Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Spherical Reference Wave Fronts Generated by Two Optical Fibers:Accuracy of Surface Figure Measurement of Aspherical Concave Mirror

Ogawa Naotoshi, Nakano Motohiro, Oshikane Yasushi, Inoue Haruyuki, Yamauchi Kazuto

Proceedings of JSPE Semestrial Meeting　Vol. 2010　No. 0　p. 741-742　2010

Aspherical Surface Figure Measurement by PS/PDI with Two Optical Fibers:Application for plane mirror

Udaka Kazuaki, Matsuura Toshiaki, Oshikane Yasushi, Inoue Haruyuki, Nakano Motohiro, Kataoka Toshihiko, Yamauchi Kazuto

Proceedings of JSPE Semestrial Meeting　Vol. 2009　No. 0　p. 455-456　2009

Observation of Nanoscale Deep-Holes on Pt Thin Film with Scanning Near-Field Optical Microscope Using a Microsphere Probe

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 82-83　2009

3D-BEM Analyses of Electromagnetic Field Around Optical Probe Tip with Two Subwavelength Apertures

Extended Abstract of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 84-85　2009

EUV (Extreme Ultraviolet) Light Source by Laser Produced Plasma Using Tin Through-hole Targets

NAKANO Motohiro, SANDA Yasuyuki, INOUE Haruyuki, OSHIKANE Yasushi, KATAOKA Toshihiko

Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. vol. 75, no. 8　No. 8　p. 967-972　2009

微小球をプローブとする走査型近接場光学顕微鏡の開発 -Pt薄膜上の100nm×100nm開孔の２次元配列構造の観察-

光アライアンス　Vol. vol.20 No.11, 2009　2009

Measurement of Extreme Ultraviolet Radiation from Laser-produced Sn Plasma in Through-Hole

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 80-81　2009

Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 78-79　2009

Observation of Nanoscale Deep-Holes on Pt Thin Film with Scanning Near-Field Optical Microscope Using a Microsphere Probe

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 82-83　2009

EUV (Extreme Ultraviolet) Light Source by Laser Produced Plasma Using Tin Through-hole Targets

NAKANO Motohiro, SANDA Yasuyuki, INOUE Haruyuki, OSHIKANE Yasushi, KATAOKA Toshihiko

Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. vol. 75, no. 8　No. 8　p. 967-972　2009

Development of Near-field Optical Microscope with a small Sphere as Probe -Observation of 2D Array of 100nm*100nm square holes on Pt Thin Film-

Optical Alliance　Vol. vol.20 No.11, 2009　2009

Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 78-79　2009

Measurement of Extreme Ultraviolet Radiation from Laser-produced Sn Plasma in Through-Hole

Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology －Surface and Thin Film Processing－　Vol. pp. 80-81　2009

Numerical reconstruction of wavefront in phase-shifting point diffraction interferometer by digital holography

Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS　Vol. 40　No. 6-7　p. 1028-1032　2008/06

Observation of localized optical near-field generated by submicron two-hole structure for novel SNOM probe

Yasushi Oshikane, Seiji Hara, Takuya Matsuda, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS　Vol. 40　No. 6-7　p. 1054-1058　2008/06

Measurement accuracy in phase-shifting point diffraction interferometer with two optical fibers

Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Takaaki Nakamura, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka

OPTICAL REVIEW　Vol. 14　No. 6　p. 401-405　2007/11　Book review, literature introduction, etc.

Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. 215-216　2007

Novel Prove of a Scanning Near-field Optical Microscope Involving Generation of a Localized and Intense Optical Near-field by Sub-micron Multihole Structure Located at the Apex of a Pointed Optical Fiber

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. pp. 89-90　2007

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecules in the CVM plasma by using spatial resolved optical emission spectrometry

18th International Symposium on Plasma Chemistry　Vol. pp. 166.　2007

Etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

29th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 273-274.　2007

Effect of pulse modulated operation on etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007, pp. 15.　2007

Etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

29th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 273-274.　2007

Novel Prove of a Scanning Near-field Optical Microscope Involving Generation of a Localized and Intense Optical Near-field by Sub-micron Multihole Structure Located at the Apex of a Pointed Optical Fiber

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. pp. 89-90　2007

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecules in the CVM plasma by using spatial resolved optical emission spectrometry

18th International Symposium on Plasma Chemistry　Vol. pp. 166.　2007

Effect of pulse modulated operation on etching characteristics of AT cut quartz crystal in open-air type plasma CVM process

International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007　Vol. International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007, pp. 15.　2007

Observation of Nano-structure by SNOM with Small Sphere Probe

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006

Ro-vibronic Structure in the Q-branch in the Spectra of Hydrogen Fulcher-a Band Emission in the Atmospheric Pressure Plasma CVD Process Driven at 150 MHz

Extended Abstratcs of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 49-50　2006

Machining characteristics of AT cut quartz crystal wafer by open-air type atmospheric pressure plasma machining system, Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.133　2006

Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　2006

N2 C3Pu-B3Pg band spectroscopy in open-air type CVM plasma with He/CF4/O2 and H2 Fulcher-a band spectroscopy in atmospheric He/H2/SiH4 CVD plasma

Europhysics Conference Abstract of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases　2006

Detection of Nano-particles and Nano-steps by White Light Scattering

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006

Absolute Surface Profiling of Large Diameter Mirror by Point Diffraction Interferometer

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 121-122　2006

Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma - Evaluation of EUV Conversion Efficiency and Target Structure -

Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology　2006

Rotational and vibrational temperature of Fulcher-alpha band emitted by hydrogen molecules in capacitive VHF CVD plasma process at atmosphere

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.269　2006

Observation of Oxide-film Step with Very Small Height on Si Wafer Surface Using a Laser Scattering Method

INOUE Haruyuki, KATAOKA Toshihiko, NAGAO Yoshihiro, OSHIKANE Yasushi, NAKANO Motohiro, OCHI Yasuhumi, ARIMA Kenta, MORITA Mizuho

Journal of the Japan Society for Precision Engineering. Supplement. Contributed papers　Vol. vol.72, No.11, pp.1363-1367.　No. 11　p. 1363-1367　2006

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecule in the open-air type PCVM plasma by using spatial resolved emission spectra

Proceedings of 28th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 49-50　2006

Machining characteristics of ultraprecision atmospheric pressure plasma process

Kazuya Yamamura, Koji Ueno, Akihiro Fujiwara, Yasuhisa Sano, Yasusi Osikane, Masafumi Shibahara, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori

Progress of Machining Technology, Proceedings　Vol. pp. 265-268　p. 265-268　2006

Observation of Nano-structure by SNOM with Small Sphere Probe

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006

Ro-vibronic Structure in the Q-branch in the Spectra of Hydrogen Fulcher-a Band Emission in the Atmospheric Pressure Plasma CVD Process Driven at 150 MHz

Extended Abstratcs of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 49-50　2006

Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　2006

Machining characteristics of AT cut quartz crystal wafer by open-air type atmospheric pressure plasma machining system, Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.133　2006

N2 C3Pu-B3Pg band spectroscopy in open-air type CVM plasma with He/CF4/O2 and H2 Fulcher-a band spectroscopy in atmospheric He/H2/SiH4 CVD plasma

Europhysics Conference Abstract of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases　2006

Absolute Surface Profiling of Large Diameter Mirror by Point Diffraction Interferometer

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　Vol. pp. 121-122　2006

Detection of Nano-particles and Nano-steps by White Light Scattering

Extended Abstratcs of Int'l 21st Century COE Sym. on Atomistic Fabrication Technology　2006

Rotational and vibrational temperature of Fulcher-alpha band emitted by hydrogen molecules in capacitive VHF CVD plasma process at atmosphere

Abstractbook of the 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology　Vol. p.269　2006

Observation of oxide-film step with very small height on Si wafer surface using a laser scattering method

INOUE Haruyuki, KATAOKA Toshihiko, NAGAO Yoshihiro, OSHIKANE Yasushi, NAKANO Motohiro, OCHI Yasuhumi, ARIMA Kenta, MORITA Mizuho

Journal of Japan Society for Precision Engineering　Vol. vol.72, No.11, pp.1363-1367.　No. 11　p. 1363-1367　2006

Measurement of rotational and vibrational temperature of gas molecule in the open-air type PCVM plasma by using spatial resolved emission spectra

Proceedings of 28th International Symposium on Dry Process　Vol. pp. 49-50　2006

Machining characteristics of ultraprecision atmospheric pressure plasma process

Proceedings of 8th International Conference on Progress of Machining Technology　Vol. pp. 265-268　2006

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245　2005

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245/,　2005

狭帯域バンドパスフィルタを用いてのアルゴンアクチノメトリー画像計測による酸素原子，フッ素原子の密度分布診断

プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス　2005

光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測

光アライアンス　2005

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245　2005

Two-dimensional Actinometric Study of Fluorine and Oxygen Atom Densities in the CVM Plasma Gap and the Temperature Estimation with Electronic Spectra of Diatomic Molecules

17th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-papers CD　Vol. pp. 148-149, ISPC-245/,　2005

Two-Dimensional Density Mapping of Oxygen and Fluorine atoms by Argon Actinometry with Narrow Bandpass Filters

Proceedings of plasma science symposium 2005 and the 22nd symposium on plasma processing　2005

Phase-shift interferometry with diffracted spherical wavefronts from optical fibers

Optical Alliance　2005

FLUORINE AND OXYGEN DENSITY MONITORING IN PLASMA CVM PROCESS BY ARGON ACTINOMETRY TECHNIQUE

2004

Fluorine and Oxygen Monitoring in Plasma CVM Etching Process for Silicon Wafer by Argon Actinometry Technique

2004

FLUORINE AND OXYGEN DENSITY MONITORING IN PLASMA CVM PROCESS BY ARGON ACTINOMETRY TECHNIQUE

Abstracts of 7th APCPST & 17th SPSM　2004

Fluorine and Oxygen Monitoring in Plasma CVM Etching Process for Silicon Wafer by Argon Actinometry Technique

Program of the 57th annual gaseous electronics conference　2004

大気圧プラズマによる超精密加工プロセスと その分光計測

日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会 第62回研究会資料　Vol. 5-12ページ　2003

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometry with Fiber Point Sources

OSHIKANE Yasushi, KATAOKA Toshihiko, ENDO Katsuyoshi, NOGUCHI Akihiro, INOUE Haruyuki, NAKANO Motohiro

Journal of the Japan Society of Precision Engineering　Vol. 69巻5号678-682ページ　No. 5　p. 678-682　2003

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometry with Fiber Point Sources

OSHIKANE Yasushi, KATAOKA Toshihiko, ENDO Katsuyoshi, NOGUCHI Akihiro, INOUE Haruyuki, NAKANO Motohiro

Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. vol.69, no.5, pp.678-682/,　No. 5　p. 678-682　2003

Ultraviolet Emission Spectroscopy and Absorption Spectroscopy of CF2 Radical in Chemical Vaporization Machining (CVM) Plasma Generated with High Speed Rotating Cylindrical Electrode

Technical Program of AVS 50th　Vol. PS2-WeA4　2003

The Dependence of CF, CF2 density on VHF Power and Gas Concentration in CVM Plasma Studied by Ultraviolet Absorption Spectroscopy

Proceedings of the 20th Symposium on Plasma Processing (SPP-20)　Vol. pp. 65-66　2003

光ファイバ先端を点光源とした位相シフト型Point Diffraction Interferometer (PS-PD1)の開発 : 光源の位相シフトを利用した凹面鏡の形状計測

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 中野 元博, 井上 晴行, 池野田 和行, 南 和男

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 145-145　2002/10/01

走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 走査システムの改良と光硬化性樹脂によるプローブ製作

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 中野 元博, 井上 晴行, 宮本 陽介, 玄羽 哲也

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 306-306　2002/10/01

プラズマCVMプロセス中のCF, CF_2ラジカルの分光計測 : レーザー誘起蛍光分光と紫外線吸収分光とによるラジカル密度分布診断

押鐘 寧, 佐藤 慎也, 山村 和也, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2002　No. 2　p. 461-461　2002/10/01

Measurement of Ultra Fine Defects on the Si Wafer Surface Using a Laser Light Scattering Method

INOUE Haruyuki, KATAOKA Toshihiko, OSHIKANE Yasushi, ENDO Katsuyoshi, MORI Yuzo, NAKANO Motohiro, AN Hiroshi, SATOMI Shinya, WADA Katuo

Journal of the Japan Society of Precision Engineering　Vol. 68　No. 10　p. 1337-1341　2002

Inspection of Ultra Fine Particles on the Si Wafer Surface Using a Laser Light Scattering Method

INOUE Haruyuki, KATAOKA Toshihiko, ENDO Katsuyoshi, OSHIKANE Yasushi, MORI Yuzo, NAKANO Motohiro, AN Hiroshi, TAKEMURA Taichi, WADA Katuo

Journal of the Japan Society of Precision Engineering　Vol. 68　No. 2　p. 264-268　2002

O2 concentration- and VHF electric power-dependent changes in 2D distribution of CF and CF2 radicals in atmospheric capacitve plasma for chemical vaporization machining (CVM) process studied by laser-induced fluorescence (LIF) spectroscopy

Proceedings of the Joint 16th European Conference on Atomic and Molecular Physics on Ionized Gases - 5th International Conference on Reactive Plasmas (ESCAMPIG-16/ICRP-5)　Vol. vol .1, pp. 329-330/,　2002

走査型近接場光学顕微鏡の高感度・高分解能プローブ開発 : 集光レーザ-スポット照射による微粒子プローブの創製

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 宮本 陽介, 玄羽 哲也

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 207-207　2001/09/01

三次元境界要素法を用いたシリコンウエハ上の微粒子からの光散乱特性の解析

押 鐘寧, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 中野 元博

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 217-217　2001/09/01

3次元境界要素法を用いた走査型近接場光学顕微鏡用の微粒子プローブ周りの電磁場伝搬解析

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 玄羽 哲也, 宮本 陽介

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 208-208　2001/09/01

光散乱法による研磨・洗浄後のSiウエハ表面の評価

和田 勝男, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 中野 元博, 押鐘 寧, 森 勇蔵, 里見 慎哉, 安 弘

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 420-420　2001/09/01

光散乱法によるSiウエハ表面欠陥の大面積計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 和田 勝男, 中野 元博, 押鐘 寧, 里見 慎哉, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 421-421　2001/09/01

レーザ誘起蛍光分光法による大気圧・高周波CF_4プラズマ中のラジカル密度の空間分布計測

押鐘 寧, 川島 祥一, 竹本 健一, 山村 和也, 遠藤 勝義, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 234-234　2001/09/01

大気圧プラズマCVDによる高速形成したa-SiC薄膜の光学的特性

森 勇蔵, 芳井 熊安, 森田 瑞穂, 安武 潔, 垣内 弘章, 押鐘 寧, 青木 稔

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2001　No. 2　p. 248-248　2001/09/01

容量結合型・大気圧・高周波プラズマ中のCF, CF₂ラジカル密度のOESおよびLIF計測

COEシンポジウム原子論的生産技術のための超精密科学-完全表面の創成-参考資料集　p. 233-238　2001

大気圧・高周波CF₄プラズマにおけるレーザー誘起蛍光分光法を用いたCFおよびCF₂ラジカルの計測

第48回応用物理学関係連合講演会講演予稿集　No. 1　2001

CFX Radicals and Electric Field Measurement in Capacitive VHF Plasma at Atmosphere by Laser Induced Fluorescence and Optical Emission Spectroscopy

Proceedings of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG-25)　Vol. vol. 1, pp. 181-182/,　2001

Electric Impedance Measurement and Pulsed OPO Laser Induced Fluorescence Study of Capacitively Coupled VHF Plasma (He/CF4/O2) at Atmospheric Pressure for Chemical Vaporization Machining (CVM) Process

Program of the 54th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC01)　Vol. NR2-8　2001

Spectroscopic and Electrical Analysis of Capacitively Coupled VHF plasma at Atmospheric Pressure for Plasma CVM process

Program of the 54th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC01)　Vol. DTP-4　2001

Optical Emission Spectroscopy and Laser Induced Fluorescence Spectroscopy of CF and CF₂ Radicals in Capacitive VHF Plasma at Atmospheric' Pressure

Technical Digest of ┣DBCOE Symposium on Ultraprecision Science and Technology for Atmistic Production Engineering-Creation of Perfect Surface-(/)-┫DB(Osaka University, Osaka)　p. 233-238　2001

Laser-induced Fluorescence Studies of CF and CF₂ Radicls in Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF₄ Plasma

Extended Abstracts(The 48th Spring Meeting, 2001); The Japan Society of Applied Physics and Related Societies(Meiji University, Tokyo)　No. 1　2001

Laser-induced Fluorescence studies of CF and CF₂ Radical in Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF₄ Plasma

Proceedings of Plasma Science Symposium 2001/The 18th Symposium on Plasma Processing(Kyoto)　p. 343-344　2001

Scanning near-field optical microscope with a small spherical protrusion probe excited with WGM resonances

Optical Memory and Neural Networks　Vol. 9　No. 3　2001

光散乱法によるSiウエハ表面上のナノ形状欠陥の計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 竹村 太一, 里見 慎哉, 森 勇蔵, 和田 勝男, 安 弘, 佐々木 都至

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 60-60　2000/09/01

高分解能レーザー光法を用いた大気圧・高周波CVMプラズマ中のCF_xラジカル粒子の時空間分解密度計測

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 横山 能幸, 川島 祥一

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 479-479　2000/09/01

微小球内のWGM共振を利用した走査型近接場光学顕微鏡の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 2　p. 293-293　2000/09/01

STM/STS observations and first-principles simulations of metal adsorbed Si(001) surfaces

Katsuyoshi Endo, Kenta Arima, Toshihiko Kataoka, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Kenji Koba, Kikuji Hirose, Yuzo Mori

Technology Reports of the Osaka University　Vol. 50　p. 41-47　2000/04

共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 標準試料の走査結果とプローブの性能評価

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 中川 寛文, 平井 隆之, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 568-568　2000/03/01

大気圧プラズマインピーダンス測定(第2報) : 測定装置内電磁界解析による測定原理の検証

森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山村 和也, 佐野 泰久, 押鐘 寧, 片山 晋二, 江畑 裕介

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 194-194　2000/03/01

PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)による高精度形状計測法の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 池田 和浩, 野口 彰宏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 546-546　2000/03/01

大気圧・高周波プラズマの計測と制御 : 発光分光を中心としたCVM用プラズマ中のフリーラジカル密度の分光計測

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 相本 秀一, 横山 能幸, 川島 祥一, 佐野 泰久

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 265-265　2000/03/01

微粒子定機によるナノメータオーダのSiウエハ表面形状の測定

佐々木 都至, 安 弘, 瑞原 重勲, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 竹村 太一

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 2000　No. 1　p. 604-604　2000/03/01

Scanning tunneling microscopy study of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after wet cleaning

K Arima, K Endo, T Kataoka, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

SURFACE SCIENCE　Vol. 446　No. 1-2　p. 128-136　2000/02

Atomically resolved scanning tunneling microscopy of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after HF cleaning

K Arima, K Endo, T Kataoka, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

APPLIED PHYSICS LETTERS　Vol. 76　No. 4　p. 463-465　2000/01

Light Scattering by Small Particles and Small Defects on the Silicon Wafer Surface-Calculations of Scattering Light Intensity and Optical Image through a Lens-

Toshihiko KATAOKA, Haruyuki INOUE, Katsuyoshi ENDO, Yasushi OSHIKANE, Yuzo MORI, Motohiro NAKANO, Katsuo WADA, Hiroshi AN

Journal of the Japan Society for Precision Engineering　Vol. 66　No. 11　p. 1716-1722　2000

Capacitively Coupled Atmospheric VHF CF₄ Plasma Studied by Laser Induced Fluorescence Spectroscopy with Pulsed OPO Laser

Proceedings of Symposium on Dry Process(Waseda University, Tokyo)　p. 19-23　2000

Scanning Near-field Optical Microscope with a Small Spherical Protrusion Probe Excited with WGM resonances(invited)

"Special issue of Near Field Optics"in Optical Memories and Neural Networks　Vol. 9　No. 3　p. 147-168　2000

A prototypical resonant microcavity probe for scanning near-field optical microscope

Proceedings of 6th International Conference on Near Field Optics and Related Techniques(University of Twente, The Netherlands)　2000

Capacitively coupled atmospheric VHF CF₄plasma studied by laser induced fluorescence spectroscopy with pulsed OPO laser

Proceedings of Dry Process Symposium 2000(Tokyo)　p. 19-23　2000

A prototypical resonant microcavity probe for scanning near-field optical microscope

Proceedings of 6th international conference on near field optics and related techniques(The Netherlands)　2000

高圧力・高周波プラズマの計測と制御-赤外半導体レーザー吸収分光法によるプラズマ中のラジカル計測-

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 相本 秀一, 横山 能幸, 佐野 泰久

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 574-574　1999/09/01

STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の原子構造観察

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 木庭 謙二, 中原 裕喜, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 659-659　1999/09/01

微小共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の特性

中川 寛文, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 平井 隆之, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 658-658　1999/09/01

sNOM用微小共振球プローブの電磁場解析による特性診断

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 靖行, 中川 寛文, 平井 隆之, 松田 栄輝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 657-657　1999/09/01

微粒子測定機を用いたSiウェハ表面におけるナノメータオーダのスクラッチ形状の測定

佐々木 都至, 安 弘, 瑞原 重勲, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 竹村 太一

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 2　p. 389-389　1999/09/01

Application of micro-cavity to SNOM

NAKAGAWA Hirofumi, KATAOKA Toshihiko, ENDO Katsuyoshi, OSHIKANE Y., INOUE Haruyuki, HIRAI Takayuki, MATSUDA Eiki

Vol. 1999　No. 1　p. 505-505　1999/03/05

STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の観察

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 木庭 謙二, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 503-503　1999/03/05

Design of Ultra High Sensitivity Probe for SNOM -3D Electromagnetic Analysis of Wave Propagation around Micro-cavity-

OSHIKANE Y., KATAOKA Toshihiko, ENDO Katsuyoshi, NAKAGAWA Hirofumi

Vol. 1999　No. 1　p. 506-506　1999/03/05

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -Siウェーハ表面の観察-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 竹村 太一, 森 勇蔵, 安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 465-465　1999/03/05

Measurement of free radicals in atmospheric VHF plasma by IR laser diode absorption spectroscopy

ENDO Katsuyoshi, KATAOKA Toshihiko, OSHIKANE Y., SANO Yasuhisa, TAMADA Kohei, AIMOTO Syuichi, YOKOYAMA Y., MORI Yuzo

Vol. 1999　No. 1　p. 429-429　1999/03/05

大気圧プラズマインピーダンス測定(第1報) -測定原理, 測定結果, およびその測定精度について-

森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山村 和也, 佐野 泰久, 押鐘 寧, 江畑 裕介, 片山 晋二, 岡本 利樹, 足立 真士

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 428-428　1999/03/05

ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウエハ表面の微粒子および欠陥計測による表面評価

安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 瑞原 重勲, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1999　No. 1　p. 464-464　1999/03/05

3D-FDTD and experimental analysis of a resonant microcravity probe for high-resolution SNOM

Y Oshikane, H Nakagawa, T Kataoka, K Endo, H Inoue, T Hirai

NEAR-FIELD OPTICS: PHYSICS, DEVICES, AND INFORMATION PROCESSING　Vol. 3791　p. 57-66　1999

STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 木庭 謙二, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 420-420　1998/09/01

微小共振球プローブを用いた走査型近接場光学顕微鏡の開発

中川 寛文, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 平井 隆之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 419-419　1998/09/01

大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測 -ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-

押鐘 寧, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 井上 晴行, 玉田 浩平, 相本 秀一, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 440-440　1998/09/01

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -微小粒子の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 竹村 太一, 安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 513-513　1998/09/01

ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウェーハの洗浄による表面評価

安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 2　p. 512-512　1998/09/01

Atomic structures of hydrogen-terminated Si(001) surfaces after wet cleaning by scanning tunneling microscopy

K Endo, K Arima, T Kataoka, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

APPLIED PHYSICS LETTERS　Vol. 73　No. 13　p. 1853-1855　1998/09

STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

有馬 健太, 遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 稲垣 耕司, 押鐘 寧, 井上 晴行, 森 勇蔵, 後藤 英和

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 672-672　1998/03/05

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -冷却CCDカメラによる標準試料の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇蔵, 井山 章吾, 竹村 太一, 安 弘

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 675-675　1998/03/05

微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発

押鐘 寧, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 重信 安志, 平井 隆之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 629-629　1998/03/05

エキシマレーザによる基板表面凝集相の光化学反応

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 織田 容征, 平木 予司由, 森 勇蔵

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 431-431　1998/03/05

高圧力・高周波プラズマの計測と制御 -吸収分光法による準安定粒子の診断-

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 川島 雅人, 玉田 浩平, 相本 秀一, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 516-516　1998/03/05

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第7報) -ウルトラクリーンルームでのSiウェーハ面の測定と微粒子測定表面評価-

安 弘, 佐々木 都至, 谷口 浩之, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 井山 章吾

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1998　No. 1　p. 674-674　1998/03/05

Capacitive VHF Plasma Simulation at Atmospheric Pressure by Local Field Approximation Method

Oshikane Yasushi, Endo Katsuyoshi, Kataoka Toshihiko, Kawashima Masato*, Tamada Kohei*, Aimoto Syuichi

Reports of the Institute of Fluid Science, Tohoku University　Vol. 10　p. 147-155　1998/03

3D-Electromagnetic Fields Analysis of a Micro-Cavity Probe for High Resolution SNOM

Technical Digest of the 5th International Conference on Near Field Optics(Shirahama, 1998)　p. 12-13　1998

Scanning Near-Field Optical Microscope with a Micro-Cavity Probe

Technical Digest of the 5th International Conference on Near Field Optics(Shirahama, 1998)　p. 179-180　1998

Growth of crystalline silicon on a cryogenic substrate by photochemical reaction in a condensed phase

T Kataoka, K Endo, M Ashida, H Orita, Y Oshikane, H Inoue, Y Mori

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　Vol. 36　No. 12A　p. 7395-7398　1997/12

高圧力・高周波プラズマの計測と制御 -プラズマの時空間分解発光分光測定-

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 森 勇藏, 川島 雅人, 玉田 浩平

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 110-110　1997/10/01

レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -冷却CCDカメラによる測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 井山 章吾, 安 弘

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 244-244　1997/10/01

光ファイバリング共振器を用いた近接場の発生・検知システムの開発

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 井上 晴行, 則信 教英, 池田 和浩

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 246-246　1997/10/01

STM/STSによる金属吸着Si(001)表面の観察

遠藤 勝彦, 片岡 俊彦, 広瀬 喜久治, 森 勇藏, 押鐘 寧, 井上 晴行, 有馬 健太, 多田羅 佳孝, 大和 大周

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 271-271　1997/10/01

微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発 -微小共振球プローブの開発-

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴行, 重信 安志, 平井 隆之

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 269-269　1997/10/01

エキシマレーザによる基板表面凝集相の光化学反応

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 井上 晴彦, 織田 容征, 平木 予司由, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 2　p. 109-109　1997/10/01

29a-YF-1 Electrode material effects on capacitively coupled VHF plasma generation at atmospheric pressure

Endo K, Kataoka T, Oshikane Y, Ooyama T, Kawashima M, Tamada K

Meeting abstracts of the Physical Society of Japan　Vol. 52　No. 1　p. 822-822　1997/03/17

He高圧力・高周波プラズマの特性 -電極材質による相違-

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 大山 貴裕, 川島 雅人, 玉田 浩平

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 703-704　1997/03/01

STM/STSによるSiウェーハ表面の金属原子の観察

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 森 勇蔵, 稲垣 耕司, 押鐘 寧, 井上 晴行, 有馬 健太, 多田羅 佳孝, 大和 正和

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 377-378　1997/03/01

レーザ光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -P, S偏光による標準試料の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 安 弘, 井山 章吾, 南川 文孝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 389-390　1997/03/01

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第6報) -Siウェーハ面の測定と微粒子付着分布による表面評価-

安 弘, 南川 文孝, 佐々木 都至, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行, 押鐘 寧, 井山 章吾

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1997　No. 1　p. 391-392　1997/03/01

Measurement of Ultra Fine Particles on the Si Wafer Surface Using a Laser Light Scattering Method

INOUE Haruyuki, KATAOKA Toshihiko, ENDO Katsuyoshi, OSHIKANE Yasushi, MORI Yuzo, SUGIYAMA Kazuhisa, AN Hiroshi, IYAMA Shogo

Journal of the Japan Society of Precision Engineering　Vol. 63　No. 8　p. 1117-1121　1997

Characteristics of VHF Helium Plasma at Atmospheric Pressure

Proceedings of the 3rd International Conference on Reactive Plasmas and 14th Symposium on Plasma Processing　1997

Experimental and Theoretical Studies of Capacitive High Frequency Plasma at High Pressure up to 1 atm

Oshikane Y., Ooyama T., Kawashima M., Endo K., Kataoka T.

Abstracts of the meeting of the Physical Society of Japan. Sectional meeting　Vol. 1996　No. 4　p. 131-131　1996/09/13

大気圧・高周波プラズマの特性

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 押鐘 寧, 大山 貴裕, 川島 雅人

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 195-196　1996/09/01

金属微小球をプローブとした近接場光学顕微鏡

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 押鐘 寧, 稲垣 耕司, 井上 晴行, 和泉 紋弘, 重信 安志

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 689-690　1996/09/01

レーザ光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -レーザビーム走査型による標準試料の測定-

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 安 弘, 井山 章吾, 南川 文孝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 2　p. 431-432　1996/09/01

Development of a scanning near-field optical microscope with a probe consisting of a small spherical protrusion

T Kataoka, K Endo, Y Oshikane, H Inoue, K Inagaki, Y Mori, H An, O Kobayakawa, A Izumi

ULTRAMICROSCOPY　Vol. 63　No. 3-4　p. 219-225　1996/07

3a-YL-12 Three-Dimensional Electron Density Profile of Coronal Gold Plasma in Cylindrical Targets

Oshikane Y., Tanaka K. A., Tsukamoto M., Ohnishi T., Hashimoto H., Nishiguchi A, Nakai S., Mima K.

Abstracts of the meeting of the Physical Society of Japan. Annual meeting　Vol. 51　No. 4　p. 218-218　1996/03/15

大気圧・高周波プラズマの特性-励起周波数, 圧力の違い-

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇蔵, 芳井 熊安, 垣内 弘章, 根岸 伸幸, 大山 貴裕, 川島 雅人

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 635-636　1996/03/01

STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

遠藤 勝義, 片岡 俊彦, 森 勇蔵, 稲垣 耕司, 押 鐘寧, 井上 晴行, 有馬 健太, 増田 裕一, 多田羅 佳孝

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1996　No. 1　p. 967-968　1996/03/01

Characteristics of RF, VHF Helium Plasma at Atmospheric Pressure

Proceedings of 1996 The Japan-China Bilateral Symposium on advanced Manufacturing Engineering　1996

30a-R-7 Observation of plasma density profile in cylinder-type x-ray-driven fusion target by GIR method

Oshikane Y., Nakaji S., Tanaka K.A., Tsukamoto M., Ohnishi T., Hashimoto H., Ozaki A., Nakai M., Kodama R., Nishiguchi A., Takabe H., Mima K., Nakai S., GOD M T Mtグル-プ

Abstracts of the meeting of the Physical Society of Japan. Sectional meeting　Vol. 1995　No. 4　p. 216-216　1995/09/12

30a-R-6 Filamentations in underdense plasmas observed by Grid Image Refractometry (GIR)

Tanaka K.A., Nakaji S., Ohnishi T., Oshikane Y., Ozaki A., Hasimoto H., Nakai M., Kodama R., Nishiguchi A., Takabe H., Mima K., Nakai S.

Abstracts of the meeting of the Physical Society of Japan. Sectional meeting　Vol. 1995　No. 4　p. 216-216　1995/09/12

レーザ光散乱によるSiウェーハ表面の微粒子計測

井上 晴行, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 稲垣 耕司, 森 勇藏

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1995　No. 2　p. 541-542　1995/09/01

大気圧RFプラズマの特性

片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 押鐘 寧, 森 勇藏, 芳井 熊安, 垣内 弘章, 根岸 伸幸, 大山 貴裕

精密工学会大会学術講演会講演論文集　Vol. 1995　No. 2　p. 623-624　1995/09/01

EFFICIENT SOFT-X-RAY LASING AT 6 TO 8 NM WITH NICKEL-LIKE LANTHANIDE IONS

H DAIDO, Y KATO, K MURAI, S NINOMIYA, R KODAMA, G YUAN, Y OSHIKANE, M TAKAGI, H TAKABE, F KOIKE

PHYSICAL REVIEW LETTERS　Vol. 75　No. 6　p. 1074-1077　1995/08

COLLISIONAL-EXCITATION X-RAY LASERS BY MULTIPLE-PULSE PUMPING

Y KATO, H DAIDO, R KODAMA, K MURAI, G YUAN, S NINOMIYA, Y OSHIKANE, M TAKAGI, T KANABE, CH NAM, IW CHOI, T KAWACHI

LASER INTERACTION WITH MATTER　Vol. pp121-124　No. 140　p. 121-124　1995

GIR法によるX線爆縮核融合用シリンダターゲット内のプラズマ密度分布の観察

Vol. 40　No. 11　1995

ニッケル様ランタノイドイオンを用いた6〜8nm領域の軟X線レーザー発振

Vol. 75　No. 6　p. 1074-77　1995

Observation of Plasma Density Profile in Cylinder-type X-ray-driven Fusion Target by GIR Method

Bulletin of The American Physical Society, Plasma Physics　Vol. 40　No. 11　1995

Short-pulse Nickel-like soft x-ray lasers ranging from 6nm to 8nm wave length pumped by multiple infrared laser pulse using a curved slab target

Physical Review Letters　1995

28p-YC-9 Measurement of stimulated Raman scattering from coronal plasmas producde in cylinder

Oshikane Y, Tanaka A K, Tsukamoto M, Nishiguchi A, Shiraga H, Nishimura H, Sunahara A, Takabe H, Kato Y, Nakai S, GOD M.T.MT group

Abstracts of the meeting of the Physical Society of Japan. Annual meeting　Vol. 49　No. 4　p. 173-173　1994/03/16

Light scattering measurement in a Ge X-ray laser plasma

CH NAM, IW CHOI, Y OSHIKANE, K MURAI, G YUAN, R KODAMA, H DAIDO, Y KATO, S NAKAI

X-RAY LASERS 1994 - FOURTH INTERNATIONAL COLLOQUIUM　Vol. pp205-209　No. 332　p. 205-209　1994

2a-W-12 Observation of TPD instability in line-focused laser plasmas of x-ray laser experiments

押鐘 寧, 高部 英明, 三間 圀興, 加藤 義章, 中井 貞雄, 田中 和夫, 西口 彰夫, Choi I.W, Nam C.H, 児玉 了祐, 村井 健介, 二宮 士郎, 大道 博行

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　Vol. 1994　No. 0　p. 135-135　1994

Stimulated Raman Scattering in Cylinder-type X-ray Driven Fusion Target

36th Annual Meeting of the Division of Plasma Physics　1994

RADIATION-DRIVEN CANNONBALL TARGETS FOR HIGH-CONVERGENCE IMPLOSIONS

H NISHIMURA, H SHIRAGA, T ENDO, H TAKABE, M KATAYAMA, Y OSHIKANE, M NAKAMURA, Y KATO, S NAKAI

LASER AND PARTICLE BEAMS　Vol. 11　No. 1　p. 89-96　1993