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押鐘 寧

Oshikane Yasushi

工学研究科 物理学系専攻,助教

keyword 表面プラズモン,プラズマ分光,位相シフト干渉計,集束イオンビーム,近接場光学

学歴

  • ~ 1994年,大阪大学,工学研究科,電磁エネルギー工学
  • ~ 1994年,大阪大学
  • ~ 1990年,電気通信大学,電気通信学部,通信工学科
  • ~ 1990年,電気通信大学

経歴

  • 2007年 ~ ,- 大阪大学 大学院工学研究科 助教
  • 2007年 ~ ,- Assistant Professor, Graduate School of Engineering, Osaka University
  • 1996年 ~ ,- 大阪大学 大学院工学研究科 助手
  • 1994年 ~ ,- 大阪大学 工学部 助手

研究内容・専門分野

  • ナノテク・材料,材料加工、組織制御
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学),加工学、生産工学
  • ナノテク・材料,光工学、光量子科学
  • エネルギー,プラズマ科学
  • エネルギー,プラズマ応用科学
  • ナノテク・材料,ナノ構造物理
  • ナノテク・材料,ナノ構造化学

所属学会

  • (社)精密工学会
  • 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
  • 応用物理学会
  • 精密工学会
  • 米国物理学会
  • The Japan Society for Precision Engineering
  • American Physical Society
  • The Japan Society of Applied Physics

論文

  • Electroluminescence in metal-oxide-semiconductor tunnel diodes with a crystalline silicon/silicon dioxide quantum well,Yuki Miyata,Yasunori Nakamukai,Cassia Tiemi Azevedo,Ayano Tsuchida,Miho Morita,Yasushi Oshikane,Junichi Uchikoshi,Kentaro Kawai,Kenta Arima,Mizuho Morita,Micro and Nanostructures,Elsevier BV,Vol. 166,p. 207228-207228,2022年06月,研究論文(学術雑誌)
  • MEMS hydrogen gas sensor with wireless quartz crystal resonator,Lianjie Zhou,Fumihito Kato,Nobutomo Nakamura,Yasushi Oshikane,Akira Nagakubo,Hirotsugu Ogi,Sensors and Actuators B: Chemical,Elsevier BV,p. 129651-129651,2021年02月,研究論文(学術雑誌)
  • Asymmetric MIM structure formation by PLD technique with metallic nitrides and its SPP excitation and waveguiding characteristics,Yasushi Oshikane,Motohiro Nakano,Hirotsugu Ogi,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,Vol. 10731,2018年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 紫外YAGレーザーを用いたパルスレーザー堆積法による窒化金属薄膜の生成とその光学的評価,押鐘 寧,中野 元博,村井 健介,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2017,p. 103-104,2017年
  • Asymmetric metal-insulator-metal (MIM) structure formed by pulsed Nd:YAG laser deposition with titanium nitride (TiN) and aluminum nitride (AlN),Yasushi Oshikane,NANOSTRUCTURED THIN FILMS X,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 10356,2017年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 表面プラズモンポラリトン励起のためのパルスレーザー堆積法による窒化チタン薄膜の形成,押鐘 寧,中野 元博,村井 健介,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2016,p. 189-190,2016年
  • Fabrication and properties of plasmonic crystalline thin film of titanium nitride (TiN) by pulsed laser deposition with Nd: YAG laser at 355nm,Yasushi Oshikane,NANOSTRUCTURED THIN FILMS IX,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 9929,2016年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 窒化チタン薄膜を金属層として利用した金属-誘電体-金属構造における表面プラズモンポラリトンの励起・伝搬特性,押鐘 寧,白石 萌,村井 健介,服部 航,中野 元博,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2015,p. 321-322,2015年
  • Optical fiber tip with point light source of SPPs driven by three-dimensional nanostructured asymmetric metal-insulator-metal layer cap,Yasushi Oshikane,Kensuke Murai,Motohiro Nakano,PLASMONICS: METALLIC NANOSTRUCTURES AND THEIR OPTICAL PROPERTIES XIII,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 9547,2015年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • 3D-FEM analysis of SPP excitation through nanoholes in asymmetric metal-insulator-metal structure at tip of circular truncated conical fiber,Y. Oshikane,K. Murai,M. Nakano,PLASMONICS: METALLIC NANOSTRUCTURES AND THEIR OPTICAL PROPERTIES XII,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 9163,2014年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Fabrication and Evaluation of Active Spectral Filter with Metal-Insulator-Metal Structure for Visible Light Communication,Kensuke Murai,Yasushi Oshikane,Fumihiko Yamamoto,Kou Hattori,Shoichi Mochizuki,Toshiyuki Mihara,Motohiro Nakano,PHOTONIC AND PHONONIC PROPERTIES OF ENGINEERED NANOSTRUCTURES IV,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 8994,2014年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • ガラス表面の金属/誘電体/金属(MIM)構造内部における表面プラズモンポラリトン(SPP)の励起と導波,押鐘 寧,村井 健介,山本 史彦,中野 元博,武藤 正憲,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2013,p. 341-342,2013年
  • Extracting and focusing of surface plasmon polaritons inside finite asymmetric metal/insulator/metal structure at apex of optical fiber by subwavelength holes,Yasushi Oshikane,Kensuke Murai,Motohiro Nakano,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,SPIE,Vol. 8809,2013年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Design and Fabrication of Active Spectral Filter with Metal-Insulator-Metal Structure for Visible Light Communication,Kensuke Murai,Yasushi Oshikane,Takaya Higashi,Fumihiko Yamamoto,Motohiro Nakano,Haruyuki Inoue,PHOTONIC AND PHONONIC PROPERTIES OF ENGINEERED NANOSTRUCTURES III,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 8632,2013年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Nanometer-level self-aggregation and three-dimensional growth of copper nanoparticles under dielectric barrier discharge at atmospheric pressure,Yuto Yamamoto,Hiroki Akiyama,Kento Ooka,Kazuya Yamamura,Yasushi Oshikane,Nobuyuki Zettsu,CURRENT APPLIED PHYSICS,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 12,p. S63-S68,2012年12月,研究論文(学術雑誌)
  • 金属-誘電体-金属構造における表面プラズモン共鳴を利用した可視域アクティブフィルタの開発,押鐘 寧,東 孝哉,山本 史彦,村井 健介,井上 晴行,中野 元博,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2012,p. 711-712,2012年
  • 大気開放型プラズマCVMにおける加工速度フィードバック制御機構の開発 (第3報):アクチノメトリー法を用いた反応種密度計測における誤差要因の検討,畑 祐輝,竹田 善紀,山村 和也,押鐘 寧,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2012,p. 879-880,2012年
  • Plasmonic active spectral filter in VIS-NIR region using metal-insulator-metal (MIM) structure on glass plate,Yasushi Oshikane,Kensuke Murai,Takaya Higashi,Fumihiko Yamamoto,Motohiro Nakano,Haruyuki Inoue,NANOENGINEERING: FABRICATION, PROPERTIES, OPTICS, AND DEVICES IX,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 8463,2012年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Material Removal Rate Control in Open-air Type Plasma Chemical Vaporization Machining Using Optical Actinometry,Yuto Yamamoto,Yuki Hata,Mao Hosoda,Yasushi Oshikane,Kazuya Yamamura,EMERGING TECHNOLOGY IN PRECISION ENGINEERING XIV,TRANSACTION PUBLISHERS,Vol. 523-524,p. 267-271,2012年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • An atomically controlled Si film formation process at low temperatures using atmospheric-pressure VHF plasma,K. Yasutake,H. Kakiuchi,H. Ohmi,K. Inagaki,Y. Oshikane,M. Nakano,JOURNAL OF PHYSICS-CONDENSED MATTER,IOP PUBLISHING LTD,Vol. 23,No. 39,2011年10月,研究論文(学術雑誌)
  • Electroluminescence in Ultrathin Silicon-on-Insulator Metal-Oxide-Semiconductor Tunnel Diodes,A. Tsuchida,K. Matsumura,R. Yamada,Y. Oshikane,K. Kawai,J. Uchikoshi,K. Arima,M. Morita,Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology,2011年10月
  • STM-induced light emission from thin films of perylene derivatives on the HOPG and Au substrates,A. Fujiki,Y. Miyake,Y. Oshikane,M.Akai-Kasaya,A. Saito,Y. Kuwahara,Nanoscale Research Letters,Vol. 6, 347-349,2011年06月
  • STM-induced light emission from thin films of perylene derivatives on the HOPG and Au substrates.,Fujiki A,Miyake Y,Oshikane Y,Akai-Kasaya M,Saito A,Kuwahara Y,Nanoscale research letters,Vol. 6,No. 1,2011年04月,研究論文(学術雑誌)
  • Enhanced Red-Light Emission by Local Plasmon Coupling of Au Nanorods in an Organic Light-Emitting Diode,Aya Fujiki,Yusuke Miyake,Yasushi Oshikane,Megumi Akai-Kasaya,Akira Saito,Yuji Kuwahara,Nanoscale Research Letters,Vol. 6, p,347,2011年04月
  • 有限要素法ベースの3次元電場解析によるシリコンウエハ上のナノ構造における光散乱シミュレーション,押鐘 寧,東 孝哉,谷口 直哉,井上 晴行,中野 元博,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2011,p. 1008-1009,2011年
  • 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計:ファイバ保持方法の改良とノイズの低減,小川 尚利,西岡 孝純,中野 元博,押鐘 寧,井上 晴行,精密工学会学術講演会講演論文集,公益社団法人 精密工学会,Vol. 2011,p. 822-823,2011年
  • Spherical concave mirror measurement by phase-shifting point diffraction interferometer with two optical fibers,Toshiaki Matsuura,Kazuaki Udaka,Yasushi Oshikane,Haruyuki Inoue,Motohiro Nakano,Kazuto Yamauchi,Toshihiko Kataoka,NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 616,No. 2-3,p. 233-236,2010年05月,研究論文(学術雑誌)
  • Numerical and experimental studies on plasmonic effects associated with a pair of subwavelength holes on metallic thin film,Yasushi Oshikane,Motohiro Nakano,Haruyuki Inoue,PLASMONICS: METALLIC NANOSTRUCTURES AND THEIR OPTICAL PROPERTIES VIII,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 7757,2010年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Observation of 100 nm x 100 nm square holes on Pt thin film with scanning near-field optical microscope,Yasushi Oshikane,Toshihiko Kataoka,Masahiko Nagai,Toshiya Goto,Haruyuki Inoue,Motohiro Nakano,2009 LASERS & ELECTRO-OPTICS & THE PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS, VOLS 1 AND 2,IEEE,p. 1210-1211,2009年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • Observation of nanostructure by scanning near-field optical microscope with small sphere probe,Yasushi Oshikane,Toshihiko Kataoka,Mitsuru Okuda,Seiji Hara,Haruyuki Inoue,Motohiro Nakano,SCIENCE AND TECHNOLOGY OF ADVANCED MATERIALS,NATL INST MATERIALS SCIENCE,Vol. 8,No. 3,p. 181-185,2007年04月,研究論文(学術雑誌)
  • Observation of metal on Si(0 0 1) by STM/STS and its consideration based on the first principles calculations,Kenta Arima,Katsuyoshi Endo,Toshihiko Kataoka,Kikuji Hirose,Hidekazu Goto,Yasushi Oshikane,Haruyuki Inoue,Yoshitaka Tatara,Yuzo Mori,COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE,Vol. 14,No. 1-4,p. 236-240,1999年02月,研究論文(学術雑誌)
  • STM/STS and the first principles calculations on Al/Si(001)2 × 1,K. Endo,K. Arima,T. Kataoka,K. Hirose,Y. Oshikane,H. Inoue,H. Kuramochi,T. Sato,Y. Mori,APPLIED PHYSICS A: MATERIALS SCIENCE AND PROCESSING,Vol. 66,1998年12月,研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of absorption distribution by second harmonic and X-ray images,KA Tanaka,T Ohnishi,A Ozaki,T Matsushita,S Nakaji,H Hashimoto,R Kodama,Y Oshikane,M Nakai,M Tsukamoto,S Matsuoka,K Tsubakimoto,M Murakami,K Shimada,H Azechi,H Nishimura,N Miyanaga,H Shiraga,Y Kato,K Mima,S Nakai,LASER INTERACTION AND RELATED PLASMA PHENOMENA,AIP PRESS,No. 369,p. 131-135,1996年,研究論文(国際会議プロシーディングス)
  • INDIRECT-DRIVE INERTIAL FUSION RESEARCH AT THE INSTITUTE OF LASER ENGINEERING,S. Nakai,M. Nakatsuka,T. Kanabe,T. Jitsuno,T. Norimatsu,M. Takagi,K. Shigeromi,K. Fujita,A. Fujishima,Y. Oshikane,M. Nakamura,M. Katayama,N. Ohba,S. Miyamoto,N. Miyanaga,K. A. Tanaka,M. Murakami,H. Takabe,T. Endo,H. Shiraga,H. Nishimura,Y. Kato,ATSUSHI SUNAHARA,Laser Interaction and Related Plasma Phenomena,1994年,研究論文(学術雑誌)

MISC

  • タングステン壁への中性子照射量評価のためのLIBSによる微量レニウム検出,杉原輝,伊庭野健造,上田良夫,仲野友英,西島大輔,押鐘寧,山ノ井航平,猿倉信彦,福井優介,プラズマ・核融合学会年会(Web),Vol. 35th,2018年
  • MIM構造型プラズモニック波長フィルタの研究開発 : アクティブ化への取組み,村井 健介,望月 昭一,押鐘 寧,プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS,プラズマ応用科学会,Vol. 22,No. 1,p. 55-60,2014年06月
  • 金属/誘電体多層膜(MIM構造)による機能性・光フィルタ : SPRを利用した白色LED通信用アクティブフィルタの特性と制御,押鐘 寧,村井 健介,光アライアンス,日本工業出版,Vol. 24,No. 3,p. 46-51,2013年03月
  • Electroluminescence in metal-oxide-semiconductor tunnel diodes with nanometer-thick silicon,Mizuho Morita,Ayano Tsuchida,Kei Matsumura,Ryuta Yamada,Yasushi Oshikane,Kentaro Kawai,Junichi Uchikoshi,Kenta Arima,ECS Transactions,Vol. 45,p. 229-234,2012年11月
  • 研究室紹介 大阪大学 大学院精密科学・応用物理学専攻 精密科学講座 量子計測領域 : ナノ構造と光との相互作用の極限に向かって,押鐘 寧,中野 元博,光アライアンス,日本工業出版,Vol. 23,No. 7,p. 48-51,2012年07月
  • 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計:非球面凹面ミラーの表面形状計測精度,小川 尚利,中野 元博,押鐘 寧,井上 晴行,山内 和人,精密工学会学術講演会講演論文集,The Japan Society for Precision Engineering,Vol. 2010,No. 0,p. 741-742,2010年
  • ファイバ型PS/PDIの非球面形状計測への応用:平面ミラーへの適用,宇高 和明,松浦 敏普,押鐘 寧,井上 晴行,中野 元博,片岡 俊彦,山内 和人,精密工学会学術講演会講演論文集,The Japan Society for Precision Engineering,Vol. 2009,No. 0,p. 455-456,2009年
  • Observation of Nanoscale Deep-Holes on Pt Thin Film with Scanning Near-Field Optical Microscope Using a Microsphere Probe,Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-,Vol. pp. 82-83,2009年
  • 3D-BEM Analyses of Electromagnetic Field Around Optical Probe Tip with Two Subwavelength Apertures,Extended Abstract of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-,Vol. pp. 84-85,2009年
  • スズ貫通孔ターゲットを用いたレーザ生成プラズマEUV(Extreme Ultraviolet)光源*,中野 元博,三田 泰之,井上 晴行,押鐘 寧,片岡 俊彦,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. vol. 75, no. 8,No. 8,p. 967-972,2009年
  • 微小球をプローブとする走査型近接場光学顕微鏡の開発 -Pt薄膜上の100nm×100nm開孔の2次元配列構造の観察-,光アライアンス,Vol. vol.20 No.11, 2009,2009年
  • Measurement of Extreme Ultraviolet Radiation from Laser-produced Sn Plasma in Through-Hole,Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-,Vol. pp. 80-81,2009年
  • Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers,Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-,Vol. pp. 78-79,2009年
  • Observation of Nanoscale Deep-Holes on Pt Thin Film with Scanning Near-Field Optical Microscope Using a Microsphere Probe,Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-,Vol. pp. 82-83,2009年
  • スズ貫通孔ターゲットを用いたレーザ生成プラズマEUV(Extreme Ultraviolet)光源,中野 元博,三田 泰之,井上 晴行,押鐘 寧,片岡 俊彦,精密工学会誌,公益社団法人 精密工学会,Vol. vol. 75, no. 8,No. 8,p. 967-972,2009年
  • Development of Near-field Optical Microscope with a small Sphere as Probe -Observation of 2D Array of 100nm*100nm square holes on Pt Thin Film-,Optical Alliance,Vol. vol.20 No.11, 2009,2009年
  • Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers,Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-,Vol. pp. 78-79,2009年
  • Measurement of Extreme Ultraviolet Radiation from Laser-produced Sn Plasma in Through-Hole,Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-,Vol. pp. 80-81,2009年
  • Observation of localized optical near-field generated by submicron two-hole structure for novel SNOM probe,Yasushi Oshikane,Seiji Hara,Takuya Matsuda,Haruyuki Inoue,Motohiro Nakano,Toshihiko Kataoka,SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS,WILEY-BLACKWELL,Vol. 40,No. 6-7,p. 1054-1058,2008年06月
  • Numerical reconstruction of wavefront in phase-shifting point diffraction interferometer by digital holography,Toshiaki Matsuura,Satoru Okagaki,Yasushi Oshikane,Haruyuki Inoue,Motohiro Nakano,Toshihiko Kataoka,SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS,JOHN WILEY & SONS LTD,Vol. 40,No. 6-7,p. 1028-1032,2008年06月
  • Observation of localized optical near-field generated by submicron two-hole structure for novel SNOM probe,Yasushi Oshikane,Seiji Hara,Takuya Matsuda,Haruyuki Inoue,Motohiro Nakano,Toshihiko Kataoka,SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS,WILEY-BLACKWELL,Vol. 40,No. 6-7,p. 1054-1058,2008年06月
  • Measurement accuracy in phase-shifting point diffraction interferometer with two optical fibers,Toshiaki Matsuura,Satoru Okagaki,Takaaki Nakamura,Yasushi Oshikane,Haruyuki Inoue,Motohiro Nakano,Toshihiko Kataoka,OPTICAL REVIEW,OPTICAL SOC JAPAN,Vol. 14,No. 6,p. 401-405,2007年11月,書評論文,書評,文献紹介等
  • Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma,Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007,Vol. 215-216,2007年
  • Novel Prove of a Scanning Near-field Optical Microscope Involving Generation of a Localized and Intense Optical Near-field by Sub-micron Multihole Structure Located at the Apex of a Pointed Optical Fiber,Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007,Vol. pp. 89-90,2007年
  • Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecules in the CVM plasma by using spatial resolved optical emission spectrometry,18th International Symposium on Plasma Chemistry,Vol. pp. 166.,2007年
  • Etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process,29th International Symposium on Dry Process,Vol. pp. 273-274.,2007年
  • Effect of pulse modulated operation on etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process,International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007,Vol. International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007, pp. 15.,2007年
  • Etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process,29th International Symposium on Dry Process,Vol. pp. 273-274.,2007年
  • Novel Prove of a Scanning Near-field Optical Microscope Involving Generation of a Localized and Intense Optical Near-field by Sub-micron Multihole Structure Located at the Apex of a Pointed Optical Fiber,Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007,Vol. pp. 89-90,2007年
  • Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecules in the CVM plasma by using spatial resolved optical emission spectrometry,18th International Symposium on Plasma Chemistry,Vol. pp. 166.,2007年
  • Effect of pulse modulated operation on etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process,International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007,Vol. International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007, pp. 15.,2007年
  • Observation of Nano-structure by SNOM with Small Sphere Probe,Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology,2006年
  • Ro-vibronic Structure in the Q-branch in the Spectra of Hydrogen Fulcher-a Band Emission in the Atmospheric Pressure Plasma CVD Process Driven at 150 MHz,Extended Abstratcs of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology,Vol. pp. 49-50,2006年
  • Machining characteristics of AT cut quartz crystal wafer by open-air type atmospheric pressure plasma machining system, Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Vol. p.133,2006年
  • Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon,Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,2006年
  • N2 C3Pu-B3Pg band spectroscopy in open-air type CVM plasma with He/CF4/O2 and H2 Fulcher-a band spectroscopy in atmospheric He/H2/SiH4 CVD plasma,Europhysics Conference Abstract of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases,2006年
  • Detection of Nano-particles and Nano-steps by White Light Scattering,Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology,2006年
  • Absolute Surface Profiling of Large Diameter Mirror by Point Diffraction Interferometer,Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology,Vol. pp. 121-122,2006年
  • Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma - Evaluation of EUV Conversion Efficiency and Target Structure -,Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology,2006年
  • Rotational and vibrational temperature of Fulcher-alpha band emitted by hydrogen molecules in capacitive VHF CVD plasma process at atmosphere,Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Vol. p.269,2006年
  • レーザ光散乱法によるSiウエハ表面上の極薄酸化膜段差の計測,井上 晴行,片岡 俊彦,長尾 祥浩,押鐘 寧,中野 元博,越智 保文,有馬 健太,森田 瑞穂,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. vol.72, No.11, pp.1363-1367.,No. 11,p. 1363-1367,2006年
  • Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecule in the open-air type PCVM plasma by using spatial resolved emission spectra,Proceedings of 28th International Symposium on Dry Process,Vol. pp. 49-50,2006年
  • Machining characteristics of ultraprecision atmospheric pressure plasma process,Kazuya Yamamura,Koji Ueno,Akihiro Fujiwara,Yasuhisa Sano,Yasusi Osikane,Masafumi Shibahara,Katsuyoshi Endo,Yuzo Mori,Progress of Machining Technology, Proceedings,JAPAN SOC PRECISION ENGINEERING-JSPE,Vol. pp. 265-268,p. 265-268,2006年
  • Observation of Nano-structure by SNOM with Small Sphere Probe,Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology,2006年
  • Ro-vibronic Structure in the Q-branch in the Spectra of Hydrogen Fulcher-a Band Emission in the Atmospheric Pressure Plasma CVD Process Driven at 150 MHz,Extended Abstratcs of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology,Vol. pp. 49-50,2006年
  • Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon,Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,2006年
  • Machining characteristics of AT cut quartz crystal wafer by open-air type atmospheric pressure plasma machining system, Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Vol. p.133,2006年
  • N2 C3Pu-B3Pg band spectroscopy in open-air type CVM plasma with He/CF4/O2 and H2 Fulcher-a band spectroscopy in atmospheric He/H2/SiH4 CVD plasma,Europhysics Conference Abstract of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases,2006年
  • Absolute Surface Profiling of Large Diameter Mirror by Point Diffraction Interferometer,Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology,Vol. pp. 121-122,2006年
  • Detection of Nano-particles and Nano-steps by White Light Scattering,Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology,2006年
  • Rotational and vibrational temperature of Fulcher-alpha band emitted by hydrogen molecules in capacitive VHF CVD plasma process at atmosphere,Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Vol. p.269,2006年
  • レーザ光散乱法によるSiウエハ表面上の極薄酸化膜段差の計測,井上 晴行,片岡 俊彦,長尾 祥浩,押鐘 寧,中野 元博,越智 保文,有馬 健太,森田 瑞穂,精密工学会誌論文集,公益社団法人精密工学会,Vol. vol.72, No.11, pp.1363-1367.,No. 11,p. 1363-1367,2006年
  • Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecule in the open-air type PCVM plasma by using spatial resolved emission spectra,Proceedings of 28th International Symposium on Dry Process,Vol. pp. 49-50,2006年
  • Machining characteristics of ultraprecision atmospheric pressure plasma process,Proceedings of 8th International Conference on Progress of Machining Technology,Vol. pp. 265-268,2006年
  • Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules,17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD,Vol. pp. 148-149, ISPC-245,2005年
  • Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules,17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD,Vol. pp. 148-149, ISPC-245/,,2005年
  • 狭帯域バンドパスフィルタを用いてのアルゴンアクチノメトリー画像計測による酸素原子,フッ素原子の密度分布診断,プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス,2005年
  • 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測,光アライアンス,2005年
  • Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules,17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD,Vol. pp. 148-149, ISPC-245,2005年
  • Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules,17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD,Vol. pp. 148-149, ISPC-245/,,2005年
  • Two-Dimensional Density Mapping of Oxygen and Fluorine atoms by Argon Actinometry with Narrow Bandpass Filters,Proceedings of plasma science symposium 2005 and the 22nd symposium on plasma processing,2005年
  • Phase-shift interferometry with diffracted spherical wavefronts from optical fibers,Optical Alliance,2005年
  • FLUORINE AND OXYGEN DENSITY MONITORING IN PLASMA CVM PROCESS BY ARGON ACTINOMETRY TECHNIQUE,2004年
  • Fluorine and Oxygen Monitoring in Plasma CVM Etching Process for Silicon Wafer by Argon Actinometry Technique,2004年
  • FLUORINE AND OXYGEN DENSITY MONITORING IN PLASMA CVM PROCESS BY ARGON ACTINOMETRY TECHNIQUE,Abstracts of 7th APCPST & 17th SPSM,2004年
  • Fluorine and Oxygen Monitoring in Plasma CVM Etching Process for Silicon Wafer by Argon Actinometry Technique,Program of the 57th annual gaseous electronics conference,2004年
  • 大気圧プラズマによる超精密加工プロセスと その分光計測,日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会 第62回研究会資料,Vol. 5-12ページ,2003年
  • 光ファイバからの点回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト干渉計の開発,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,野口 彰宏,井上 晴行,中野 元博,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 69巻5号678-682ページ,No. 5,p. 678-682,2003年
  • 光ファイバからの点光源回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト光干渉計の開発,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,野口 彰宏,井上 晴行,中野 元博,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. vol.69, no.5, pp.678-682/,,No. 5,p. 678-682,2003年
  • Ultraviolet Emission Spectroscopy and Absorption Spectroscopy of CF2 Radical in Chemical Vaporization Machining (CVM) Plasma Generated with High Speed Rotating Cylindrical Electrode,Technical Program of AVS 50th,Vol. PS2-WeA4,2003年
  • The Dependence of CF, CF2 density on VHF Power and Gas Concentration in CVM Plasma Studied by Ultraviolet Absorption Spectroscopy,Proceedings of the 20th Symposium on Plasma Processing (SPP-20),Vol. pp. 65-66,2003年
  • 光ファイバ先端を点光源とした位相シフト型Point Diffraction Interferometer (PS-PD1)の開発 : 光源の位相シフトを利用した凹面鏡の形状計測,押鐘 寧,片岡 俊彦,中野 元博,井上 晴行,池野田 和行,南 和男,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 2,p. 145-145,2002年10月01日
  • 走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 走査システムの改良と光硬化性樹脂によるプローブ製作,押鐘 寧,片岡 俊彦,中野 元博,井上 晴行,宮本 陽介,玄羽 哲也,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 2,p. 306-306,2002年10月01日
  • プラズマCVMプロセス中のCF, CF_2ラジカルの分光計測 : レーザー誘起蛍光分光と紫外線吸収分光とによるラジカル密度分布診断,押鐘 寧,佐藤 慎也,山村 和也,遠藤 勝義,片岡 俊彦,森 勇藏,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2002,No. 2,p. 461-461,2002年10月01日
  • レーザー光散乱法によるSiウェハ表面上の超微小欠陥計測,井上 晴行,片岡 俊彦,押鐘 寧,遠藤 勝義,森 勇藏,中野 元博,安 弘,里見 慎哉,和田 勝男,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 68,No. 10,p. 1337-1341,2002年
  • レーザー光散乱法によるSiウェハ付着超微粒子計測,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,中野 元博,安 弘,竹村 太一,和田 勝男,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 68,No. 2,p. 264-268,2002年
  • O2 concentration- and VHF electric power-dependent changes in 2D distribution of CF and CF2 radicals in atmospheric capacitve plasma for chemical vaporization machining (CVM) process studied by laser-induced fluorescence (LIF) spectroscopy,Proceedings of the Joint 16th European Conference on Atomic and Molecular Physics on Ionized Gases - 5th International Conference on Reactive Plasmas (ESCAMPIG-16/ICRP-5),Vol. vol .1, pp. 329-330/,,2002年
  • 走査型近接場光学顕微鏡の高感度・高分解能プローブ開発 : 集光レーザ-スポット照射による微粒子プローブの創製,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,井上 晴行,宮本 陽介,玄羽 哲也,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 207-207,2001年09月01日
  • 三次元境界要素法を用いたシリコンウエハ上の微粒子からの光散乱特性の解析,押 鐘寧,片岡 俊彦,井上 晴行,中野 元博,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 217-217,2001年09月01日
  • 3次元境界要素法を用いた走査型近接場光学顕微鏡用の微粒子プローブ周りの電磁場伝搬解析,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,井上 晴行,玄羽 哲也,宮本 陽介,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 208-208,2001年09月01日
  • 光散乱法による研磨・洗浄後のSiウエハ表面の評価,和田 勝男,片岡 俊彦,井上 晴行,中野 元博,押鐘 寧,森 勇蔵,里見 慎哉,安 弘,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 420-420,2001年09月01日
  • 光散乱法によるSiウエハ表面欠陥の大面積計測,井上 晴行,片岡 俊彦,和田 勝男,中野 元博,押鐘 寧,里見 慎哉,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 421-421,2001年09月01日
  • レーザ誘起蛍光分光法による大気圧・高周波CF_4プラズマ中のラジカル密度の空間分布計測,押鐘 寧,川島 祥一,竹本 健一,山村 和也,遠藤 勝義,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 234-234,2001年09月01日
  • 大気圧プラズマCVDによる高速形成したa-SiC薄膜の光学的特性,森 勇蔵,芳井 熊安,森田 瑞穂,安武 潔,垣内 弘章,押鐘 寧,青木 稔,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2001,No. 2,p. 248-248,2001年09月01日
  • 容量結合型・大気圧・高周波プラズマ中のCF, CF<sub>2</sub>ラジカル密度のOESおよびLIF計測,COEシンポジウム原子論的生産技術のための超精密科学-完全表面の創成-参考資料集,p. 233-238,2001年
  • 大気圧・高周波CF<sub>4</sub>プラズマにおけるレーザー誘起蛍光分光法を用いたCFおよびCF<sub>2</sub>ラジカルの計測,第48回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,No. 1,2001年
  • CFX Radicals and Electric Field Measurement in Capacitive VHF Plasma at Atmosphere by Laser Induced Fluorescence and Optical Emission Spectroscopy,Proceedings of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG-25),Vol. vol. 1, pp. 181-182/,,2001年
  • Electric Impedance Measurement and Pulsed OPO Laser Induced Fluorescence Study of Capacitively Coupled VHF Plasma (He/CF4/O2) at Atmospheric Pressure for Chemical Vaporization Machining (CVM) Process,Program of the 54th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC01),Vol. NR2-8,2001年
  • Spectroscopic and Electrical Analysis of Capacitively Coupled VHF plasma at Atmospheric Pressure for Plasma CVM process,Program of the 54th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC01),Vol. DTP-4,2001年
  • Optical Emission Spectroscopy and Laser Induced Fluorescence Spectroscopy of CF and CF<sub>2</sub> Radicals in Capacitive VHF Plasma at Atmospheric' Pressure,Technical Digest of ┣DBCOE Symposium on Ultraprecision Science and Technology for Atmistic Production Engineering-Creation of Perfect Surface-(/)-┫DB(Osaka University, Osaka),p. 233-238,2001年
  • Laser-induced Fluorescence Studies of CF and CF<sub>2</sub> Radicls in Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF<sub>4</sub> Plasma,Extended Abstracts(The 48th Spring Meeting, 2001); The Japan Society of Applied Physics and Related Societies(Meiji University, Tokyo),No. 1,2001年
  • Laser-induced Fluorescence studies of CF and CF<sub>2</sub> Radical in Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF<sub>4</sub> Plasma,Proceedings of Plasma Science Symposium 2001/The 18th Symposium on Plasma Processing(Kyoto),p. 343-344,2001年
  • Scanning near-field optical microscope with a small spherical protrusion probe excited with WGM resonances,Optical Memory and Neural Networks,Vol. 9,No. 3,2001年
  • 光散乱法によるSiウエハ表面上のナノ形状欠陥の計測,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,竹村 太一,里見 慎哉,森 勇蔵,和田 勝男,安 弘,佐々木 都至,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 2,p. 60-60,2000年09月01日
  • 高分解能レーザー光法を用いた大気圧・高周波CVMプラズマ中のCF_xラジカル粒子の時空間分解密度計測,押鐘 寧,遠藤 勝義,片岡 俊彦,井上 晴行,横山 能幸,川島 祥一,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 2,p. 479-479,2000年09月01日
  • 微小球内のWGM共振を利用した走査型近接場光学顕微鏡の開発,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,井上 晴行,松田 栄輝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 2,p. 293-293,2000年09月01日
  • STM/STS observations and first-principles simulations of metal adsorbed Si(001) surfaces,Katsuyoshi Endo,Kenta Arima,Toshihiko Kataoka,Yasushi Oshikane,Haruyuki Inoue,Kenji Koba,Kikuji Hirose,Yuzo Mori,Technology Reports of the Osaka University,Vol. 50,p. 41-47,2000年04月
  • 共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 標準試料の走査結果とプローブの性能評価,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,井上 晴行,中川 寛文,平井 隆之,松田 栄輝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 568-568,2000年03月01日
  • 大気圧プラズマインピーダンス測定(第2報) : 測定装置内電磁界解析による測定原理の検証,森 勇蔵,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山村 和也,佐野 泰久,押鐘 寧,片山 晋二,江畑 裕介,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 194-194,2000年03月01日
  • PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)による高精度形状計測法の開発,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,井上 晴行,池田 和浩,野口 彰宏,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 546-546,2000年03月01日
  • 大気圧・高周波プラズマの計測と制御 : 発光分光を中心としたCVM用プラズマ中のフリーラジカル密度の分光計測,押鐘 寧,遠藤 勝義,片岡 俊彦,井上 晴行,相本 秀一,横山 能幸,川島 祥一,佐野 泰久,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 265-265,2000年03月01日
  • 微粒子定機によるナノメータオーダのSiウエハ表面形状の測定,佐々木 都至,安 弘,瑞原 重勲,森 勇藏,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山内 和人,井上 晴行,押鐘 寧,竹村 太一,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 2000,No. 1,p. 604-604,2000年03月01日
  • Scanning tunneling microscopy study of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after wet cleaning,K Arima,K Endo,T Kataoka,Y Oshikane,H Inoue,Y Mori,SURFACE SCIENCE,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 446,No. 1-2,p. 128-136,2000年02月
  • Atomically resolved scanning tunneling microscopy of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after HF cleaning,K Arima,K Endo,T Kataoka,Y Oshikane,H Inoue,Y Mori,APPLIED PHYSICS LETTERS,AMER INST PHYSICS,Vol. 76,No. 4,p. 463-465,2000年01月
  • シリコンウエハ表面上の微粒子・微小欠陥による光散乱 : 散乱光強度およびレンズによる像形成の計算,片岡 俊彦,井上 晴行,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,中野 元博,和田 勝男,安 弘,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 66,No. 11,p. 1716-1722,2000年
  • Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF<sub>4</sub> Plasma Studied by Laser Induced Fluorescence Spectroscopy with Pulsed OPO Laser,Proceedings of Symposium on Dry Process(Waseda University, Tokyo),p. 19-23,2000年
  • Scanning Near-field Optical Microscope with a Small Spherical Protrusion Probe Excited with WGM resonances(invited),"Special issue of Near Field Optics"in Optical Memories and Neural Networks,Vol. 9,No. 3,p. 147-168,2000年
  • A prototypical resonant microcavity probe for scanning near-field optical microscope,Proceedings of 6th International Conference on Near Field Optics and Related Techniques(University of Twente, The Netherlands),2000年
  • Capacitively coupled atmospheric VHF CF<sub>4</sub>plasma studied by laser induced fluorescence spectroscopy with pulsed OPO laser,Proceedings of Dry Process Symposium 2000(Tokyo),p. 19-23,2000年
  • A prototypical resonant microcavity probe for scanning near-field optical microscope,Proceedings of 6th international conference on near field optics and related techniques(The Netherlands),2000年
  • 高圧力・高周波プラズマの計測と制御-赤外半導体レーザー吸収分光法によるプラズマ中のラジカル計測-,押鐘 寧,遠藤 勝義,片岡 俊彦,井上 晴行,相本 秀一,横山 能幸,佐野 泰久,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 574-574,1999年09月01日
  • STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の原子構造観察,有馬 健太,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,井上 晴行,木庭 謙二,中原 裕喜,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 659-659,1999年09月01日
  • 微小共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の特性,中川 寛文,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,井上 晴行,平井 隆之,松田 栄輝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 658-658,1999年09月01日
  • sNOM用微小共振球プローブの電磁場解析による特性診断,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,井上 靖行,中川 寛文,平井 隆之,松田 栄輝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 657-657,1999年09月01日
  • 微粒子測定機を用いたSiウェハ表面におけるナノメータオーダのスクラッチ形状の測定,佐々木 都至,安 弘,瑞原 重勲,森 勇蔵,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山内 和人,井上 晴行,押鐘 寧,竹村 太一,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 2,p. 389-389,1999年09月01日
  • 微小共振球の近接場光学顕微鏡プローブへの応用,中川 寛文,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,井上 晴行,平井 隆之,松田 栄輝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 505-505,1999年03月05日
  • STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の観察,有馬 健太,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,井上 晴行,木庭 謙二,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 503-503,1999年03月05日
  • 走査型近接場光学顕微鏡のための超高感度プローブの設計 -FDTD法による微小共振球周りの三次元電磁場解析-,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,中川 寛文,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 506-506,1999年03月05日
  • レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -Siウェーハ表面の観察-,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,竹村 太一,森 勇蔵,安 弘,佐々木 都至,谷口 浩之,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 465-465,1999年03月05日
  • 赤外半導体レーザー吸収分光法による大気圧・高周波プラズマ中のラジカル計測,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,佐野 泰久,玉田 浩平,相本 秀一,横山 能幸,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 429-429,1999年03月05日
  • 大気圧プラズマインピーダンス測定(第1報) -測定原理, 測定結果, およびその測定精度について-,森 勇蔵,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山村 和也,佐野 泰久,押鐘 寧,江畑 裕介,片山 晋二,岡本 利樹,足立 真士,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 428-428,1999年03月05日
  • ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウエハ表面の微粒子および欠陥計測による表面評価,安 弘,佐々木 都至,谷口 浩之,瑞原 重勲,森 勇蔵,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山内 和人,井上 晴行,押鐘 寧,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1999,No. 1,p. 464-464,1999年03月05日
  • 3D-FDTD and experimental analysis of a resonant microcravity probe for high-resolution SNOM,Y Oshikane,H Nakagawa,T Kataoka,K Endo,H Inoue,T Hirai,NEAR-FIELD OPTICS: PHYSICS, DEVICES, AND INFORMATION PROCESSING,SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,Vol. 3791,p. 57-66,1999年
  • STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察,有馬 健太,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,井上 晴行,木庭 謙二,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 420-420,1998年09月01日
  • 微小共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の開発,中川 寛文,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,井上 晴行,平井 隆之,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 419-419,1998年09月01日
  • 大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測 -ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-,押鐘 寧,遠藤 勝義,片岡 俊彦,井上 晴行,玉田 浩平,相本 秀一,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 440-440,1998年09月01日
  • レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -微小粒子の測定-,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,竹村 太一,安 弘,佐々木 都至,谷口 浩之,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 513-513,1998年09月01日
  • ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウェーハの洗浄による表面評価,安 弘,佐々木 都至,谷口 浩之,森 勇藏,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山内 和人,井上 晴行,押鐘 寧,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 2,p. 512-512,1998年09月01日
  • Atomic structures of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after wet cleaning by scanning tunneling microscopy,K Endo,K Arima,T Kataoka,Y Oshikane,H Inoue,Y Mori,APPLIED PHYSICS LETTERS,AMER INST PHYSICS,Vol. 73,No. 13,p. 1853-1855,1998年09月
  • STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析,有馬 健太,遠藤 勝義,片岡 俊彦,稲垣 耕司,押鐘 寧,井上 晴行,森 勇蔵,後藤 英和,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 672-672,1998年03月05日
  • レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -冷却CCDカメラによる標準試料の測定-,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇蔵,井山 章吾,竹村 太一,安 弘,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 675-675,1998年03月05日
  • 微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発,押鐘 寧,片岡 俊彦,遠藤 勝義,井上 晴行,重信 安志,平井 隆之,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 629-629,1998年03月05日
  • エキシマレーザによる基板表面凝集相の光化学反応,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,井上 晴行,織田 容征,平木 予司由,森 勇蔵,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 431-431,1998年03月05日
  • 高圧力・高周波プラズマの計測と制御 -吸収分光法による準安定粒子の診断-,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,川島 雅人,玉田 浩平,相本 秀一,森 勇藏,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 516-516,1998年03月05日
  • 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第7報) -ウルトラクリーンルームでのSiウェーハ面の測定と微粒子測定表面評価-,安 弘,佐々木 都至,谷口 浩之,森 勇蔵,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山内 和人,井上 晴行,押鐘 寧,井山 章吾,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1998,No. 1,p. 674-674,1998年03月05日
  • Capacitive VHF Plasma Simulation at Atmospheric Pressure by Local Field Approximation Method,オシカネ ヤスシ,エンドウ カツヨシ,カタオカ トシヒコ,カワシマ マサト*,タマダ コウヘイ*,アイモト シュウイチ**,東北大学研究所報告. (工学), 流体科学研究所,東北大学,Vol. 10,p. 147-155,1998年03月
  • 3D-Electromagnetic Fields Analysis of a Micro-Cavity Probe for High Resolution SNOM,Technical Digest of the 5th International Conference on Near Field Optics(Shirahama, 1998),p. 12-13,1998年
  • Scanning Near-Field Optical Microscope with a Micro-Cavity Probe,Technical Digest of the 5th International Conference on Near Field Optics(Shirahama, 1998),p. 179-180,1998年
  • Growth of crystalline silicon on a cryogenic substrate by photochemical reaction in a condensed phase,T Kataoka,K Endo,M Ashida,H Orita,Y Oshikane,H Inoue,Y Mori,JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS,JAPAN J APPLIED PHYSICS,Vol. 36,No. 12A,p. 7395-7398,1997年12月
  • 高圧力・高周波プラズマの計測と制御 -プラズマの時空間分解発光分光測定-,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,森 勇藏,川島 雅人,玉田 浩平,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 110-110,1997年10月01日
  • レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -冷却CCDカメラによる測定-,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,井山 章吾,安 弘,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 244-244,1997年10月01日
  • 光ファイバリング共振器を用いた近接場の発生・検知システムの開発,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,井上 晴行,則信 教英,池田 和浩,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 246-246,1997年10月01日
  • STM/STSによる金属吸着Si(001)表面の観察,遠藤 勝彦,片岡 俊彦,広瀬 喜久治,森 勇藏,押鐘 寧,井上 晴行,有馬 健太,多田羅 佳孝,大和 大周,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 271-271,1997年10月01日
  • 微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発 -微小共振球プローブの開発-,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,井上 晴行,重信 安志,平井 隆之,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 269-269,1997年10月01日
  • エキシマレーザによる基板表面凝集相の光化学反応,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,井上 晴彦,織田 容征,平木 予司由,森 勇藏,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 2,p. 109-109,1997年10月01日
  • 29a-YF-1 容量結合型大気圧・高周波プラズマの生成における電極材質の影響,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,大山 貴裕,川島 雅人,玉田 浩平,日本物理学会講演概要集,一般社団法人日本物理学会,Vol. 52,No. 1,p. 822-822,1997年03月17日
  • He高圧力・高周波プラズマの特性 -電極材質による相違-,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,大山 貴裕,川島 雅人,玉田 浩平,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 703-704,1997年03月01日
  • STM/STSによるSiウェーハ表面の金属原子の観察,遠藤 勝義,片岡 俊彦,森 勇蔵,稲垣 耕司,押鐘 寧,井上 晴行,有馬 健太,多田羅 佳孝,大和 正和,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 377-378,1997年03月01日
  • レーザ光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -P, S偏光による標準試料の測定-,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,安 弘,井山 章吾,南川 文孝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 389-390,1997年03月01日
  • 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第6報) -Siウェーハ面の測定と微粒子付着分布による表面評価-,安 弘,南川 文孝,佐々木 都至,森 勇蔵,片岡 俊彦,遠藤 勝義,山内 和人,井上 晴行,押鐘 寧,井山 章吾,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1997,No. 1,p. 391-392,1997年03月01日
  • レーガー光散乱法によるSiウエハ付着微粒子計測装置の開発,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,杉山 和久,安 弘,井山 章吾,精密工学会誌,公益社団法人精密工学会,Vol. 63,No. 8,p. 1117-1121,1997年
  • Characteristics of VHF Helium Plasma at Atmospheric Pressure,Proceedings of the 3rd International Conference on Reactive Plasmas and 14th Symposium on Plasma Processing,1997年
  • 大気圧・高周波プラズマの計測とシミュレーション,押鐘 寧,大山 貴裕,川島 雅人,遠藤 勝義,片岡 俊彦,日本物理学会講演概要集. 秋の分科会,一般社団法人日本物理学会,Vol. 1996,No. 4,p. 131-131,1996年09月13日
  • 大気圧・高周波プラズマの特性,遠藤 勝義,片岡 俊彦,押鐘 寧,大山 貴裕,川島 雅人,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 2,p. 195-196,1996年09月01日
  • 金属微小球をプローブとした近接場光学顕微鏡,片岡 俊彦,遠藤 勝義,森 勇藏,押鐘 寧,稲垣 耕司,井上 晴行,和泉 紋弘,重信 安志,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 2,p. 689-690,1996年09月01日
  • レーザ光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -レーザビーム走査型による標準試料の測定-,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,安 弘,井山 章吾,南川 文孝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 2,p. 431-432,1996年09月01日
  • Development of a scanning near-field optical microscope with a probe consisting of a small spherical protrusion,T Kataoka,K Endo,Y Oshikane,H Inoue,K Inagaki,Y Mori,H An,O Kobayakawa,A Izumi,ULTRAMICROSCOPY,ELSEVIER SCIENCE BV,Vol. 63,No. 3-4,p. 219-225,1996年07月
  • 3a-YL-12 GIR法による輻射駆動爆縮核融合ターゲット内の3次元コロナプラズマ密度分布診断(プラズマ物理・核融合(レーザー(2))),押鐘 寧,田中 和夫,塚本 雅裕,大西 芳紀,橋本 浩幸,西口 彰夫,中井 貞雄,三間 圀興,日本物理学会講演概要集. 年会,一般社団法人日本物理学会,Vol. 51,No. 4,p. 218-218,1996年03月15日
  • 大気圧・高周波プラズマの特性-励起周波数, 圧力の違い-,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇蔵,芳井 熊安,垣内 弘章,根岸 伸幸,大山 貴裕,川島 雅人,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 635-636,1996年03月01日
  • STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析,遠藤 勝義,片岡 俊彦,森 勇蔵,稲垣 耕司,押 鐘寧,井上 晴行,有馬 健太,増田 裕一,多田羅 佳孝,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1996,No. 1,p. 967-968,1996年03月01日
  • Characteristics of RF, VHF Helium Plasma at Atmospheric Pressure,Proceedings of 1996 The Japan-China Bilateral Symposium on advanced Manufacturing Engineering,1996年
  • 30a-R-7 格子像屈折率測定法によるシリンダー型X線爆縮核融合ターゲット内のプラズマ挙動の計測,押鐘 寧,中路 晋一,田中 和夫,塚本 雅裕,大西 芳紀,橋本 浩幸,尾崎 充律,中井 光男,児玉 了祐,西口 彰夫,高部 英明,三間 圀興,中井 貞雄,GOD M T Mtグループ,日本物理学会講演概要集. 秋の分科会,一般社団法人日本物理学会,Vol. 1995,No. 4,p. 216-216,1995年09月12日
  • 30a-R-6 格子像屈折率測定法による臨界密度以下のプラズマでのフィラメンテーションの計測,田中 和夫,中路 晋一,大西 芳紀,押鐘 寧,尾崎 充律,橋本 浩幸,中井 光男,児玉 了祐,西口 彰夫,高部 英明,三間 圀興,中井 貞雄,日本物理学会講演概要集. 秋の分科会,一般社団法人日本物理学会,Vol. 1995,No. 4,p. 216-216,1995年09月12日
  • レーザ光散乱によるSiウェーハ表面の微粒子計測,井上 晴行,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,稲垣 耕司,森 勇藏,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1995,No. 2,p. 541-542,1995年09月01日
  • 大気圧RFプラズマの特性,片岡 俊彦,遠藤 勝義,押鐘 寧,森 勇藏,芳井 熊安,垣内 弘章,根岸 伸幸,大山 貴裕,精密工学会大会学術講演会講演論文集,Vol. 1995,No. 2,p. 623-624,1995年09月01日
  • EFFICIENT SOFT-X-RAY LASING AT 6 TO 8 NM WITH NICKEL-LIKE LANTHANIDE IONS,H DAIDO,Y KATO,K MURAI,S NINOMIYA,R KODAMA,G YUAN,Y OSHIKANE,M TAKAGI,H TAKABE,F KOIKE,PHYSICAL REVIEW LETTERS,AMERICAN PHYSICAL SOC,Vol. 75,No. 6,p. 1074-1077,1995年08月
  • COLLISIONAL-EXCITATION X-RAY LASERS BY MULTIPLE-PULSE PUMPING,Y KATO,H DAIDO,R KODAMA,K MURAI,G YUAN,S NINOMIYA,Y OSHIKANE,M TAKAGI,T KANABE,CH NAM,IW CHOI,T KAWACHI,LASER INTERACTION WITH MATTER,IOP PUBLISHING LTD,Vol. pp121-124,No. 140,p. 121-124,1995年
  • GIR法によるX線爆縮核融合用シリンダターゲット内のプラズマ密度分布の観察,Vol. 40,No. 11,1995年
  • ニッケル様ランタノイドイオンを用いた6〜8nm領域の軟X線レーザー発振,Vol. 75,No. 6,p. 1074-77,1995年
  • Observation of Plasma Density Profile in Cylinder-type X-ray-driven Fusion Target by GIR Method,Bulletin of The American Physical Society, Plasma Physics,Vol. 40,No. 11,1995年
  • Short-pulse Nickel-like soft x-ray lasers ranging from 6nm to 8nm wave length pumped by multiple infrared laser pulse using a curved slab target,Physical Review Letters,1995年
  • 28p-YC-9 シリンダー内コロナプラズマ中での誘導ラマン散乱光計測,押鐘 寧,田中 和夫,塚本 雅裕,西口 彰夫,白神 宏之,西村 博明,砂原 淳,高部 英明,加藤 義章,中井 貞雄,GOD M.T.MTグループ,日本物理学会講演概要集. 年会,一般社団法人日本物理学会,Vol. 49,No. 4,p. 173-173,1994年03月16日
  • Light scattering measurement in a Ge X-ray laser plasma,CH NAM,IW CHOI,Y OSHIKANE,K MURAI,G YUAN,R KODAMA,H DAIDO,Y KATO,S NAKAI,X-RAY LASERS 1994 - FOURTH INTERNATIONAL COLLOQUIUM,AIP PRESS,Vol. pp205-209,No. 332,p. 205-209,1994年
  • 2a-W-12 X線レーザー実験におけるライン集光プラズマ中のTPD不安定性,押鐘 寧,高部 英明,三間 圀興,加藤 義章,中井 貞雄,田中 和夫,西口 彰夫,Choi I.W,Nam C.H,児玉 了祐,村井 健介,二宮 士郎,大道 博行,日本物理学会講演概要集. 秋の分科会,一般社団法人 日本物理学会,Vol. 1994,No. 0,p. 135-135,1994年
  • Stimulated Raman Scattering in Cylinder-type X-ray Driven Fusion Target,36th Annual Meeting of the Division of Plasma Physics,1994年
  • RADIATION-DRIVEN CANNONBALL TARGETS FOR HIGH-CONVERGENCE IMPLOSIONS,H NISHIMURA,H SHIRAGA,T ENDO,H TAKABE,M KATAYAMA,Y OSHIKANE,M NAKAMURA,Y KATO,S NAKAI,LASER AND PARTICLE BEAMS,CAMBRIDGE UNIV PRESS,Vol. 11,No. 1,p. 89-96,1993年

著書

  • Nano-Optics,Springer,ISBN:3540418296,2002年
  • 近接場ナノフォトニクス入門,オプトロニクス社,ISBN:4900474835,2000年
  • Introduction to near-field nano photonics,Optronics,2000年
  • 近接場ナノフォトニクスハンドブック,オブトロニクス社,ISBN:4900474630,1997年

作品

  • 完全表面の創成,1996年 ~ 2002年
  • Creation of Perfect Surface,1996年 ~ 2002年
  • 特殊加熱された窒素ガス分子の振動・回転状態の診断,2005年 ~
  • 特殊加熱された窒素ガス分子の振動・回転状態の診断,2005年 ~
  • 原子論的生産技術の創出拠点,2004年 ~
  • 光ファイバからの回折球面波を絶対計測基準とした非球面形状のサブナノ計測,2004年 ~
  • 光ファイバからの回折球面波を絶対計測基準とした非球面形状のサブナノ計測,2004年 ~
  • 大口径光学素子の絶対形状評価へのファイバ型2光源PDI形状計測装置の応用,2004年 ~
  • 高速ガス流下での大気圧・高周波プラズマによるCF4ガスの高効率分解プロセスの開発,2003年 ~
  • Spectroscopic Analysis of Dessociation of CF4 molecule in Atmospheric VHF Plasma under High Speed Shear Flow,2003年 ~
  • CVMプラズマにおける反応性ラジカル種CF, CF2の吸収分光計測 - 格子像投影法による多点同時スペクトル計測を利用した空間分解数密度計測 -,2002年 ~
  • Ultraviolet Absorption Spectroscopy of CF and CF2 Radicals in Atmospheric Plasma for Chemical Vaporization Machining,2002年 ~

受賞

  • 2003年度精密工学会秋季学術講演会ベストプレゼンテーション賞,2003年
  • Best Presentation Award in Fall Meeting of Japan Society for Precision Engineering,2003年
  • 2002年度精密工学会秋季学術講演会ベストプレゼンテーション賞,2002年
  • 精密工学会ベストオーガナイザー賞,2002年
  • Best Presentation Award in Fall Meeting of Japan Society for Precision Engineering,2002年
  • Best Organizer Award in Fall Meeting of Japan Society for Precision Engineering,2002年
  • 精密工学会関西支部講演論文集,1995年
  • Presentation Award in Annual Meeting of Kansai Division, Japan Society for Precision Engineering,1995年

講演・口頭発表等

  • 大気圧・高周波プラズマプロセスにおける原子・分子の紫外・可視分光,電気学会東海支部 研究フォーラム「先端プラズマ技術を利用したナノテクノロジー及びバイオ分野への応用に関する研究」での招待講演,2008年

委員歴

  • 学協会,応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会,幹事,2004年 ~ 2005年
  • 学協会,(社)精密工学会,校閲委員会 協力委員,2009年 ~
  • 学協会,The Japan Society for Precision Engineering,Reviewer,2009年 ~