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髙谷 裕浩
Yasuhiro Takaya
髙谷 裕浩
Yasuhiro Takaya
機関リポジトリ
工学研究科　機械工学専攻，教授

keyword 光応用加工，光応用計測，超精密ナノ加工計測

機関リポジトリ

経歴 6

  1. 2024年4月 ～ 継続中
    大阪大学　全学教育推進機構　副機構長

  2. 2006年4月 ～ 継続中
    大阪大学　大学院工学研究科　教授

  3. 2016年4月 ～ 2019年3月
    大阪大学 全学教育推進機構　高大接続オフィス運営委員

  4. 1997年7月 ～ 2006年3月
    大阪大学 工学研究科　助教授

  5. 1995年7月 ～ 1997年6月
    大阪大学講師

  6. 1992年4月 ～ 1995年6月
    大阪大学助手

学歴 3

  1. 北海道大学　大学院工学研究科　精密工学専攻 博士後期課程

    1989年3月 ～ 1992年4月

  2. 北海道大学　大学院工学研究院　精密工学専攻 博士前期課程

    1987年4月 ～ 1989年3月

  3. 北海道大学　工学部　精密工学科

    1983年4月 ～ 1987年3月

委員歴 14

  1. : 精密工学会 校閲委員

    2000年 ～ 2002年

  2. 精密工学会　校閲委員　学協会

    2000年 ～ 2002年

  3. -: 日本機械学会関西支部 商議員

    2007年 ～

  4. 日本機械学会関西支部　商議員　学協会

    2007年 ～

  5. -: 精密工学会 校閲委員会・幹事

    2004年 ～

  6. -: 日本機械学会 生産加工・工作機械部門・第１企画部・幹事

    2004年 ～

  7. -: 日本機械学会 校閲委員

    2004年 ～

  8. -: 型技術協会 理事

    2004年 ～

  9. 精密工学会　校閲委員会・幹事　学協会

    2004年 ～

  10. 日本機械学会　生産加工・工作機械部門・第１企画部・幹事　学協会

    2004年 ～

  11. 日本機械学会　校閲委員　学協会

    2004年 ～

  12. 型技術協会　理事　学協会

    2004年 ～

  13. -: 砥粒加工学会 編集委員

    2003年 ～

  14. 砥粒加工学会　編集委員　学協会

    2003年 ～

所属学会 12

  1. 国際計測連合会議（IMEKO）

  2. 自動車技術会

  3. 国際生産工学アカデミー（CIRP）

  4. 米国精密工学会（ASPE）

  5. 国際計測連合会議

  6. 国際生産工学アカデミー

  7. 日本機械学会関西支部

  8. 型技術協会

  9. 米国精密工学会

  10. 砥粒加工学会

  11. 日本機械学会

  12. 精密工学会

研究内容・専門分野 5

  1. ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /

  2. ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /

  3. ナノテク・材料 / ナノ材料科学 /

  4. ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 計測工学 /

  5. ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /

受賞 37

  1. Best paper award 2017

    Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya　Int. J. of Automation Technology　2017年10月

  2. 工作機械技術振興賞（奨励賞）

    上野原努, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐　工作機械技術振興財団　2014年6月

  3. Koh Young Best Paper Award

    M. Michihata, T. Yoshikane, T. Hayashi, Y. Takaya　Taylor&Francis, International Journal of Optomechatronics　2013年10月

  4. Best Paper Award

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani　International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2012)　2012年10月

  5. ASPEN2011 President excellent award

    Kazumasa Kano, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo　The 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN)　2011年11月

  6. Best paper award

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi　The 10th IMEKO symposium Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry (LMPMI) 2011　2011年9月

  7. 工作機械技術振興賞（奨励賞）

    市川雄一, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐　工作機械技術振興財団　2011年5月

  8. Outstanding Paper Award

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi　The International Institution for Micro-Manufacturing　2011年3月

  9. 精密工学会沼田記念論文賞

    近英之, 高谷裕浩, 林 照剛, 田名田祐樹, 小久保研, 鈴木恵友　精密工学会　2010年3月

  10. 第14回知能メカトロニクスワークショップ優秀講演賞

    高谷裕浩　精密工学会　2009年9月

  11. 精密工学会論文賞

    秋田裕之, 中原裕治, 古澤公康, 吉岡 孝, 高谷裕浩　精密工学会　2009年3月

  12. ファナックFAロボット財団論文賞

    秋田裕之, 中原裕治, 古澤公康, 吉岡 孝, 高谷裕浩　ファナックFAロボット財団　2009年2月

  13. ファナックFAロボット財団特別賞

    高谷裕浩, 三好隆志, 田口敦清, 高橋 哲　ファナックFAロボット財団　2006年3月

  14. ファナックFAロボット財団特別賞

    2006年

  15. ファナック FA ロボット財団 論文賞特別賞

    田口敦清　ファナックFAロボット財団　2005年4月

  16. 精密工学会沼田記念論文賞

    田口敦清, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲　精密工学会　2005年3月

  17. 精密工学会 沼田記念論文賞

    田口敦清　精密工学会　2004年3月

  18. 精密工学会賞

    西野秀昭, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲, 林照剛, 木村景一　精密工学会　2004年3月

  19. 型技術者会議’2002 奨励賞

    高谷裕浩, Panart, 高橋 哲, 三好隆志　型技術協会　2003年6月

  20. 型技術者会議2002奨励賞

    2003年

  21. 日本機械学会，生産加工・工作機械部門「優秀講演論文賞」

    高谷裕浩, 上北将広, 高橋 哲, 三好隆志　精密工学会　2001年11月

  22. 型技術者会議2000奨励賞

    林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲　型技術者協会　2001年6月

  23. 精密工学会論文賞

    清水浩貴, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲　精密工学会　2001年3月

  24. 精密工学会賞

    高橋 哲, 三好隆志, 高谷裕浩, 立野泰史, 平田文彦, 剱持妥茂哉　精密工学会　2000年3月

  25. 日本機械学会生産加工工作機械部門優秀講演論文表彰

    2000年

  26. 型技術者会議2001 奨励賞

    2000年

  27. 精密工学会論文賞

    2000年

  28. 精密工学会賞

    高谷 裕浩　1999年

  29. 型技術者会議1996奨励賞

    高谷裕浩, 三好隆志, 後藤孝行　型技術協会　1997年6月

  30. 精密工学会賞

    三好隆志, 高谷裕浩, 木下浩一, 高橋 哲, 永田貴之　精密工学会　1997年3月

  31. 型技術者会議'96奨励賞

    高谷 裕浩　1997年

  32. IMEKO World Congress XIV Gyorgy Striker Award

    高谷 裕浩　1997年

  33. Gyogy Striker Award

    1997年

  34. 型技術者会議'96 奨励賞

    1997年

  35. IMEKO 論文賞 (GY(]J1051[)RGY STRIKER JUNIOR PAPER AWARD)

    1997年

  36. 砥粒加工学会 ABTEC'93学術講演奨励賞

    高谷 裕浩　1994年

  37. 砥粒加工学会 ABTEC'93 学術講演奨励賞

    1994年

論文 386

  1. Stroboscopic sampling moiré microscope (SSMM) for investigating full field in-plane vibration of MEMS mechanical transducers

    Mona Yadi, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yoshiharu Morimoto, Yasuhiro Takaya

    Precision Engineering　Vol. 92　p. 21-29　2025年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  2. Improving the reliability of deep learning computational ghost imaging with prediction uncertainty based on neighborhood feature maps

    Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Erick Ipus, Kouichi Nitta, Osamu Matoba, Yasuhiro Takaya, Enrique Tajahuerce

    Applied Optics　2024年4月15日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Optica Publishing Group

  3. Phase Retrieval Algorithm for Surface Topography Measurement Using Multi-Wavelength Scattering Spectroscopy

    Satoshi Itakura, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Automation Technology　Vol. 18　No. 1　p. 92-103　2024年1月5日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Fuji Technology Press Ltd.

  4. Shock Wave Detection for In-Process Depth Measurement in Laser Ablation Using a Photonic Nanojet

    Tsutomu Uenohara, Makoto Yasuda, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Automation Technology　Vol. 18　No. 1　p. 58-65　2024年1月5日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Fuji Technology Press Ltd.

  5. Noise-robust deep learning ghost imaging using a non-overlapping pattern for defect position mapping

    Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Osamu Matoba

    Applied Optics　Vol. 61　No. 34　p. 10126-10126　2022年11月28日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Optica Publishing Group

  6. Relationship between the kernel size of a convolutional layer and the optical point spread function in ghost imaging using deep learning for identifying defect locations

    Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Osamu Matoba

    Applied Optics　Vol. 61　No. 23　p. 6714-6714　2022年8月10日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Optica Publishing Group

  7. 機能性光学・システムによるスマート計測・センシング

    高谷 裕浩, 水谷 康弘

    精密工学会誌　Vol. 88　No. 5　p. 363-369　2022年5月5日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  8. Structure estimation of deep neural network for triangulation displacement sensors

    Y. Mizutani, S. Kataoka, Y. Nagai, T. Uenohara, Y. Takaya

    CIRP Annals　2022年5月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  9. Detection of shock wave in laser ablation using a photonic nanojet

    Tsutomu Uenohara, Makoto Yasuda, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Measurement: Sensors　Vol. 18　p. 100217-100217　2021年12月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  10. Shape control using hologram-assisted talbot lithography

    Naoki Ura, Yasuhiro Mizutani, Ryu Ezaki, Tsutomu Uenohara, Yoshihiko Makiura, Yasuhiro Takaya

    Optical Technology and Measurement for Industrial Applications Conference 2021　p. 7-7　2021年10月27日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  11. Ghost imaging with probability estimation using convolutional neural network: improving estimation accuracy using parallel convolutional neural network

    Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya

    Optical Technology and Measurement for Industrial Applications Conference 2021　Vol. 78　p. 2-2　2021年10月27日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  12. 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第4報）—VIPA分光法を用いた回折像分光における光ファイバの空間モード分散の影響

    板倉 聡史, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2021A　p. 590-591　2021年9月8日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  13. フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第9報）—入射光の振幅分布と位相分布による強度分布の制御

    上野原 努, 高田 泰成, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2021A　p. 616-617　2021年9月8日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  14. In-Process Height Displacement Measurement Using Crossed Line Beams for Process Control of Laser Wire Deposition

    Takushima Shigeru, Shinohara Nobuhiro, Morita Daiji, Kawano Hiroyuki, Mizutani Yasuhiro, Takaya Yasuhiro

    International Journal of Automation Technology　Vol. 15　No. 5　p. 715-727　2021年9月5日

    出版者・発行元：Fuji Technology Press Ltd.

  15. First Step Toward Laser Micromachining Realization by Photonic Nanojet in Water Medium

    Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Automation Technology　Vol. 15　No. 4　p. 492-502　2021年7月5日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Fuji Technology Press Ltd.

  16. 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第3報）—光周波数コムを光源とした回折像のVIPA分光

    板倉 聡史, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2021S　p. 633-634　2021年3月3日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  17. 光スピンホール効果エリプソメトリの開発（第5報）—光スピンホール効果の2D分布測定によるサブナノメートル表面トポグラフィー

    LI ZHEHAN, 水谷 康弘, 上野原 努, 田所 利康, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2021S　p. 641-642　2021年3月3日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  18. タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第6報）—ディープラーニングを用いた露光光波の振幅位相制御

    浦 直樹, 水谷 康弘, 江崎 隆, 上野原 努, 牧浦 良彦, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2021S　p. 647-648　2021年3月3日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  19. タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第5報）—斜め入射光を利用した多重露光によるナノピラー構造の作製

    江崎 隆, 水谷 康弘, 浦 直樹, 上野原 努, 牧浦 良彦, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2021S　p. 583-584　2021年3月3日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  20. Ghost Imaging with Deep Learning for Position Mapping of Weakly Scattered Light Source

    Yasuhiro Mizutani, Shoma Kataoka, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya

    Nanomanufacturing and Metrology　Vol. 4　No. 1　p. 37-45　2021年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Springer Science and Business Media LLC

  21. Laser micro machining using a photonic nanojet in water medium

    Tsutomu Uenohara, Reza Aulia Rahman, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the ASME 2021 16th International Manufacturing Science and Engineering Conference, MSEC 2021　Vol. 1　2021年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：American Society of Mechanical Engineers

  22. 量子もつれ光源を用いた表面形状と薄膜の同時計測—（量子もつれ光子の生成）

    家中 乾大, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    年次大会　Vol. 2021　2021年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会

  23. 3D Lithography Using Talbot Effect- Controlling the Periodicity of Structures by Deep Learning -

    Ura Naoki, Mizutani Yasuhiro, Uenohara Tsutomu, Makiura Yoshihiko, Takaya Yasuhiro

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21　Vol. 2021.10　2021年

    出版者・発行元：The Japan Society of Mechanical Engineers

  24. Ghost imaging for weak light imaging by using arrival time of photon and deep learning

    Yasuhiro Mizutani, Shoma Kataoka, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya

    Biomedical Imaging and Sensing Conference 2020　2020年6月15日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  25. In-liquid laser nanomachining by photonic nanojet in laser trapping system

    Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020　2020年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：American Society of Mechanical Engineers

  26. Sub-micrometer scale laser machining using position controlled photonic nanojet

    Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020　2020年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：American Society of Mechanical Engineers

  27. フォトニックナノジェットを用いたレーザ微細加工に関する研究 (第1報) フォトニックナノジェットの基本的加工特性

    上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. 86　No. 1　p. 113-119　2020年1月　研究論文（学術雑誌）

  28. Comparison of intensity distribution of photonic nanojet according to Gaussian beam and radially polarization beam incidence

    Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Precision Engineering　Vol. 60　p. 274-279　2019年11月　研究論文（学術雑誌）

  29. Optical in-process height monitoring measurement system for in-process control of laser metal-wire deposition

    Shigeru Takushima, Daiji Morita, Nobuhiro Shinohara, Hiroyuki Kawano, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Precision Engineering　Vol. 62　p. 23-29　2019年11月　研究論文（学術雑誌）

  30. 【invited】High-speed ghost imaging with deep learning

    Yasuhiro Mizuatni, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya

    2019年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  31. 3D surface measurement for tens-nanometers-scale groove using entanglement photons

    Congxiang Zhang, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    2019年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  32. Fabrication of Three Dimensional High Aspect Ratio Structure by Talbot Lithography

    Ryu Ezaki, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    2019年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  33. Laser micro machining using a photonic nanojet controlled by intensity distribution of incident laser

    Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    2019年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  34. Fabrication of 3D Nano-Periodic Structure Using Multiple Exposure Lithography by Talbot Effect

    Hiroki NAKANISHI, Mitsuru SHINOZAKI, Yasuhiro MIZUTANI, Yasuhiro TAKAYA

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 85　No. 8　p. 710-716　2019年8月5日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Japan Society for Precision Engineering

  35. タルボット効果による多重露光リソグラフィを用いた3 次元ナノ周期構造の作製

    中西弘樹, 篠崎充, 水谷康弘, 高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. 85　No. 8　p. 710-716　2019年8月　研究論文（学術雑誌）

  36. 【invited】 Single Pixel imaging and its application

    Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Otoki Yagi, Yasuhiro Takaya

    2019年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  37. In-Liquid Laser Nanomachining by Photonic Nanojet in Optical Tweezers Configuration

    Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    2019年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  38. Comparison of intensity distribution of photonic nanojet according to Gaussian beam and radially polarization beam incidence

    上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩

    Precision Engineering　Vol. 60　p. 274-279　2019年4月　研究論文（学術雑誌）

  39. 【invited】 High-speed ghost imaging with deep learning

    Yasuhiro Mizutani, Otoki Yagi, Yasuhiro Takaya

    2019年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  40. Fabrication of three dimensional nano-periodic structure by the Talbot lithography using multiple exposure

    Hiroki Nakanishi, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 11142　2019年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  41. On-machine measurement of tool edge shape by using fluorescence of cutting fluid (Examination of applicability to water-soluble cutting fluid)

    Kohei MATSUMOTO, Yasuhiro MIZUTANI, Yasuhiro TAKAYA

    Transactions of the JSME (in Japanese)　Vol. 85　No. 880　p. 19-00238　2019年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Japan Society of Mechanical Engineers

  42. Surface roughness detection by spin Hall effect of light with sub-nanometer resolution

    Yasuhiro Mizutani, Hiroyuki Fujita, Yasuhiro Takaya

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 1065　No. 14　2018年11月13日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Institute of Physics Publishing

  43. First photon ghost imaging by single photon counting

    Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya

    2018年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  44. Fundamental study on entangled photon probe for quantum optical metrology

    Fumitake Yano, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    2018年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  45. On-machine high-precision deflection measurement by multi-directional laser displacement sensor using scanning exposure method

    Shigeru Takushima, Koichiro Chikahisa, Hiroyuki Kawano, Toshiaki Kurokawa, Ken Inukai, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of 2018 ISFA - 2018 International Symposium on Flexible Automation　2018年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：International Symposium on Flexible Automation, ISFA 2018

  46. Application of photonic nanojet to precise surface fabrication

    Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Toraibarojisuto/Journal of Japanese Society of Tribologists　Vol. 63　No. 10　p. 684-689　2018年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Japanese Society of Tribologists

  47. Laser micro machining using a photonic nanojet controlled by incident wavelength

    Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Yasuhiro Mizutani

    European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 18th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2018　p. 101-102　2018年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：euspen

  48. Surface imaging technique by an optically trapped microsphere in air condition

    Masaki Michihata, Jonggang Kim, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Nanomanufacturing and metrology　Vol. 1　No. 1　p. 32-38　2018年1月　研究論文（学術雑誌）

  49. 【invited】Ghost imaging for single photon counting

    Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya

    2017年12月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  50. Fabrication of layered nanostructure in large area by 3D lithography using Talbot effect

    Yasuhiro Mizutani, Mitsuru Shinozaki, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017　2017年11月13日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Japan Society of Mechanical Engineers

  51. Precise diameter measurement of a microsphere based on polarization analysis of whispering gallery mode resonance

    Masaki Michihata, Akifumi Kawasaki, Yasuhiro Takaya

    Applied Mechanics and Materials　Vol. 870　p. 108-113　2017年9月　研究論文（学術雑誌）

  52. Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale

    Masaki Michihata, Shin-Ichi Ueda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiro Takaya

    Optical Engineering　Vol. 56　No. 6　2017年6月1日　研究論文（学術雑誌）

  53. Tool condition monitoring technique for deep-hole drilling of large components based on chatter identification in time–frequency domain

    Masahiro Uekita, Yasuhiro Takaya

    Measurement　Vol. 103　p. 199-207　2017年6月　研究論文（学術雑誌）

  54. Tool condition monitoring for from milling of large parts by combining spindle motor current and acoustic emission signals

    Masahiro Uekita, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Advanced Manufacturing Technology　Vol. 89　No. 1-4　p. 65-75　2017年6月　研究論文（学術雑誌）

  55. Ellipsometry using the spin Hall effect of light for surface roughness detection

    Hiroyuki Fujita, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    ISAAT 2017 - Proceedings of the 20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology　p. 1136-1141　2017年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology, ISAAT 2017

  56. First photon detection Ghost imaging

    Hiroki Taguchi, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Optics InfoBase Conference Papers　Vol. 2017　2017年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：OSA - The Optical Society

  57. 微弱励起光による光相関を用いた蛍光イメージングに関する研究（第2報）

    田口 寛樹, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 491-492　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  58. フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第3報）

    上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 515-516　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  59. タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第1報）

    篠崎 充, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 511-512　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  60. 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第5報）

    山口 悠希, 道畑 正岐, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 271-272　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  61. 光スピンホール効果エリプソメトリの開発（第一報）基本原理の検証

    藤田 寛之, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 279-280　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  62. Time-resolved oblique incident interferometry for vibration analysis of an ultrasonic motor

    Yasuhiro Mizutani, Takayuki Higuchi, Tetsuo Iwata, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Automation Technology　Vol. 11　No. 5　p. 800-805　2017年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Fuji Technology Press

  63. Laser micro machining beyond the diffraction limit using a photonic nanojet

    Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Yasuhiro Mizutani

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 66　No. 1　p. 491-494　2017年　研究論文（学術雑誌）

  64. Fabrication of Morpho like structure using Talbot effect

    Mitsuru Shinozaki, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    2016年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  65. Laser micro processing by position control of a photonic nanojet

    Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Yasuhiro Mizutani

    2016年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  66. 【invited】Ghost imaging ellipsometry

    Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, Yukitoshi Otani

    2016年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  67. Hybrid probing technique for coordinate measurement with optically trapped micro sphere

    Yuki Yamaguchi, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Proc. SPIE　Vol. 10023　2016年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  68. Spin Hall effect of light applied in optical linear scale

    Yasuhiro Mizutani, Kazunori Ueda, Yasuhiro Takaya

    Proc. SPIE　Vol. 10023　p. 8-22　2016年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  69. Hybrid SERS analysis of reactive nanoparticles for chemical interaction in copper CMP

    Yasuhiro Takaya, Masafumi Asahi, Yasuhiro Mizutani

    p. 374-377　2016年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  70. Confocal fluorescence microscopic measurement of tool wear profile with cutting fluid layer

    Yasuhiro Takaya, Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani

    CIRP Annals-Manufacturing Technology　Vol. 65　No. 1　p. 467-470　2016年7月　研究論文（学術雑誌）

  71. タルボット効果を用いた金属3次元ナノ構造の作製（第1報）

    篠崎 充, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 1005-1006　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  72. フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第2報）

    上野原 努, 高谷 裕浩, 水谷 康弘

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 1011-1012　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  73. WGM共振を利用した微小球の直径計測（第5報）

    川嵜 彬史, 道畑 正岐, 高谷 裕浩, 水谷 康弘

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 33-34　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  74. 表面増強ラマン分光法による反応性ナノ粒子を用いたCu-CMPの化学的研磨作用分析

    旭 真史, 高谷 裕浩, 水谷 康弘

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 3-4　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  75. 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第3報）

    山口 悠希, 道畑 正岐, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 37-38　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  76. 蛍光共焦点法による工具刃先形状の機上計測に関する研究（第2報）

    丸野 兼治, 道畑 正岐, 水谷 康弘, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 19-20　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  77. サブnmオーダ分解能を有する光スピンホール効果プローブの開発

    水谷 康弘, 上田 和徳, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 981-982　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  78. 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第2報）

    金 鐘剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩, 水谷 康弘

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 59-60　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  79. On-machine dimensional measurement of large parts by compensating for volumetric errors of machine tools

    Masahiro Uekita, Yasuhiro Takaya

    PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY　Vol. 43　p. 200-210　2016年1月　研究論文（学術雑誌）

  80. Fundamental study on novel on-machine measurement method of a cutting tool edge profile with a fluorescent confocal microscopy

    Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Automation Technology　Vol. 10　No. 1　p. 106-113　2016年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Fuji Technology Press

  81. Measurement of a tool wear profile using confocal fluorescence microscopy of the cutting fluid layer

    Yasuhiro Takaya, Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 65　No. 1　p. 467-470　2016年　研究論文（学術雑誌）

  82. Fluorescence microscope by using computational ghost imaging

    Yasuhiro Mizutani, Kyuki Shibuya, Tetsuo Iwata, Yasuhiro Takaya

    MATEC Web of Conferences　Vol. 32　2015年12月2日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：EDP Sciences

  83. Fluorescence microscope by using computational ghost imaging

    Yasuhiro Mizutani, Kyuki Shibuya, Yoshihiko Makiura, Hiroki Maruoka, Tetsuo Iwata, Yasuhiro Takaya

    p. 03001-1-03001-5　2015年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  84. On–Machine Measurement of Cutting Tool Edge Profile by Detecting Fluorescence from Cutting Fluid

    Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya

    Vol. 32　p. 03003-1-03003-5　2015年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  85. Study on nanoparticle sizing using fluorescent polarization method with DNA fluorescent probe

    Terutake Hayashi, Yuki Ishizaki, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Shin-Ichi Tanaka

    International Journal of Automation Technology　Vol. 9　No. 5　p. 534-540　2015年9月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Fuji Technology Press

  86. Wide-Range Axial Position Measurement for Jumping Behavior of Optically Trapped Microsphere Near Surface Using Chromatic Confocal Sensor

    Shin-Ichi Ueda, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Optomechatronics　Vol. 9　No. 2　p. 131-140　2015年4月3日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Taylor and Francis Inc.

  87. Optically trapped microprobe for nano-profile measurement based on interpolation method of standing wave scale usign chromatic confocal system

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Shinichi Ueda

    XXI IMEKO World Congress "Measurement in Research and Industry"　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：IMEKO-International Measurement Federation Secretariat

  88. Measurement of micro-sphere diameter based on whispering gallery mode

    Masaki Michihata, Akifumi Kawasaki, Atsushi Adachi, Yasuhiro Takaya

    XXI IMEKO World Congress "Measurement in Research and Industry"　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：IMEKO-International Measurement Federation Secretariat

  89. 【知的ナノ計測専門委員会】ものづくり基盤の進化からイノベーションの創出を担う知的ナノ計測

    高谷 裕浩

    精密工学会誌　Vol. 81　No. 10　p. 911-914　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  90. フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究 （第1報）

    上野原 努, 高谷 裕浩, 水谷 康弘, 道畑 正岐

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 395-396　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  91. WGM共振を利用した微小球の直径計測（第4報）

    足立 篤, 道畑 正岐, 川嵜 彬史, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 127-128　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  92. 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第５報）

    上田 真一, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 121-122　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  93. DNAの相補性を用いたマイクロ部品自律的組み立てに関する研究（第3報）

    田代 裕之, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 133-134　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  94. WGM共振を利用した微小球の直径計測（第3報）

    川嵜 彬史, 道畑 正岐, 足立 篤, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 125-126　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  95. フェムトパストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究（第2報）

    大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 129-130　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  96. Study on chemical interaction analysis of reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy

    Ryota Murai, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata

    Key Engineering Materials　Vol. 625　p. 332-338　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Trans Tech Publications Ltd

  97. Nanoparticle sizing method based on fluorescence anisotropy analysis

    Terutake Hayashi, Yuki Ishizaki, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Shin-Ichi Tanaka

    Measurement: Journal of the International Measurement Confederation　Vol. 59　p. 382-388　2015年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier B.V.

  98. Measurement of axial position of a microsphere using chromatic confocal system for probe system based on the laser trapping with the standing wave scale

    Shin-ichi UEDA, Masaki MICHIHATA, Terutake HAYASHI, Yasuhiro TAKAYA

    p. 223-227　2014年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  99. Fundamental study for measuring micro-flow with Michelson interferometer enhanced by external random signal

    Masaki Michihata, Phong Tran Dang, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Journal of advanced mechanical design, systems, and manufacturing　Vol. 8　No. 4　p. 1-11　2014年10月　研究論文（学術雑誌）

  100. 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究（第2報）−DNAプローブの回転拡散係数評価に基づく粒径計測手法の提案−

    林 照剛, 石崎佑樹, 道畑正岐, 高谷裕浩, 田中慎一

    精密工学会誌　Vol. 80　No. 10　p. 956-960　2014年10月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  101. Feasibility study for optical micro-coordinate measurement based on fluorescence signal

    Masaki Michihata, Ayano Fukui, Kenji Maruno, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    2014年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  102. パルストレインビームを用いたコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第1報 ) –コヒーレントフォノン励起加工システムの構築と加工基礎実験–

    林 照剛, 福田悠介, 道畑正岐, 高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. 80　No. 9　p. 214-219　2014年9月　研究論文（学術雑誌）

  103. パルストレインビームを用いたコヒーレントフォノン励起加工に関する研究 (第一報)

    林 照剛, 福田 悠介, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会誌　Vol. 80　No. 9　p. 867-872　2014年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  104. Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode

    Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Atsushi Adachi, Yasuhiro Takaya

    CIRP Annals - Manufacturing technology　Vol. 63　No. 1　p. 469-472　2014年8月　研究論文（学術雑誌）

  105. Fundamental validation for surface texture imaging using a microsphere as a laser-trapping-based microprobe

    Masaki Michihata, Kosuke Takami, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Advanced Optical Technologies　Vol. 3　No. 4　p. 417-423　2014年8月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Walter de Gruyter GmbH

  106. Study on surface processing using femto pulse train beam -Processing by using double pulse train beam-

    Terutake Hayashi, Yusuke Fukuta, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    2014年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  107. Sensing a vertical surface by measuring a fluorescence signal using a confocal optical system

    Masaki Michihata, Ayano Fukui, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Measurement science and technology　Vol. 25　No. 6　2014年6月　研究論文（学術雑誌）

  108. 表面微細構造基板を用いた大気中レーザトラッピング技術

    道畑正岐, 林 照剛, 高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. 80　No. 4　p. 382-387　2014年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  109. 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究（第１報）−蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発−

    石崎佑樹, 林 照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. 80　No. 2　p. 214-219　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  110. ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究

    村井亮太, 高谷裕浩, 林 照剛, 道畑正岐, 小松直樹

    砥粒加工学会誌　Vol. 58　No. 2　p. 97-102　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：社団法人 砥粒加工学会

  111. Total Angle Resolved Scattering Characterization for Ultra-fine Finished Surface Areal-topography

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi

    PROCEEDINGS OF 2014 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTOMECHATRONIC TECHNOLOGIES (ISOT)　p. 200-204　2014年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  112. Enhancement of sensing resolution for minute refractive index change of micro flow by light interferometer using stochastic resonance

    Tran Dang Phong, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21　Vol. 2013　No. 7　p. 187-191　2013年11月

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  113. Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectrometry

    Ryota Murai, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo

    2013年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  114. Study on surface processing process by using femto-second pulse train beam with excitation of coherent phonon

    Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Yusuke Fukuta

    2013年10月

  115. Optimization of Coupling Condition in Distance between the Sphere and the Tapered Fiber for Diameter Measurement of Microsphere by using WGM Resonance

    Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Vol. 306　p. 63-72　2013年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：

  116. Fundamental investigation for Stochastic metrology with multi-sensors for micro-system technology: In case of optical path length

    Masaki Michihata, Tran Dang Phong, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    2013年9月

  117. Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization

    Yuki Ishizaki, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    2013年9月

  118. Coordinate measurement of a microstructure using an optically trapped microprobe with two types of probing mode

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi

    2013年9月

  119. Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance

    Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    2013年7月

  120. Surface detection of vertical sidewall by measuring fluorescent signal for three dimensional shape measurement of microstructures

    Ayano Fukui, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    2013年7月

  121. Fundamental study on chemical mechanical polishing of copper wafer surface using water-soluble fullerenol as a functional molecule

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi

    2013年6月

  122. Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi

    Vol. 8769　2013年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  123. Study on surface processing process by using femtosecond pulse train beam with excitation of coherent phonon

    Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Yusuke Fukuta

    Proceedings of the 28th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2013　p. 540-544　2013年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  124. DNAの相補性を用いたマイクロ部品自律的組み立てに関する研究（第２報）:複数種のマイクロ部品の同時位置決めに関する検討

    田代 裕之, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 513-514　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  125. 回折光トラッピングによるマイクロ部品の捕捉制御に関する研究（第1報）:トラッピングの基本的特性の実験的検証

    道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 397-398　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  126. 蛍光検出によるマイクロトレンチ構造の3次元形状計測（第1報）:垂直面から検出される蛍光信号特性

    福井 彩乃, 道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 359-360　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  127. フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究（第1報）:コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発

    大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 273-274　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  128. 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第3報）:スケールの内挿誤差の検討

    上田 真一, 道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 355-356　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  129. WGM共振を利用した微小球の直径計測（第一報）:結合条件が共振ピークに与える影響

    足立 篤, 道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 67-68　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  130. 確率共鳴を利用した光干渉計によるマイクロ流れの微小屈折率変化の可視化（第1報）:光散乱を用いた微小屈折率変化計測原理の検証

    Tran Phong Dang, 道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 73-74　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  131. デジタルホログラフィを用いたリアルタイム3次元計測（キーノートスピーチ）

    林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 621-622　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  132. Surface analysis of the chemical polishing process using a fullerenol slurry by Raman spectroscopy under surface plasmon excitation

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Ryota Murai, Kazumasa Kano

    CIRP Annals - Manufacturing Technology　Vol. 62　No. 1　p. 571-574　2013年　研究論文（学術雑誌）

  133. New Technique for Single-Beam Gradient-Force Laser Trapping in Air

    Masaki Michihata, Tada-aki Yoshikane, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Optomechatronics　Vol. 7　No. 1　p. 46-59　2013年　研究論文（学術雑誌）

  134. Development of a novel surface processing system using femto pulse train

    Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    Key Engineering Materials　Vol. 523-524　p. 220-225　2012年11月　研究論文（学術雑誌）

  135. A novel batch fabrication of micro parts using DNA pattern recognition

    Masafumi Yasuda, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    Key Engineering Materials　Vol. 523-524　p. 598-603　2012年11月　研究論文（学術雑誌）

  136. Development of an optical heterogeneity evaluation system using phase-shift digital holography

    Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    Key Engineering Materials　Vol. 523-524　p. 865-870　2012年11月　研究論文（学術雑誌）

  137. Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani

    2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  138. Improvement of laser trapping based microprobe for measuring vertical surface

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing　2012年9月　研究論文（学術雑誌）

  139. Improvement of laser trapping based microprobe in laser shaded condition

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems and Manufacturing　Vol. 6　No. 6　p. 764-770　2012年9月

    出版者・発行元：The Japan Society of Mechanical Engineers

  140. Dimensional measurement of microform with high aspect ratio using an optically controlled particle with sensing standing wave scale

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani

    CIRP Annals -Manufacturing Technology-　Vol. 61　No. 1　p. 479-482　2012年8月　研究論文（学術雑誌）

  141. Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Taisuke Washitani, Terutake Hayashi

    Proc. the 12th euspen international conference　2012年6月

  142. Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarisation

    Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata

    International Journal of Nanomanufacturing　Vol. 8　No. 5/6　p. 54-66　2012年2月　研究論文（学術雑誌）

  143. Development of nano particle sizing system using fluorescence polarization

    Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Kok Foong Lee

    20th IMEKO World Congress 2012　Vol. 3　p. 2137-2141　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  144. 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの選択的捕捉（第一報）:微細構造による吸着力低減および光放射圧増強

    吉兼 匡昭, 道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 491-492　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  145. 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第1報）:プローブ球挙動の簡易モデルの提案

    道畑 正岐, 高谷 裕浩, 林 照剛

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 971-972　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  146. DNAの相補性を用いたマイクロ部品自律的組み立てに関する研究

    安田 聖文, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 865-866　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  147. New technique of single-beam gradient-force laser trapping in air condition

    Masaki Michihata, Tadaaki Yoshikane, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    2012 International Symposium on Optomechatronic Technologies, ISOT 2012　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  148. Evaluation of optical heterogeneity using phase-shift digital holography

    Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    International Journal of Nanomanufacturing　Vol. 8　No. 5-6　p. 508-521　2012年　研究論文（学術雑誌）

  149. Total angle-resolved scattering: characterization of microlens mold surface

    Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    Procedia Engineering　Vol. 19　2011年12月　研究論文（学術雑誌）

  150. Optically controlled surface sensing probe enhanced by radially polarized laser beam

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proc. The 6th LEM21　Vol. 2011　No. 6　p. "3231-1"-"3231-4"　2011年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  151. In-situ Raman analysis of chemical reaction for copper-CMP using water-soluble fullerenol

    Kazumasa Kano, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo

    Proc. The 4th ASPEN　2011年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  152. Damping nature of vibrated surface-sensing probe controlled by optical radiation pressure

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proc. LMPMI2011　Vol. 2156　p. 65-71　2011年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  153. Profile measurement using standing wave trapping

    Taisuke Washitani, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Proc. SPIE　Vol. 8097　2011年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  154. Development of in-situ evaluation system for monitoring the size of nanoparticles based on fluorescence polarization

    Kok Foong Lee, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya

    Proc. ISMTII2011　2011年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  155. DNA autonomous joint for micro self-assembly

    Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Masafumi Yasuda, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 11th euspen International Conference　2011年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  156. Scanning type microprobe for displacement measurement based on standing wave detection using an optically trapped particle

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi

    International Journal of Automation Technology　Vol. 5　No. 3　p. 395-402　2011年5月　研究論文（学術雑誌）

  157. Measurement of micro figure using microprobe for coordinate metrology controlled by optical radiation

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi

    ICOMM2011　2011年3月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  158. 超高精度形状測定機UA3Pシリーズによる微細形状の高精度計測

    八日市屋 元男, 舟橋 隆憲, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　p. 878-879　2011年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  159. フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発

    福田 悠介, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　p. 387-388　2011年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  160. Laser trapping based surface sensing probe using Brownian motion for nano-coordinate measurement

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    ICMT　2010年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  161. Measurement of Micro Fine Figure Using Radiation Pressure Controlled Micro-Displacement Sensor

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi

    CIRP HPC　2010年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  162. Coordinate Measurement of Micro Groove on MEMS Devise by Optically Controlled Microprobe

    Mitsutoshi Kobayashi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    ISOT　2010年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  163. Microprobe for coordinate metrology controlled by optical radiation pressure

    Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Mitsutoshi Kobayashi

    COMS　2010年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  164. Development of In-Process Evaluation for Microlens Mold Using AngleResolved Scattering System

    TERUTAKE Hayashi, YUKI Nakatsuka, YASUHIRO Takaya

    Key Engineering Materials　Vol. 447-448　p. 595-598　2010年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  165. Surface Inspection of Micro Glass Lens Mold Based on Total Angle Resolved Scattering Characterization

    Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Naohiro Motoishi, Yuki Nakatsuka

    International Journal of Automation Technology　Vol. 4　No. 5　p. 432-432　2010年5月　研究論文（学術雑誌）

  166. Editorial: Advances in measurement technology and intelligent instruments for manufacturing engineering

    Yongsheng Gao, Wei Gao, Yasuhiro Takaya, Michael Krystek

    International Journal of Advanced Manufacturing Technology　Vol. 46　No. 9-12　p. 843-844　2010年2月　研究論文（学術雑誌）

  167. Structuralization of metal nanoparticles by photoinduced aggregation

    Kok Foong Lee, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    10th International Symposium on Measurement and Quality Control 2010, ISMQC 2010　p. 366-369　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  168. Evaluation technology of micro three-dimensional structure using phase-shifting digital holography

    Yoshiaki Kiyama, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    10th International Symposium on Measurement and Quality Control 2010, ISMQC 2010　p. 547-550　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  169. 【知的ナノ計測専門委員会】 知的ナノ計測による革新的ものづくり基盤技術の創出

    高谷 裕浩

    精密工学会誌　Vol. 76　No. 10　p. 1117-1120　2010年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  170. Microdisplacement sensor using an optically trapped microprobe based on the interference scale

    M. Michihata, T. Hayashi, D.Nakai, Y. Takaya

    Review of Scientific Instruments　Vol. 81　No. 1　2010年1月　研究論文（学術雑誌）

  171. Measurement of axial and transverse trapping stiffness of optical tweezers in air using a radially polarized beam

    M. Michihata, T. Hayashi, Y. Takaya

    Applied Optics　Vol. 48　No. 32　p. 6143-6151　2009年11月　研究論文（学術雑誌）

  172. ナノ振動型レーザトラップにおけるプローブ周囲流体解析シミュレータの構築

    田中晋平, 高谷裕浩, 林 照剛

    日本機械学会論文集Ｃ編　Vol. 75　No. 757　p. 2453-2455　2009年10月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  173. Dynamic properties of a micro-sphere optically trapped in air by radially polarized laser beam

    M.Michihata, Y.Takaya, T.Hayashi

    Proceedings of SPIE　Vol. 7400　2009年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  174. Novel contact probing method using single fiber optical trapping probe

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY　Vol. 33　No. 3　p. 235-242　2009年7月　研究論文（学術雑誌）

  175. 3D microfabrication of silver nanoparticle composite having mesoporous structure(To be published)

    Terutake HAYASHI, Yasuhiro TAKAYA, Kenji SHIRAI

    Proceedings of the European Society for Precision Engineering and Nanotechonology 2009 (EUSPEN)　2009年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  176. 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究-研磨特性の検証-

    田近 英之, 高谷 裕浩, 林 照剛, 田名田祐樹, 小久保 研, 鈴木恵友

    精密工学会誌　Vol. 75　No. 4　p. 489-495　2009年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  177. Probing technique using circular motion of a microsphere controlled by optical pressure for a nanocoordinate measuring machine

    Masaki Michihata, Yuto Nagasaka, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Applied Optics　Vol. 48　No. 2　p. 198-205　2009年1月10日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：OSA - The Optical Society

  178. Study on the position detection method using the single fiber optical trapping probe

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2009　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  179. 自己組織型マイクロ光造形法に関する研究

    林 照剛, 高谷 裕浩, 岡部 弘道, 馬場 惇

    精密工学会誌　Vol. 75　No. 10　p. 1227-1232　2009年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  180. S1303-1-1 非球面マイクロレンズ金型の非接触表面性状評価システムの開発(加工計測・評価システム(1))

    林 照剛, 高谷 裕浩, 本石 直弘

    年次大会講演論文集　Vol. 2009　p. 267-268　2009年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  181. SPECIAL ISSUE: ADVANCES IN INTELLIGENT NANO-MEASUREMENT TECHNOLOGY

    Gao Wei, Takamasu Kiyoshi, Takaya Yasuhiro, Takahashi Satoru

    INTERNATIONAL JOURNAL OF SURFACE SCIENCE AND ENGINEERING　Vol. 3　No. 3　p. 157-159　2009年

  182. Fundamental study on the position detection signal analysis for the fibre optical trapping probe

    S. I. Eom, T. Hayashi, Y. Takaya

    INTERNATIONAL JOURNAL OF SURFACE SCIENCE AND ENGINEERING　Vol. 3　No. 3　p. 208-226　2009年　研究論文（学術雑誌）

  183. NANO-DIMENSIONAL MEASUREMENT USING OPTICALLY TRAPPED PROBE ENHANCED BY INTERFEROMETRIC SCALE

    Masaki Michihata, Daisuke Nakai, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    XIX IMEKO WORLD CONGRESS: FUNDAMENTAL AND APPLIED METROLOGY, PROCEEDINGS　p. 1929-1934　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  184. Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces

    Y. Takaya, H. Tachika, T. Hayashi, K. Kokubo, K. Suzuki

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 58　No. 1　p. 495-498　2009年　研究論文（学術雑誌）

  185. 光放射圧プローブを用いたナノCMMの開発

    高谷裕浩

    計測と制御　Vol. 47　No. 9　p. 744-750　2008年9月

  186. Advances in measurement technology and intelligent instruments for production engineering

    Wei Gao, Yasuhiro Takaya, Yongsheng Gao, Michael Krystek

    Measurement Science and Technology　Vol. 19　No. 8　2008年8月1日　研究論文（学術雑誌）

  187. Nano position sensing based on laser trapping technique for flat surfaces

    M. Michihata, Y. Takaya, T. Hayashi

    MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY　Vol. 19　No. 8　2008年8月　研究論文（学術雑誌）

  188. In-situ particle sizing system to visualizing the self-assembly process

    Satoshi Ota, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE　2008年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  189. 回転積層工法によるモータのトルク脈動低減に関する研究

    秋田 裕之, 中原 裕治, 古澤 公康, 吉岡 孝, 高谷 裕浩

    精密工学会誌　Vol. 74　No. 5　p. 525-529　2008年5月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  190. A novel CMP process using the size-controllable poly-hydroxylated fullerene cluster

    Hideyuki TACHIKA, Yasuhiro TAKAYA, Terutake HAYASHI, Ken KOKUBO, Keisuke SUZUKI, Kenji SHIRAI

    2008年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  191. LCD Microstereolithography of Photosensitive Resin with Functional Particles

    Terutake HAYASHI, Yasuhiro TAKAYA, Dongkeon Lee

    2008年3月　研究論文（学術雑誌）

  192. 光放射圧を利用したナノCMMマイクロプローブ

    高谷裕浩

    精密工学会誌　2008年3月

  193. 3404 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究 : 第2報 平坦化特性の検証(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

    田近 英之, 高谷 裕浩, 林 照剛, 小久保 研

    年次大会講演論文集　Vol. 2008　p. 251-252　2008年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  194. 3403 光放射圧を利用したマイクロプローブによるナノ三次元座標測定に関する研究(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

    道畑 正岐, 高谷 裕浩, 林 照剛, 中井 大介

    年次大会講演論文集　Vol. 2008　p. 249-250　2008年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  195. In-situ evaluation of nanoparticle diameter for visualizing self-assembly process

    Satoshi Ota, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    NINTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY, PTS 1 AND 2　Vol. 7155　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  196. 光応用マイクロ・ナノ加工計測技術

    高谷裕浩

    機械の研究　2008年1月

    出版者・発行元：養賢堂

  197. 計測・測定の現状と今後の動向

    高谷裕浩

    型技術　2008年1月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  198. Development of the nano-probe system based on the laser-trapping technique

    M. Michihata, Y. Takaya, T. Hayashi

    CIRP Annals - Manufacturing Technology　Vol. 57　No. 1　p. 493-496　2008年　研究論文（学術雑誌）

  199. Numerical Analysis of Fluid Resistance Exerted on Vibrating Micro-Sphere Controlled by Optical Radiation Pressure

    Shimpei Tanaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION V　Vol. 7038　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  200. FUNDAMENTAL STUDY FOR DEVELOPING THE NANO-CMM WITH A MICRO PROBE BASED ON OPTICAL FORCE DYNAMICS

    Yasuhiro Takaya

    2007年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  201. A Study on a Fluorescence Polarization Measurement Using Grid Irradiation from LCD

    Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Hiroki Akase

    2007年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  202. Measurement of oscillating condition for 3D probing accuracy of microparts using the laser trapping probe for the nano-CMM

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Takashi Miyoshi

    International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2007(ISMTII) in Sendai Japan,　2007年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  203. 微細加工用マイクロ工具の光応用ナノ計測

    高谷裕浩

    機械技術　2007年10月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  204. 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウェハの表面異物欠陥検出法に関する研究（第２報）―走査欠陥計測法の提案―

    吉岡淑江, 三好隆志, 高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. 73　No. 6　p. 648-652　2007年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  205. インプロセス/オンマシン・ナノ計測技術の新展開

    高谷裕浩

    機械技術　2007年6月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  206. レーザ回折を用いたマイクロ工具オンマシン計測ユニットの試作—ユニットの測定性能の評価

    Khajornrungruang Panart, 木村 景一, 故・三好 隆志, 高谷 裕浩, 上田 将寛

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2007S　p. 305-306　2007年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  207. 3513 金属フィラーを用いた液晶マイクロ光造形に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)

    岡部 弘道, 高谷 裕浩, 三好 隆志, 林 照剛

    年次大会講演論文集　Vol. 2007　p. 243-244　2007年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  208. 3511 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)

    田近 英之, 高谷 裕浩, 三好 隆志, 林 照剛

    年次大会講演論文集　Vol. 2007　p. 239-240　2007年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  209. Circular motion control of an optically trapped microprobe for nano-position sensing

    Yuto Nagasaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION IV　Vol. 6644　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  210. 超微細形状・精密加工を支援するオンマシン・ナノ計測技術の開発動向

    高谷裕浩

    機械技術　Vol. 54　No. 13　p. 24-28　2006年12月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  211. 銀粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究

    李 東建, 三好隆志, 林 照剛, 高谷裕浩, 岡部弘道

    精密工学会誌　Vol. 72　No. 11　p. 1411-1415　2006年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  212. Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle

    Hiroki Tanada, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Keiichi Suzuki

    Proceedings of ASPE 21st Annual Meeting(ASPE'06)　2006年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  213. 赤外エバネッセント光によるSOIウエハ薄膜層欠陥検出に関する研究 : SOI層表面エバネッセント場の特性解析

    中島 隆介, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 6　p. 785-790　2006年6月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  214. 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究の測定実験)

    K. パナート, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 原田 孝, 砂金 総一郎

    日本機械学会論文集(C編)　Vol. 72　No. 718　p. 1730-1737　2006年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  215. LCD Micro Stereolithography of Conductive Micro Shapes using Silver Particles Photosensitive Resin

    Dongkeon Lee, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of the 7th International Symposium on Laser Precision Microfabrication　2006年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  216. Nano surface texture evaluation of micro lens mold using light scattering pattern

    Terutake Hayashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Kenji Shirai

    Proceeding of the 6th international conference and 8th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology　2006年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  217. マイクロ工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測法に関する研究

    Khajornrungruang Panart, 木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006S　p. 1103-1104　2006年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  218. Measurement of patterned wafer surface defects using annular evanescent light illumination method

    Toshie Yoshioka, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    18th IMEKO World Congress 2006: Metrology for a Sustainable Development　Vol. 2　p. 1473-1477　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  219. 1513 光散乱法を用いたマイクロレンズ金型の非接触表面性状評価(S76 加工計測・評価システム,S76 加工計測・評価システム)

    林 照剛, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    年次大会講演論文集　Vol. 2006　p. 79-80　2006年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  220. Evaluation of laser trapping probe properties for coordinate measurement

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    OPTOMECHATRONIC SENSORS, INSTRUMENTATION, AND COMPUTER-VISION SYSTEMS　Vol. 6375　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  221. A novel surface finishing technique for microparts using an optically controlled

    Y. Takaya, K. Hida, T. Miyoshi, T. Hayashi

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 55　No. 1　p. 613-616　2006年　研究論文（学術雑誌）

  222. The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION III　Vol. 6326　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  223. ナノ3次元形状計測技術

    高谷 裕浩

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan　Vol. 56　No. 12　p. 780-786　2005年12月1日

    出版者・発行元：一般社団法人 表面技術協会

  224. セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形に関する研究

    李 東建, 三好隆志, 高谷裕浩, 河 兌坪, 林 照剛

    精密工学会誌　Vol. 71　No. 11　p. 1415-1420　2005年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  225. New Mass Measurement Method of Aerosol Particle Using Vibrating Probe Particle Controlled by Radiation Pressure

    Tatsuo Hariyama, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    SPIE　2005年10月　研究論文（学術雑誌）

  226. On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction

    Panart KHAJORNRUNGRUANG, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Takashi HARADA, Soichiro ISAGO

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　Vol. 2005.2　p. 351-356　2005年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会

  227. Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping

    Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　2005年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  228. Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force

    Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  229. Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask

    Hideaki Imahori, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  230. Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method

    Toshie Yoshioka, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Kenji Shirai

    Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology　2005年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  231. 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography

    Dongkeon Lee, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Taeho Ha

    Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication　2005年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  232. Laser-assisted CMP for Copper Wafer

    Taeho Ha, Keiichi KIMURA, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Material Science Forum　Vol. 502　p. 351-356　2005年3月　研究論文（学術雑誌）

  233. 2624 レーザ回折を利用した極小径エンドミルの3次元切れ刃プロファイル計測(S72 加工計測・評価システム)

    高谷 裕浩, カチョーンルンルアン パナート, 林 照剛, 三好 隆志

    年次大会講演論文集　Vol. 2005　p. 85-86　2005年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  234. Particle detection for patterned wafers of 100nm design rule by evanescent light illumination - Analysis of evanescent light scattering using Finite-Difference Time-Domain (FDTD) method

    Toshie Yoshioka, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 6049　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  235. Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light

    Ryusuke Nakajima, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 6013　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  236. Detection of defects on the surface of a cam shaft using laser scattering method

    S. Dejima, T. Miyoshi, Y. Takaya, Y. Maeno

    7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments　Vol. 13　p. 36-39　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  237. Development of an evanescent light measurement system for si wafer microdefect detection

    S Takahashi, R Nakajima, T Miyoshi, Y Takaya, K Takamasu

    MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI　Vol. 295-296　p. 15-20　2005年　研究論文（学術雑誌）

  238. Laser scattering measurement of microdefects on silicon oxide wafer

    T Ha, T Miyoshi, Y Takaya, S Takahashi

    MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI　Vol. 295-296　p. 3-8　2005年　研究論文（学術雑誌）

  239. Dynamic properties measurement of vibrating microprobe for nano-position sensing using radiation pressure control

    Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 5930　p. 1-8　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  240. Nano-position sensing using optically motion-controlled microprobe with PSD based on laser trapping technique

    Y Takaya, K Imai, S Dejima, T Miyoshi

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 54　No. 1　p. 467-470　2005年　研究論文（学術雑誌）

  241. 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究ー第１報，光回折ゲージ法の提案とその検証実験ー

    Panart KHAJORNRUNGRUANG, 三好隆志, 高谷裕浩, 原田 孝, 砂金 総一郎

    日本機械学会論文集（C編）　Vol. 70　No. 700　p. 3556-3563　2004年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会

  242. High-Precision On-Machine 3-D Shape Measurement using Hypersurface Calibration Method

    Taeho Ha, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Shingo Ishizuka

    SPIE　Vol. 5603　p. 40-50　2004年10月　研究論文（学術雑誌）

  243. Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control

    Yasuhiro Takaya, K. Imai, Taeho Ha, Takashi Miyoshi

    CIRP ANNALS　Vol. 53　No. 1　p. 421-424　2004年8月　研究論文（学術雑誌）

  244. Fundamental Properties of Chemical Mechanical Polishing for Copper Layer Assisted by Optical Radiation Pressure

    Ryosuke TSUJIO, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Keiichi KIMURA

    JSME International Journal　Vol. 47　No. 1　p. 85-92　2004年6月　研究論文（学術雑誌）

  245. Optical 3D profilometer for in-process measurement of microsurface based on phase retrieval technique

    Atsushi Taguchi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Vol. 28　No. 2　p. 152-163　2004年4月　研究論文（学術雑誌）

  246. 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測法に関する研究(第2報)—工具回転振れの誤差解析

    Khajornrungruang Panart, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 原田 孝, 砂金 総一郎

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2004S　p. 401-401　2004年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  247. Position sensitivity of micro probe with transverse: Vibration using optical trap

    Keijiro Imai, Y. Takaya, T. Miyoshi, T. Ha, K. Rimura

    VDI Berichte　No. 1844　p. 277-472　2004年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  248. Microfabrication of overhanging shape using LCD microstereolithography

    Gohki Oda, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, H. A. Taeho, Keiichi Kimura

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 5662　p. 649-654　2004年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  249. 測定点群データからの自由曲面生成（共著）

    後藤孝行, 高谷裕浩, 三好隆志

    型技術　Vol. 19　No. 13　2004年

  250. 実体モデルの測定点群データへの自由曲面あてはめ処理（共著）

    後藤孝行, 高谷裕浩, 三好隆志

    型技術　Vol. 18　No. 13　p. 66-67　2003年12月

  251. Lazer Diffraction Edge Profile Method of Micro Cutting Tool for On-Machine Measurement

    Khajournrungruang, P, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Takashi Harada, Soichiro Isago

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　Vol. 2003　p. 113-118　2003年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  252. A Robust Measurement for Tooth Form Ggrinding Works of a Helical Gear

    Takashi Harada, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　Vol. 2003　p. 107-112　2003年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  253. Size Determination of Microscratches on Silicon Oxide Wafer Surface Using Scattered Light

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology　Vol. 27　No. 3　p. 265-272　2003年7月　研究論文（学術雑誌）

  254. Phase retrieval profilometer for in-process measurement of 3D microstructure surfaces

    A. Taguchi, H. Yamakita, Y. Takaya, T. Miyoshi, S. Takahashi

    Optelectronics, Instrumentation and Data Processing　Vol. 39　No. 5　p. 16-24　2003年4月　研究論文（学術雑誌）

  255. Measurement and machining in microfabrication based on radiation pressure control

    Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Satoru TAKAHASHI

    Journal of OPTICS AND PRECISION ENGINEERING　2003年2月　研究論文（学術雑誌）

  256. 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測法に関する研究（第1報）—三次元切れ刃プロファイル測定装置の試作

    Khajornrungruang Panart, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 原田 孝, 砂金 総一郎

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2003S　p. 449-449　2003年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  257. Rotational Micromachining Tool Controlled by Optical Radiation Pressure

    Yasuhiro Hidaka, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Tetsuo Sasaki, Kenji Shirai

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 5063　p. 238-241　2003年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  258. 光放射圧制御微粒子集積現象に基づくＣＭＰ加工に関する基礎研究

    木村景一, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 1　p. 89-89　2003年1月　研究論文（学術雑誌）

  259. 液晶光造形法によるマイクロ3次元形状加工

    高谷 裕浩

    計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers　Vol. 41　No. 11　p. 803-806　2002年11月10日

    出版者・発行元：The Society of Instrument and Control Engineers

  260. Si Wafer SurfaceInspection Technique for Next-generation Semiconductor Using Infrared Evanescent Wave

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Mitsunori FUJITA, Ryusuke NAKAJIMA

    Proceeding of the International Conference on Designing of Interfacial Structures in Advanced Materials and their Joints (DIS'02), (2002), 353-358　2002年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  261. New planarization method assisted by aggregated particles created with optical radiation pressure

    Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of 19th International VLSI multilevel interconnection conference (VMIC), (2002) 139　2002年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  262. New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Annular Illumination with Crossed Nicols

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Takahiro ABE

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 41-46　2002年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  263. Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping

    Keiichi KIMURA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 37-40　2002年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  264. The Microprobe for Nano-Positional Detection Using Optically Forced Vibrationi Method

    Yasuhiro TAKAYA, Masatoshi NISHIKAWA, Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 367-372　2002年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  265. New Chemical Mechanical Polishing Method Assisted by Laser Particle Trapping

    Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of 7th International Symposium on Chemical-Mechanical Polishing (2002)　2002年8月　研究論文（その他学術会議資料等）

  266. Study on Laser Microstructure Fabrication Using Colloidal Particles Contrlled by Radiation Pressure

    Yasuhiro TAKAYA, Keiichi KIMURA, Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of 2002 Japan-USA Symposium on Flexible Automation, (2002) 759-765　2002年7月　研究論文（その他学術会議資料等）

  267. 光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究（第２報）－高速欠陥計測法の提案－

    高橋 哲, 三好隆志, 高谷裕浩, 立野泰史

    精密工学会誌，68，7（2002）962-966　Vol. 68　No. 7　p. 962-966　2002年7月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  268. Evaluation of Microdefects on SiO2 Filmed Wafer Surface form the Scattering Light

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 745-748　2002年5月　研究論文（その他学術会議資料等）

  269. Novel Measurement Method for Nano-Defects of Si Wafer Surface Using Evanescent Wave

    Ryusuke NAKAJIMA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI, Mitsunori Fujita

    Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 485-488　2002年5月　研究論文（その他学術会議資料等）

  270. Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile

    A. Taguchi, T. Miyoshi, Y. Takaya, S. Takahashi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 4900　No. 2　p. 739-746　2002年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  271. Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile

    A Taguchi, T Miyoshi, Y Takaya, S Takahashi

    SEVENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY APPLIED TO SCIENCE, INDUSTRY, AND EVERYDAY LIFE, PTS 1 AND 2　Vol. 4900　p. 739-746　2002年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  272. Probing technique for microparts using optically trapped particle by annular beam

    M Nishikawa, Y Takaya, S Takahashi, M Uekita, T Miyoshi

    INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PHOTONICS IN MEASUREMENT　Vol. 1694　p. 103-108　2002年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  273. Development of Automatic Light Scattering Measurement System for Si Wafer Microdefects

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 4th International Symposium on Advances in Abrasive Technology-Intelligent Machining of the Components for Information Technology (ISAAT'01), (2001) 383-386　2001年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  274. Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing for Planarization

    Keiichi KIMURA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 16th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'01), (2001) 537-540　2001年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  275. FDTD Simulation of IR Evanescent Light for Nanodefects Inspection in Polished Si Wafer Subsurface

    Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of the 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 21-25　2001年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  276. New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Darkfield Optical System with Annular Laser Beam

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA

    Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 13-19　2001年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  277. 液晶動画像マスクを用いた非積層マイクロ光造形

    高谷裕浩, 林 照剛, 三好隆志, 高橋 哲

    型技術　Vol. 16　No. 9　p. 60-65　2001年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：日刊工業新聞社

  278. Analysis of Defects on SiO2 filmed wafer -Evaluation of CMP Defect Detection Schemes using Computer simulation (BEM)

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 10th International Conference on Production Engineering (ICPE'01) , (2001) 684-688　2001年7月　研究論文（その他学術会議資料等）

  279. 自由曲面形状の３次元エッジプロファイル計測に関する研究（第１報）－光リング画像によるエッジ自動検出－

    Seojoon LEE, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌，67，6（2001）997-1002　Vol. 67　No. 6　p. 997-1002　2001年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  280. Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Ryusuke NAKAJIMA

    Proceedings of the 2nd International Conference and 3rd General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'01), (2001) 102-105　2001年5月　研究論文（その他学術会議資料等）

  281. 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究（第１報）－濃淡画像による非積層造形－

    林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌，67，6（2001）997-1002　Vol. 67　No. 4　p. 632-632　2001年4月　研究論文（学術雑誌）

  282. 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究 -濃淡画像による非積層造形-

    林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌　Vol. 67　No. 4　p. 628-632　2001年4月　研究論文（学術雑誌）

  283. Analysis of defects on SIO2 filmed wafer

    T Ha, T Miyoshi, Y Takaya, S Takahashi

    INITIATIVES OF PRECISION ENGINEERING AT THE BEGINNING OF A MILLENNIUM　p. 684-688　2001年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  284. High sensitivity optical detection of oriented microdefects on silicon wafer surfaces using annular illumination

    T Miyoshi, S Takahashi, Y Takaya, S Shimada

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 50　No. 1　p. 389-392　2001年　研究論文（学術雑誌）

  285. マイクロマシンとナノCMMレーザトラッピングプローブ

    高谷裕浩

    第11回・三次元工学研究会 資料集, pp.~11-18　2000年12月

  286. 高密度3-Dデジタイジングデータに基づく自由曲面生成処理

    後藤孝行, 高谷裕浩, 高橋 哲, 三好隆志

    型技術, Vol.~15, No.~13, pp.~30-31　2000年11月　研究論文（学術雑誌）

  287. Study on The 3-D Laser Inverse Scattering Phase Method for Evaluationg Microstructure

    Yasuhiro Takaya, Atsushi Taguchi, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Proceeding of SPIE's International Symposium on Process Control and Inspection for Industry, SPIE Vol.~4222, pp.~44-47, 2000　Vol. 4222　p. 44-47　2000年11月　研究論文（学術雑誌）

  288. Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the ASME Manufacturing Engineering Division, pp.~209-214　Vol. 11　p. 209-214　2000年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  289. Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools

    Jian Bai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734　Vol. 66　No. 11　p. 1729-1734　2000年11月　研究論文（学術雑誌）

  290. Surface Fitting Based on Optical 3-D Measurement

    Takayuki Gotoh, Asahikawa National, College of Technology, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume III, pp.~109-114　2000年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  291. Laser Trapping Micro-probe for Nano-CMM

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume II, pp.~235-241　2000年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  292. Patterned Wafer Defects Inspection by Laser Scattering Image

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume II, pp.~295-299　2000年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  293. Microcrack Evaluation using Laser Backscattering

    Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 16th IMEKO World Congress, Volume II, pp.~301-306　2000年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  294. 液晶マスクを用いた非積層光造形法に関する研究

    林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    型技術　2000年8月　研究論文（学術雑誌）

  295. ナノCMMレーザトラッピングプローブに関する研究（第1報）---3次元位置検出の基本原理---

    高谷裕浩, 佐藤憲章, 高橋 哲, 三好隆志, 清水浩貴, 渡辺万次郎

    精密工学会誌, Vol.~66, No.~7, pp.~1081-1086　Vol. 66　p. 1081-1081　2000年7月　研究論文（学術雑誌）

  296. Free-Form Surface Fitting 3-D Digitized Data in Reverse Engineering

    Takayuki GOTOH, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI

    The 8th International Conference on Rapid Prototyping　p. 56-61　2000年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  297. Direct 3D Forming Using TFT LCD Mask

    Terutake Hayashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 8th International Conference on Rapid Prototyping, pp.~172-177　2000年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  298. Nonlaminate Micro Stereolithography Using TFT LCD

    Terutake Hayashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 2nd euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology, Volume 1, pp.~98-106　2000年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  299. 液晶マスクを用いた非積層光造形法に関する研究

    林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    型技術, Vol.~15, No.~8, pp.~52-53　2000年6月　研究論文（学術雑誌）

  300. 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する基礎的研究

    清水浩貴, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌, Vol.~66, No.~6, pp.~901-906　Vol. 66　No. 6　p. 901-906　2000年6月　研究論文（学術雑誌）

  301. Non-contact 3-D Edge Profile Measurement for Die and Mold Model Surface

    Seojoon Lee, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of the International Conference on Precision Engineering (ICoPE) 2000, pp.~449-454　2000年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  302. Surface Fitting Based on Optical 3-D Measurement

    高谷裕浩

    (]G0008[)/,109　2000年

    出版者・発行元：Proceedings of The 16th IMEKO World Congress

  303. Patterned Wafer Defects Inspection by Laser Scattering Image

    高谷裕浩

    Volume (]G0002[)/,295　2000年

    出版者・発行元：Proceedings of The 16th IMEKO World Congress

  304. Direct 3D Forming Using TFT LCD Mask

    高谷裕浩

    Volume 1/,172　Vol. 172　2000年

    出版者・発行元：Proceedings of 2nd euspen(european society for precision engineering and nanotechnology)

  305. 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する基礎的研究(共著)

    高谷裕浩

    65/6,901　Vol. 66　No. 6　p. 901-906　2000年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  306. Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools

    高谷裕浩

    66/11,1729　Vol. 66　No. 11　p. 1729-1734　2000年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  307. 3D micro-profile measurement using optical inverse scattering phase method

    A Taguchi, T Miyoshi, Y Takaya, S Takahashi, K Saito

    CIRP ANNALS 2000: MANUFACTURING TECHNOLOGY　p. 423-426　2000年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  308. CMMレーザとラッピングプローブに関する研究(第1報)-3次元位置検出の基本原理-(共著)

    高谷裕浩

    66/7,1081　Vol. 66　No. 7　p. 1081-1086　2000年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  309. Simulation for laser trapping on arbitrary shaped particles

    E Bai, Y Takaya, T Miyoshi, S Takahashi

    PROCEEDINGS OF THE FIFTEENTH ANNUAL MEETING OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING　p. 336-339　2000年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  310. Nano-positional detection using laser trapping probe for microparts

    Y Takaya, S Takahashi, T Miyoshi

    PROCEEDINGS OF THE FIFTEENTH ANNUAL MEETING OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING　p. 584-587　2000年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  311. 3次元自由曲面のエッジプロファイル計測に関する研究

    李 ソジュン, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    型技術, Vol.~14, No.~12, pp.~46-47　1999年12月　研究論文（学術雑誌）

  312. 高密度3-Dデジタイジングデータに基づく自由曲面生成処理 ---B-spline閉曲線のあてはめ---

    後藤孝行, 高谷裕浩, 高橋 哲, 三好隆志

    型技術, Vol.~14, No.~12, pp.~44-45　1999年12月　研究論文（学術雑誌）

  313. Computer Simulation for Laser Trapping on Micro-particles with Arbitrary Shape

    Jian Bai, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    International Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.~33, No.~4, pp.~363-368　Vol. 33　No. 4　p. 363-368　1999年12月　研究論文（学術雑誌）

  314. 金型加工曲面の光リング式3D形状計測センサの開発（第1報）---金属面の光散乱シミュレーションとその検証---

    聶 朝胤, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲, 梁田和雄

    精密工学会誌, Vol.~65, No.~11, pp.~1668-1673　Vol. 65　p. 1668-1668　1999年11月　研究論文（学術雑誌）

  315. Optical Measurement of COP Defects on Silicon Wafer Surfac by Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Kenji Shirai, Nihon Univeri

    Proceedings of the 14th ASPE Annual Meeting, pp.~344-347　p. 344-347　1999年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  316. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究（第2報）---擬頂点を用いた曲線曲面・曲面の接続法---

    後藤孝行, 高谷裕浩, 高橋 哲, 三好隆志

    精密工学会誌, Vol.~65, No.~10, pp.~1430-1434　Vol. 65　p. 1430-1430　1999年10月　研究論文（学術雑誌）

  317. 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究（第1報）---微小付着異物の光散乱パターン特性解析---

    高橋 哲, 三好隆志, 高谷裕浩, 立野泰史, 平田文彦, 劔持妥茂哉

    精密工学会誌, Vol.~65, No.~9, pp.~1284-1289　Vol. 65　No. 9　p. 1284-1284　1999年9月　研究論文（学術雑誌）

  318. Analysis of Laser Scattered Defect Pattern for Optical Measurement of Silicon Wafer Surface Defects

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 9th International Conference on Production Engineering (ICPE), pp.~384-389　1999年8月　研究論文（その他学術会議資料等）

  319. 金型加工曲面の光リング式3次元形状計測センサーの開発研究 ---金属面の光散乱シミュレーションとその検証---

    聶 朝胤, 三好隆志, 高谷裕浩, 梁田和雄

    型技術, Vol.~14, No.~7, pp.~140-141　1999年7月　研究論文（学術雑誌）

  320. In-Process Error Compensation for Involute Spur Gear Tooth Form Grinding Works

    Takashi Harada, Kazuhiro Kotani, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 15th IMEKO World Congress, Vol.~3, pp.~207-214　1999年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  321. Fundamental Characteristics of the Laser Trapping Probe for the Nano-CMM Based on Linnik Microscope Interferometer

    Yasuhiro Takaya, Noriaki Sato, Hiroki Shimizu, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 15th IMEKO World Congress, Vol.~3, pp.~81-88　1999年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  322. Fundamental study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and Mirau interferometer

    Yasuhiro Takaya, Hiroki Shimizu, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Measurement: Journal of the International Measurement Confederation　Vol. 25　No. 1　p. 9-18　1999年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier

  323. 19th JIMTOFにみる最新技術動向 ---計測技術---

    高谷裕浩

    機械と工具, Vol.~43, No.~1, pp.~24-31　1999年1月

  324. Analysis of Laser Scattered Defect Pattern for Optical Measurement of Silicon Wafer Surface Defects

    高谷裕浩

    /,384　1999年

    出版者・発行元：Proceedings of 9th ICPE(International Conference on Production Engineering)

  325. Study on micro-machining using optical radiation pressure

    H Shimizu, T Miyoshi, Y Takaya, S Takahashi

    PRECISION ENGINEERING, NANOTECHNOLOGY, VOL 1, PROCEEDINGS　p. 199-202　1999年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  326. Fundamental Characteristics of The Laser Trapping Probe for The Nano-CMM Based on Linnik Microscope Interferometer

    高谷裕浩

    (]G0008[)/,81　1999年

    出版者・発行元：Proceedings of The 15th IMEKO World Congress

  327. 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第1報)-微小付着異物の光散乱パターン特性解析-(共著)

    高谷裕浩

    69/9,1284　Vol. 65　No. 9　p. 1284-1289　1999年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  328. Development of the nano-CMM probe based on laser trapping technology

    Y Takaya, S Takahashi, T Miyoshi, K Saito

    CIRP ANNALS 1999 - MANUFACTURING TECHNOLOGY　p. 421-424　1999年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  329. Fundamental Study on The New Probe Technique for The Nano-CMM based on The Laser Trapping and Mirau Interferometer

    高谷裕浩

    25/1,9　1999年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Measurement

  330. 光リング式変位センサによる3次元エッジプロファイル計測に関する研究

    李ソジュン, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    型技術, Vol.~13, No.~13, pp.~40-41　1998年12月　研究論文（学術雑誌）

  331. 意匠設計における実体モデルの形状計測と複合パッチ曲面生成

    後藤孝行, 工業高等専門学校, 高谷裕浩, 高橋 哲, 三好隆志

    型技術, Vol.~13, No.~13, pp.~44-45　1998年12月　研究論文（学術雑誌）

  332. Design Model Based In-process Measuring Method of a Three-Dimensional Micro-profile by Employing the Laser Inverse Scattering Phase Reconstruction Method

    Yasuhiro Takaya, Kazuhiro Wake, Motoki Izukura, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Proceeding of SPIE's International Symposium on Intelligent Systems and Advanced Manufacturing, Vol.~3520, pp.~170-179　Vol. 3520　p. 170-179　1998年11月　研究論文（学術雑誌）

  333. Optical Radiation Pressure Micro-machining Using Diamond Grain

    Takashi Miyoshi, Hiroki Simizu, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 4th Intrenational Micromachine Symposium, pp.~99-104　1998年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  334. Development of a New Optical Ring Image Sensor for 3D Free Form Metal Surface --- Computer Simulation of Metal Rough Surface Scattering ---

    Chaoyin Nie, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 4th Japan-France Congress \& 2nd Asia-Europe Congress on Mechatronics, Vol.~2, pp.~552-556　1998年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  335. Study on 3-Dimensional Edge Profile Measurement for Free Form Surface by Optical Ring Image Sensor

    Seojoon Lee, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Kenji Shirai, Nihon University

    Proceedings of the 14th International Conference on Computer-Aded Production Engineering (CAPE'98), pp.~373-378　Vol. 367　1998年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  336. Fitting and Connecting Free-Form Surfaces onto Digitized Data in Reverse Engineering

    Takayuki Gotoh, Asahikawa National, College of Technology, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 14th International Conference on Computer-Aded Production Engineering (CAPE'98), pp.~367-372　1998年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  337. Profile Estimation of Ultra-precision Diamond Turned Surfaces by Laser Diffraction Method

    Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 6th ISMQC IMEKO Symposium, pp.~643-650　1998年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  338. Development of Silicon Wafer Surface Defects Measurement System Based on Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of ISMTII'98 4th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, pp.~120-125　1998年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  339. Develpment of the Laser Trapping Probe for the Three Dimentional Coordinate Measurement of Micro Parts

    Yasuhiro Takaya, Seiji Tsuiji, Hiroki Shimizu, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Proceedings of ISMTII'98 4th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, pp.~196-203　1998年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  340. In-prcess Meaurement Method for Detection and Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Katsumasa Saito, Gumma Polytechnic College

    Annals of CIRP, Vol.~47, No.~1, pp.~459-462　Vol. 47　p. 459-462　1998年7月　研究論文（学術雑誌）

  341. 光リング式変位センサによる3次元自由曲面エッジプロファイル計測に関する研究 ---エッジライン抽出法の検討---

    李ソジュン, 高谷裕浩, 三好隆志, 高橋 哲, 後藤孝行

    型技術, Vol.~13, No.~8, pp.~116-117　1998年7月　研究論文（学術雑誌）

  342. 計測制御に関する21世紀への展望 ---新たな波の原動力となる計測技術への期待---

    高谷裕浩

    計測技術, Vol.~26, No.~5, pp.~38-40　1998年4月

  343. レーザ光検出パターンによるシリコンウェハ加工表面の欠陥識別

    平田文彦, 立野泰史, 高橋 哲, 高谷裕浩, 三好隆志

    砥粒加工学会誌, Vol. 42, No. 2, pp43-44　Vol. 42　No. 2　p. 85-86　1998年2月　研究論文（学術雑誌）

  344. レーザ光検出パターンによるシリコンウェハ加工表面の欠陥識別(共著)

    平田文彦, 立野泰史, 高橋 哲, 高谷裕浩, 三好隆志

    砥粒加工学会誌　Vol. 42　No. 2　p. 85-86　1998年2月　研究論文（学術雑誌）

  345. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究（第一報）---境界高密度計測法と特徴領域抽出法の提案---

    後藤孝行, 工業高等専門学校, 高谷裕浩, 三好隆志

    精密工学会誌, Vol. 64, No. 1, pp. 84-88　1998年1月　研究論文（学術雑誌）

  346. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第1報) -境界高密度計測法と特徴領域抽出法の提案- (共著)

    高谷裕浩

    64/1,84　Vol. 64　No. 1　p. 84-84　1998年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  347. 非接触三次元形状計測技術の現状と課題

    高谷裕浩, 高橋 哲, 三好隆志, 後藤孝行

    型技術, Vol. 12, No. 13, pp. 48-49　1997年12月　研究論文（学術雑誌）

  348. 微細金型のマイクロポリシングに関する基礎的研究

    清水浩貴, 高谷裕浩, 高橋 哲, 三好隆志

    型技術, Vol. 12, No. 13, pp. 82-83　1997年12月　研究論文（学術雑誌）

  349. Characteristics of Optical Ring Image Displacement Sensor for Free Form Metal Surface

    Chaoyin Nie, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 2nd China-Japan Symposium on Mechatronics, pp. 295-300　p. 295-300　1997年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  350. Free Form Surface Fitting onto Dense Measured Point Data for Reverse Engineering

    Takayuki Gotoh(Asahikawa National, College of Technology, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 8th International Conference on Production Engineering --- Rapid Product Development --- (8th ICPE), pp. 18-20　1997年8月　研究論文（その他学術会議資料等）

  351. 高密度計測点群による自由曲面生成のためのB-spline擬頂点処理

    後藤孝行, 工業高等専門学校, 高谷裕浩, 三好隆志

    型技術, Vol. 12, No. 8, pp. 74-75　1997年7月　研究論文（学術雑誌）

  352. 3D Profile On-machine Measurement Using Optical Ring Image Sensor

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Seojoon Lee

    Proceedings of International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE'97), pp. 190-195　1997年7月　研究論文（その他学術会議資料等）

  353. Inspection and Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyohsi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of The 14th IMEKO World Congress, Volume VIII, pp. 159-164　1997年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  354. Study on The Laser Trapping Probe for The Nano-CMM

    Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Katsumasa Saito

    Proceedings of The 14th IMEKO World Congress, Volume VIII, pp. 28-33　1997年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  355. Free Form Surface Fitting onto Dense Measured Point Data for Reverse Engineering

    高谷裕浩

    /,18　1997年

    出版者・発行元：Proceedings of 8th International Conference on Production Engineering - Rapid Product Development - (8th ICPE)

  356. 3D Profile On-machine Measurement Using Optical Ring Image Sensor

    高谷裕浩

    /,190　1997年

    出版者・発行元：Proceedings of International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment(MIPE'97)

  357. Inspection And Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern

    高谷裕浩

    /,159　1997年

    出版者・発行元：Proceedings of The 14th IMEKO World Congress Volume VIII

  358. 微細金型のマイクロポリシングに関する基礎的研究(共著)

    高谷裕浩

    12/13,82　1997年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：型技術

  359. 高密度計測点群のB－スプライン曲面へのあてはめに関する研究 -- 曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法 --

    枝光毅彦, 大阪ガスエンジニアリング, 高谷裕浩, 三好隆志, 後藤孝行, 高橋 哲

    精密工学会誌, Vol.62, No.10, pp.1425-1429　Vol. 62　p. 1426-1426　1996年10月　研究論文（学術雑誌）

  360. Study on Nano-inprocess Measurement of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 3rd International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'96), pp.243-250　p. 243-250　1996年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  361. B-Spline Curve Fitting of Non-Contact 3-D Digitizing Data by Taking Curvatures into Consideration

    Takayuki Gotoh, Asahikawa National, College of Technology, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 3rd International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'96), pp.38-43　1996年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  362. The Laser Inverse Scattering Method for Measuring a Micro-profile in Micromachining Process

    Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 4th International IMEKO Symposium on Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry, pp.45-54　p. 45-54　1996年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  363. FAにおけるセンサ標準化の動向 -- FAセンサの現状と標準化の必要性 --

    高谷裕浩

    ファクトリーオートメーション, pp.18-24　Vol. 14　No. 8　p. 18-24　1996年8月

    出版者・発行元：日本工業出版

  364. 高密度計測点群のB-spline曲線あてはめとパッチ処理による自由曲面生成

    高谷裕浩, 後藤孝行, 工業高等専門学校, 三好隆志

    型技術, Vol.11, No.8, pp.44-45　1996年7月　研究論文（学術雑誌）

  365. 光逆散乱位相法による微細加工形状計測に関する研究 -- 周期微細溝形状の位相回復 --

    三好隆志, 高谷裕浩, 木下浩一, 高橋 哲, 永田貴之

    精密工学会誌, Vol.62, No.7, pp.958-963　Vol. 62　No. 7　p. 958-958　1996年7月　研究論文（学術雑誌）

  366. Micromachined Profile Measurement by Means of Optical Inverse Scattering Phase Method

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Katsumasa Saito

    CIRP Annals - Manufacturing Technology　Vol. 45　No. 1　p. 497-500　1996年　研究論文（学術雑誌）

  367. 高密度計測点群のB-スプライン曲面へのあてはめに関する研究-曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法-(共著)

    高谷裕浩

    62/10,1425　Vol. 62　No. 10　p. 1425-1429　1996年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  368. 光逆散乱位相法による微細加工形状計測に関する研究-周期微細溝形状の位相回復-(共著)

    高谷裕浩

    62/7,958　Vol. 62　No. 7　p. 958-963　1996年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  369. 金型磨き工程における表面欠陥自動測定評価法に関する研究 －光学的実像スペックル画像処理－

    高谷裕浩, 三好隆志

    型技術, Vol.10, No.12, pp.78-79　Vol. 10　p. 78-79　1995年12月　研究論文（学術雑誌）

  370. リバースエンジニアリングのための測定点データに基づく自由曲面形状処理

    後藤孝行, 工業高等専門学校, 高谷裕浩, 三好隆志, 高橋文治

    型技術, Vol.10, No.12, pp.82-83　1995年12月　研究論文（学術雑誌）

  371. Fundamental Study on In-process Measurement of Micromachined Form Based on The Inverse Scattering Phase Reconstruction

    Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    Proc. of International Conference on Precision Engineering '95 (2nd ICMT), pp.437-440　1995年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  372. シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究

    高谷裕浩

    精密工学会 画像応用技術専門委員会研究会報告「画像処理と工学処理」, Vol.10, No.2, pp.1-13　1995年9月

  373. 光リング式変位センサを用いた3D形状複合計測システムの開発

    高谷裕浩, 滝澤 暢(NT, 三好隆志, 後藤孝行

    型技術, Vol.10, No.7, pp.2-3　1995年7月　研究論文（学術雑誌）

  374. 検査・計測技術における標準化の現状と今後

    高谷裕浩

    メカトロニクス センサ・計測器データファイル'95, pp.7-17　1995年7月

  375. Calibration Method of Optical System Roughness Error for the Random Micro-Roughness Measuring Apparatus

    Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Masatoshi Arai, TOKYO SEIMITSU Co, Kazushi Hayashi, TOKYO SEIMITSU Co, Masafumi Setaka, TOKYO, SEIMITSU Co

    International Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.29, No.1, pp.86-87　Vol. 29　No. 1　p. 86-87　1995年3月　研究論文（学術雑誌）

  376. Fraunhofer回折による超精密加工表面粗さ測定装置の開発研究 －光学系誤差の補正法－

    高谷裕浩, 三好隆志, 荒井正敏, 東京精密, 林 和志

    精密工学会誌，Vol.61, No.3, pp.377-381　Vol. 61　No. 3　p. 377-381　1995年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  377. 3次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究（第3報）－光リング式3-D形状計測センサ－

    三好隆志, 高谷裕浩, 滝澤 暢(NT, 福沢亮太, 島津製作

    精密工学会誌, Vol.61, No.2, pp.258-262　Vol. 61　No. 2　p. 258-262　1995年2月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  378. エキスパ-ト支援金型自動みがき装置の開発(共著)

    高谷裕浩

    39/1,29　Vol. 39　No. 1　p. 29-32　1995年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：砥粒加工学会誌

  379. Nanometer Measurement of Silicon Wafer Surface Texture Based on Fraunhofer Diffraction Pattern

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Katsumasa Saito

    CIRP Annals - Manufacturing Technology　Vol. 44　No. 1　p. 489-492　1995年　研究論文（学術雑誌）

  380. エキスパ-ト支援金型自動みがき装置の開発(共著)

    高谷裕浩

    39/1,29　Vol. 39　No. 1　p. 29-32　1995年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：砥粒加工学会誌

  381. 三次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究(第3報)-光リング式3-D形状計測センサ-(共著)

    高谷裕浩

    61/2,258　Vol. 61　No. 2　p. 258-262　1995年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  382. 曲率を考慮したB-スプライン曲線の測定点デ-タへのあてはめ(共著)

    高谷裕浩

    60/7,964　Vol. 60　No. 7　p. 964-964　1994年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  383. Optical ring-image 3-D profile sensor

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 2101　p. 1014-1024　1993年9月22日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  384. Estimation of the size parameters of fine rectangular grooves based on fraunhofer diffraction

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 1720　p. 586-597　1992年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  385. 回折パタ-ンによる極微細溝形状の測定評価に関する研究-矩形溝形状の測定評価-(共著)

    高谷裕浩

    57/11,151　Vol. 57　No. 11　p. 2041-2047　1991年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  386. Fraunhofer回折による超精密加工面粗さの測定評価に関する研究(共著)

    高谷裕浩

    56/2,139　Vol. 56　No. 2　p. 373-380　1990年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

MISC 354

  1. フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する基礎研究 (特集 レーザの特殊な使い方)

    高谷 裕浩, 上野原 努, 水谷 康弘

    Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology　Vol. 61　No. 4　p. 179-182　2017年4月

    出版者・発行元：砥粒加工学会

  2. 【invited】Single-pixel imaging by Hadamard transform and ghost imaging and its application for hyperspectral imaging

    Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya

    Proc. SPIE　Vol. 10021　p. 8-14　2016年10月

  3. 「先進ものづくりとメトロロジー: 測れないものは,つくれない?」小特集号発刊に際して : にわとり(加工)が先か,たまご(計測)が先か?(<小特集>先進ものづくりとメトロロジー: 測れないものは,つくれない?)

    高谷 裕浩

    日本機械学會誌　Vol. 118　No. 1164　p. 651-651　2015年11月5日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  4. 1503 Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon

    ASAHI Masafumi, TAKAYA Yasuhiro, MICHIHATA Masaki

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21　Vol. 2015　No. 8　p. "1503-1"-"1503-5"　2015年10月18日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  5. フェムト秒レーザーによるコヒーレントフォノン励起加工の可能性 (特集 レーザー加工の最先端)

    林 照剛, 黒河 周平, 高谷 裕浩

    光アライアンス　Vol. 26　No. 10　p. 33-38　2015年10月

    出版者・発行元：日本工業出版

  6. S1320203 光放射圧プローブ精密定在場スケールによるマイクロ自由曲面形状のスキャニング測定

    高谷 裕浩, 道畑 正岐, 上田 真一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　Vol. 2015　p. "S1320203-1"-"S1320203-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  7. 605 Whispering gallery modeを用いたマイクロ球の直径計測に関する研究(OS3 先進製造技術(3),研究討論セッション)

    道畑 正岐, 川嵜 彬史, 足立 篤, 高谷 裕浩

    関西支部講演会講演論文集　Vol. 2015　No. 90　p. 218-221　2015年3月16日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  8. カーボンナノ粒子による化学機械研磨と加工メカニズムの解明

    高谷 裕浩

    生産と技術　Vol. 67　No. 4　p. 40-47　2015年

    出版者・発行元：生産技術振興協会

  9. D34 DNA相補結合を用いたマイクロ光学システムの高集積化に関する研究(OS5 加工計測・評価(3))

    田代 裕之, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2014　No. 10　p. 255-256　2014年11月14日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  10. D27 コヒーレントフォノン励起面におけるパルストレインビーム照射応答の時間分解計測に関する研究(OS5 加工計測・評価(1))

    大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2014　No. 10　p. 245-246　2014年11月14日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  11. 化学修飾ナノダイヤモンドを用いた銅薄膜表面の化学機械研磨

    高谷 裕浩, 村井 亮太, 林 照剛

    New diamond　Vol. 30　No. 2　p. 25-27　2014年4月

    出版者・発行元：オーム社

  12. 全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術

    高谷 裕浩, 林 照剛, 道畑 正岐

    精密工学会誌　Vol. 80　No. 6　p. 514-518　2014年1月1日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  13. 水酸化フラーレンを用いたCu化学機械研磨特性と加工メカニズム解析 (特集 化学機械研磨の最新技術)

    高谷 裕浩, 道畑 正岐, 林 照剛

    トライボロジスト　Vol. 59　No. 12　p. 765-772　2014年

    出版者・発行元：日本トライボロジー学会 ; 1989-

  14. ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた平坦化加工に関する研究

    村井 亮太, 高谷 裕浩, 林 照剛

    砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC　p. 67-70　2013年

    出版者・発行元：砥粒加工学会

  15. D19 位相シフトデジタルホログラフィを用いた光学部品屈折率計測システムの開発(OS5 加工計測・評価(2))

    林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2012　No. 9　p. 223-224　2012年10月27日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  16. High Precision Tool Cutting Edge Monitoring Using Laser Diffraction for On-Machine Measurement

    Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Yasuhiro Takaya, Keisuke Suzuki

    International Journal of Automation Technology　Vol. 6　No. 2　p. 163-167　2012年

  17. 3次元レーザ光散乱によるナノ加工表面性状の測定評価

    高谷 裕浩

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers　Vol. 55　No. 12　p. 697-700　2011年12月1日

    出版者・発行元：砥粒加工学会

  18. Chemical mechanical polishing of patterned copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry

    Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo

    CIRP Annals -Manufacturing Technology-　Vol. 60　p. 567-570　2011年5月

  19. Verification of generation and removal process of surface brittle film, in polishing process using water soluble fullerenol

    Kazumasa Kano, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Ken Kokubo

    10th International Symposium on Measurement and Quality Control 2010, ISMQC 2010　p. 555-558　2010年12月1日

  20. Weakly Copper-fullerenol Layer on Chemical Mechanical Polishing Using Water Soluble Fullerenol

    Hirotaka Kishida, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo

    American Society of Precision Engineering　Vol. 50　p. 293-296　2010年11月

  21. D31 Evaluation of Unstable Behavior in Micro-probe Trapped by Optical Radiation Pressure(Nano/micro measurement and intelligent instruments)

    KOBAYASHI Mitsutoshi, HAYASHI Terutake, TAKAYA Yasuhiro

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21　Vol. 2009　No. 5　p. 777-780　2009年12月1日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  22. C11 Effect of Fullerene Poly-hydroxide on Cu-CMP Process(Abrasive finishing technology)

    KISHIDA Hirotaka, HAYASHI Terutake, TAKAYA Yasuhiro, KOKUBO Ken, SUZUKI Keisuke

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21　Vol. 2009　No. 5　p. 391-394　2009年12月1日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  23. Effect of fullerene poly-hydroxide on Cu-CMP process

    Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki

    Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2009　2009年12月1日

  24. Fundamental study on the position detection signal analysis for the fiber optical trapping probe (To be published)

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    International Journal of Surface Science and Engineering　Vol. To be published　2009年12月

  25. 光放射圧制御マイクロプローブ球を利用した定在場スケール変位センサの研究 (第14回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)

    高谷 裕浩, 道畑 正岐, 林 照剛

    知能メカトロニクスワークショップ講演論文集　Vol. 14　p. 90-95　2009年9月26日

    出版者・発行元：〔精密工学会〕

  26. Nano-dimensional measurement using optically trapped probe enhanced by interferometric scale(To be published)

    M. Michihata, D. Nakai, T. Hayashi, Y. Takaya

    Proceeding of IMEKO World congress　Vol. To be published　2009年9月

  27. Nano-dimensional measurement using optically trapped probe enhanced by interferometric scale

    M.Michihata, D.Nakai, T.Hayashi, Y.Takaya

    XIX IMEKO World Congress　Vol. To be published　p. 1929-1934　2009年9月

  28. Dynamic properties of a micro-sphere optically trapped in air by radially polarized laser beam(To be published)

    M. Michihata, T. Hayashi, Y. Takaya

    Proceeding of SPIE Optics&Photonics 2009　Vol. To be published　2009年8月

  29. Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces (To be publishied)

    Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki

    Annals of the CIRP　Vol. To be publishied　2009年8月

  30. Novel contact probing method using single fiber optical trapping probe

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Precision Engineering　Vol. 33　No. 3　p. 235-242　2009年7月

  31. 3D microfabrication of silver nanoparticle composite having mesoporous structure(To be published)

    Terutake HAYASHI, Yasuhiro TAKAYA, Kenji SHIRAI

    Proceedings of the European Society for Precision Engineering and Nanotechonology 2009 (EUSPEN)　Vol. To be published　2009年6月

  32. A Novel Probing Technique Using Circular Motion of a Microsphere Controlled by Optical Pressure for a Nano-Coordinate Measuring Machine

    Masaki Michihata, Yuto Nagasaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Applied Optics　Vol. 48　No. 2　p. 198-205　2009年2月

  33. 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究:―研磨特性の検証―

    田近 英之, 高谷 裕浩, 林 照剛, 田名田 祐樹, 小久保 研, 鈴木 恵友

    精密工学会誌　Vol. Vol.75, No.4, pp.489-495　No. 4　p. 489-495　2009年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  34. 3D microfabrication of silver nanoparticle composite having mesoporous structure(To be published)

    Proceedings of the European Society for Precision Engineering and Nanotechonology 2009 (EUSPEN)　Vol. To be published　2009年

  35. Novel contact probing method using single fiber optical trapping probe

    Precision Engineering　Vol. 33 (2009), pp. 235-242　2009年

  36. Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces

    Y. Takaya, H. Tachika, T. Hayashi, K. Kokubo, K. Suzuki

    CIRP Annals - Manufacturing Technology　Vol. 58　No. 1　p. 495-498　2009年

  37. Dynamic properties of a micro-sphere optically trapped in air by radially polarized laser beam(To be published)

    Vol. To be published　2009年

  38. Building an ambient fluid analysis around nm oscillated laser trapping probe

    Shimpei Tanaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Nihon Kikai Gakkai Ronbunshu, C Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Part C　Vol. 75　No. 757　p. 2453-2455　2009年

    出版者・発行元：Japan Society of Mechanical Engineers

  39. Probing technique using circular motion of a microsphere controlled by optical pressure for a nanocoordinate measuring machine

    Masaki Michihata, Yuto Nagasaka, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    APPLIED OPTICS　Vol. 48　No. 2　p. 198-205　2009年1月

  40. 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究-研磨特性の検証-

    精密工学会誌　Vol. Vol.75, No.4, pp.489-495　2009年

  41. ナノ振動型レーザトラップにおけるプローブ周囲流体解析シミュレータの構築

    日本機械学会論文集Ｃ編　Vol. To be published　2009年

  42. Fundamental study on the position detection signal analysis for the fibre optical trapping probe

    S. I. Eom, T. Hayashi, Y. Takaya

    International Journal of Surface Science and Engineering　Vol. 3　No. 3　p. 208-226　2009年

  43. C37 非球面マイクロレンズ金型のオンマシン表面性状計測システムの開発(OS-5 加工計測・評価)

    林 照剛, 高谷 裕浩, 本石 直弘

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2008　No. 7　p. 277-278　2008年11月21日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  44. 光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究 (第13回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)

    高谷 裕浩, 道畑 正岐, 林 照剛

    知能メカトロニクスワークショップ講演論文集　Vol. 13　p. 293-298　2008年9月8日

    出版者・発行元：〔精密工学会〕

  45. Nano position sensing based on laser trapping technique for flat surfaces

    M. Michihata, Y. Takaya, T. Hayashi

    Measurement Science and Technology　Vol. 19　No. 8　2008年8月1日

    出版者・発行元：Institute of Physics Publishing

  46. Numerical Analysis of Fluid Resistance Exerted on Vibrating Micro-Sphere Controlled by Optical Radiation Pressure

    Shimpei Tanaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of SPIE　Vol. Volume 7038 Paper 7038-65　2008年8月

  47. Nano position sensing based on laser trapping technique for flat surfaces

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Measurement Science and Technology　Vol. 19　No. 8　2008年8月

  48. Development of the nano-probe system based on the laser-trapping technique

    Masaki MICHIHATA, Yasuhiro TAKAYA, Terutake HAYASHI

    Annals of the CIRP　Vol. 57　No. 1　p. 493-496　2008年8月

  49. In-situ particle sizing system to visualizing the self-assembly process

    Satoshi Ota, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE　2008年6月

  50. A novel CMP process using the size-controllable poly-hydroxylated fullerene cluster

    Hideyuki TACHIKA, Yasuhiro TAKAYA, Terutake HAYASHI, Ken KOKUBO, Keisuke SUZUKI, Kenji SHIRAI

    Vol. pp.460-464　2008年5月

  51. LCD Microstereolithography of Photosensitive Resin with Functional Particles

    Terutake HAYASHI, Yasuhiro TAKAYA, Dongkeon Lee

    Vol. Vol.2, No. 3, pp.182-189　2008年3月

  52. 光放射圧を利用したナノCMMマイクロプローブ

    高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. vol.74, No.3, 230-234　No. 3　p. 230-234　2008年3月

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  53. A novel CMP process using the size-controllable poly-hydroxylated fullerene cluster

    Vol. pp.460-464　2008年

  54. In-situ particle sizing system to visualizing the self-assembly process

    Proceedings of SPIE　2008年

  55. Development of the nano-probe system based on the laser-trapping technique

    M. Michihata, Y. Takaya, T. Hayashi

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 57　No. 1　p. 493-496　2008年

  56. LCD Microstereolithography of Photosensitive Resin with Functional Particles

    Vol. Vol.2, No. 3, pp.182-189　2008年

  57. Numerical Analysis of Fluid Resistance Exerted on Vibrating Micro-Sphere Controlled by Optical Radiation Pressure

    Shimpei Tanaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION V　Vol. 7038　2008年

  58. 計測・測定の現状と今後の動向

    高谷裕浩

    型技術　Vol. vol.23, No.1, 67-70　2008年1月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  59. 光応用マイクロ・ナノ加工計測技術

    高谷裕浩

    機械の研究　Vol. vol.60, No.1,192-200　2008年1月

    出版者・発行元：養賢堂

  60. 最新CMP技術と周辺部材

    技術情報協会　Vol. 91-103　2008年

  61. 光放射圧プローブを用いたナノCMMの開発

    計測と制御　Vol. vol.47, No.9, 744-750　2008年

  62. A Study on a Fluorescence Polarization Measurement Using Grid Irradiation from LCD

    Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Hiroki Akase

    Vol. pp.203-207　2007年11月

  63. FUNDAMENTAL STUDY FOR DEVELOPING THE NANO-CMM WITH A MICRO PROBE BASED ON OPTICAL FORCE DYNAMICS

    Yasuhiro Takaya

    Vol. pp.21-29　2007年11月

  64. Measurement of oscillating condition for 3D probing accuracy of microparts using the laser trapping probe for the nano-CMM

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Takashi Miyoshi

    International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2007(ISMTII) in Sendai Japan,　Vol. pp.453-456　2007年10月

  65. 微細加工用マイクロ工具の光応用ナノ計測

    高谷裕浩

    機械技術　Vol. vol.55, No.10,18-21　2007年10月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  66. Circular motion control of an optically trapped microprobe for nano-position sensing

    Yuto Nagasaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of SPIE　Vol. 6644　2007年8月

  67. インプロセス/オンマシン・ナノ計測技術の新展開

    高谷裕浩

    機械技術　Vol. vol.55, No.6,18-21　2007年6月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  68. はじめての精密工学 光回折 散乱を利用した加工表面計測

    高谷裕浩

    精密工誌　Vol. 73　No. 12　p. 1308-1311　2007年

  69. 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第2報) : 走査欠陥計測法の提案

    吉岡 淑江, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会誌　Vol. Vol.73 No.6　No. 6　p. 648-652　2007年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  70. Measurement of oscillating condition for 3D probing accuracy of microparts using the laser trapping probe for the nano-CMM

    International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2007(ISMTII) in Sendai Japan,　Vol. pp.453-456　2007年

  71. FUNDAMENTAL STUDY FOR DEVELOPING THE NANO-CMM WITH A MICRO PROBE BASED ON OPTICAL FORCE DYNAMICS

    Vol. pp.21-29　2007年

  72. A Study on a Fluorescence Polarization Measurement Using Grid Irradiation from LCD

    Vol. pp.203-207　2007年

  73. 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウェハの表面異物欠陥検出法に関する研究（第２報）―走査欠陥計測法の提案―

    吉岡 淑江, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会誌　Vol. Vol.73 No.6　No. 6　p. 648-652　2007年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  74. Circular motion control of an optically trapped microprobe for nano-position sensing

    Yuto Nagasaka, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION IV　Vol. 6644　2007年

  75. 「スキルの科学」

    国際高等研究所　Vol. 157-184　2007年

  76. 超微細形状・精密加工を支援するオンマシン・ナノ計測技術の開発動向

    高谷裕浩

    機械技術　Vol. vol.54, No.13,24-28　2006年12月

    出版者・発行元：日刊工業新聞

  77. 316 光回折を用いたマイクロ工具オンマシン計測ユニットの試作 : 計測ユニットの基本特性(OS-10 加工計測・評価)

    カチョーンルンルアン パナート, 木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 上田 将寛

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2006　No. 6　p. 131-132　2006年11月24日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  78. 317 UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究(OS-10 加工計測・評価)

    日高 敏揮, 高谷 裕浩, 三好 隆志, 林 照剛

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2006　No. 6　p. 133-134　2006年11月24日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  79. 315 レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究 : 2次元振動プローブの特性評価(OS-10 加工計測・評価)

    長坂 雄人, 高谷 裕浩, 三好 隆志, 林 照剛

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2006　No. 6　p. 129-130　2006年11月24日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  80. Evaluation of laser trapping probe properties for coordinate measurement

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    Proceedings of SPIE　Vol. 6375　2006年10月

  81. Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle

    Hiroki Tanada, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Keiichi Suzuki

    Proceedings of ASPE 21st Annual Meeting(ASPE'06)　Vol. (2006), pp.595-598　2006年10月

  82. A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle tool

    Yasuhiro Takaya, Kenshirou Hida, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    CIRP Annals - 2006　Vol. 55　No. 1　p. 613-616　2006年9月

  83. The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    Proceedings of SPIE　Vol. [6326-70]　2006年8月

    出版者・発行元：SPIE

  84. 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験

    吉岡 淑江, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 7　p. 878-883　2006年7月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  85. 光応用ナノ3次元微細加工形状計測技術

    高谷 裕浩

    機械の研究　Vol. 58　No. 5　p. 529-538　2006年5月

    出版者・発行元：養賢堂

  86. LCD Micro Stereolithography of Conductive Micro Shapes using Silver Particles Photosensitive Resin

    Dongkeon Lee, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of the 7th International Symposium on Laser Precision Microfabrication　Vol. (2006), pp.1-6　2006年5月

  87. Nano surface texture evaluation of micro lens mold using light scattering pattern

    Terutake Hayashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Kenji Shirai

    Proceeding of the 6th international conference and 8th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology　Vol. Volume1, (2006), pp.422-425　2006年5月

  88. マイクロ工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測法に関する研究

    KHAJORNRUNGRUANG Panart, 木村景一, 三好隆志, 高谷裕浩

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　2006年

  89. LCD Micro Stereolithography of Conductive Micro Shapes using Silver Particles Photosensitive Resin

    Proceedings of the 7th International Symposium on Laser Precision Microfabrication　Vol. (2006), pp.1-6　2006年

  90. Nano surface texture evaluation of micro lens mold using light scattering pattern

    Proceeding of the 6th international conference and 8th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology　Vol. Volume1, (2006), pp.422-425　2006年

  91. Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle

    Proceedings of ASPE 21st Annual Meeting(ASPE'06)　Vol. (2006), pp.595-598　2006年

  92. The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    OPTICAL TRAPPING AND OPTICAL MICROMANIPULATION III　Vol. 6326　2006年

  93. The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping

    Proceedings of SPIE　Vol. [6326-70]　2006年

  94. 図解 砥粒加工技術のすべて

    工業調査会　Vol. 196-199　2006年

  95. The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping

    Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 6326　2006年

  96. The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping

    Proceedings of SPIE　Vol. [6326-70]　2006年

  97. A novel surface finishing technique for microparts using an optically controlled

    Y. Takaya, K. Hida, T. Miyoshi, T. Hayashi

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 55　No. 1　p. 613-616　2006年

  98. Evaluation of laser trapping probe properties for coordinate measurement

    Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi

    OPTOMECHATRONIC SENSORS, INSTRUMENTATION, AND COMPUTER-VISION SYSTEMS　Vol. 6375　2006年

  99. 銀粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究

    精密工学会誌　Vol. 72[11], pp.1411-1415　2006年

  100. Particle Detection for Patterned Wafers of 100nm design rule by Evanescent Light Illumination - Analysis of evanescent light scattering using FDTD method -

    Toshie Yoshioka, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    SPIE　Vol. 6049　2005年12月

  101. Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light

    Ryusuke NAKAJIMA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA

    SPIE　Vol. 6013　2005年10月

  102. Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping

    Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　2005年10月

  103. New Mass Measurement Method of Aerosol Particle Using Vibrating Probe Particle Controlled by Radiation Pressure

    Tatsuo Hariyama, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    SPIE　Vol. 5993　2005年10月

  104. On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction

    Panart KHAJORNRUNGRUANG, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Takashi HARADA, Soichiro ISAGO

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　Vol. 2005.2　p. 351-356　2005年10月

    出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会

  105. Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force

    Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年10月

  106. Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask

    Hideaki Imahori, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年10月

  107. Detection of Defects on the Surface of a Cam Shaft Using Laser Scattering Method

    Shuichi DEJIMA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Yoshihiro MAENO

    Proceedings of the 7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments　Vol. 2005　p. 83-84　2005年9月

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  108. Laser Scattering Measurement of Microdefects on Silicon Oxide Wafer

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VI　Vol. 295-296　p. 3-8　2005年9月

    出版者・発行元：Trans Tech Publications

  109. Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection

    Satoru TAKAHASHI, Rusuke NAKAJIMA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Kiyoshi TAKAMASU

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VI　Vol. 295-296　p. 15-20　2005年9月

  110. Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control

    Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi

    SPIE　Vol. 5930　2005年8月

  111. Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD Based on Laser Trapping Technique

    Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Syuichi Dejima, Takashi Miyoshi

    CIRP ANNALS　Vol. 54　No. 1　p. 467-470　2005年8月

  112. Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method

    Toshie Yoshioka, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Kenji Shirai

    Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology　2005年6月

  113. 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography

    Dongkeon Lee, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Taeho Ha

    Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication　2005年4月

  114. 暗視野エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥検出法に関する研究(第四報):擬似回路パターン表面上付着欠陥試料を用いたエバネッセント照明条件の検討

    吉岡 淑江, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 646-646　2005年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  115. Laser Scattering Measurement of Microdefects on Silicon Oxide Wafer

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VI　2005年

  116. Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping

    Sang In Eom, Yasuliiro Takaya, Takashi Miyoshi

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　p. 365-370　2005年

  117. Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light

    SPIE　Vol. 6013　2005年

  118. Nano-position sensing using optically motion-controlled microprobe with PSD based on laser trapping technique

    Y. Takaya, K. Imai, S. Dejima, T. Miyoshi, N. Ikawa

    CIRP Annals - Manufacturing Technology　Vol. 54　No. 1　p. 467-470　2005年

    出版者・発行元：Hallwag Publishing Ltd

  119. 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography

    Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication　2005年

  120. Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VI　2005年

  121. Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年

  122. Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年

  123. On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction

    Panait Khajornrungruang, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Takashi Harada, Soichiro Isago

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　p. 351-356　2005年

  124. Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　2005年

  125. Study on LCD Micro Stereolithography using Ceramic Nanoparticles Reinforced

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. Vol.71 No.11　2005年

  126. Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method

    Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology　2005年

  127. Particle Detection for Patterned Wafers of 100nm design rule by Evanescent Light Illumination - Analysis of evanescent light scattering using FDTD method -

    SPIE　Vol. 6049　2005年

  128. Nano-position sensing using optically motion-controlled microprobe with PSD based on laser trapping technique

    Y Takaya, K Imai, S Dejima, T Miyoshi

    CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 54　No. 1　p. 467-470　2005年

  129. On-Machine Tool Measurement for Cutting-Edge Profile of Micro Endmill using Laser Diffraction

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　Vol. 2005.2　p. 351-356　2005年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会

  130. Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年

  131. Micro-stereolithography of Dot Shape for Lightguide Using LCD Grayscale Mask

    Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting　2005年

  132. Particle detection for patterned wafers of 100nm design rule by evanescent light illumination - Analysis of evanescent light scattering using Finite-Difference Time-Domain (FDTD) method

    Toshie Yoshioka, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 6049　2005年

  133. Dynamic properties measurement of vibrating microprobe for nano-position sensing using radiation pressure control

    Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 5930　p. 1-8　2005年

  134. 3D Microfabrication of Ceramic Nanoparticles Photosensitive Resin using LCD Microstereolithography

    Proceedings of the 6th International Symposium on Laser Precision, Microfabrication　2005年

  135. Development of an evanescent light measurement system for si wafer microdefect detection

    S Takahashi, R Nakajima, T Miyoshi, Y Takaya, K Takamasu

    MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI　Vol. 295-296　p. 15-20　2005年

  136. Detection of defects on the surface of a cam shaft using laser scattering method

    S. Dejima, T. Miyoshi, Y. Takaya, Y. Maeno

    7th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments　Vol. 13　p. 36-39　2005年

  137. Laser scattering measurement of microdefects on silicon oxide wafer

    T Ha, T Miyoshi, Y Takaya, S Takahashi

    MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI　Vol. 295-296　p. 3-8　2005年

  138. Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping

    Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　2005年

  139. Novel nano-defect measurement method of SOI wafer using evanescent light

    Ryusuke Nakajima, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 6013　2005年

  140. セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形に関する研究

    李 東建, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 河 兌坪, 林 照剛

    精密工学会誌　Vol. Vol.71 No.11　No. 11　p. 1415-1420　2005年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  141. Particulate Nano-defects Detection for Patterned Wafers using Evanescent Light Illumination Method

    Proceedings of 5th international conference and 7th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology　2005年

  142. New mass measurement method of aerosol particle using vibrating probe particle controlled by radiation pressure

    Tatsuo Hariyama, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 5993　2005年

  143. 536 セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造型法 : グレースケールの効果(OS7 ナノ・マイクロ加工)

    李 東建, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 河 兌坪

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2004　No. 5　p. 209-210　2004年11月19日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  144. 313 極小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 摩耗切れ刃の検証実験(OS10 加工計測・評価)

    KHAJORNRUNGRUANG Panart, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 原田 孝, 砂金 総一郎

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2004　No. 5　p. 125-126　2004年11月19日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  145. Nano-defects inspection of semiconductor wafer using evanescent wave

    Satoru Takahashi, Satoru Takahashi, Ryusuke Nakajima, Ryusuke Nakajima, T. Miyoshi, Y. Takaya, T. Yoshioka, T. Hariyama, K. Kimura, T. Nakao, K. Takamasu

    VDI Berichte　Vol. 1844　p. 307-316　2004年10月6日

  146. 光放射圧による微粒子集積現象を応用したCMP加工

    木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    機械の研究　Vol. 56　No. 6　p. 646-653　2004年6月

    出版者・発行元：養賢堂

  147. No.306 光回折ゲージ法による小径工具切れ刃プロファイル計測に関する研究

    高谷裕浩, PANART K, HA T, 三好隆志, 原田孝, 砂金総一郎

    型技術者会議講演論文集　Vol. 2004　2004年

  148. 光回折ゲージ法による小径工具切れ刃プロファイル計測に関する研究

    高谷裕浩, K. パナート, 三好隆志, 河兌坪, 原田孝, 砂金総一郎

    型技術　Vol. 19　No. 8　p. 120-121　2004年

  149. 暗視野エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥検出法に関する研究(第三報):回路パターンが欠陥検出に及ぼす影響の理論的検討

    吉岡 淑江, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2004　No. 0　p. 625-625　2004年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  150. 暗視野エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥検出法に関する研究(第二報):エバネッセント照明特性の実験的検討

    吉岡 淑江, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2004　No. 0　p. 409-409　2004年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  151. 3次元微小形状のナノ加工計測

    高谷 裕浩

    塑性と加工　Vol. 44　No. 510　p. 708-712　2003年7月25日

    出版者・発行元：日本塑性加工学会

  152. 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究（第２報）ー液晶動画像を用いた薄層型積層造形ー

    西野秀昭, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲, 林 照剛, 木村景一

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 10　p. 1417-1422　2003年4月

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  153. Study of Particle Detection for Patterned Wafers by Evanescent Light Illumination

    YOSHIOKA T., MIYOSHI Takashi, TAKAYA Yasuhiro, TAKAHASHI Satoru, TAKAMASU Kiyoshi

    Proc. of 2nd International Conference in LEM, 2003　Vol. 21　p. 129-129　2003年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  154. 124 Detection of defects on the paint panel surface of a car body using laser scattering method

    Wang Jibo, MIYOSHI Takashi, TAKAYA Yasuhiro, TAKAHASHI Satoru, MAENO Yoshihiro

    Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21　Vol. 2003　p. 125-128　2003年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  155. Novel edge profile measurement of micro cutting tool by laser diffraction

    Panart Khajornrungruang, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Takashi Harada, Soichiro Isago

    Proceedings of the 4th European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen) International Topical Conference　p. 463-466　2003年

  156. 光放射圧制御粒子集積現象に基づくCMP加工に関する基礎的研究

    木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering　Vol. 69　No. 1　p. 89-94　2003年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  157. Size Determination of Microscratches on Silicon Oxide Wafer Surface Using Scattered Light "jointly worked"

    Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology　Vol. 27　No. 3　p. 265-272　2003年

  158. Measurement and machining in microfabrication based on radiation pressure control "jointly worked"

    Journal of OPTICS AND PRECISION ENGINEERING　Vol. 11　No. 1　2003年

  159. 光放射圧制御微粒子集積現象に基づくＣＭＰ加工に関する基礎研究

    精密工学会誌　2003年

  160. 分子動力学法による光放射圧マイクロ加工現象の解析（共著）

    砥粒加工学会誌　Vol. 47　No. 12　2003年

  161. 赤外エバネッセント光によるシリコンウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究（第１報）−理論的・実験的検討−（共著）

    中島 隆介, 高橋 哲, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 9　p. 1291-1295　2003年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  162. 光放射圧制御微粒子集積現象に基づくＣＭＰ加工に関する基礎研究（共著）

    木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 1　p. 89-94　2003年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  163. 313 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 光回折ゲージ法の提案

    カチョーンルンルアン P, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 原田 孝, 砂金 総一郎

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2002　No. 4　p. 151-152　2002年11月19日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  164. New planarization method assisted by aggregated particles created with optical radiation pressure

    Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of 19th International VLSI multilevel interconnection conference (VMIC), (2002) 139　Vol. 139　2002年11月

  165. Si Wafer SurfaceInspection Technique for Next-generation Semiconductor Using Infrared Evanescent Wave

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Mitsunori FUJITA, Ryusuke NAKAJIMA

    Proceeding of the International Conference on Designing of Interfacial Structures in Advanced Materials and their Joints (DIS'02), (2002), 353-358　Vol. 353-358　2002年11月

  166. 光放射圧制御マイクロ回転加工ツールの試作とその特性

    宮本 優作, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 222-222　2002年10月1日

  167. レーザアシステッドCMP加工の研究 : 第5報 レーザ微粒子集積痕の形成

    木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 辻尾 良輔

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 416-416　2002年10月1日

  168. 金型三次元曲面の格子投影型オンマシン形状計測法の開発(第1報) : 動的参照面法の提案とその検証

    孫 龍江, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 557-557　2002年10月1日

  169. 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第7報) : 格子標準による試作装置の検証

    田口 敦清, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 598-598　2002年10月1日

  170. The Microprobe for Nano-Positional Detection Using Optically Forced Vibrationi Method

    Yasuhiro TAKAYA, Masatoshi NISHIKAWA, Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 367-372　Vol. 367-372　2002年10月

  171. New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Annular Illumination with Crossed Nicols

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Takahiro ABE

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 41-46　Vol. 41-46　2002年10月

  172. Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping

    Keiichi KIMURA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 37-40　Vol. 37-40　2002年10月

  173. 2807 光逆散乱位相法に基づく三次元微細加工形状計測装置の開発

    高谷 裕浩, 田口 敦清, 高橋 哲, 三好 隆志

    年次大会講演論文集 : JSME annual meeting　Vol. 2002　No. 5　p. 289-290　2002年9月20日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  174. Optical Inverse Scattering Phase Method for Nano-Inprocess Measurement of Micro Surface Profile

    Atsushi TAGUCHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASH

    Proceedings of SPIE's Laser Metrology Applied to Science, Industry , and Everyday life, SPIE, 4900 （2002）739-746　Vol. 4900 739-746　2002年9月

  175. New Chemical Mechanical Polishing Method Assisted by Laser Particle Trapping

    Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of 7th International Symposium on Chemical-Mechanical Polishing (2002)　2002年8月

  176. 光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究（第２報）－高速欠陥計測法の提案－

    高橋 哲, 三好隆志, 高谷裕浩, 立野泰史

    精密工学会誌，68，7（2002）962-966　Vol. 68,7962-966　No. 7　p. 962-966　2002年7月

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  177. Study on Laser Microstructure Fabrication Using Colloidal Particles Contrlled by Radiation Pressure

    Yasuhiro TAKAYA, Keiichi KIMURA, Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of 2002 Japan-USA Symposium on Flexible Automation, (2002) 759-765　Vol. 759-765　2002年7月

  178. Probing Technique for Microparts Using Optically Trapped Particle by Annular Beam

    Masatoshi NISHIKAWA, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI, Masahiro UEKITA, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement, (2002) 103-108　Vol. 1694　p. 103-108　2002年6月

  179. Novel Measurement Method for Nano-Defects of Si Wafer Surface Using Evanescent Wave

    Ryusuke NAKAJIMA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI, Mitsunori Fujita

    Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 485-488　Vol. 485-488　2002年5月

  180. Evaluation of Microdefects on SiO2 Filmed Wafer Surface form the Scattering Light

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 745-748　Vol. 745-748　2002年5月

  181. レーザアシステッドCMP加工の研究:第4報微小凸部の除去研磨特性

    木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 小松 直幸

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 516-516　2002年3月1日

  182. 光放射圧マイクロ回転加工ツールの開発に関する研究(第2報):マイクロツールの二光子吸収光造形

    松井 佑史, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 678-678　2002年3月1日

  183. 光散乱によるCMP加工表面薄膜欠陥計測に関する研究(第3報):付着異物の散乱特性

    新田 大輔, TAEHO Ha, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 709-709　2002年3月1日

  184. 光散乱によるCMP加工表面薄膜欠陥計測に関する研究(第2報):表面マイクロスクラッチの散乱特性

    TAEHO Ha, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 新田 大輔

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 710-710　2002年3月1日

  185. 赤外エバネッセント光によるSiウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究(第4報):マイクロスクラッチの検出基礎実験

    藤田 充紀, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 711-711　2002年3月1日

  186. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第10報):強制振動型プローブの提案

    上北 将広, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 719-719　2002年3月1日

  187. 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第4報):凹凸欠陥識別法の提案

    阿部 崇広, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 723-723　2002年3月1日

  188. 光回析による小径工具切れ刃の断面プロファイル計測法に関する研究(第1報):ねじれ刃の精度に及ぼす影響

    PANART K, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 原田 孝, 砂金 総一郎

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 724-724　2002年3月1日

  189. 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第6報):高精度位相回復計測装置の設計

    田口 敦清, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 755-755　2002年3月1日

  190. レーザ回折法による小径工具切れ刃先端の3次元プロファイル計測

    高谷裕浩, PANART K, 高橋哲, 三好隆志, 原田孝, 砂金総一郎

    型技術者会議講演論文集　Vol. 2002　2002年

  191. マイクロ部品のナノ3次元形状計測

    高谷裕浩

    精密工学会誌　Vol. 68　No. 3　p. 357-357　2002年

  192. レーザ回折法による小径工具切れ刃先端の3次元プロファイル計測

    高谷裕浩, K. パナート, 三好隆志, 高橋哲, 原田孝, 砂金総一郎

    型技術　Vol. 17　No. 8　p. 106-107　2002年

  193. The Microprobe for Nano-Positional Detection Using Optically Forced Vibrationi Method

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 367-372　Vol. 367-372　2002年

  194. Novel Measurement Method for Nano-Defects of Si Wafer Surface Using Evanescent Wave

    Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'02), (2002) 485-488　Vol. 485-488　2002年

  195. Study on Laser Microstructure Fabrication Using Colloidal Particles Contrlled by Radiation Pressure

    Proceedings of 2002 Japan-USA Symposium on Flexible Automation, (2002) 759-765　Vol. 759-765　2002年

  196. New planarization method assisted by aggregated particles created with optical radiation pressure

    Proceedings of 19th International VLSI multilevel interconnection conference (VMIC), (2002) 139　Vol. 139　2002年

  197. Evaluation of Microdefects on SiO2 Filmed Wafer Surface form the Scattering Light

    Vol. 745-748　2002年

  198. New Chemical Mechanical Polishing Method Assisted by Laser Particle Trapping

    Proceedings of 7th International Symposium on Chemical-Mechanical Polishing (2002)　2002年

  199. New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Annular Illumination with Crossed Nicols

    Proceedings of the 17th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'02), (2002), 41-46　Vol. 41-46　2002年

  200. Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping

    Vol. 37-40　2002年

  201. Si Wafer SurfaceInspection Technique for Next-generation Semiconductor Using Infrared Evanescent Wave

    Proceeding of the International Conference on Designing of Interfacial Structures in Advanced Materials and their Joints (DIS'02), (2002), 353-358　Vol. 353-358　2002年

  202. Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile "jointly worked"

    SPIE　Vol. 4900, 44/,　2002年

  203. Nonlaminate micro photo-stereolithography using LCD live-motion mask

    Hideaki Nishino, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 4830　p. 201-205　2002年

  204. Probing technique for microparts using optically trapped particle by annular beam

    M Nishikawa, Y Takaya, S Takahashi, M Uekita, T Miyoshi

    INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PHOTONICS IN MEASUREMENT　Vol. 1694　p. 103-108　2002年

  205. Optical inverse scattering phase method for nano-inprocess measurement of micro surface profile

    A Taguchi, T Miyoshi, Y Takaya, S Takahashi

    SEVENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY APPLIED TO SCIENCE, INDUSTRY, AND EVERYDAY LIFE, PTS 1 AND 2　Vol. 4900　p. 739-746　2002年

  206. 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究（第２報）−高速欠陥計測法の提案−（共著）

    高橋 哲, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 立野 泰史

    精密工学会誌　Vol. 68　No. 7　p. 962-966　2002年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  207. 404 光回折による小径工具切れ刃の断面プロファイル計測法に関する研究 : 理論解析と基礎実験(OS11 計測・評価)

    パナート K, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 原田 孝, 砂金 総一郎

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2001　No. 3　p. 105-106　2001年11月20日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  208. 高精度金型製作における加工計測技術の現状と課題 (特集 金型品質を保証する最新計測技術)

    高谷 裕浩, 三好 隆志

    型技術　Vol. 16　No. 12　p. 18-23　2001年11月

    出版者・発行元：日刊工業新聞社

  209. Development of Automatic Light Scattering Measurement System for Si Wafer Microdefects

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 4th International Symposium on Advances in Abrasive Technology-Intelligent Machining of the Components for Information Technology (ISAAT'01), (2001) 383-386　Vol. 383-386　2001年11月

  210. Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing for Planarization

    Keiichi KIMURA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 16th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'01), (2001) 537-540　Vol. 537-540　2001年10月

  211. 光放射圧を利用した微粒子集積マイクロ加工に関する研究

    三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 木村 景一

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 213-214　2001年9月1日

  212. REのための測定点群データに基づく自由曲面生成

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 52-52　2001年9月1日

  213. 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第5報) : 高アスペクト比形状の複素場数値解析

    田口 敦清, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 215-215　2001年9月1日

  214. 光放射圧マイクロ回転加工ツールの開発に関する研究(第1報) : 2光子吸収光造形法の検討

    松井 佑史, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 439-439　2001年9月1日

  215. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第9報) : 輪帯ビームプロファイルの検討

    上北 将広, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 630-630　2001年9月1日

  216. 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第3報) : 暗視野検出部の改善

    阿部 崇広, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 631-631　2001年9月1日

  217. New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Darkfield Optical System with Annular Laser Beam

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA

    Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 13-19　Vol. 13-19　2001年9月

  218. FDTD Simulation of IR Evanescent Light for Nanodefects Inspection in Polished Si Wafer Subsurface

    Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI

    Proceedings of the 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 21-25　Vol. 21-25　2001年9月

  219. F-0522 動的硬化制御による液晶マイクロ光造形法(J17-1 マイクロトライボロジー&プロセッシング(1))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)

    高谷 裕浩, 林 照剛, 高橋 哲, 三好 隆志

    年次大会講演論文集 : JSME annual meeting　Vol. 0　No. 1　p. 15-16　2001年8月22日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  220. High Sensitivity Optical Detection of Oriented Micro defects on Silicon Wafer Surfaces Using Annular Illumination

    Takashi MIYOSHI, Satoru TAKAHASHI, Yasuhiro TAKAYA, Shoichi SHIMADA

    CIRP ANNALS, 50, 1（2001）389-392　Vol. 50　No. 1　p. 389-392　2001年8月

  221. Analysis of Defects on SiO2 filmed wafer -Evaluation of CMP Defect Detection Schemes using Computer simulation (BEM)

    Taeho HA, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Proceedings of the 10th International Conference on Production Engineering (ICPE'01) , (2001) 684-688　Vol. 684-688　2001年7月

  222. 自由曲面形状の３次元エッジプロファイル計測に関する研究（第１報）－光リング画像によるエッジ自動検出－

    Seojoon LEE, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌，67，6（2001）997-1002　Vol. 67,6997-1002　No. 6　p. 997-1002　2001年6月

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  223. Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Ryusuke NAKAJIMA

    Proceedings of the 2nd International Conference and 3rd General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'01), (2001) 102-105　Vol. 102-105　2001年5月

  224. 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究（第１報）－濃淡画像による非積層造形－

    林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌，67，6（2001）997-1002　Vol. 67　No. 4　p. 628-632　2001年4月

  225. Development of Automatic Light Scattering Measurement System for Si Wafer Microdefects

    Proceedings of the 4th International Symposium on Advances in Abrasive Technology-Intelligent Machining of the Components for Information Technology (ISAAT'01), (2001) 383-386　Vol. 383-386　2001年

  226. Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method

    Proceedings of the 2nd International Conference and 3rd General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen'01), (2001) 102-105　Vol. 102-105　2001年

  227. Analysis of Defects on SiO2 filmed wafer -Evaluation of CMP Defect Detection Schemes using Computer simulation (BEM)

    Vol. 684-688　2001年

  228. High Sensitivity Optical Detection of Oriented Micro defects on Silicon Wafer Surfaces Using Annular Illumination

    Vol. 50, 1389-392　2001年

  229. New Optical Measurement Technique for Si Wafer Surface Defects Using Darkfield Optical System with Annular Laser Beam

    Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 13-19　Vol. 13-19　2001年

  230. FDTD Simulation of IR Evanescent Light for Nanodefects Inspection in Polished Si Wafer Subsurface

    Proceedings of the 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII'01), (2001) 21-25　Vol. 21-25　2001年

  231. Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing for Planarization

    Proceedings of the 16th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'01), (2001) 537-540　Vol. 537-540　2001年

  232. High Sensitivity Optical Detection of Micro defect on Silicon Wafer Surface Using Annular Illumination "jointly worked"

    CIRP ANNALS　Vol. 50　No. 1　2001年

  233. 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究 -濃淡画像による非積層造形-

    精密工学会誌　Vol. Vol.67 No.4 pp.628-632　2001年

  234. 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究（第１報）－濃淡画像による非積層造形－

    精密工学会誌，67，6（2001）997-1002　Vol. 67,6997-1002　2001年

  235. 322 リニーク干渉計に基づくナノ CMM レーザトラッピングプローブの位置検出特性

    高谷 裕浩, 上北 将広, 高橋 哲, 三好 隆志

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2000　No. 2　p. 203-204　2000年11月20日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  236. Nano-positional Detection Using Laser Trapping Probe for Microparts

    Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 15th ASPE Annual Meeting, pp.~584-587　Vol. pp.~584-587　2000年11月

  237. Simulation for Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles

    Jian Bai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 15th ASPE Annual Meeting, pp.~336-339　Vol. pp.~336-339　2000年11月

  238. Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools

    Jian Bai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734　Vol. Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734　No. 11　p. 1729-1729　2000年11月

  239. Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the ASME Manufacturing Engineering Division, pp.~209-214　Vol. pp.~209-214　p. 209-214　2000年11月

  240. レーザアシステッドCMP加工の研究 : 第1報 基本概念の提案

    木村 景一, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 19-19　2000年9月1日

  241. 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究 : 暗視野輪帯光学系の設計

    吉崎 大輔, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 85-85　2000年9月1日

  242. 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第5報) : 複合計測手法によるエッジプロファイルの高速検出

    李 瑞〓, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 90-90　2000年9月1日

  243. 液晶マスクを用いた非積層光造形法に関する研究

    林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲

    型技術　Vol. Vol.15, No.8, (2000), pp.52-53　2000年8月

  244. 3513 液晶を用いた非積層マイクロ光造形法の研究

    林 照剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    年次大会講演論文集 : JSME annual meeting　Vol. 2000　No. 3　p. 507-508　2000年7月31日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  245. 3604 非接触 3 次元エッジプロファイル自動計測に関する研究

    高谷 裕浩, 李 瑞〓, 高橋 哲, 三好 隆志

    年次大会講演論文集 : JSME annual meeting　Vol. 2000　No. 3　p. 541-542　2000年7月31日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  246. 3D Micro-Profile Measurement using Optical Inverse Scattering Phase Method

    Atsushi Taguchi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Katsumasa Saito, Gumma Polytechnic College

    Annals of CIRP, Vol.~49, No.~1, pp.~423-426　Vol. 49　No. 1　p. 423-426　2000年7月

    出版者・発行元：Hallwag Publ Ltd

  247. レーザトラッピングプローブによるナノ3次元座標測定

    高谷 裕浩, 三好 隆志

    生産と技術　Vol. 52　No. 2　p. 59-62　2000年4月

    出版者・発行元：生産技術振興協会

  248. Dynamic Simulation for Laser Trapping on Designed Micro-particles

    BAI Jian, TAKAYA Yasuhiro, MIYOSHI Takashi, TAKAHASHI Satoru

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 215-215　2000年3月1日

  249. TFT液晶を用いた一体光造形法に関する研究(第2報) : 液晶動画像による連続形状創成

    林 照剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 79-79　2000年3月1日

  250. BSOによる位相共役光を用いたホログラフィー光造形法の基礎特性解析(第2報) : 硬化メカニズムの解析

    木村 寛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 林 照剛

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 80-80　2000年3月1日

  251. 光リング式変位センサによる機械加工曲面形状の誤差評価 : 光リング画像処理法の一考察

    武 剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 白 剣

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 587-587　2000年3月1日

  252. 赤外エバネッセント光によるシリコンウェハ加工表面層の微小欠陥検出に関する研究(第2報) : FDTD法に基づいた微小欠陥検出特性

    剱持 妥茂哉, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 602-602　2000年3月1日

  253. CMP加工によるSiウェハ酸化膜欠陥の光散乱シミュレーション

    TAEHO Ha, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 603-603　2000年3月1日

  254. レーザトラッピングによるナノCMMに関する研究(第7報) : マイクロプローブ球の挙動解析

    渡辺 万次郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 607-607　2000年3月1日

  255. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第8報) : プローブ特性の計算機シミュレーション

    木村 容子, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 608-608　2000年3月1日

  256. Nano-CMM Laser Trapping Probe for Micromachine parts

    Vol. pp.~11-18　2000年

  257. Nano-positional Detection Using Laser Trapping Probe for Microparts

    Vol. pp.~584-587　2000年

  258. Simulation for Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles

    Vol. pp.~336-339　2000年

  259. Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools

    Jian Bai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi

    Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. Vol.~66, No.~11, pp.~1729-1734　No. 11　p. 1729-1734　2000年

  260. Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern

    Vol. pp.~209-214　2000年

  261. Surface Fitting Based on Optical 3-D Measurement

    Proceedings of The 16th IMEKO World Congress　Vol. (]G0008[)　2000年

  262. Patterned Wafer Defects Inspection by Laser Scattering Image

    Proceedings of The 16th IMEKO World Congress　Vol. Volume (]G0002[)　2000年

  263. Direct 3D Forming Using TFT LCD Mask

    Proceedings of 2nd euspen(european society for precision engineering and nanotechnology)　Vol. Volume 1　2000年

  264. Study on Micro-Machining Using a Small Particle Dontroled by Optical Radiation Pressure

    Hiroki SHIMIZU, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Satoru TAKAHASHI

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 66　No. 6　p. 901-906　2000年

  265. Dynamic Analysis of Laser Trapping on Arbitrary Shaped Particles as Micro-machining Tools

    BAI Jian

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 66　No. 11　p. 1729-1734　2000年

  266. The Laser Trapping Probe for Nano-CMM(1st Report)-Positional Detection Principle of The Laser Trapping Probe and Its Nature-

    Yasuhiro Takaya, Noriaki Sato, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Hiroki Shimizu, Manjiro Watanabe

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 66　No. 7　p. 1081-1086　2000年

  267. マイクロマシンとナノCMMレーザトラッピングプローブ

    第11回・三次元工学研究会 資料集, pp.~11-18　Vol. pp.~11-18　2000年

  268. 画像処理応用システム ---基礎から応用まで---

    東京電機大学出版局　Vol. 37-62　2000年

  269. 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する基礎的研究(共著)

    清水 浩貴, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会誌　Vol. 66　No. 6　p. 901-906　2000年

  270. ナノCMMレーザトラッピングプローブに関する研究(第1報)-3次元位置検出の基本原理-(共著)

    高谷裕浩, 佐藤憲章, 高橋哲, 三好隆志, 清水浩貴, 渡辺万次郎

    精密工学会誌　Vol. 66　No. 7　p. 1081-1086　2000年

  271. 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究 (第5報) コロイダルシリカ付着加工現象の観察

    清水浩貴, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　1999年9月13日

  272. 測定誤差を考慮したへリカル歯形の成形研削誤差計測

    原田 孝, 小谷 和弘, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 637-637　1999年9月1日

  273. TFT液晶を用いた一体光造形法に関する研究

    林 照剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 9-9　1999年9月1日

  274. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第5報)-大気中トラッピングプローブの位置検出特性-

    渡辺 万次郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 450-450　1999年9月1日

  275. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第6報)-プローブ特性の計算機シミュレーション-

    木村 容子, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 451-451　1999年9月1日

  276. 赤外エバネッセント光によるシリコンウェハ加工表面層の微小欠陥検出に関する研究-エバネッセント光発生メカニズムのFDTD解析-

    剱持 妥茂哉, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 566-566　1999年9月1日

  277. Analysis of Laser Scattered Defect Pattern for Optical Measurement of Silicon Wafer Surface Defects

    Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of the 9th International Conference on Production Engineering (ICPE), pp.~384-389　1999年8月

  278. Study on Micro-Machining Using Optical Radiation Pressure

    Hiroki Shimizu, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi

    Proceedings of the 1st European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), Vol.~1, pp.~199-202　Vol. 1　p. 199-202　1999年5月

  279. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第5報)-B-spline閉曲線のあてはめ-

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 78-78　1999年3月5日

  280. シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究(第10報) -光散乱パターンを用いたCOP欠陥検出-

    平田 文彦, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 440-440　1999年3月5日

  281. レーザ後方散乱による精密加工表面マイクロクラックの測定評価に関する研究 -ガラス表面クラックのシミュレーションと実験による検討-

    金次 達真, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 友沢 隆幸

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 441-441　1999年3月5日

  282. 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第4報) -3次元エッジ抽出アルゴリズムの検証-

    李 瑞〓, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, GOH Gordon

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 453-453　1999年3月5日

  283. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第4報) -大気中トラッピングプローブの検討-

    佐藤 憲章, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 462-462　1999年3月5日

  284. 金型加工曲面の光学式3D形状計測センサの開発研究(第3報) -光散乱シミュレータの構築とその検証-

    聶 朝胤, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 梁田 和雄

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 463-463　1999年3月5日

  285. 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究(第2報) -設計形状を用いた位相回復-

    伊豆蔵 元樹, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 田口 敦清

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 469-469　1999年3月5日

  286. 位相共役光による三次元造形に関する研究(第一報) -液晶濃淡画像の硬化特性-

    林 照剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 719-719　1999年3月5日

  287. Fundamental Study on the New Probe Technique for the Nano-CMM based on The Laser Trapping and Mirau Interferometer

    Yasuhiro Takaya, Hiroki Shimizu, Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi

    Measurement, Vol.~25, No.~1, pp.~9-18　Vol. 25　No. 1　p. 9-18　1999年2月

    出版者・発行元：Elsevier

  288. Fundamental Characteristics of The Laser Trapping Probe for The Nano-CMM Based on Linnik Microscope Interferometer

    Proceedings of The 15th IMEKO World Congress　Vol. (]G0008[)　1999年

  289. Studies on In-process Measurement of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattred Defect Pattern(1sr Report)-The Characteristics of Detecting Fine Contaminations by Laser Scattered Defect Pattern-

    Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA, Yasufumi TATSUNO, Fumihiko HIRATA, Tamoya KENMOCHI

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 65　No. 9　p. 1284-1289　1999年

  290. Development of The Nano-CMM Probe Based on Laser Trapping Technology

    高谷裕浩

    48/1,421　Vol. 48　No. 1　1999年

    出版者・発行元：CIRP ANNALS

  291. 光散乱パターンを用いたシリコンウェハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第1報)-微小付着異物の光散乱パターン特性解析-(共著)

    高橋 哲, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 立野 泰史, 平田 文彦, 剱持妥 茂哉

    精密工学会誌　Vol. 65　No. 9　p. 1284-1289　1999年

  292. リバースエンジニアリングのための高密度形状計測と形状処理法

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 211-211　1998年9月1日

  293. 測定誤差にロバストな歯車歯形の成形研削加工誤差計測方法

    原田 孝, 小谷 和弘, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 83-83　1998年9月1日

  294. 位相共役光を用いた光造形法に関する基礎的研究 -液晶画像の利用-

    林 照剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 61-61　1998年9月1日

  295. レーザ後方散乱による超精密加工表面層マイクロクラック・インプロセス測定法に関する研究 -ガラス表面インデンテーションクラックによる検討-

    高谷 裕浩, 金次 達真, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 84-84　1998年9月1日

  296. 高密度測定点データに基づく自由曲面形状処理

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 440-440　1998年3月5日

  297. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第2報) -位置検出光学系の改良-

    辻 誠司, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 清水 浩貴

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 207-207　1998年3月5日

  298. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第3報) -プローブ球の力学的挙動シミュレーション-

    高谷 裕浩, 飯野 武夫, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 208-208　1998年3月5日

  299. 位相共役素子を用いたホログラフィ光造形法に関する研究(第二報) -像形成の基本原理-

    林 照剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 409-409　1998年3月5日

  300. 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第3報) -エッジライン抽出法-

    李 瑞〓, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 山本 尚孝

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 441-441　1998年3月5日

  301. 非接触式義歯形状計測センサの開発研究(第2報) -光リング4点検出法による高精度化-

    北村 幸太, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 442-442　1998年3月5日

  302. 光逆散乱位相法による3次元微細形状の位相回復シミュレーション

    和氣 一公, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 495-495　1998年3月5日

  303. 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究(第4報) -加工メカニズムの実験的検討-

    清水 浩貴, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 563-563　1998年3月5日

  304. Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Patterm

    Journal of the Society of Grinding Engineers　Vol. 42　No. 2　1998年

  305. Studies on Generating Free-Form Surfaces from High-Density Measured Point Data(! st Report)- A proposal of Boundary High-Density measuring and Character-Area Extracting-

    Takayuki GOTOH, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 64　No. 1　p. 84-88　1998年

  306. レーザ光検出パターンによるシリコンウェハ加工表面の欠陥識別(共著)

    砥粒加工学会誌　Vol. 42　No. 2　1998年

  307. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第1報) -境界高密度計測法と特徴領域抽出法の提案- (共著)

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会誌　Vol. 64　No. 1　p. 84-88　1998年

  308. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第4報) -擬頂点を用いた曲線・曲面の接続-

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 250-250　1997年10月1日

  309. 位相共役素子を用いたホログラフィ光造形法に関する研究

    林 照剛, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 205-205　1997年10月1日

  310. 非接触式義歯形状計測センサの開発研究

    北村 幸太, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 279-279　1997年10月1日

  311. 金型加工曲面の光学式3D形状計測センサの開発研究(第2報) -金属仕上面の光リング検出特性-

    聶 朝胤, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 281-281　1997年10月1日

  312. 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究(第3報)-ダイヤモンド砥粒加工痕の観察-

    清水 浩貴, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 359-359　1997年10月1日

  313. 光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究-位相回復シミュレーション-

    和氣 一公, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 452-452　1997年10月1日

  314. レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究 -位置検出精度-

    辻 誠司, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲, 清水 浩貴

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 556-556　1997年10月1日

  315. 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第2報) -エッジ位置検出の高精度化-

    李 瑞〓, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 558-558　1997年10月1日

  316. Free Form Surface Fitting onto Dense Measured Point Data for Reverse Engineering

    Takayuki Gotoh(Asahikawa National, College of Technology, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi

    Proceedings of the 8th International Conference on Production Engineering --- Rapid Product Development --- (8th ICPE), pp. 18-20　1997年8月

  317. 3D Profile On-machine Measurement Using Optical Ring Image Sensor

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Satoru Takahashi, Seojoon Lee

    Proceedings of International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE'97), pp. 190-195　1997年7月

  318. Inspection and Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern

    Satoru Takahashi, Takashi Miyohsi, Yasuhiro Takaya

    Proceedings of The 14th IMEKO World Congress, Volume VIII, pp. 159-164　Vol. 159　1997年6月

  319. 光逆散乱位相法による二次元周期微細加工形状の測定評価 -光学系の改良と高精度化-

    廣畑 憲明, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 1219-1220　1997年3月1日

  320. 光放射圧を利用した微粒子操作によるマクロ加工に関する研究(第2報) -ダイヤモンド砥粒運動の基本特性-

    清水 浩貴, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 1127-1128　1997年3月1日

  321. レーザ後方散乱によるセラミックス加工表面クラックの検出

    日下部 卓也, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 金次 達真

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 397-398　1997年3月1日

  322. 自由曲面形状の三次元エッジプロファイル計測に関する研究 -光リング画像を用いたエッジ検出アルゴリズム-

    李 瑞〓, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 369-370　1997年3月1日

  323. シリコンウェハ薄膜層モデルによる電磁波散乱シミュレーション

    吉田 晴行, 三好 隆志, 高谷 裕浩

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 395-396　1997年3月1日

  324. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第3報) -擬頂点を用いたB-Spline曲線の接続-

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 347-348　1997年3月1日

  325. 金型加工曲面の光学式3D形状計測センサの開発研究 -センサの原理と基本特性-

    聶 朝胤, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 367-368　1997年3月1日

  326. シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究(第6報) -付着微粒子の検出パターンの発生メカニズムの検討-

    高橋 哲, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 吉田 晴行, 立野 泰史, 濱田 守

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 393-394　1997年3月1日

  327. Fandamental Study on New Micro-Polishing Technique for Fine Die and Mold

    Die & Mold Technology　Vol. 12　No. 13　1997年

  328. 微細金型のマイクロポリシングに関する基礎的研究(共著)

    型技術　Vol. 12　No. 13　1997年

  329. 意匠設計支援システムにおける形状計測と自由曲面生成に関する研究

    高谷 裕浩, 後藤 孝行, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 311-312　1996年9月1日

  330. 非接触光造形3D形状計測に関する研究

    高谷 裕浩, 李 瑞〓, 高橋 哲, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 559-560　1996年9月1日

  331. 超精密ダイヤモンド切削面周期構造の光散乱スペクトル解析

    梁 渭, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 1113-1114　1996年3月1日

  332. セラミックマイクロクラックの自動検出に関する研究 -マイクロクラックの光散乱特性-

    曽根 威一郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 日下部 卓也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 1117-1118　1996年3月1日

  333. レーザトラッピングを用いたナノ三次元位置検出プローブに関する研究-プローブの基本特性-

    塩谷 達也, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 673-674　1996年3月1日

  334. 長作動距離光リング式三次元形状測定センサの基本特性

    尻池 一郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 文治

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 671-672　1996年3月1日

  335. 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第2報) -生成曲面の評価について-

    後藤 孝行, 高谷 裕浩, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 803-804　1996年3月1日

  336. シリコンウェハ加工表面のナノインプロセス計測に関する研究 (第4報) -付着微粒子の検出パターン特性-

    高橋 哲, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 沖田 孝典

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 1119-1120　1996年3月1日

  337. Micro-machined Profile Measurement by Means of Optical Inverse Scattering Phase Method

    高谷裕浩

    45/1,497　Vol. 45　No. 1　p. 497-500　1996年

    出版者・発行元：CIRP Annals

  338. 高密度計測点群のB-スプライン曲面へのあてはめに関する研究-曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法-

    枝光 毅彦, 高谷 裕浩, 三好 隆志, 後藤 孝行, 高橋 哲

    精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering　Vol. 62　No. 10　p. 1425-1429　1996年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  339. Study on Micro-machined Profile Measurement by means of Optical Inverse Scattering Reconstruction Phase Method-Phase Retrieval of Periodic Fine Profile-

    Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Kohichi Kinoshita, Satoru Takahashi, Takayuki Nagata

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 62　No. 7　p. 958-963　1996年

  340. 高密度計測点群のB-スプライン曲面へのあてはめに関する研究-曲率を考慮したノット位置およびパラメータ設定法-(共著)

    枝光 毅彦, 高谷 裕浩, 三好 隆志, 後藤 孝行, 高橋 哲

    精密工学会誌　Vol. 62　No. 10　p. 1425-1429　1996年

  341. 光逆散乱位相法による微細加工形状計測に関する研究-周期微細溝形状の位相回復-(共著)

    三好隆志, 高谷裕浩, 木下浩一, 高橋哲, 永田貴之

    精密工学会誌　Vol. 62　No. 7　p. 958-963　1996年

  342. レーザトラッピングを用いたナノ3DCMMに関する基礎研究(第1報)-レーザトラップ非接触プローブの基本特性-

    高谷 裕浩, 塩谷 達也, 三好 隆志

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1995　No. 2　p. 571-572　1995年9月1日

  343. シリコンウェハ加工表面のナイロンプロセス計測に関する研究(第3報)-SEM観察による付着微粒子の同定-

    高橋 哲, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 沖田 孝典

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1995　No. 2　p. 547-548　1995年9月1日

  344. Nanometer Measurement of Silicon Water Surface Texture Based on Fraunhofer Diffraction Pattern

    高谷裕浩

    44/1,489　Vol. 44　No. 1　p. 489-492　1995年

    出版者・発行元：CIRP Annals

  345. エキスパート支援金型自動みがき装置の開発

    高谷 裕浩, 三好 隆志, 佐々木 哲夫

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers　Vol. 39　No. 1　p. 29-32　1995年

  346. 三次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究(第3報) : 光リング式3-D形状計測センサ

    三好 隆志, 高谷 裕浩, 滝澤 暢, 福沢 亮太

    精密工学会誌　Vol. 61　No. 2　p. 258-262　1995年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  347. エキスパ-ト支援金型自動みがき装置の開発(共著)

    砥粒加工学会誌　Vol. 39　No. 1　1995年

  348. 三次元自由曲面の非接触形状測定センサの開発研究(第3報)-光リング式3-D形状計測センサ-(共著)

    三好 隆志, 高谷 裕浩, 滝澤 暢, 福沢 亮太

    精密工学会誌　Vol. 61　No. 2　p. 258-262　1995年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  349. B-Spline Curve Fitting onto Measured Point Data under Consideration of Curvature

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 60　No. 7　p. 964-968　1994年

  350. 曲率を考慮したB-スプライン曲線の測定点デ-タへのあてはめ(共著)

    後藤孝行, 三好隆志, 高谷裕浩, 枝光毅彦

    精密工学会誌　Vol. 60　No. 7　p. 964-968　1994年

  351. Fundamental Study for Measurement of the Size Parameters of Fine Grooves based on Fraunhofer Diffraction-Analysis and Measurement of Rectangular Groove-

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 57　No. 11　p. 2041-2047　1991年

  352. 回折パタ-ンによる極微細溝形状の測定評価に関する研究-矩形溝形状の測定評価-(共著)

    高谷裕浩, 三好隆志, 外山潔, 斎藤勝政

    精密工学会誌　Vol. 57　No. 11　p. 2041-2047　1991年

  353. Fraunhofer回折による超精密加工面粗さの測定評価に関する研究

    高谷 裕浩, 三好 隆志, 斎藤 勝政

    精密工学会誌　Vol. 56　No. 2　p. 373-380　1990年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  354. Fraunhofer回折による超精密加工面粗さの測定評価に関する研究(共著)

    高谷 裕浩, 三好 隆志, 斎藤 勝隊

    精密工学会誌　Vol. 56　No. 2　p. 373-380　1990年

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

著書 9

  1. 機械製作要論

    鬼鞍宏猷

    養賢堂　2016年3月　教科書・概説・概論

    ISBN: 9784842505411

  2. 機械製作要論

    鬼鞍宏猷

    養賢堂　2016年3月　教科書・概説・概論

    ISBN: 9784842505411

  3. 光科学の世界

    光科学センター 編

    朝倉書店　2014年7月　学術書

    ISBN: 9784254210422

  4. 光科学の世界

    光科学センター 編

    朝倉書店　2014年7月　学術書

    ISBN: 9784254210422

  5. 機械実用便覧 改訂第7版

    本阿彌眞治, 梶島岳夫, 藤田喜久雄, 石田徹, 高谷裕浩, 梅田靖ほか

    日本機械学会　2011年11月　学術書

  6. 最新CMP技術と周辺部材

    高谷裕浩, 小久保 研, 林 照剛, 大島巧

    技術情報協会　2008年2月　学術書

  7. 「スキルの科学」

    高谷裕浩

    国際高等研究所　2007年7月　学術書

  8. 図解 砥粒加工技術のすべて

    高谷裕浩

    工業調査会　2006年8月　学術書

  9. 画像処理応用システム ---基礎から応用まで---

    高谷裕浩

    東京電機大学出版局　2000年7月　学術書

作品 24

  1. フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工

    2011年 ～

  2. デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究

    2010年 ～

  3. フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工

    2010年 ～

  4. フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工

    2009年 ～

  5. デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究

    2009年 ～

  6. 自己組織化加工制御のためのナノ３次元構造インプロセス計測に関する基礎研究

    2009年 ～

  7. 自己組織化加工制御のためのナノ３次元構造インプロセス計測に関する基礎研究

    2008年 ～

  8. フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究

    2007年 ～

  9. フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究

    2006年 ～

  10. 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究

    2006年 ～

  11. 高度要素技術の融合による高機能硬脆部材製造システムの構築

    2005年 ～

  12. 超精密ナノ加工計測装置の開発

    2005年 ～

  13. フラーレンナノ粒子の光放射圧制御による超平坦化CMP加工に関する研究

    2005年 ～

  14. カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究

    2005年 ～

  15. 微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究

    2005年 ～

  16. 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究

    2005年 ～

  17. 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究

    2004年 ～

  18. 光放射圧制御ナノCMM加工装置の開発

    2003年 ～

  19. 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究

    2003年 ～

  20. 非積層型液晶３次元光造形装置の開発

    2002年 ～

  21. 光放射圧制御ナノCMM加工装置の開発

    2002年 ～

  22. 高アスペクト比をもつ微細加工形状計測用レーザトラッピングプローブに関する研究

    2002年 ～

  23. 非積層型液晶３次元光造形装置の開発

    2001年 ～

  24. 半導体CMP加工における薄膜表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究

    2001年 ～

特許・実用新案・意匠 6

  1. 研磨スラリー

    三好 隆志, 高谷 裕浩, 小久保 研, 松林 賢司, 大島 巧

    出願日:2005/08

  2. 微細構造体及びその製造方法

    水谷康弘, 高谷裕浩, 中西弘樹, 江崎隆, 牧浦良彦

    出願日:2019/12

  3. 微細構造体及びその製造方法

    水谷康弘, 高谷裕浩, 中西弘樹, 江崎隆, 牧浦良彦

    出願日:2019/12

  4. 変位測定装置及び変位測定方法

    高谷裕浩, 林 照剛, 道畑正岐

    出願日:2009/04

  5. 変位測定装置及び変位測定方法

    高谷裕浩, 林 照剛, 道畑正岐

    出願日:2009/01

  6. 質量測定装置および質量測定法

    高谷裕浩, 三好隆志, 林 照剛

    特願2005-236899

    出願日:2005/08

報道 1

  1. 高能率な生産環境の構築に貢献する計測・測定技術の最前線

    日刊工業新聞

    2002年10月

学術貢献活動 37

  1. 国際高等研究所

    2007年4月 ～ 2010年3月

  2. 日本機械学会関西支部（商議員）

    2007年4月 ～ 2008年3月

  3. 国際高等研究所

    2004年4月 ～ 2006年3月

  4. ものづくりクラスター協議会

    2004年4月 ～ 2005年3月

  5. 砥粒加工学会（編集委員）

    2003年4月 ～ 2005年3月

  6. 型技術協会（編集委員）

    2002年6月 ～ 2004年5月

  7. 4th CIRP International Conference on High Performance Cutting (HPC 2010)

    CIRP

    2010年11月 ～

  8. 10th International Symposium on Measurement and Quality Control (ISMQC2010)

    国際計測連合(IMEKO)幾何量計測に関する専門委員会 TC14

    2010年9月 ～

  9. The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)

    日本機械学会

    2009年11月 ～

  10. The 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)

    日本機械学会

    2007年11月 ～

  11. 講習会「CMPプロセスにおける消耗材の選定と平坦化・低ダメージ技術」

    技術情報協会

    2007年8月 ～

  12. 基礎講座「これからの生産技術」

    精密工学会関西支部

    2006年12月 ～

  13. 精密工学会第３１２回講習会・シリーズ実験・評価機器マスターへの道その２

    精密工学会

    2006年10月 ～

  14. 平成１７年度マイクロ・ナノ融合加工技術研究会

    京都府中小企業技術センター，（社）京都経営・技術研究会

    2006年3月 ～

  15. （社）砥粒加工学会賛助会員会・見学会 「(株)島津製作所 三条工場を訪ねて」

    （社）砥粒加工学会

    2006年1月 ～

  16. インターモールド・テクニカル・セミナー

    インターモールド振興会

    2006年1月 ～

  17. オープンセミナー「砥粒加工の基礎講座」ー半日でわかる砥粒加工ー

    2005年12月 ～

  18. SPIE International Symposium on Optomechatronic Technologies(ISOT2005)

    SPIE

    2005年12月 ～

  19. 基礎講座「これからの生産技術」

    精密工学会関西支部

    2005年11月 ～

  20. 日本機械学会関西支部第６回秋季技術交流フォーラム

    日本機械学会

    2005年10月 ～

  21. The 3rd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)

    日本機械学会

    2005年10月 ～

  22. 2005年度精密工学会学術講演会秋季大会

    （社）精密工学会

    2005年9月 ～

  23. 光ナノテクフェアー2005

    日本光学測定機工業会，日本精密測定機器工業会

    2005年6月 ～

  24. 型技術者会議2005

    型技術協会

    2005年6月 ～

  25. 型技術者会議2004

    型技術協会

    2004年6月 ～

  26. ２００４光計測シンポジウム

    日本光学測定機工業会

    2004年6月 ～

  27. 第4回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会

    日本機械学会

    2002年11月 ～

  28. 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会

    精密工学会

    2002年10月 ～

  29. 第14回プラスチックプロセスセミナー：次世代の市場を創る「マイクロモールド金型とナノモールドの可能性」

    日本塑性加工学会 プラスチックプロセス分科会

    2002年6月 ～

  30. 型技術者会議2002

    型技術協会

    2002年6月 ～

  31. 2002年度精密工学会春季大会学術講演会

    精密工学会

    2002年3月 ～

  32. 第13回外観検査の自動化ワークショップ

    精密工学会

    2001年12月 ～

  33. 第３回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会

    日本機械学会

    2001年11月 ～

  34. 2001年度精密工学会秋季大会学術講演会

    精密工学会

    2001年9月 ～

  35. 型技術者会議2001

    型技術協会

    2001年6月 ～

  36. 2001年度精密工学会春季大会学術講演会

    精密工学会

    2001年3月 ～

  37. 第11回三次元工学研究会

    三次元工学研究会，精密工学会フォトニクス技術分科会

    2000年12月 ～

機関リポジトリ 1

大阪大学の学術機関リポジトリ（OUKA）に掲載されているコンテンツ

  1. Stroboscopic sampling moiré microscope (SSMM) for investigating full field in-plane vibration of MEMS mechanical transducers

    Yadi Mona, Uenohara Tsutomu, Mizutani Yasuhiro, Morimoto Yoshiharu, Takaya Yasuhiro

    Precision Engineering　Vol. 92　p. 21-29　2025年3月1日