２本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計:非球面凹面ミラーの表面形状計測精度

小川 尚利, 中野 元博, 押鐘 寧, 井上 晴行, 山内 和人

精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2010　No. 0　p. 741-742　2010年

ファイバ型PS/PDIの非球面形状計測への応用:平面ミラーへの適用

宇高 和明, 松浦 敏普, 押鐘 寧, 井上 晴行, 中野 元博, 片岡 俊彦, 山内 和人

精密工学会学術講演会講演論文集　Vol. 2009　No. 0　p. 455-456　2009年

Observation of Nanoscale Deep-Holes on Pt Thin Film with Scanning Near-Field Optical Microscope Using a Microsphere Probe

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 82-83　2009年

3D-BEM Analyses of Electromagnetic Field Around Optical Probe Tip with Two Subwavelength Apertures

Extended Abstract of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 84-85　2009年

スズ貫通孔ターゲットを用いたレーザ生成プラズマEUV(Extreme Ultraviolet)光源*

中野 元博, 三田 泰之, 井上 晴行, 押鐘 寧, 片岡 俊彦

精密工学会誌　Vol. vol. 75, no. 8　No. 8　p. 967-972　2009年

微小球をプローブとする走査型近接場光学顕微鏡の開発 -Pt薄膜上の100nm×100nm開孔の２次元配列構造の観察-

光アライアンス　Vol. vol.20 No.11, 2009　2009年

Measurement of Extreme Ultraviolet Radiation from Laser-produced Sn Plasma in Through-Hole

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 80-81　2009年

Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 78-79　2009年

Observation of Nanoscale Deep-Holes on Pt Thin Film with Scanning Near-Field Optical Microscope Using a Microsphere Probe

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 82-83　2009年

スズ貫通孔ターゲットを用いたレーザ生成プラズマEUV(Extreme Ultraviolet)光源

中野 元博, 三田 泰之, 井上 晴行, 押鐘 寧, 片岡 俊彦

精密工学会誌　Vol. vol. 75, no. 8　No. 8　p. 967-972　2009年

Development of Near-field Optical Microscope with a small Sphere as Probe -Observation of 2D Array of 100nm*100nm square holes on Pt Thin Film-

Optical Alliance　Vol. vol.20 No.11, 2009　2009年

Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 78-79　2009年

Measurement of Extreme Ultraviolet Radiation from Laser-produced Sn Plasma in Through-Hole

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 80-81　2009年

Numerical reconstruction of wavefront in phase-shifting point diffraction interferometer by digital holography

Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS　Vol. 40　No. 6-7　p. 1028-1032　2008年6月

Observation of localized optical near-field generated by submicron two-hole structure for novel SNOM probe

Yasushi Oshikane, Seiji Hara, Takuya Matsuda, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS　Vol. 40　No. 6-7　p. 1054-1058　2008年6月

Measurement accuracy in phase-shifting point diffraction interferometer with two optical fibers

Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Takaaki Nakamura, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka

OPTICAL REVIEW　Vol. 14　No. 6　p. 401-405　2007年11月　書評論文,書評,文献紹介等

Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. 215-216　2007年

Novel Prove of a Scanning Near-field Optical Microscope Involving Generation of a Localized and Intense Optical Near-field by Sub-micron Multihole Structure Located at the Apex of a Pointed Optical Fiber

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. pp. 89-90　2007年

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecules in the CVM plasma by using spatial resolved optical emission spectrometry

18th International Symposium on Plasma Chemistry　Vol. pp. 166.　2007年

Etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

29th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 273-274.　2007年

Effect of pulse modulated operation on etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007, pp. 15.　2007年

Etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

29th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 273-274.　2007年

Novel Prove of a Scanning Near-field Optical Microscope Involving Generation of a Localized and Intense Optical Near-field by Sub-micron Multihole Structure Located at the Apex of a Pointed Optical Fiber

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. pp. 89-90　2007年

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecules in the CVM plasma by using spatial resolved optical emission spectrometry

18th International Symposium on Plasma Chemistry　Vol. pp. 166.　2007年

Effect of pulse modulated operation on etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007, pp. 15.　2007年

Observation of Nano-structure by SNOM with Small Sphere Probe

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006年

Ro-vibronic Structure in the Q-branch in the Spectra of Hydrogen Fulcher-a Band Emission in the Atmospheric Pressure Plasma CVD Process Driven at 150 MHz

Extended Abstratcs of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 49-50　2006年

Machining characteristics of AT cut quartz crystal wafer by open-air type atmospheric pressure plasma machining system, Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.133　2006年

Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　2006年

N2 C3Pu-B3Pg band spectroscopy in open-air type CVM plasma with He/CF4/O2 and H2 Fulcher-a band spectroscopy in atmospheric He/H2/SiH4 CVD plasma

Europhysics Conference Abstract of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases　2006年

Detection of Nano-particles and Nano-steps by White Light Scattering

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006年

Absolute Surface Profiling of Large Diameter Mirror by Point Diffraction Interferometer

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 121-122　2006年

Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma - Evaluation of EUV Conversion Efficiency and Target Structure -

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology　2006年

Rotational and vibrational temperature of Fulcher-alpha band emitted by hydrogen molecules in capacitive VHF CVD plasma process at atmosphere

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.269　2006年

レーザ光散乱法によるSiウエハ表面上の極薄酸化膜段差の計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 長尾 祥浩, 押鐘 寧, 中野 元博, 越智 保文, 有馬 健太, 森田 瑞穂

精密工学会誌　Vol. vol.72, No.11, pp.1363-1367.　No. 11　p. 1363-1367　2006年

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecule in the open-air type PCVM plasma by using spatial resolved emission spectra

Proceedings of 28th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 49-50　2006年

Machining characteristics of ultraprecision atmospheric pressure plasma process

Kazuya Yamamura, Koji Ueno, Akihiro Fujiwara, Yasuhisa Sano, Yasusi Osikane, Masafumi Shibahara, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori

Progress of Machining Technology, Proceedings　Vol. pp. 265-268　p. 265-268　2006年

Observation of Nano-structure by SNOM with Small Sphere Probe

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006年

Ro-vibronic Structure in the Q-branch in the Spectra of Hydrogen Fulcher-a Band Emission in the Atmospheric Pressure Plasma CVD Process Driven at 150 MHz

Extended Abstratcs of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 49-50　2006年

Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　2006年

Machining characteristics of AT cut quartz crystal wafer by open-air type atmospheric pressure plasma machining system, Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.133　2006年

N2 C3Pu-B3Pg band spectroscopy in open-air type CVM plasma with He/CF4/O2 and H2 Fulcher-a band spectroscopy in atmospheric He/H2/SiH4 CVD plasma

Europhysics Conference Abstract of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases　2006年

Absolute Surface Profiling of Large Diameter Mirror by Point Diffraction Interferometer

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 121-122　2006年

Detection of Nano-particles and Nano-steps by White Light Scattering

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006年

Rotational and vibrational temperature of Fulcher-alpha band emitted by hydrogen molecules in capacitive VHF CVD plasma process at atmosphere

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.269　2006年

レーザ光散乱法によるSiウエハ表面上の極薄酸化膜段差の計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 長尾 祥浩, 押鐘 寧, 中野 元博, 越智 保文, 有馬 健太, 森田 瑞穂

精密工学会誌論文集　Vol. vol.72, No.11, pp.1363-1367.　No. 11　p. 1363-1367　2006年

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecule in the open-air type PCVM plasma by using spatial resolved emission spectra

Proceedings of 28th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 49-50　2006年

Machining characteristics of ultraprecision atmospheric pressure plasma process

Proceedings of 8th International Conference on Progress of Machining Technology　Vol. pp. 265-268　2006年

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245　2005年

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245/,　2005年

狭帯域バンドパスフィルタを用いてのアルゴンアクチノメトリー画像計測による酸素原子，フッ素原子の密度分布診断

プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス　2005年

光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測

光アライアンス　2005年

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245　2005年

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245/,　2005年

Two-Dimensional Density Mapping of Oxygen and Fluorine atoms by Argon Actinometry with Narrow Bandpass Filters

Proceedings of plasma science symposium 2005 and the 22nd symposium on plasma processing　2005年

Phase-shift interferometry with diffracted spherical wavefronts from optical fibers

Optical Alliance　2005年

FLUORINE AND OXYGEN DENSITY MONITORING IN PLASMA CVM PROCESS BY ARGON ACTINOMETRY TECHNIQUE

2004年

Fluorine and Oxygen Monitoring in Plasma CVM Etching Process for Silicon Wafer by Argon Actinometry Technique

2004年

FLUORINE AND OXYGEN DENSITY MONITORING IN PLASMA CVM PROCESS BY ARGON ACTINOMETRY TECHNIQUE

Abstracts of 7th APCPST & 17th SPSM　2004年

Fluorine and Oxygen Monitoring in Plasma CVM Etching Process for Silicon Wafer by Argon Actinometry Technique

Program of the 57th annual gaseous electronics conference　2004年

大気圧プラズマによる超精密加工プロセスと その分光計測

日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会 第62回研究会資料　Vol. 5-12ページ　2003年

光ファイバからの点回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト干渉計の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 野口 彰宏, 井上 晴行, 中野 元博

精密工学会誌　Vol. 69巻5号678-682ページ　No. 5　p. 678-682　2003年

光ファイバからの点光源回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト光干渉計の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 野口 彰宏, 井上 晴行, 中野 元博

精密工学会誌　Vol. vol.69, no.5, pp.678-682/,　No. 5　p. 678-682　2003年

Ultraviolet Emission Spectroscopy and Absorption Spectroscopy of CF2 Radical in Chemical Vaporization Machining (CVM) Plasma Generated with High Speed Rotating Cylindrical Electrode

Technical Program of AVS 50th　Vol. PS2-WeA4　2003年

The Dependence of CF, CF2 density on VHF Power and Gas Concentration in CVM Plasma Studied by Ultraviolet Absorption Spectroscopy

Proceedings of the 20th Symposium on Plasma Processing (SPP-20)　Vol. pp. 65-66　2003年

光ファイバ先端を点光源とした位相シフト型Point Diffraction Interferometer (PS-PD1)の開発 : 光源の位相シフトを利用した凹面鏡の形状計測

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 中野 元博, 井上 晴行, 池野田 和行, 南 和男

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 145-145　2002年10月1日

走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 走査システムの改良と光硬化性樹脂によるプローブ製作

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 中野 元博, 井上 晴行, 宮本 陽介, 玄羽 哲也

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 306-306　2002年10月1日

プラズマCVMプロセス中のCF, CF_2ラジカルの分光計測 : レーザー誘起蛍光分光と紫外線吸収分光とによるラジカル密度分布診断

押鐘 寧, 佐藤 慎也, 山村 和也, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 461-461　2002年10月1日

レーザー光散乱法によるSiウェハ表面上の超微小欠陥計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 中野 元博, 安 弘, 里見 慎哉, 和田 勝男

精密工学会誌　Vol. 68　No. 10　p. 1337-1341　2002年

レーザー光散乱法によるSiウェハ付着超微粒子計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 中野 元博, 安 弘, 竹村 太一, 和田 勝男

精密工学会誌　Vol. 68　No. 2　p. 264-268　2002年

O2 concentration- and VHF electric power-dependent changes in 2D distribution of CF and CF2 radicals in atmospheric capacitve plasma for chemical vaporization machining (CVM) process studied by laser-induced fluorescence (LIF) spectroscopy

Proceedings of the Joint 16th European Conference on Atomic and Molecular Physics on Ionized Gases - 5th International Conference on Reactive Plasmas (ESCAMPIG-16/ICRP-5)　Vol. vol .1, pp. 329-330/,　2002年

走査型近接場光学顕微鏡の高感度・高分解能プローブ開発 : 集光レーザ-スポット照射による微粒子プローブの創製

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 宮本 陽介, 玄羽 哲也

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 207-207　2001年9月1日

三次元境界要素法を用いたシリコンウエハ上の微粒子からの光散乱特性の解析

押 鐘寧, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 中野 元博

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 217-217　2001年9月1日

3次元境界要素法を用いた走査型近接場光学顕微鏡用の微粒子プローブ周りの電磁場伝搬解析

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 玄羽 哲也, 宮本 陽介

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 208-208　2001年9月1日

光散乱法による研磨・洗浄後のSiウエハ表面の評価

和田 勝男, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 中野 元博, 押鐘 寧, 森 勇蔵, 里見 慎哉, 安 弘

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 420-420　2001年9月1日

光散乱法によるSiウエハ表面欠陥の大面積計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 和田 勝男, 中野 元博, 押鐘 寧, 里見 慎哉, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 421-421　2001年9月1日

レーザ誘起蛍光分光法による大気圧・高周波CF_4プラズマ中のラジカル密度の空間分布計測

押鐘 寧, 川島 祥一, 竹本 健一, 山村 和也, 遠藤 勝義, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 234-234　2001年9月1日

大気圧プラズマCVDによる高速形成したa-SiC薄膜の光学的特性

森 勇蔵, 芳井 熊安, 森田 瑞穂, 安武 潔, 垣内 弘章, 押鐘 寧, 青木 稔

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 248-248　2001年9月1日

容量結合型・大気圧・高周波プラズマ中のCF, CF₂ラジカル密度のOESおよびLIF計測

COEシンポジウム原子論的生産技術のための超精密科学-完全表面の創成-参考資料集　p. 233-238　2001年

大気圧・高周波CF₄プラズマにおけるレーザー誘起蛍光分光法を用いたCFおよびCF₂ラジカルの計測

第48回応用物理学関係連合講演会講演予稿集　No. 1　2001年

CFX Radicals and Electric Field Measurement in Capacitive VHF Plasma at Atmosphere by Laser Induced Fluorescence and Optical Emission Spectroscopy

Proceedings of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG-25)　Vol. vol. 1, pp. 181-182/,　2001年

Electric Impedance Measurement and Pulsed OPO Laser Induced Fluorescence Study of Capacitively Coupled VHF Plasma (He/CF4/O2) at Atmospheric Pressure for Chemical Vaporization Machining (CVM) Process

Program of the 54th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC01)　Vol. NR2-8　2001年

Spectroscopic and Electrical Analysis of Capacitively Coupled VHF plasma at Atmospheric Pressure for Plasma CVM process

Program of the 54th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC01)　Vol. DTP-4　2001年

Optical Emission Spectroscopy and Laser Induced Fluorescence Spectroscopy of CF and CF₂ Radicals in Capacitive VHF Plasma at Atmospheric' Pressure

Technical Digest of ┣DBCOE Symposium on Ultraprecision Science and Technology for Atmistic Production Engineering-Creation of Perfect Surface-(/)-┫DB(Osaka University, Osaka)　p. 233-238　2001年

Laser-induced Fluorescence Studies of CF and CF₂ Radicls in Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF₄ Plasma

Extended Abstracts(The 48th Spring Meeting, 2001); The Japan Society of Applied Physics and Related Societies(Meiji University, Tokyo)　No. 1　2001年

Laser-induced Fluorescence studies of CF and CF₂ Radical in Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF₄ Plasma

Proceedings of Plasma Science Symposium 2001/The 18th Symposium on Plasma Processing(Kyoto)　p. 343-344　2001年

Scanning near-field optical microscope with a small spherical protrusion probe excited with WGM resonances

Optical Memory and Neural Networks　Vol. 9　No. 3　2001年

光散乱法によるSiウエハ表面上のナノ形状欠陥の計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 竹村 太一, 里見 慎哉, 森 勇蔵, 和田 勝男, 安 弘, 佐々木 都至

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 60-60　2000年9月1日

高分解能レーザー光法を用いた大気圧・高周波CVMプラズマ中のCF_xラジカル粒子の時空間分解密度計測

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 横山 能幸, 川島 祥一

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 479-479　2000年9月1日

微小球内のWGM共振を利用した走査型近接場光学顕微鏡の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 293-293　2000年9月1日

STM/STS observations and first-principles simulations of metal adsorbed Si(001) surfaces

Katsuyoshi Endo, Kenta Arima, Toshihiko Kataoka, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Kenji Koba, Kikuji Hirose, Yuzo Mori

Technology Reports of the Osaka University　Vol. 50　p. 41-47　2000年4月

共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 標準試料の走査結果とプローブの性能評価

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 中川 寛文, 平井 隆之, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 568-568　2000年3月1日

大気圧プラズマインピーダンス測定(第2報) : 測定装置内電磁界解析による測定原理の検証

森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山村 和也, 佐野 泰久, 押鐘 寧, 片山 晋二, 江畑 裕介

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 194-194　2000年3月1日

PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)による高精度形状計測法の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 池田 和浩, 野口 彰宏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 546-546　2000年3月1日

大気圧・高周波プラズマの計測と制御 : 発光分光を中心としたCVM用プラズマ中のフリーラジカル密度の分光計測

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 相本 秀一, 横山 能幸, 川島 祥一, 佐野 泰久

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 265-265　2000年3月1日

微粒子定機によるナノメータオーダのSiウエハ表面形状の測定

佐々木 都至, 安 弘, 瑞原 重勲, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 竹村 太一

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 604-604　2000年3月1日

Scanning tunneling microscopy study of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after wet cleaning

K Arima, K Endo, T Kataoka, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

SURFACE SCIENCE　Vol. 446　No. 1-2　p. 128-136　2000年2月

Atomically resolved scanning tunneling microscopy of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after HF cleaning

K Arima, K Endo, T Kataoka, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

APPLIED PHYSICS LETTERS　Vol. 76　No. 4　p. 463-465　2000年1月

シリコンウエハ表面上の微粒子・微小欠陥による光散乱 : 散乱光強度およびレンズによる像形成の計算

片岡 俊彦, 井上 晴行, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 中野 元博, 和田 勝男, 安 弘

精密工学会誌　Vol. 66　No. 11　p. 1716-1722　2000年

Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF₄ Plasma Studied by Laser Induced Fluorescence Spectroscopy with Pulsed OPO Laser

Proceedings of Symposium on Dry Process(Waseda University, Tokyo)　p. 19-23　2000年

Scanning Near-field Optical Microscope with a Small Spherical Protrusion Probe Excited with WGM resonances(invited)

"Special issue of Near Field Optics"in Optical Memories and Neural Networks　Vol. 9　No. 3　p. 147-168　2000年

A prototypical resonant microcavity probe for scanning near-field optical microscope

Proceedings of 6th International Conference on Near Field Optics and Related Techniques(University of Twente, The Netherlands)　2000年

Capacitively coupled atmospheric VHF CF₄plasma studied by laser induced fluorescence spectroscopy with pulsed OPO laser

Proceedings of Dry Process Symposium 2000(Tokyo)　p. 19-23　2000年

A prototypical resonant microcavity probe for scanning near-field optical microscope

Proceedings of 6th international conference on near field optics and related techniques(The Netherlands)　2000年

高圧力・高周波プラズマの計測と制御-赤外半導体レーザー吸収分光法によるプラズマ中のラジカル計測-

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 相本 秀一, 横山 能幸, 佐野 泰久

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 574-574　1999年9月1日

STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の原子構造観察

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 木庭 謙二, 中原 裕喜, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 659-659　1999年9月1日

微小共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の特性

中川 寛文, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 平井 隆之, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 658-658　1999年9月1日

sNOM用微小共振球プローブの電磁場解析による特性診断

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 靖行, 中川 寛文, 平井 隆之, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 657-657　1999年9月1日

微粒子測定機を用いたSiウェハ表面におけるナノメータオーダのスクラッチ形状の測定

佐々木 都至, 安 弘, 瑞原 重勲, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 竹村 太一

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 389-389　1999年9月1日

微小共振球の近接場光学顕微鏡プローブへの応用

中川 寛文, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 平井 隆之, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 505-505　1999年3月5日

STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の観察

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 木庭 謙二, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 503-503　1999年3月5日

走査型近接場光学顕微鏡のための超高感度プローブの設計 -FDTD法による微小共振球周りの三次元電磁場解析-

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 中川 寛文

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 506-506　1999年3月5日

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -Siウェーハ表面の観察-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 竹村 太一, 森 勇蔵, 安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 465-465　1999年3月5日

赤外半導体レーザー吸収分光法による大気圧・高周波プラズマ中のラジカル計測

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 佐野 泰久, 玉田 浩平, 相本 秀一, 横山 能幸, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 429-429　1999年3月5日

大気圧プラズマインピーダンス測定(第1報) -測定原理, 測定結果, およびその測定精度について-

森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山村 和也, 佐野 泰久, 押鐘 寧, 江畑 裕介, 片山 晋二, 岡本 利樹, 足立 真士

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 428-428　1999年3月5日

ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウエハ表面の微粒子および欠陥計測による表面評価

安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 瑞原 重勲, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 464-464　1999年3月5日

3D-FDTD and experimental analysis of a resonant microcravity probe for high-resolution SNOM

Y Oshikane, H Nakagawa, T Kataoka, K Endo, H Inoue, T Hirai

NEAR-FIELD OPTICS: PHYSICS, DEVICES, AND INFORMATION PROCESSING　Vol. 3791　p. 57-66　1999年

STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 木庭 謙二, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 420-420　1998年9月1日

微小共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の開発

中川 寛文, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 平井 隆之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 419-419　1998年9月1日

大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測 -ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 玉田 浩平, 相本 秀一, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 440-440　1998年9月1日

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -微小粒子の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 竹村 太一, 安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 513-513　1998年9月1日

ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウェーハの洗浄による表面評価

安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 512-512　1998年9月1日

Atomic structures of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after wet cleaning by scanning tunneling microscopy

K Endo, K Arima, T Kataoka, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

APPLIED PHYSICS LETTERS　Vol. 73　No. 13　p. 1853-1855　1998年9月

STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 稲垣 耕司, 押鐘 寧, 井上 晴行, 森 勇蔵, 後藤 英和

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 672-672　1998年3月5日

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -冷却CCDカメラによる標準試料の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇蔵, 井山 章吾, 竹村 太一, 安 弘

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 675-675　1998年3月5日

微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 重信 安志, 平井 隆之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 629-629　1998年3月5日

エキシマレーザによる基板表面凝集相の光化学反応

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 織田 容征, 平木 予司由, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 431-431　1998年3月5日

高圧力・高周波プラズマの計測と制御 -吸収分光法による準安定粒子の診断-

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 川島 雅人, 玉田 浩平, 相本 秀一, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 516-516　1998年3月5日

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第7報) -ウルトラクリーンルームでのSiウェーハ面の測定と微粒子測定表面評価-

安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 井山 章吾

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 674-674　1998年3月5日

Capacitive VHF Plasma Simulation at Atmospheric Pressure by Local Field Approximation Method

オシカネ ヤスシ, エンドウ カツヨシ, カタオカ トシヒコ, カワシマ マサト*, タマダ コウヘイ*, アイモト シュウイチ**

東北大学研究所報告. (工学), 流体科学研究所　Vol. 10　p. 147-155　1998年3月

3D-Electromagnetic Fields Analysis of a Micro-Cavity Probe for High Resolution SNOM

Technical Digest of the 5th International Conference on Near Field Optics(Shirahama, 1998)　p. 12-13　1998年

Scanning Near-Field Optical Microscope with a Micro-Cavity Probe

Technical Digest of the 5th International Conference on Near Field Optics(Shirahama, 1998)　p. 179-180　1998年

Growth of crystalline silicon on a cryogenic substrate by photochemical reaction in a condensed phase

T Kataoka, K Endo, M Ashida, H Orita, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　Vol. 36　No. 12A　p. 7395-7398　1997年12月

高圧力・高周波プラズマの計測と制御 -プラズマの時空間分解発光分光測定-

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 森 勇藏, 川島 雅人, 玉田 浩平

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 110-110　1997年10月1日

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -冷却CCDカメラによる測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 井山 章吾, 安 弘

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 244-244　1997年10月1日

光ファイバリング共振器を用いた近接場の発生・検知システムの開発

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 則信 教英, 池田 和浩

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 246-246　1997年10月1日

STM/STSによる金属吸着Si(001)表面の観察

遠藤 勝彦, 片岡 俊彦, 広瀬 喜久治, 森 勇藏, 押鐘 寧, 井上 晴行, 有馬 健太, 多田羅 佳孝, 大和 大周

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 271-271　1997年10月1日

微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発 -微小共振球プローブの開発-

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 重信 安志, 平井 隆之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 269-269　1997年10月1日

エキシマレーザによる基板表面凝集相の光化学反応

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴彦, 織田 容征, 平木 予司由, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 109-109　1997年10月1日

29a-YF-1 容量結合型大気圧・高周波プラズマの生成における電極材質の影響

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 大山 貴裕, 川島 雅人, 玉田 浩平

日本物理学会講演概要集　Vol. 52　No. 1　p. 822-822　1997年3月17日

He高圧力・高周波プラズマの特性 -電極材質による相違-

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 大山 貴裕, 川島 雅人, 玉田 浩平

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 703-704　1997年3月1日

STM/STSによるSiウェーハ表面の金属原子の観察

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 森 勇蔵, 稲垣 耕司, 押鐘 寧, 井上 晴行, 有馬 健太, 多田羅 佳孝, 大和 正和

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 377-378　1997年3月1日

レーザ光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -P, S偏光による標準試料の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 安 弘, 井山 章吾, 南川 文孝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 389-390　1997年3月1日

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第6報) -Siウェーハ面の測定と微粒子付着分布による表面評価-

安 弘, 南川 文孝, 佐々木 都至, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 井山 章吾

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 391-392　1997年3月1日

レーガー光散乱法によるSiウエハ付着微粒子計測装置の開発

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 杉山 和久, 安 弘, 井山 章吾

精密工学会誌　Vol. 63　No. 8　p. 1117-1121　1997年

Characteristics of VHF Helium Plasma at Atmospheric Pressure

Proceedings of the 3rd International Conference on Reactive Plasmas and 14th Symposium on Plasma Processing　1997年

大気圧・高周波プラズマの計測とシミュレーション

押鐘 寧, 大山 貴裕, 川島 雅人, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　Vol. 1996　No. 4　p. 131-131　1996年9月13日

大気圧・高周波プラズマの特性

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 大山 貴裕, 川島 雅人

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 195-196　1996年9月1日

金属微小球をプローブとした近接場光学顕微鏡

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 押鐘 寧, 稲垣 耕司, 井上 晴行, 和泉 紋弘, 重信 安志

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 689-690　1996年9月1日

レーザ光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -レーザビーム走査型による標準試料の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 安 弘, 井山 章吾, 南川 文孝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 431-432　1996年9月1日

Development of a scanning near-field optical microscope with a probe consisting of a small spherical protrusion

T Kataoka, K Endo, Y Oshikane, H Inoue, K Inagaki, Y Mori, H An, O Kobayakawa, A Izumi

ULTRAMICROSCOPY　Vol. 63　No. 3-4　p. 219-225　1996年7月

3a-YL-12 GIR法による輻射駆動爆縮核融合ターゲット内の3次元コロナプラズマ密度分布診断(プラズマ物理・核融合(レーザー(2)))

押鐘 寧, 田中 和夫, 塚本 雅裕, 大西 芳紀, 橋本 浩幸, 西口 彰夫, 中井 貞雄, 三間 圀興

日本物理学会講演概要集. 年会　Vol. 51　No. 4　p. 218-218　1996年3月15日

大気圧・高周波プラズマの特性-励起周波数, 圧力の違い-

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇蔵, 芳井 熊安, 垣内 弘章, 根岸 伸幸, 大山 貴裕, 川島 雅人

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 635-636　1996年3月1日

STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 森 勇蔵, 稲垣 耕司, 押 鐘寧, 井上 晴行, 有馬 健太, 増田 裕一, 多田羅 佳孝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 967-968　1996年3月1日

Characteristics of RF, VHF Helium Plasma at Atmospheric Pressure

Proceedings of 1996 The Japan-China Bilateral Symposium on advanced Manufacturing Engineering　1996年

30a-R-7 格子像屈折率測定法によるシリンダー型X線爆縮核融合ターゲット内のプラズマ挙動の計測

押鐘 寧, 中路 晋一, 田中 和夫, 塚本 雅裕, 大西 芳紀, 橋本 浩幸, 尾崎 充律, 中井 光男, 児玉 了祐, 西口 彰夫, 高部 英明, 三間 圀興, 中井 貞雄, GOD M T Mtグループ

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　Vol. 1995　No. 4　p. 216-216　1995年9月12日

30a-R-6 格子像屈折率測定法による臨界密度以下のプラズマでのフィラメンテーションの計測

田中 和夫, 中路 晋一, 大西 芳紀, 押鐘 寧, 尾崎 充律, 橋本 浩幸, 中井 光男, 児玉 了祐, 西口 彰夫, 高部 英明, 三間 圀興, 中井 貞雄

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　Vol. 1995　No. 4　p. 216-216　1995年9月12日

レーザ光散乱によるSiウェーハ表面の微粒子計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 稲垣 耕司, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1995　No. 2　p. 541-542　1995年9月1日

大気圧RFプラズマの特性

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 芳井 熊安, 垣内 弘章, 根岸 伸幸, 大山 貴裕

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1995　No. 2　p. 623-624　1995年9月1日

EFFICIENT SOFT-X-RAY LASING AT 6 TO 8 NM WITH NICKEL-LIKE LANTHANIDE IONS

H DAIDO, Y KATO, K MURAI, S NINOMIYA, R KODAMA, G YUAN, Y OSHIKANE, M TAKAGI, H TAKABE, F KOIKE

PHYSICAL REVIEW LETTERS　Vol. 75　No. 6　p. 1074-1077　1995年8月

COLLISIONAL-EXCITATION X-RAY LASERS BY MULTIPLE-PULSE PUMPING

Y KATO, H DAIDO, R KODAMA, K MURAI, G YUAN, S NINOMIYA, Y OSHIKANE, M TAKAGI, T KANABE, CH NAM, IW CHOI, T KAWACHI

LASER INTERACTION WITH MATTER　Vol. pp121-124　No. 140　p. 121-124　1995年

GIR法によるX線爆縮核融合用シリンダターゲット内のプラズマ密度分布の観察

Vol. 40　No. 11　1995年

ニッケル様ランタノイドイオンを用いた6〜8nm領域の軟X線レーザー発振

Vol. 75　No. 6　p. 1074-77　1995年

Observation of Plasma Density Profile in Cylinder-type X-ray-driven Fusion Target by GIR Method

Bulletin of The American Physical Society, Plasma Physics　Vol. 40　No. 11　1995年

Short-pulse Nickel-like soft x-ray lasers ranging from 6nm to 8nm wave length pumped by multiple infrared laser pulse using a curved slab target

Physical Review Letters　1995年

28p-YC-9 シリンダー内コロナプラズマ中での誘導ラマン散乱光計測

押鐘 寧, 田中 和夫, 塚本 雅裕, 西口 彰夫, 白神 宏之, 西村 博明, 砂原 淳, 高部 英明, 加藤 義章, 中井 貞雄, GOD M.T.MTグループ

日本物理学会講演概要集. 年会　Vol. 49　No. 4　p. 173-173　1994年3月16日

Light scattering measurement in a Ge X-ray laser plasma

CH NAM, IW CHOI, Y OSHIKANE, K MURAI, G YUAN, R KODAMA, H DAIDO, Y KATO, S NAKAI

X-RAY LASERS 1994 - FOURTH INTERNATIONAL COLLOQUIUM　Vol. pp205-209　No. 332　p. 205-209　1994年

2a-W-12 X線レーザー実験におけるライン集光プラズマ中のTPD不安定性

押鐘 寧, 高部 英明, 三間 圀興, 加藤 義章, 中井 貞雄, 田中 和夫, 西口 彰夫, Choi I.W, Nam C.H, 児玉 了祐, 村井 健介, 二宮 士郎, 大道 博行

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　Vol. 1994　No. 0　p. 135-135　1994年

Stimulated Raman Scattering in Cylinder-type X-ray Driven Fusion Target

36th Annual Meeting of the Division of Plasma Physics　1994年

RADIATION-DRIVEN CANNONBALL TARGETS FOR HIGH-CONVERGENCE IMPLOSIONS

H NISHIMURA, H SHIRAGA, T ENDO, H TAKABE, M KATAYAMA, Y OSHIKANE, M NAKAMURA, Y KATO, S NAKAI

LASER AND PARTICLE BEAMS　Vol. 11　No. 1　p. 89-96　1993年