会・幹事,2004年 ~
  • 学協会,日本機械学会,生産加工・工作機械部門・第1企画部・幹事,2004年 ~
  • 学協会,日本機械学会,校閲委員,2004年 ~
  • 学協会,型技術協会,理事,2004年 ~
  • -: 砥粒加工学会 編集委員,2003年 ~
  • 学協会,砥粒加工学会,編集委員,2003年 ~