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山内 和人
Kazuto Yamauchi
山内 和人
Kazuto Yamauchi
機関リポジトリ
大阪大学・理化学研究所科学技術融合研究センター，特任教授（常勤）

keyword CEM，液体金属イオン源，X線干渉計，非接触，波面光学，基板改質，起精密加工，超精密加工面，半導体，ポリシング，シリコン薄膜，イオン照射，低温成膜，非球面ミラー，表面光起電力，X線光学，エッチング，表面電子準位，放射光，X線顕微鏡，分光，SPV，表面改質，シリコン，X線自由電子レーザー，X線ミラー，X線集光，数値制御加工，超精密加工，EEM

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経歴 6

  1. 2024年4月 ～ 継続中
    大阪大学　大阪大学・理化学研究所科学技術融合研究センター　特任教授

  2. 2020年4月 ～ 2023年3月
    大阪大学 大学院工学研究科　物理学系専攻 精密工学コース　教授

  3. 2003年10月1日 ～ 2020年3月31日
    大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻　教授

  4. 1998年4月1日 ～ 2003年9月30日
    大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻　助教授

  5. 1992年4月 ～ 2003年9月
    大阪大学助教授

  6. 1984年4月 ～ 1992年3月
    大阪大学助手

所属学会 7

  1. 日本光学会

  2. OSA (The Optical Society of America)

  3. EUSPEN (european society for precision engineering and nanotechnology)

  4. SPIE (The International Society for Optical Engineering)

  5. 日本放射光学会

  6. 応用物理学会

  7. 精密工学会

研究内容・専門分野 4

  1. ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 材料力学、機械材料 /

  2. 自然科学一般 / 天文学 /

  3. エネルギー / 量子ビーム科学 /

  4. ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /

受賞 17

  1. 全国発明表彰 未来創造発明奨励賞

    山内 和人, 石川 哲也, 大橋 治彦, 津村 尚史　（公社）発明協会　2023年6月

  2. 紫綬褒章

    山内 和人　日本国　2023年4月

  3. Giovanni Sostero Award

    Kazuto Yamauchi　International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication (IWXM)　2022年4月

  4. 泰山賞（レーザー進歩賞）

    山内 和人　（公財）レーザー技術総合研究所　2019年7月

  5. 文部科学大臣表彰 科学技術賞（研究部門）

    山内 和人　文部科学省　2016年4月

  6. 安田賞

    中出和希, 森大地, 川瀬達也, 川合健太郎, 佐野泰久, 山内和人, 森田瑞穂, 有馬健太　応用物理学会 第21回 電子デバイス界面テクノロジー研究会　2016年1月

  7. 日本表面科学会 会誌賞

    山内和人, 佐野泰久, 有馬健太　公益社団法人 日本表面科学会　2013年11月

  8. JSPE Prize Best Paper Award

    Shun Sadakuni, Junji Murata, Keita Yagi, Kenta Arima, Yasuhisa Sano, Takeshi Okamoto, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi　3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (Japan Society for Precision Engineering)　2009年11月

  9. 第22回日本放射光学会ポスター賞

    久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎　日本放射光学会　2009年1月

  10. 第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム学生会員発表賞

    松山智至, 三村秀和, 湯本博勝, 原英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人　日本放射光学会　2006年2月

  11. 奨励研究賞

    原英之, 佐野泰久, 三村秀和, 山内和人　応用物理学会、SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会　2005年11月

  12. 精密工学会賞

    佐々木都至, 安弘, 森勇蔵, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 井上晴行　精密工学会　2003年3月

  13. 精密工学会賞

    山内和人, 杉山和久, 稲垣耕司, 山村和也, 佐野泰久, 森 勇藏　精密工学会　2001年3月

  14. 工作機械技術振興賞(論文賞)

    森 勇蔵, 山内和人, 山村和也, 佐野泰久　(財)工作機械技術振興財団　2000年6月

  15. 社団法人 日本機械学会 生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰

    安弘, 佐々木都至, 森勇蔵, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 井上晴行, 山内和人　社団法人日本機械学会　1999年12月

  16. 精密工学会賞

    森 勇藏, 遠藤勝義, 山内和人, 王 暉, 井出 敞, 後藤英和　精密工学会　1992年3月

  17. 精密工学会賞

    森 勇蔵, 井川直哉, 奥田 徹, 山内和人　精密工学会　1986年3月

論文 760

  1. {Nanofocused attosecond hard X-ray free-electron laser with intensity exceeding $10^{19}$ W/cm$^2$

    Ichiro Inoue, Takahiro Sato, River Robles, Matthew Seaberg, Yanwen Sun, Diling Zhu, David Cesar, Yuantao Ding, Vincent Esposito, Paris Franz, Veronica Guo, Alex Halavanau, Nick Sudar, Zen Zhang, Yuichi Inubushi, Taito Osaka, Gota Yamaguchi, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Makina Yabashi, Agostino Marinelli, Junpei Yamada

    Optica　2025年1月21日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Optica Publishing Group

  2. Development of precision Wolter mirrors for future soft x-ray observations of the Sun

    Taro Sakao, Sota Kashima, Satoshi Matsuyama, Takato Inoue, Haruhito Iriyama, Shinnosuke Kurimoto, Kazuto Yamauchi, Yoshiki Kohmura, Akira Miyake, Hiroki Nakamori, Shunichiro Matsuzaka, Toshiki Taniguchi, Toshio Nakano, Noriyuki Narukage

    Space Telescopes and Instrumentation 2024: Ultraviolet to Gamma Ray　p. 191-191　2024年8月21日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  3. Dicing Process for 4H-SiC Wafers by Plasma Etching Using High-Pressure SF6 Plasma with Metal Masks

    Yasuhisa Sano, Yuma Nakanishi, Masaaki Oshima, Shunto Iden, Jumpei Yamada, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 1124　p. 51-55　2024年8月21日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Trans Tech Publications, Ltd.

  4. High-Efficiency Polishing of Polymer Surface Using Catalyst-Referred Etching

    D. Toh, K. Takeda, K. Kayao, Y. Ohkubo, K. Yamauchi, Y. Sano

    International Journal of Automation Technology　Vol. 18　No. 2　p. 240-247　2024年3月5日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  5. Extreme focusing of hard X-ray free-electron laser pulses enables 7 nm focus width and 10^22 W cm^−2 intensity

    Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Ichiro Inoue, Taito Osaka, Takato Inoue, Nami Nakamura, Yuto Tanaka, Yuichi Inubushi, Toshinori Yabuuchi, Kensuke Tono, Kenji Tamasaku, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Haruhiko Ohashi, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi

    Nature Photonics　2024年3月　研究論文（学術雑誌）

  6. High-precision finishing method for narrow-groove channel-cut crystal x-ray monochromator using plasma chemical vaporization machining with wire electrode

    Shotaro Matsumura, Iori Ogasahara, Taito Osaka, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Review of Scientific Instruments　Vol. 95　No. 1　2024年1月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  7. High-pressure plasma etching up to 9 atm toward uniform processing inside narrow grooves of high-precision X-ray crystal optics

    Shotaro Matsumura, Iori Ogasahara, Masafumi Miyake, Taito Osaka, Daisetsu Toh, Jumpei Yamada, Makina YABASHI, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Applied Physics Express　2023年12月2日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：IOP Publishing

  8. Fabrication of YAG ceramics surface without damage and grain boundary steps using catalyzed chemical wet etching

    Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    CIRP Journal of Manufacturing Science and Technology　Vol. 47　p. 1-6　2023年12月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  9. Catalyst enhancement approach for improving the removal rate and stability of silica glass polishing via catalyzed chemical etching in pure water

    Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Pho Van Bui, Kouji Inagaki, Yoshitada Morikawa, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Precision Engineering　Vol. 84　p. 21-27　2023年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Elsevier BV

  10. Ultimate condensation of hard X-ray free-electron laser reaching single-nanometre focus size and 1022 W/cm2 intensity

    Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Ichiro Inoue, Taito Osaka, Takato Inoue, Nami Nakamura, Yuto Tanaka, Yuichi Inubushi, Toshinori Yabuuchi, Kensuke Tono, Kenji Tamasaku, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Haruhiko Ohashi, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi

    2023年10月26日

  11. Femtosecond Reduction of Atomic Scattering Factors Triggered by Intense X-Ray Pulse

    Ichiro Inoue, Jumpei Yamada, Konrad J. Kapcia, Michal Stransky, Victor Tkachenko, Zoltan Jurek, Takato Inoue, Taito Osaka, Yuichi Inubushi, Atsuki Ito, Yuto Tanaka, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Makina Yabashi, Beata Ziaja

    Physical Review Letters　Vol. 131　No. 16　2023年10月17日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：American Physical Society (APS)

  12. Bias-assisted photoelectrochemical planarization of GaN (0001) with impurity concentration distribution

    D. Toh, K. Kayao, R. Ohnishi, A. I. Osaka, K. Yamauchi, Y. Sano

    AIP Advances　Vol. 13　No. 9　2023年9月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  13. Propagation-based phase-contrast imaging method for full-field X-ray microscopy using advanced Kirkpatrick–Baez mirrors

    Yuto Tanaka, Jumpei Yamada, Takato Inoue, Takashi Kimura, Mari Shimura, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi, Satoshi Matsuyama

    Optics Express　Vol. 31　No. 16　p. 26135-26135　2023年7月21日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Optica Publishing Group

  14. Role of Photoelectrochemical Oxidation in Enabling High-Efficiency Polishing of Gallium Nitride

    Kiyoto Kayao, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    ECS Journal of Solid State Science and Technology　Vol. 12　No. 6　p. 063005-063005　2023年6月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Electrochemical Society

  15. High-Speed Plasma Etching of Gallium Oxide Substrates Using Atmospheric-Pressure Plasma with Hydrogen-Helium Mixed Gas

    Yasuhisa Sano, Taiki Sai, Genta Nakaue, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi

    Solid State Phenomena　Vol. 342　p. 69-72　2023年5月25日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Trans Tech Publications, Ltd.

  16. High-speed etching of gallium nitride substrate using hydrogen-contained atmospheric-pressure plasma

    Yasuhisa Sano, Genta Nakaue, Daisetsu Toh, Jumpei Yamada, Kazuto Yamauchi

    Applied Physics Express　Vol. 16　No. 4　p. 045504-045504　2023年4月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：IOP Publishing

  17. Wide field-of-view x-ray imaging optical system using grazing-incidence mirrors

    Satoshi Matsuyama, Takato Inoue, Kentaro Hata, Haruhito Iriyama, Kazuto Yamauchi

    Applied Optics　Vol. 61　No. 35　p. 10465-10465　2022年12月6日　研究論文（学術雑誌）

  18. Hard x-ray intensity autocorrelation using direct two-photon absorption

    Taito Osaka, Ichiro Inoue, Jumpei Yamada, Yuichi Inubushi, Shotaro Matsumura, Yasuhisa Sano, Kensuke Tono, Kazuto Yamauchi, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi

    Physical Review Research　Vol. 4　No. 1　p. L012035-L012035　2022年3月18日　研究論文（学術雑誌）

  19. High-throughput deterministic plasma etching using array-type plasma generator system

    Yasuhisa Sano, Ken Nishida, Ryohei Asada, Shinya Okayama, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 92　No. 12　p. 125107-125107　2021年12月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  20. Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system

    Takato Inoue, Yuka Nishioka, Satoshi Matsuyama, Junki Sonoyama, Kazuteru Akiyama, Hiroki Nakamori, Yoshio Ichii, Yasuhisa Sano, Xianbo Shi, Deming Shu, Max D. Wyman, Ross Harder, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Lahsen Assoufid, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 92　No. 12　p. 123706-123706　2021年12月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  21. Nondeteriorating Verwey Transition in 50 nm Thick Fe<inf>3</inf>O<inf>4</inf>Films by Virtue of Atomically Flattened MgO Substrates: Implications for Magnetoresistive Devices

    Ai I. Osaka, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi, Ken Hattori, Xiaoqian Shi, Fangzhun Guo, Hidekazu Tanaka, Azusa N. Hattori

    ACS Applied Nano Materials　Vol. 4　No. 11　p. 12091-12097　2021年11月26日　研究論文（学術雑誌）

  22. 触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶材料表面の作製

    藤 大雪, Bui Van Pho, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2021A　p. 115-116　2021年9月8日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  23. Hard X-ray nanoprobe scanner

    Jumpei Yamada, Ichiro Inoue, Taito Osaka, Takato Inoue, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Makina Yabashi

    IUCrJ　Vol. 8　No. 5　p. 713-718　2021年9月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：International Union of Crystallography (IUCr)

  24. X-ray adaptive zoom condenser utilizing an intermediate virtual focus

    Satoshi Matsuyama, Hiroyuki Yamaguchi, Takato Inoue, Yuka Nishioka, Jumpei Yamada, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Optics Express　Vol. 29　No. 10　p. 15604-15604　2021年5月10日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Optical Society

  25. Photoelectrochemical Oxidation Assisted Catalyst-Referred Etching for SiC (0001) Surface

    Daisetsu Toh, Pho Van Bui, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    International Journal of Automation Technology　Vol. 15　No. 1　p. 74-79　2021年1月5日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Fuji Technology Press Ltd.

  26. High-Speed Etching of Silicon Carbide Wafer Using High-Pressure SF6 Plasma

    Yasuhisa Sano, Koki Tajiri, Yuki Inoue, Risa Mukai, Yuma Nakanishi, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    ECS Journal of Solid State Science and Technology　Vol. 10　No. 1　p. 014005-014005　2021年1月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Electrochemical Society

  27. X-Ray Single-Grating Interferometry for Wavefront Measurement and Correction of Hard X-Ray Nanofocusing Mirrors

    Jumpei Yamada, Takato Inoue, Nami Nakamura, Takashi Kameshima, Kazuto Yamauchi, Satoshi Matsuyama, Makina Yabashi

    Sensors　Vol. 20　No. 24　p. 7356-7356　2020年12月21日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：MDPI AG

  28. Development of precision Wolter mirrors towards PhoENiX mission for the Sun

    Taro Sakao, Satoshi Matsuyama, Jumpei Yamada, Takato Inoue, Kentaro Hata, Hiroyuki Yamaguchi, Taku Hagiwara, Nami Nakamura, Kazuto Yamauchi, Yoshiki Kohmura, Yoshinori Suematsu, Noriyuki Narukage

    Space Telescopes and Instrumentation 2020: Ultraviolet to Gamma Ray　2020年12月13日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  29. High surface laser-induced damage threshold of SrB4O7 single crystals under 266-nm (DUV) laser irradiation

    Yasunori Tanaka, Ryota Murai, Yoshinori Takahashi, Tsuyoshi Sugita, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi, Sora Aikawa, Haruki Marui, Yuji Umeda, Yusuke Funamoto, Tomosumi Kamimura, Melvin John F. Empizo, Masayuki Imanishi, Yusuke Mori, Masashi Yoshimura

    Optics Express　Vol. 28　No. 20　p. 29239-29239　2020年9月28日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Optical Society

  30. Focus characterization of an X-ray free-electron laser by intensity correlation measurement of X-ray fluorescence

    Nami Nakamura, Satoshi Matsuyama, Takato Inoue, Ichiro Inoue, Jumpei Yamada, Taito Osaka, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 27　No. 5　p. 1366-1371　2020年9月1日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：International Union of Crystallography (IUCr)

  31. High-resolution micro channel-cut crystal monochromator processed by plasma chemical vaporization machining for a reflection self-seeded X-ray free-electron laser

    Shotaro Matsumura, Taito Osaka, Ichiro Inoue, Satoshi Matsuyama, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Optics Express　Vol. 28　No. 18　p. 25706-25706　2020年8月31日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Optical Society

  32. 触媒表面基準エッチング法で平滑化したMgO基板上に成長させたFe3O4極薄膜における金属/絶縁体相転移特性の向上

    大坂 藍, 藤 大雪, 山内 和人, 佐野 泰久, 田中 秀和, 服部 梓

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2020A　p. 187-188　2020年8月20日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  33. Generation of an X-ray nanobeam of a free-electron laser using reflective optics with speckle interferometry

    Takato Inoue, Satoshi Matsuyama, Jumpei Yamada, Nami Nakamura, Taito Osaka, Ichiro Inoue, Yuichi Inubushi, Kensuke Tono, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Haruhiko Ohashi, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 27　No. 4　p. 883-889　2020年7月1日　研究論文（学術雑誌）

  34. Compact full-field hard x-ray microscope based on advanced Kirkpatrick–Baez mirrors

    Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Raita Hirose, Yoshihiro Takeda, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Kazuhiko Omote, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Optica　Vol. 7　No. 4　p. 367-367　2020年4月20日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Optical Society

  35. An abrasive-free chemical polishing method assisted by nickel catalyst generated by in situ electrochemical plating

    Daisetsu Toh, Pho Van Bui, Ai Isohashi, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Review of Scientific Instruments　Vol. 91　No. 4　p. 045108-045108　2020年4月1日　研究論文（学術雑誌）

  36. EEM（Elastic Emission Machining）法について

    山内和人

    機械技術　Vol. 68　No. 4　p. 24-27　2020年4月

    出版者・発行元：日刊工業新聞社

  37. 触媒表面基準エッチング法で平滑化したMgO基板上での高品質Fe3O4極薄膜成長

    大坂 藍, 藤 大雪, 山内 和人, 佐野 泰久, 田中 秀和, 服部 梓

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2020S　p. 662-663　2020年3月1日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  38. Development of an Experimental Platform for Combinative Use of an XFEL and a High-Power Nanosecond Laser

    Y. Inubushi, T. Yabuuchi, T. Togashi, K. Sueda, K. Miyanishi, Y. Tange, N. Ozaki, T. Matsuoka, R. Kodama, T. Osaka, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, K. Tono, M. Yabashi

    Applied Science　Vol. 10　No. 7　2020年3月　研究論文（学術雑誌）

  39. Prototype design and experimental tests of a zoom mirror system for the APS upgrade

    Xianbo Shi, Zhi Qiao, Sheikh Mashrafi, Ross Harder, Deming Shu, Max Wyman, Jayson Anton, Steven Kearney, Luca Rebuffi, Tim Mooney, Jun Qian, Bing Shi, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Lahsen Assoufid

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 11491　2020年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  40. Focusing mirror for coherent hard X-rays

    Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Hirokatsu Yumoto, Takashi Kimura, Yukio Takahashi, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa

    Synchrotron Light Sources and Free-Electron Lasers: Accelerator Physics, Instrumentation and Science Applications　p. 1093-1122　2020年1月1日　論文集(書籍)内論文

  41. 完全結晶基板上に成長したFe3O4極薄膜金属-絶縁体相転移特性

    大坂 藍, 服部 梓, 田中 秀和, 藤 大雪, 山内 和人, 佐野 泰久

    日本表面真空学会学術講演会要旨集　Vol. 2020　2020年

    出版者・発行元：公益社団法人 日本表面真空学会

  42. Atomically smooth Si surface planarized using a thin film catalyst in pure water

    Pho van Bui, Daisetsu Toh, Shinsaku Shiroma, Taku Hagiwara, Ai Isohashi Osaka, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of the 20th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2020　p. 43-44　2020年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  43. Cause of etch pits during the high speed plasma etching of silicon carbide and an approach to reduce their size

    Y. Nakanishi, R. Mukai, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Sano

    Materials Science Forum　Vol. 1004 MSF　p. 161-166　2020年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  44. 平成のX線光学・超精密加工を振り返る～高精度X線ナノ集光ミラーの開発と超精密加工～

    山内和人

    精密工学会誌　Vol. 86　No. 1　p. 32-38　2020年1月

    出版者・発行元：一般社団法人 生産技術振興協会

  45. A micro channel-cut crystal X-ray monochromator for a self-seeded hard X-ray free-electron laser

    T. Osaka, I. Inoue, R. Kinjo, T. Hirano, Y. Morioka, Y. Sano, K. Yamauchi, M. Yabashi

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 26　No. 5　p. 1496-1502　2019年9月　研究論文（学術雑誌）

  46. 触媒表面電位制御を取り入れた光電気化学触媒表面基準エッチング法によるSiC基板の高能率平坦化加工

    大西 諒典, 木田 英香, 藤 大雪, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2019A　p. 28-29　2019年8月20日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  47. Full-field X-ray fluorescence microscope based on total-reflection advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics

    S. Matsuyama, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yambashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Optics Express　Vol. 27　No. 13　p. 18318-18328　2019年6月　研究論文（学術雑誌）

  48. Catalyzed chemical polishing of SiO2 glasses in pure water

    D. Toh, P. V. Bui, A. Isohashi, N. Kidani, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Morikawa, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 90　No. 4　2019年4月　研究論文（学術雑誌）

  49. Surface Finishing Method using Plasma Chemical Vaporization Machining for Narrow Channel Walls of X-ray Crystal Monochromators

    T. Hirano, Y. Morioka, S. Matsumura, Y. Sano, T. Osaka, S. Matsuyama, M. Yabashi, K. Yamauchi

    Int. J. Automation Technol.　Vol. 13　No. 2　p. 246-253　2019年3月　研究論文（学術雑誌）

  50. Development of a glue-free bimorph mirror for use in vacuum chambers

    Y. Ichii, H. Okada, H. Nakamori, A. Ueda, H. Yamaguchi, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 90　No. 2　2019年2月　研究論文（学術雑誌）

  51. Compact reflective imaging optics in hard X-ray region based on concave and convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Optics Express　Vol. 27　No. 3　p. 3429-3438　2019年2月　研究論文（学術雑誌）

  52. Numerically controlled plasma chemical vaporization machining using array-type electrode toward high-throughput deterministic machining

    Ken Nishida, Shinya Okayama, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Proceedings - 34th ASPE Annual Meeting　p. 466-469　2019年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：American Society for Precision Engineering, ASPE

  53. High-efficiency SiC polishing using a thin film catalyst in pure water

    Pho Van Bui, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019　p. 50-51　2019年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  54. Development of an abrasive-free polishing method for optical material using pure water and Ni catalyst

    Daisetsu Toh, Ryosuke Ohnishi, Pho V. Bui, Ai Isohsahi, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings - 34th ASPE Annual Meeting　p. 474-477　2019年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  55. High-efficiency planarization of SIC wafers by water-CARE (Catalyst-referred etching) employing photoelectrochemical oxidation

    H. Kida, D. Toh, P. V. Bui, A. Isohashi, R. Ohnishi, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Sano

    Materials Science Forum　Vol. 963 MSF　p. 525-529　2019年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  56. High-efficiency planarization of GaN wafer by catalyst-referred etching with positive-biased photo-electrochemical oxidation

    Ryosuke Ohnishi, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Ai Isohashi, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings - 34th ASPE Annual Meeting　p. 79-83　2019年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  57. 物質の超高速変形と破壊：XFELを用いた観測のアプローチから

    尾崎典雅, 松岡健之, ALBERTAZZI Bruno, 宮西宏併, 片桐健登, 梅田悠平, HARTLEY Nicholas, PIKUZ Tatiana, 山内和人, 兒玉了祐, 松岡岳洋, 奥地拓生, 瀬戸雄介, 丹下慶範, 佐藤友子, 関根利守, 坂田 修身, 犬伏雄一, 富樫 格, 籔内俊穀, 矢橋牧名, VINCI Tommaso, KOENIG Michel

    高圧討論会講演要旨集　Vol. 59th　2018年11月

  58. Nanofocusing of X-ray free-electron laser using wavefront-corrected multilayer focusing mirrors

    S. Matsuyama, T. Inoue, J. Yamada, J. Kim, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Osaka, I. Inoue, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Scientific Reports　Vol. 8　2018年11月　研究論文（学術雑誌）

  59. Reflective Imaging Optics Using Concave and Convex Mirrors for a Compact and Achromatic Full-field X-ray Microscope

    J. Yamada, S. Matsuyama, K. Hata, R. Hirose, Y. Takeda, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Microscopy and Microanalysis　Vol. 24　No. S2　p. 274-275　2018年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  60. High-Resolution Full-Field X-ray Microscope for 20-keV X-rays with Multilayer Imaging Mirrors

    S. Matsuyama, J. Yamada, K. Hata, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Microscopy and Microanalysis　Vol. 24　No. S2　p. 284-285　2018年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  61. Hard-x-ray imaging mirror optics using concave and convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)　2018年6月

  62. Development of hybrid X-ray adaptive optical system based on piezo-driven deformable mirror and a mechanical mirror bender

    H. Yamaguchi, T. Goto, H. Hayashi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)　2018年6月

  63. Development of a multilayer Kirkpatrick-Baez mirror optics for X-ray free electron laser

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, T. Osaka, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)　2018年6月

  64. Development of adaptive Kirkpatrick-Baez mirrors based on bimorph and mechanical bending

    H. Nakamori, T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, H. Yamaguchi, J. Sonoyama, K. Akiyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Okada, K. Yamauchi

    International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)　2018年6月

  65. Development of reflective imaging optics using concave and convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)　2018年6月

  66. Fabrication of ultraprecise multilayer focusing mirrors using an X-ray grating interferometer and differential deposition technique

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, T. Osaka, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)　2018年6月

  67. Nearly diffraction-limited hard X-ray line focusing with hybrid adaptive X-ray mirror based on mechanical and piezo-driven deformation

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, H. Yamaguchi, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Optics Express　Vol. 26　No. 13　p. 17477-17486　2018年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  68. Development of high-resolution X-ray imaging optical system using multilayer imaging mirrors

    K. Hata, J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)　2018年4月

  69. Development of nanofocusing system for X-ray free electron Laser (Study of nanobeam characterization)

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, T. Osaka, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)　2018年4月

  70. Compact and large-magnification full-field X-ray microscope using concave-convex imaging mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)　2018年4月

  71. Systematic-error-free wavefront measurement using an X-ray single-grating interferometer

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Osaka, I. Inoue, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 89　No. 4　p. 043106-1-043106-7　2018年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  72. Platinum-catalyzed hydrolysis etching of SiC in water: A density functional theory study

    Pho Van Bui, Daisetsu Toh, Ai Isohashi, Satoshi Matsuyama, Kouji Inagaki, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Yoshitada Morikawa

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 57　No. 5　p. 055703-1-055703-5　2018年4月　研究論文（学術雑誌）

  73. Characteristics and Mechanism of Catalyst-Referred Etching Method: Application to 4H-SiC

    Pho Van Bui, Yasuhisa Sano, Yoshitada Morikawa, Kazuto Yamauchi

    International Journal of Automation Technology　Vol. 12　No. 2　p. 154-159　2018年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  74. 光電気化学酸化を利用した触媒表面基準エッチング法によるGaN基板の高能率平坦化

    木田 英香, 藤 大雪, 大西 亮輔, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    年次大会　Vol. 2018　2018年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会

  75. High-efficiency planarization of SiC in pure water using a thin film catalyst

    Pho Van Bui, Yuta Nakahira, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 18th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2018　p. 433-434　2018年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  76. Development of high efficiency polishing method using pure water and Ni catalyst

    Daisetsu Toh, Pho Van Bui, Nakahira Yuta, Hideka Kida, Takahisa Ohgushi, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 18th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2018　p. 435-436　2018年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  77. Development of new diagnostics based on LiF detector for pump-probe experiments

    T. Pikuz, A. Faenov, N. Ozaki, T. Matsuoka, B. Albertazzi, N.J. Hartley, K. Miyanishi, K. Katagiri, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Habara, Y. Inubushi, T. Togashi, H. Yumoto, H. Ohashi, Y. Tange, T. Yabuuchi, M. Yabashi, A.N. Grum-Grzhimailo, A. Casner, I. Skobelev, S. Makarov, S. Pikuz, G. Rigon, M. Koenig, K.A. Tanaka, T. Ishikawa, R. Kodama

    Matter and Radiation at Extremes　Vol. 3　No. 4　p. 197-206　2018年1月　研究論文（学術雑誌）

  78. Performance of a hard X-ray split-and-delay optical system with a wavefront division

    Takashi Hirano, Taito Osaka, Yuki Morioka, Yasuhisa Sano, Yuichi Inubushi, Tadashi Togashi, Ichiro Inoue, Satoshi Matsuyama, Kensuke Tono, Aymeric Robert, Jerome B. Hastings, Kazuto Yamauchi, Makina Yabashi

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 25　No. 1　p. 20-25　2018年1月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  79. 衝撃圧縮された多結晶コランダムの時分割XFELその場観察

    丹下 慶範, 尾崎 典雅, 瀬戸 雄介, 佐藤 友子, 奥地 拓生, 松岡 健之, 高橋 謙次郎, 宮西 宏併, ALBERTAZZI Bruno・HARTLEY Nicholas, 梅田 悠平, 西川 豊人, 松山 智至, 山内 和人, 関根 利守, 田中 和夫, 兒玉 了祐, 籔内 俊毅, 矢橋 牧名

    2017年11月

  80. Ellipsoidal mirror for two-dimensional 100-nm focusing in hard X-ray region

    H. Yumoto, T. Koyama, S. Matsuyama, Y. Kohmura, K. Yamauchi, T. Ishikawa, H. Ohashi

    Scientific Reports　Vol. 7　2017年11月　研究論文（学術雑誌）

  81. Characterization of temporal coherence of hard x-ray free-electron laser pulses with single-shot interferograms

    T. Osaka, T. Hirano, Y. Morioka, Y. Sano, Y. Inubushi, I. Inoue, K. Tono, A. Robert, J. B. Hastings, K. Yamauchi, M. Yabashi

    IUCrJ　Vol. 4　No. 6　p. 728-733　2017年11月　研究論文（学術雑誌）

  82. Development of concave-convex imaging mirror system for a compact and achromatic full-field x-ray microscope

    Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Shuhei Yasuda, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Proc. of SPIE, Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XII　Vol. 103860　p. 103860C-1-103860C-6　2017年9月6日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  83. Dynamic compression of Tantalum up to 120 GPa and associated spallation process using an XFEL probe

    B. Albertazzi, N. Ozaki, V. Zhakhovsky, A. Faenov, H. Habara, M. Harmand, N. J. Hartley, D. K. Ilnitsky, N. Inogamov, Y. Inubushi, T. Ishikawa, T. Katayama, H. Koyama, M. Koenig, A. Krygier, T. Matsuoka, S. Matsuyama, E. McBride, K. Migdal, G. Morard, H. Ohashi, T. Okuchi, T. Pikuz, N. Purevjav, O. Sakata, Y. Sano, T. Sato, T. Sekine, T. Seto, K. Takahashi, K. A. Tanaka, Y. Tange, T. Togashi, K. Tono, Y. Umeda, T. Vinci, M. Yabashi, T. Yabuuchi, K. Yamauchi, H. Yumoto, R. Kodama

    2017年9月

  84. Development of an X-ray imaging optical system consisting of concave and convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 24th Congress of the International Comission for Optics, X-ray and High-energy Optics　2017年8月

  85. Development of crystal-based split-and-delay optics with wavefront splitting at SACLA

    T. Hirano, T. Osaka, Y. Sano, Y. Inubushi, T. Togashi, I. Inoue, S. Matsuyama, K. Tono, K. Yamauchi, M. Yabashi

    SPIE Optics+Photonics2017　p. 187-187　2017年8月

  86. Development of measurement system for ellipsoidal mirrors

    H. Nakamori, Y. Ichii, H. Okada, A. Ueda, T. Tsumura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2017　p. 185-185　2017年8月

  87. Development of Precise Wavefront Measurement Method for X-Ray Free Electron Laser Focusing System

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, T. Katayama, S. Goto, T. Ishikawa, M. Yabashi, K. Yamauchi

    The 24th Congress of the International Comission for Optics, X-ray and High-energy Optics　2017年8月

  88. Full-field X-ray fluorescence imaging based on total-reflection imaging mirrors

    S. Matsuyama, S. Yasuda, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 24th Congress of the International Comission for Optics, X-ray and High-energy Optics　2017年8月

  89. Development of hybrid adaptive x-ray focusing system based on piezoelectric bimorph mirror and mirror bender

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2017　p. 187-187　2017年8月

  90. Development of full-field x-ray fluorescence microscope using total-reflection mirrors

    S. Matsuyama, J. Yamada, S. Yasuda, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2017　p. 193-193　2017年8月

  91. Shock response to solid germanium

    Kohei Miyanishi, Norimasa Ozaki, Takeshi Matsuoka, Satoshi Matsuyama, Kenjiro Takahashi, Hideaki Habara, Tatiana Pikuz, Anatoly Faenov, Kazuto Yamauchi, Ryosuke Kodama, Kazuo Tanaka, Yusuke Seto, Yoshinobu Tange, Toshinori Yabuuchi, Yuichi Inubushi, Tadashi Togashi, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Michel Koenig, Tommaso Vinci, Takuo Okuchi, Nicholas Hartley, Osami Sakata, Toshimori Sekine, Emma McBride

    2017年7月

  92. Development of new diagnostics in the interests of pumpprobe experiments

    T. Pikuz, A. Faenov, N. Ozaki, T. Matsuoka, B. Albertazzi, N.Hartely, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Habara, Y. Inubushi, T. Togashi, H. Yumoto, H. Ohashi, Y. Tange, T. Yabuuchi, M. Yabashi, A. Grum-Grzhimailo, A. Casner, G. Rigon, M. Koenig, K. A. Tanaka, T. Ishikawa, R. Kodama

    2017年6月

  93. Measurement of the X-ray Spectrum of a Free Electron Laser with a Wide-Range High-Resolution Single-Shot Spectrometer

    Y. Inubushi, I. Inoue, J. Kim, A. Nishihara, S. Matsuyama, H. Yumoto, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, K. Yamauchi, M. Yabashi

    Applied Sciences　Vol. 7　No. 6　p. 584-1-584-5　2017年6月　研究論文（学術雑誌）

  94. Dynamic fracture of tantalum under extreme tensile stress

    B. Albertazzi, N. Ozaki, V. Zhakhovsky, A. Faenov, H. Habara, M. Harmand, N. Hartley, D. Ilnitsky, N. Inogamov, Y. Inubushi, T. Ishikawa, T. Katayama, T. Koyama, M. Koenig, A. Krygier, T. Matsuoka, S. Matsuyama, E. McBride, K. P. Migdal, G. Morard, H. Ohashim T. Okuchi, T. Pikuz, N. Purejav, O. Sakata, Y. Sano, T. Sato, T. Sekine, Y. Seto, K. Takahashi, K. Tanaka, Y. Tange, T. Togashi, K. Tono, Y. Umeda, T. Vinci, M. Yabashi, T. Yabuuchi, K. Yamauchi, H. Yumoto, R. Kodama

    Science Advances　Vol. 3　No. 6　2017年6月　研究論文（学術雑誌）

  95. Chemical etching of silicon carbide in pure water by using platinum catalyst

    A. Isohashi, P. V. Bui, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Inagaki, Y. Morikawa, K. Yamauchi

    Applied Phsyics Letters　Vol. 110　No. 20　2017年5月　研究論文（学術雑誌）

  96. Hard X-ray Split-and-Delay Optics with wavefront Division at SACLA

    T. Hirano, T. Osaka, Y. Sano, Y. Inubushi, T. Togashi, I. Inoue, S. Matsuyama, K. Tono, K. Yamauchi, M. Yabashi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017　p. 34-34　2017年4月

  97. High-magnification X-ray imaging mirror system consisting of elliptical concave and hyperbolic convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017　p. 66-66　2017年4月

  98. Development of a multilayer KB mirror sysem for sub-10nm XFEL focusing

    S. Kawai, S. Matsuyama, T. Inoue, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Osaka, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017　p. 61-62　2017年4月

  99. Development of calibration method for X-ray single-grating interferometry

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, T. Katayama, S. Goto, T. Ishikawa, M. Yabashi, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017　p. 59-60　2017年4月

  100. Achromatic and High-Resolution Full-Field X-ray Microscope and its Applicaiton

    S. Matsuyama, J. Yamada, S. Yasuda, Y. Kohmura, H. Okadam, Y. Sano, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017　p. 10-11　2017年4月

  101. 50-nm-resolution full-field X-ray microscope without chromatic aberration using total-reflection imaging mirrors

    S. Matsuyama, S. Yasuda, J. Yamada, H. Okada, Y. Kohmura, M Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Scientific Reports　Vol. 7　2017年4月　研究論文（学術雑誌）

  102. 全反射ミラーを用いた高分解能かつ色収差のない結像型X線顕微鏡の開発ー様々な観察法への応用ー

    松山智至, 安田周平, 山田純平, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    2017年度精密工学会春季大会学術講演会　2017年3月

  103. Ultrafast observation of lattice dynamics in laser-irradiated gold foils

    N. J. Hartley, N. Ozaki, T. Matsuoka, B. Albertazzi, A. Faenov, Y. Fujimoto, H. Habara, M. Harmand, Y. Inubushi, T. Katayama, M. Koenig, A. Krygier, P. Mabey, Y. Matsumura, S. Matsuyama, E. E. McBride, K. Miyanishi, G. Morard, T. Okuchi, T. Pikuz, O. Sakata, Y. Sano, T. Sato, T. Sekine, Y. Seto, K. Takahashi, K. A. Tanaka, Y. Tange, T. Togashi, Y. Umeda, T. Vinci, M. Yabashi, T. Yabuuchi, K. Yamauchi, R. Kodama

    Applied Physics Letters　Vol. 110　No. 7　p. 071905-071905　2017年2月　研究論文（学術雑誌）

  104. Simulation of concave-convex imaging mirror system for development of a compact and achromatic full-field x-ray microscope

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi

    Applied Optics　Vol. 56　No. 4　p. 967-974　2017年2月　研究論文（学術雑誌）

  105. 光電気化学酸化を援用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウムの高能率平坦化

    木田 英香, 藤 大雪, 中平 雄太, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017A　p. 19-20　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  106. Platinum-assisted chemical etching of SiC: A density functional theory study

    Bui Pho Van, Toh Daisetsu, Inagaki Kouji, Sano Yasuhisa, Yamauchi Kazuto, Morikawa Yoshitada

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting　Vol. 2017A　p. 251-252　2017年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  107. Stabilization of removal rate of silica glass on catalyst-referred etching by cleaning catalyst surface

    Yuta Nakahira, Ai Isohashi, Tatsuaki Inada, Daisetsu Toh, Hideka Kida, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    ICPT 2017 - International Conference on Planarization/CMP Technology　p. 110-114　2017年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  108. Stabilization method of transition metal catalyst for high efficiency catalyst-referred etching (CARE) of silicon carbide

    Daisetsu Toh, Ai Isohashi, Tatuaki Inada, Yuta Nakahira, Hideka Kida, Satoshi Matuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    ICPT 2017 - International Conference on Planarization/CMP Technology　p. 106-109　2017年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  109. 放射光X線のための超高精度X線ミラー開発の最前線

    松山 智至, 山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 83　No. 4　p. 300-304　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  110. 表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発

    両粂 玲志, 宮崎 俊亘, 佐野 泰久, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 541-542　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  111. 高濃度SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC基板の高能率薄化加工

    井上 裕貴, 田尻 光毅, 向井 莉紗, 佐野 泰久, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 975-976　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  112. 多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発

    川合 蕉吾, 松山 智至, 井上 陽登, 湯本 博勝, 犬伏 雄一, 小山 貴久, 登野 健介, 大橋 治彦, 大坂 泰斗, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 959-960　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  113. 全反射ミラーを用いた高分解能かつ色収差のない結像型X線顕微鏡の開発

    松山 智至, 安田 周平, 山田 純平, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　p. 957-958　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  114. Planarization of SiC and oxide surfaces by using Catalyst-Referred Etching with water

    Pho Van Bui, Ai Isohashi, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Kouji Inagaki, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of the 17th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2017　p. 157-158　2017年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  115. ニッケル触媒を利用した純水ベースの触媒表面基準エッチング法の開発

    藤 大雪, 礒橋 藍, 稻田 辰昭, 中平 雄太, 木田 英香, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　No. 0　p. 35-36　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  116. 触媒表面基準エッチング法における水素水を用いた被毒除去法の提案

    中平 雄太, 礒橋 藍, Bui Pho, 稻田 辰昭, 藤 大雪, 木田 英香, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　No. 0　p. 1-2　2017年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  117. Visualization of intracellular elements using scanning X-ray fluorescence microscopy

    Mari Shimura, Lukasz Szyrwiel, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Metallomics: Recent Analytical Techniques and Applications　p. 63-92　2017年1月1日　論文集(書籍)内論文

    出版者・発行元：Springer Japan

  118. Change in surface morphology of Si (100) wafer after oxidation with atmospheric-pressure plasma

    Hiroyasu Takei, Satoshi Kurio, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Key Engineering Materials　Vol. 723　p. 242-246　2017年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Trans Tech Publications Ltd

  119. Generation of apodized X-ray illumination and its application to scanning and diffraction microscopy

    K. P. Khakurel, T. Kimura, H. Nakamori, T. Goto, S. Matsuyama, T. Sasaki, M. Takei, Y. Kohmura, T. Ishikawa, K. Yamauchi, Y. Nishino

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 24　No. 1　p. 142-149　2017年1月　研究論文（学術雑誌）

  120. Imaging of intracellular fatty acids by scanning X-ray fluorescence microscopy

    Mari Shimura, Hideo Shindou, Lukasz Szyrwiel, Suzumi M. Tokuoka, Fumie Hamano, Satoshi Matsuyama, Mayumi Okamoto, Akihiro Matsunaga, Yoshihiro Kita, Yukihito Ishizaka, Kazuto Yamauchi, Yoshiki Kohmura, Ryszard Lobinski, Isao Shimizu, Takao Shimizu

    FASEB JOURNAL　Vol. 30　No. 12　p. 4149-4158　2016年12月　研究論文（学術雑誌）

  121. Pit Formation, Patterning and Flattening of Ge Surfaces in O2-Containing Water by Metal-Assisted Chemical Etching

    T. Kawase, A. Mura, Y. Saito, T. Okamoto, K. Kawai, Y. Sano, K. Yamauchi, M. Morita, K. Arima

    Meeting Program of PRiME 2016　p. 124-124　2016年10月

  122. Development of array-type atmospheric-pressure RF plasma generator with electric on-off control for high-throughput numerically controlled processes

    H. Takei, S. Kurio, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Sano

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 10　2016年10月　研究論文（学術雑誌）

  123. Development of an x-ray imaging optical system based on a combination of concave and convex mirrors

    Satoshi Matsuyama, Jumpei Yamada, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics　2016年9月

  124. Imaging of intracellular fatty acids by scanning X-ray fluorescence microscopy

    M. Shimura, H. Shindou, L. Szyrwiel, S. M. Tokuoka, F. Hamano, S. Matsuyama, M. Okamoto, A. Matsunaga, Y. Kita, Y. Ishizaka, K. Yamauchi, Y. Kohmura, R. Lobinski, I. Shimizu, T. Shimizu

    The FASEB Journal　Vol. 30　No. 12　p. 001-010　2016年9月　研究論文（学術雑誌）

  125. Progress in precision Wolter mirrors for soft x-ray observations of the sun

    Taro Sakao, Satoshi Matsuyama, Takumi Goto, Kazuto Yamauchi, Yoshiki Kohmura, Yoshinori Suematsu, Noriyuki Narukage

    SPIE Optics+Photonics　2016年8月

  126. Achromatic full-field X-ray microscope with 50 nm resolution and its applications

    S. Matsuyama, S. Yasuda, H. Okada, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    13th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2016)　2016年8月

  127. A Two-stage Adaptive X-ray Focusing System using Four Piezoelectric Deformable Mirrors

    T. Goto, H. Nakamori, S. Matsuyama, H. Hayashi, T. Kimura, K. P. Khakurel, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, Y. Nishino, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    13th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2016)　2016年8月

  128. Novel shape measurement method for imaging mirrors using an x-ray grating interferometer

    Satoshi Matsuyama, Ayumi Kime, Taro Sakao, Yoshinori Suematsu, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics　2016年8月

  129. Simulation and Experimental Study of Wavefront Measurement Accuracy of the Pencil-Beam Method

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Synchrotron Radiation News　Vol. 29　No. 4　p. 32-36　2016年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  130. Advancement of Hard X-ray Nano-focusing Ellipsoidal Mirror at SPring-8

    H. Yumoto, T. Koyama, S. Matsuyama, Y. Kohmura, K. Yamauchi, T. Ishikawa, H. Ohashi

    Synchrotron Radiation News　Vol. 29　No. 4　p. 27-31　2016年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  131. Indirect monitoring shot-to-shot shock waves strength reproducibility during pump–probe experiments

    T. A. Pikuz, A. Ya. Faenov, N. Ozaki, N. J. Hartley, B. Albertazzi, T. Matsuoka, K. Takahashi, H. Habara, Y. Tange, S. Matsuyama, K. Yamauchi, R. Ochante, K. Sueda, O. Sakata, T. Sekine, T. Sato, Y. Umeda, Y. Inubushi, T. Yabuuchi, T. Togashi, T. Katayama, M. Yabashi, M. Harmand, G. Morard, M. Koenig, V. Zhakhovsky, N. Inogamov, A. S. Safronova, A. Stafford, I. Yu. Skobelev, S. A. Pikuz, T. Okuchi, Y. Seto, K. A. Tanaka, T. Ishikawa, R. Kodama

    Journal of Applied Physics　Vol. 120　No. 3　2016年7月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  132. Development of speckle-free channel-cut crystal optics using plasma chemical vaporization machining for coherent X-ray applications

    T. Hirano, T. Osaka, Y. Sano, Y. Inubushi, S. Matsuyama, K. Tono, T. Ishikawa, M. Yabashi, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 6　2016年6月　研究論文（学術雑誌）

  133. Fabrication of Strain-Free Crystal Optics for a Hard X-ray Split-and-Delay Optical System

    T. Hirano, T. Osaka, Y. Sano, Y. Inubushi, S. Matsuyama, K. Tono, T. Ishikawa, M. Yabashi, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)　2016年5月

  134. High-resolution imaging XAFS using advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics

    S. Yasuda, S. Matsuyama, H. Okada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)　2016年5月

  135. Size-controllable X-ray beam collimation using a two-stage adaptive Kirkpatrick-Baez mirror system based on piezoelectric deformable mirrors

    T. Goto, H. Nakamori, S. Matsuyama, H. Hayashi, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)　2016年5月

  136. A variable-numerical-aperture x-ray focusing system using a two-stage adaptive Kirkpatrick-Baez mirrors based on piezo electric deformable mirrors

    H. Hayashi, T. Goto, H. Nakamori, S. Matsuyama, T. Kimura, K. P. Khakurel, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, Y. Nishino, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)　2016年5月

  137. Wavefront measurement of sub-10-nm XFEL nanobeam produced by multilayer focusing mirrors

    S. Kawai, S. Matsuyama, A. Nishihara, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, T. Katayama, S. Goto, T. Ishikawa, M. Yabashi, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)　2016年5月

  138. Wavelength-tunable hard X-ray split-and-delay optics at SACLA

    T. Osaka, T. Hirano, Y. Sano, Y. Inubushi, S. Matsuyama, K. Tono, T. Ishikawa, K. Yamauchi, M. Yabashi

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)　2016年5月

  139. Development of a compact x-ray imaging optical system using two pairs of concave and convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)　2016年5月

  140. Damage threshold of coating materials on x-ray mirror for x-ray free electron laser

    T. Koyama, H. Yumoto, T. Miura, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Katayama, J. Kim, S. Matsuyama, M. Yabashi, K. Yamauchi, H. Ohashi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 5　2016年5月　研究論文（学術雑誌）

  141. Damage threshold of coating materials on x-ray mirror for x-ray free electron laser

    Takahisa Koyama, Hirokatsu Yumoto, Takanori Miura, Kensuke Tono, Tadashi Togashi, Yuichi Inubushi, Tetsuo Katayama, Jangwoo Kim, Satoshi Matsuyama, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi, Haruhiko Ohashi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 5　2016年5月　研究論文（学術雑誌）

  142. Stitching interferometry for ellipsoidal x-ray mirrors

    H. Yumoto, T. Koyama, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Ohashi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 5　2016年5月　研究論文（学術雑誌）

  143. X線自由電子レーザーのナノ集光とX線非線形光学の探索

    山内和人

    生産と技術　Vol. 68　No. 2　p. 46-51　2016年4月

    出版者・発行元：一般社団法人 生産技術振興協会

  144. Nearly diffraction-limited X-ray focusing with variable-numerical aperture focusing optical system based on four deformable mirrors

    Satoshi Matsuyama, Hiroki Nakamori, Takumi Goto, Takashi Kimura, Krishna P. Khakurel, Yoshiki Kohmura, Yasuhisa Sano, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Yoshinori Nishino, Kazuto Yamauchi

    SCIENTIFIC REPORTS　Vol. 6　2016年4月　研究論文（学術雑誌）

  145. Chromatin folding and DNA replication inhibition mediated by a highly antitumor-active tetrazolato-bridged dinuclear platinum(II) complex.

    Imai R, Komeda S, Shimura M, Tamura S, Matsuyama S, Nishimura K, Rogge R, Matsunaga A, Hiratani I, Takata H, Uemura M, Iida Y, Yoshikawa Y, Hansen JC, Yamauchi K, Kanemaki MT, Maeshima K

    Scientific reports　Vol. 6　2016年4月　研究論文（学術雑誌）

  146. Nearly diffraction-limited X-ray focusing with variable-numerical-aperture focusing optical system based on four deformable mirrors

    S. Matsuyama, H. Nakamori, T. Goto, T. Kimura, K. P. Khakurel, Y. Kohmura, Y. Sano, M. Yabashi, T. Ishikawa, Y. Nishino, K. Yamauchi

    Scientific Reports　Vol. 6　2016年4月　研究論文（学術雑誌）

  147. Chromatin folding and DNA replication inhibition mediated by a highly antitumor-active tetrazolato-bridged dinuclear platinum(II) complex

    Ryosuke Imai, Seiji Komeda, Mari Shimura, Sachiko Tamura, Satoshi Matsuyama, Kohei Nishimura, Ryan Rogge, Akihiro Matsunaga, Ichiro Hiratani, Hideaki Takata, Masako Uemura, Yutaka Iida, Yuko Yoshikawa, Jeffrey C. Hansen, Kazuto Yamauchi, Masato T. Kanemaki, Kazuhiro Maeshima

    SCIENTIFIC REPORTS　Vol. 6　2016年4月　研究論文（学術雑誌）

  148. Wavelength-tunable split-and-delay optical system for hard X-ray free-electron lasers

    T. Osaka, T. Hirano, Y. Sano, Y. Inubushi, S. Matsuyama, K. Tono, T. Ishikawa, K. Yamauchi, M. Yabashi

    Optics Express　Vol. 24　No. 9　p. 9187-9201　2016年4月　研究論文（学術雑誌）

  149. X線自由電子レーザーのナノ集光とX線非線形光学の探索

    山内和人

    生産と技術　Vol. 68　No. 2　p. 46-51　2016年4月

    出版者・発行元：一般社団法人 生産技術振興協会

  150. Dry planarization method using transport of reactive species

    Reiji Ryokume, Toshinobu Miyazaki, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings - 32nd ASPE Annual Meeting　p. 597-601　2016年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：American Society for Precision Engineering, ASPE

  151. Fabrication of X-ray imaging mirrors for an achromatic and high-resolution full-field X-ray microscope

    Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Shuhei Yasuda, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings - 32nd ASPE Annual Meeting　p. 143-146　2016年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  152. プラズマエッチングによる基板の基準面加工法の開発

    宮崎 俊亘, 佐野 泰久, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 365-366　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  153. 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第10報）

    佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 大山 幸希, 宮下 忠一, 住澤 春男, 宮崎 俊亘, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 377-378　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  154. 光電気化学酸化を援用した触媒表面基準エッチング法による炭化ケイ素の高能率平坦化

    稲田 辰昭, 礒橋 藍, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 363-364　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  155. サブ大気圧プラズマを用いたプラズマエッチングによる2インチSiC基板の高能率加工

    田尻 光毅, 井上 裕貴, 佐野 泰久, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 929-930　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  156. 小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発

    山田 純平, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 913-914　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  157. 二段アダプティブKBミラー光学系を用いた硬X線平行ビームの形成

    後藤 拓実, 中森 紘基, 松山 智至, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 911-912　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  158. 硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの作製と集光評価

    湯本 博勝, 小山 貴久, 松山 智至, 香村 芳樹, 山内 和人, 石川 哲也, 大橋 治彦

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　p. 909-910　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  159. Investigation of catalytic metals for a catalyst referred etching in pure water

    Ai Isohashi, Tatsuaki Inada, Daisetsu Toh, Yuta Nakahira, Takahito Sugiura, Naotaka Kidani, Koji Inagaki, Yasihisa Sano, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of the 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2016　2016年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  160. 触媒表面基準エッチング法による GaN 基板平坦化における加工速度の高速化

    稻田 辰昭, 礒橋 藍, 藤 大雪, 中平 雄太, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    年次大会　Vol. 2016　No. 0　2016年

    出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会

  161. 触媒表面基準エッチング法における被毒物除去による加工速度安定化手法の開発

    中平 雄太, 礒橋 藍, Bui Pho, 稻田 辰昭, 藤 大雪, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2016　No. 0　p. 211-212　2016年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  162. 水中で酸素還元触媒と接触したGe表面のエッチング特性と平坦化への応用

    中出 和希, 森 大地, 川瀬 達也, 川合 健太郎, 佐野 泰久, 山内 和人, 森田 瑞穂, 有馬 健太

    Extended Abstracts of the 21st Workshop on Symposium on Electron Device Interface Technology　p. 9-12　2016年1月

  163. Focusing mirror for coherent hard X-rays

    Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Hirokatsu Yumoto, Takashi Kimura, Yukio Takahashi, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa

    Synchrotron Light Sources and Free-Electron Lasers: Accelerator Physics, Instrumentation and Science Applications　p. 927-956　2016年1月1日　論文集(書籍)内論文

    出版者・発行元：Springer International Publishing

  164. X-ray microfocusing with off-axis ellipsoidal mirror

    Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Satoshi Matsuyama, Yoshiki Kohmura, Kazuto Yamauchi, Tetsuya Ishikawa, Haruhiko Ohashi

    PROCEEDINGS OF THE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI2015)　Vol. 1741　2016年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  165. Wave-optical assessment of alignment tolerances in nano-focusing with ellipsoidal mirror

    Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Haruhiko Ohashi

    XRM 2014: PROCEEDINGS OF THE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY　Vol. 1696　2016年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  166. Size-changeable x-ray beam collimation using an adaptive x-ray optical system based on four deformable mirrors

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, H. Hayashi, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 9965　2016年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  167. High-efficiency planarization method combining mechanical polishing andatmospheric-pressure plasma etching for hard-to-machine semiconductorsubstrates

    Y. Sano, K. Shiozawa, T. Doi, H. Aida, T. Miyashita, K. Yamauchi

    Mechanical Engineering Journal　Vol. 3　No. 1　2016年1月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：The Japan Society of Mechanical Engineers

  168. 3D visualization of XFEL beam focusing properties using LiF crystal X-ray detector

    T. Pikuz, A. Faenov, T. Matsumoto, S. Matsuyama, K. Yamauchi, N. Ozaki, B. Albertazzi, Y. Inubushi, M. Yabashi, K. Tono, Y. Sato, H. Yumoto, H. Ohashi, S. Pikuz, A. N. Grum-Grzhimailo, M. Nishikino, T. Ishikawa, R. Kodama

    Scientific Reports　Vol. 5　p. 17713-1-17713-10　2015年12月　研究論文（学術雑誌）

  169. XFEL を用いた衝撃圧縮下の炭素凝集過程の超高速観察

    小川剛史, 尾崎典雅, 高橋謙次郎, 羽原英明, 松岡健之, 田中和夫, 池谷正太郎, Ochante. M, Ricardo A, 喜田美佳, 久保田善大, 佐藤友哉, 西川豊人, 野間澄人, 藤本陽平, 松村祐介, 吉田有佑, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人, Albertazzi Bruno, Hartley Nicholas, Pikuz Tatiana, Faenov Anatory, 犬伏雄一, 丹下慶範, 富樫格, 片山哲夫, 矢橋牧名, 薮内俊毅, 梅田悠平, 佐藤友子, 関根利守, 奥地拓生, 瀬戸雄介, 坂田修身, 兒玉了祐

    2015年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  170. XFEL を用いたハイパワーレーザーショック下における鉄の相転移観察

    松村祐介, 尾崎典雅, Albertazzi Bruno, Hartley Nicholas, 高橋謙次郎, 羽原英明, 松岡健之, 田中和夫, 池谷正太郎, 小川 剛史, Ochante Muray Ricardo Arturo, 喜田 美佳, 久保田善大, 佐藤友哉, 西川豊人, 野間澄人, 藤本 陽平, 吉田有佑, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人, Pikuz Tatiana, Faenov Anatoly, 犬伏雄一, 丹下慶範, 富樫格, 薮内 俊毅, 片山 哲夫, 矢橋牧名, 梅田悠平, 佐藤友子, 関根利守, 奥地拓生, 瀬戸雄介, 坂田修身, 兒玉了祐

    2015年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  171. SACLA における高強度レーザーを用いた衝撃圧縮 XFEL その 場観察実験ステーション

    丹下慶範, 尾崎典雅, 松岡健之, 小川剛史, Albertazzi Bruno, 羽原英明, 高橋健次郎, 松山智至, 山内和人, 田中和夫, 兒玉了祐, 佐藤友子, 関根利守, 瀬 戸雄介, 奥地拓生, 籔内俊毅, 犬伏雄一, 矢橋牧名

    2015年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  172. ハイパワーレーザー及び XFEL を用いた超高圧研究

    尾崎典雅, Albertazzi Bruno, Benuzzi-Mounaix Alessandra, Denoeud Adrien, Gregori Gianluca, 羽原英明, Hartley Nicholas, 犬伏雄一, Koenig Michel, 近藤良彦, 松岡健之, 松 山智至, 奥地拓生, 佐藤友子, 佐藤友哉, 佐野 孝好, 坂田 修 身, 瀬戸雄介, 関根利守, 田中和夫, 高橋 謙次郎, 丹下慶範, 土屋卓久, 富樫格, 矢橋牧名, 薮内俊毅, 山内和人, 兒玉了祐

    高圧討論会講演要旨集　Vol. 56th　2015年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  173. Study on the mechanism of platinum-assisted hydrofluoric acid etching of SiC using density functional theory calculations

    P. V. Bui, A. Isohashi, H. Kizaki, Y. Sano, K. Yamauchi, Y. Morikawa, K. inagaki

    Applied Physics Letters　Vol. 107　No. 20　p. 201601-1-201601-4　2015年11月　研究論文（学術雑誌）

  174. Damage threshold of platinum/carbon multilayers under hard X-ray free-electron laser irradiation

    Jangwoo Kim, Ayaka Nagahira, Takahisa Koyama, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Makina Yabashi, Haruhiko Ohashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    OPTICS EXPRESS　Vol. 23　No. 22　p. 29032-29037　2015年11月　研究論文（学術雑誌）

  175. Catalyst-Assisted Electroless Flattening of Ge Surfaces in Dissolved-O2-Containing Water

    T. Kawase, Y. Saito, A. Mura, T. Okamoto, K. Kawai, Y. Sano, M. Morita, K. Yamauchi, K. Arima

    ChemElectroChem　Vol. 2　No. 11　p. 1656-1659　2015年11月　研究論文（学術雑誌）

  176. Damage threshold of platinum/carbon multilayers under hard X-ray free-electron laser irradiation

    J. Kim, A. Nagahira, T. Koyama, S. Matsuyama, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Optics Express　Vol. 23　No. 22　p. 29032-29037　2015年11月　研究論文（学術雑誌）

  177. 硬X線ナノ集光技術の最前線

    山内和人

    放射線　Vol. 41　No. 1　p. 15-20　2015年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

    出版者・発行元：応用物理学会放射線分科会

  178. 硬X線ナノ集光技術の最前線

    山内和人

    放射線　Vol. 41　No. 1　p. 15-20　2015年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

    出版者・発行元：応用物理学会放射線分科会

  179. Coherent diffraction imaging of non-isolated object with apodized illumination

    K. P Khakurel, T. Kimura, Y. Joti, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Nishino

    Optics Express　Vol. 23　No. 22　p. 28182-28190　2015年10月　研究論文（学術雑誌）

  180. Development of precision Wolter mirrors for future solar x-ray observations

    T. Sakao, S. Matsuyama, A. Kime, T. Goto, A. Nishihara, H. Nakamori, K. Yamauchi, Y. Kohmura, A. Miyake, H. Hashizume, T. Maezawa, Y. Suematsu, N. Narukage

    Proceedings of SPIE　Vol. 9603　p. 96030U-1-96030U-9　2015年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  181. Development of achromatic full-field hard x-ray microscopy with two monolithic imaging mirrors

    S. Matsuyama, H. Kino, S. Yasuda, Y, Kohmura, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 9592　p. 959208-1-959208-5　2015年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  182. Development of ion beam figuring system with electrostatic deflection for ultraprecise X-ray reflective optics

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 86　No. 9　2015年8月　研究論文（学術雑誌）

  183. Atomic inner-shell laser at 1.5-ångström wavelength pumped by an X-ray free-electron laser

    H. Yoneda, Y. Inubushi, K. Nagamine, Y. Michine, H. Ohashi, H. Yumoto, K. Yamauchi, H. Mimura, H. Kitamura, T. Katayama, T. Ishikawa, M. Yabashi

    Nature　Vol. 524　No. 7566　p. 446-449　2015年8月　研究論文（学術雑誌）

  184. Atomic inner-shell laser at 1.5-ångström wavelength pumped by an X-ray free-electron laser

    H. Yoneda, Y. Inubushi, K. Nagamine, Y. Michine, H. Ohashi, H. Yumoto, K. Yamauchi, H. Mimura, H. Kitamura, T. Katayama, T. Ishikawa, M. Yabashi

    Nature　Vol. 524　No. 7566　p. 446-+　2015年8月　研究論文（学術雑誌）

  185. In situ characterization of the XFEL probe beam intensity distribution by a high spatial resolution hard X-ray LiF crystal detector

    T. Pikuz, A. Faenov, A. Mitrofanov, B. Albertazzi, N. Ozaki, T. Matsuoka, O. M, R. Arturo, T. Yabuuchi, H. Habara, K. A. Tanaka, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Inubushi, T. Togashi, H. Yumoto, Y. Tange, K. Tono, M. Yabashi, M. Nishikino, T. Kawachi, M. R. Lopez, D. Bleiner, T. Ishikawa, R. Kodama

    2015年6月

  186. Damage to inorganic materials illuminated by focused beam of x-ray free-electron laser radiation

    Takahisa Koyama, Hirokatsu Yumoto, Kensuke Tono, Tadashi Togashi, Yuichi Inubushi, Tetsuo Katayama, Jangwoo Kim, Satoshi Matsuyama, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi, Haruhiko Ohashi

    SPIE Proceedings　Vol. 9511　p. 951107-1-951107-7　2015年5月12日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：SPIE

  187. Nanofocusing of X-ray free-electron lasers by grazing-incidence reflective optics

    K. Yamauchi, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Koyama, T. Ishikawa

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 22　No. 3　p. 592-598　2015年5月　研究論文（学術雑誌）

  188. Metal-Assisted Etching of Ge Surfaces in Water: From Pit Formation to Flattening

    Kenta Arima, Tatsuya Kawase, Atsushi Mura, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita

    Program of 2015 MRS Spring Meeting & Exhibit　p. 329-329　2015年4月

  189. Characterization of XFEL Beam Quality by LiF Crystal Imaging Technique

    T. Pikuz, A. Faenov, T. Matsuoka, S. Matsuyama, K. Yamauchi, N. Ozaki, Y. Inubashi, M. Yabashi, Y. Sato, H. Yumoto, H. Ohashi, A. Grum-Grzhimailo, M. Nishikino, T. Kawachi, T. Ishikawa, R. Kodama

    2015年4月

  190. A novel branched TAT 47-57 peptide for selective Ni 2+ introduction into the human fibrosarcoma cell nucleus

    L. Szyrwiel, M. Shimura, J. Shirataki, S. Matsuyama, A. Matsunaga, B. Setner, Szczukowski, Z. Szewczuk, K. Yamauchi, W. Malinka, L. Chavatte, R. Lobinski

    Metallomics　Vol. 7　No. 7　p. 1155-1162　2015年4月　研究論文（学術雑誌）

  191. Hard X-ray nanofocusing using adaptive focusing optics based on piezoelectric deformable mirrors

    Takumi Goto, Hiroki Nakamori, Takashi Kimura, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi, Satoshi Matsuyama

    Review of Scientific Instruments　Vol. 86　No. 4　2015年4月　研究論文（学術雑誌）

  192. Achromatic and high-resolution full-field X-ray microscopy based on total-reflection mirrors

    Satoshi Matsuyama, Yoji Emi, Hidetoshi Kino, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Optics Express　Vol. 23　No. 8　p. 9746-9752　2015年4月　研究論文（学術雑誌）

  193. Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製（第7報）―静電偏向制御による非球面形状の作製と評価―

    山田純平, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    アブストラクト集　Vol. 2015　p. 1061-1062　2015年3月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  194. X線集光ミラー形状測定のための姿勢補正機構を有する三次元測定機の開発

    金章雨, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    アブストラクト集　Vol. 2015　p. 1057-1058　2015年3月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  195. 2回反射型X線ミラーのためのX線スローププロファイラの開発

    松山智至, 木目歩美, 後藤拓実, 西原明彦, 香村芳樹, 石川哲也, 坂尾太郎, 山内和人

    アブストラクト集　Vol. 2015　p. 1055-1056　2015年3月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  196. モノリシックな一次元Wolter mirrorを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発

    安田周平, 松山智至, 木野英俊, 岡田浩巳, 青野真也, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

    アブストラクト集　Vol. 2015　p. 1049-1050　2015年3月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  197. Local atomic configuration of graphene, buffer layer, and precursor layer on SiC(0001) by photoelectron diffraction

    H. Matsui, F. Matsui, N. Maejima, T. Matsushita, T. Okamoto, A. N. Hattori, Y. Sano, K. Yamauchi, H. Daimon

    Surface Science　Vol. 632　p. 98-102　2015年2月　研究論文（学術雑誌）

  198. 酸素還元触媒を用いた水中でのGe表面の平坦化に関する研究

    中出 和希, 森 大地, 齋藤 雄介, 川合 健太郎, 佐野 泰久, 山内 和人, 森田 瑞穂, 有馬 健太

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 297-298　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  199. 触媒表面基準エッチング法における触媒機能活性化手法の開発

    藤 大雪, 礒橋 藍, 稻田 辰昭, 中平 雄太, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 447-448　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  200. 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第8報）

    佐野 泰久, 塩澤 昂祐, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 大山 幸希, 宮下 忠一, 住澤 春男, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 463-464　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  201. 第一原理計算による触媒表面基準エッチング法の加工メカニズムに対する解析

    木谷 直隆, 礒橋 藍, Bui Van Pho, 杉浦 崇仁, 稲垣 耕司, 木崎 栄年, 佐野 泰久, 森川 良忠, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 531-532　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  202. 電気化学反応を援用した4H-SiC基板に対する触媒表面基準エッチング法の開発

    礒橋 藍, 山口 航, 杉浦 崇仁, 稻田 辰昭, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 529-530　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  203. 革新的"plasma fusion CMP装置"の設計・試作（第6報）

    塩澤 昂祐, 平岡 佑太, 佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 大山 幸希, 宮下 忠一, 住澤 春男, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 525-526　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  204. 硬X線自由電子レーザー用分割・遅延光学系の開発（第3報）

    平野 嵩, 大坂 泰斗, 佐野 泰久, 犬伏 雄一, 松山 智至, 登野 健介, 石川 哲也, 山内 和人, 矢橋 牧名

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 699-700　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  205. 数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法における酸化膜厚制御の精度向上

    栗生 賢, 武居 弘泰, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 719-720　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  206. 数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法における酸化特性

    武居 弘泰, 栗生 賢, 松山 智至, 山内 和人, 佐野 泰久

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 717-718　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  207. 触媒金属の酸素還元活性を利用した水中でのGe表面の平坦化

    有馬 健太, 川瀬 達也, 齋藤 雄介, 川合 健太郎, 佐野 泰久, 森田 瑞穂, 山内 和人

    表面科学学術講演会要旨集　Vol. 35　p. 58-58　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 日本表面科学会

  208. 結晶光学素子に基づくX線分割・遅延光学系の開発

    大坂 泰斗, 平野 嵩, 犬伏 雄一, 矢橋 牧名, 佐野 泰久, 松山 智至, 登野 健介, 佐藤 尭洋, 小川 奏, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 1045-1046　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  209. 21aAE-7 第一原理計算によるPt/SiO_2界面におけるSiO_2の加水分解反応の促進機構の解析

    木谷 直隆, Bui P. V., 礒橋 藍, 稲垣 耕司, 木崎 栄年, 山内 和人, 森川 良忠

    日本物理学会講演概要集　Vol. 70　p. 2511-2511　2015年

    出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会

  210. A new mirror-like finish method for oxide materials by catalytically induced chemical etching in pure water

    Ai Isohashi, Shun Sadakuni, Takahito Sugiura, Naotaka Kidani, Tatsuaki Inada, Wataru Yamaguchi, Koji Inagaki, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of the 15th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2015　p. 345-346　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  211. 2回反射型結像ミラーのためのX線スローププロファイラの開発

    木目歩美, 松山智至, 山内和人

    予稿集　2015年1月

  212. 1次元Wolterミラー（Monolithic型）を用いた色収差のない結像型X線顕微鏡の開発

    木野英俊, 松山智至, 岡田浩巳, 佐野泰久, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 津村尚史, 石川哲也, 山内和人

    予稿集　2015年1月

  213. 形状可変ミラーによる二段集光光学系の開発

    後藤拓実, 中森紘基, 松山智至, 木村隆志, 佐野泰久, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    予稿集　2015年1月

  214. X線ミラー作製のためのビーム偏向制御を用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発

    山田純平, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    予稿集　2015年1月

  215. Sub-10 nm集光用X線ミラーのための高精度形状計測装置の開発

    金章雨, 長平良綾香, 西原明彦, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    予稿集　2015年1月

  216. 位相回折格子を用いたX線自由電子レーザーナノビームの集光波面計測

    西原明彦, 松山智至, 金章雨, 長平良綾香, 湯本博勝, 三村秀和, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 片山拓也, 富樫格, 矢代航, 大橋治彦, 百生敦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    予稿集　Vol. 28th　2015年1月

  217. XFEL用集光ミラー用Pt/C多層膜の性能評価

    長平良綾香, 金章雨, 小山貴久, 松山智至, 西原明彦, 湯本博勝, 佐野泰久, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    予稿集　Vol. 28th　2015年1月

  218. 超平坦SiC表面上へのプラズマ酸化を援用した低ピット密度グラフェンの形成

    有馬 健太, 斎藤 直樹, 森 大地, 川合 健太郎, 佐野 泰久, 山内 和人, 森田 瑞穂

    Extended Abstracts of the 20th Workshop on Gate Stack Technology and Physics　p. 93-96　2015年1月

    出版者・発行元：応用物理学会

  219. Planarization of 6-inch 4H-SiC wafer using catalyst-referred etching

    A. Isohashi, Y. Sano, T. Kato, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 821-823　p. 537-540　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Trans Tech Publications Ltd

  220. Basic study on etching selectivity of plasma chemical vaporization machining by introducing crystallographic damage into work surface

    Yasuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Yuu Okada, Hiroaki Nishikawa, Kazuto Yamauchi

    Key Engineering Materials　Vol. 625　p. 550-553　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Trans Tech Publications Ltd

  221. Optimization of Machining Conditions of Basic-Type CMP/P-CVM Fusion Processing Using SiC Substrate

    Yasuhisa Sano, Kousuke Shiozawa, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Haruo Sumizawa, Kazuto Yamauchi

    2015 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY (ICPT)　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  222. Development of an achromatic full-field hard X-ray microscope using two monolithic imaging mirrors

    S. Matsuyama, H. Kino, S. Yasuda, Y. Kohmura, H. Okada, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    X-RAY NANOIMAGING: INSTRUMENTS AND METHODS II　Vol. 9592　p. 959208-1-959208-5　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  223. Development of precision Wolter mirrors for future solar x-ray observations

    Taro Sakao, Satoshi Matsuyama, Ayumi Kime, Takumi Goto, Akihiko Nishihara, Hiroki Nakamori, Kazuto Yamauchi, Yoshiki Kohmura, Akira Miyake, Hirokazu Hashizume, Tadakazu Maezawa, Yoshinori Suematsu, Noriyuki Narukage

    OPTICS FOR EUV, X-RAY, AND GAMMA-RAY ASTRONOMY VII　Vol. 9603　p. 96030U-1-96030U-9　2015年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  224. Numerically controlled atmospheric-pressure plasma sacrificial oxidation using electrode arrays for improving silicon-on-insulator layer uniformity

    H. Takei, K. Yoshinaga, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Sano

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 54　No. 1S　2015年1月　研究論文（学術雑誌）

  225. Using LiF crystals for 3D visualization of~SACLA XFEL beam focusing properties

    T.A. Pikuz, A.Ya. Faenov, T. Matsuoka, N. Ozaki, Y. Inubashi, M. Yabashi, Y. Sato, H.Yumoto, H. Ohashi, S. Matsuyama, K. Yamauchi, T. Ishikawa, A. Grum-Grzhimailo, S.A. Pikuz, R. Kodama

    2014年12月

  226. XFEL-SACLA を用いた超高圧下の格子ダイナミクス観察

    尾崎典雅, 松岡健之, 佐野智一, 犬伏雄一, 富樫格, 籔内俊毅, 羽原英明, ALBERTAZZI Bruno, 松山智至, 山内和人, 田中和夫, 廣瀬明夫, 近藤良彦, 佐藤友哉, 松田朋己, 浦西浩幸, 中塚和樹, 林圭輔, 喜田美佳, 小川剛史, 池谷正太郎, 山下真直, 白石亮平, 中口真之介, 松山法央, 丹下慶範, 土屋卓久, 佐藤友子, 関根利守, 梅田悠平, 奥地拓生, PUREVJAV Narangoo, 瀬戸雄介, 坂田修身, 佐野雄二, 末田敬一, 小川奏, 佐藤尭洋, HARMAND Marion, MORARD Guillaume, KOENIG Michel, 矢橋牧名, 兒玉了佑

    高圧討論会講演要旨集　Vol. 55th　2014年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  227. Development of a one-dimensional two-stage focusing system with two deformable mirrors

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 9208　2014年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  228. Saturable absorption of intense hard X-rays in iron

    H. Yoneda, Y. Inubushi, M. Yabashi, T. Katayama, T. Ishikawa, H. Ohashi, H. Yumoto, K. Yamauchi, H. Mimura, H. Kitamura

    Nature Communications　Vol. 5　p. 5080-5080　2014年10月　研究論文（学術雑誌）

  229. Development of hard X-Ray split-delay optics based on Si(220) crystals

    Taito Osaka, Takashi Hirano, Yuichi Inubushi, Makina Yabashi, Yasuhisa Sano, Satoshi Matsuyama, Kensuke Tono, Takahiro Sato, Kanade Ogawa, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    JSAP-OSA Joint Symposia, JSAP 2014　2014年9月1日　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：Optical Society of America (OSA)

  230. 位相回折格子を用いたX線レーザーナノビームの高精度波面計測

    西原明彦, 松山智至, 金章雨, 長平良綾香, 湯本博勝, 三村秀和, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 片山拓也, 富樫格, 矢代航, 佐野泰久, 大橋治彦, 百生敦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    アブストラクト集　Vol. 2014　p. 281-282　2014年9月

  231. Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製（第6報）～静電偏向制御による数値制御加工～

    山田純平, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    アブストラクト集　p. 283-284　2014年9月

  232. 色収差のない結像型X線顕微鏡の開発とイメージングXAFSへの応用

    松山智至, 木野英俊, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    講演要旨集　p. 79-80　2014年9月

  233. Optics for coherent X-ray applications

    M. Yabashi, K. Tono, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi, T. Tanaka, H. Tanaka, K. Tamasaku, H. Ohashi, S. Goto, T. Ishikawa

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 21　p. 976-985　2014年9月　研究論文（学術雑誌）

  234. Development of achromatic full-field hard x-ray microscopy and its application to x-ray absorption near edge structure spectroscopy

    S. Matsuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 9207　2014年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  235. Development of high-precision figure measurement system for x-ray optics using laser focus microscope

    J. Kim, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi

    Technical program　p. 188-188　2014年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  236. Development of a two-stage x-ray focusing system with ultraprecise deformable mirrors

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Technical program　p. 193-193　2014年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  237. Development of achromatic full-field hard x-ray microscopy with ultraprecise total reflection mirrors

    S. Masuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Sano, Y. Kohmura, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Technical program　p. 192-192　2014年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  238. Development of split-delay x-ray optics using Si(220) crystals at SACLA

    T. Osaka, T. Hirano, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, K. Ogawa, S. Matsuyama, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Technical program　Vol. 9210　p. 198-198　2014年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  239. Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining of Intentionally Damaged Surface by Mechanical Action

    K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, K. Yamauchi

    15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014), Abstracts, pp. 53, P22　p. 53-53　2014年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  240. Removal Mechanism in Catalyst-Referred Etching Process for SiC Planarization

    P. V. Bui, K. Inagaki, Y. Sano, K. Yamauchi, Y. Morikawa

    15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014), Abstracts, pp. 50, P05　p. 50-50　2014年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  241. Improving the Accuracy of Numerically Controlled Sacrificial Plasma Oxidation Using an Array of Electrodes to Produce Ultra-uniform SOI

    H. Takei, S. Kurio, Y. Sano, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014), Abstracts, pp. 32, B15　p. 32-32　2014年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  242. A novel abrasive-free chemical planarization of oxide materials using pure water and Pt catalyst

    T. Sugiura, A. Isohashi, W. Yamaguchi, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of European society for precision engineering & nanotechnology 2014　Vol. 2　p. 351-354　2014年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  243. Dependence of GaN Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining on Mechanically Introduced Damage

    Y. Sano, T. K. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Ueda, K. Shiozawa, Y. Okada, K. Yamauchi

    Sensors and Materials　Vol. 26　No. 6　p. 429-434　2014年6月　研究論文（学術雑誌）

  244. X線光学

    山内和人

    光学　Vol. 43　No. 4　p. 147-148　2014年4月

  245. Status of Experimental Platform for Matter under Dynamical Compression Driven by 40 TW Laser Pulse in XFEL Facility (SACLA)

    Takeshi Matsuoka, Norimasa Ozaki, Yuichi Inubushi, Tadashi Togashi, Toshinori Yabuuchi, Kanade Ogawa, Tomokazu Sano, Keiichi Sueda, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Hideaki Habara, Hiromitsu Tomizawa, Hirokatsu Yumoto, Haruhiko Ohashi, Takahiro Sato, Tomoki Matsuda, Yoshihiko Kondo, Keisuke Hayashi, Yuya Sato, Mika Kita, Tsuyoshi Ogawa, Masanao Yamashita, Ryohei Shiraishi, Yoshinori Tange, Tomoko Sato, Toshimori Sekine, Takuo Okuchi, Yusuke Seto, Norihiro Matsuyama, Osami Sakata, Yuji Sano, Keiichi Hirota, Toshiyuki Fujita, Kiyotaka Masaki, Kazuo A. Tanaka, Makina Yabashi, Ryosuke Kodama

    2014年4月

  246. Generation of 1020 W/cm2 Hard X-ray Laser Pulses with Two-Stage Reflective Focusing System

    H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, T. Koyama, K. Tono, Y. Inubushi, T. Togashi, T. Sato, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Nature Communications　Vol. 5　No. 3539　2014年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  247. SACLA X 線自由電子レーザー同期 40 TW レーザーシステムの整備と応用

    松岡健之, 尾崎典雅, 犬伏雄一, 富樫格, 籔内俊毅, 佐野智一, 末田敬一, 松山智至, 山内和人, 羽原英明, 冨澤宏光, 佐藤尭洋, 松田朋己, 近藤良彦, 林圭輔, 佐藤友哉, 喜田美佳, 小川剛史, 山下真直, 丹下慶範, 佐藤友子, 関根利守, 奥地拓生, 瀬戸雄介, 松山法央, 坂田修身, 佐野雄二, 廣田圭一, 藤田敏之, 久保達也, 政木清孝, 田中和夫, 矢橋牧名, 兒玉了祐

    2014年3月

  248. Dicing of SiC wafer by atmospheric-pressure plasma etching process with slit mask for plasma confinement

    Y. Sano, H. Nishikawa, Y. Okada, K. Yamamura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 778-780　p. 759-762　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

  249. Thinning of a two-inch silicon carbide wafer by plasma chemical vaporization machining using a slit electrode

    Y. Okada, H. Nishikawa, Y. Sano, K. Yamamura, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 778-780　p. 750-753　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

  250. 4H-SiC planarization using catalyst-referred etching with pure water

    A. Isohashi, Y. Sano, S. Sadakuni, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 778-780　p. 722-725　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

  251. Investigation of the Barrier Heights for Dissociative Adsorption of HF on SiC Surfaces in the Catalyst-Referred Etching Process

    P. V. Bui, K. Inagaki, Y. Sano, K. Yamauchi, Y. Morikawa

    Materials Science Forum　Vol. 778-780　p. 726-729　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

  252. X-ray two-photon absorption competing against single and sequential multiphoton processes

    K. Tamasaku, E. Shigemasa, Y. Inubushi, T. Katayama, K. Sawada, H. Yumoto, H. Ohashi, H. Mimura, M. Yabashi, K. Yamauchi, T. Ishikawa

    Nature Photonics　Vol. 8　No. 4　p. 313-316　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

  253. Planarization of the gallium nitride substrate grown by the Na flux method applying catalyst-referred etching

    W. Yamaguchi, S. Sadakuni, A. Isohashi, H. Asano, Y. Sano, M. Imade, M. Maruyama, M. Yoshimura, Y. Mori, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 778-780　p. 1193-1196　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

  254. High-resolution Multi-slice X-ray Ptychography of Extended Thick Objects

    A. Suzuki, S. Furutaku, K. Shimomura, K. Yamauchi, Y. Kohmura, T. Ishikawa, Y. Takahashi

    Physical Review Letters　Vol. 112　No. 5　2014年2月　研究論文（学術雑誌）

  255. 紫外光を援用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウム・炭化ケイ素基板の高能率平坦化加工

    山口 航, 礒橋 藍, 杉浦 崇仁, 稻田 辰昭, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2014　No. 0　p. 23-24　2014年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  256. 触媒表面基準エッチング法における白金に代わる新規触媒の検討

    礒橋 藍, 稻田 辰昭, 山口 航, 杉浦 崇仁, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2014　No. 0　p. 25-26　2014年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  257. 触媒表面基準エッチング法による金属酸化物材料の高能率平坦化加工

    杉浦 崇仁, 礒橋 藍, 山口 航, 稻田 辰昭, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2014　No. 0　p. 269-270　2014年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  258. Atomically Controlled Surfacing of Single Crystalline SiC and GaN by Catalyst-Referred Etching

    Kazuto Yamauchi, Ai Isohashi, Kenta Arima

    2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY (ICPT)　p. 139-141　2014年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  259. Development of Basic-Type CMP/P-CVM Fusion Processing System (Type A) and Its Fundamental Characteristics

    Kousuke Shiozawa, Yasuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Haruo Sumizawa, Kazuto Yamauchi

    2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY (ICPT)　p. 275-278　2014年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  260. Atomic scale flattening of gallium nitride substrate grown by Na flux method applying catalyst-referred etching

    Wataru Yamaguchi, Shun Sadakuni, Ai Isohashi, Hiroya Asano, Yasuhisa Sano, Mamoru Imade, Mihoko Maruyama, Masashi Yoshimura, Yusuke Mori, Kazuto Yamauchi

    2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY (ICPT)　p. 337-339　2014年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  261. Planarization of 4H-SiC(0001) by Catalyst-Referred Etching Using Pure Water Etchant

    Ai Isohashi, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY (ICPT)　p. 273-274　2014年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  262. Ultra-high-precision surface processing techniques for nanofocusing ellipsoidal mirrors in hard x-ray region

    Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Haruhiko Ohashi

    ADVANCES IN METROLOGY FOR X-RAY AND EUV OPTICS V　Vol. 9206　2014年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  263. Enhancement of photoluminescence efficiency from GaN(0001) by surface treatments

    A. N. Hattori, K. Hattori, Y. Morikawa, A. Yamamoto, S. Sadakuni, J. Murata, K. Arima, Y. Sano, K. Yamauchi, H. Daimon, K. Endo

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 53　No. 2　2014年1月　研究論文（学術雑誌）

  264. Two-dimensional X-ray nanofocusing using piezoelectric deformable mirrors

    H. Nakamori, S. Matsuyama, T. Goto, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 12th symposium on X-ray Imaging Optics, Abstract　p. 99-100　2013年11月

  265. Single-shot wavefront measurement of XFEL nanobeam

    R. Fukui, J. Kim, S. Matsuyama, H. Yumoto, Y. Inubushi, K. Tono, T. Koyama, T. Kimura, H. Mimura, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 12th symposium on X-ray Imaging Optics, Abstract　p. 97-98　2013年11月

  266. Development of one-dimensional Wolter Mirror figured on a single substrate for full-field X-ray microscopy

    H. Kino, S. Matsuyama, Y. Emi, H. Okada, Y. Sano, K. Yamauchi

    The 12th symposium on X-ray Imaging Optics, Abstract　p. 93-94　2013年11月

  267. Development of a High-resolution Full-field Hard X-ray Imaging Microscope with Compact AKB Mirror Optics

    Y. Emi, S. Matsuyama, H. Kino, Y. Kohmura, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 12th symposium on X-ray Imaging Optics, Abstract　p. 67-68　2013年11月

  268. Damage study of optical substrates using 1-µm-focusing beam of hard X-ray free-electron laser

    T. Koyama, H. Yumoto, Y. Senba, K. Tono, T. Sato, T. Togashi, Y. Inubushi, J. Kim, T. Kimura, S. Matsuyama, H. Mimura, M. Yabashi, K. Yamauchi, H. Ohashi, T. Ishikawa

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 463　2013年11月　研究論文（学術雑誌）

  269. Fabrication of Thin Si Crystal for X-Ray Beam Splitter

    T. Osaka, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, S. Matsuyama, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    28th The American Society for Precision Engineering Annual Meeting, Extended Abstracts　2013年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  270. Wet Chemical Planarization of Single-Crystalline SiC Using Catalyst-Referred Etching

    A. Isohashi, Y. Sano, T. Okamoto, S. Sadakuni, P. V. Bui, K. Yagi, K. Yamauchi

    28th The American Society for Precision Engineering Annual Meeting, Extended Abstracts　p. 153-156　2013年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  271. Development of high-accuracy X-ray ptychography apparatus

    A. Suzuki, Y. Senba, H. Ohashi, Y. Kohmura, K. Yamauchi, T. Ishikawa, Y. Takahashi

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 463　No. 1　2013年10月　研究論文（学術雑誌）

  272. Thin crystal development and applications for hard x-ray free-electron lasers

    T. Osaka, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, K. Ogawa, S. Matsuyama, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 8848　2013年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  273. A Precision Grazing-incidence Angle Error Measurement of a Hard X-ray Condenser Mirror Using Single-grating Interferometry

    R. Fukui, J. Kim, S. Matsuyama, H. Yumoto, Y. Inubushi, K. Tono, T. Koyama, T. Kimura, H. Mimura, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Synchrotron Radiation News　Vol. 26　No. 5　p. 13-16　2013年9月　研究論文（学術雑誌）

  274. Damage threshold investigation using grazing incidence irradiation by hard x-ray free electron laser

    T. Koyama, H. Yumoto, K. Tono, T. Sato, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Katayama, J. Kim, S. Matsuyama, H. Mimura, M. Yabashi, K. Yamauchi, H. Ohashi

    Proc. SPIE　Vol. 8848　2013年9月　研究論文（学術雑誌）

  275. Development of achromatic full-field x-ray microscopy with compact imaging mirror system

    S. Matsuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proc. SPIE　Vol. 8851　2013年9月　研究論文（学術雑誌）

  276. Damage characteristics of platinum/carbon multilayers under x-ray free-electron laser irradiation

    J. Kim, T. Koyama, H. Yumoto, A. Nagahira, S. Matsuyama, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proc. SPIE　Vol. 8848　2013年9月　研究論文（学術雑誌）

  277. Planarization of GaN Wafer Using Novel Polishing Technique Utilizing Catalyst Surface Reaction

    Y. Sano, K. Arima, K. Yamauchi

    ECS Journal of Solid State Science and Technology　Vol. 2　No. 8　p. N3028-N3035　2013年9月　研究論文（学術雑誌）

  278. Development of ultra-precise piezoelectric deformable mirrors for x-ray nanofocusing

    H. Nakamori, S. Matsuyama, S. Imai, T. Goto, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics, Technical Program　Vol. 8503　2013年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  279. Development of full-field hard x-ray microscopy with four aspherical mirrors

    S. Matsuyama, Y. Emi, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics, Technical Program　2013年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  280. Investigation of ablation thresholds of optical materials using 1-µm-focusing beam at hard X-ray free electron laser

    Takahisa Koyama, Hirokatsu Yumoto, Yasunori Senba, Kensuke Tono, Takahiro Sato, Tadashi Togashi, Yuichi Inubushi, Tetsuo Katayama, Jangwoo Kim, Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi, Haruhiko Ohashi, Tetsuya Ishikawa

    Optics Express　Vol. 21　No. 13　p. 15382-15388　2013年6月　研究論文（学術雑誌）

  281. First-principles theoretical study of hydrolysis of stepped and kinked Ga-terminated GaN surfaces

    M. Oue, K. Inagaki, K. Yamauchi, Y. Morikawa

    Nanoscale Research Letters　Vol. 8　2013年5月　研究論文（学術雑誌）

  282. Nanofocusing and single shot wavefront diagnosis of SACLA

    K. Yamauchi, M. Yabashi, H. Mimura, H. Yumoto, T. Koyama, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Sato, T. Katayama, S. Matsuyama, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, W. Yashiro, T. Ohmori, S. Goto, H. Ohashi, A. Momose, T. Ishikawa

    SPIE Optics+Optelectronics, Technical Abstracts　2013年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  283. Absolute calibration of optical flats using the three-flat test by considering the relative humidity change

    Hirokatsu Yumoto, Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Haruhiko Ohashi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A　Vol. 710　p. 2-6　2013年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  284. X-ray nanofocusing using a piezoelectric deformable mirror and at-wavelength metrology methods

    H. Nakamori, S. Matsuyama, S. Imai, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, T. Kenji, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A　Vol. 710　p. 93-97　2013年4月　研究論文（学術雑誌）

  285. Coherent x-ray zoom condenser lens for diffractive and scanning microscopy

    T. Kimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Nishino

    Optics Express　Vol. 21　No. 8　p. 9267-9276　2013年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  286. Bragg x-ray ptychography of a silicon crystal: Visualization of the dislocation strain field and the production of a vortex beam

    Yukio Takahashi, Akihiro Suzuki, Shin Furutaku, Kazuto Yamauchi, Yoshiki Kohmura, Tetsuya Ishikawa

    Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics　Vol. 87　No. 12　2013年3月7日　研究論文（学術雑誌）

  287. Ion Beam Figuring を用いた高精度Ｘ線ミラーの作製 第 5 報 －X線集光ミラーの作製 －

    松山智至, 北村真一, 佐野泰久, 山内和人

    2013年度精密工学会春季大会プログラム＆アブストラクト集　2013年3月

  288. 大変形可能な硬X線集光用形状可変ミラーの開発 －シミュレーションによる設計指針の検討－

    後藤 拓実, 中森 紘基, 松山 智至, 今井 将太, 木村 隆志, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 石川 哲也, 山内 和人

    2013年度精密工学会春季大会プログラム＆アブストラクト集　2013年3月

  289. Bias-Assisted Photochemical Planarization of GaN(0001) Substrate with Damage Layer

    S. Sadakuni, J. Murata, Y. Sano, K. Yagi, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 52　No. 3　p. 036504-1-4　2013年3月　研究論文（学術雑誌）

  290. Bragg x-ray ptychography of a silicon crystal: Visualization of the dislocation strain field and the production of a vortex beam

    Y. Takahashi, A. Suzuki, S. Furutaku, K. Yamauchi, Y. Kohmura, T. Ishikawa

    Physical Review B　Vol. 87　No. 12　p. 121201-121201　2013年3月　研究論文（学術雑誌）

  291. A Bragg beam splitter for hard x-ray free-electron lasers

    T. Osaka, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, S. Matsuyama, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Optics Express　Vol. 21　No. 3　p. 2823-2831　2013年2月　研究論文（学術雑誌）

  292. 大気圧プラズマによるチャネルカット単結晶シリコンの内壁エッチングの検討

    大坂 泰斗, 平野 嵩, 矢橋 牧名, 佐野 泰久, 登野 健介, 犬伏 雄一, 佐藤 尭洋, 小川 奏, 松山 智至, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 653-654　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  293. 硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの開発:高精度形状修正加工法と高精度スティッチング表面形状計測法を利用したミラー作製

    湯本 博勝, 小山 貴久, 松山 智至, 山内 和人, 大橋 治彦

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 661-662　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  294. 形状可変ミラーを用いた光学パラメータ可変な硬X線集光光学系の開発:ペンシルビーム法による形状可変ミラーのin-situ形状修正

    後藤 拓実, 中森 紘基, 松山 智至, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 651-652　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  295. X線望遠鏡用WolterミラーのためのX線スローププロファイラの開発:幾何光学と波動光学シミュレーションによる検討

    木目 歩美, 松山 智至, 福井 亮介, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 663-664　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  296. X線回折格子を用いたX線自由電子レーザーナノビームのシングルショット波面計測

    福井 亮介, 松山 智至, 金 章雨, 湯本 博勝, 三村 秀和, 小山 貴久, 百生 敦, 大橋 治彦, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 659-660　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  297. 硬X線用多層膜集光ミラーの反射率向上に関する研究

    長平良 綾香, 金 章雨, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 655-656　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  298. 硬Ｘ線集光用形状可変ミラーの開発:変形最適化手法の検討

    中森 紘基, 後藤 拓実, 松山 智至, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 649-650　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  299. X線自由電子レーザーを用いた硬X線集光用Pt/C多層膜の特性評価

    金 章雨, 長平良 綾香, 小山 貴久, 湯本 博勝, 松山 智至, 佐野 泰久, 矢橋 牧名, 大橋 治彦, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 657-658　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  300. 触媒表面基準エッチング法による機能性材料の平坦化加工

    山口 航, 定國 峻, 礒橋 藍, 浅野 博弥, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 679-680　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  301. Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた結像型硬X線顕微鏡の開発

    恵美 陽治, 松山 智至, 木野 英俊, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 647-648　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  302. 純水を用いた化学エッチングによる4H-SiC基板の平坦化加工

    礒橋 藍, 佐野 泰久, 定國 峻, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 941-942　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  303. 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第4報）:加工変質層の断面TEMによる評価とそのPCVM加工特性

    塩澤 昂祐, 佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 曾田 英雄, 大西 修, 畝田 道雄, 岡田 悠, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 937-938　2013年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  304. コヒーレントＸ線による走査透過Ｘ線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用

    山内 和人

    2013年1月

  305. 1枚の基板上に作製された1次元Wolterミラーの開発

    松山智至, 岡田浩巳, 恵美陽治, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 津村尚史, 石川哲也, 山内和人

    2013年1月

  306. X線自由電子レーザー集光用Pt/C多層膜の性能評価

    金章雨, 福井亮介, 松山智至, 小山貴久, 湯本博勝, 佐野泰久, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 26th　2013年1月

  307. X線回折格子を用いたXFELナノビームのワンショット波面計測

    福井亮介, 松山智至, 金章雨, 湯本博勝, 三村秀和, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 片山哲夫, 富樫格, 矢代航, 佐野泰久, 大橋治彦, 百生敦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 26th　2013年1月

  308. Nonlinear Optical Phenomena in Ultra-Intense X-ray Interaction with Matter

    Hitoki Yoneda, Yuichi Inubushi, Makina Yabashi, Tetsuo Katayama, Tetsuya Ishikawa, Haruhiko Ohashi, Hirokatsu Yumoto, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Hikaru Kitamura

    2013 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS PACIFIC RIM (CLEO-PR)　2013年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  309. Micro-focusing of hard x-ray free electron laser radiation using Kirkpatrick-Baez mirror system

    H. Yumoto, H. Mimura, S. Matsuyama, T. Koyama, Y. Hachisu, T. Kimura, H. Yokoyama, J. Kim, Y. Sano, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Sato, T. Tanaka, M. Yabashi, H. Ohashi, H. Ohmori, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI 2012)　Vol. 425　2013年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  310. High-resolution and high-sensitivity phase-contrast imaging by focused hard x-ray ptychography with a spatial filter

    Y. Takahashi, A. Suzuki, S. Furutaku, K. Yamauchi, Y. Kohmura, T. Ishikawa

    Applied Physics Letters　Vol. 102　No. 9　p. 094102-094102　2013年1月　研究論文（学術雑誌）

  311. First-principles Analysis of the Initial Stage of the Chemical Etching Process of GaN

    Mari Oue, Kouji Inagaki, Kazuto Yamauchi, Yoshitada Morikawa

    2012年12月

  312. Adsorption of hydrogen fluoride on SiC surfaces: A density functional theory study

    Pho Van Bui, K. Inagaki, Y. Sano, K. Yamauchi, Y. Morikawa

    Current Appl. Phys.　Vol. 12　p. S42-S46　2012年12月　研究論文（学術雑誌）

  313. Epitaxial Graphene Growth on Atomically Flattened SiC Assisted by Plasma Oxidation at 1000°C

    Naoki Saito, Hiroaki Nishikawa, Yasuhisa Sano, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita, Kenta Arima

    Program and Abstracts of 8th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium　2012年12月

  314. Focusing of X-ray free-electron laser pulses with reflective optics

    Hirokatsu Yumoto, Hidekazu Mimura, Takahisa Koyama, Satoshi Matsuyama, Kensuke Tono, Tadashi Togashi, Yuichi Inubushi, Takahiro Sato, Takashi Tanaka, Takashi Kimura, Hikaru Yokoyama, Jangwoo Kim, Yasuhisa Sano, Yousuke Hachisu, Makina Yabashi, Haruhiko Ohashi, Hitoshi Ohmori, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Nature Photonics　Vol. 7　No. 1　p. 43-47　2012年12月　研究論文（学術雑誌）

  315. First-Principles Study of Reaction Process of SiC and HF Molecules in Catalyst-Referred Etching

    Pho Van Bui, Kouji Inagaki, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Yoshitada Morikawa

    Key Engineering Materials　Vol. 523-524　p. 173-177　2012年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  316. Improvement of interface roughness in platinum/carbon multilayers for X-ray mirrors

    J. Kim, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi

    Key Engineering Materials　Vol. 523-524　p. 1076-1079　2012年11月　研究論文（学術雑誌）

  317. Development of an ultraprecise piezoelectric deformable mirror for adaptive X-ray optics

    H. Nakamori, S. Matsuyama, S. Imai, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    14th International Conference on Precision Engineering　Vol. 523-524　p. 50-53　2012年11月　研究論文（学術雑誌）

  318. Development of ultraprecise piezoelectric deformable mirror for adaptive X-ray focusing

    Hiroki Nakamori, Satoshi Matsuyama, Shota Imai, Takashi Kimura, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  319. First-Principles Analysis of CARE Process of GaN -Initial Stage of Etching Process-

    M. Oue, K. Inagaki, K. Yamauchi, Y. Morikawa

    2012年10月

  320. First-Principles Simulations of Catalyst Assisted Wet-etching Processes at Semiconductor Surfaces

    K. Inagaki, M. Oue, B.V. Pho, D. Hirose, K. Yamauchi, Y. Morikawa

    2012年10月

  321. Fabrication of ultraprecise X-ray mirrors by ion beam figuring system: Fabrication and evaluation of aspheric shape on silicon surface

    Shinichi Kitamura, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  322. Development of a High-resolution Full-field Hard X-ray Imaging Microscope Based On Four Aspherical Mirrors

    Yoji Emi, Satoshi Matsuyama, Yoshiki Kohmura, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  323. Development of one-dimensional Wolter mirror figured on a single substrate for full-field X-ray microscopy

    Satoshi Matsuyama, Yoji Emi, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  324. Study of Pt/C multilayers for X-ray mirrors improvement of reflectivity

    J. Kim, A. Nagahira, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of 5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  325. Wavefront measurement for a hard-X-ray nanobeam using single-grating interferometry based on a phase grating and Fourier transform method

    Ryosuke Fukui, Hikaru Yokoyama, Satoshi Matsuyama, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Wataru Yashiro, Atsushi Momose, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  326. Analysis of Enhanced Oxygen Reduction Reaction on Ge(100) Surface in Water Toward Metal-free Machining Process

    Atsushi Mura, Yoshie Kawai, Tatsuya Kawase, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Junichi Uchikoshi, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita, Kenta Arima

    Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月

  327. Low Temparature Growth of Graphene on Atomically Flat SiC Assited by Plasma Oxidation

    Kenta Arima, Naoki Saito, Hiroaki Nishikawa, Yasuhisa Sano, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita

    Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月

  328. First-Principles Study of Platinum Catalyst-Assisted Hydrogen Fluoride Adsorption on SiC Surfaces

    B.V. Pho, K. Inagaki, Y. Sano, K. Yamauchi, Y. Morikawa

    2012年10月

  329. Wavefront measurement for a hard-X-ray nanobeam using single-grating interferometry

    Satoshi Matsuyama, Hikaru Yokoyama, Ryosuke Fukui, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Wataru Yashiro, Atsushi Momose, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Optics Express　Vol. 20　No. 22　p. 24977-24986　2012年10月　研究論文（学術雑誌）

  330. Development of an adaptive hard X-ray focusing system with deformable mirrors

    Shota Imai, Hiroki Nakamori, Satoshi Matsuyama, Takashi Kimura, Yoshiki Kohmura, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2012年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  331. Advanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を用いた高分解能硬X線顕微鏡の開発

    松山 智至, 恵美 陽治, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 399-400　2012年9月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  332. 第一原理計算によるGaN表面エッチング現象初期過程の解明

    大上まり, 稲垣耕司, 山内和人, 森川良忠

    2012年9月

  333. 形状可変ミラーを用いた硬X線アダプティブ集光光学系の開発

    今井 将太, 中森 紘基, 松山 智至, 木村 隆志, 香村 芳樹, 石川 哲也, 山内 和人

    2012年9月

  334. Ion Beam Figuring を用いた高精度Ｘ線ミラーの作製 第 4 報 ―シリコン表面に対する非球面形状の作製と評価―

    北村真一, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 411-412　2012年9月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  335. 硬Ｘ線集光用形状可変ミラーの開発－形状可変ミラー変形性能の評価－

    中森紘基, 松山智至, 今井将太, 木村隆志, 佐野泰久, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 401-402　2012年9月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  336. A Study of Terminated Species on 4H-SiC (0001) Surfaces Planarized using Hydrofluoric Acid

    P. V. Bui, S. Sadakuni, T. Okamoto, K. Arima, Y. Sano, K. Yamauchi

    2012年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  337. Low temperature growth of graphene on 4H-SiC(0001) flattened by catalyst-assisted etching in HF solution

    K. Arima, K. Nishitani, N. Saito, K. Kawai, J. Uchikoshi, K. Yamauchi, Y. Sano, M. Morita

    Abstract book of 24th General Conference of the Condensed Matter Division of the European Physical Society held jointly with 29th European Conference on Surface Science　2012年9月

    出版者・発行元：Institute of Physics

  338. Basic experiment on atmospheric-pressure plasma etching with slit aperture for high-efficiency dicing of SiC wafer

    Yasuhisa Sano, Hiroaki Nishikawa, Kohei Aida, Chaiyapat Tangpatjaroen, Kazuya Yamamura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 740-742　p. 813-816　2012年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  339. Development of Achromatic Full-Field Hard X-ray Microscopy Using Four Total-Reflection Mirrors

    Satoshi Matsuyama, Youji Emi, Naotaka Kidani, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Conference information and abstracts　Vol. 463　2012年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  340. Atomically Controlled SiC, GaN and ZnO Surfaces by Catalyst Referredetching

    K. Yamauchi

    2012年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  341. Improved reflectivity of platinum/carbon multilayers for X-ray mirrors by carbon doping into platinum layer

    J. Kim, H. Yokoyama, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi

    Current Applied Physics　Vol. 12　p. S20-S23　2012年7月　研究論文（学術雑誌）

  342. Fabrication of a Bragg beam splitter for hard X-ray free-electron laser

    OSAKA Taito, YABASHI Makina, SANO Yasuhisa, TONO Kensuke, INUBUSHI Yuichi, SATO Takahiro, MATSUYAMA Satoshi, ISHIKAWA Tetsuya, YAMAUCHI Kazuto

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 425　No. 5　2012年7月　研究論文（学術雑誌）

  343. Back-side thinning of silicon carbide wafer by plasma etching using atmospheric-pressure plasma

    Y. Sano, K. Aida, H. Nishikawa, K. Yamamura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Key Engineering Materials　Vol. 516　p. 108-+　2012年7月　研究論文（学術雑誌）

  344. Structural and chemical characteristics of atomically smooth GaN surfaces prepared by abrasive-free polishing with Pt catalyst

    Junji Murata, Shun Sadakuni, Takeshi Okamoto, Azusa N. Hattori, Keita Yagi, Yasuhisa Sano, Kenta Arima, Kazuto Yamauchi

    Journal of Crystal Growth　Vol. 349　No. 1　p. 83-88　2012年6月15日　研究論文（学術雑誌）

  345. Progress of Mirror-based Focusing Optics for X-ray Free Electron Laser

    K. Yamauchi

    2012年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  346. Nanofocusing and wavefront analysis of SACLA

    K. Yamauchi

    2012年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  347. Surface processing of Crystal

    K. Yamauchi

    2012年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  348. Experimental and simulation study of undesirable short-period deformation in piezoelectric deformable x-ray mirrors

    Hiroki Nakamori, Satoshi Matsuyama, Shota Imai, Takashi Kimura, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 83　No. 5　2012年5月　研究論文（学術雑誌）

  349. Hard-X-ray imaging optics based on four aspherical mirrors with 50 nm resolution

    Satoshi Matsuyama, Naotaka Kidani, Hidekazu Mimura, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Optics Express　Vol. 20　No. 9　2012年4月　研究論文（学術雑誌）

  350. Improvement of Removal Rate in Abrasive-Free Planarization of 4H-SiC Substrates Using Catalytic Platinum and Hydrofluoric Acid

    Takeshi Okamoto, Yasuhisa Sano, Kazuma Tachibana, Bui Van Pho, Kenta Arima, Kouji Inagaki, Keita Yagi, Junji Murata, Shun Sadakuni, Hiroya Asano, Ai Isohashi, Kazuto Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 51　No. 4　2012年4月　研究論文（学術雑誌）

  351. Atomically Smooth Gallium Nitride Surfaces Prepared by Chemical Etching with Platinum Catalyst in Water

    Junji Murata, Takeshi Okamoto, Shun Sadakuni, Azusa N. Hattori, Keita Yagi, Yasuhisa Sano, Kenta Arima, Kazuto Yamauchi

    Journal of Electrochemical Society　Vol. 159　No. 4　p. H417-H420　2012年4月　研究論文（学術雑誌）

  352. Pt触媒を用いた水分子によるGaN表面エッチング現象初期過程の第一原理計算による解明

    大上まり, 稲垣耕司, 山内和人, 森川良忠

    2012年3月

  353. Current status of mirror-based optics for coherent x-ray science

    K. Yamauchi

    2012年3月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  354. Atomically controlled chemical polishing of GaN using platinum and hydrofluoric acid

    S. Sadakuni, J. Murata, Y. Sano, K. Yagi, T. Okamoto, K. Tachibana, H. Asano, K. Yamauchi

    Physica Status Solidi C　Vol. 9　No. 3-4　p. 433-435　2012年3月　研究論文（学術雑誌）

  355. PtC/C多層膜を用いた硬X線集光用ミラーの反射率改善

    金章雨, 横山光, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    2012年度精密工学会春季大会 プログラム＆アブストラクト集　2012年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  356. 硬X線集光用形状可変ミラーの開発 －SPring-8での集光特性－

    松山智至, 中森紘基, 今井将太, 横山光, 木村隆志, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

    2012年度精密工学会春季大会 プログラム＆アブストラクト集　2012年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  357. Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製 第3報 －シリコン表面に対する楕円形状の作製と評価－

    北村真一, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    2012年度精密工学会春季大会 プログラム＆アブストラクト集　2012年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  358. 10KeV mirror project

    K. Yamauchi

    2012年2月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  359. Efficiency-enhanced elastic emission machining on the basis of processing mechanism

    Masahiko Kanaoka, Kazushi Nomura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

    Proceedings of the 12th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2012　Vol. 2　p. 193-196　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：euspen

  360. 表面清浄化処理によるGaN(0001)からの発光強度の増大

    服部 梓, 遠藤 勝義, 服部 賢, 森脇 祐太, 山本 愛士, 有馬 健太, 佐野 泰久, 山内 和人, 大門 寛

    表面科学学術講演会要旨集　Vol. 32　p. 72-72　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 日本表面科学会

  361. 大気圧プラズマエッチングを用いたブラッグビームスプリッタの作製

    大坂 泰斗, 矢橋 牧名, 佐野 泰久, 登野 健介, 犬伏 雄一, 佐藤 堯洋, 松山 智至, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 415-416　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  362. ステップフロー型研磨法によるGaN基板の平坦化加工と除去速度増加の検討

    浅野 博弥, 定國 峻, 佐野 泰久, 八木 圭太, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 427-428　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  363. 純水を用いた触媒表面基準エッチング法における加工原理の検討

    礒橋 藍, 佐野 泰久, 大上 まり, 八木 圭太, 定國 峻, 森川 良忠, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 429-430　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  364. プラズマ発生領域制限マスクを用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining) によるSiC基板の切断加工の検討

    西川 央明, 佐野 泰久, 会田 浩平, 岡田 悠, 山村 和也, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 425-426　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  365. 三面合わせ法を用いた平面基板の絶対形状校正

    湯本 博勝, 松山 智至, 三村 秀和, 山内 和人, 大橋 治彦

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 405-406　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  366. 加工メカニズムに基づくelastic emission machiningの加工能率向上化

    金岡 政彦, 野村 和司, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　p. 419-420　2012年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  367. ウェットエッチングによるSiC、GaN表面の原子スケール平滑化

    山内 和人

    2012年1月

  368. Development of Focusing System for X-ray Free Electron Laser

    Hidekazu Mimura, Hitoshi Ohmori, Kazuto Yamauchi

    PROCEEDINGS OF PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY (ASPEN2011)　Vol. 516　p. 251-+　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  369. First-principles Analysis of Dissociative Absorption of HF Molecule at SiC Surface Step Edge

    Kouji Inagaki, Bui Van Pho, Kazuto Yamauchi, Yoshitada Morikawa

    SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2011, PTS 1 AND 2　Vol. 717-720　p. 581-584　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  370. Rapid planarization method by ultraviolet light irradiation for gallium nitride using platinum catalyst

    Hiroya Asano, Shun Sadakuni, K. Yagi, Y. Sano, S. Matsuyama, T. Okamoto, K. Tachibana, K. Yamauchi

    EMERGING TECHNOLOGY IN PRECISION ENGINEERING XIV　Vol. 523-524　p. 46-+　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  371. Fabrication of ultrathin Bragg beam splitter by plasma chemical vaporization machining

    T. Osaka, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, S. Matsuyama, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    EMERGING TECHNOLOGY IN PRECISION ENGINEERING XIV　Vol. 523-524　p. 40-+　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  372. Improving the Accuracy of Numerically Controlled Sacrificial Plasma Oxidation Using Array of Electrodes to Improve the Thickness Uniformity of SOI

    H. Takei, K. Yoshinaga, Y. Sano, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  373. 開口シフトを用いた位相回復計算による硬X線集光光学素子の波面収差算出法の開発

    横山光, 三村秀和, 木村隆志, 今井将太, 松山智至, 佐野泰久, 香村秀樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第25回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2012年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  374. 回折限界下で集光径可変なミラー集光光学系の開発

    松山智至, 木村隆志, 中森紘基, 今井将太, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 西野吉則, 山内和人

    第25回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2012年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  375. PtC/C多層膜を用いたX線集光用ミラーの反射率改善

    金章雨, 横山光, 松山智至, 佐野泰久, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第25回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2012年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  376. Back-side Thinning of Silicon Carbide Wafer by Plasma Etching using Atmospheric-pressure Plasma

    Yasuhisa Sano, Kohei Aida, Hiroaki Nishikawa, Kazuya Yamamura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    PROCEEDINGS OF PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY (ASPEN2011)　Vol. 516　p. 108-+　2012年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  377. グリーンデバイスの将来展望―超精密加工技術の開発の立場から―

    山内 和人

    2011年12月

  378. Surface Observation of 4H-SiC (0001) Planarized by Catalyst-Referred Etching

    Shun Sadakuni, Bui Van Pho, Ngo Xuan Dai, Yasuhisa Sano, Keita Yagi, Junji Murata, Takeshi Okamoto, Kazuma Tachibana, Kazuto Yamauchi

    Vol. 516　p. 452-+　2011年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  379. KBミラー光学系を用いた硬X線二次元Sub-10nm集光システムの開発

    横山光, 三村秀和, 木村隆志, 今井将太, 松山智至, 佐野泰久, 香村秀樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    プログラム予稿集 第11回X線結像光学シンポジウム　2011年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  380. 4枚の高精度形状可変ミラーを用いたアダプティブ集光光学系の開発

    松山智至, 木村隆志, 中森紘基, 今井将太, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 西野吉則, 山内和人

    プログラム予稿集 第11回X線結像光学シンポジウム　Vol. 2012　p. 403-404　2011年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  381. Determination of Had X-ray Focusing Mirror Aberration using Phase Retrieval with Transverse Translation Diversity

    H. Yokoyama, T. Kimura, H. Mimura, S. Imai, S. Matsuyama, Y. Kohmura, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of 4th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2011年11月

  382. Development of Hard X-ray Imaging Optics for Achromatic Full-Field X-ray Microscopy

    Satoshi Matsuyama, Naotaka Kidani, Yoji Emi, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 4th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2011年11月

  383. Development of an ultra-precise deformable mirror for hard X-ray nanofocusing

    Hiroki Nakamori, Satoshi Matsuyama, Takashi Kimura, Shouta Imai, Yoshiki Kohmura, Tetsuya Ishikawa, Yoshinori Nishino, Kazuto Yamauchi

    Program of 7th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium　2011年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  384. Development of an Adaptive X-Ray Focusing Mirror with Large NA -Evaluation of Reproducibility of Deformable Mirror-

    H. Nakamori, S. Matsuyama, S. Imai, H. Yokoyama, T. Kimura, H. Mimura, Y. Sano, Y. Kohmura, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of 4th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2011年11月

  385. Reflectivity improvement using PtC/C multilayers for X-ray mirrors

    Jangwoo Kim, Hikaru Yokoyama, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Extended Abstracts of 4th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2011年11月

  386. Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon Carbide Wafer Using Flat-bar Electrode with Multiple Gas Nozzles

    Y. Sano, K. Aida, H. Nishikawa, K. Yamamura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Proceeding of the 8th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining, 31.　Vol. 497　p. 160-+　2011年11月　研究論文（学術雑誌）

  387. Back-side thinning of silicon carbide wafer by plasma etching using atmospheric-pressure plasma

    Y. Sano, K. Aida, H. Nishikawa, K. Yamamura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Abstracts of 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, 72　Vol. 516　p. 108-+　2011年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  388. Cutting of SiC substrates by atmospheric-pressure plasma etching with slit mask for plasma confinement

    H. Nishikawa, Y. Sano, K. Aida, T. Chaiyapat, K. Yamamura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Abstracts of The 33rd International Symposium on Dry Process, 35-36.　2011年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  389. X-ray nanofocusing by mirror optical systems

    K. Yamauchi

    2011年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  390. Single-nanometer focusing of hard x-rays by Kirkpatrick-Baez mirrors

    Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Takashi Kimura, Hirokatsu Yumoto, Soichiro Handa, Satoshi Matsuyama, Kenta Arima, Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Koji Inagaki, Hiroki Nakamori, Jangwoo Kim, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa

    JOURNAL OF PHYSICS: CONDENSED MATTER　Vol. 23　No. 39　p. 394206 1-394206 2　2011年10月　研究論文（学術雑誌）

  391. Single-nanometer focusing of hard x-rays by Kirkpatrick-Baez mirrors

    Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Takashi Kimura, Hirokatsu Yumoto, Soichiro Handa, Satoshi Matsuyama, Kenta Arima, Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Koji Inagaki, Hiroki Nakamori, Jangwoo Kim, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa

    JOURNAL OF PHYSICS-CONDENSED MATTER　Vol. 23　No. 39　p. 394206 1-394206 2　2011年10月　研究論文（学術雑誌）

  392. Cutting of SiC substrates by atmospheric-pressure plasma etching with slit mask for plasma confinement

    H. Nishikawa, Y. Sano, K. Aida, T. Chaiyapat, K. Yamamura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology, 172-173.　2011年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  393. First-Principles Molecular-Dynamics Analysis of Reaction Process Between SiC Surface and HF Molecule

    Kouji Inagaki, Bui Van Pho, Kazuto Yamauchi, Yoshitada Morikawa

    2011年9月

  394. Mirror‐based optical systems for nanofocusing and nanoimaging of hard x‐rays

    K. Yamauchi

    2011年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  395. Mechanism of atomic-scale passivation and flattening of semiconductor surfaces by wet-chemical preparations

    Kenta Arima, Katsuyoshi Endo, Kazuto Yamauchi, Kikuji Hirose, Tomoya Ono, Yasuhisa Sano

    Journal of Physics: Condensed Matter　Vol. 23　No. 39　p. 394202 1-394202 14　2011年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：IOP Publishing

  396. Development of Coherent X-ray Diffraction Apparatus with Kirkpatrick-Baez Mirror Optics

    Y. Takahashi, R. Tsutsumi, H. Kubo, Y. Nishino, H. Mimura, S. Matsuyama, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    AIP Conference Proceedings (The 10th International Conference on x-ray microscopy)　Vol. 1365　p. 231-234　2011年9月　研究論文（学術雑誌）

  397. Multiscale element mapping of buried structures by ptychographic x-ray diffraction microscopy using anomalous scattering

    Y. Takahashi, A. Suzuki, N. Zettsu, Y. Kohmura, K. Yamauchi, T. Ishikawa

    Applied Physics Letters　Vol. 99　No. 13　2011年9月　研究論文（学術雑誌）

  398. 4枚の非球面ミラーを用いた硬X線結像光学系の開発

    松山智至, 木谷直隆, 恵美陽治, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

    2011年度精密工学会 秋季大会学術講演会 アブストラクト集　Vol. 2011　p. 469-470　2011年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  399. 硬X線集光用形状可変ミラーの開発 －変形再現性の評価―

    中森紘基, 松山智至, 今井将太, 横山光, 木村隆志, 三村秀和, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

    2011年度精密工学会 秋季大会学術講演会 アブストラクト集　2011年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  400. 硬X線集光用多層膜ミラーの開発

    金章雨, 横山光, 松山智至, 三村秀和, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

    2011年度精密工学会 秋季大会学術講演会 アブストラクト集　Vol. 2011　p. 473-474　2011年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  401. IBF(Ion Beam Figuring)を用いた高精度X線ミラーの作製 ―シリコン表面の加工特性とビームの安定性の評価―

    北村真一, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    2011年度精密工学会 秋季大会学術講演会 アブストラクト集　Vol. 2011　p. 475-476　2011年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  402. Trace element mapping of a single cell using a hard X-ray nanobeam focused by a Kirkpatrick-Baez mirror system

    Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    SPring-8 Research Frontiers 2010　2011年9月　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Wiley InterScience

  403. Numerically controlled sacrificial plasma oxidation using array-type electrode toward high-throughput deterministic machining

    Yasuhisa Sano, Keinosuke Yoshinaga, Shohei Kamisaka, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    International Journal of Nanomanufacturing　Vol. 7　No. 3-4　p. 289-297　2011年9月　研究論文（学術雑誌）

  404. HRTEM Observation of 4H-SiC (0001) Surface Planarized by Catalyst-Referred Etching

    Bui Van Pho, Shun Sadakuni, Takesi Okamoto, Kenta Arima, Yasuhira Sano, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 717-720　p. 873-+　2011年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  405. Cutting of SiC Wafer by Atmospheric-Pressure Plasma Etching With Wire Electrode

    Yasuhisa Sano, Kohei Aida, Takehiro Kato, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 717-720　p. 865-+　2011年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  406. 第一原理計算によるGaN表面エッチング現象の解明-表面終端構造とエッチング初期過程の解析

    大上まり, 稲垣耕司, 山内和人, 森川良忠

    2011年8月

  407. Development of a one-dimensional Wolter mirror for achromatic full-field X-ray microscopy

    S. Matsuyama, N. Kidani, H. Mimura, J. Kim, Y. Sano, K. Tamasaku, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proc. SPIE　Vol. 8139　2011年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  408. Influence of gallium additives on surface roughness for photoelectrochemical planarization of GaN

    S. Sadakuni, J. Murata, K. Yagi, Y. Sano, K. Arima, T. Okamoto, K. Tachibana, K. Yamauchi

    Physica Status Solidi C　Vol. 8　No. 7-8　p. 2223-2225　2011年7月　研究論文（学術雑誌）

  409. Deterministic fabrication process for precision X-ray mirrors

    K. Yamauchi

    2011年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  410. Current status of precision mirror development for coherent X-rays

    K. Yamauchi

    2011年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  411. Single-nanometer focusing of hard x-rays using novel adaptive optical system

    Kazuto Yamauchi

    2011年4月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  412. Ⅹ線ナノ集光技術の展望

    山内 和人

    2011年4月

  413. Electroforming for Replicating Nanometer-Level Smooth Surface

    Hidekazu Mimura, Hiroyuki Ishikura, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Journal of Nanoscience and Nanotechnology　Vol. 11　No. 4　p. 2886-2889　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  414. Efficient Wet Etching of GaN (0001) Substrate with Subsurface Damage Layer

    Shun Sadakuni, Junji Murata, Keita Yagi, Yasuhisa Sano, Takeshi Okamoto, Arima Kenta, Azusa N. Hattori, Kazuto Yamauchi

    Journal of Nanoscience and Nanotechnology　Vol. 11　No. 4　p. 2979-2982　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  415. Improved Optical and Electrical Characteristics of Free-Standing GaN Substrates by Chemical Polishing Utilizing Photo-Electrochemical Method

    Junji Murata, Yuki Shirasawa, Yasuhisa Sano, Shun Sadakuni, Keita Yagi, Takeshi Okamoto, Azusa N. Hattori, Kenta Arima, Kazuto Yamauchi

    Journal of Nanoscience and Nanotechnology　Vol. 11　No. 4　p. 2882-2885　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  416. Structure and Magnetic Properties of Mono- and Bi-Layer Graphene Films on Ultraprecision Figured 4H-SiC(0001) Surfaces

    Azusa N. Hattori, Takeshi Okamoto, Shun Sadakuni, Junji Murata, Hideo Oi, Kenta Arima, Yasuhisa Sano, Ken Hattori, Hiroshi Daimon, Katsuyoshi Endo, Kazuto Yamauchi

    JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY　Vol. 11　No. 4　p. 2897-2902　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  417. Simulation Study of Adaptive Mirror for Hard X-ray Focusing

    Hiroki Nakamori, Satoshi Matsuyama, Takashi Kimura, Shouta Imai, Hidekazu Mimura, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Programme of ACTOP11　2011年4月

  418. Dependence of Process Characteristics on Atomic-Step Density in Catalyst-Referred Etching of 4H-SiC(0001) Surface

    Takeshi Okamoto, Yasuhisa Sano, Kazuma Tachibana, Kenta Arima, Azusa N. Hattori, Keita Yagi, Junji Murata, Shun Sadakuni, Kazuto Yamauchi

    Journal of Nanoscience and Nanotechnology　Vol. 11　No. 4　p. 2928-2930　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  419. Evaluation of Schottky Barrier Diodes Fabricated Directly on Processed 4H-SiC(0001) Surfaces

    Yasuhisa Sano, Yuki Shirasawa, Takeshi Okamoto, Kazuto Yamauchi

    Journal of Nanoscience and Nanotechnology　Vol. 11　No. 4　p. 2809-2813　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  420. Thinning of 2-inch SiC wafer by plasma chemical vaporization machining using cylindrical rotary electrode

    Yasuhisa Sano, Takehiro Kato, Kohei Aida, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 679-680　p. 481-+　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  421. One-dimensional sub-10-nm hard X-ray focusing using laterally graded multilayer mirror

    Hidekazu Mimura, Takashi Kimura, Hirokatsu Yumoto, Hikaru Yokoyama, Hiroki Nakamori, Satoshi Matsuyama, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Reserch A　Vol. 635　p. S16-S18　2011年4月　研究論文（学術雑誌）

  422. Abrasive-Free Planarization of 3-Inch 4H-SiC Substrate Using Catalyst-Referred Etching

    T. Okamoto, Y. Sano, K. Tachibana, K. Arima, A. N. Hattori, K. Yagi, J. Murata, S. Sadakuni, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 679-680　p. 493-495　2011年3月　研究論文（学術雑誌）

  423. TEM Observation of 8 Deg Off-Axis 4H-SiC (0001) Surfaces Planarized by Catalyst-Referred Etching

    S. Sadakuni, N. X. Dai, Y. Sano, K. Arima, K. Yagi, J. Murata, T. Okamoto, K. Tachibana, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 679-680　p. 489-492　2011年3月　研究論文（学術雑誌）

  424. Element-specific High-resolution Diffraction Microscopy using Focused Hard X-ray Beam

    Y. Takahashi, Y. Nishino, R. Tsutsumi, H. Kubo, N. Zettsu, K. Yamauchi, T. Ishikawa, E. Matsubara

    Diamond Light Source Proceedings (SRMS-7 2011)　Vol. 1　No. e136　p. 1-3　2011年3月　研究論文（学術雑誌）

  425. Formation of wide and atomically flat graphene layers on ultraprecision-figured 4H-Si(0001) surfaces

    A. N. Hattori, T. Okamoto, S. Sadakuni, J. Murata, K. Arima, Y. Sano, K. Hattori, H. Daimon, K. Endo, K. Yamauchi

    Surface Science　Vol. 605　No. 5-6　p. 597-605　2011年3月　研究論文（学術雑誌）

  426. 高能率高精度Ｘ線ミラー加工のためのIBF(Ion Beam Figuring)システムの開発

    北村 真一, 松山 智至, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    2011年度精密工学会春季大会学術講演会 講演論文集　2011年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  427. 硬X 線集光用ナノ精度形状可変ミラーの開発（第２報）

    今井 将太, 木村 隆志, 三村 秀和, 横山 光, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    2011年度精密工学会春季大会学術講演会 講演論文集　2011年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  428. シミュレーションを用いた硬X線用形状可変ミラー設計に関する研究

    中森 紘基, 松山 智至, 今井 将太, 木村 隆志, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    2011年度精密工学会春季大会学術講演会 講演論文集　2011年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  429. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    松山 智至, 脇岡 敏之, 木谷 直隆, 横山 光, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    2011年度精密工学会春季大会学術講演会 講演論文集　2011年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  430. バイアス電圧印加を併用した光電気化学反応によるGaN基板の高能率平坦加工

    浅野 博弥, 定國 峻, 佐野 泰久, 八木 圭太, 村田 順二, 岡本 武志, 橘 一真, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　p. 181-182　2011年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  431. 多段階の化学的平坦化手法を用いたGaN単結晶基板の高能率・超平坦化加工

    定國 峻, 村田 順二, 佐野 泰久, 八木 圭太, 岡本 武志, 橘 一真, 浅野 博弥, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　p. 179-180　2011年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  432. 原子レベルで平坦化された4H-SiC(0001)表面上への高品質グラフェンの形成

    西谷 恵介, 坂根 宏樹, 山口 崇光, 岡本 武志, 川合 健太郎, 打越 純一, 山内 和人, 森田 瑞穂, 有馬 健太

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　p. 996-997　2011年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  433. 硬X線自由電子レーザー用オートコリレータの開発:硬X線ビームスプリッタの作製

    大坂 泰斗, 矢橋 牧名, 佐野 泰久, 登野 健介, 犬伏 雄一, 佐藤 堯洋, 松山 智至, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　p. 453-454　2011年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  434. 触媒基準エッチング法による4H-SiCの平坦化における加工速度の検討

    橘 一真, 佐野 泰久, 岡本 武志, 礒橋 藍, 有馬 健太, 稲垣 耕司, 八木 圭太, 定國 峻, 森川 良忠, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　p. 457-458　2011年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  435. Development of an Adaptive Optical System for Sub-10-nm Focusing of Synchrotron Radiation Hard X-rays

    H. Mimura, T. Kimura, H. Yokoyama, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Tamasaku, Y. Koumura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY　Vol. 1365　p. 13-17　2011年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  436. TEM observation of 8 deg off-axis 4H-SiC (0001) surfaces planarized by catalyst-referred etching

    Shun Sadakuni, Ngo Xuan Dai, Yasuhisa Sano, Kenta Arima, Keita Yagi, Junji Murata, Takeshi Okamoto, Kazuma Tachibana, Kazuto Yamauchi

    SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2010　Vol. 679-680　p. 489-+　2011年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  437. Towards High-Resolution Ptychographic X-ray Diffraction Microscopy

    Y. Takahashi, A. Suzuki, N. Zettsu, Y. Kohmura, Y. Senba, H. Ohashi, K. Yamauchi, T. Ishikawa

    Physical Review B　Vol. 83　No. 21　p. 214109-214109　2011年1月　研究論文（学術雑誌）

  438. 色収差のない結像型硬X線顕微鏡構築のためのAdvanced Kirkpatrick-Baez ミラー光学系の開発

    木谷直隆, 松山智至, 脇岡敏之, 中森紘基, 三村秀和, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2011年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  439. 波動光学シミュレーションを用いたAdvanced Kirkpatrick-Baez ミラー光学系の検討

    中森紘基, 松山智至, 脇岡敏之, 木谷直隆, 三村秀和, 佐野泰久, 西野吉則, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2011年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  440. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    脇岡敏之, 松山智至, 木谷直隆, 三村秀和, 佐野泰久, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2011年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  441. High-Resolution Projection Image Reconstruction of Thick Objects by Hard X-ray Diffraction Microscopy

    Y. Takahashi, Y. Nishino, R. Tsutsumi, N. Zettsu, E. Matsubara, K. Yamauchi, T. Ishikawa

    Physical Review B　Vol. 82　No. 21　p. 214102-214102　2010年12月　研究論文（学術雑誌）

  442. Wavefield characterization of nearly diffraction-limited focused hard x-ray beam with size less than 10 nm

    Takashi Kimura, Hidekazu Mimura, Soichiro Handa, Hirokatsu Yumoto, Hikaru Yokoyama, Shota Imai, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kenji Tamasaku, Yoshiki Komura, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Review of Science Instruments　Vol. 81　No. 12　2010年12月　研究論文（学術雑誌）

  443. One-dimensional Wolter optics with a sub-50-nm spatial resolution

    S. Matsuyama, T. Wakioka, N. Kidani, T. Kimura, H. Mimura, Y. Sano, Y. Nishino, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Optics Letters　Vol. 35　No. 21　p. 3583-3585　2010年11月　研究論文（学術雑誌）

  444. Development of Side-By-Side Kirkpatrick-Baez mirror for high-density X-ray nanobeam

    T. Wakioka, S. Matsuyama, N. Kidani, H. Mimura, Y. Sano, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2010年11月

  445. Development of Advanced Kirkpatrick-Baez mirror for achromatic hard X-ray microscopy

    N. Kidani, S. Matsuyama, T. Wakioka, S. Kitamura, H. Mimura, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2010年11月

  446. One-Dimensional Wolter Mirror for Achromatic Hard X-ray Microscopy

    S. Matsuyama, N. Kidani, T. Wakioka, H. Mimura, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2010年11月

  447. Development of Chemical Processing Methods for Silicon Carbide Wafering and Device Processing

    Y. Sano, K. Yamamura, K. Arima, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology, 6.2, 54-55.　2010年11月

  448. Optimized Logarithmic Roller Crowning Design of Cylindrical Roller Bearings and Its Experimental Demonstration

    H. Fujiwara, T. Kawase, T. Kobayashi, K. Yamauchi

    Tribology Transactions　Vol. 53　No. 6　p. 909-916　2010年10月　研究論文（学術雑誌）

  449. Numerically Controlled Sacrificial Plasma Oxidation Using Array-Type Electrode toward High-Throughput Deterministic Machining

    Yasuhisa Sano, Keinosuke Yoshinaga, Shohei Kamisaka, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of the 2nd International Conference on Nanomanufacturing　Vol. 7　No. 3-4　p. 289-297　2010年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  450. X線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発 —形状修正加工の高分解能化とX線集光ミラーへの適応—

    三村 秀和, 湯本 博勝, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 76　No. 3　p. 338-342　2010年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  451. 4枚の非球面ミラーを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発

    松山智至, 脇岡敏之, 木谷直隆, 三村秀和, 山内和人

    2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会 アブストラクト集　2010年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  452. Development of a one-dimensional Wolter mirror for an advanced Kirkpatrick-Baez mirror

    S. Matsuyama, T. Wakioka, H. Mimura, T. Kimura, N. Kidani, Y. Sano, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proc. SPIE　Vol. 7802　2010年9月　研究論文（学術雑誌）

  453. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    脇岡敏之, 松山智至, 木谷直隆, 三村秀和, 山内和人

    2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会 アブストラクト集　2010年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  454. Adaptive optical system for sub-10nm hard X-ray focus

    K. Yamauchi

    2010年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  455. Hard X-ray Imaging Optics with Elliptical mirrors and Hyperbolic Mirrors

    S. Matsuyama, T. Wakioka, H. Mimura, T. Kimura, N. Kidani, Y. Sano, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics, Technical Program　2010年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  456. Dicing of SiC wafer by atmospheric-pressure plasma etching process with wire electrode

    Yasuhisa Sano, Kohei Aida, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Vol. 717-720　p. 865-+　2010年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  457. Abrasive-free planarization of 3-inch 4H-SiC substrate by catalyst-referred etching

    T. Okamoto, Y. Sano, K. Tachibana, K. Arima, A. N. Hattori, K. Yagi, J. Murata, S. Sadakuni, K. Yamauchi

    Abstract Booklet of the 8th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials　Vol. 679-680　p. 493-+　2010年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  458. Thinning of 2-inch SiC wafer by plasma chemical vaporization machining

    Y. Sano, T. Kato, K. Yamamura, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Abstract Booklet of the 8th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials　2010年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  459. Improvement of Thickness Uniformity of Silicon on Insulator Layer by Numerically Controlled Sacrificial Oxidation Using Atmospheric-Pressure Plasma with Electrode Array System

    Shohei Kamisaka, Keinosuke Yoshinaga, Yasuhisa Sano, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 49　No. 8　2010年8月　研究論文（学術雑誌）

  460. Tolerance Design of Logarithmic Roller Profiles in Cylindrical Roller Bearings

    Hiroki FUJIWARA, Kazuto YAMAUCHI

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems and Manufacturing　Vol. 4　No. 4　p. 728-738　2010年7月　研究論文（学術雑誌）

  461. Development of Hard X-ray Imaging Optics with Two Pairs of Elliptical and Hyperbolic Mirrors

    S. Matsuyama, M. Fujii, T. Wakioka, H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, Y. Nishino, K. Tamasaku, Y. Makina, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    AIP Conf. Proc.　Vol. 1234　p. 267-+　2010年6月　研究論文（学術雑誌）

  462. 大気圧プラズマによるエッチングを応用した種々の加工法とその特性

    佐野泰久, 山村和也, 山内和人

    光技術コンタクト　p. 313-330　2010年6月　論文集(書籍)内論文

    出版者・発行元：

  463. First-Principles study of electron transfer from 4H-SiC(0001) to Pt

    Shintaro Iseki, Kouji Inagaki, Kazuto Yamauchi, Yoshitada Morikawa

    2010年5月

  464. Spherical concave mirror measurement by phase-shifting point diffraction interferometer with two optical fibers

    Toshiaki Matsuura, Kazuaki Udaka, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Kazuto Yamauchi, Toshihiko Kataoka

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A　Vol. 616　No. 2-3　p. 233-236　2010年5月　研究論文（学術雑誌）

  465. Two-dimensional measurement of focused x-ray beam profile using coherent x-ray diffraction of isolated nanoparticle

    Y. Takahashi, H. Kubo, R. Tsutsumi, S. Sakaki, N. Zettsu, Y. Nishino, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A　Vol. 616　No. 2-3　p. 266-269　2010年5月　研究論文（学術雑誌）

  466. One-dimensional surface profile retrieval from grazing incidence images under coherent X-ray illumination

    A. Suvorov, H. Ohashi, S. Goto, K. Yamauchi, T. Ishikawa

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A　Vol. 616　No. 2-3　p. 277-280　2010年5月　研究論文（学術雑誌）

  467. New X-ray microprobe system for trace heavy element analysis using ultraprecise X-ray mirror optics of long working distance

    Y. Terada, H. Yumoto, A. Takeuchi, Y. Suzuki, K. Yamauchi, T. Uruga

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A　Vol. 616　No. 2-3　p. 270-272　2010年5月　研究論文（学術雑誌）

  468. Stitching-angle measurable microscopic-interferometer: surface-figure metrology tool for hard X-ray nanofocusing mirrors with large curvature

    H. Yumoto, H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, S. Matsuyama, Y. Sano, H. Ohashi, K. Yamauchi, T. Ishikawa

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A　Vol. 616　No. 2-3　p. 203-206　2010年4月　研究論文（学術雑誌）

  469. A Stitching Figure Profiler of Large X-ray Mirrors Using RADSI for Subaperture Data Acquisition

    T. Kimura, H. Ohashi, H. Mimura, D. Yamakawa, H. Yumoto, S. Matsuyama, N. Tsumura, H. Okada, T. Masunaga, Y. Senba, S. Goto, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    clear Instruments and Methods in Physics Research A　Vol. 616　No. 2-3　p. 229-232　2010年4月　研究論文（学術雑誌）

  470. Ray-tracing analysis in aberration of a lateral-graded multilayer mirror

    H. Mimura, S. Handa, Ch. Morawe, H. Yokoyama, T. Kimura, S. Matsuyam, K. Yamauchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A　Vol. 616　No. 2-3　p. 251-254　2010年4月　研究論文（学術雑誌）

  471. Extended knife-edge method for characterizing Sub-10-nm X-ray beams

    Handa, H. Mimura, H. Yumoto, T. Kimura, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Reserch A　Vol. 616　No. 2-3　p. 246-250　2010年4月　研究論文（学術雑誌）

  472. Three-dimensional electron density mapping of shape-controlled nanoparticle by focused hard x-ray diffraction microscopy

    Y. Takahashi, N. Zettsu, Y. Nishino, R. Tsutsumi, E. Matsubara, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Nano Letters　Vol. 10　No. 5　p. 1922-1926　2010年4月　研究論文（学術雑誌）

  473. Elemental mapping of frozen hydrated cells with cryo-scanning X-ray fluorescence microscopy

    S. Matsuyama, M. Shimura, M. Fujii, K. Maeshima, H. Yumoto, H. Mimura, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, Y. Ishizaka, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    X-Ray Spectrometry　Vol. 39　No. 4　p. 260-266　2010年3月　研究論文（学術雑誌）

  474. An experimental procedure for precise evaluation of electron density distribution of a nanostructured material by coherent x-ray diffraction microscopy

    Y. Takahashi, H. Kubo, Y. Nishino, H. Furukawa, R. Tsutsumi, K. Yamauchi, T. Ishikawa, E. Matsubara

    Review of Scientific Instruments　Vol. 81　No. 3　p. 033707-033707　2010年3月　研究論文（学術雑誌）

  475. 4枚の非球面ミラーを用いた硬X線結像光学系の開発

    木谷直隆, 松山智至, 藤井正輝, 脇岡敏之, 三村秀和, 山内和人

    第57回応用物理学関係連合講演会 予稿集　2010年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  476. Influence of the UV Light Intensity on the Photoelectrochemical Planarization Technique for Gallium Nitride

    Shun Sadakuni, Junji Murata, Keita Yagi, Yasuhisa Sano, Kenta Arima, Azusa Hattori, Takeshi Okamoto, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 645-648　p. 795-+　2010年3月　研究論文（学術雑誌）

  477. Reduction of surface roughness of 4H-SiC by catalyst-referred etching

    T. Okamoto, Y. Sano, H. Hara, T. Hatayama, K. Arima, K. Yagi, J. Murata, S. Sadakuni, K. Tachibana, Y. Shirasawa, H. Mimura, T. Fuyuki, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 645-648　p. 775-+　2010年3月　研究論文（学術雑誌）

  478. Breaking the 10nm barrier in hard-X-ray focusing

    H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, H. Yumoto, D. Yamakawa, H. Yokoyama, S. Matsuyama, K. Inagaki, K. Yamamura, Y. Sano, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Nature Physics　Vol. 6　No. 2　p. 122-125　2010年2月　研究論文（学術雑誌）

  479. Smoothing effect for curved surfaces using elastic emission machining

    Masahiko Kanaoka, Kentaro Kurita, Hideo Takino, Kazushi Nomura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

    Proceedings of the 10th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2010　Vol. 2　p. 14-17　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：euspen

  480. X-ray photon correlation spectroscopy study in valence fluctuation compound Eu3S4

    H. Nakao, K. Ohwada, S. Shimomura, A. Ochiai, K. Namikawa, J. Mizuki, H. Mimura, K. Yamauchi, Y. Murakami

    AIP Conference Proceedings　Vol. 1234　p. 935-938　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  481. An Adaptive Optical System for Sub-10nm Hard X-ray Focusing

    H. Mimura, T. Kimura, H. Yokoyama, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Tamasaku, Y. Koumura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    ADAPTIVE X-RAY OPTICS　Vol. 7803　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  482. OPTIMIZED LOGARITHMIC ROLLER CROWNING DESIGN OF CYLINDRICAL ROLLER BEARINGS AND ITS EXPERIMENTAL DEMONSTRATION

    Hiroki Fujiwara, Tatsuo Kawase, Takuji Kobayashi, Kazuto Yamauchi

    PROCEEDINGS OF THE ASME/STLE INTERNATIONAL JOINT TRIBOLOGY CONFERENCE - 2009　p. 217-219　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  483. Numerically Controlled Sacrificial Plasma Oxidation Using Array of Electrodes for Improving Thickness Uniformity of SOI

    Y. Sano, S. Kamisaka, K. Yoshinaga, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    2010 IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  484. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    脇岡敏之, 松山智至, 藤井正輝, 木谷直隆, 三村秀和, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2010年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  485. Thinning of SiC wafer by plasma chemical vaporization machining

    Yasuhisa Sano, Takehiro Kato, Tsutomu Hori, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Yoshiaki Katsuyama, Kazuto Yamauchi

    SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2009, PTS 1 AND 2　Vol. 645-648　p. 857-+　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  486. Thinning of SiC wafer by plasma chemical vaporization machining

    Yasuhisa Sano, Takehiro Kato, Tsutomu Hori, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Yoshiaki Katsuyama, Kazuto Yamauchi

    Material Science Forum, 645-648 (2010) 857-860.　Vol. 645-648　p. 857-+　2010年1月　研究論文（学術雑誌）

  487. Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    藤井正輝, 松山智至, 三村秀和, 脇岡敏之, 半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2010年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  488. Planarization of GaN(0001) Surface by Photo-Electrochemical Method with Solid Acidic or Basic Catalyst

    J. Murata, S. Sadakuni, K. Yagi, Y. Sano, T. Okamoto, K. Arima, A. N. Hattori, H. Mimura, K. Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 48　No. 12　2009年12月　研究論文（学術雑誌）

  489. Development of Achromatic X-ray Imaging System with 4 Aspherical Mirrors

    S. Matsuyama, M. Fujii, T. Wakioka, H. Mimura, Y. Sano, Y. Nishino, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2009年11月

  490. Development of a Mirror Manipulator for Advanced Kirkpatrick-Baez Optics

    M. Fujii, S. Matsuyama, T. Wakioka, H. Mimura, Y. Sano, Y. Nishino, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2009年11月

  491. Dicing of SiC Wafer by Plasma Chemical Vaporization Machining with Wire Electrode

    K. Aida, Y. Sano, K. Yamamura, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology　2009年11月

  492. X-ray Intensity Fluctuation Spectroscopy Using Nanofocused Hard X-rays: Its Application to Study of Relaxor Ferroelectrics

    K. Ohwada, K. Namikawa, S. Shimomura, H. Nakao, H. Mimura, K. Yamauchi, M. Matsushita, J. Mizuki

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 49　No. 2　2009年10月　研究論文（学術雑誌）

  493. Planarization of GaN using photoelectrochemical process and solid catalyst

    S. Sadakuni, J. Murata, K. Yagi, Y. Sano, T. Okamoto, K. Arima, H. Mimura, K. Yamauchi

    Technical Digest of International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2009　2009年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  494. Reduction of surface roughness by catalyst-referred etching

    T. Okamoto, Y. Sano, H. Hara, T. Hatayama, K. Arima, K. Yagi, J. Murata, H. Mimura, T. Fuyuki, K. Yamauchi

    Technical Digest of International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2009　Vol. 645-648　p. 775-+　2009年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  495. Thinning of SiC wafer by plasma chemical vaporization machining

    Y. Sano, T. Kato, T. Hori, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Katsuyama, K. Yamauchi

    Technical Digest of International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2009　Vol. 645-648　p. 857-+　2009年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  496. Simulation study of four-mirror alignment of advanced Kirkpatrick－Baez optics

    S. Matsuyama, M. Fujii, K. Yamauchi

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment　Vol. 616　No. 2-3　p. 241-245　2009年10月　研究論文（学術雑誌）

  497. 4枚の非球面ミラーを用いた硬X線結像光学系の開発

    藤井正輝, 松山智至, 脇岡敏之, 三村秀和, 佐野泰久, 山内和人

    2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会予稿集　2009年9月

  498. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    脇岡敏之, 松山智至, 藤井正輝, 三村秀和, 佐野泰久, 山内和人

    精密工学会秋季大会 プログラム＆アブストラクト集　2009年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  499. Development of Hard X-ray Imaging Optics with Two Pairs of Elliptical and Hyperbolic Mirrors

    S. Matsuyama, M. Fujii, T. Wakioka, H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, Y. Nishino, K. Tamasaku, Y. Makina, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 10th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 2009 (SRI09)　Vol. 1234　p. 267-+　2009年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  500. Development of incident x-ray flux monitor for coherent x-ray diffraction microscopy

    Y. Takahashi, H. Kubo, H. Furukawa, K. Yamauchi, E. Matsubara, T. Ishikawa, Y. Nishino

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 186　No. 1　p. 12060-12060　2009年9月　研究論文（学術雑誌）

  501. Improvement of Thickness Uniformity of SOI Layer by Numerically Controlled Sacrificial Oxidation using Atmospheric-Pressure Plasma with Electrode Array System

    S. Kamisaka, Y. Sano, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Proceedings of 31st International Symposium on Dry Process　2009年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  502. Novel Scheme of Figure-Error Correction for X-ray Nanofocusing Mirror

    Soichiro Handa, Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Takashi Kimura, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics, 48 (2009) 096507-1_4.　Vol. 48　No. 9　2009年9月　研究論文（学術雑誌）

  503. High-resolution diffraction microscopy using the plane-wave field of a nearly diffraction limited focused x-ray beam

    Y Takahashi, Y Nishino, R Tsutsumi, H Kubo, H Furukawa, H Mimura, S Matsuyama, N Zettsu, E Matsubara, T Ishikawa, K Yamauchi

    PHYSICAL REVIEW B　Vol. 80　No. 5　p. 54103-54103　2009年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：American Physical Society

  504. High-Resolution Diffraction Microscopy Using the Plane-Wave Field of a Nearly Diffraction-Limited Focusing X ray

    Y. Takahashi, Y. Nishino, R. Tsutsumi, H. Kubo, H. Furukawa, H. Mimura, S. Matsuyama, N. Zettsu, E. Matsubara, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Physical Reivew B　Vol. 80　No. 5　2009年8月　研究論文（学術雑誌）

  505. Wavefront control system for phase compensation in hard X-ray optics

    Takashi Kimura, Soichiro Handa, Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Daisuke Yamakawa, Satoshi Matsuyama, Kouji Inagaki, Yasuhisa Sano, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 48　No. 7　2009年7月　研究論文（学術雑誌）

  506. Observation of electromigration voids in a Cu thin line by in situ coherent x-ray diffraction microscopy

    Y. Takahashi, Y. Nishino, H. Furukawa, H. Kubo, K. Yamauchi, T. Ishikawa, E. Matsubara

    Journal of Applied Physics　Vol. 105　No. 12　2009年6月　研究論文（学術雑誌）

  507. Feasibility study of high-resolution coherent diffraction microscopy using synchrotron x rays focused by Kirkpatrick–Baez mirrors

    Yukio Takahashi, Yoshinori Nishino, Hidekazu Mimura, Ryosuke Tsutsumi, Hideto Kubo, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Journal of Applied Physics　Vol. 105　No. 8　p. 083106-083106　2009年4月15日　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  508. Termination dependence of surface stacking at 4H-SiC(0001)-1×1: Density functional theory calculations

    Hideyuki Hara, Yoshitada Morikawa, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Physical Review B　Vol. 79　No. 15　2009年4月　研究論文（学術雑誌）

  509. Trace element mapping of a single cell using a hard x-ray nanobeam focused by a Kirkpatrick-Baez mirror system

    S. Matsuyama, M. Shimura, H. Mimura, M. Fujii, H. Yumoto, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    X-ray Spectrometry　Vol. 38　No. 2　p. 89-94　2009年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Wiley InterScience

  510. Development of Advanced Kirkpatrick -Baez System for X- ray Nano- Imaging

    M. Fujii, S. Matsuyama, T. Wakioka, H. Mimura, Y. Sano, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing　2009年2月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  511. A Study on a Surface Preparation Method for Single-Crystal SiC Using an Fe Catalyst

    AKIHIASA KUBOTA, KEITA YAGI, JUNJI MURATA, HEIJI YASUI, SHIRO MIYAMOTO, HIDEYUKI HARA, YASUHISA SANO, KAZUTO YAMAUCHI

    Journal of ELECTRONIC MATERIALS　Vol. 38　No. 1　p. 159-163　2009年2月　研究論文（学術雑誌）

  512. New chemical planarization of SiC and GaN using an Fe plate in H2O2 solution

    J. Murata, A. Kubota, K. Yagi, Y. Sano, H. Hara, K. Aeima, T. Okamoto, H. Mimura, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 600-603　p. 815-+　2009年2月　研究論文（学術雑誌）

  513. Temperature Dependence of Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon and Silicon Carbide

    Yasuhisa Sano, Masayo Watanabe, Takehiro Kato, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 600-603　p. 847-+　2009年2月　研究論文（学術雑誌）

  514. Damage-free Planarization of 2-inch 4H-SiC Wafer Using Pt Catalyst Plate and HF Solution

    Takeshi Okamoto, Yasuhisa Sano, Hideyuki Hara, Kenta Arima, Keita Yagi, Junji Murata, Hedekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 600-603　p. 835-+　2009年2月　研究論文（学術雑誌）

  515. Beveling of Silison Carbide Wafer by Plasma Chemical Vaporization Machining

    Takehiro Kato, Yasuhisa Sano, Hideyuki Hara, Hidekazu Mimura, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　2009年2月　研究論文（学術雑誌）

  516. Spatial wavelength range of surface roughness improved using elastic emission machining

    Masahiko Kanaoka, Hideo Takino, Kazushi Nomura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

    Proceedings of the 9th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2009　Vol. 2　p. 385-388　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：euspen

  517. Requirements on Hard X-ray Grazing Incidence Optics for European XFEL: Analysis and Simulation of Wavefront Transformations

    Liubov Samoylova, Harald Sinn, Frank Siewert, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Thomas Tschentscher

    EUV AND X-RAY OPTICS: SYNERGY BETWEEN LABORATORY AND SPACE　Vol. 7360　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  518. Stitching interferometric measurement system for hard X-ray nanofocusing mirrors

    Hirokatsu Yumoto, Hidekazu Mimura, Soichiro Handa, Takashi Kimura, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Makina Yabashi, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 186　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  519. Beveling of Silicon Carbide Wafer by Plasma Chemical Vaporization Machining

    Takehiro Kato, Yasuhisa Sano, Hideyuki Hara, Hidekazu Mimura, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi

    SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2007, PTS 1 AND 2　Vol. 600-603　p. 843-846　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  520. 円筒ころ軸受における対数クラウニングの公差設計

    藤原 宏樹, 山内 和人

    日本機械学会論文集 C編　Vol. 75　No. 749　p. 1-7　2009年1月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  521. Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining

    Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

    Crystal Growth Technology: From Fundamentals and Simulation to Large-scale Production　p. 475-495　2008年11月25日　論文集(書籍)内論文

    出版者・発行元：Wiley-VCH Verlag GmbH &amp; Co. KGaA

  522. Improvement of Thickness Uniformity of SOI by Numerically Controlled Sacrificial Oxidation Using Atmospheric-Pressure Plasma

    Y. Sano, T. Masuda, S. Kamisaka, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    2008 IEEE International SOI Conference Proceedings　p. 165-166　2008年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  523. Element-specific hard-x-ray diffraction microscopy

    Y. Takahashi, H. Kubo, H. Furukawa, K. Yamauchi, E. Matsubara, T. Ishikawa, Y. Nishino

    Physical Review B　Vol. 78　No. 9　2008年9月　研究論文（学術雑誌）

  524. Fabrication of a 400-mm-long mirror for focusing x-ray free-electron lasers to sub-100 nm

    H. Mimura, S. Morita, T. Kimura, D. Yamakawa, W. Lin, Y. Uehara, S. Matsuyama, H. Yumoto, H. Ohashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Ohmori, K. Yamauchi

    Proceeding of SPIE　Vol. 7077　2008年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  525. Focusing mirror for x-ray free-electron lasers

    Focusing mirror for, x-ray free-electron lasers

    Review of Scientific Instruments　Vol. 79　No. 8　2008年8月　研究論文（学術雑誌）

  526. Nanotstructure analysis of metallic materials by coherent x-ray diffraction microscopy

    Y. Takahashi, H. Furukawa, H. Kubo, K. Yamauchi, Y. Nishino, T. Ishikawa, E. Matsubara

    Book of abstracts of 57th Denver x-ray conference　Vol. 186　p. 1-3　2008年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  527. Catalyst-referred etching of 4H-SiC substrate utilizing hydroxyl radicals generated from hydrogen peroxide molecules

    Keita Yagi, Junji Murata, Akihisa Kubota, Yasuhisa Sano, Hideyuki Hara, Takeshi Okamoto, Kenta Arima, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Surface and Interface Analysis　Vol. 40　No. 6-7　p. 998-1001　2008年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  528. Crystal machining using atmospheric pressure plasma

    Y. Sano, K. Yamamura, K. Yamauchi, Y. Mori

    Book of Lecture Notes, 4th International Workshop on Crystal Growth Technology　2008年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  529. Catalyst-referred etching

    K. Yamauchi, Y. Sano, K. Arima, H. Hara

    Book of Lecture Notes, 4th International Workshop on Crystal Growth Technology　2008年5月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  530. 円筒ころ軸受における部分円弧クラウニングと対数クラウニングの実験的比較

    藤原 宏樹, 山内 和人

    日本機械学会論文集 C編　Vol. 74　No. 745　p. 2308-2314　2008年4月　研究論文（学術雑誌）

  531. Chemical planarization of GaN using hydroxyl radicals generated on a catalyst plate in H2O2 solution

    J. Murata, A. Kubota, K. Yagi, Y. Sano, H. Hara, K. Arima, T. Okamoto, H. Mimura, K. Yamauchi

    Journal of Crstal Growth　Vol. 310　No. 7-9　p. 1637-1641　2008年4月　研究論文（学術雑誌）

  532. Ultraprecision finishing technique by numerically controlled sacrificial oxidation

    Yasuhisa Sano, Takaya Masuda, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Journal of Crystal Growth　Vol. 310　No. 7-9　p. 2173-2177　2008年4月　研究論文（学術雑誌）

  533. Processing efficiency of elastic emission machining for low-thermal-expansion material

    M.Kanaoka, C.Liu, K.Nomura, M.Ando, H.Takino, Y.Fukuda, Y.Mori, H.Mimura, K.Yamauchi

    Surface and Interface Analysis　Vol. 40　No. 6-7　p. 1002-1006　2008年3月　研究論文（学術雑誌）

  534. Stitching interferometric metrology for steeply curved x-ray mirrors

    H.Yumoto, H.Mimura, T.Kimura, S.Handa, S.Matsuyama, Y.Sano, K.Yamauchi

    Surface and Interface Analysis　Vol. 40　No. 6-7　p. 1023-1027　2008年3月　研究論文（学術雑誌）

  535. Highly accurate differential deposition for X-ray reflective optics

    S.Handa, H.Mimura, H.Yumoto, T.Kimura, S.Matsuyama, Y.Sano, Kazuto Yamauchi

    Surface and Interface Analysis　Vol. 40　No. 6-7　p. 1019-1022　2008年3月　研究論文（学術雑誌）

  536. Trace element mapping using a high-resolution scanning X-ray fluorescence microscope equipped with a Kirkpatrick-Baez mirror system

    S. Matsuyama, H. Mimura, K. Katagishi, H. Yumoto, S. Handa, M. Fujii, Y. Sano, M. Shimura, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawad, K. Yamauchi

    Surface and interface analysis　Vol. 40　No. 6-7　p. 1042-1045　2008年3月　研究論文（学術雑誌）

  537. Direct Determination of the Wave Field of an X-ray Nanobeam

    H.Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, S. Handa, T. Kimura, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Physical Review A　Vol. 77　No. 1　2008年2月　研究論文（学術雑誌）

  538. 触媒基準エッチング法

    原 英之, 佐野泰久, 有馬健太, 山内和人

    応用物理　Vol. 53　No. 8　p. 20-24　2008年2月

  539. Defect-free planarization of 4H-SiC(0001) substrate using reference plate

    Keita Yagi, Junji Murata, Akihisa Kubota, Yasuhisa Sano, Hideyuki Hara, Kenta Arima, Takeshi Okamoto, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 47　No. 1　p. 104-107　2008年1月18日　研究論文（学術雑誌）

  540. Factors affecting changes in removal rate of elastic emission machining

    Masahiko Kanaoka, Hideo Takino, Kazushi Nomura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

    Proceedings of the 23rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2008 and the 12th ICPE　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  541. Aberrations in curved x-ray multilayers

    Ch Morawe, J. P. Guigay, V. Mocella, C. Ferrero, H. Mimura, S. Handa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 7077　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  542. Development of adaptive mirror for wavefront correction of hard X-ray nanobeam

    Takashi Kimura, Soichiro Handa, Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Daisuke Yamakawa, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    ADVANCES IN X-RAY/EUV OPTICS AND COMPONENTS III　Vol. 7077　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  543. Coherent x-ray diffraction measurements of Cu thin lines

    Y. Takahashi, H. Furukawa, H. Kubo, K. Yamauchi, Y. Nishino, T. Ishikawa, E. Matsubara

    Surface and Interface Analysis　Vol. 40　No. 6-7　p. 1046-1049　2008年1月　研究論文（学術雑誌）

  544. Development of coherent x-ray diffraction microscopy for nano structure analysis of metallic materials

    Y. Takahashi, H. Furukawa, H. Kubo, Y. Nishino, K. Yamauchi, T. Ishikawa, E. Matsubara

    The 18th Symposium ofThe Materials Research Sosiety ofJapan, Program and Abstracts　2007年12月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  545. 走査型蛍光X線顕微鏡による細胞内元素分布の測定

    藤井正輝, 松山智至, 志村まり, 三村秀和, 前島一博, 片岸恵子, 湯本博勝, 半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム 要旨集　2007年11月

  546. Figuring and smoothing capabilities of elastic emission machining for low-thermal-expansion glass optics

    M. Kanaoka, C, Liu, K. Nomura, M. Ando, H. Takino, Y. Fukuda, Y. Mori, H. Mimura, K. Yamauchi

    J. Vac. Sci. Technol. B　Vol. 25　No. 6　p. 2110-2113　2007年11月　研究論文（学術雑誌）

  547. Experimental determination of the wave field of X-ray nanobeam

    Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Soichiro Handa, Takashi Kimura, Satoshi Matsuyama, Yasuhisa Sano, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Yabashi Makina, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    2007年10月

  548. Three-dimensional observation of internal structures in metallic materials by coherent x-ray diffraction microscopy

    Y. Takahashi, H. Furukawa, H. Kubo, Y. Nishino, K. Yamauchi, T. Ishikawa, E. Matsubara

    Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomic Fabrication Technology 2007　2007年10月

  549. Development of Cryo Scanning X-ray Fluorescent Microscopy to Observe Frozen Hydrated Cells and Tissues

    Masaki Fujii, Satoshi Matsuyama, Mari Shimura, Keiko Katagishi, Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Soichiro Handa, Takashi Kimura, Yasuhisa Sano, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishin, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    2007年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  550. High-resolution and Highly Sensitive Scanning X-ray Fluorescence Microscopy Using Kirkpatrick-Baez Mirror Optics

    Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Keiko Katagishi, Mari Shimura, Masaki Fujii, Hirokatsu Yumoto, Soichiro Handa, Takashi Kimura, Yasuhisa Sano, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    2007年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  551. Atomically Resolved STM Study of 4H-SiC(0001) Surfaces Flattened by Chemical Etching in HF solutions with Pt Catalyst

    Kenta Arima, Ryosuke Suga, Hideyuki Hara, Junji Murata, Keita Yagi, Hidekazu Mimura, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Technical Digest of International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007, Ohtsu, pp. We 28-29　2007年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

    出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics

  552. Damage-free Planarization of 2-inch 4H-SiC Wafer Using Pt Catalyst Plate and HF Solution

    T. Okamoto, Y. Sano, H. Hara, K. Arima, K. Yagi, J. Murata, H. Mimura, K. Yamauchi

    International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007 Technical Digest　Vol. 600-603　p. 835-+　2007年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  553. Temperature Dependence of Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon and Silicon Carbide

    Y. Sano, M. Watanabe, T. Kato, K. Yamamura, H. Mimura, K. Yamauchi

    International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007 Technical Digest　Vol. 600-603　p. 847-+　2007年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  554. New Chemical Planarization of SiC and GaN Using Fe Plate in H2O2 solution

    Junji Murata, Akihisa Kubota, Keita Yagi, Yasuhisa Sano, Hideyuki Hara, Kenta Arima, Takeshi Okamoto, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007 Technical Digest　Vol. 600-603　p. 815-+　2007年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  555. Microstitching interferometer and relative angle determinable stitching interferometer for half-meter-long X-ray mirror

    Haruhiko Ohashi, Takashi Tsumura, Hiromi Okada, Hidekazu Mimura, Tatsuhiko Masunaga, Yasunori Senba, Shunji Goto, Kazuto Yamauchi, Tetsuya Ishikawa

    Proc. SPIE 6704, Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics II, 670405　Vol. 6704　No. 1　p. 670405-1-670405-8　2007年10月　研究論文（学術雑誌）

  556. Ultraprecision Finishing Technique by Numerically Controlled Sacrificial Oxidation

    Yasuhisa Sano, Takaya Masuda, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of 15th International Conference on Crystal Growth　2007年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  557. Damage-free planarization of GaN using a catalyst plate

    Junji Murata, Akihisa Kubota, Keita Yagi, Yasuhisa Sano, Hideyuki Hara, Kenta Arima, Takeshi Okamoto, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of 15th International Conference on Crystal Growth　2007年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  558. New Crystal Planarization Technique using a catalyst plate

    Hideyuki Hara, Yasuhisa Sano, Kenta Arima, Keita Yagi, Junji Murata, Takeshi Okamoto, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of 15th International Conference on Crystal Growth　2007年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  559. Fabrication of ultrathin and highly uniform silicon on insulator by numerically controlled plasma chemical vaporization machining

    Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

    Rev. Sci. Instrum　Vol. 78　No. 8　2007年8月　研究論文（学術雑誌）

  560. Polishing Characteristics of 4H-SiC Si-Face and C-Face by Plasma Chemical Vaporization Machining

    Yasuhisa Sano, Masayo Watanabe, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi, Takeshi Ishida, Kenta Arima, Akihisa Kubota, Yuzo Mori

    Materials Science Forum　Vol. 556-557　p. 757-+　2007年8月　研究論文（学術雑誌）

  561. Damage-free Planarization of 4H-SiC (0001) by Catalyst-Referred Etching

    Hideyuki Hara, Yasuhisa Sano, Hidekazu Mimura, Kenta Arima, Akihisa Kubota, Keita Yagi, Junji Murata, Kazuto Yamauchi

    Materials Science Forum　2007年8月　研究論文（学術雑誌）

  562. 位相回復波面計測法に基づくＸ線ナノ集光ミラーの開発

    三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 山内和人

    光アライアンス　Vol. 18　No. 6　p. 42-46　2007年6月

    出版者・発行元：日本工業出版

  563. Atomic-scale flattening of SiC surfaces by electroless chemical etching in HF solution with Pt catalyst

    Kenta Arima, Hideyuki Hara, Junji Murata, Takeshi Ishida, Ryota Okamoto, Keita Yagi, Yasuhisa Sano, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    Applied Physics Letters　Vol. 90　No. 20　p. 202106 1-202106 3　2007年5月　研究論文（学術雑誌）

  564. Removal properties of low-thermal-expansion materials with rotating-sphere elastic emission machining

    Masahiko Kanaoka, Hideo Takino, Kazushi Nomura, Yuzo Mori, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi

    SCIENCE AND TECHNOLOGY OF ADVANCED MATERIALS　Vol. 8　No. 3　p. 170-172　2007年4月　研究論文（学術雑誌）

  565. Fabrication of damascene Cu wirings using solid acidic catalyst

    K. Yagi, J. Murata, H. Hara, Y. Sano, K. Yamauchi, H. Goto

    Science and Technology of Advanced Materials　Vol. 8　No. 3　p. 166-169　2007年4月　研究論文（学術雑誌）

  566. CAtalyst-Referred Etching of Silicon

    H. Hara, Y. Sano, K. Arima, K. Yagi, J. Murata, A. Kubota, H. Mimura, K. Yamauchi

    Science and Technology of Advanced Materials　Vol. 8　No. 3　p. 162-165　2007年4月　研究論文（学術雑誌）

  567. 高精度非球面ミラーの加工技術

    佐野泰久, 三村秀和, 山村和也, 山内和人, 森勇藏

    レーザー学会誌　Vol. 35　No. 3　p. 162-167　2007年3月

  568. Atomic-scale Observations of Si(001) Surfaces Flattened by SiO2 Particles in Ultrapure Water and Elucidation of Its Surface Formation Mechanism

    K. Arima, A. Kubota, H. Mimura, J. Katoh, K. Inagaki, Y. Mori, K. Endo, K. Yamauchi

    Extended Abstracts of the 12th Workshop on Gate Stack Technology and Physics, pp. 125-130　2007年2月

  569. Investigation of Surface Roughness of Silicon Carbide in Elastic Emission Machining

    A. Kubota, Y. Shinbayashi, H. Mimura, Y.Sano, K.Inagaki, Y.Mori, K.Yamauchi

    Journal of Electronic Materials　Vol. 36　No. 1　p. 92-97　2007年2月　研究論文（学術雑誌）

  570. Efficient focusing of hard x-rays to 25nm by a total reflection mirror

    H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamamura, Y. Mori, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Applied Physcics Letters　Vol. 90　No. 5　2007年2月　研究論文（学術雑誌）

  571. 走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素の高感度観察

    片岸恵子, 松山智至, 三村秀和, 湯本博勝, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第20回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 要旨集, 133, 2007　2007年1月

  572. Global high-accuracy intercomparison of slope measuring instruments

    Frank Siewert, Lahsen Assoufid, Daniele Cocco, Olivier Hignette, Steve Irick, Heiner Lammert, Wayne McKinney, Haruhiko Ohashi, Francois Polack, Shinan Qian, Seungyu Rah, Amparo Rommeveaux, Veit Schönherr, Giovani Sostero, Peter Takacs, Muriel Thomasset, Kazuto Yamauchi, Valeriy Yashchuk, Thomas Zeschke

    AIP Conference Proceedings　Vol. 879　p. 706-709　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  573. Reflective optics for sub-10nm hard X-ray focusing

    H. Mimura, S. Matsuyama, H. Yumoto, S. Handa, T. Kimura, Y. Sano, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    ADVANCES IN X-RAY/EUV OPTICS AND COMPONENTS II　Vol. 6705　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  574. Novel abrasive-free planarization of Si and SiC using catalyst

    Hideyuki Hara, Yasuhisa Sano, Hidekazu Mimura, Kenta Arima, Akihisa Kubota, Keita Yagi, Junji Murata, Kazuto Yamauchi

    TOWARDS SYNTHESIS OF MICRO - /NANO - SYSTEMS　No. 5　p. 267-+　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  575. Second metrology round-robin of APS, ESRF and SPring-8 laboratories of elliptical and spherical hard-x-ray mirrors

    A. Rommeveaux, L. Assoufid, H. Ohashi, H. Mimura, K. Yamauchi, J. Qian, T. Ishikawa, C. Morawe, A. T. Macrander, A. Khounsary, S. Goto

    ADVANCES IN METROLOGY FOR X-RAY AND EUV OPTICS II　Vol. 6704　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  576. Hard x-ray wavefront measurement and control for hard x-ray nanofocusing

    Soichiro Handa, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Hirokatsu Yumoto, Takashi Kimura, Yasuhisa Sano, Kenji Tamasaku, Yoshinori Nishino, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 6704　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  577. Microstitching interferometer and relative angle determinable stitching interferometer for half-meter-long X-ray mirror

    Haruhiko Ohashi, Takashi Tsumura, Hiromi Okada, Hidekazu Mimura, Tatsuhiko Masunaga, Yasunori Senba, Shunji Goto, Kazuto Yamauchi, Tetsuya Ishikawa

    ADVANCES IN METROLOGY FOR X-RAY AND EUV OPTICS II　Vol. 6704　No. 1　p. 670405-1-670405-8　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  578. Polishing characteristics of 4H-SiC Si-face and C-face by plasma chemical vaporization machining

    Yasuhisa Sano, Masayo Watanabe, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi, Takeshi Ishida, Kenta Arima, Akihisa Kubota, Yuzo Mori

    SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2006　Vol. 556-557　p. 757-+　2007年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  579. Hard X-ray nano-focusing with ultraprecisely figured mirrors

    H. Mimura, K. Yamauchi

    2006年11月

  580. Formation of Atomically Flat 4H-SiC(0001) Surfaces by Wet-chemical Preparations

    Kenta Arima, Kazuto Yamauchi

    Abstracts of Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium 2006, pp.31-32　2006年11月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  581. Effect of Particle Morphology on Removal Rate and Surface Topography in Elastic Emission Machining

    A. Kubota, H. Mimura, K. Inagaki, Y. Mori, K. Yamauchi

    Journal of Electrochemical Society　Vol. 153　No. 9　p. G874-G878　2006年10月　研究論文（学術雑誌）

  582. Development of mirror manipulator for hard x-ray nanofocusing at sub-50nm level

    S. Matsuyama, H. Mimura, H. Yumoto, H. Hara, S. Handa, K. Yamamura, Y. Sano, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 77　No. 9　2006年10月　研究論文（学術雑誌）

  583. Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics

    Y. Higashi, Y. Takaie, K. Endo, Y. Mori, K. Yamauchi, T. Kume, K. Enami, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno

    Proceedings of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology　Vol. 8　No. 3　p. 177-180　2006年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  584. Ultraprecision machining utilizing numerically controlled scanning of localized atmospheric pressure plasma

    Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Masafumi Shibahara, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 45　No. 10B　p. 8270-8276　2006年10月　研究論文（学術雑誌）

  585. Polishing characteristics of silicon carbide by plasma chemical vaporization machining

    Yasuhisa Sano, Masayo Watanabe, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi, Takeshi Ishida, Kenta Arima, Akihisa Kubota, Yuzo Mori

    Jpn. J. Appl. Phys. 45 No.10B　Vol. 45　No. 10　p. 8277-8280　2006年10月　研究論文（学術雑誌）

  586. Scanning X-ray Fluorescence Microscope Using Kirkpatrick-Baez Optics with Spatial Resolution Better than 50nm

    Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Mari Shimura, Hirokatsu Yumoto, Keiko Katagishi, Soichiro Handa, Akihiko Shibatani, Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    The 16th International Microscopy Congress (IMC16)　2006年9月

  587. Observation of Intracellular Elements by Scanning X-ray Fluorescence Microscopy with Spatial Resolution of 50nm

    Keiko Katagishi, Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Mari Shimura, Hirokatsu Yumoto, Soichiro Handa, Akihiko Shibatani, Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    2006年9月

  588. Development of scanning X-ray fluorescence microscope with spatial resolution of 30nm using K-B mirrors optics

    S.Matsuyama, H.Mimura, H.Yumoto, K.Yamamura, Y.Sano, M.Yabashi, Y.Nishino, K.Tamasaku, T. Ishikawa, K.Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 77　No. 10　2006年9月　研究論文（学術雑誌）

  589. Scanning X-ray Fluorescence Microscope Using Kirkpatrick-Baez Optics with Spatial Resolution Better than 50nm

    Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Mari Shimura, Hirokatsu Yumoto, Keiko Katagishi, Soichiro Handa, Akihiko Shibatani, Yasuhis Sano, Kazuya Yamamura, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Proc. SPIE　2006年8月

  590. Waveoptical simulation for designing and evaluating hard X-ray nanofocusing mirror

    H. Mimura, S. Matsuyama, H. Yumoto, S. Handa, A. Shibatani, K. Katagishi, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    2006年8月

  591. Single-Shot Spectrometry for X-Ray Free-Electron Lasers

    M. Yabashi, J B. Hastings, M.S. Zolotorev, H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamauchi, T. Ishikawa

    Physical Review Letters　Vol. 97　No. 8　2006年8月　研究論文（学術雑誌）

  592. Highly resolved scanning tunneling microscopy study of Si(001) surfaces flattened in aqueous environment

    Kenta Arima, Akihisa Kubota, Hidekazu Mimura, Kouji Inagaki, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi

    Surface Science Letters　Vol. 600　No. 15　p. L185-L188　2006年8月　研究論文（学術雑誌）

  593. Novel Abrasive-Free Planarization of 4H-SiC(0001) Using Catalyst

    Hideyuki Hara, Yasuhisa Sano, Hidekazu Mimura, Kenta Arima, Akihisa Kubota, Keita Yagi, Junji Murata, Kazuto Yamauchi

    Journal of Electronic Materials　Vol. 35　No. 8　p. L11-L14　2006年8月　研究論文（学術雑誌）

  594. Hard X-ray focusing with a beam size less than 30 nm by total reflection mirror

    H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, S. Handa, Y. Sano, K. Yamamura, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    2006年7月

  595. Diffraction-limited X-ray nanobeam with KB mirrors

    K. Yamauchi, H. Mimura, S. Matsuyama, H. Yumoto, S. Handa, Y. Sano, K. Yamamura, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa

    2006年7月

  596. Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics-Calibration of the rotational angle error of the rotary encoders-

    Yasuo Higashi, Yuichi Takaie, Katsuyoshi Endo, Tatsuya Kume, Kazuhiro Enami, Kazuto Yamauchi, Kazuya Ymamura, Yasushi Sano, Kenji Ueno, Yuzo Mori

    Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation　Vol. 879　p. 726-+　2006年6月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  597. Atomic-Scale Evaluation of Si(111) Surfaces Finished by the Planarization Process Utilizing SiO2 Particles Mixed with Water

    Jun Katoh, Kenta Arima, Akihisa Kubota, Hidekazu Mimura, Kouji Inagaki, Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi, Katsuyoshi Endo

    Journal of The Electrochemical Society　Vol. 153　No. 6　p. G560-G565　2006年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Electrochemical Society

  598. At-wavelength figure metrology of hard x-ray focusing mirrors

    Hirokatsu Yumoto, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Soichiro Handa, Yasuhisa Sano, Makina Yabashi, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 77　No. 6　p. 063712-1-063712-6　2006年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：AIP Publishing

  599. Development of Surface Measurement Technologies for Hard X-ray Nanofocusing Mirror at Osaka University and SPring-8

    H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 3rd International Workshop on Metrology for X-ray Optics　2006年5月

  600. Development of K-B Mirror Manipulator for Hard X-ray Sub-50nm Focusing

    Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Soichiro Handa, Keiko Katagishi, Akihiko Shibatani, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    International Workshop on Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation 2006　2006年5月

  601. Electrochemical Etching Using Surface-Sulfonated Electrodes in Ultrapure Water

    Yoshio Ichii, Yuzo Mori, Kikuji Hirose, Katsuyoshi Endo, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Goto

    Journal of The Electrochemical Society　Vol. 153　No. 5　p. C344-C348　2006年5月　研究論文（学術雑誌）

  602. 超純水・高速せん断流による洗浄法の開発(第2報)：超純水・高速せん断流によるCu除去メカニズムの研究

    森田 健一, 後藤 英和, 遠藤 勝義, 山内 和人, 堤 健一, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 4　p. 529-533　2006年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  603. 超純水・高速せん断流によるSi基板洗浄法の研究：Si基板表面のDOP汚染の洗浄効果

    森田 健一, 後藤 英和, 山内 和人, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 3　p. 383-392　2006年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  604. Atomic-level STM analyses of Si(001) surfaces prepared in aqueous environment

    Kenta Arima, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Akihisa Kubota, Kouji Inagaki, Yuzo Mori, Katsuyoshi Endo

    Abstract Book of 33rd Conference on the Physics & Chemistry of Semiconductor Interfaces, Cocoa Beach (Florida), Mo1355 (2006).　2006年1月

    出版者・発行元：American Vacuum Society

  605. SCSS X-FEL conceptual design report

    Makina Yabashi, Jerome B. Hastings, Max S. Zolotorev, Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Tetsuya Ishikawa

    Physical Review Letters　Vol. 97　No. 8　2006年　研究論文（学術雑誌）

  606. High-spatial-resolution scanning X-ray fluorescence microscope with Kirkpatrick-Baez mirrors

    Satoshi Matsuyama, Hidekazu Mimura, Mari Shimura, Hirokatsu Yumoto, Keiko Katagishi, Soichiro Handa, Akihiko Shibatani, Yasuhis Sano, Kazuya Yamamura, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    ADVANCES IN X-RAY/EUV OPTICS, COMPONENTS, AND APPLICATIONS　Vol. 6317　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  607. Surface gradient integrated profiler for x-ray and EUV optics - 3D mapping of 1m-long flat mirror and off-axis parabolic mirror

    Y. Higashi, Y. Takaie, K. Endo, T. Kume, K. Enami, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Sano, J. Uchikoshi, K. Ueno, Y. Mori

    ADVANCES IN X-RAY/EUV OPTICS, COMPONENTS, AND APPLICATIONS　Vol. 6317　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  608. Wave-optical simulations for designing and evaluating hard x-ray reflective optics

    H. Mimura, S. Matsuyama, H. Yumoto, S. Handa, A. Shibatani, K. Katagishi, Y. Sano, Y. Nishino, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    ADVANCES IN X-RAY/EUV OPTICS, COMPONENTS, AND APPLICATIONS　Vol. 6317　2006年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  609. 超純水・高速せん断流による洗浄法の開発(第1報)：Si基板表面のCu汚染の洗浄効果

    森田 健一, 後藤 英和, 山内 和人, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 1　p. 89-94　2006年1月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  610. Cutting of functional materials by plasma chemical vaporization machining with inner-diameter blade electrode

    Y. Sano, K. Yamamura, H. Mimura, K. Yamauchi, A. Kubota, Y. Mori

    Proc. ICRP-6/SPP-23　2006年1月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  611. Ultra precision machining utilizing numerically controlled scanning of localized atmospheric pressure plasma

    K. Yamamura, Y. Sano, M. Shibahara, K. Yamauchi, H. Mimura, K. Endo, Y. Mori

    Proceedings of ICRP6/SPP23　2006年1月　研究論文（その他学術会議資料等）

  612. Wave-optical evaluation of interference fringes and wavefront phase in a hard-x-ray beam totally reflected by mirror optics

    Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Yasuhisa Sano, Akira Saito, Katsuyoshi Endo, Alexei Souvorov, Makina Yabashi, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Yuzo Mori

    Applied Optics　Vol. 44　No. 32　p. 6927-6932　2005年11月　研究論文（学術雑誌）

  613. A new designed ultra-high precision profiler

    Y. Higashi, Y. Takaie, K. Endo, T. Kume, K. Enami, K. Yamauchi, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, Y. Mori

    Proccedings of SPIE 5921　Vol. 5921　p. 1-9　2005年10月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  614. Results of x-ray mirror round-robin metrology measurements at the APS, ESRF, and SPring-8 optical metrology laboratories

    L. Assoufid, A. Rommeveaux, H. Ohashi, K. Yamauchi, H. Mimura, J. Qian, O. Hignette, T. Ishikawa, C. Morawe, A. Macrander, A. Khounsary, S. Goto

    Proc. SPIE　Vol. 5921　p. 59210J-12　2005年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  615. 硬X線ナノ集光用超高精度楕円ミラーの作製と1次元集光性能の評価

    湯本博勝, 三村秀和, 松山智至, 原 英之, 山村和也, 佐野泰久, 上野一匡, 遠藤勝義, 森 勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会誌　Vol. 71　No. 9　p. 1137-1140　2005年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  616. Surface figuring and measurement methods with spatial resolution close to 0.1 mm for x-ray mirror fabrication

    H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K.Endo, Y. Mori, Y. Nishino, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K.Yamauchi

    Vol. 5921　p. 1-8　2005年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  617. Diffraction-limited two-dimensional hard-X-rays focusing in 100nm level using K-B mirror arrangement

    S. Matsuyama, H. Mimura, H. Yumoto, K. Yamamura, Y. Sano, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 76　No. 8　p. 1-5　2005年8月　研究論文（学術雑誌）

  618. Morphological Stability of Si(001) Surface Immersed in Fluid Mixture of Ultrapure Water and Silica Powder Particles in Elastic Emission Machining

    Akihisa Kubota, Hidekazu Mimura, Kouji Inagaki, Hirokatsu Yumoto, Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 44　No. 8　p. 5893-5897　2005年8月　研究論文（学術雑誌）

  619. A new Designed High-Precision Profiler - Study on Mandrel measurement-

    Y.Higashi, Y.Takaie, K.Endo, T.Kume, K.Enami, K.Yamauchi, K.Yamamura, K.Ueno, Y.Mori

    Proc. 8th Cof. X-ray Microscopy IPAP Conf. Series 7　2005年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  620. Scanning hard-X-ray microscope with spatial resolution better than 50nm

    S. Matsuyama, H. Mimura, H. Yumoto, H. Hara, K. Yamamura, Y. Sano, K.Endo, Y. Mori, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K.Yamauchi

    2005年7月　研究論文（学術雑誌）

  621. Hard X-ray Diffraction-Limited Nanofocusing with unprecidently accurate mirrors

    H. Mimura, S. Matsuyama, H. Yumoto, H. Hara, K. Yamamura, Y. Sano, M. Shibahara, K. Endo, Y. Mori, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    2005年7月　研究論文（学術雑誌）

  622. Investigation of machining mechanism in Elastic Emission Machining (EEM) on the atomic scale

    J. Katoh, A. Kubota, H. Mimura, K. Yamauchi, K. Arima, K. Inagaki, Y. Mori, K. Endo

    Abstracts of 13th International Conference on Scanning Tunneling Microscopy/Spectroscopy and Related Techniques, pp. 89-89　2005年7月

    出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics

  623. Atomic-Scale Evaluation of Si(001) Surfaces Finished by Novel Global Planarization Process

    K. Arima, K. Yamauchi, H. Mimura, A. Kubota, K. Inagaki, Y. Mori, K. Endo

    Abstracts of 13th Internatinal Conference on Scanning Tunneling Microscopy/Spectroscopy and Related Techniques, pp. 335-335　2005年7月

    出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics

  624. Element Array by Scanning X-ray Fluorescence Microscopy after Cis-Diamminedichloro-Platinum(II) Treatment

    M. Shimura, A. Saito, S. Matsuyama, T. Sakuma, Y. Terui, K. Ueno, H. Yumoto, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, M. Yabashi, K. Tamasaku, K. Nishio, Y. Nishino, K. Endo, K. Hatake, Y. Mori, Y. Ishizaka, T. Ishikawa

    Cancer Research, 65 (12), 4998-5002, (2005).　Vol. 65　No. 12　p. 4998-5002　2005年7月　研究論文（学術雑誌）

  625. EEM（Elastic Emission Machining）プロセスにおける微粒子表面の形態が加工表面に及ぼす影響

    久保田章亀, 三村秀和, 稲垣耕司, 森 勇藏, 山内和人

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 6　p. 762-766　2005年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  626. Electrochemical Etching Using Surface Modified Graphite Electrodes in Ultrapure Water

    Y.Ichii, Y.Mori, K.Hirose, K.Endo, K.Yamauchi, K.Yagi, H.Goto

    Proceedings of The 5th Asian Conference on Electrochemistry 2005　2005年5月

  627. Electrochemical etching using surface carboxylated graphite electrodes in ultrapure water

    Yoshio Ichii, Yuzo Mori, Kikuji Hirose, Katsuyoshi Endo, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Goto

    Electrochimica Acta　Vol. 50　No. 27　p. 5379-5383　2005年5月　研究論文（学術雑誌）

  628. EEM（Elastic Emission Machining）プロセスにおける加工液がSi(001)表面のマイクロラフネスに及ぼす影響

    久保田章亀, 三村秀和, 湯本博勝, 森 勇藏, 山内和人

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 5　p. 628-632　2005年5月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  629. Preparation of Ultrasmooth and defect-free 4H-SiC(0001) Surfaces by Elastic Emission Machining

    A. Kubota, H. Mimura, K. Inagaki, K. Arima, Y. Mori, K. Yamauchi

    Journal of Electronic Material, 34(4), pp. 439-443 (2005)　Vol. 34　No. 4　p. 439-443　2005年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  630. Hard X-ray Diffraction-Limited Nanofocusing with Kirkpatrick-Baez Mirrors

    H. Mimura, S. Matsuyama, H. Yumoto, H. Hara, K. Yamamura, Y. Sano, M. Shibahara, K. Endo, Y. Mori, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Japanese Journal of Applied Physics Part 2　Vol. 44　No. 16-19　p. L539-L542　2005年4月　研究論文（学術雑誌）

  631. EEM（Elastic Emission Machining）による4H-SiC(0001)表面の平滑化

    久保円章亀, 三村秀和, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 4　p. 477-480　2005年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  632. Development of surface figuring and smoothing technologies for ultraprecise X-ray mirror Fabrication

    H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Endo, Y. Mori, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    2005年2月

  633. Fabrication of ultraprecisely figured and ultrasmooth elliptical mirrors for hard X-ray nanofocusing

    K.Yamauchi, H. Mimura, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, S. Matsuyama, K. Endo, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa

    Towards Synthesis of Micro-/Nano-systems　No. 5　p. 295-+　2005年2月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  634. Development of elliptical kirkpatrick-baez mirrors for hard X-ray nanofocusing

    K. Yamauchi, H. Mimura, K. Yamamura, Y. Sano, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Endo, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, Y. Mori

    Optics InfoBase Conference Papers　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  635. Focusing hard X-rays to sub-50 nm size by elliptically figured: Mirror

    Hirokatsu Yumoto, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Hideyuki Hara, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Kazumasa Ueno, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori, Makina Yabashi, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Optics InfoBase Conference Papers　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  636. Stitching interferometry for surface figure measurement of X-ray reflective optics

    Hidekazu Mimura, Hirokatsu Yumoto, Satoshi Matsuyama, Hideyuki Hara, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Kazumasa Ueno, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori, Makina Yabashi, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Optics InfoBase Conference Papers　2005年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  637. First-Principles Molecular-Dynamics Simulations of Dissociation Process of Water Molecule by Catalytic Reaction of Ion-Exchange Group

    K. Yagi, Y. Ichii, T. Ono, H. Goto, K. Inagaki, K. Yamauchi, K. Endo, Y. Mori, K. Hirose

    The 7th Asian Workshop on First-Principles Electronic Structure Calculations, Program & Abstracts, 140-140　2004年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  638. First-Principles Molecular-Dynamics Simulations of Electrochemical Etching Process on Al(001) Cathode Surface

    Y. Ichii, K. Yagi, T. Ono, H. Goto, K. Inagaki, K. Yamauchi, K. Endo, Y. Mori, K. Hirose

    The 7th Asian Workshop on First-Principles Electronic Structure Calculations, Program & Abstracts, 84-84　2004年11月　研究論文（その他学術会議資料等）

  639. Development of hard X-ray nanofocusing system using ultraprecisely figured mirrors at SPring-8

    H. Mimura, K. Yamauchi

    2004年10月

  640. Surface Figure Metrology of x-ray mirrors using optical interferometry

    K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, S. Matsuyama, H. Yumoto, K. Ueno, K. Endo, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, Y. Mori

    2004年9月

  641. Wave-optical and ray-tracing analysis to establish a two dimensional focusing unit using K-B arrangement

    S. Matsuyama, H. Mimura, K. Yamamura, H. Yumoto, Y. Sano, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 5533　p. 181-191　2004年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  642. Fabrication technology of ultraprecise mirror optics to realize hard X-ray nanobeam, SPIE International Symposium, Optical Science and Technology

    K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, S. Matsuyama, H. Yumoto, K. Ueno, M. Shibahara, K. Endo, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, Y. Mori

    Proceedings of SPIE,　Vol. 5533　p. 116-123　2004年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  643. Microstitching Interferometry for hard X-ray nanofocusing mirrors

    H. Mimura, H. Yumoto, K. Yamamura, Y. Sano, S. Matsuyama, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 5533　p. 171-180　2004年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  644. Creation of perfect surfaces

    Yuzo Mori, Kazuya Yamamura, Katsuyoshi Endo, Kazuto Yamauchi, Kiyoshi Yasutake, Hidekazu Goto, Hiroaki Kakiuchi, Yasuhisa Sano, Hidekazu Mimura

    The 14th international conference on crystal growth　Vol. 275　No. 1-2　p. 39-50　2004年8月　研究論文（学術雑誌）

  645. Image quality improvement in hard X-ray projection microscope using total reflection mirror optics

    H. Mimura, K. Yamauchi, K. Yamamura, A. Kubota, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, Y. Mori

    Journal of Synchrotoron Radiation, 11, pp. 343-346.　2004年7月　研究論文（学術雑誌）

  646. Surface figure metrology of total reflection X-ray mirror using optical interferometry at Osaka Univ. and SPring-8

    K.Yamauchi, H.Mimura, K.Yamamura, Y.Sano, K.Ueno, S.Matsuyama, K.Endo, Y.Nishino, K.Tamasaku, M.Yabashi, T.Ishikawa

    Proceedings of Second International Workshop on Metrology for X-ray Optics　2004年4月

  647. EEM（Elastic Emission Machining)によるSi（001）表面の平坦化（第2報）-加工表面の原子像観察と構造評価ー

    山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 有馬健太, 稲垣耕司, 遠藤勝義, 森勇藏

    精密工学会誌論文集, 70, 547-551, (2004).　Vol. 70　No. 4　p. 547-551　2004年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  648. EEM（Elastic Emission Machining)によるSi（001）表面の平坦化（第１報）-超清浄EEM加工システムの開発ー

    森勇藏, 山内和人, 三村秀和, 稲垣耕司, 久保田章亀, 遠藤勝義

    精密工学会誌論文集,70, 391-396, (2004).　2004年3月　研究論文（学術雑誌）

  649. Fabrication technology for hard X-ray reflective optics

    Y. Mori, K.Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y.Sano, S. Matsuyama, K. Endo, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa

    Proceedings of Second International Workshop on Metrology for X-ray Optics　2004年3月　研究論文（その他学術会議資料等）

  650. 超高精度硬Ｘ線集光ミラーの製作とナノスペクトロスコピーへの応用

    山村和也, 山内和人, 佐野泰久, 三村秀和, 遠藤勝義, 森 勇藏

    大阪大学低温センターだより，125, 4-10　Vol. 125　p. 4-10　2004年1月　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：大阪大学低温センター

  651. 原子の滑らかさの加工技術

    森 勇藏, 山村和也, 山内和人, 佐野泰久, 三村秀和

    O plus E, Vol. 26, No.1, pp.36-42　Vol. 26　No. 1　p. 36-42　2004年1月

    出版者・発行元：(株)新技術コミュニケーションズ

  652. 原子の滑らかさの加工技術

    森 勇藏, 山村和也, 山内和人, 佐野泰久, 三村秀和

    O plus E, Vol. 26, No.1, pp.36-42　2004年1月

    出版者・発行元：(株)新技術コミュニケーションズ

  653. Two-dimensional Submicron Focusing of Hard X-rays by Two Elliptical Mirrors Fabricated by Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining

    K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, Y. Mori

    Jpn. J. Appl. Phys. Part1　Vol. 42　No. 11　p. 7129-7134　2003年11月　研究論文（学術雑誌）

  654. Fabrication of elliptical mirror at nanometer-level accuracy for hard x-ray focusing by numerically controlled plasma chemical vaporization machining.

    K. Yamamura, K. Yamauchi, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, Y. Mori

    Review of Sceintific Instruments, 74, (10), pp.4549-4553　Vol. 74　No. 10　p. 4549-4553　2003年10月　研究論文（学術雑誌）

  655. Fabrication technology of hard X-ray aspherical mirror optics and application to nanospectroscopy

    Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, M. Shimura, Y. Ishizaka

    Proc. SPIE 5193, pp.11-17　Vol. 5193　p. 11-17　2003年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  656. Development of a figure correction method having spatial resolution close to 0.1mm

    Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa

    Proc. SPIE 5193, pp.105-111　Vol. 5193　p. 105-111　2003年8月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  657. 硬X線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射X線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価

    山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 齋藤 彰, 久保田 章亀, 金岡 政彦, SOUVOROV Alexei, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 7　p. 997-1001　2003年7月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  658. 硬Ｘ線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射Ｘ線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価

    山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 齋藤彰, 久保田章亀, 金岡政彦, Alexei Souvorov, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 森 勇藏

    精密工学会誌, 69, 2003, 997-1001　Vol. 69　No. 7　p. 997-1001　2003年7月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  659. 高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発

    山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 久保田 章亀, 関戸 康裕, 上野 一匡, Alexei SOUVOROV, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 6　p. 856-860　2003年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  660. 高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発

    山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 久保田章亀, 関戸康裕, 上野一匡, Alexei Souvorov, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 森勇藏

    精密工学会誌, 69, 6, 856-860　Vol. 69　No. 6　p. 856-860　2003年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  661. Microstitching interferometry for x-ray reflective optics

    K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, Y. Mori

    Review of Scientific Instruments 74 (2003) 2894-2898.　Vol. 74　No. 5　p. 2894-2898　2003年5月　研究論文（学術雑誌）

  662. Ultraprecision Machining based on Physics and Chemistry

    Yuzo Mori, Kikuji Hirose, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Goto, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano

    Vol. 15　No. 1　p. 1-19　2003年1月　研究論文（学術雑誌）

  663. Ultraprecision Machining based on Physics and Chemistry

    Yuzo Mori, Kikuji Hirose, Kazuto Yamauchi, Hidekazu Goto, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano

    Sensors and Materials Sensors and Materials　Vol. 15　No. 1　p. 001-019　2003年1月　研究論文（学術雑誌）

  664. Figuring with subnanometer-level accuracy by numerically controlled elastic emission machining

    Kazuto Yamauchi, Hidekazu Mimura, Kouji Inagaki, Yuzo Mori

    Rev. Sci. Instr.　Vol. 73　No. 11　p. 4028-4033　2002年11月　研究論文（学術雑誌）

  665. Figuring with subnanometer-level accuracy by numerically controlled elastic emission machining

    K Yamauchi, H Mimura, K Inagaki, Y Mori

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　Vol. 73　No. 11　p. 4028-4033　2002年11月　研究論文（学術雑誌）

  666. プラズマCVMおよびEEMによるシンクロトロン放射X線用楕円ミラーの作製と集光特性の評価

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 斎藤 彰, Alexei SOUVOROV, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也

    精密工学会誌　Vol. 68　No. 10　p. 1347-1350　2002年10月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  667. プラズマCVMおよびEEMによるシンクロトロン放射X線用楕円ミラーの作製と集光特性の評価

    森 勇藏, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 齋藤 彰, Alexei Souvorov, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也

    精密工学会誌, Vol.68, p.1347-1350　Vol. 68　No. 10　p. 1347-1350　2002年10月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  668. ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のナノ欠陥計測

    佐々木都至, 安弘, 森勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 井上晴行

    精密工学会誌, 68, 9, 1200-1205　Vol. 68　No. 9　p. 1200-1205　2002年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会

  669. コヒーレント照射でのＸ線全反射ミラー

    石川哲也, 矢橋牧名, 玉作賢治, スボロフ アレクセイ, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 齋藤 彰, 森 勇藏

    放射光, Vol.15, p.296-302　2002年9月

  670. Nearly diffraction-limited line focusing of a hard-X-ray beam with an elliptically figured mirror

    K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, Y. Mori

    J. Synchrotron Rad., vol.9, p.313-316　Vol. 9　p. 313-316　2002年9月　研究論文（学術雑誌）

  671. Deterministic retrieval of surface waviness by means of topography with coherent X-rays

    A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, A. Saito

    J. Synchrotron Rad., Vol.9, p.223-228　Vol. 9　No. 4　p. 223-228　2002年9月　研究論文（学術雑誌）

  672. Sub-micron focusing of hard X-ray by reflective optics for scanning x-ray microscopy

    Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa

    SPIE Vol.4782　2002年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  673. Wave-optical analysis of sub-micron focusing of hard X-ray by reflective optics

    K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, M. Kanaoka, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, Y. Mori

    Proc. SPIE, Vol.4782　Vol. 4782　p. 271-276　2002年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  674. Aspheric surface fabrication in nm-level accuracy by numerically controlled plasma CVM and EEM

    K. Yamamura, H. Mimura, K. Yamauchi, Y. Sano, A. Saito, T. Kinoshita, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, Y. Mori

    Proc. SPIE, Vol.4782　2002年7月　研究論文（その他学術会議資料等）

  675. Sub-micron focusing by reflective optics for scanning x-ray microscopy

    Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa

    Proc. SPIE　Vol. 4782　p. 58-64　2002年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  676. Ultra-Precision Machining based on Physics and Chemistry

    Y. Mori, K. Hirose, K. Yamauchi, H. Goto, K. Yamamura, Y. Sano

    Proceedings of Proceedings of 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, p.10-26　2002年6月　研究論文（その他学術会議資料等）

  677. Elastic Emission Machiningにおける表面原子除去過程の解析とその機構の電子論的な解釈

    山内和人, 稲垣耕司, 三村秀和, 杉山和久, 広瀬喜久治, 森 勇藏

    精密工学会誌,68(3),456　Vol. 68　No. 3　p. 456-460　2002年3月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  678. Aspheric surface fabrication in nm-level accuracy by numerically controlled plasma chemical vaporization machining (CVM) and elastic emission machining (EEM)

    K Yamamura, H Mimura, K Yamauchi, Y Sano, A Saito, T Kinoshita, K Endo, Y Mori, A Souvorov, M Yabashi, K Tamasaku, D Ishikawa

    X-RAY MIRRORS, CRYSTALS, AND MULTILAYERS II　Vol. 4782　p. 265-270　2002年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  679. Sub-micron focusing of hard X-ray beam by elliptically figured mirrors for scanning X-ray microscopy

    Y Mori, K Yamauchi, K Yamamura, H Mimura, Y Sano, A Saito, K Ueno, K Endo, A Souvorov, M Yabashi, K Tamasaku, T Ishikawa

    X-RAY MIRRORS, CRYSTALS, AND MULTILAYERS II　Vol. 4782　p. 58-64　2002年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  680. Sub-micron focusing of hard X-ray beam by elliptically figured mirrors for scanning X-ray microscopy

    Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 4782　p. 58-64　2002年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  681. レーザー光散乱法によるSiウエハ表面上のナノパーティクルの計測

    佐々木都至, 安弘, 森勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 井上晴行

    精密工学会誌, 67, 11, 1818-1823　Vol. 67　No. 11　p. 1818-1823　2001年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会

  682. First-principles evaluation of machinability dependence on powder materials in elastic emission machining

    K. Inagaki, K. Yamauchi, K. Hirose, Y. Mori

    Mterial Trans.　Vol. 42　No. 11　p. 2290-2294　2001年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：

  683. Development of plasma chemical vaporization machining and elastic emission machining systems for coherent x-ray optics

    Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, A. Saito, H. Kishimoto, Y. Sekito, M. Kanaoka, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa

    Proc. SPIE, Vol.4501, p.30-42　Vol. 4501　p. 30-42　2001年7月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  684. プラズマCVMによる機能材料の切断加工 : 内周刃型切断加工装置の試作とその切断加工特性

    森 勇藏, 山内和人, 山村和也, 佐野泰久

    精密工学会誌　Vol. 67　No. 2　p. 295-299　2001年2月　研究論文（学術雑誌）

  685. プラズマCVMによる機能材料の切断加工 ---内周刃型切断加工装置の試作とその切断加工特性---

    森 勇藏, 山内和人, 山村和也, 佐野泰久

    精密工学会誌, Vol.~67, No.~2, pp.~295-299　Vol. 67　No. 2　p. 295-299　2001年2月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  686. Development of plasma chemical vaporization machining and elastic emission machining systems for coherent x-ray optics

    Y Mori, K Yamauchi, K Yamamura, H Mimura, A Saito, H Kishimoto, Y Sekito, M Kanaoka

    X-RAY MIRRORS, CRYSTALS AND MULTILAYERS　Vol. 4501　p. 30-42　2001年　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  687. Development of Plasma Chemical Vaporization Machining

    Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano

    Review of Scientific Instruments, Vol.~71, No.~12, pp.~4627-4632　Vol. 71　No. 12　p. 4627-4632　2000年12月　研究論文（学術雑誌）

  688. Evaluation of Particles on a Si Wafer before and after Cleaning Using a New Laser Particle Counter

    Satoshi Sasaki, Hiroshi An, Yuzo Mori, Toshihiko Kataoka, Kaituyoshi Endo, Kazuto Yamauchi, Haruyuki Inoue, Shigenori Mizuhara

    Proceedings of the 9th Interenational Symposium on Semiconductor Manufacturing, pp.~317-320　p. 317-320　2000年9月　研究論文（国際会議プロシーディングス）

  689. プラズマCVMの開発

    森 勇藏, 山内和人, 山村和也, 佐野泰久

    精密工学会誌, Vol.~66, No.~8, pp.~1280-1285　Vol. 66　No. 8　p. 1280-1285　2000年8月　研究論文（学術雑誌）

  690. スーパーコンピュータを用いたシミュレーションによる超精密加工プロセスの原子レベルでの解析

    稲垣耕司, 山内和人, 杉山和久, 広瀬喜久治

    東北大学大型計算機センター広報, Vol.~33, No.~3, pp.~25-34　2000年7月

  691. SPV (Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発

    山内 和人, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 山村 和也, 佐野 泰久, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 66　No. 4　p. 630-634　2000年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  692. SPV(Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発

    山内和人, 杉山和久, 稲垣耕司, 山村和也, 佐野泰久, 森 勇藏

    精密工学会誌, Vol.~66, No.~4, pp.~630-634　Vol. 66　No. 4　p. 630-634　2000年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  693. First-Principles Molecular-Dynamics Simulations of Atomic Removal Process and Binding Energy Analysis in EEM(Elastic Emission Machining)

    Kazuto Yamauchi, Kouji Inagaki, Mitsuhiro Sugimoto, Kouji Yamamoto, Kazuhisa Sugiyama, Kikuji Hirose, Yuzo Mori

    Technology Reports of the Osaka University, Vol.~50, pp.~27-32　2000年4月　研究論文（大学，研究機関等紀要）

  694. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発（第5報）---Siウエハ表面に対する洗浄前後の微粒子測定による表面評価---

    安 弘, 大, 佐々木都至, 森 勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 井上晴行, 山内和人, 谷口浩之

    精密工学科会誌, Vol.~65, No.~10, pp.~1435-1439　Vol. 65　No. 10　p. 1435-1439　1999年10月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  695. Development of Numerically Controlled EEM (Elastic Emission Machining) System for Ultraprecision Figuring and Smoothing of Aspherical Surfaces

    Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi, Kazuhisa Sugiyama, Kouji Inagaki, Shoichi Shimada, Junichi Uchikoshi, Hidekazu Mimura, Toshiyuki Imai, Kazuhide Kanemura

    Precision Science and Technology for Perfect Surfaces, pp.~207-212　Vol. 207　1999年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：JSPE

  696. Evaluation of Si Wafer Surface Using a New apparatus for Measuring Particle of the Order of Nanometer

    Hiroshi An, Satoshi Sasaki, Yuzo Mori, Toshihiko Kataoka, Katsuyoshi Endo, Haruyuki Inoue, Kazuto Yamauchi

    Precision Science and Technology for Perfect Surfaces/JSPE Publication Series No.3,372-377　1999年9月　研究論文（学術雑誌）

  697. First-Principles Molecular-Dynamics Calculation for Evaluating Energy and Force between Powder and Work Surfaces in EEM(Elastic Emission Machining) Process

    Kouji Inagaki, Kazuto Yamauchi, Kouji Yamamoto, Mitsuhiro Sugimoto, Hiromichi Toyota, Ehime Uni, Kazuhisa Sugiyama, Kikuji Hirose, Yuzo Mori

    Precision Science and Technology for Perfect Surface, pp.~929-934　1999年8月　研究論文（学術雑誌）

  698. A Simulation of Removal Process in EEM(Elastic Emission Machining) by ab initio Molecular Orbital Method

    Ryutaro Hosoi, Kikuji Hirose, Kazuto Yamauchi, Kazuhisa Sugiyama, Kouji Inagaki, Kouji Yamamoto, Yuzo Mori

    Transactions of the Materials Research Society of Japan, Vol.~24, No.~2, pp.~229-232　1999年6月　研究論文（学術雑誌）

  699. First-Principles Simulation of Removal Process in EEM(Elastic Emission Machining)

    Kazuto Yamauchi, Kikuji Hirose, Hidekazu Goto, Kazuhisa Sugiyama, Kouji Inagaki, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Yuzo Mori

    Computational Materials Science, Vol.~14, pp.~232-235　1999年4月　研究論文（学術雑誌）

  700. A Simulation of Removal Process in EEM(Elastic Emission Machining) by Ab Initio Molecular Orbital Method

    Ryutaro Hosoi, Kikuji Hirose, Kazuto Yamauchi, Kazuhisa Sugiyama, Koji Inagaki, Koji Yamamoto, Yuzo Mori

    The Materials Research Society of Japan, Symposium 7, 124-124　1998年12月　研究論文（その他学術会議資料等）

  701. Development of New Ultra Precision Machining Methods --- Plasma CVM and EEM ---

    Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano

    First International School on Crystal Growth Technology, pp. 218-228　1998年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  702. EEM (Elastic Emission Machinig) に関する研究 -加工液中の溶存酸素がSiウエハ表面に与える影響-

    山内和人, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 稲垣耕司, 杉山和久, 牧野修之, 森 勇藏

    精密工学会誌, Vol.~64, No.~6, pp.~907-912　Vol. 64　No. 6　p. 907-912　1998年6月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  703. First-principles Analysis of Chemical Reactions between Metal Oxide Fine Powders and Si(100) Surface in EEM(Elastic Emission Machining)

    Kazuto Yamauchi, Kikuji Hirose, Hidekazu Goto, Masao Sakamoto, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Yuzo Mori

    Transactions of the Materials Research Society of Japan, Vol.20, pp.867-870　1996年12月　研究論文（その他学術会議資料等）

  704. First-principles Analysis of Removal Mechanism in EEM(Elastic Emission Machining)

    Kazuto Yamauchi, Kikuji Hirose, Hidekazu Goto, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Yuzo Mori

    Proceedings of 1996 the Japan-China Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering, pp.60-64　1996年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  705. Polishing of Si Wafer by Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)

    Yuzo Mori, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Proceedings of 1996 the Japan-China Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering, pp.65-68　1996年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  706. Slicing of Silicon by Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)

    Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano

    Proceedings of 1996 the Japan-China Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering, pp.69-72　1996年9月　研究論文（その他学術会議資料等）

  707. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第4報) : 光電子増倍管出力特性の定式化とダイナミックレンジの改善法

    安 弘, 森 勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 稲垣耕司, 山村和也, 井上晴行, 佐野泰久

    精密工学会誌　Vol. 62　No. 8　p. 1198-1202　1996年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  708. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第4報) -- 光電子増倍管出力特性の定式化とダイナミックレンジの改善法 --

    安 弘, 森 勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 稲垣耕司, 山村和也, 井上晴行, 佐野泰久

    精密工学会誌, Vol.62, No.8, pp.1198-1202　Vol. 62　No. 8　p. 1198-1202　1996年8月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  709. 次世代を担う原子・電子レベルの先端技術

    森 勇藏, 安武 潔, 遠藤勝義, 山内和人

    精密工学会誌, Vol.62, No.6, pp.766-772　1996年6月

  710. A New Apparatus for Measuring Particle Sizes of the Order of Nanometer (2nd Report) -Evaluation of Measuring System by using Standard Partides-

    Hiroshi AN, Yuzo MORI, Tosihiko KATAOKA, Katsuyoshi ENDO, Kohji INAGAKI, Kazuya YAMAMURA, Kazuto YAMAUCHI, Takashige FUKUIKE

    Int. J. Japan Soc. Prec. Eng. 28 (1994) 356-361.　Vol. 28　No. 4　p. 356-361　1994年12月　研究論文（学術雑誌）

  711. 光反射率スペクトルによる超精密加工表面の評価法の開発

    森 勇藏, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 稲垣耕司, 山村和也, 広瀬喜久治

    精密工学会誌　Vol. 60　No. 9　p. 1360-1364　1994年9月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  712. 水分子と相互作用するシリコン単結晶(001)水素終端化表面の第一原理分子動力学シミュレーション

    広瀬喜久治, 後藤英和, 土屋八郎, 森 勇藏, 遠藤勝義, 山内和人

    精密工学会誌，第60巻，第8号 (1994) pp.1139-1143.　Vol. 60　No. 8　p. 1139-1143　1994年8月　研究論文（学術雑誌）

  713. 材料表面現象の第一原理分子動力学シミュレーション －シリコン単結晶(001)表面の水素終端化反応－

    広瀬喜久治, 後藤英和, 土屋八郎, 森 勇藏, 遠藤勝義, 山内和人

    精密工学会誌，第60巻，第3号 (1994) pp.402-406.　Vol. 60　No. 3　p. 402-406　1994年3月　研究論文（学術雑誌）

  714. Plasma CVM (chemical vaporization machining): an ultra precision machining technique using high-pressure reactive plasma

    Y.Mori, K.Yamamura, K.Yamauchi, K.Yoshii, T.Kataoka, K.Endo, K.Inagaki, H.Kakiuchi

    Nanotechnology, 4, 225-229 (1993)　Vol. 4　No. 4　p. 225-229　1993年10月　研究論文（学術雑誌）

  715. Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining) - An Ultra Precision Machining with High Pressure Reactive Plasma-

    Y.Mori, K.Yamamura, K.Yamauchi, K.Yoshii, T.Kataoka, K.Endo, K.Inagaki, H.Kakiuchi

    TECHNOLOGY RERORTS OF THE OSAKA UNIVERSITY, 43, 261-266 (1993)　1993年10月　研究論文（大学，研究機関等紀要）

  716. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第3報)-標準微粒子による粒径測定法の評価-

    森 勇蔵, 安 弘, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 稲垣耕司, 山内和人, 山村和也, 福池敬重

    59/7,1121　Vol. 59　No. 7　p. 1121-1126　1993年7月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  717. Low Temperature Growth of Polycrystalline Silicon Films by Plasma Chemical Vapor Deposition under Higher Pressure than Atmospheric Pressure

    H.Kawabe, Y.Mori, K.Yoshii, T.Kataoka, K.Yasutake, K.Endo, K.Yamauchi, K.Yamamura, H.Kakiuchi

    Proceeding of 7th International Precision Engineering Seminar, 554-565 (1993)　1993年5月　研究論文（その他学術会議資料等）

  718. Plasma CVM (chemical vaporization machining) -- A Chemical Machining Method With Equal Performances to Conventional Mechanical Methods from the Sense of Removal Rates and Spatial Resolutions

    Y.Mori, K.Yamamura, K.Yamauchi, K.Yoshii, T.Kataoka, K.Endo, K.Inagaki, H.Kakiuchi

    Proceeding of 7th International Precision Engineering Seminar, 78-87 (1993)　1993年5月　研究論文（その他学術会議資料等）

  719. Plasma CVM (chemical vaporization machining) -- A Chemical Machining Method With Equal Performances to Conventional Mechanical Methods from the Sense of Removal Rates and Spatial Resolutins

    Y.Mori, K.Yamamura, K.Yamauchi, K.Yoshii, T.Kataoka, K.Endo, K.Inagaki, H.Kakiuchi

    Proceeding of 7th International Precision Engineering Seminar, 78-87 (1993)　1993年5月

  720. Low Temperature Growth of Polycrystalline Silicon Films by Plasma Chemical Vapor Deposition under Higher Pressure than Atmospheric Pressure

    H.Kawabe, Y.Mori, K.Yoshii, T.Kataoka, K.Yasutake, K.Endo, K.Yamauchi, K.Yamamura, H.Kakiuchi

    Proceeding of 7th International Precision Engineering Seminar, 554-565 (1993)　1993年5月

  721. 超精密加工とマイクロトライボロジー

    森勇藏, 山内和人

    トライボロジスト, 37,11,37-41　Vol. 37　No. 11　p. 913-917　1992年11月　研究論文（学術雑誌）

  722. Ultra-Smooth Surface Machining by Means of Atomistic Processes‐EEM(Elastic Emission Machining) and CVM(Chemical Vaporization Machining)

    Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Toshihiko Kataoka, Katsuyoshi Endo

    Proc.14th Symposium on ULSI ultra clean technology‐Advanced Semiconductor Manufacturing System‐(1991) 123-140.　1991年10月　研究論文（その他学術会議資料等）

  723. New apparatus for measuring particle sizes of the order of nanometer

    Yuzo Mori, Hiroshi An, Katsuyoshi Endo, Kazuto Yamauchi, Takashi Ide

    Bulletin of the Japan Society of Precision Engineering　Vol. 25　No. 3　p. 214-219　1991年9月　研究論文（学術雑誌）

  724. ダイヤモンドと金属の表面原子間の結合力に関する研究

    森 勇藏, 遠藤勝義, 山内和人, 王 暉, 井出 敞, 後藤英和

    精密工学会誌，第57巻，第5号 (1991) pp.881-886.　Vol. 57　No. 5　p. 881-886　1991年5月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  725. 超高真空用大電流イオンビーム表面改質装置の開発

    森 勇藏, 王 暉, 遠藤勝義, 山内和人, 井出 敞, 後藤英和

    精密工学会誌，第57巻，第4号 (1991) pp.674-680.　Vol. 57　No. 4　p. 674-680　1991年4月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  726. A New Apparatus for Measuring Particle Sized of Order of Nanometer

    山内和人

    25/3,214　Vol. 25　No. 3　p. 214-219　1991年　研究論文（学術雑誌）

  727. 摩擦力の原子論的考察(第2報)-弾性接触状態における摩擦力の測定-

    山内和人

    57/6,1017　Vol. 57　p. 1017-1017　1991年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  728. 粉末粒子の静電加速による特殊加工法の研究(第5報)-タングステン微粒子の高速衝撃付着とその界面特性-

    山内和人

    57/6,999　Vol. 57　No. 6　p. 999-999　1991年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  729. 超微粒子の静電高速衝撃による薄膜形成法(第2報)-ダイヤモンド状膜形成の試み-

    山内和人

    57/5,887　Vol. 57　p. 887-887　1991年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  730. 固体表面間の相互作用力に関する研究(第2報)-超高真空中における同種金属間の相互作用力と接触領域-

    山内和人

    57/2,310　Vol. 57　No. 2　p. 310-317　1991年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  731. 極限加工技術

    山内和人

    57/1　1991年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  732. 加工と量子力学

    森 勇藏, 山内和人, 後藤英和, 遠藤勝義

    日本機械学会誌，第93巻，第862号 (1990) pp.773-778.　Vol. 93　No. 862　p. 773-778　1990年1月

    出版者・発行元：日本機械学会

  733. Ultra High Vacuum Compatible Metal Ion Beam Surface Modification System

    山内和人

    61/11,3412　Vol. 61　No. 11　p. 3412-3415　1990年　研究論文（学術雑誌）

  734. Substrate Surface Modification by Ion Irradiation. I : Formation of A Sn Ultra-Thin Films on the SiO┣D22┫D2 Substrate Modificated by Sn┣D1+┫D1 Irradiation

    山内和人

    40/2021,303　1990年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Technol. Repts. of the Osaka Univ.

  735. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第2報)

    山内和人

    56/10,1847　Vol. 56　No. 10　p. 1847-1852　1990年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  736. Observation of Elastic Emission Machined Surfaces by Scanning Tunneling Microscopy

    山内和人

    40/2000,113　1990年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Technol. Repts. of the Osaka Univ.

  737. Design of a Large Current Liquid Metal Ion Source

    山内和人

    40/2000,113　Vol. 61　No. 7　p. 1874-1879　1990年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

  738. 加工と量子論

    山内和人

    93　1990年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：日本機械工学会誌

  739. Sub-Band-Gap Surface Photovoltage in Finely-Polished Si

    山内和人

    40　1990年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Technology Reports of Osaka University

  740. A Design of Large Current Ion Gun Empolying Liquid Metal Ion Source

    山内和人

    61　Vol. 61　No. 7　p. 1874-1879　1990年　研究論文（学術雑誌）

  741. Evaluation of Elastic Emission Machined Surfaces by Scanning Tunneling Microscopy

    山内和人

    40　Vol. 8　No. 1　p. 621-624　1990年　研究論文（学術雑誌）

  742. NEW MACHINING METHOD FOR MAKING PRECISE AND VERY SMOOTH MIRROR SURFACES MADE FROM CU AND AL-ALLOYS FOR SYNCHROTRON RADIATION OPTICS

    Y HIGASHI, T MEIKE, J SUZUKI, Y MORI, K YAMAUCHI, K ENDO, H NAMBA

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　Vol. 60　No. 7　p. 2120-2123　1989年7月　研究論文（学術雑誌）

  743. Elastic Emission Machining

    Yuzo Mori, Kazuto Yamauchi, Katsuyoshi Endo

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 55　No. 3　p. 480-484　1989年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：Prec. Engineering

  744. 熱化学反応を用いたSi3N4の除去加工

    土屋八郎, 後藤英和, 森 勇藏, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 西 雅文

    精密工学会誌，第54巻，第1号 (1988) pp.96-100.　Vol. 54　No. 1　p. 96-100　1988年1月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  745. Designing a New Apparatus for Measuring Particle Sizes of the Order of Nanometer by Light-Scattering

    山内和人

    38/1924,135　Vol. 54　No. 11　p. 2132-2137　1988年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Technol. Repts. of the Osaka Univ.

  746. Sintering Mechanism II-Influence Atmospheric Gas on Neck Growth-

    山内和人

    38/1923,127　1988年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Technol. Repts. of the Osaka Univ.

  747. Sintering Mechanism I-A New Sintering Equation.

    山内和人

    38/1922,119　1988年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Technol. Repts. of the Osaka Univ.

  748. 熱化学反応を用いたSi┣D23┫D2N┣D24┫D2の除去加工

    山内和人

    54/1,96　Vol. 54　No. 1　p. 96-100　1988年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  749. Mechanism of Atomic Removal in Elastic Emission Machining

    山内和人

    10　Vol. 10　No. 1　p. 24-28　1988年　研究論文（学術雑誌）

  750. CO2レーザによるSiおよびSi3N4表面酸化反応層の形成と表面層の除去機構

    土屋八郎, 後藤英和, 森 勇藏, 広瀬喜久治, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 西 雅文

    精密工学会誌，第53巻，第11号 (1987) pp.107-113.　Vol. 53　No. 11　p. 1765-1771　1987年11月　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  751. CO┣D22┫D2レーザーによるSiおよびSi┣D23┫D2N┣D24┫D2表面酸化反応層の形成と表面の除去機構

    山内和人

    53/11,1765　Vol. 53　No. 11　p. 1765-1771　1987年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  752. Elastic Emission Machining

    山内和人

    9/3,123　Vol. 9　No. 3　p. 123-128　1987年　研究論文（学術雑誌）

  753. 焼結機構(II)-雰囲気ガスのネック成長におよぼす影響-

    山内和人

    33/6,296　Vol. 33　No. 6　p. 296-301　1986年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：粉体および粉末冶金

  754. 焼結機構(I)-新しい焼結式の提案-

    山内和人

    33/6,291　Vol. 33　No. 6　p. 291-295　1986年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：粉体および粉末冶金

  755. 原子の大きさに迫る加工

    山内和人

    51/1,12　1985年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密工学会誌

  756. EEM(Elastic Emission Machining)の基礎研究(第2報)-応力場から見た格子欠陥の発生,増殖の可能性-

    山内和人

    51/6,1187　Vol. 51　No. 6　p. 1187-1194　1985年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密機械

  757. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工法-流体中の粉末の挙動と加工特性-

    山内和人

    51/5,1033　Vol. 51　No. 5　p. 1033-1039　1985年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密機械

  758. A High-Accuracy Method for Merasuring Surface Profile

    山内和人

    35/1792,83　1985年　研究論文（大学，研究機関等紀要）

    出版者・発行元：Technol. Repts. of Osaka Univ.

  759. Development of High-Accuracy Profile Measuring System for Focusing Mirror of SOR (Synchrotron Drbital Radiation)

    山内和人

    19　Vol. 19　No. 2　p. 108-108　1985年

    出版者・発行元：Bulletin of the Jpan Society of Preclsion Engineering

  760. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工法-流体の挙動と膜厚分布-

    山内和人

    49/11,1540　Vol. 49　No. 11　p. 1540-1548　1983年　研究論文（学術雑誌）

    出版者・発行元：精密機械

MISC 355

  1. Advanced KBミラーに基づく硬X線自由電子レーザーsub-10nm集光システム

    山田純平, 松山智至, 井上陽登, 伊藤篤輝, 田中優人, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 犬伏雄一, 湯本博勝, 湯本博勝, 小山貴久, 小山貴久, 大橋治彦, 大橋治彦, 山内和人, 矢橋牧名, 矢橋牧名

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　Vol. 35th　2022年

  2. 大気圧プラズマによる表面処理を利用した常温接合技術の開発

    櫛川新太, 西岡柚香, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2022　2022年

  3. 水素ガスを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウム基板の高能率エッチング

    中上元太, 崔泰樹, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2022　2022年

  4. 紫外光照射を援用した触媒表面基準エッチング法を用いた窒化ガリウム基板の高能率平滑化

    萱尾澄人, 藤大雪, 山田純平, 山内和人, 佐野泰久

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2022　2022年

  5. 結像型X線顕微鏡を用いた位相イメージング手法の開発

    田中優人, 松山智至, 松山智至, 井上陽登, 山田純平, 山田純平, 木村隆志, 志村まり, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    Optics & Photonics Japan講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 2021　2021年

  6. 完全結晶表面を作製した成長用単結晶基板上での50nmVO2極薄の相転移特性の評価

    大坂藍, BUI Van Pho, 山内和人, 田中秀和, 服部梓

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2021　2021年

  7. MgO(001)完全表面基板上でのFe3O4極薄膜の金属絶縁体相転移特性向上

    大坂藍, 山内和人, 服部賢, 田中秀和, 服部梓

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 68th　2021年

  8. Wolter III型advanced KBミラーによるXFEL sub-10nm集光光学系の開発

    山田純平, 松山智至, 松山智至, 井上陽登, 中村南美, 田中優人, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 犬伏雄一, 犬伏雄一, 湯本博勝, 湯本博勝, 小山貴久, 小山貴久, 大橋治彦, 大橋治彦, 山内和人, 矢橋牧名, 矢橋牧名

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　Vol. 34th　2021年

  9. 触媒表面基準エッチング法を用いた高分子材料表面の高精度平坦化手法-ポリカーボネートの加工特性評価-

    竹田広大, 藤大雪, 佐野泰久, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2021　2021年

  10. SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマによるSiC-MOSFETの裏面薄化におけるデバイス性能への影響の調査

    大島政明, 中西悠真, 藤大雪, 松山智至, 山内和人, 佐野泰久

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2021　2021年

  11. 触媒表面基準エッチング法におけるシリコンの除去機構の解明

    板垣果歩, 萩原拓, 萱尾清人, VAN PHO Bui, 藤大雪, 佐野泰久, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2021　2021年

  12. X線自由電子レーザー用sub10nm集光システムの開発-高反射率多層膜ミラーの作製-

    井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　Vol. 33rd　2020年

  13. X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発 格子干渉計を用いたX線波面計測法の検証

    中村南美, 松山智至, 山田純平, 井上陽登, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2020　2020年

  14. WolterIII型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発(第2報)-高反射率多層膜の作製と差分成膜による形状修正-

    井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2020　2020年

  15. WolterIII型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発(第3報)-差分成膜によるX線ミラーの高精度形状修正およびSPring-8における性能評価-

    井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 田中優人, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2020　2020年

  16. 完全結晶基板上に成長したFe3O4極薄膜金属-絶縁体相転移特性

    大坂藍, 服部梓, 田中秀和, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

    日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web)　Vol. 2020　2020年

  17. X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発(第2報)蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法の実証

    中村南美, 松山智至, 井上陽登, 井上伊知郎, 大坂泰斗, 山田純平, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2019　2019年

  18. Wolter III型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発

    井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2019　2019年

  19. X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発-蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法の検討-

    中村南美, 松山智至, 井上陽登, 井上伊知郎, 大坂泰斗, 山田純平, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2019　2019年

  20. X線自由電子レーザー用sub10nm集光システムの開発-新しいビーム径診断法を用いた精密ミラーアライメント-

    井上陽登, 松山智至, 中村南美, 湯本博勝, 犬伏雄一, 犬伏雄一, 小山貴久, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 登野健介, 登野健介, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　Vol. 32nd　2019年

  21. X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発

    中村南美, 松山智至, 井上陽登, 湯本博勝, 犬伏雄一, 犬伏雄一, 小山貴久, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 登野健介, 登野健介, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2018　2018年

  22. X線自由電子レーザー用sub10nm集光システムの開発波面計測法とビームキャラクタリゼーション法の検討

    井上陽登, 松山智至, 川合蕉吾, 湯本博勝, 犬伏雄一, 小山貴久, 大坂泰斗, 大橋治彦, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　Vol. 31st　2018年

  23. 大開口数多層膜集光ミラーを用いたsub-10nm集光システムの開発

    川合蕉吾, 松山智至, 井上陽登, 湯本博勝, 犬伏雄一, 小山貴久, 大坂泰斗, 大橋治彦, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　Vol. 31st　2018年

  24. 多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発(第二報)-スペックルを利用したミラーアライメント調整精度の検討-

    井上陽登, 松山智至, 中村南美, 湯本博勝, 犬伏雄一, 犬伏雄一, 小山貴久, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 登野健介, 登野健介, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2018　2018年

  25. 放射光科学のための高精度X線ミラーの開発

    山内 和人

    応用物理　Vol. 86　No. 10　p. 862-866　2017年10月

    出版者・発行元：応用物理学会

  26. 触媒表面を基準面とする化学研磨法の開発 (特集 SiC研磨技術の現状と新加工法)

    佐野 泰久, 有馬 健太, 山内 和人

    Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology　Vol. 61　No. 8　p. 426-429　2017年8月

    出版者・発行元：砥粒加工学会

  27. 高エネルギー密度科学のための新しい実験ステーション

    松岡健之, 尾崎典雅, 犬伏雄一, 富樫格, 籔内俊毅, 佐野智一, 末田敬一, 松山智至, 山内和人, 湯本博勝, 大橋治彦, 羽原英明, 冨澤宏光, 冨澤宏光, 小川奏, 高橋謙次郎, 宮西宏併, 佐藤尭洋, 松田朋己, 近藤良彦, 林圭輔, 佐藤友哉, 喜田美佳, 小川剛史, 山下真直, 丹下慶範, 奥地拓生, KOENIG Michel, 佐藤友子, 関根利守, 瀬戸雄介, 野間澄人, 西川豊人, 大月崇史, 南卓海, FAENOV Anatoly, PIKUZ Tatiana, 松山法央, 坂田修身, 佐野雄二, 廣田圭一, 藤田敏之, 久保達也, 政木清孝, 田中和夫, 石川哲也, 石川哲也, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 兒玉了祐

    日本物理学会講演概要集(CD-ROM)　Vol. 72　No. 1　2017年

  28. XFEL用集光光学系のための精密波面計測法の開発

    井上陽登, 松山智至, 川合蕉吾, 湯本博勝, 犬伏雄一, 小山貴久, 登野健介, 大橋治彦, 大坂泰斗, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2017　2017年

  29. X線自由電子レーザーナノ集光用の大開口数多層膜集光ミラーの開発

    川合蕉吾, 松山智至, 井上陽斗, 湯本博勝, 犬伏雄一, 小山貴久, 登野健介, 大橋治彦, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　Vol. 30th　2017年

  30. 光電気化学酸化を利用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウムの高能率平坦化

    木田英香, 藤大雪, 中平雄太, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2017　2017年

  31. Pit Formation, Patterning and Flattening of Ge Surfaces in O2-Containing Water by Metal-Assisted Chemical Etching

    Tatsuya Kawase, Atsushi Mura, Yusuke Saito, Takeshi Okamoto, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita, Kenta Arima

    ECS Transactions　Vol. 75　No. 1　p. 107-112　2016年9月

  32. 形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系を用いた任意サイズ硬X線集光ビームの形成

    後藤拓実, 中森紘基, 中森紘基, 松山智至, 木村隆志, KHAKUREL Krishna Prasad, 佐野泰久, 香村芳樹, 西野吉則, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 29th　2016年1月9日

  33. 硬X線用楕円面集光ミラー作製法と集光特性

    湯本博勝, 小山貴久, 松山智至, 香村芳樹, 山内和人, 石川哲也, 大橋治彦, 大橋治彦

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 29th　2016年

  34. 多層膜集光ミラーを用いたX線自由電子レーザーsub10nm集光の実現

    川合蕉吾, 松山智至, 金章雨, 西原明彦, 湯本博勝, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 片山拓也, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 29th　2016年

  35. 多層膜ミラーを用いたX線自由電子レーザーのナノビーム形成

    川合蕉吾, 松山智至, 湯本博勝, 犬伏雄一, 小山貴久, 登野健介, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2016　2016年

  36. GaN表面CARE加工の反応メカニズムの第一原理計算による解析 II-表面キンクサイト周辺のH2O終端構造-

    稲垣耕司, BUI Pho Van, 礒橋藍, 藤大雪, 森川良忠, 山内和人

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 63rd　2016年

  37. WeC-2-5 HIGH-EFFICIENCY PLANARIZATION METHOD FOR HARD-TO-MACHINE SEMICONDUCTOR SUBSTRATES COMBINING MECHANICAL POLISHING AND ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMA ETCHING

    Sano Yasuhisa, Shiozawa Kousuke, Doi Toshiro, Kurokawa Syuhei, Aida Hideo, Miyashita Tadakazu, Yamauchi Kazuto

    Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE　Vol. 2015　p. "WeC-2-5-1"-"WeC-2-5-3"　2015年6月14日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  38. 硬X線集光用形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系の開発

    後藤拓実, 中森紘基, 松山智至, 木村隆志, Khakurel Krishna, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 西野吉則, 山内和人

    アブストラクト集　Vol. 2015　No. 0　p. 1047-1048　2015年3月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  39. Development of non‐interferometric, single‐shot quantitative phase imaging.

    KHAKUREL Krishna Prasad, KIMURA Takashi, JOTI Yasumasa, MATSUYAMA Satoshi, YAMAUCHI Kazuto, NISHINO Yoshinori

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 28th　2015年1月10日

  40. 多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーのナノ集光位相回折格子を用いた波面計測法によるビーム評価

    西原明彦, 松山智至, KIM Jangwoo, 湯本博勝, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 片山拓也, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　2015年

  41. 形状可変ミラーを用いた二段Kirkpatrick-Baezミラー集光光学系による硬X線集光ビームの形成

    後藤 拓実, 中森 紘基, 松山 智至, 木村 隆志, Khakurel Krishna, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 西野 吉則, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　No. 0　p. 703-704　2015年

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  42. Special issue on atomically controlled fabrication technology

    Yukio Takahashi, Yuji Kuwahara, Kazuto Yamauchi

    NANOSCALE RESEARCH LETTERS　Vol. 9　2014年5月　その他

  43. 高精度X線光学素子のためのコーティング膜の開発

    小山貴久, 道先裕志, 湯本博勝, 金章雨, 松山智至, 山内和人, 矢橋牧名, 大橋治彦

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 27th　2014年

  44. 高精度形状計測法と非球面加工法を利用した硬X線楕円面集光ミラーの形状修正

    湯本博勝, 小山貴久, 松山智至, 山内和人, 大橋治彦, 大橋治彦

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 27th　2014年

  45. 硬X線用部分回転楕円面集光ミラーのための表面加工プロセスの開発

    湯本博勝, 湯本博勝, 小山貴久, 小山貴久, 松山智至, 山内和人, 大橋治彦, 大橋治彦

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2014　2014年

  46. 硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの作製-高精度非球面加工法によるミラー表面の形状修正加工-

    湯本博勝, 湯本博勝, 小山貴久, 小山貴久, 松山智至, 山内和人, 大橋治彦, 大橋治彦

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2014　2014年

  47. 硬X線自由電子レーザーシングルナノ集光用Pt/C多層膜の破壊特性評価

    金章雨, 長平良綾香, 松山智至, 福井亮介, 西原明彦, 小山貴久, 湯本博勝, 佐野泰久, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 27th　2014年

  48. 二次元位相回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測

    西原明彦, 福井亮介, 松山智至, KIM Jangwoo, 長平良綾香, 湯本博勝, 三村秀和, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 片山拓也, 富樫格, 矢代航, 佐野泰久, 大橋治彦, 百生敦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2014　2014年

  49. 位相回折格子を用いたX線レーザナノビームの波面計測法の研究-フーリエ変換法と縞走査法の2つの解析法の検討-

    西原明彦, 松山智至, 金章雨, 長平良綾香, 湯本博勝, 三村秀和, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 片山拓也, 富樫格, 矢代航, 佐野泰久, 大橋治彦, 百生敦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2014　2014年

  50. チェス盤回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測

    西原明彦, 福井亮介, 松山智至, 金章雨, 長平良綾香, 湯本博勝, 三村秀和, 小山貴久, 登野健介, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 片山拓也, 富樫格, 矢代航, 佐野泰久, 大橋治彦, 百生敦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 27th　2014年

  51. Atomic Structure and Catalytic Activity of W-Modified Ni2P Surface Alloy by Photoelectron Diffraction and Spectroscopy

    H. Matsui, F. Matsui, N. Maejima, T. Matsushita, T. Okamoto, A. N. Hattori, Y. Sano, K. Yamauchi, H. Daimon

    e-Journal of Surface Science and Nanotechnology　Vol. 12　p. 53-56　2014年　速報，短報，研究ノート等（学術雑誌）

  52. Development of non‐interferometric single‐shot quantitative phase imaging

    KHAKUREL Krishna Prasad, KIMURA Takashi, JOTI Yasumasa, MATSUYAMA Satoshi, YAMAUCHI Kazuto, NISHINO Yoshinori

    Abstracts. RIES-Hokudai International Symposium　Vol. 15th　p. 77-78　2014年

  53. グローバルCOEプログラムを振り返って―自然現象の精緻さによって製造技術をかえる―

    山内和人

    精密工学会誌　Vol. 80　No. 1　p. 47-51　2014年1月

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  54. Abrasive-Free Polishing of SiC Wafer Utilizing Catalyst Surface Reaction

    Y. Sano, K. Arima, K. Yamauchi

    ECS Transactions　Vol. 58　No. 4　p. 447-453　2013年10月

    出版者・発行元：Electrochemical Society Inc.

  55. X線自由電子レーザー集光技術の現状と将来

    山内和人

    高圧力の科学と技術　Vol. 23　No. 3　p. 220-226　2013年9月

    出版者・発行元：The Japan Society of High Pressure Science and Technology

  56. X線ナノ集光の最前線とX線補償光学

    山内 和人

    光学　Vol. 42　No. 6　p. 296-302　2013年6月10日

    出版者・発行元：応用物理学会分科会日本光学会

  57. Scanning Protein Analysis of Electrofocusing Gels using X-ray Fluorescence

    S. Matsuyama, A. Matsunaga, S. Sakamoto, Y. Iida, Y. Suzuki, Y. Ishizaka, K. Yamauchi, T. Ishikawa, M. Shimura

    Metallomics　Vol. 5　No. 5　p. 492-500　2013年5月

  58. ウエットエッチングによる原子スケール平坦化 : 触媒表面基準エッチング法の開発 (表面改質による材料の新規性発現とその応用)

    山内 和人, 佐野 泰久, 有馬 健太

    応用物理　Vol. 82　No. 5　p. 403-406　2013年5月

    出版者・発行元：応用物理学会

  59. ウエットエッチングによる原子スケール平坦化 触媒表面基準エッチング法の開発

    山内和人, 佐野泰久, 有馬健太

    応用物理学会誌　Vol. 82　No. 5　p. 403-406　2013年5月

    出版者・発行元：応用物理学会

  60. I-2-1 触媒表面反応を利用した新しい研磨法によるGaN基板表面の平坦化(窒化物半導体デバイスの精密加工プロセス-結晶基板の将来加工技術-,口頭発表)

    佐野 泰久, 定國 峻, 浅野 博弥, 八木 圭太, 有馬 健太, 山内 和人

    IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集　Vol. 2013　p. 22-23　2013年3月20日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  61. 部分回転楕円面ミラーによる硬X線集光光学系の開発-波動光学集光シミュレーターと表面形状計測法-

    湯本博勝, 小山貴久, 松山智至, 山内和人, 大橋治彦, 大橋治彦

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2013　2013年

  62. 波動光学シミュレーターを用いた部分回転楕円面ミラーによる硬X線集光特性の検討

    湯本博勝, 小山貴久, 松山智至, 山内和人, 大橋治彦, 大橋治彦

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 26th　2013年

  63. XFELマイクロビームによる光学材料アブレーション試験

    小山貴久, 湯本博勝, 仙波泰徳, 登野健介, 富樫格, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 松山智至, 金章雨, 木村隆志, 三村秀和, 山内和人, 矢橋牧名, 大橋治彦, 石川哲也

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 26th　2013年

  64. Study of Terminated Species on 4H-SiC (0001) Surface Planarized by Catalyst-Referred Etching

    P. V. Bui, S. Sadakuni, T. Okamoto, K. Arima, Y. Sano, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 740-724　p. 510-513　2013年1月

  65. Study on Reactive Species in Catalyst-Referred Etching of 4H-SiC using Platinum and Hydrofluoric Acid

    A. Isohashi, Y. Sano, T. Okamoto, K. Tachibana, K. Arima, K. Inagaki, K. Yagi, S. Sadakuni, Y. Morikawa, K. Yamauchi

    Materials Science Forum　Vol. 740-742　p. 847-850　2013年1月

  66. X線自由電子レーザー集光技術の現状と将来

    山内 和人

    高圧力の科学と技術 = The Review of high pressure science and technology　Vol. 23　No. 3　p. 220-226　2013年

  67. The 4th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology Preface

    Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura

    CURRENT APPLIED PHYSICS　Vol. 12　p. S1-S1　2012年12月　その他

  68. 半導体SiC基板の新しい研磨技術 : 触媒表面反応を利用した研磨技術の開発(<小特集>話題の材料を活かす加工技術)

    八木 圭太, 辻村 学, 佐野 泰久, 山内 和人

    日本機械学會誌　Vol. 115　No. 1128　p. 767-771　2012年11月5日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  69. 触媒表面基準エッチングによる単結晶SiC, GaN表面の平滑化

    山内和人, 佐野泰久, 有馬健太

    精密工学会誌　Vol. 78　No. 11　p. 947-951　2012年11月

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  70. C08 Elastic emission machining の加工点における粉末粒子挙動(OS10 班磨技術(2))

    金岡 政彦, 野村 和司, 山内 和人, 森 勇藏

    生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会　Vol. 2012　No. 9　p. 143-144　2012年10月27日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  71. 触媒表面基準エッチングによる単結晶SiC, GaN, ZnO表面の平滑化

    山内 和人, 佐野 泰久, 有馬 健太

    表面科学 : hyomen kagaku = Journal of the Surface Science Society of Japan　Vol. 33　No. 6　p. 334-338　2012年6月10日

    出版者・発行元：日本表面科学会

  72. 触媒表面基準エッチングによる単結晶SiC、GaN表面の平滑化 (特集 先端部品のための高付価値研磨・切断加工技術)

    山内 和人, 佐野 泰久, 有馬 健太

    機械技術　Vol. 60　No. 5　p. 37-41　2012年5月

    出版者・発行元：日刊工業出版プロダクション

  73. SACLAにおける1μmコヒーレント集光装置の開発

    三村 秀和, 湯本 博勝, 小山 貴久, 大橋 治彦, 石川 哲也, 山内 和人

    放射光　Vol. 25　No. 2　p. 76-81　2012年3月31日

    出版者・発行元：日本放射光学会

  74. 放射光X線ミラーのための高精度非球面加工装置の開発

    湯本博勝, 松山智至, 三村秀和, 山内和人, 大橋治彦

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2012　2012年

  75. SACLA硬X線自由電子レーザービームラインにおける1μm集光用KBミラー光学系の開発

    湯本博勝, 小山貴久, 三村秀和, 八須洋輔, 木村隆志, 横山光, 金章雨, 松山智至, 佐野泰久, 登野健介, 富樫格, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 矢橋牧名, 大橋治彦, 大橋治彦, 大森整, 山内和人, 石川哲也

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 25th　2012年

  76. 触媒表面基準エッチングによる単結晶SiC，GaN，ZnO表面の平滑化

    山内 和人, 佐野 泰久, 有馬 健太

    表面科学　Vol. 33　No. 6　p. 334-338　2012年

    出版者・発行元：The Surface Science Society of Japan

  77. SiC基板表面の原子レベル平坦化

    佐野泰久, 有馬健太, 山内和人

    光技術コンタクト　Vol. 49　No. 12　p. 22-27　2011年12月

    出版者・発行元：日本オプトメカトロニクス協会

  78. Graphene Formation on 4H-SiC(0001) Surface Flattened by Catalyst-Assisted Chemical Etching in HF Solution

    Keisuke Nishitani, Hiroki Sakane, Azusa N. Hattori, Takeshi Okamoto, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita, Kenta Arima

    ECS Transactions, State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors 53 (SOTAPOCS 53)　Vol. 41　No. 6　p. 241-248　2011年10月

  79. 二次元硬X線 Sub-10nm 集光システムの構築

    木村 隆志, 三村 秀和, 横山 光, 今井 将太, 湯本 博勝, 松山 智至, 香村 芳樹, 西野 吉則, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    放射光　Vol. 24　No. 2　p. 102-103　2011年3月31日

  80. 硬X線集光用高精度形状可変ミラーの作製と評価

    今井将太, 木村隆志, 三村秀和, 横山光, 湯本博勝, 松山智至, 香村芳樹, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 24th　2011年1月7日

  81. KBミラー集光X線を用いた高分解能走査型回折顕微法の開発

    鈴木明大, 高橋幸生, 堤良輔, 西野吉則, 松原英一郎, 山内和人, 石川哲也

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 24th　2011年1月7日

  82. 試料厚さの効果を考慮した高分解能コヒーレントX線回折顕微法

    高橋幸生, 堤良輔, 西野吉則, 是津信行, 松原英一郎, 山内和人, 石川哲也

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 24th　2011年1月7日

  83. コヒーレントイメージングの現状と展望

    西野吉則, 田中義人, 伊藤基巳紀, 高橋幸生, 三村秀和, 松山智至, 前島一博, 志村まり, 城地保昌, 苙口友隆, 別所義隆, 竹内昌治, 岡田真, 岡谷基弘, 野崎公彦, 大路祐介, 松下雄多, 堤良輔, 矢橋牧名, 永園充, 富樫格, 大橋治彦, 松井真二, 松原英一郎, 山内和人, 石川哲也

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 24th　2011年1月7日

  84. Surface replication with one-nanometer-level smoothness by a nickel electroforming process

    MIMURA Hidekazu, MATSUYAMA Satoshi, SANO Yasuhisa, YAMAUCHI Kazuto

    International journal of electrical machining　No. 16　p. 21-25　2011年1月1日

  85. 高能率高精度Ｘ線ミラー加工のためのIBF(Ion Beam Figuring)システムの開発

    北村 真一, 松山 智至, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 513-514　2011年

  86. 硬X線自由電子レーザー用オートコリレータに用いるSi ビームスプリッタの作製・評価

    大坂 泰斗, 矢橋 牧名, 佐野 泰久, 登野 健介, 犬伏 雄一, 佐藤 尭洋, 三村 秀和, 松山 智至, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 511-512　2011年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  87. シャドウマスクを用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)によるSiC 基板の切断加工の検討

    西川 央明, 佐野 泰久, 会田 浩平, 山村 和也, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 509-510　2011年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  88. 硬X 線集光用ナノ精度形状可変ミラーの開発（第２報）:形状可変ミラーを用いた波面制御の結果

    今井 将太, 木村 隆志, 三村 秀和, 横山 光, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 497-498　2011年

  89. シミュレーションを用いた硬X線用形状可変ミラー設計に関する研究

    中森 紘基, 松山 智至, 今井 将太, 木村 隆志, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 495-496　2011年

  90. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発:放射光を用いたX線ミラー評価

    松山 智至, 脇岡 敏之, 木谷 直隆, 横山 光, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 493-494　2011年

  91. 多層膜ミラーによる硬X線Sub-10nm集光と顕微鏡への応用

    三村 秀和, 木村 隆志, 横山 光, 今井 将太, 湯本 博勝, 松山 智至, 佐野 泰久, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 491-492　2011年

  92. SiC 基板表面の原子レベル平坦化技術（キーノートスピーチ）

    佐野 泰久, 有馬 健太, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2011　No. 0　p. 373-374　2011年

  93. 電鋳プロセスによるナノ精度形状転写法の開発 第1報 : 多孔質裏打ち電鋳法の提案と実証

    三村 秀和, 石倉 寛之, 山内 和人

    電気加工学会全国大会講演論文集　Vol. 2010　p. 47-48　2010年11月25日

  94. 電鋳プロセスによるナノ精度形状転写法の開発 第2報 : 電析条件の高精度化と安定化

    三村 秀和, 石倉 寛之, 山内 和人

    電気加工学会全国大会講演論文集　Vol. 2010　p. 49-50　2010年11月25日

  95. 高分解能コヒーレントX線回折顕微法による金属ナノ粒子の三次元電子密度マッピング

    高橋幸生, 是津信行, 堤良輔, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎

    日本金属学会講演概要　Vol. 147th　2010年9月25日

  96. 超平坦化加工を施した4H-SiC(0001)表面 : 高品質グラフェン作製への応用

    服部 梓, 岡本 武志, 定國 峻, 村田 順二, 有馬 健太, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 山内 和人

    表面科学 : hyomen kagaku = Journal of the Surface Science Society of Japan　Vol. 31　No. 9　p. 466-473　2010年9月10日

    出版者・発行元：The Surface Science Society of Japan

  97. P3002-(4) 高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点「自然現象の精緻さによって製造技術をかえる」(【P3002】世界で活躍する若手研究者の育成に向けた大学院博士課程教育,特別企画)

    山内 和人

    年次大会講演資料集　Vol. 2010　No. 9　p. 39-41　2010年9月4日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  98. 24aPS-73 4H-SiC(0001)上のグラフェン形成過程の追跡と層分解構造解析(24aPS 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

    松井 公佑, 松井 文彦, 橋本 美絵, 後藤 謙太郎, 西嘉山 徳之, 前島 尚行, 田中 攻, 松下 智裕, 加藤 有香子, 岡本 武志, 服部 梓, 佐野 泰久, 山内 和人, 大門 寛

    日本物理学会講演概要集　Vol. 65　No. 2　p. 855-855　2010年8月18日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  99. High-resolution TEM observation of SiC surface flattened by catalyst referred etching

    S. Sadakuni, N. X. Dai, Y. Sano, K. Arima, A. N. Hattori, K. Yagi, J. Murata, T. Okamoto, K. Tachibana, K. Yamauchi

    Abstract Booklet of the 8th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials　Vol. 2010　No. 0　p. 303-304　2010年8月

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  100. 大気圧プラズマによるエッチングを応用した種々の加工法とその特性 (特集 最近の興味深いビーム加工技術と将来動向)

    佐野 泰久, 山村 和也, 山内 和人

    光技術コンタクト　Vol. 48　No. 6　p. 260-265　2010年6月

    出版者・発行元：日本オプトメカトロニクス協会

  101. 触媒表面を基準面とする化学研磨法の開発

    佐野 泰久, 有馬 健太, 山内 和人, サノ ヤスヒサ, アリマ ケンタ, ヤマウチ カズト

    大阪大学低温センターだより　Vol. 150　p. 22-27　2010年4月

    出版者・発行元：大阪大学低温センター

  102. 硬X線ナノ集光ビーム用波面誤差算出法の開発

    木村 隆志, 三村 秀和, 半田 宗一郎, 湯本 博勝, 山川 大輔, 松山 智至, 佐野 泰久, 玉作 賢治, 西野 吉則, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    放射光　Vol. 23　No. 2　p. 119-121　2010年3月31日

    出版者・発行元：日本放射光学会

  103. 高分解X線ナノプローブ顕微鏡を用いた細胞内元素分布イメージング

    志村まり, 前島一博, 松山智至, 松浦孝枝, 岡村匡史, 飯田豊, 萩原將太郎, 齋藤彰, 玉作賢治, 西野吉則, 湯本博勝, 三村秀和, 山内和人, 石川哲也, 石坂幸人

    日本薬学会年会要旨集　Vol. 130th　No. 1　2010年3月5日

  104. Ｘ線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発-形状修正加工の高分解能化とＸ線集光ミラーへの適応

    三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

    精密工学会誌　Vol. 76　No. 3　p. 338-342　2010年3月

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  105. 22pGQ-6 超平坦化加工した4H-SiC(0001)表面上のグラフェン(22pGQ 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))

    服部 梓, 岡本 武志, 定国 峻, 村田 順二, 有馬 健太, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 山内 和人

    日本物理学会講演概要集　Vol. 65　No. 1　p. 957-957　2010年3月1日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  106. 21pPSA-27 4H-SiC(0001)表面上のグラフェン形成過程の組成・構造解析(21pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

    松井 公佑, 松井 文彦, 橋本 美絵, 後藤 謙太郎, 西嘉山 徳之, 前島 尚行, 田中 攻, 松下 智裕, 加藤 有香子, 岡本 武志, 服部 梓, 佐野 泰久, 山内 和人, 大門 寛

    日本物理学会講演概要集　Vol. 65　No. 1　p. 949-949　2010年3月1日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  107. 原子レベルで平坦な表面の創成技術

    佐野泰久, 原英之, 有馬健太, 山内和人

    トライボロジスト　Vol. 55　No. 3　p. 148-153　2010年3月

  108. X線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発-形状修正加工の高分解能化とX線集光ミラーへの適応-

    三村秀和, 三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人, 山内和人

    精密工学会誌(CD-ROM)　Vol. 76　No. 3　2010年

  109. 結像型X線顕微鏡のための4枚ミラー反射型結像光学系の開発

    松山智至, 藤井正輝, 脇岡敏之, 木谷直隆, 三村秀和, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　Vol. 23rd　2010年1月

  110. ２本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計:非球面凹面ミラーの表面形状計測精度

    小川 尚利, 中野 元博, 押鐘 寧, 井上 晴行, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 741-742　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  111. PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いた2インチSiC基板の全面加工

    会田 浩平, 佐野 泰久, 西川 央明, 山村 和也, 三村 秀和, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 735-736　2010年

  112. EEM(elastic emission machining)の曲面加工への適用

    金岡 政彦, 瀧野 日出雄, 野村 和司, 三村 秀和, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 733-734　2010年

  113. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    脇岡 敏之, 松山 智至, 木谷 直隆, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 721-722　2010年

  114. 硬X線集光用ナノ精度形状可変ミラーの開発

    今井 将太, 木村 隆志, 三村 秀和, 横山 光, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 719-720　2010年

  115. 4枚の非球面ミラーを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発

    松山 智至, 脇岡 敏之, 木谷 直隆, 三村 秀和, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 717-718　2010年

  116. 多層膜ミラーによるSub-10nm硬Ｘ線集光システムの開発

    三村 秀和, 木村 隆志, 横山 光, 今井 将太, 湯本 博勝, 松山 智至, 佐野 泰久, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 715-716　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  117. 数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法の開発:多電極型プラズマ発生装置の試作と評価

    吉永 圭之介, 上坂 翔平, 佐野 泰久, 三村 秀和, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 309-310　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  118. 多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築

    三村 秀和, 石倉 寛之, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 305-306　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  119. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    脇岡 敏之, 松山 智至, 藤井 正輝, 木谷 直隆, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 291-292　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  120. 大型ミラーによる硬Ｘ線集光システムの開発と集光特性の評価

    今井 将太, 山川 大輔, 三村 秀和, 木村 隆志, 八須 洋輔, 大森 整, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 289-290　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  121. 硬Ｘ線ミラー用多層膜の作製と評価

    横山 光, 半田 宗一郎, 三村 秀和, 木村 隆志, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 287-288　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  122. ELID研削による石英長尺ミラーの製作

    八須 洋輔, 上原 嘉宏, 大森 整, 林 偉民, 三村 秀和, 山川 大輔, 木村 隆志, 山内 和人, 高橋 豊, 山田 大輔

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 263-264　2010年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  123. 硬X線ナノ集光ビーム用波面誤差算出法の開発

    木村隆志, 三村秀和, 半田宗一郎, 湯本博勝, 山川大輔, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治, 西野吉則, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 23rd　2009年12月10日

  124. KBミラー放射光集光X線を用いた高分解能コヒーレントX線回折顕微法の開発

    堤良輔, 高橋幸生, 西野吉則, 久保英人, 榊茂之, 三村秀和, 松山智至, 是津信行, 石川哲也, 松原英一郎, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 23rd　2009年12月10日

  125. KBミラー集光X線を用いたコヒーレントX線回折顕微法の応用

    久保英人, 高橋幸生, 是津信行, 堤良輔, 榊茂之, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 23rd　2009年12月10日

  126. 円すいころ軸受ころ大端面の最適曲率半径 (特集 環境対応) -- (環境対応商品/技術)

    藤原 宏樹, 辻本 崇, 山内 和人

    NTN technical review　No. 77　p. 94-102　2009年12月

    出版者・発行元：NTN

  127. X線自由電子レーザ用大型集光ミラーの開発

    三村秀和, 山内和人, 大森整

    精密工学会誌　Vol. 75　No. 12　p. 1387-1390　2009年11月

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  128. 放射光用X線ミラーの開発

    三村 秀和, 山内 和人, ミムラ ヒデカズ, ヤマウチ カズト

    大阪大学低温センターだより　Vol. 148　p. 19-25　2009年10月

    出版者・発行元：大阪大学低温センター

  129. 高分解能コヒーレントX線回折顕微法の開発と金ナノケージの電子密度分布観察

    堤良輔, 高橋幸生, 是津信行, 久保英人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎

    日本金属学会講演概要　Vol. 145th　2009年9月15日

  130. Beveling of Silicon Carbide Wafer by Plasma Etching Using Atmospheric-Pressure Plasma

    Y. Sano, T. Kato, K. Yamamura, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    Proceedings of 31st International Symposium on Dry Process　Vol. 49　No. 8　2009年9月

  131. 円すいころ軸受ころ大端面の最適曲率半径(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)

    藤原 宏樹, 辻本 崇, 山内 和人

    日本機械学會論文集. C編　Vol. 75　No. 756　p. 2319-2326　2009年8月25日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  132. 触媒基準エッチング法(CAtalyst Referred Ething: CARE)の開発--SiC, GaN基板加工への応用 (特集 グリーンエネルギー時代を支える先進加工技術とその課題)

    山内 和人, 佐野 泰久, 有馬 健太

    機械と工具　Vol. 53　No. 8　p. 20-24　2009年8月

    出版者・発行元：工業調査会

  133. X線自由電子レーザ集光ミラーの開発

    三村 秀和, 山内 和人, 大森 整

    光アライアンス　Vol. 20　No. 7　p. 29-32　2009年7月

    出版者・発行元：日本工業出版

  134. KBミラー集光放射光X線を用いた高分解能回折顕微法の実現可能性の検討

    堤良輔, 高橋幸生, 三村秀和, 久保英人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2009　p. 65-66　2009年5月7日

  135. 超精密加工専門委員会活動報告(5.3 専門委員会・分科会の活動,5.精密工学の輪,<特集>創立75周年記念)

    山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 75　No. 1　p. 181-181　2009年1月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  136. 硬X線微小集光用多層膜ミラーの開発

    半田宗一郎, 木村隆志, 三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治, 西野吉則, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 22nd　2009年

  137. K‐Bミラー集光コヒーレントX線回折顕微法の検討

    堤良輔, 高橋幸生, 三村秀和, 西野吉則, 古川隼人, 久保英人, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 22nd　2009年

  138. 硬X線ナノビーム用波面補正ミラーの開発

    木村隆志, 半田宗一郎, 三村秀和, 湯本秀和, 山川大輔, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治, 西野吉則, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 22nd　2009年

  139. フレネルミラーを用いたX線の可干渉性の評価

    山川大輔, 三村秀和, 木村隆志, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治, 西野吉則, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 22nd　2009年

  140. 高度好熱菌丸ごと一匹プロジェクト 走査型X線顕微鏡を用いた細胞イメージング

    松山智至, 志村まり, 藤井正輝, 脇岡敏之, 三村秀和, 佐野泰久, 矢橋牧名, 西野吉則, 玉作賢治, 石川哲也, 山内和人

    高度好熱菌丸ごと一匹プロジェクト 第8回連携研究会 理研シンポジウム 平成21年　p. 9-10　2009年

  141. コヒーレントX線回折顕微法によるエレクトロマイグレーションボイド生成過程のその場観察

    古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 22nd　2009年

  142. コヒーレントX線回折顕微法によるナノ構造物の電子密度分布定量評価法の開発

    久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 22nd　2009年

  143. 多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築

    三村 秀和, 石倉 寛之, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 263-264　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  144. 触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第5報）:加工原理の考察

    原 英之, 佐野 泰久, 森川 良忠, 岡本 武志, 八木 圭太, 村田 順二, 定国 峻, 有馬 健太, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 1011-1012　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  145. ファイバ型PS/PDIの非球面形状計測への応用:平面ミラーへの適用

    宇高 和明, 松浦 敏普, 押鐘 寧, 井上 晴行, 中野 元博, 片岡 俊彦, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 455-456　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  146. ELID研削によるXFEL用Si大型集光ミラー作製

    八須 洋輔, 上原 嘉宏, 大森 整, 林 偉民, 森田 晋也, 三村 秀和, 山内 和人, 高橋 豊

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 249-250　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  147. 多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面転写法の開発:減圧電析法の検討とミラーへの応用

    石倉 寛之, 三村 秀和, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 181-182　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  148. 多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築:多孔質内部への電析条件の検討

    三村 秀和, 石倉 寛之, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 179-180　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  149. ショットキーバリアダイオードの特性評価によるGaN基板表面の評価

    白沢 佑樹, 佐野 泰久, 村田 順二, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 175-176　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  150. 光電気化学プロセス及び固体酸触媒を用いたGaN基板平坦化技術の開発

    定国 峻, 村田 順二, 八木 圭太, 佐野 泰久, 有馬 健太, 岡本 武志, 三村 秀和, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 173-174　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  151. ワイヤー電極を用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Mchining)によるSIC基板の切断加工

    会田 浩平, 佐野 泰久, 山村 和也, 三村 秀和, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 161-162　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  152. XFEL集光システムの開発

    山川 大輔, 三村 秀和, 木村 隆志, 八須 洋輔, 大森 整, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 155-156　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  153. 高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

    脇岡 敏之, 松山 智至, 藤井 正輝, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 151-152　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  154. Pt/C多層膜集光ミラーによる硬X線Sub-10nm集光

    半田 宗一郎, 木村 隆志, 山川 大輔, 湯本 博勝, 三村 秀和, 松山 智至, 佐野 泰久, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 149-150　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  155. 硬X線用高精度波面制御システムの開発

    木村 隆志, 半田 宗一郎, 山川 大輔, 湯本 博勝, 三村 秀和, 松山 智至, 佐野 泰久, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 147-148　2009年

  156. SPring-8 におけるX 線ミラーのための表面形状計測装置 LTP(Long trace profiler)の開発

    岸本 輝, 仙波 泰徳, 湯本 博勝, 大橋 治彦, 後藤 俊治, 山内 和人, 石川 哲也

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 145-146　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  157. 硬X線ナノ集光楕円筒面ミラーのための相対角度決定型スティッチング干渉法に基づく表面形状計測法の開発

    湯本 博勝, 三村 秀和, 半田 宗一郎, 木村 隆志, 松山 智至, 佐野 泰久, 大橋 治彦, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 143-144　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  158. SPring-8における大型X線ミラーのためのスティッチング干渉計法に基づく高精度表面形状計測装置の開発:MSI(Microstitching Interferometry)とRADSI(Relative Angle Determinable Stitching Interferometry)

    湯本 博勝, 三浦 孝紀, 三村 秀和, 木村 隆志, 大橋 治彦, 後藤 俊治, 山内 和人, 石川 哲也

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 141-142　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  159. 未踏の光源、X線自由電子レーザー開発に挑む！

    矢橋 牧名, 山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 75　No. 12　p. 1371-1374　2009年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  160. Advanced Kirkpatrick-Baez ミラー光学系の開発

    藤井正輝, 松山智至, 三村秀和, 脇岡敏之, 半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　Vol. 23　No. 2　p. 118-119　2009年1月

  161. 円筒ころ軸受における対数クラウニングの公差設計

    藤原 宏樹, 山内 和人

    日本機械学會論文集. C編　Vol. 75　No. 749　p. 1-7　2009年

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  162. 次世代の超精密加工 : 原子制御製造プロセスの創出に向けて(超精密加工専門委員会,<特集>専門委員会・分科会研究レビュー)

    山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 74　No. 10　p. 1013-1015　2008年10月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  163. 円筒ころ軸受における部分円弧クラウニングと対数クラウニングの実験的比較(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)

    藤原 宏樹, 山内 和人

    日本機械学會論文集. C編　Vol. 74　No. 745　p. 2308-2314　2008年9月25日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  164. コヒーレントX線回折顕微法による金属材料の電子密度分布定量評価法の開発

    久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎

    日本金属学会講演概要　Vol. 143rd　2008年9月23日

  165. コヒーレントX線回折顕微法によるCu細線のボイド生成過程のその場観察

    古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎

    日本金属学会講演概要　Vol. 143rd　2008年9月23日

  166. 硬X線ナノビームを用いた細胞イメージング

    松山智至, 藤井正輝, 三村秀和, 脇岡敏之, 志村まり, 西野吉則, 玉作賢治, 石川哲也, 山内和人

    高度好熱菌 丸ごと一匹 プロジェクト 第7回 連携研究会　2008年9月

  167. K・Bミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発―大型X線集光ミラーの集光特性の評価―

    三村秀和, 森田晋也, 木村隆志, 山川大輔, LIN W, 上原嘉宏, 松山智至, 湯本博勝, 大橋治彦, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 大森整, 山内和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2008　2008年9月1日

  168. K‐BミラーによるX線自由電子レーザー集光システムの開発―大型X線集光ミラーの作製―

    山川大輔, 木村隆志, 三村秀和, 松山智至, 山内和人, 森田晋也, 林偉民, 上原嘉宏, 大森整, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 湯本博勝, 大橋治彦

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2008　p. 15-16　2008年7月22日

  169. 元素識別可能なコヒーレントX線回折顕微法の開発

    久保英人, 高僑幸生, 古川隼人, 山内和人, 松原英一郎, 石川哲也, 西野吉則

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2008　p. 17-18　2008年7月22日

  170. 円筒ころ軸受における部分円弧クラウニングと対数クラウニングの実験的比較

    藤原 宏樹, 山内 和人

    日本機械学会論文集 C編　Vol. 74　No. 745　p. 2308-2314　2008年4月

    出版者・発行元：The Japan Society of Mechanical Engineers

  171. 触媒基準エッチング法

    原 英之, 佐野 泰久, 有馬 健太, 山内 和人

    應用物理　Vol. 77　No. 2　p. 168-171　2008年2月10日

    出版者・発行元：応用物理学会

  172. XFEL大型集光ミラーの高能率・高精度加工法の開発

    森田晋也, 三村秀和, LIN Weimin, 上原嘉宏, 山形豊, 木村隆志, 山川大輔, 湯本博勝, 湯本博勝, 松山智至, 西野吉則, 玉作賢治, 大橋治彦, 矢橋牧名, 石川哲也, 石川哲也, 山内和人, 大森整

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2008　2008年

  173. Kirkpatrick-Baez ミラー光学系を搭載した走査型蛍光X 線顕微鏡による細胞内元素分布の観察

    藤井正輝, 松山智至, 志村まり, 三村秀和, 前島一博, 片岸恵子, 湯本博勝, 半田宗一郎, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 要旨集　Vol. 21st　2008年1月

  174. コヒーレントＸ線回折顕微法の材料科学応用に関する取り組み

    高橋幸生, 古川隼人, 久保英人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎

    KEK proceedings　No. 2007-18　p. 27-30　2008年1月

  175. 触媒作用を援用したSiC の超精密研磨に関する研究:Si面とC面の加工特性の評価

    久保田 章亀, 安井 平司, 宮本 士郎, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2008　No. 0　p. 275-276　2008年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  176. ELID・EEMによるXFEL大型集光ミラーの作製

    森田 晋也, 三村 秀和, 林 偉民, 上原 嘉宏, 木村 隆志, 山川 大輔, 湯本 博勝, 石川 哲也, 山内 和人, 大森 整

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2008　No. 0　p. 211-212　2008年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  177. EEM(elastic emission machining)のEUV光学素子作製への適用:粉末粒子の挙動解析による加工速度の考察

    金岡 政彦, 瀧野 日出雄, 野村 和司, 三村 秀和, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2008　No. 0　p. 823-824　2008年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  178. SiC表面上への微細構造形成プロセスに関する研究:微細溝構造の形成

    久保田 章亀, 宮本 士郎, 濟陽 崇志, 安井 平司, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2008　No. 0　p. 449-450　2008年

  179. 遷移金属微粒子を用いた研磨法によるGaN基板の平坦化:基礎加工特性の検討

    宮本 士郎, 久保田 章亀, 安井 平司, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2008　No. 0　p. 445-446　2008年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  180. KBミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発―400mmX線集光ミラーの作製と評価―

    三村秀和, 森田晋也, 木村隆志, 山川大輔, 林偉民, 上原嘉宏, 湯本博勝, 松山智至, 西野吉則, 玉作賢治, 大橋治彦, 矢橋牧名, 石川哲也, 大森整, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 21st　2007年12月20日

  181. 硬X線反射用多層膜ミラーの開発

    半田宗一郎, 玉作賢治, 三村秀和, 湯本博勝, 木村隆志, 松山智至, 佐野泰久, 西野吉則, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 21st　2007年12月20日

  182. 硬X線集光ミラーのためのスティッチング干渉法に基づく高精度表面形状計測法の開発

    湯本博勝, 三村秀和, 木村隆志, 半田宗一郎, 松山智至, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 21st　2007年12月20日

  183. KBミラー光光学系におけるX線集光状態維持システム

    山川大輔, 三村秀和, 木村隆志, 湯本博勝, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治, 西野吉則, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 21st　2007年12月20日

  184. Cu細線のコヒーレントX線回折測定

    古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 西野吉則, 山内和人, 石川哲也, 松原英一郎

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 21st　2007年12月20日

  185. 元素識別コヒーレントX線回折顕微法の開発

    久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 西野吉則, 山内和人, 石川哲也, 松原英一郎

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　Vol. 21st　2007年12月20日

  186. コヒーレントX線回折顕微法の空間分解能向上のための新たな試み

    高橋幸生, 西野吉則, 古川隼人, 久保英人, 山内和人, 松原英一郎, 石川哲也

    日本金属学会講演概要　Vol. 141st　2007年9月19日

  187. コヒーレントX線回折顕微法による物質構造変化の動画化に向けた基礎研究

    古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 西野吉則, 山内和人, 石川哲也, 松原英一郎

    日本金属学会講演概要　Vol. 141st　2007年9月19日

  188. 元素識別コヒーレントX線回折顕微法の開発

    久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 西野吉則, 山内和人, 石川哲也, 松原英一郎

    日本金属学会講演概要　Vol. 141st　2007年9月19日

  189. クライオ走査型蛍光X線顕微鏡による急速凍結された細胞の元素分布測定

    片岸恵子, 松山智至, 志村まり, 三村秀和, 湯本博勝, 半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会 要旨集　Vol. 68th　No. 3　2007年9月

  190. 超高精度ミラーによる硬X線ナノビーム形成とその応用

    三村秀和, 松山智至, 湯本博勝, 半田宗一郎, 片岸恵子, 木村隆志, 佐野泰久, 山村和也, 稲垣耕司, 玉作賢治, 西野吉則, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    日本物理学会講演概要集　Vol. 62　No. 2　2007年8月21日

  191. 22pTC-3 超高精度ミラーによる硬X線ナノビーム形成とその応用(領域10シンポジウム主題:X線・電子線による回折イメージングの最前線,領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)

    三村 秀和, 松山 智至, 湯本 博勝, 半田 宗一郎, 片岸 恵子, 木村 隆志, 佐野 泰久, 山村 和也, 稲垣 耕司, 玉作 賢治, 西野 吉則, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    日本物理学会講演概要集　Vol. 62　No. 2　p. 989-989　2007年8月21日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  192. Atomic-scale Characterization of HF-treated 4H-SiC(0001)1x1 Surfaces by Scanning Tunneling Microscopy

    Kenta Arima, Hideyuki Hara, Keita Yagi, Ryota Okamoto, Hidekazu Mimura, Akihisa Kubota, Kazuto Yamauchi

    Program of 2007 MRS Spring Meeting, H7.6　Vol. 996　p. 157-162　2007年4月

    出版者・発行元：Materials Research Society

  193. 高精度非球面ミラーの加工技術

    佐野 泰久, 三村 秀和, 山村 和也, 山内 和人, 森 勇藏

    レーザー研究　Vol. 35　No. 3　p. 162-167　2007年3月15日

    出版者・発行元：レ-ザ-学会

  194. 硬X線集光光学系における波面補正法の開発

    木村隆志, 三村秀和, 松山智至, 湯本博勝, 半田宗一郎, 佐野泰久, 山内和人

    精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集　Vol. 2007　2007年

  195. Fabrication of X‐ray Mirror for Hard X‐ray Diffraction Limited Nanofocusing

    YUMOTO Hirokatsu, MIMURA Hidekazu, MATSUYAMA Satoshi, HANDA Soichiro, SHIBATANI Akihiko, KATAGISHI Keiko, YAMAMURA Kazuya, SANO Yasuhisa, ENDO Katsuyoshi, MORI Yuzo, YABASHI Makina, NISHINO Yoshinori, TAMASAKU Kenji, ISHIKAWA Tetsuya, YAMAUCHI Kazuto

    AIP Conference Proceedings　Vol. 879　No. Pt.1　p. 967-970　2007年

  196. Development of a Scanning X‐ray Fluorescence Microscope Using Size‐Controllable Focused X‐ray Beam from 50 to 1500nm

    MATSUYAMA Satoshi, MIMURA Hidekazu, YUMOTO Hirokatsu, KATAGISHI Keiko, HANDA Soichiro, SHIBATANI Akihiko, SANO Yasuhisa, YAMAMURA Kazuya, ENDO Katsuyoshi, MORI Yuzo, NISHINO Yoshinori, TAMASAKU Kenji, YABASHI Makina, ISHIKAWA Tetsuya, YAMAUCHI Kazuto

    AIP Conference Proceedings　Vol. 879　No. Pt.2　p. 1325-1328　2007年

  197. 肝癌モデルラットを用いた細胞の元素分析

    志村まり, 前島一博, 鈴木美成, 松山智至, 岡村匡史, 片岸恵子, 飯田豊, 宮澤雅之, 玉作賢治, 西野吉則, 矢橋牧名, 湯本博勝, 三村秀和, 今本尚子, 石坂幸人, 山内和人, 石川哲也

    生化学　2007年

  198. 触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究:単結晶SiC表面研磨の試み

    久保田 章亀, 八木 圭太, 村田 順二, 原 英之, 宮本 士郎, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2007　No. 0　p. 81-82　2007年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  199. 触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究:鉄触媒を用いた基礎加工特性の検討

    久保田 章亀, 安井 平司, 宮本 士郎, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2007　No. 0　p. 317-318　2007年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  200. XFEL用Siミラーの鏡面加工の研究:第一報：V-Camを援用した粗さ改善手法の検討

    上原 嘉宏, 森田 晋也, 三石 憲英, 林 偉民, 大森 整, 三村 秀和, 山内 和人, 大竹 豊, 加瀬 究, 金井 崇

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2007　No. 0　p. 285-286　2007年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  201. 触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第4報）:2インチウエハの平坦化

    原 英之, 佐野 泰久, 岡本 武志, 有馬 健太, 八木 圭太, 村田 順二, 三村 秀和, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2007　No. 0　p. 1001-1002　2007年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  202. 走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定

    片岸恵子, 松山智至, 志村まり, 三村秀和, 湯本博勝, 半田宗一郎, 芝谷昭彦, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 67th　No. 3　2006年8月29日

  203. At-wavelength figure metrology of total reflection mirrors in hard x-ray region

    Hirokatsu Yumoto, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama, Soichiro Handa, Akihiko Shibatani, Keiko Katagishi, Yasuhisa Sano, Makina Yabashi, Yoshinori Nishino, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of SPIE　Vol. 6317　2006年8月

  204. X線ナノ集光ミラーの形状計測

    三村秀和, 山内和人

    光アライアンス　Vol. 17　No. 8　p. 45-49　2006年8月

    出版者・発行元：日本工業出版

  205. 高分解能硬X線顕微鏡のためのミラーマニピュレータの開発 : 硬X線領域における50nm以下の回折限界集光の実現

    松山 智至, 三村 秀和, 湯本 博勝, 原 英之, 山村 和也, 佐野 泰久, 西野 吉則, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 7　p. 884-888　2006年7月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  206. EEM(Elastic Emission Machining)によるナノ精度加工

    三村秀和, 久保田亀章, 山内和人, 森勇藏

    混相流　Vol. 20　No. 2　p. 110-116　2006年5月

    出版者・発行元：日本混相流学会

  207. 超純水・高速せん断流による洗浄法の開発(第2報) : 超純水・高速せん断流によるCu除去メカニズムの研究

    森田 健一, 後藤 英和, 遠藤 勝義, 山内 和人, 堤 建一, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 4　p. 529-533　2006年4月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  208. 走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定

    片岸恵子, 松山智至, 三村秀和, 湯本博勝, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森勇蔵, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 53rd　No. 2　2006年3月22日

  209. 超純水・高速せん断流によるSi基板洗浄法の研究 : Si基板表面のDOP汚染の洗浄効果

    森田 健一, 後藤 英和, 山内 和人, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 3　p. 387-392　2006年3月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  210. 超高精度X線ミラーの作製とコヒーレントX線による評価

    三村 秀和, 湯本 博勝, 松山 智至, 山村 和也, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 西野 吉則

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 233-234　2006年3月1日

    出版者・発行元：公益社団法人 精密工学会

  211. 超純水・高速せん断流による洗浄法の開発(第1報) : Si基板表面のCu汚染の洗浄効果

    森田 健一, 後藤 英和, 山内 和人, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 72　No. 1　p. 89-94　2006年1月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  212. 高分解能硬X線顕微鏡のためのミラーマニピュレータの開発-硬X線領域における50nm以下の回折限界集光の実現-

    松山智至, 三村秀和, 湯本博勝, 原英之, 山村和也, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会誌(CD-ROM)　Vol. 72　No. 7　2006年

  213. 触媒を援用した化学ポリシング法による4H–SiCの加工(第2報):加工速度の検討

    原 英之, 佐野 泰久, 三村 秀和, 竹川 雄也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 557-558　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  214. EEM(Elastic Emission Machining)における表面平滑化機構に関する研究

    三村 秀和, 久保田 章亀, 大道 朱里, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 445-446　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  215. 新規な研磨加工を行った4H–SiC(0001)表面の原子構造解析

    石田 剛志, 有馬 健太, 原 英之, 山村 和也, 山内 和人, 遠藤 勝義

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 1115-1116　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  216. EEM（Elastic Emission Machining)によるSiC表面凹凸の改善

    久保田 章亀, 三村 秀和, 稲垣 耕司, 佐野 泰久, 森 勇藏, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 967-968　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  217. 湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析

    岡本 亮太, 有馬 健太, 佐野 泰久, 原 英之, 石田 剛志, 八木 圭太, 山内 和人, 遠藤 勝義

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 539-540　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  218. 触媒基準エッチング法によるGaNの加工

    村田 順二, 久保田 章亀, 八木 圭太, 佐野 泰久, 原 英之, 有馬 健太, 三村 秀和, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 533-534　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  219. 触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第3報):モリブデン触媒の検討

    原 英之, 佐野 泰久, 有馬 健太, 八木 圭太, 村田 順二, 久保田 章亀, 三村 秀和, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 531-532　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  220. 触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究:焼結SiC表面研磨の試み

    久保田 章亀, 八木 圭太, 安井 平司, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 253-254　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  221. At-wavelength形状計測法による硬X線ナノ集光鏡の開発

    三村 秀和, 湯本 博勝, 半田 宗一郎, 松山 智至, 佐野 泰久, 西野 吉則, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2006　No. 0　p. 207-208　2006年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  222. 細胞内エレメントアレイ法の開発とその生物学及び医学領域における展開

    石坂幸人, 志村まり, 斎藤彰, 三村秀和, 松山智至, 矢橋牧名, 玉作賢治, 西野吉則, 山内和人, 石川哲也

    日本分子生物学会年会講演要旨集　Vol. 28th　2005年11月25日

  223. 硬X線ナノ集光用超高精度楕円ミラーの作製と1次元集光性能の評価

    湯本 博勝, 三村 秀和, 松山 智至, 原 英之, 山村 和也, 佐野 泰久, 上野 一匡, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 西野 吉則, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 9　p. 1137-1140　2005年9月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  224. Fabrication of elliptically figured mirror for focusing hard X-rays to size less than 50 nm

    H. Yumoto, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, Y. Nishino, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Review of Scientific Instruments, 76, 063708 (2005).　Vol. 76　No. 6　2005年7月

  225. EEM(Elastic Emission Machining)プロセスにおける微粒子表面の形態が加工表面に及ぼす影響

    久保田 章亀, 三村 秀和, 稲垣 耕司, 森 勇藏, 山内 和人

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 6　p. 762-766　2005年6月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  226. EEM(Elastic Emission Machining)プロセスにおける加工液がSi(001)表面のマイクロラフネスに及ぼす影響

    久保田 章亀, 三村 秀和, 湯本 博勝, 森 勇藏, 山内 和人

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 5　p. 628-632　2005年5月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  227. Hard X-ray Focusing less than 50nm for Nanoscopy/spectroscopy

    K. Yamauchi, H. Mimura, S. Matsuyama, H. Yumoto, S. Handa, K. Yamamura, Y. Sano, K. Endo, Y. Mori, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa

    AIP Conference Proceedings　Vol. 879　No. Pt.1　p. 786-791　2005年5月

  228. EEM(Elastic Emission Machining)による4H-SiC(0001)表面の平滑化

    久保田 章亀, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山村 和也, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 4　p. 477-480　2005年4月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  229. Relative angle determinable stitching interferometry for hard X-ray reflective optics

    H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Review of Scientfic Instruments　Vol. 76　No. 4　2005年2月

  230. EEM(Elastic Emission Machining)プロセスにおける加工液がSi(001)表面のマイクロラフネスに及ぼす影響

    久保田章亀, 三村秀和, 湯本博勝, 森勇蔵, 山内和人

    精密工学会誌　Vol. 71　No. 5　2005年

  231. 硬X線ナノ集光用超高精度楕円ミラーの作製と1次元集光性能の評価

    湯本博勝, 三村秀和, 松山智至, 原英之, 山村和也, 佐野泰久, 上野一匡, 遠藤勝義, 森勇蔵, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会誌　Vol. 71　No. 9　2005年

  232. EEM (Elastic Emission Machining)による4H-SiC(0001)表面の平滑化

    久保田 章亀, 三村 秀和, 佐野 泰久, 山村 和也, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 71　No. 4　p. 477-480　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  233. 超高精度X線集光ミラーの作製と集光特性の評価

    三村 秀和, 松山 智至, 湯本 博勝, 原 英之, 山村 和也, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 788-788　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  234. EEMによるSiC表面の平坦化

    久保田 章亀, 三村 秀和, 稲垣 耕司, 佐野 泰久, 山村 和也, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 785-785　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  235. STMによるEEM(Elastic Emission Machining)の加工機構の解明

    加藤 潤, 久保田 章亀, 有馬 健太, 山村 和也, 森 勇藏, 山内 和人, 遠藤 勝義

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 779-780　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  236. 超純水・高速せん断流による洗浄法の開発:Si基板表面のDOP汚染の洗浄

    森田 健一, 澤井 康二, 後藤 英和, 山内 和人, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 549-550　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  237. 超純水・高速せん断流による洗浄法の開発:Si基板表面のCu汚染の洗浄効果

    増谷 宗彦, 森田 健一, 森 勇藏, 遠藤 勝義, 山内 和人, 後藤 英和

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 547-548　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  238. 水分解触媒電極を用いた超純水電気化学加工法の研究

    村田 順二, 一井 愛雄, 森 勇藏, 広瀬 喜久治, 遠藤 勝義, 山内 和人, 後藤 英和

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 543-544　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  239. EEMの表面創成機構に関する研究:超純水および溶存酸素がSi(001)表面に与える影響

    大道 朱里, 三村 秀和, 久保田 章亀, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 537-538　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  240. プラズマCVMによるSiCの加工特性

    渡辺 容代, 佐野 泰久, 山村 和也, 山内 和人, 石田 剛志, 有馬 健太, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 529-530　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  241. 硬X線ナノ集光ミラーの形状計測:高精度スティッチング法の開発

    湯本 博勝, 三村 秀和, 松山 智至, 山村 和也, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 453-454　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  242. 触媒を援用した化学ポリシング法によるSiCの加工

    原 英之, 佐野 泰久, 三村 秀和, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2005　No. 0　p. 337-338　2005年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  243. 硬X線ナノ集光のための高精度楕円体ミラーの作製と集光特性の評価

    湯本博勝, 山内和人, 三村秀和, 松山智至, 山村和也, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 65th　No. 2　2004年9月1日

  244. ミラー集光系を用いたX線顕微鏡(ナノスコピー)の開発

    松山智至, 山内和人, 三村秀和, 湯本博勝, 山村和也, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 65th　No. 2　2004年9月1日

  245. EEM(Elastic Emission Machining)によるSi(001)表面の平坦化(第2報) : 加工表面の原子像観察と構造評価

    山内 和人, 三村 秀和, 久保田 章亀, 有馬 健太, 稲垣 耕司, 遠藤 勝義, 森 勇蔵

    精密工学会誌論文集　Vol. 70　No. 4　p. 547-551　2004年4月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  246. 走査型X線顕微鏡のための楕円体ミラーを用いた二次元集光ユニットの開発

    松山智至, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 玉作賢治, 矢橋牧名, 西野吉則, 石川哲也

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 51st　No. 2　2004年3月28日

  247. EEM(Elastic Emission Machining)によるSi(001)表面の平坦化(第1報) : 半導体表面の超平坦化のための超清浄EEMシステムの開発

    森 勇藏, 山内 和人, 三村 秀和, 稲垣 耕司, 久保田 章亀, 遠藤 勝義

    精密工学会誌論文集　Vol. 70　No. 3　p. 391-396　2004年3月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  248. EEM(Elastic Emission Machining)によるSi(001)表面の平坦化 (第2報):—加工表面の原子像観察と構造評価—

    山内 和人, 三村 秀和, 久保田 章亀, 有馬 健太, 稲垣 耕司, 遠藤 勝義, 森 勇蔵

    精密工学会誌論文集　Vol. 70　No. 4　p. 547-551　2004年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  249. EEMプロセスにおいてシリカ分散超純水がSi(001)表面のマイクロラフネスに及ぼす影響

    久保田 章亀, 三村 秀和, 山内 和人, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2004　No. 0　p. 399-399　2004年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  250. STMによるSi(011),(111)ウエハ超精密加工表面の原子構造解析

    加藤 潤, 久保田 章亀, 有馬 健太, 山村 和也, 山内 和人, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2004　No. 0　p. 384-384　2004年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  251. 干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測:高精度スティッチング法の開発

    湯本 博勝, 山内 和人, 三村 秀和, 松山 智至, 山村 和也, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 石川 哲也, 森 勇藏

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2004　No. 0　p. 116-116　2004年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  252. Flattening of Si (001) Surface by EEM (Elastic Emission Machining):—Atomic Structure Identification of Processed Surface—

    山内 和人, 三村 秀和, 久保田 章亀, 有馬 健太, 稲垣 耕司, 遠藤 勝義, 森 勇蔵

    精密工学会誌論文集　Vol. 70　No. 4　p. 547-551　2004年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  253. 原子の滑らかさの加工技術 (特集 光技術の極限をめざして)

    森 勇蔵, 山村 和也, 山内 和人

    O plus E　Vol. 26　No. 1　p. 36-42　2004年1月

    出版者・発行元：新技術コミュニケ-ションズ

  254. 超高精度硬X線集光ミラーの製作とナノスペクトロスコピーへの応用

    山村 和也, 山内 和人, 佐野 泰久, 三村 秀和, 遠藤 勝義, 森 勇蔵, ヤマムラ カズヤ, ヤマウチ カズト, サノ ヤスヒサ, ミムラ ヒデカズ, エンドウ カツヨシ, モリ ユウゾウ

    大阪大学低温センターだより　Vol. 125　p. 4-10　2004年1月

    出版者・発行元：大阪大学低温センター

  255. 硬X線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射X線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価

    山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 齋藤 彰, 久保田 章亀, 金岡 政彦, SOUVOROV Alexei, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 7　p. 997-1001　2003年7月

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  256. 高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発

    山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 久保田 章亀, 関戸 康裕, 上野 一匡, SOUVOROV Alexei, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 69　No. 6　p. 856-860　2003年6月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  257. EEM(Elastic Emission Machining)による表面広空間波長帯域の形状/粗さ修正

    森 勇藏, 山内 和人, 三村 秀和, 久保田 章亀, 稲垣 耕司, 有馬 健太, 遠藤 勝義

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2003　No. 0　p. 411-411　2003年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  258. プラズマCVMおよびEEMによる超高精度X線ミラーの作製とその応用

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 久保田 章亀, 遠藤 勝義, Alexei Souvorov, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2003　No. 0　p. 388-388　2003年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  259. 数値制御EEM (Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の形状修正

    森 勇藏, 山内 和人, 三村 秀和, 久保田 章亀, 遠藤 勝義, 有馬 健太, 稲垣 耕司

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2003　No. 0　p. 387-387　2003年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  260. ナノパーティクル測定機を用いたウエット洗浄によるSiウエハ表面のラフネス評価

    佐々木 都至, 安 弘, 竹崎 尚之, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行

    精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2003　No. 0　p. 139-139　2003年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  261. プラズマCVMおよびEEMによるシンクロトロン放射X線用楕円ミラーの作製と集光特性の評価

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 斎藤 彰, Souvorov Alexei, 玉作 賢治, 矢橋 牧名, 石川 哲也

    精密工学会誌　Vol. 68　No. 10　p. 1347-1350　2002年10月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  262. 超清浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究 : 最適加工条件の探索

    森 勇藏, 山内 和人, 三村 秀和, 有馬 健太, 稲垣 耕司, 久保田 章亀, 新林 洋介

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 460-460　2002年10月1日

  263. プラズマCVMおよびEEMによる放射光用X線ミラーの作製とその応用 : 二枚の平面ミラーを用いたX線干渉計の開発

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 齋藤 彰, SOUVOROV A, 矢橋 牧名, 玉作 賢治, 石川 哲也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 459-459　2002年10月1日

  264. プラズマCVMおよびEEMによる放射光用X線ミラーの作製とその応用 : 硬X線顕微鏡の開発

    森 勇蔵, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 斉藤 彰, SOUVOROV Alexei, 矢橋 牧名, 玉作 賢治, 石川 哲也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 458-458　2002年10月1日

  265. 光散乱法を用いたSiウエハ表面のウエット洗浄によるナノパーティクル評価

    佐々木 都至, 安 弘, 竹崎 尚之, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 311-311　2002年10月1日

  266. コヒーレント照射でのX線全反射ミラー

    石川 哲也, 矢橋 牧名, 玉作 賢治, スボロフ アレクセイ, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 斉藤 彰, 森 勇蔵

    放射光　Vol. 15　No. 5　p. 30-36　2002年9月30日

    出版者・発行元：日本放射光学会

  267. ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のナノ欠陥計測

    佐々木 都至, 安 弘, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行

    精密工学会誌　Vol. 68　No. 9　p. 1200-1205　2002年9月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  268. Elastic Emission Machiningにおける表面原子除去過程の解析とその機構の電子論的な解釈

    山内 和人, 稲垣 耕司, 三村 秀和, 杉山 和久, 広瀬 喜久治, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 68　No. 3　p. 456-460　2002年3月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  269. 25pPSB-47 EEM (Elastic Emission Macining)における表面原子除去能率の考察(25pPSB 表面界面・結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長分野))

    稲垣 耕司, 山内 和人, 神尾 豪, 中越 亮佑, 杉山 和久, 広瀬 喜久治, 森 勇藏

    日本物理学会講演概要集　Vol. 57　No. 1　p. 847-847　2002年3月1日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  270. 第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Maching)加工機構の解明:加工物表面構造に対する反応性の依存性

    稲垣 耕司, 山内 和人, 神尾 豪, 中越 亮佑, 三村 秀和, 広瀬 喜久治, 森 勇蔵

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 611-611　2002年3月1日

  271. 超純粋超高速せん断流によるシリコンウエハ表面の洗浄:汚染微粒子の除去特性

    森 勇蔵, 広瀬 喜久治, 後藤 英和, 山内 和人, 森田 健一, 漢 健太郎, 岡本 弥華, 當間 康, 小畠 厳貴

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 609-609　2002年3月1日

  272. 超清浄EEM (Elastic Emission Machining)加工システムの開発:加工表面の原子レベルでの評価

    森 勇蔵, 山内 和人, 三村 秀和, 有馬 健太, 稲垣 耕司, 久保田 章亀, 新林 洋介

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 606-606　2002年3月1日

  273. プラズマCVMおよびEEMによるX線平面ミラーの加工と放射光による評価

    森 勇蔵, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 斉藤 彰, 金岡 政彦, SOUVOROV A, 矢橋 牧名, 玉作 賢治, 石川 哲也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 605-605　2002年3月1日

  274. 数値制御プラズマCVMおよび数値制御EEMによる硬X線集光用超精密非球面ミラーの加工

    森 勇蔵, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 佐野 泰久, 斉藤 彰, SOUVOROV A, 矢橋 牧名, 玉作 賢治, 石川 哲也

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 604-604　2002年3月1日

  275. 光散乱法を用いたシリコンウエハ面の洗浄によるナノ構造評価

    佐々木 都至, 安 弘, 竹崎 尚之, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 1　p. 39-39　2002年3月1日

  276. レーザー光散乱法によるSiウエハ表面上のナノパーティクルの計測

    佐々木 都至, 安 弘, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行

    精密工学会誌　Vol. 67　No. 11　p. 1818-1823　2001年11月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  277. 20aTF-1 表面原子エッチングプロセスにおけるバックボンド弱体化機構のBond order DOSによる解析

    稲垣 耕司, 山内 和人, 神尾 崇, 中越 亮佑, 杉山 和久, 広瀬 喜久治, 森 勇藏

    日本物理学会講演概要集　Vol. 56　No. 2　p. 771-771　2001年9月3日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  278. 超精密非球面形状計測装置の開発 : ゴニオメータの角度位置決め精度の検証

    東 保男, 杉山 弘, 張 小威, 安藤 正海, 遠藤 勝義, 山内 和人, 山村 和也, 打越 純一, 森 勇蔵

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 133-133　2001年9月1日

  279. 光反射率スペクトルによるSiウエハ表面評価法の開発 : 装置の開発と加工表面評価

    稲垣 耕司, 小野 倫也, 杉江 利章, 山内 和人, 遠藤 勝義, 広瀬 喜久治, 森 勇蔵

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 672-672　2001年9月1日

  280. 第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Machining)加工特性の加工物材料(Si, Ge)依存性の解析

    中越 亮祐, 神尾 豪, 稲垣 耕司, 山内 和人, 広瀬 喜久治, 森 勇蔵, 杉山 和久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 242-242　2001年9月1日

  281. 第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Machinig)加工機構の解明 : Si(001)表面とSiO_2微粒子の結合過程および分離過程の解明

    神尾 豪, 中越 亮祐, 稲垣 耕司, 山内 和人, 広瀬 喜久治, 森 勇蔵, 杉山 和人

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 241-241　2001年9月1日

  282. プラズマCVMおよびEEMによるX線光学素子の加工と放射光による評価

    森 勇蔵, 山内 和人, 山村 和也, 三村 秀和, 斉藤 彰, 岸本 宏樹, 関戸 康裕, 金岡 政彦

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 240-240　2001年9月1日

  283. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工に関する研究(第3報) : 形状修正加工システムの高精度化

    森 勇蔵, 山内 和人, 稲垣 耕司, 三村 秀和, 関戸 康裕, 金岡 政彦

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 239-239　2001年9月1日

  284. 超清浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究(第2報) : 原子像による加工表面の評価

    森 勇蔵, 山内 和人, 稲垣 耕司, 三村 秀和, 久保田 章亀

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 238-238　2001年9月1日

  285. 光散乱法によるSiウエハ表面のナノ微細欠陥とナノ構造の計測と評価

    佐々木 都至, 安 弘, 竹崎 尚之, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 216-216　2001年9月1日

  286. 数値制御EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発 : nmオーダでの加工精度の評価

    森 勇藏, 山内 和人, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 三村 秀和, 今井 利幸

    精密工学会誌　Vol. 67　No. 4　p. 607-612　2001年4月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  287. 数値制御EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発

    山内 和人, 三村 秀和, 森 勇藏

    表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan　Vol. 22　No. 3　p. 152-159　2001年3月10日

    出版者・発行元：日本表面科学会

  288. 29pPSA-39 水素終端化Si表面とZrO_2微粒子の水中での接触過程の第一原理計算による解析

    稲垣 耕司, 山内 和人, 杉山 和久, 神尾 豪, 広瀬 喜久治, 森 勇蔵

    日本物理学会講演概要集　Vol. 56　No. 1　p. 822-822　2001年3月9日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  289. プラズマCVMによる機能材料の切断加工 : 内周刃型切断加工装置の試作とその切断加工特性

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久

    精密工学会誌　Vol. 67　No. 2　p. 295-299　2001年2月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  290. 超精密・超微細加工 数値制御ＥＥＭ（Ｅｌａｓｔｉｃ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）加工システムの開発

    山内 和人, 三村 秀和, 森 勇藏

    表面科学　Vol. 22　No. 3　p. 152-159　2001年

    出版者・発行元：The Surface Science Society of Japan

  291. プラズマCVMの開発

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久

    精密工学会誌　Vol. 66　No. 8　p. 1280-1285　2000年8月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  292. SPV(Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発

    山内 和人, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 山村 和也, 佐野 泰久, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 66　No. 4　p. 630-634　2000年4月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  293. 24aPS-49 第一原理分子動力学によるElastic Emission Machiningにおける表面反応の材料依存性の解析I : Si(001)表面とSiO_2, ZrO_2, TiO_2微粒子間の反応

    山内 和人, 稲垣 耕司, 山本 幸治, 神尾 豪, 杉山 和久, 広瀬 喜久治, 森 勇藏

    日本物理学会講演概要集　Vol. 55　No. 1　p. 789-789　2000年3月10日

    出版者・発行元：The Physical Society of Japan (JPS)

  294. 微粒子定機によるナノメータオーダのSiウエハ表面形状の測定

    佐々木 都至, 安 弘, 瑞原 重勲, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 竹村 太一

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 604-604　2000年3月1日

  295. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工に関する研究(第1報) : nmオーダの形状修正加工システムの開発

    森 勇蔵, 山内 和人, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 島田 尚一, 打越 純一, 三村 秀和, 今井 利幸

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 195-195　2000年3月1日

  296. 超洗浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究(第1報) : シリコン表面の平坦化及び評価

    森 勇蔵, 山内 和人, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 島田 尚一, 打越 純一, 三村 秀和, 金村 一秀

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 190-190　2000年3月1日

  297. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発 (第5報) : Siウエハ表面に対する洗浄前後の微粒子測定による表面評価

    安 弘, 佐々木 都至, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 山内 和人, 谷口 浩之

    精密工学会誌　Vol. 65　No. 10　p. 1435-1439　1999年10月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  298. 微粒子測定機を用いたSiウェハ表面におけるナノメータオーダのスクラッチ形状の測定

    佐々木 都至, 安 弘, 瑞原 重勲, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 竹村 太一

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 389-389　1999年9月1日

  299. 傾斜角積分法による形状測定(第2報)-EEMよる修正加工前後の形状測定-

    東 保男, 森 勇蔵, 山内 和人, 遠藤 勝義, 打越 純一, 杉山 和久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 332-332　1999年9月1日

  300. 傾斜角積分法による形状測定(第1報)-製作した自動測定装置の性能-

    東 保男, 森 勇蔵, 山内 和人, 遠藤 勝義, 打越 純一, 杉山 和久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 331-331　1999年9月1日

  301. ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウエハ表面の微粒子および欠陥計測による表面評価

    安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 瑞原 重勲, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 464-464　1999年3月5日

  302. EMM(Elastic Emission Machining)における表面原子除去過程の第一原理分子動力学シミュレーション

    稲垣 耕司, 広瀬 喜久治, 山内 和人, 杉山 和久, 森 勇蔵, 大谷 和男

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 420-420　1999年3月5日

  303. 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第2報) -ノズル噴射流れを利用した加工ヘッドの開発-

    森 勇蔵, 山内 和人, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 島田 尚一, 打越 純一, 三村 秀和, 大谷 和男

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 419-419　1999年3月5日

  304. 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第1報) -超純水静圧軸受けを用いた数値制御ステージシステムの開発-

    森 勇蔵, 片岡 俊彦, 山内 和人, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 島田 尚一, 打越 純一, 南部 征一郎, 大谷 和男, 平岡 大治

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 418-418　1999年3月5日

  305. ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウェーハの洗浄による表面評価

    安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 512-512　1998年9月1日

  306. EEM(Elastic Emission Machining)に関する研究 : 加工液中の溶存酸素がSiウエハ表面に与える影響

    山内 和人, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 稲垣 耕司, 杉山 和久, 牧野 修之, 森 勇藏

    精密工学会誌　Vol. 64　No. 6　p. 907-912　1998年6月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  307. 大気中で使用する時のHe-Neレーザ光の特性

    東 保男, 小池 重明, 高富 俊和, 森 勇蔵, 山内 和人, 遠藤 勝義, 打越 純一

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 639-639　1998年3月5日

  308. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第7報) -ウルトラクリーンルームでのSiウェーハ面の測定と微粒子測定表面評価-

    安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 井山 章吾

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 674-674　1998年3月5日

  309. EEM(Elastic Emission Machining) 加工システムの超清浄化

    森 勇藏, 片岡 俊彦, 山内 和人, 島田 尚一, 杉山 和久, 打越 純一, 稲垣 耕司, 兵頭 潤一

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 517-517　1998年3月5日

  310. EEM (Elastic Emission Machining)用微粒子作製装置の開発

    森 勇蔵, 山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久, 松本 光弘, 三村 秀和

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 430-430　1998年3月5日

  311. EEMにおける原子除去過程の第一原理分子動力学シミュレーション

    稲垣 耕司, 山内 和人, 杉山 和久, 杉本 光宏, 広瀬 喜久治, 後藤 英和, 森 勇蔵

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 176-176　1998年3月5日

  312. EEMにおける原子除去過程の第一原理分子動力学シミュレーション

    広瀬 喜久治, 森 勇藏, 山内 和人, 後藤 英和, 杉山 和久, 稲垣 耕司, 杉本 光宏

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 97-97　1997年10月1日

  313. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第6報) -Siウェーハ面の測定と微粒子付着分布による表面評価-

    安 弘, 南川 文孝, 佐々木 都至, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 井山 章吾

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 391-392　1997年3月1日

  314. Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)におけるポリシング加工に関する研究(第3報) -加工面の平坦度と電極形状ならびに試料保持方法の相関(その2)-

    森 勇蔵, 山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 197-198　1996年9月1日

  315. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第4報) : 光電子増倍管出力特性の定式化とダイナミックレンジの改善法

    安 弘, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 稲垣 耕司, 山村 和也, 井上 晴行, 佐野 泰久

    精密工学会誌　Vol. 62　No. 8　p. 1198-1202　1996年8月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  316. 次世代を担う原子・電子レベルの先端技術 : 超精密加工専門委員会の目指すところ(超精密加工専門委員会)(<特集>専門委員会研究レビュー)

    森 勇藏, 安武 潔, 遠藤 勝義, 山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 62　No. 6　p. 766-772　1996年6月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  317. Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)におけるポリシング加工に関する研究(第1報) -ポリシング加工用高速回転型電極の試作とその加工特性-

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 1145-1146　1996年3月1日

  318. プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究 -切断加工用高速回転電極の試作とその加工特性-

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 1143-1144　1996年3月1日

  319. Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)におけるNC加工に関する研究(第1報) -NC加工用高速回転型電極の試作とその加工特性-

    森 勇藏, 山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 1141-1142　1996年3月1日

  320. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第5報) -ダイナミックレンジの改善法と標準粒子の測定-

    安 弘, 南川 文孝, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 稲垣 耕司, 井上 晴行, 山村 和也, 佐野 泰久

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 1109-1110　1996年3月1日

  321. EEM(Elastic Emission Machining)における加工現象の第一原理分子動力学シミュレーション (第3報) -化学結合の分子軌道計算-

    山内 和人, 山村 和也, 佐野 泰久, 広瀬 喜久治, 後藤 英和, 坂本 正雄, 森 勇藏

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 989-990　1996年3月1日

  322. プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における加工現象の第一原理分子動力学シミュレーション(第5報)-Si表面とハロゲン原子の相互作用の解析(その3)-

    山村 和也, 佐野 泰久, 山内 和人, 広瀬 喜久治, 後藤 英和, 坂本 正雄, 森 勇藏

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1995　No. 2　p. 625-626　1995年9月1日

  323. 光反射率スペクトルによるSi自然酸化表面の酸化膜厚およびひずみの計測

    森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 稲垣 耕司, 山村 和也, 広瀬 喜久治

    精密工学会誌　Vol. 61　No. 3　p. 396-400　1995年3月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  324. 光反射率スペクトルによる超精密加工表面評価法の開発

    森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 稲垣 耕司, 山村 和也, 広瀬 喜久治

    精密工学会誌　Vol. 60　No. 9　p. 1360-1364　1994年9月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  325. 水分子と相互作用するシリコン単結晶(001)水素終端化表面の第一原理分子動力学シミュレーション

    広瀬 喜久治, 後藤 英和, 土屋 八郎, 森 勇藏, 遠藤 勝義, 山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 60　No. 8　p. 1139-1143　1994年8月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  326. 材料表面現象の第一原理分子動力学シミュレーション : シリコン単結晶(001)表面の水素終端化反応

    広瀬 喜久治, 後藤 英和, 土屋 八郎, 森 勇蔵, 遠藤 勝義, 山内 和人

    精密工学会誌　Vol. 60　No. 3　p. 402-406　1994年3月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  327. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第3報) : 標準微粒子による粒径測定法の評価

    森 勇蔵, 安 弘, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 稲垣 耕司, 山内 和人, 山村 和也, 福池 敬重

    精密工学会誌　Vol. 59　No. 7　p. 1121-1126　1993年7月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  328. 超精密加工とマイクロトライボロジ- (マイクロトライボロジ-<特集>)

    森 勇蔵, 山内 和人

    トライボロジスト　Vol. 37　No. 11　p. p913-917　1992年11月

    出版者・発行元：日本トライボロジ-学会

  329. 若手研究者は精密工学会に何を期待するか(1992年度精密工学会春季大会公開座談会)

    遠藤 篤, 小野里 雅彦, 芝 正孝, 冨山 哲男, 保坂 寛, 山内 和人, 吉川 昌範

    精密工学会誌　Vol. 58　No. 9　p. 1474-1484　1992年9月5日

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  330. 摩擦力の原子論的考察(第2報) : 弾性接触状態における摩擦力の測定

    森 勇蔵, 遠藤 勝義, 山内 和人, 稲垣 耕司, 井出 敞

    精密工学会誌　Vol. 57　No. 6　p. 1017-1022　1991年6月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  331. ダンヤモンドと金属の表面原子間の結合力に関する研究

    森 勇蔵, 遠藤 勝義, 山内 和人, 王 暉, 井出 敞, 後藤 英和

    精密工学会誌　Vol. 57　No. 5　p. 881-886　1991年5月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  332. 超高真空用大電流イオンビーム表面改質装置の開発

    森 勇蔵, 王 暉, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井出 敞, 後藤 英和

    精密工学会誌　Vol. 57　No. 4　p. 674-680　1991年4月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  333. 固体表面間の相互作用力に関する研究(第2報) : 超高真空中における同種金属間の相互作用力と接触領域

    森 勇蔵, 遠藤 勝義, 山内 和人, 王 暉, 井出 敞

    精密工学会誌　Vol. 57　No. 2　p. 310-317　1991年2月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  334. Center of Excellence : 極限精密加工技術(<特集>グローバリゼーション)

    森 勇蔵, 山内 和人, 遠藤 勝義

    精密工学会誌　Vol. 57　No. 1　p. 36-42　1991年1月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  335. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第2報) : シリコンウエハ表面付着微粒子の測定

    森 勇蔵, 安 弘, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井出 敞

    精密工学会誌　Vol. 56　No. 10　p. 1847-1852　1990年10月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  336. 加工と量子力学

    森 勇蔵, 山内 和人, 後藤 英和, 遠藤 勝義

    日本機械学會誌　Vol. 93　No. 862　p. 773-778　1990年9月5日

    出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

  337. 摩擦力の原子論的考察(第1報) : 原子間相互作用に基づく摩擦の概念

    森 勇蔵, 遠藤 勝義, 山内 和人, 王 暉, 井出 敞

    精密工学会誌　Vol. 56　No. 4　p. 679-684　1990年4月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  338. 固体表面間の相互作用力に関する研究 ダイヤモンドと金属間の相互作用力

    森勇蔵, 遠藤勝義, 山内和人, 豊田洋通, 西沢慶太郎

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1989　No. Autumn 1　p. 3-4　1989年10月

  339. Elastic Emission Machining

    山内和人

    55/3,480　Vol. 55　No. 3　p. 480-484　1989年

    出版者・発行元：精密工学会誌

  340. 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発

    森 勇蔵, 安 弘, 遠藤 勝義, 山内 和人, 杉山 和久, 土屋 八郎, 井出 敞

    精密工学会誌　Vol. 54　No. 11　p. 2132-2137　1988年11月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  341. 熱化学反応を用いたSi3N4の除去加工

    土屋八郎, 後藤英和, 森 勇藏, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 西 雅文

    精密工学会誌，第54巻，第1号 (1988) pp.96-100.　Vol. 54　No. 1　p. 96-100　1988年1月

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  342. CO2レーザによるSiおよびSi3N4表面酸化反応層の形成と表面層の除去機構

    土屋八郎, 後藤英和, 森 勇藏, 広瀬喜久治, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 西 雅文

    精密工学会誌，第53巻，第11号 (1987) pp.107-113.　Vol. 53　No. 11　p. 1765-1771　1987年11月

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  343. 焼結機構 ＩＩ 雰囲気ガスのネック成長におよぼす影響:雰囲気ガスのネック成長におよぼす影響

    森 勇蔵, 八木 秀次, 紺田 功, 山内 和人

    粉体および粉末冶金　Vol. 33　No. 6　p. 296-301　1986年

    出版者・発行元：Japan Society of Powder and Powder Metallurgy

  344. 焼結機構 Ｉ 新しい焼結式の提案:新しい焼結式の提案

    森 勇蔵, 八木 秀次, 紺田 功, 山内 和人

    粉体および粉末冶金　Vol. 33　No. 6　p. 291-295　1986年

    出版者・発行元：Japan Society of Powder and Powder Metallurgy

  345. EEMの原理と応用

    森 勇蔵, 山内 和人, モリ ユウゾウ, ヤマウチ カズト

    大阪大学低温センターだより　Vol. 53　p. 12-16　1986年1月

    出版者・発行元：大阪大学低温センター

  346. シンクロトロン放射光用ミラーの超精密形状測定装置の開発

    森 勇蔵, 本郷 俊夫, 東 保男, 杉山 和久, 山内 和人, 西川 和仁, 酒井 啓至

    精密機械　Vol. 51　No. 11　p. 2090-2095　1985年11月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  347. EEM(Elastic Emission Machining)の基礎研究(第2報) : 応力場から見た格子欠陥の発生, 増殖の可能性

    森 勇蔵, 井川 直哉, 杉山 和久, 奥田 徹, 山内 和人

    精密機械　Vol. 51　No. 6　p. 1187-1194　1985年6月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  348. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工法 : 流体中の粉末の挙動と加工特性

    森 勇蔵, 奥田 徹, 杉山 和久, 山内 和人

    精密機械　Vol. 51　No. 5　p. 1033-1039　1985年5月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  349. 原子の大きさに迫る加工(1.巨大・微細)(<特集>極限へのアプローチ)

    森 勇蔵, 山内 和人

    精密機械　Vol. 51　No. 1　p. 12-18　1985年1月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  350. シンクロトロン放射光用ミラーの超精密形状測定装置の開発

    森 勇蔵, 本郷 俊夫, 東 保男, 杉山 和久, 山内 和人, 西川 和仁, 酒井 啓至

    精密機械　Vol. 51　No. 11　p. 2090-2095　1985年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  351. EEM (Elastic Emission Machining)の基礎研究(第2報):応力場から見た格子欠陥の発生,増殖の可能性

    森 勇蔵, 井川 直哉, 杉山 和久, 奥田 徹, 山内 和人

    精密機械　Vol. 51　No. 6　p. 1187-1194　1985年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  352. ＥＥＭ（Ｅｌａｓｔｉｃ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）による超精密数値制御加工法 流体中の粉末の挙動と加工特性:流体中の粉末の挙動と加工特性

    森 勇蔵, 奥田 徹, 杉山 和久, 山内 和人

    精密機械　Vol. 51　No. 5　p. 1033-1039　1985年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  353. 極限へのアプローチ Ｉ 巨大・微細 原子の大きさに迫る加工

    森 勇蔵, 山内 和人

    精密機械　Vol. 51　No. 1　p. 12-18　1985年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

  354. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工法 : 流体の挙動解析と膜厚分布

    森 勇蔵, 井川 直哉, 奥田 徹, 杉山 和久, 山内 和人

    精密機械　Vol. 49　No. 11　p. 1540-1548　1983年11月5日

    出版者・発行元：公益社団法人精密工学会

  355. ＥＥＭ（Ｅｌａｓｔｉｃ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）による超精密数値制御加工法 流体の挙動解析と膜厚分布:流体の挙動解析と膜厚分布

    森 勇蔵, 井川 直哉, 奥田 徹, 杉山 和久, 山内 和人

    精密機械　Vol. 49　No. 11　p. 1540-1548　1983年

    出版者・発行元：The Japan Society for Precision Engineering

著書 23

  1. 精密工学会 ―温故知新―

    山内和人

    精密工学会誌 2025 年 91 巻 1 号 p. 1-2　2025年1月

  2. Ultimate condensation of synchrotron radiation X-rays and its application to exploring cutting-edge X-ray science

    山内和人

    SACLA/SPring-8 Research Frontiers 2023, pp.8-11, JASRI　2024年8月

  3. 放射光ビームラインにおけるX線ナノ集光ミラー光学系の高度化とズーム機能の実現

    山内和人

    光学，51(8) (2022) pp. 344-350.　2022年8月

  4. 平成のX線光学・超精密加工を振り返る ～高精度X線ナノ集光ミラーの開発と超精密加工～

    山内 和人

    精密工学会誌 2020 年 86 巻 1 号 p. 32-38　2020年1月

  5. 差分成膜法による高精度X線ミラー作製

    松山智至, 山内和人

    精密工学会誌, Vol.84，No. 6，pp．511-514　2018年

  6. NEW GLASS Vol.32 No.3 触媒表面基準エッチング法による機能材料表面の原子スケール平坦化

    山内 和人

    ニューガラスフォーラム　2017年11月　その他

  7. 応用物理 vol.86 no.10 放射光科学のための高精度X線ミラーの開発

    山内 和人

    応用物理学会　2017年10月　その他

  8. 學士會会報 No.923 放射光科学に貢献するX線のナノ集光技術

    山内 和人

    學士會　2017年3月　その他

  9. 蛍光X線分析の実際 第2版 13.4章 高空間分解能化のための光学技術

    山内和人, 松山智至

    朝倉書店　2016年7月　学術書

    ISBN: 9784254141030

  10. 蛍光X線分析の実際 第2版 13.4章 高空間分解能化のための光学技術

    山内和人, 松山智至

    朝倉書店　2016年7月　学術書

    ISBN: 9784254141030

  11. 病理と臨床 各種顕微鏡の進歩[8] X線顕微鏡

    山内和人, 松山智至

    文光堂　2015年10月　学術書

  12. 病理と臨床 vol.33 no.11 各種顕微鏡の進歩[8] X線顕微鏡

    山内和人, 松山智至

    文光堂　2015年10月　学術書

  13. SiCパワーデバイスの開発と最新動向、第7章第5節SiC 基板表面の原子レベル平坦化技術

    佐野泰久, 有馬健太, 山内和人

    S&T出版　2012年10月　学術書

    ISBN: 9784907002060

  14. Crystal Growth Technology (Chapter 18; Crystal Machining Using Atmospheric Pressure Plasma)

    Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi

    WILEY-VCH　2010年9月　学術書

    ISBN: 9783527325931

  15. 次世代パワー半導体 －省エネルギー社会に向けたデバイス開発の最前線－ 第1章第1節2 PCVMを用いたSiC基板の薄化

    佐野泰久, 山村和也, 山内和人

    (株)エヌ・ティー・エス　2009年10月　学術書

  16. 大気圧プラズマ 基礎と応用 6.7.5 マイクロ／ナノ加工日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会

    佐野泰久, 山村和也, 山内和人

    オーム社　2009年10月　学術書

    ISBN: 9784274207600

  17. Crystal Growth Technology (Chapter 19; Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining)

    Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

    Wiley-VCH　2008年3月　学術書

    ISBN: 9783527317622

  18. Elastic Emission Machining図解「砥粒加工技術のすべて」（砥粒加工学会偏）

    三村秀和, 山内和人, 森勇藏

    工業調査会　2006年9月　学術書

  19. Crystal Growth Technology edited by H. J. Scheel and T. Fukuda Numerically Controlled EEM (Elastic Emission Machining) System for Ultraprecision Figuring and Smoothing of Aspherical Surfaces (Chapter 27)

    YUZO MORI, KAZUTO YAMAUCHI, KIKUJI HIROSE, KAZUHISA SUGIYAMA, KOUJI INAGAKI, HIDEKAZU MIMURA

    John Wiley & Sons, Ltd.　2003年10月　学術書

  20. 原子レベルの平滑面の創成（第Ⅰ編，第4章，第7節）ナノテクノロジーハンドブック, 難波 進他12名編

    森 勇藏, 山内和人

    オーム社　2003年5月　学術書

  21. 究極の物づくり－原子を操る－

    森勇藏, 広瀬喜久治, 芳井熊安, 森田瑞穂, 片岡俊彦, 青野正和, 山内和人, 遠藤勝義, 安武潔, 桑原裕司, 後藤英和

    大阪大学出版会　2002年4月　学術書

  22. 超精密加工技術超精密ポリシング（第5章）

    森 勇藏, 山内和人, 遠藤勝義

    コロナ社(日本機会学会編)　1998年6月　学術書

  23. エレクトロニクス用結晶材料の精密加工技術EEM (Elastic Emission Machining)における粉末粒子・加工物間の相互作用力と加工特性（第5章，第3節）および，光反射率スペクトルと表面層の格子欠陥（第11章，第5節）松永正久他３名編

    森 勇藏, 杉山和久, 山内和人

    サイエンスフォーラム社　1985年5月　学術書

講演・口頭発表等 73

  1. 触媒表面基準エッチング法の高度化と先端光学表面・半導体表面への適用

    山内和人

    プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会30周年記念研究会　2024年12月12日

  2. X線光学素子や先端半導体基板の超精密表面創製法の開発 ー私のライフワークの現状ー

    山内和人

    2024年度 精密工学会九州支部・中国四国支部 「鹿児島地方講演会」・「第25回学生研究発表会」」　2024年12月7日

  3. High-pressure Plasma Etching Technique Up to 900 kPa for Damage-free Ultra-precision Machining

    Shotaro Matsumura, Masafumi Miyake, Yasuhisa Sano, Osaka University, Kenichi Morita, S-Surface Technologies, Kazuto Yamauchi, Osaka University-RIKEN Center for Science, Technology

    39th ASPE Annual Meeting　2024年11月7日

  4. 1. Leakage current reduction with atomically smooth GaN (0001) surface fabricated by photoelectrochemical reaction assisted catalyst-referred etching

    K. Kayao, T. Fukagawa, D. Toh, J. Yamada, K. Yamauchi, Y. Sano

    12th International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2024)　2024年

  5. Preparation of a highly smoothed Si surface via catalyst-referred etching

    Y. Miyaji, K. Kayao, D. Toh, J. Yamada, K. Yamauchi

    The 19th International Conference on Planarization/CMP Technology 2024 (ICPT2024)

  6. High-efficiency GaN polishing by photoelectrochemical etching-assisted catalyst-referred etching

    D Toh, K. Kayao, T. Fukagawa, J. Yamada, K. Yamauchi, Y. Sano

    The 19th International Conference on Planarization/CMP Technology 2024 (ICPT2024)

  7. Development of scanning-imaging X-ray microscope using advanced Kirkpatrick-Baez mirror

    A. Nagamatsu, J. Yamada, A. Yakushigawa, A. Takeuchi, K. Uesugi, D. Toh, Y. Sano, M. Yabashi, K Yamauchi

    15th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2024)

  8. Development of EUV-FEL nanofocusing optics using OSAKA Mirror technology

    K. Hanada, S. Matsuzaka, J. Yamada, H. Nakamori, D. Toh, Y. Sano, K. Yamauchi, M. Kanaoka

    15th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2024)

  9. XAFS imaging & phase-contrast imaging using full-field X-ray microscope based on advanced KB mirror

    A. Yakushigawa, J. Yamada, A. Nagamatsu, T. Uruga, H. Takano, H. Matsui, D. Toh, Y. Sano, M. Yabashi, K. Yamauchi

    16th International Conference on X-Ray Microscopy (XRM2024)

  10. Ultimate condensation of X-ray free electron laser down to single nanometer size by precision mirror devices

    山内和人

    The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN) 2023

  11. Catalyst Referred Etching Method for High Precision Optical Elements

    山内和人

    International Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2023)

  12. High-precision finishing method for a narrow-gap channel-cut crystal X-ray monochromators using atmospheric-pressure plasma with a wire electrode

    S. Matsumura, I. Ogasahara, T. Osaka, K. Yamauchi, M. Yabashi, Y. Sano

    Optical Fabrication and Testing (OF&T)　2023年6月7日

  13. Design, fabrication, and implementation of XFEL sub-10 nm focusing mirrors

    J. Yamada, T. Inoue, S. Matsuyama, N. Nakamura, Y. Tanaka, A. Ito, K. Shioi, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, Y. Sano, M. Yabashi, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)

  14. Generation of extremely intense photon field by condensation of X-ray free electron laser SACLA less than 10 nm

    山内 和人

    International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)

  15. 20. XFEL Sub-10 nm Focusing Mirror System at SACLA for Achieving 10^22 w/cm^2 Intensity

    Yamada, K. Yamauchi, M. Yabashi

    The 40th International Free Electron Laser Conference (FEL2022)

  16. Recent Developments in Reflective X-ray Focusing Devices for Synchrotron Radiation Science

    山内和人

    14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021), ONLINE

  17. Atomically controlled polishing for precision optics

    山内和人

    The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021), ONLINE

  18. Atomically Controlled Surfacing of Single crystalline SiC and GaN by Catalyst-Referred Etching (CARE)

    山内 和人

    The 6th Quantum Science (QS) symposium -The Main Symposium of ICCMSE 2020 -Computational Chemistry and Computational Physics, ONLINE

  19. Development of Catalyst Referred Etching to Produce Atomically Smooth and Crystallographically Ordered Surfaces

    山内 和人

    The 22nd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2019)

  20. Recent Progress in Hard X-ray Reflective Optics for Synchrotron Radiation Sources

    山内 和人

    X RIAO-XIII OPTILAS-MOPM 2019

  21. Fabrication and metrology of precision X-ray optics for new generation synchrotron radiation sources

    山内 和人

    International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2019)

  22. Mirror based X-ray optical system for the next generation beamline

    山内 和人

    International Baltic School 2019 "4-th Generation X-ray Sources: coherent optics and techniques"

  23. Precision Measurement, Fabrication and Related Technologies for X-ray Mirror Optics

    山内 和人

  24. Abrasive-free planarization method of functional materials by Catalyst-Referred Etching (CARE)

    山内 和人

    2018 KSPE Autumn Conference

  25. Advances in X-ray mirror optics for 3rd and 4th generation synchrotron radiation sources

    山内 和人

    The International School on XFEL: Science and Instrumentation

  26. Precision Measurement, Fabrication and Related Technologies for Grazing-incidence X-ray Mirror Optics

    山内 和人

    Ultra Precision Manufacturing of Aspheres & Freeforms, Fraunhofer IOF

  27. Novel Reflective Optics and Systems for Hard X-ray Microscopy

    山内 和人

    2018 Denver X-ray Conference (DXC), Imaging (Meadowbrook), S-6

  28. Cutting-edge optics for X-ray microscopy based on SR and FEL

    山内 和人

    The 6th HeKKSaGon University Presidents' Conference WG5

  29. Abrasive-free Planarization of Functional Materials by Catalyst Referred Etching

    山内 和人

    The 17th International Manufacturing Conference in China (IMCC2017)

  30. Advances and future prospects of precision X-ray mirror optics

    山内 和人

    Light Conference 2017

  31. Nano-focusing and nano-imaging optics for advanced synchrotron radiation sources

    山内 和人

    International Workshop on Frontiers of XFEL science

  32. Atomically smoothing SiC and GaN surfaces by catalyst referred etching

    山内 和人

    International Workshop on Advanced Materials and Nanotechnology 2016 (IWAMN 2016)

  33. Advanced mirror-based optics for full field imaging and zoon condenser systems

    山内 和人

    13th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2016)

  34. Progress of mirror-based optical system for X-ray nanofocusing and imaging

    山内 和人

    International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications (XOPT)

  35. Mirror-based optical system for the 3rd and 4th generation synchrotron radiation sources

    山内 和人

    23rd International Congress on X-ray Optics and Microanalysis (ICXOM 23)

  36. X-ray focusing optics at SACLA

    山内 和人

    HeKKSaGOn University Consortium The 4th Japanese-German University Presidents' Conference

  37. Atomically controlled surfacing of single crystalline SiC and GaN by catalyst referred etching

    山内 和人

    2014 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT 2014)

  38. Recent progress of the K-B nano-focusing system

    山内 和人

    ALBA-SSRF Bilateral Workshop

  39. Abrasive-Free Polishing of SiC Wafer Utilizing Catalyst Surface Reaction

    山内 和人

    224th ECS (The Electrochemical Society) Meeting

  40. Nanofocusing of X-ray free electron laser for coherent X-ray science

    山内 和人

    X-ray lasers in biology, The Royal Society

  41. Planarization of GaN Wafer Using Novel Polishing Technique Utilizing Catalyst Surface Reaction,

    山内 和人

    2013 JSPA-MRS Joint Symposia, Symposium J

  42. Development of full-field hard x-ray microscopy with four aspherical mirrors

    山内 和人

    SPIE Optics+Photonics

  43. Nanofocusing and single shot wavefront diagnosis of SACLA

    山内 和人

    SPIE Optics+Optelectronics

  44. Mirror optics of beam delivery & spectrometers

    山内 和人

    European XFEL Users' Meeting

  45. Recent progress on mirror-based optics for the 3rd and 4th generation synchrotron radiation sources

    山内 和人

    5th International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology

  46. Nanofocusing optics for hard x-ray free electron laser

    山内 和人

    SPIE Optics+Photonics

  47. Recent progress on mirror-based optical systems for coherent hard-x-ray science

    山内 和人

    11th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2012)

  48. Hard X-ray nanofocusing and wavefront diagnosis

    山内 和人

    4th international workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design, and Fabrication, International Workshop on X-ray Mirror and related devices

  49. Progress of Mirror-based Focusing Optics for X-ray Free Electron Laser

    山内 和人

    5th Asian Workshop on Generation and Application of Coherent XUV and X-ray Radiation

  50. Nanofocusing and wavefront analysis of SACLA

    山内 和人

    Coherence 2012

  51. High-resolution X-ray ptychography using focused hard X-ray beam

    山内 和人

    Coherence 2012

  52. Current status of mirror-based optics for coherent x-ray science

    山内 和人

    3rd Ringberg Workshop on Science with FELs

  53. Mirror-based optical systems for nanofocusing and nanoimaging of hard X-rays

    山内 和人

    4th International Workshop on FEL Science　2011年8月29日

  54. Deterministic fabrication process for precision X-ray mirrors

    山内 和人

    2nd EOS Conference on Manufacturing of Optical Components (EOSMOC 2011)

  55. Current status of precision mirror development for coherent X-rays

    山内 和人

    SPIE Optics+Optoelectronics

  56. Single-nanometer focusing of hard x-rays using novel adaptive optical system

    山内 和人

    Adaptive & Active X-ray and XUV optics (ACTOP11)

  57. Highly-Ordered GaN (0001) Surface Prepared by Catalyst Referred Etching

    山内 和人

    The 7th International Workshop on Bulk Nitride Semiconductors

  58. Recent Achievement in Mirror Optics for Coherent X-rays

    山内 和人

    3rd Workshop on FEL Science

  59. Atomically Controlled Polishing of Single-Crystalline SiC and GaN

    山内 和人

    2nd International Conference on Nanomanufacturing

  60. Sub10nm Focusing of Hard X-rays Using Mirror Optics

    山内 和人

    10th International Conference on X-ray Microscopy (XRM)

  61. 10nm-Level Focusing of Hard X-Rays by KB Mirrors

    山内 和人

    OSA'S 93rd Annual Meeting

  62. Mirror Optics for Coherent X-rays and Overview of the Osaka International Workshop on X-ray Mirror Design, Fabrication and Metrology

    山内 和人

    10th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation

  63. Hard X-ray Nanofocusing by Kirkpatrick-Baez (KB) mirrors

    山内 和人

    20th international congress on X-ray optics and microanalysis

  64. Spatial wavelength range of surface roughness improved using elastic emission machining

    山内 和人

    The 9th International Euspen Conference

  65. X-ray focusing with Kirkpatrick-Baez optics

    山内 和人

    SPIE Optics + Photonics 2008 (Workshop: Focus on X-ray Focusing)

  66. Synchrotron-radiation-based hard X-ray nanobeam by Kirkpatrick-Baez mirrors

    山内 和人

    European Conference on X-Ray Spectrometry

  67. Catalyst-referred etching - novel abrasive-free polishing method

    山内 和人

    4th International Workshop on Crystal Growth Technology

  68. Focusing hard X-ray to sub-10nm by reflective optics

    山内 和人

    ESRF, SPring-8, APS Three-Way Meeting

  69. Recent achievements and next strategies in hard-X-ray nano-focusing

    山内 和人

    Advanced X-ray Optics Metrology for Nano-focusing and Coherence Preservation　2007年10月5日

  70. Elastic Emission Machining for the Fabrication of X-ray and EUV Mirrors

    山内 和人

    OSA Optical Fabrication and Testing, Topical Meeting

  71. Diffraction-limited X-ray nanobeam with KB mirrors

    山内 和人

    Workshop on New Science Opportunities with Nanometer-Sized X-Ray Beams (ERL X-ray Science Workshops 6)

  72. Hard X-ray Nano-Focusing with Ultraprecisely Figured Mirrors

    山内 和人

    ESRF, APS, SPring-8, The 10th Three-Way Meeting

  73. Hard X-ray Focusing less than 50 nm for Nanoscopy/spectroscopy

    山内 和人

    9th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2006)

報道 31

  1. 微細構造にハイブリッド機能 阪大など製造技術 素材内の特定場所表面加工 親水・撥水薄膜を実現

    日刊工業新聞

    2017年5月

  2. 放射線損傷ない正確な結晶構造決定 タンパク質で初の成功 SACLAのレーザーX線利用

    科学新聞

    2014年6月

  3. X線光子同時吸収 理研など 1つの原子に当て成功

    日経産業新聞

    2014年2月

  4. エックス線自由電子レーザー 集光強度、4万倍に 理研など 鏡を開発

    日経産業新聞

    2012年12月

  5. 最高強度のX線レーザー 高輝度センター米の1.5倍実現

    日刊工業新聞

    2012年12月

  6. What lies beneath: mapping hidden nanostructures

    RIKEN Research

    2012年2月

  7. 物質中の電子密度や特定元素の分布観察 大視野・高分解能Ｘ線顕微鏡 阪大、名大、理研の研究グループ開発

    科学新聞

    2011年10月

  8. 元素識別が可能に 大視野、高分解能Ｘ線顕微鏡を開発 阪大など

    化学工業日報

    2011年10月

  9. 大視野で高分解能 阪大などがＸ線顕微鏡

    日刊工業新聞

    2011年10月

  10. 原子見分ける顕微鏡 阪大・理研など開発

    読売新聞

    2011年9月

  11. 10ナノのくぼみはっきり 新型のＸ線顕微鏡 阪大グループ開発

    朝日新聞（大阪）

    2010年5月

  12. Ｘ線顕微鏡 観察精度10ナノ以下

    日経産業新聞

    2010年4月

  13. たんぱく質結晶構造解析用 1マイクロメートル径X線ビーム作成

    日刊工業新聞

    2010年1月

  14. エックス線ビーム世界最小レベル成功

    毎日新聞

    2009年12月

  15. エックス線ビーム世界最小レベル成功

    毎日新聞（大阪）

    2009年12月

  16. 世界最小径7ナノエックス線実現

    フジサンケイビジネスアイ

    2009年12月

  17. エックス線を1000分の1ミリに

    東京新聞

    2009年12月

  18. 極細X線、直径7ナノメートル 細胞活動に光

    日本経済新聞

    2009年11月

  19. 世界最小直径X線ビーム

    朝日新聞（大阪）

    2009年11月

  20. 直径7ナノのX線ビーム 顕微鏡解像度向上へ

    日刊工業新聞

    2009年11月

  21. 世界最小のX線ビーム 直径7ナノ・メートル

    読売新聞（大阪）

    2009年11月

  22. 世界最小のX線ビーム 細胞の撮影可能に

    東京新聞

    2009年11月

  23. 世界最小直径7ナノメートルX線ビーム 阪大チーム実現 新治療法開発に期待

    産経新聞（大阪）

    2009年11月

  24. 夢の光XFEL使った顕微鏡システム開発

    産経新聞（大阪）

    2008年11月

  25. X線レーザー強度1億倍

    岡山日日新聞

    2008年8月

  26. X線レーザー強度1億倍の鏡を開発

    フジサンケイビジネスアイ

    2008年8月

  27. 夢の光強度1億倍に 世界初大型鏡 阪大・理研開発

    産経新聞（大阪）

    2008年8月

  28. 滑らかさ極めた鏡 レーザー光1億倍強力に

    読売新聞（大阪）

    2008年8月

  29. 超滑らか「鏡」開発

    朝日新聞

    2008年8月

  30. X線自由電子レーザー用大型集光鏡 表面誤差最大2ナノメートル 阪大、理研と作製

    日刊工業新聞

    2008年8月

  31. 反射鏡、表面凹凸2ナノ X線レーザー回析力向上

    日経産業新聞

    2008年8月

学術貢献活動 23

  1. アメリカ光学会（OSA)（フェロー）

    2017年9月 ～ 継続中

  2. アメリカ光学会（OSA)（シニアメンバー）

    2017年6月 ～ 継続中

  3. 国際光工学会（SPIE）（フェロー）

    2017年1月 ～ 継続中

  4. 国際光工学会（SPIE）（シニアメンバー）

    2015年9月 ～ 継続中

  5. 精密工学会 超精密加工専門委員会（委員長）

    2008年7月 ～ 継続中

  6. 精密工学会 関西支部（幹事）

    2007年4月 ～ 2011年3月

  7. 精密工学会 関西支部（幹事）

    2002年2月 ～ 2007年1月

  8. 精密工学会 関西支部（商議員）

    2002年2月 ～ 2006年1月

  9. International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019)

    理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

    2020年4月 ～

  10. International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019)

    理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

    2019年4月 ～

  11. International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)

    理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

    2018年4月 ～

  12. International Conference on X-ray Optics and Applications 2017 (XOPT’17)

    理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

    2017年4月 ～

  13. International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT'16)

    理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

    2016年5月 ～

  14. 日本物理学会大阪支部公開シンポジウム 「サイエンスからテクノロジーへ−役に立つ物理への出帆−」

    日本物理学会大阪支部

    2014年12月 ～

  15. Workshop on Atomically Controlled Fabrication Technology

    卓越した大学院形成支援補助金（高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点）

    2014年2月 ～

  16. The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics

    X線結像光学研究会

    2013年11月 ～

  17. グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

    大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」

    2012年10月 ～

  18. グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

    大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」

    2011年10月 ～

  19. グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

    大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」

    2010年11月 ～

  20. グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

    大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」

    2009年11月 ～

  21. International Workshop on X-ray Mirror Design, Fabridation, and Metrology

    大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」

    2009年9月 ～

  22. 21世紀COE国際ワークショップ

    精密科学教室

    2005年11月 ～

  23. Optics Photonics

    The International Society for Oprical Engineering

    2005年8月 ～

機関リポジトリ 83

大阪大学の学術機関リポジトリ（OUKA）に掲載されているコンテンツ

  1. Hard x-ray intensity autocorrelation using direct two-photon absorption

    Osaka Taito, Inoue Ichiro, Yamada Jumpei, Inubushi Yuichi, Matsumura Shotaro, Sano Yasuhisa, Tono Kensuke, Yamauchi Kazuto, Tamasaku Kenji, Yabashi Makina

    Physical Review Research　Vol. 4　No. 1　2022年3月18日

  2. Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system

    Inoue Takato, Nishioka Yuka, Matsuyama Satoshi, Sonoyama Junki, Akiyama Kazuteru, Nakamori Hiroki, Ichii Yoshio, Sano Yasuhisa, Shi Xianbo, Shu Deming, Wyman Max D., Harder Ross, Kohmura Yoshiki, Yabashi Makina, Assoufid Lahsen, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 92　No. 12　2021年12月28日

  3. High-throughput deterministic plasma etching using array-type plasma generator system

    Sano Yasuhisa, Nishida Ken, Asada Ryohei, Okayama Shinya, Toh Daisetsu, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 92　No. 12　2021年12月16日

  4. Photoelectrochemical oxidation assisted catalyst-referred etching for sic (0001) surface

    Toh Daisetsu, Bui Pho Van, Yamauchi Kazuto, Sano Yasuhisa

    International Journal of Automation Technology　Vol. 15　No. 1　p. 74-79　2021年1月5日

  5. X-Ray Single-Grating Interferometry for Wavefront Measurement and Correction of Hard X-Ray Nanofocusing Mirrors

    Yamada Jumpei, Inoue Takato, Nakamura Nami, Kameshima Takashi, Yamauchi Kazuto, Matsuyama Satoshi, Yabashi Makina

    Sensors　Vol. 20　No. 24　2020年12月2日

  6. An abrasive-free chemical polishing method assisted by nickel catalyst generated by in situ electrochemical plating

    Toh Daisetsu, Van Bui Pho, Isohashi Ai, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto, Sano Yasuhisa

    Review of Scientific Instruments　Vol. 91　No. 4　2020年4月13日

  7. Development of an experimental platform for combinative use of an XFEL and a high-power nanosecond laser

    Inubushi Yuichi, Yabuuchi Toshinori, Togashi Tadashi, Sueda Keiichi, Miyanishi Kohei, Tange Yoshinori, Ozaki Norimasa, Matsuoka Takeshi, Kodama Ryosuke, Osaka Taito, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto, Yumoto Hirokatsu, Koyama Takahisa, Ohashi Haruhiko, Tono Kensuke, Yabashi Makina

    Applied Sciences　Vol. 10　No. 7　2020年4月1日

  8. Catalyzed chemical polishing of SiO2 glasses in pure water

    Toh Daisetsu, Bui Pho Van, Isohashi Ai, Kidani Naotaka, Matsuyama Satoshi, Sano Yasuhisa, Morikawa Yoshitada, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 90　No. 4　2019年4月15日

  9. Surface finishing method using plasma chemical vaporization machining for narrow channel walls of x-ray crystal monochromators

    Hirano Takashi, Morioka Yuki, Matsumura Shotaro, Sano Yasuhisa, Osaka Taito, Matsuyama Satoshi, Yabashi Makina, Yamauchi Kazuto

    International Journal of Automation Technology　Vol. 13　No. 2　p. 246-253　2019年3月5日

  10. Development of a glue-free bimorph mirror for use in vacuum chambers

    Ichii Yoshio, Okada Hiromi, Nakamori Hiroki, Ueda Akihiko, Yamaguchi Hiroyuki, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 90　No. 2　2019年2月11日

  11. Systematic-error-free wavefront measurement using an X-ray single-grating interferometer

    Inoue Takato, Matsuyama Satoshi, Kawai Shogo, Yumoto Hirokatsu, Inubushi Yuichi, Osaka Taito, Inoue Ichiro, Koyama Takahisa, Tono Kensuke, Ohashi Haruhiko, Yabashi Makina, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 89　No. 4　2018年4月26日

  12. Characteristics and mechanism of catalyst-referred etching method: Application to 4H-SiC

    Van Bui Pho, Sano Yasuhisa, Morikawa Yoshitada, Yamauchi Kazuto

    International Journal of Automation Technology　Vol. 12　No. 2　p. 154-159　2018年3月5日

  13. Development of concave-convex imaging mirror system for a compact and achromatic full-field x-ray microscope

    Yamada Jumpei, Matsuyama Satoshi, Yasuda Shuhei, Sano Yasuhisa, Kohmura Yoshiki, Yabashi Makina, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Proceedings of SPIE　Vol. 10386　2017年9月6日

  14. Development of precision Wolter mirrors for solar x-ray observations

    Sakao Taro, Matsuyama Satoshi, Goto Takumi, Yamada Jumpei, Yasuda Shuhei, Yamauchi Kazuto, Kohmura Yoshiki, Kime Ayumi, Miyake Akira, Maezawa Tadakazu, Hashizume Hirokazu, Suematsu Yoshinori, Narukage Noriyuki, Ishikawa Shin-nosuke

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 10386　2017年8月23日

  15. Measurement of the X-ray spectrum of a free electron laser with a wide-range high-resolution single-shot spectrometer

    Inubushi Yuichi, Inoue Ichiro, Kim Jangwoo, Nishihara Akihiko, Matsuyama Satoshi, Yumoto Hirokatsu, Koyama Takahisa, Tono Kensuke, Ohashi Haruhiko, Yamauchi Kazuto, Yabashi Makina

    Applied Sciences　Vol. 7　No. 6　2017年6月6日

  16. Chemical etching of silicon carbide in pure water by using platinum catalyst

    Isohashi Ai, Bui P. V., Toh D., Matsuyama S., Sano Y., Inagaki K., Morikawa Y., Yamauchi K.

    Applied Physics Letters　Vol. 110　No. 20　2017年5月15日

  17. Ultrafast observation of lattice dynamics in laser-irradiated gold foils

    Hartley N. J., Ozaki N., Matsuoka T., Albertazzi B., Faenov A., Fujimoto Y., Habara H., Harmand M., Inubushi Y., Katayama T., Koenig M., Krygier A., Mabey P., Matsumura Y., Matsuyama S., McBride E. E., Miyanishi K., Morard G., Okuchi T., Pikuz T., Sakata O., Sano Y., Sato T., Sekine T., Seto Y., Takahashi K., Tanaka K. A., Tange Y., Togashi T., Umeda Y., Vinci T., Yabashi M., Yabuuchi T., Yamauchi K., Kodama R.

    Applied Physics Letters　Vol. 110　No. 7　2017年2月13日

  18. Size-changeable x-ray beam collimation using an adaptive x-ray optical system based on four deformable mirrors

    Goto T., Matsuyama S., Nakamori H., Hayashi H., Sano Y., Kohmura Y., Yabashi M., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 9965　2016年10月27日

  19. Development of array-type atmospheric-pressure RF plasma generator with electric on-off control for high-throughput numerically controlled processes

    Takei H., Kurio S., Matsuyama S., Yamauchi K., Sano Y.

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 10　2016年10月

  20. Indirect monitoring shot-to-shot shock waves strength reproducibility during pump-probe experiments

    Pikuz T. A., Faenov A. Ya, Ozaki N., Hartley N. J., Albertazzi B., Matsuoka T., Takahashi K., Habara H., Tange Y., Matsuyama S., Yamauchi K., Ochante R., Sueda K., Sakata O., Sekine T., Sato T., Umeda Y., Inubushi Y., Yabuuchi T., Togashi T., Katayama T., Yabashi M., Harmand M., Morard G., Koenig M., Zhakhovsky V., Inogamov N., Safronova A. S., Stafford A., Skobelev I. Yu, Pikuz S. A., Okuchi T., Seto Y., Tanaka K. A., Ishikawa T., Kodama R.

    Journal of Applied Physics　Vol. 120　No. 3　2016年7月21日

  21. Development of speckle-free channel-cut crystal optics using plasma chemical vaporization machining for coherent x-ray applications

    Hirano Takashi, Osaka Taito, Sano Yasuhisa, Inubushi Yuichi, Matsuyama Satoshi, Tono Kensuke, Ishikawa Tetsuya, Yabashi Makina, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 6　2016年6月

  22. Stitching interferometry for ellipsoidal x-ray mirrors

    Yumoto Hirokatsu, Koyama Takahisa, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto, Ohashi Haruhiko

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 5　2016年5月

  23. Damage threshold of coating materials on x-ray mirror for x-ray free electron laser

    Koyama Takahisa, Yumoto Hirokatsu, Miura Takanori, Tono Kensuke, Togashi Tadashi, Inubushi Yuichi, Katayama Tetsuo, Kim Jangwoo, Matsuyama Satoshi, Yabashi Makina, Yamauchi Kazuto, Ohashi Haruhiko

    Review of Scientific Instruments　Vol. 87　No. 5　2016年5月

  24. High-efficiency planarization method combining mechanical polishing and atmospheric-pressure plasma etching for hard-to-machine semiconductor substrates

    Sano Yasuhisa, Shiozawa Kousuke, Doi Toshiro, Kurokawa Syuhei, Aida Hideo, Miyashita Tadakazu, Yamauchi Kazuto

    Mechanical Engineering Journal　Vol. 3　No. 1　2016年2月

  25. Study on the mechanism of platinum-assisted hydrofluoric acid etching of SiC using density functional theory calculations

    Bui P. V., Isohashi A., Kizaki H., Sano Y., Yamauchi K., Morikawa Y., Inagaki K.

    Applied Physics Letters　Vol. 107　No. 20　2015年11月16日

  26. Development of achromatic full-field hard x-ray microscopy with two monolithic imaging mirrors

    Matsuyama S., Kino H., Yasuda S., Kohmura Y., Okada H., Yabashi M., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 9592　2015年9月17日

  27. Development of precision Wolter mirrors for future solar x-ray observations

    Sakao Taro, Matsuyama Satoshi, Kime Ayumi, Goto Takumi, Nishihara Akihiko, Nakamori Hiroki, Yamauchi Kazuto, Kohmura Yoshiki, Miyake Akira, Hashizume Hirokazu, Maezawa Tadakazu, Suematsu Yoshinori, Narukage Noriyuki

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 9603　2015年9月4日

  28. Development of ion beam figuring system with electrostatic deflection for ultraprecise X-ray reflective optics

    Yamada Jumpei, Matsuyama Satoshi, Sano Yasuhisa, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 86　No. 9　2015年9月

  29. Damage to inorganic materials illuminated by focused beam of X-ray free-electron laser radiation

    Koyama Takahisa, Yumoto Hirokatsu, Tono Kensuke, Togashi Tadashi, Inubushi Yuichi, Katayama Tetsuo, Kim Jangwoo, Matsuyama Satoshi, Yabashi Makina, Yamauchi Kazuto, Ohashi Haruhiko

    Proceedings of SPIE　Vol. 9511　2015年5月12日

  30. Hard X-ray nanofocusing using adaptive focusing optics based on piezoelectric deformable mirrors

    Goto Takumi, Nakamori Hiroki, Kimura Takashi, Sano Yasuhisa, Kohmura Yoshiki, Tamasaku Kenji, Yabashi Makina, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto, Matsuyama Satoshi

    Review of Scientific Instruments　Vol. 86　No. 4　2015年4月

  31. Development of split-delay x-ray optics using Si(220) crystals at SACLA

    Osaka Taito, Hirano Takashi, Yabashi Makina, Sano Yasuhisa, Tono Kensuke, Inubushi Yuichi, Sato Takahiro, Ogawa Kanade, Matsuyama Satoshi, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 9210　2014年10月8日

  32. Development of a one-dimensional two-stage focusing system with two deformable mirrors

    Goto T., Matsuyama S., Nakamori H., Kimura T., Sano Y., Kohmura Y., Tamasaku K., Yabashi M., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 9208　2014年10月3日

  33. Development of achromatic full-field hard X-ray microscopy and its application to X-ray absorption near edge structure spectromicroscopy

    Matsuyama S., Emi Y., Kino H., Kohmura Y., Yabashi M., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 9207　2014年9月5日

  34. Dependence of GaN Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining on Mechanically Introduced Damage

    Sano Yasuhisa, Doi Toshiro K., Kurokawa Syuhei, Aida Hideo, Ohnishi Osamu, Uneda Michio, Shiozawa Kousuke, Okada Yu, Yamauchi Kazuto

    Sensors and Materials　Vol. 26　No. 4　p. 429-434　2014年6月29日

  35. High-resolution multislice X-ray ptychography of extended thick objects

    Suzuki Akihiro, Furutaku Shin, Shimomura Kei, Yamauchi Kazuto, Kohmura Yoshiki, Ishikawa Tetsuya, Takahashi Yukio

    Physical Review Letters　Vol. 112　No. 5　2014年2月4日

  36. Damage characteristics of platinum/carbon multilayers under X-ray free-electron laser irradiation

    Kim Jangwoo, Koyama Takahisa, Yumoto Hirokatsu, Nagahira Ayaka, Matsuyama Satoshi, Sano Yasuhisa, Yabashi Makina, Ohashi Haruhiko, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 8848　2013年9月27日

  37. Damage threshold investigation using grazing incidence irradiation by hard X-ray free electron laser

    Koyama T., Yumoto H., Tono K., Sato T., Togashi T., Inubushi Y., Katayama T., Kim J., Matsuyama S., Mimura H., Yabashi M., Yamauchi K., Ohashi H.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 8848　2013年9月27日

  38. Thin crystal development and applications for hard x-ray free-electron lasers

    Osaka Taito, Yabashi Makina, Sano Yasuhisa, Tono Kensuke, Inubushi Yuichi, Sato Takahiro, Ogawa Kanade, Matsuyama Satoshi, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 8848　2013年9月27日

  39. Development of achromatic full-field x-ray microscopy with compact imaging mirror system

    Matsuyama S., Emi Y., Kino H., Sano Y., Kohmura Y., Tamasaku K., Yabashi M., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 8851　2013年9月26日

  40. Bragg x-ray ptychography of a silicon crystal: Visualization of the dislocation strain field and the production of a vortex beam

    Takahashi Yukio, Suzuki Akihiro, Furutaku Shin, Yamauchi Kazuto, Kohmura Yoshiki, Ishikawa Tetsuya

    Physical Review B　Vol. 87　No. 12　2013年3月7日

  41. High-resolution and high-sensitivity phase-contrast imaging by focused hard x-ray ptychography with a spatial filter

    Takahashi Yukio, Suzuki Akihiro, Furutaku Shin, Yamauchi Kazuto, Kohmura Yoshiki, Ishikawa Tetsuya

    Applied Physics Letters　Vol. 102　No. 9　2013年3月4日

  42. Experimental and simulation study of undesirable short-period deformation in piezoelectric deformable x-ray mirrors

    Nakamori Hiroki, Matsuyama Satoshi, Imai Shota, Kimura Takashi, Sano Yasuhisa, Kohmura Yoshiki, Tamasaku Kenji, Yabashi Makina, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 83　No. 5　2012年5月3日

  43. Development of a one-dimensional Wolter mirror for achromatic full-field X-ray microscopy

    Matsuyama S., Kidani N., Mimura H., Kim J., Sano Y., Tamasaku K., Kohmura Y., Yabashi M., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 8139　2011年9月28日

  44. Multiscale element mapping of buried structures by ptychographic x-ray diffraction microscopy using anomalous scattering

    Takahashi Yukio, Suzuki Akihiro, Zettsu Nobuyuki, Kohmura Yoshiki, Yamauchi Kazuto, Ishikawa Tetsuya

    Applied Physics Letters　Vol. 99　No. 13　2011年9月26日

  45. Development of coherent X-ray diffraction apparatus with Kirkpatrick-Baez mirror optics

    Takahashi Y., Tsutsumi R., Nishino Y., Mimura H., Matsuyama S., Ishikawa T., Yamauchi K.

    AIP Conference Proceedings　Vol. 1365　p. 231-234　2011年9月16日

  46. Towards high-resolution ptychographic x-ray diffraction microscopy

    Takahashi Yukio, Suzuki Akihiro, Zettsu Nobuyuki, Kohmura Yoshiki, Senba Yasunori, Ohashi Haruhiko, Yamauchi Kazuto, Ishikawa Tetsuya

    Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics　Vol. 83　No. 21　2011年6月13日

  47. Wavefield characterization of nearly diffraction-limited focused hard x-ray beam with size less than 10 nm

    Kimura Takashi, Mimura Hidekazu, Handa Soichiro, Yumoto Hirokatsu, Yokoyama Hikaru, Imai Shota, Matsuyama Satoshi, Sano Yasuhisa, Tamasaku Kenji, Komura Yoshiki, Nishino Yoshinori, Yabashi Makina, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 81　No. 12　2010年12月29日

  48. High-resolution projection image reconstruction of thick objects by hard x-ray diffraction microscopy

    Takahashi Yukio, Nishino Yoshinori, Tsutsumi Ryosuke, Zettsu Nobuyuki, Matsubara Eiichiro, Yamauchi Kazuto, Ishikawa Tetsuya

    Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics　Vol. 82　No. 21　2010年12月2日

  49. Development of a one-dimensional Wolter mirror for an advanced Kirkpatrick-Baez mirror

    Matsuyama S., Wakioka T., Mimura H., Kimura T., Kidani N., Sano Y., Nishino Y., Tamasaku K., Yabashi M., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 7802　2010年8月27日

  50. 触媒表面を基準面とする化学研磨法の開発

    佐野 泰久, 有馬 健太, 山内 和人

    大阪大学低温センターだより　Vol. 150　p. 22-27　2010年4月

  51. An experimental procedure for precise evaluation of electron density distribution of a nanostructured material by coherent x-ray diffraction microscopy

    Takahashi Yukio, Kubo Hideto, Nishino Yoshinori, Furukawa Hayato, Tsutsumi Ryosuke, Yamauchi Kazuto, Ishikawa Tetsuya, Matsubara Eiichiro

    Review of Scientific Instruments　Vol. 81　No. 3　2010年3月30日

  52. Development of incident X-ray flux monitor for coherent X-ray diffraction microscopy

    Takahashi Yukio, Kubo Hideto, Furukawa Hayato, Yamauchi Kazuto, Matsubara Eiichiro, Ishikawa Tetsuya, Nishino Yoshinori

    Journal of Physics: Conference Series　Vol. 186　2009年12月1日

  53. 放射光用X線ミラーの開発

    三村 秀和, 山内 和人

    大阪大学低温センターだより　Vol. 148　p. 19-25　2009年10月

  54. Termination dependence of surface stacking at 4H-SiC (0001) -1×1: Density functional theory calculations

    Hara Hideyuki, Morikawa Yoshitada, Sano Yasuhisa, Yamauchi Kazuto

    Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics　Vol. 79　No. 15　2009年4月27日

  55. Feasibility study of high-resolution coherent diffraction microscopy using synchrotron x rays focused by Kirkpatrick-Baez mirrors

    Takahashi Yukio, Nishino Yoshinori, Mimura Hidekazu, Tsutsumi Ryosuke, Kubo Hideto, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Journal of Applied Physics　Vol. 105　No. 8　2009年4月15日

  56. Direct determination of the wave field of an x-ray nanobeam

    Mimura Hidekazu, Yumoto Hirokatsu, Matsuyama Satoshi, Handa Soichiro, Kimura Takashi, Sano Yasuhisa, Yabashi Makina, Nishino Yoshinori, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Physical Review A　Vol. 77　No. 1　2008年1月31日

  57. Figuring and smoothing capabilities of elastic emission machining for low-thermal-expansion glass optics

    Kanaoka M., Liu C., Nomura K., Ando M., Takino H., Fukuda Y., Mimura H., Yamauchi K., Mori Y.

    Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures　Vol. 25　No. 6　p. 2110-2113　2007年12月7日

  58. Microstitching interferometer and relative angle determinable stitching interferometer for half-meter-long X-ray mirror

    Ohashi Haruhiko, Tsumura Takashi, Okada Hiromi, Mimura Hidekazu, Masunaga Tatsuhiko, Senba Yasunori, Goto Shunji, Yamauchi Kazuto, Ishikawa Tetsuya

    Proceedings of SPIE　Vol. 6704　2007年10月1日

  59. Fabrication of ultrathin and highly uniform silicon on insulator by numerically controlled plasma chemical vaporization machining

    Sano Yasuhisa, Yamamura Kazuya, Mimura Hidekazu, Yamauchi Kazuto, Mori Yuzo

    Review of Scientific Instruments　Vol. 78　No. 8　2007年8月7日

  60. Atomic-scale flattening of SiC surfaces by electroless chemical etching in HF solution with Pt catalyst

    Arima Kenta, Hara Hideyuki, Murata Junji, Ishida Takeshi, Okamoto Ryota, Yagi Keita, Sano Yasuhisa, Mimura Hidekazu, Yamauchi Kazuto

    Applied Physics Letters　Vol. 90　No. 20　2007年5月16日

  61. Efficient focusing of hard x rays to 25 nm by a total reflection mirror

    Mimura Hidekazu, Yumoto Hirokatsu, Matsuyama Satoshi, Sano Yasuhisa, Yamamura Kazuya, Mori Yuzo, Yabashi Makina, Nishino Yoshinori, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Applied Physics Letters　Vol. 90　No. 5　2007年1月29日

  62. Development of scanning x-ray fluorescence microscope with spatial resolution of 30 nm using Kirkpatrick-Baez mirror optics

    Matsuyama S., Mimura H., Yumoto H., Sano Y., Yamamura K., Yabashi M., Nishino Y., Tamasaku K., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Review of Scientific Instruments　Vol. 77　No. 10　2006年10月11日

  63. Development of mirror manipulator for hard-x-ray nanofocusing at sub-50-nm level

    Matsuyama S., Mimura H., Yumoto H., Hara H., Yamamura K., Sano Y., Endo K., Mori Y., Yabashi M., Nishino Y., Tamasaku K., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Review of Scientific Instruments　Vol. 77　No. 9　2006年9月25日

  64. At-wavelength figure metrology of total reflection mirrors in hard x-ray region

    Yumoto Hirokatsu, Mimura Hidekazu, Matsuyama Satoshi, Handa Soichiro, Shibatani Akihiko, Katagishi Keiko, Sano Yasuhisa, Yabashi Makina, Nishino Yoshinori, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 6317　2006年8月29日

  65. Single-Shot Spectrometry for X-Ray Free-Electron Lasers

    Yabashi Makina, Hastings Jerome B., Zolotorev Max S., Mimura Hidekazu, Yumoto Hirokatsu, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto, Ishikawa Tetsuya

    Physical Review Letters　Vol. 97　No. 8　2006年8月25日

  66. At-wavelength figure metrology of hard x-ray focusing mirrors

    Yumoto Hirokatsu, Mimura Hidekazu, Matsuyama Satoshi, Handa Soichiro, Sano Yasuhisa, Yabashi Makina, Nishino Yoshinori, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 77　No. 6　2006年6月30日

  67. Results of x-ray mirror round-robin metrology measurements at the APS, ESRF, and SPring-8 optical metrology laboratories

    Assoufid Lahsen, Rommeveaux Amparo, Ohashi Haruhiko, Yamauchi Kazuto, Mimura Hidekazu, Qian Jun, Hignette Olivier, Ishikawa Tetsuya, Morawe Christian, Macrander Albert, Khounsary Ali, Goto Shunji

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 5921　2005年9月16日

  68. Diffraction-limited two-dimensional hard-x-ray focusing at the 100 nm level using a Kirkpatrick-Baez mirror arrangement

    Matsuyama S., Mimura H., Yumoto H., Yamamura K., Sano Y., Endo K., Mori Y., Nishino Y., Tamasaku K., Ishikawa T., Yabashi M., Yamauchi K.

    Review of Scientific Instruments　Vol. 76　No. 8　2005年8月4日

  69. Fabrication of elliptically figured mirror for focusing hard x rays to size less than 50 nm

    Yumoto Hirokatsu, Mimura Hidekazu, Matsuyama Satoshi, Hara Hideyuki, Yamamura Kazuya, Sano Yasuhisa, Ueno Kazumasa, Endo Katsuyoshi, Mori Yuzo, Yabashi Makina, Nishino Yoshinori, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 76　No. 6　2005年6月7日

  70. Relative angle determinable stitching interferometry for hard x-ray reflective optics

    Mimura Hidekazu, Yumoto Hirokatsu, Matsuyama Satoshi, Yamamura Kazuya, Sano Yasuhisa, Ueno Kazumasa, Endo Katsuyoshi, Mori Yuzo, Yabashi Makina, Tamasaku Kenji, Nishino Yoshinori, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    Review of Scientific Instruments　Vol. 76　No. 4　2005年3月16日

  71. Wave-optical and ray-tracing analysis to establish a compact two-dimensional focusing unit using K-B mirror arrangement

    Matsuyama S., Mimura H., Yamamura K., Yumoto H., Sano Y., Endo K., Mori Y., Yabashi M., Tamasaku K., Nishino Y., Ishikawa T., Yamauchi K.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 5533　p. 181-191　2004年10月18日

  72. EEM(Elastic Emission Machining)によるSi(001)表面の平坦化（第2報） : 加工表面の原子像観察と構造評価

    山内 和人, 三村 秀和, 久保田 章亀, 有馬 健太, 稲垣 耕司, 遠藤 勝義, 森 勇藏

    精密工学会誌論文集　Vol. 70　No. 4　p. 547-551　2004年4月5日

  73. EEM(Elastic Emission Machining)によるSi(001)表面の平坦化（第1報） : 半導体表面の超平坦化のための超清浄EEMシステムの開発

    森 勇藏, 山内 和人, 三村 秀和, 稲垣 耕司, 久保田 章亀, 遠藤 勝義

    精密工学会誌論文集　Vol. 70　No. 3　p. 391-396　2004年3月5日

  74. 超高精度硬X線集光ミラーの製作とナノスペクトロスコピーへの応用

    山村 和也, 山内 和人, 佐野 泰久, 三村 秀和, 遠藤 勝義, 森 勇蔵

    大阪大学低温センターだより　Vol. 125　p. 4-10　2004年1月

  75. Fabrication of elliptical mirror at nanometer-level accuracy for hard x-ray focusing by numerically controlled plasma chemical vaporization machining

    Yamamura Kazuya, Yamauchi Kazuto, Mimura Hidekazu, Sano Yasuhisa, Saito Akira, Endo Katsuyoshi, Souvorov Alexei, Yabashi Makina, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Mori Yuzo

    Review of Scientific Instruments　Vol. 74　No. 10　p. 4549-4553　2003年10月

  76. Microstitching interferometry for x-ray reflective optics

    Yamauchi Kazuto, Yamamura Kazuya, Mimura Hidekazu, Sano Yasuhisa, Saito Akira, Ueno Kazumasa, Endo Katsuyoshi, Souvorov Alexei, Yabashi Makina, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Mori Yuzo

    Review of Scientific Instruments　Vol. 74　No. 5　p. 2894-2898　2003年5月

  77. Ultraprecision Machining based on Physics and Chemistry

    Mori Yuzo, Hirose Kikuji, Yamauchi Kazuto, Goto Hidekazu, Yamamura Kazuya, Sano Yasuhisa

    Sensors and materials　Vol. 15　No. 1　p. 1-19　2003年

  78. Figuring with subnanometer-level accuracy by numerically controlled elastic emission machining

    Yamauchi Kazuto, Mimura Hidekazu, Inagaki Kouji, Mori Yuzo

    Review of Scientific Instruments　Vol. 73　No. 11　p. 4028-4033　2002年11月

  79. Nearly diffraction-limited line focusing of a hard-X-ray beam with an elliptically figured mirror

    Yamauchi Kazuto, Yamamura Kazuya, Mimura Hidekazu, Sano Yasuhisa, Saito Akira, Souvorov Alexei, Yabashi Makina, Tamasaku Kenji, Ishikawa Tetsuya, Mori Yuzo

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 9　No. 5　p. 313-316　2002年9月

  80. Deterministic retrieval of surface waviness by means of topography with coherent X-rays

    Souvorov A., Yabashi M., Tamasaku K., Ishikawa T., Mori Y., Yamauchi K., Yamamura K., Saito A.

    Journal of Synchrotron Radiation　Vol. 9　No. 4　p. 223-228　2002年7月

  81. 数値制御EEM (Elastic Emission Machining) 加工システムの開発

    Yamauchi Kazuto, Mimura Hidekazu, Mori Yuzo

    表面科学　Vol. 22　No. 3　p. 152-159　2001年3月

  82. EEMの原理と応用

    森 勇蔵, 山内 和人

    大阪大学低温センターだより　Vol. 53　p. 12-16　1986年1月

  83. EEM （Elastic Emission Machining） による超精密加工に関する研究

    山内 和人