研究者総覧 - 大阪大学

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岡本　一将

Okamoto Kazumasa

岡本　一将

Okamoto Kazumasa

産業科学研究所，助教

委員歴 10

日本原子力学会　部会等運営委員　学協会

2025年7月～継続中
日本原子力学会加速器・ビーム科学部会　部会賞選考小委員会委員　学協会

2021年4月～継続中
日本原子力学会加速器・ビーム科学部会　常任委員　学協会

2019年～継続中
日本原子力学会　加速器・ビーム科学部会運営委員

2019年～継続中
International Microprocesses and Nanotechnology Conference　論文委員　その他

2010年4月～継続中
日本原子力学会　プログラム編成ワーキンググループ

2019年～ 2025年6月
日本原子力学会　枠組み編成ワーキンググループ　学協会

2023年6月～ 2024年5月
日本放射線化学会　編集委員　学協会

2016年～ 2020年
日本原子力学会　オープンスクール小委員会委員　学協会

2015年4月～ 2016年3月
日本原子力学会北海道支部　庶務幹事　学協会

2011年～ 2012年

所属学会 5

SPIE(The International Society for Optical Engineering)
日本原子力学会
応用物理学会
日本化学会
日本放射線化学会

研究内容・専門分野 4

エネルギー / 量子ビーム科学 /
ナノテク・材料 / 基礎物理化学 /
ナノテク・材料 / ナノ材料科学 /
エネルギー / 原子力工学 /

論文 103

In situ synthesis of CdSe quantum dots in polymer gels and their optical properties

Ryota Atarashi, Seiya Otsuka, Kazumasa Okamoto, Satoshi Tsukuda

Japanese Journal of Applied Physics　2025年4月1日　研究論文（学術雑誌）
Effect of organic ligand and metal nanocluster core structure on resist performance of inorganic-organic hybrid resist materials for EUV and EB lithography

Hiroki Yamamoto, Takashi Hamada, Yusa Muroya, Kazumasa Okamoto, Shuhei Shimoda, Takahiro KOZAWA

Japanese Journal of Applied Physics　2025年2月26日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：IOP Publishing
Dynamics of ionized poly(4-hydroxystyrene)-type resist polymers with tert-butoxycarbonyl-protecting group.

Kazumasa Okamoto, Yusa Muroya, Takahiro Kozawa

Scientific reports　Vol. 14　No. 1　p. 16729-16729　2024年7月20日　研究論文（学術雑誌）
Synthesis of Resist Materials Containing Hemiacetal Groups and Their Resist Sensitivity

Kouta Iwane, Hiroto Kudo, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa

Journal of Photopolymer Science and Technology　Vol. 37　No. 3　p. 287-292　2024年6月25日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：Technical Association of Photopolymers, Japan
Synthesis of Botryosin-type Resist Material Containing Acetal Groups in the Main Chain and Its Sensitivity

Riku Akabane, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Hiroto Kudo

Journal of Photopolymer Science and Technology　Vol. 37　No. 3　p. 293-298　2024年6月25日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：Technical Association of Photopolymers, Japan
Effects of substituents in triphenylsulfonium cation on its radiation-induced decomposition and dissolution kinetics of chemically amplified resists

Yoshika Tsuda, Yusa Muroya, Kazumasa Okamoto, Takahiro KOZAWA, Takuya Ikeda, Yoshitaka Komuro

Japanese Journal of Applied Physics　2024年6月11日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：IOP Publishing
Study on resist performance of inorganic-organic resist materials for EUV and EB lithography

Hiroki Yamamoto, Yuko Tsutsui Ito, Kazumasa Okamoto, Shuhei Shimoda, Takahiro KOZAWA

Japanese Journal of Applied Physics　2024年3月28日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：IOP Publishing
Sensitization of polymethacrylate resist with adding acid-generating promoters upon exposure to EUV light

Kazumasa Okamoto, Akihiro Konda, Yuki Ishimaru, Takahiro Kozawa, Yasunobu Nakagawa, Masamichi Nishimura

Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 62　No. 11　p. 116503-116503　2023年11月1日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：IOP Publishing
Design of High-sensitive Resist Materials Based on Polyacetals

Hiroyuki Maekawa, Yutaro Iwashige, Hiroki Yamamoto, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Hiroto Kudo

Journal of Photopolymer Science and Technology　Vol. 36　No. 1　p. 31-39　2023年6月15日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：Technical Association of Photopolymers, Japan
Study on deprotonation from radiation-induced ionized acrylate polymers including acid-generation promoters for improving chemically amplified resists

Kazumasa Okamoto, Akihiro Konda, Yuki Ishimaru, Takahiro Kozawa, Yasunobu Nakagawa, Masamichi Nishimura

Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 61　No. 6　p. 066505-066505　2022年6月1日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：IOP Publishing
Photo- & radio-chromic iron-doped tungstic acids fabricated via submerged photosynthesis

Murakami, S., Zhang, L., Jeem, M., Okamoto, K., Nakagawa, Y., Shibayama, T., Ohnuma, M., Watanabe, S.

Optical Materials　Vol. 124　p. 111966-111966　2022年2月　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：Elsevier BV
Fabrication of color-toned micro/nanopattern surface by submerged photosynthesis method

Jumpei Tsukamura, Yuki Takahashi, Lihua Zhang, Melbert Jeem, Kazumasa Okamoto, Seiichi Watanabe

Microelectronic Engineering　Vol. 256　p. 111727-111727　2022年2月　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：Elsevier BV
Synthesis and Resist Sensitive Property of Iodine-Containing Materials using Extreme Ultraviolet (EUV) Exposure Tool

Yutaro Iwashige, Hiroto Kudo, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa

Journal of Photopolymer Science and Technology　Vol. 35　No. 1　p. 41-47　2022年　研究論文（学術雑誌）
Exploration of charge transport materials to improve the radiation tolerance of lead halide perovskite solar cells

Yoshiyuki Murakami, Ryosuke Nishikubo, Fumitaka Ishiwari, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Akinori Saeki

Materials Advances　Vol. 3　No. 12　p. 4861-4869　2022年　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：Royal Society of Chemistry (RSC)
Electron Beam Irradiation of Lead Halide Perovskite Solar Cells: Dedoping of Organic Hole Transport Materials despite Hardness of the Perovskite Layer

Yoshiyuki Murakami, Fumitaka Ishiwari, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Akinori Saeki

ACS Applied Materials & Interfaces　Vol. 13　No. 21　p. 24824-24832　2021年6月2日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：American Chemical Society ({ACS})
Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation

Kazumasa Okamoto, Shunpei Kawai, Yuta Ikari, Shigeo Hori, Akihiro Konda, Koki Ueno, Yohei Arai, Masahiko Ishino, Thanh-Hung Dinh, Masaharu Nishikino, Akira Kon, Shigeki Owada, Yuichi Inubushi, Hiroo Kinoshita, Takahiro Kozawa

Applied Physics Express　Vol. 14　No. 6　2021年6月1日　研究論文（学術雑誌）
Estimation of electron affinity of photoacid generators: density functional theory calculations using static and dynamic models

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa

Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 60　No. {SC}　2021年6月1日　研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元：{IOP} Publishing
Non-chemically Amplified Negative Molecular Resist Materials using Polarity Change by EUV Exposure

Fujisawa, K., Maekawa, H., Kudo, H., Okamoto, K., Kozawa, T.

Journal of Photopolymer Science and Technology　Vol. 34　No. 1　2021年　研究論文（学術雑誌）
Higher sensitive extreme ultraviolet (Euv) resist materials derived from p-t-butylcalix[n]arenes (n = 4 and 8)

Maekawa, H., Kudo, H., Watanabe, T., Yamamoto, H., Okamoto, K., Kozawa, T.

Journal of Photopolymer Science and Technology　Vol. 33　No. 1　p. 45-51　2020年　研究論文（学術雑誌）
Formation of intramolecular dimer radical ions of diphenyl sulfones

Okamoto, K., Kawai, S., Kozawa, T.

Scientific Reports　Vol. 10　No. 1　2020年　研究論文（学術雑誌）
Heating effect of the radiation chemistry of polyhydroxystyrene-type chemically amplified resists

Ikari, Y., Okamoto, K., Konda, A., Kozawa, T., Tamura, T.

Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 59　No. 8　p. 086506-086506　2020年　研究論文（学術雑誌）
Synthesis and property of tellurium-containing molecular resist materials for extreme ultraviolet lithography system

Kudo, H., Fukunaga, M., Yamada, T., Yamakawa, S., Watanabe, T., Yamamoto, H., Okamoto, K., Kozawa, T.

Journal of Photopolymer Science and Technology　Vol. 32　No. 6　p. 805-810　2020年　研究論文（学術雑誌）
Resist thickness dependence of line width roughness of chemically amplified resists used for electron beam lithography

Maeda, N., Konda, A., Okamoto, K., Kozawa, T., Tamura, T.

Japanese Journal of Applied Physics　Vol. 59　No. 8　p. 086501-086501　2020年　研究論文（学術雑誌）
In vitro and in vivo anti-herpes simplex virus activity of monogalactosyl diacylglyceride from Coccomyxa sp. KJ (IPOD FERM BP-22254), a green microalga

Hayashi, K., Lee, J.-B., Atsumi, K., Kanazashi, M., Shibayama, T., Okamoto, K., Kawahara, T., Hayashi, T.

PLoS ONE　Vol. 14　No. 7　2019年　研究論文（学術雑誌）
Fabrication of iron oxide nanoparticles via submerged photosynthesis and the morphologies under different light sources

Zhang, L., Jeem, M., Okamoto, K., Watanabe, S.

ISIJ International　Vol. 59　No. 12　p. 2352-2358　2019年　研究論文（学術雑誌）
Downward migration of ¹³⁷Cs within the humus layer under temperate coniferous stands in the Czech Republic

Takahashi, S., Suchara, I., Sucharová, J., Okamoto, K., Umegaki, K., Fujiyoshi, R.

Journal of Soils and Sediments　Vol. 18　No. 1　p. 276-286　2018年　研究論文（学術雑誌）
Effects of low temperature buffer on carbon nano wall's growth

Singh, R., Kawahara, T., Ohmi, Y., Ohno, Y., Maehashi, K., Matsumoto, K., Okamoto, K., Utsunomiya, R., Yoshimura, M.

Materials Today Communications　Vol. 17　p. 94-99　2018年　研究論文（学術雑誌）
Photochemistry and the role of light during the submerged photosynthesis of zinc oxide nanorods

Zhang, L., Jeem, M., Okamoto, K., Watanabe, S.

Scientific Reports　Vol. 8　No. 1　2018年　研究論文（学術雑誌）
Formation of CuO nano-flowered surfaces via submerged photo-synthesis of crystallites and their antimicrobial activity

Fumika Nishino, Melbert Jeem, Lihua Zhang, Kazumasa Okamoto, Satoshi Okabe, Seiichi Watanabe

Scientific Reports　Vol. 7　No. 1　2017年12月　研究論文（学術雑誌）
Sensitivity enhancement of chemically amplified EUV resists by adding acid-generating promoters

Shinya Fujii, Kazumasa Okamoto, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Toshiro Itani

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 56　No. 6　2017年6月　研究論文（学術雑誌）
Formation of Au nanoparticle arrays on hydrogel two-dimensional patterns based on poly(vinylpyrrolidone)

Satoshi Tsukuda, Kazumasa Okamoto, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Takahisa Omata

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 56　No. 6　2017年6月　研究論文（学術雑誌）
Retention of Cs-137 in forest floor at three temperate coniferous forest stands in the Czech Republic diversely affected by fallout after the Chernobyl disaster in 1986

Shunsuke Takahashi, Ivan Suchara, Kazumasa Okamoto, Julie Sucharova, Kikuo Umegaki, Ryoko Fujiyoshi

JOURNAL OF RADIOANALYTICAL AND NUCLEAR CHEMISTRY　Vol. 311　No. 1　p. 929-935　2017年1月　研究論文（学術雑誌）
Dynamics of Radical Ions of Hydroxyhexafluoroisopropyl-Substituted Benzenes

Okamoto, K., Nomura, N., Fujiyoshi, R., Umegaki, K., Yamamoto, H., Kobayashi, K., Kozawa, T.

Journal of Physical Chemistry A　Vol. 121　No. 49　p. 9458-9465　2017年　研究論文（学術雑誌）
Development of Nano-Carbon Biosensors Using Glycan for Host Range Detection of Influenza Virus

Toshio Kawahara, Hiroaki Hiramatsu, Yasuo Suzuki, Shin-ichi Nakakita, Yasuhide Ohno, Kenzo Maehashi, Kazuhiko Matsumoto, Kazumasa Okamoto, Teruaki Matsuba, Risa Utsunomiya

CONDENSED MATTER　Vol. 1　No. 1　p. 1-9　2016年12月　研究論文（学術雑誌）
Results of simultaneous monitoring of soil Rn-222 and moisture at different depths in a forest site in Fukushima Prefecture, Japan

Misato Ohno, Kazumasa Okamoto, Kikuo Umegaki, Ryoko Fujiyoshi

JOURNAL OF RADIOANALYTICAL AND NUCLEAR CHEMISTRY　Vol. 310　No. 3　p. 1013-1020　2016年12月　研究論文（学術雑誌）
Chemically amplified molecular resists based on noria derivatives containing adamantyl ester groups for electron beam lithography

Hiroki Yamamoto, Seiichi Tagawa, Takahiro Kozawa, Hiroto Kudo, Kazumasa Okamoto

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　Vol. 34　No. 4　2016年7月　研究論文（学術雑誌）
Dynamics of radical cations of poly(4-hydroxystyrene) in the presence and absence of triphenylsulfonium triflate as determined by pulse radiolysis of its highly concentrated solution

Kazumasa Okamoto, Takuya Ishida, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Ryoko Fujiyoshi, Kikuo Umegaki

CHEMICAL PHYSICS LETTERS　Vol. 657　p. 44-48　2016年7月　研究論文（学術雑誌）
Estimating emission source of lead using Pb-210 specific activity (Pb-210/Pb) and zinc as tracers in Slovenian forest soils

Ryoko Fujiyoshi, Takeshi Ichikawa, Kazumasa Okamoto, Takashi Sumiyoshi

JOURNAL OF RADIOANALYTICAL AND NUCLEAR CHEMISTRY　Vol. 307　No. 1　p. 79-87　2016年1月　研究論文（学術雑誌）
Shot noise limit of sensitivity of chemically amplified resists used for extreme ultraviolet lithography

Shinya Fujii, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Julius Joseph Santillan, Toshiro Itani

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 54　No. 11　2015年11月　研究論文（学術雑誌）
Relationship between information and energy carried by photons in extreme ultraviolet lithography: Consideration from the viewpoint of sensitivity enhancement

Shinya Fujii, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Julius Joseph Santillan, Toshiro Itani

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 54　No. 8　2015年8月　研究論文（学術雑誌）
Study on radiation chemistry of fluorinated polymers for EUV resist

Naoya Nomura, Kazumasa Okamoto, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Ryoko Fujiyoshi, Kikuo Umegaki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 54　No. 6　2015年6月　研究論文（学術雑誌）
A pathway of nanocrystallite fabrication by photo-assisted growth in pure water

Melbert Jeem, Muhammad Rafiq Mirza bin Julaihi, Junya Ishioka, Shigeo Yatsu, Kazumasa Okamoto, Tamaki Shibayama, Tomio Iwasaki, Takahiko Kato, Seiichi Watanabe

SCIENTIFIC REPORTS　Vol. 5　2015年6月　研究論文（学術雑誌）
Soil radon (Rn-222) monitoring in a forest site in Fukushima, Japan

Ryoko Fujiyoshi, Misato Ohno, Kazumasa Okamoto, Kikuo Umegaki

ENVIRONMENTAL EARTH SCIENCES　Vol. 73　No. 8　p. 4135-4142　2015年4月　研究論文（学術雑誌）
Pulse radiolysis study of polystyrene-based polymers with added photoacid generators: Reaction mechanism of extreme-ultraviolet and electron-beam chemically amplified resist

Kazunnasa Okamoto, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Ryoko Fujiyoshi, Kikuo Umegaki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 54　No. 2　2015年2月　研究論文（学術雑誌）
Carbon nanowall field effect transistors using a self-aligned growth process

Toshio Kawahara, Satarou Yamaguchi, Yasuhide Ohno, Kenzo Maehashi, Kazuhiko Matsumoto, Kazumasa Okamoto, Risa Utsunomiya, Teruaki Matsuba

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology　Vol. 12　p. 225-229　2014年5月10日　研究論文（国際会議プロシーディングス）
出版者・発行元：Surface Science Society of Japan
Raman spectral mapping of self-aligned carbon nanowalls

Toshio Kawahara, Satarou Yamaguchi, Yasuhide Ohno, Kenzo Maehashi, Kazuhiko Matsumoto, Kazumasa Okamoto, Risa Utsunomiya, Teruaki Matsuba, Yuki Matsuoka, Masamichi Yoshimura

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 53　No. 5　2014年5月　研究論文（学術雑誌）
Variability of K-40 isotopic composition in forest soils under different environmental conditions

Ryoko Fujiyoshi, Naoki Takekoshi, Kazumasa Okamoto

JOURNAL OF RADIOANALYTICAL AND NUCLEAR CHEMISTRY　Vol. 299　No. 3　p. 1365-1371　2014年3月　研究論文（学術雑誌）
Distribution of 137Cs in forest components of selected areas in the Czech Republic

S. Takahashi, I. Suchara, K. Okamoto, K. Umegaki, R. Fujiyoshi

Near Surface Geoscience 2014 - 20th European Meeting of Environmental and Engineering Geophysics　2014年1月1日
Soil radon in winter months under snowpack in Hokkaido, Japan

Ryoko Fujiyoshi, Masanori Okabayashi, Yousuke Sakuta, Kazumasa Okamoto, Takashi Sumiyoshi, Ivan Kobal, Janja Vaupoti

ENVIRONMENTAL EARTH SCIENCES　Vol. 70　No. 3　p. 1159-1167　2013年10月　研究論文（学術雑誌）
Deprotonation of Poly(4-hydroxystyrene) Intermediates: Pulse Radiolysis Study of Extreme Ultraviolet and Electron Beam Resist

Kazumasa Okamoto, Ryo Matsuda, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa, Ryoko Fujiyoshi, Takashi Sumiyoshi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 52　No. 6　2013年6月　研究論文（学術雑誌）
Effect of Ultrahigh-Density Ionization of Resist Films on Sensitivity Using Extreme-Ultraviolet Free-Electron Laser

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Keita Oikawa, Takaki Hatsui, Mitsuru Nagasono, Takashi Kameshima, Tadashi Togashi, Kensuke Tono, Makina Yabashi, Hiroaki Kimura, Yasunori Senba, Haruhiko Ohashi, Ryoko Fujiyoshi, Takashi Sumiyoshi

APPLIED PHYSICS EXPRESS　Vol. 5　No. 9　2012年9月　研究論文（学術雑誌）
Practical evaluation of carbon sources of forest soils in Slovenia from stable and radio-carbon isotope measurements

Ryoko Fujiyoshi, Hikaru Amano, Yousuke Sakuta, Kazumasa Okamoto, Takashi Sumiyoshi, Ivan Kobal, Janja Vaupotic

ENVIRONMENTAL EARTH SCIENCES　Vol. 67　No. 1　p. 133-140　2012年9月　研究論文（学術雑誌）
Tracing depositional consequences of environmental radionuclides (Cs-137 and Pb-210) in Slovenian forest soils

Ryoko Fujiyoshi, Takayuki Yamaguchi, Naoki Takekoshi, Kazumasa Okamoto, Takashi Sumiyoshi, Ivan Kobal, Janja Vaupotic

CENTRAL EUROPEAN JOURNAL OF GEOSCIENCES　Vol. 3　No. 3　p. 291-301　2011年9月　研究論文（学術雑誌）
Dynamics of Radical Cation of Poly(styrene acrylate)-Based Chemically Amplified Resist for Extreme Ultraviolet and Electron Beam Lithography

Yasuharu Tajima, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa, Ryoko Fujiyoshi, Takashi Sumiyoshi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 50　No. 6　2011年6月　研究論文（学術雑誌）
Fundamental Study on Reaction Mechanisms in Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists by Using 61nm Free-Electron Laser

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Takaki Hatsui, Yasuharu Tajima, Keita Oikawa, Mitsuru Nagasono, Takashi Kameshima, Tadashi Togashi, Kensuke Tono, Makina Yabashi, Hiroaki Kimura, Yasunori Senba, Haruhiko Ohashi, Takashi Sumiyoshi

ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVIII　Vol. 7972　p. 797217-1　2011年　研究論文（国際会議プロシーディングス）
Deprotonation mechanism of poly(styrene-acrylate)-based chemically amplified resist

Y. Tajima, K. Okamoto, T. Kozawa, S. Tagawa, R. Fujiyoshi, T. Sumiyoshi

ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVIII　Vol. 7972　2011年　研究論文（国際会議プロシーディングス）
Formation and Decay of Fluorobenzene Radical Anions Affected by Their Isomeric Structures and the Number of Fluorine Atoms

Saki Higashino, Akinori Saeki, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa, Takahiro Kozawa

JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY A　Vol. 114　No. 31　p. 8069-8074　2010年8月　研究論文（学術雑誌）
Micro- and Nano-Scale Fabrication of Fluorinated Polymers by Direct Etching Using Focused Ion Beam

Naoyuki Fukutake, Nozomi Miyoshi, Yuya Takasawa, Tatsuya Urakawa, Tomoko Gowa, Kazumasa Okamoto, Akihiro Oshima, Seiichi Tagawa, Masakazu Washio

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 49　No. 6　p. Part1,065201/1-065201/5-0652015　2010年6月　研究論文（学術雑誌）
Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene)-Based Chemically Amplified Resists for Extreme-Ultraviolet and Electron Beam Lithographies

Kazumasa Okamoto, Masafumi Tanaka, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 49　No. 10　p. 106501-1-106501-6-1065016　2010年　研究論文（学術雑誌）
Radiation Chemistry of Fluoronaphthalene as a Candidate for Absorption Enhancement Component of Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists

Sadatatsu Ikeda, Kazumasa Okamoto, Hiroki Yamamoto, Akinori Saeki, Seiichi Tagawa, Takahiro Kozawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 49　No. 9　2010年　研究論文（学術雑誌）
Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene) Generated in Thin Film upon Exposure to Electron Beam

Kenichiro Natsuda, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Akinori Saeki, Seiichi Tagawa

ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVII, PTS 1 AND 2　Vol. 7639　2010年　研究論文（国際会議プロシーディングス）
Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene) and Its Copolymer for Extreme Ultraviolet and Electron Beam Resists

Kazumasa Okamoto, Masafumi Tanaka, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 48　No. 6　2009年6月　研究論文（学術雑誌）
Effect of Molecular Structure on Depth Profile of Acid Generator Distribution in Chemically Amplified Resist Films

Takehiro Fukuyama, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa, Makiko Irie, Takeyoshi Mimura, Takeshi Iwai, Junichi Onodera, Ichiro Hirosawa, Tomoyuki Koganesawa, Kazuyuki Horie

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 48　No. 6　2009年6月　研究論文（学術雑誌）
Correlation between C-37 Parameters and Acid Yields in Chemically Amplified Resists upon Exposure to 75 keV Electron Beam

Kenichiro Natsuda, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Akinori Saeki, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 48　No. 6　2009年6月　研究論文（学術雑誌）
Difference of Spur Distribution in Chemically Amplified Resists upon Exposure to Electron Beam and Extreme Ultraviolet Radiation

Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Akinori Saeki, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　Vol. 48　No. 5　p. 0565081-0565084　2009年5月　研究論文（学術雑誌）
Gap plasmon waveguide with a stub: structure for a wavelength selective device

Masanobu Haraguchi, Kazunori Iuchi, Hidenori Sokabe, Tatsuya Okuno, Toshihiro Okamoto, Masuo Fukui, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa

PLASMONICS: NANOIMAGING, NANOFABRICATION, AND THEIR APPLICATIONS V　Vol. 7395　2009年　研究論文（国際会議プロシーディングス）
Nano-fabrication and Functionalization of Crosslinked PTFE Using Focused Ion Beam

Yuya Takasawa, Naoyuki Fukutake, Kazumasa Okamoto, Akihiro Oshima, Seiichi Tagawa, Masakazu Washio

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY　Vol. 22　No. 3　p. 341-345　2009年　研究論文（学術雑誌）
Formation of intramolecular poly (4-hydroxystyrene) dimer radical cation

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Kenichiro Natsuda, Shu Seki, Seiichi Tagawa

JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY B　Vol. 112　No. 31　p. 9275-9280　2008年8月　研究論文（学術雑誌）
Feasibility study on high-sensitivity chemically amplified resist by polymer absorption enhancement in extreme ultraviolet lithography

Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Jun Nakamura, Seiichi Tagawa

APPLIED PHYSICS EXPRESS　Vol. 1　No. 6　p. 067012/1-067012/3-0670123　2008年6月　研究論文（学術雑誌）
Plasmonic waveguides with wavelength selective function

Masasnobu Haraguchi, Yosuke Matsuzaki, Tatsuro Tuzura, Toshihiro Okamoto, Masuo Fukui, Kazumasa Okamoto, Shu Seki, Seiichi Tagawa

PLASMONICS: NANOIMAGING, NANOFABRICATION, AND THEIR APPLICATIONS IV　Vol. 7033　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）
Acid-base equilibrium in chemically amplified resist

Kenichiro Natsuda, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa

ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXV, PTS 1 AND 2　Vol. 6923　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）
Dynamics of poly(4-hydroxystyrene) radical cation

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa

ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXV, PTS 1 AND 2　Vol. 6923　2008年　研究論文（国際会議プロシーディングス）
Scanning Tunneling Microscopy profiling of steep ridges using metal-coated carbon nanotube tip

Yuya Murata, Masaru Kishida, Kenji Motoyoshi, Takehiko Kimura, Shin-ichi Honda, Kazumasa Okamoto, Yoshinori Matsui, Seiichi Tagawa, Mitsuhiro Katayama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 46　No. 12　p. 8005-8007　2007年12月　研究論文（学術雑誌）
Study of acid-base equilibrium in chemically amplified resist

Kenichiro Natsuda, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 46　No. 11　p. 7285-7289　2007年11月　研究論文（学術雑誌）
Effect of acid diffusion and polymer structure on line edge roughness

Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Akinori Saeki, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa, Katsumi Ohmori, Mitsuru Sato, Hiroji Komano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 46　No. 9B　p. 6187-6190　2007年9月　研究論文（学術雑誌）
Subpicosecond pulse radiolysis in liquid methyl-substituted benzene derivatives

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Akinori Saeki, Yoichi Yoshida, Seiichi Tagawa

RADIATION PHYSICS AND CHEMISTRY　Vol. 76　No. 5　p. 818-826　2007年5月　研究論文（学術雑誌）
Stroboscopic picosecond pulse radiolysis using near-ultraviolet-enhanced femtosecond continuum generated by CaF2

Akinori Saeki, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 46　No. 1　p. 407-411　2007年1月　研究論文（学術雑誌）
Radiation induced one-step one-pod polymerization of functional conjugated molecules

Yoshiko Koizumi, Shu Seki, Kazumasa Okamoto, Akinori Saeki, Seiichi Tagawa

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY　Vol. 20　No. 1　p. 97-99　2007年　研究論文（学術雑誌）
Protonation sites in chemically amplified resists for electron-beam lithography

Kenichiro Natsuda, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　Vol. 45　No. 46-50　p. L1256-L1258　2006年12月　研究論文（学術雑誌）
Analysis of acid yield generated in chemically amplified electron beam resist

Takahiro Kozawa, Takumi Shigaki, Kazumasa Okamoto, Akinori Saeki, Seiichi Tagawa, Toshiyuki Kai, Tsutomu Shimokawa

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　Vol. 24　No. 6　p. 3055-3060　2006年11月　研究論文（学術雑誌）
Acid generation mechanism of poly(4-hydroxystyrene)-based chemically amplified resists for post-optical lithography: Acid yield and deprotonation behavior of poly(4-hydroxystyrene) and poly(4-methoxystyrene)

Atsuro Nakano, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa, Toshiyuki Kai, Tsutomu Shimokawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 45　No. 9A　p. 6866-6871　2006年9月　研究論文（学術雑誌）
Pulse radiolysis of polystyrene in cyclohexane - Effect of carbon tetrachloride on kinetic dynamics of dimer radical cation

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Miyako Miki, Yoichi Yoshida, Seiichi Tagawa

CHEMICAL PHYSICS LETTERS　Vol. 426　No. 4-6　p. 306-310　2006年8月　研究論文（学術雑誌）
Reaction mechanism of fluorinated chemically amplified resists

Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Akinori Saeki, Seiichi Tagawa, Tomoyuki Ando, Mitsuru Sato, Hiroji Komano

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　Vol. 24　No. 4　p. 1833-1836　2006年7月　研究論文（学術雑誌）
Formation of trimer and dimer radical cations of methyl-substituted benzenes in γ-irradiated low-temperature matrices

Kazumasa Okamoto, Shu Seki, Seiichi Tagawa

Journal of Physical Chemistry A　Vol. 110　No. 26　p. 8073-8080　2006年7月　研究論文（学術雑誌）
Relationship between acid generator concentration and acid yield in chemically amplified electron beam resist

Takumi Shigaki, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Hiroki Yamamoto, Seiichi Tagawa, Toshiyuki Kai, Tsutomu Shimokawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 45　No. 7　p. 5735-5737　2006年7月　研究論文（学術雑誌）
Dependence of acid yield on chemically amplified electron beam resist thickness

Takumi Shigaki, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Hiroki Yamamoto, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 45　No. 6B　p. 5445-5449　2006年6月　研究論文（学術雑誌）
Study on acid generation from polymer

H Yamamoto, T Kozawa, A Nakano, K Okamoto, S Tagawa, T Ando, M Sato, H Komano

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　Vol. 23　No. 6　p. 2728-2732　2005年11月　研究論文（学術雑誌）
Requirements for laser-induced desorption/ionization on submicrometer structures

S Okuno, R Arakawa, K Okamoto, Y Matsui, S Seki, T Kozawa, S Tagawa, Y Wada

ANALYTICAL CHEMISTRY　Vol. 77　No. 16　p. 5364-5369　2005年8月　研究論文（学術雑誌）
Synchronization of femtosecond UV-IR laser with electron beam for pulse radiolysis studies

A Saeki, T Kozawa, S Kashiwagi, K Okamoto, G Isoyama, Y Yoshida, S Tagawa

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT　Vol. 546　No. 3　p. 627-633　2005年7月　研究論文（学術雑誌）
Potential cause of inhomogeneous acid distribution in chemically amplified resists for post optical lithography

H Yamamoto, T Kozawa, A Nakano, K Okamoto, S Tagawa, T Ando, M Sato, H Komano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 44　No. 7B　p. 5836-5838　2005年7月　研究論文（学術雑誌）
Effects of dielectric constant on acid generation in chemically amplified resists for post-optical lithography

T Kozawa, K Okamoto, A Saeki, S Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　Vol. 44　No. 6A　p. 3908-3912　2005年6月　研究論文（学術雑誌）
Reaction mechanisms of brominated chemically amplified resists

H Yamamoto, T Kozawa, A Nakano, K Okamoto, S Tagawa, T Ando, M Sato, H Komano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　Vol. 44　No. 24-27　p. L842-L844　2005年　研究論文（学術雑誌）
Nanopatterning of polyfluorene derivative using electron-beam lithography

Yusuke Doi, Akinori Saeki, Yoshiko Koizumi, Shu Seki, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures　Vol. 23　No. 5　p. 2051-2055　2005年　研究論文（学術雑誌）
Resist thickness effect on acid concentration generated in poly(4-hydroxystyrene) film upon exposure to 75 keV electron beam

T Shigaki, K Okamoto, T Kozawa, H Yamamoto, S Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　Vol. 44　No. 42-45　p. L1298-L1300　2005年　研究論文（学術雑誌）
Formation of benzene trimer radical cation in γ-irradiated low temperature 2-methylpentane matrices

Motoyuki Todo, Kazumasa Okamoto, Shu Seki, Seiichi Tagawa

Chemical Physics Letters　Vol. 399　No. 4-6　p. 378-383　2004年12月　研究論文（学術雑誌）
Dependence of acid generation efficiency on the protection ratio of hydroxyl groups in chemically amplified electron beam, x-ray and EUV resists

H Yamamoto, T Kozawa, A Nakano, K Okamoto, S Tagawa, T Ando, M Sato, H Komano

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　Vol. 22　No. 6　p. 3522-3524　2004年11月　研究論文（学術雑誌）
Pulse radiolysis study on proton and charge transfer reactions in solid poly(methyl methacrylate)

A Nakano, K Okamoto, T Kozawa, S Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　Vol. 43　No. 7A　p. 4363-4367　2004年7月　研究論文（学術雑誌）
Proton dynamics in chemically amplified electron beam resists

H Yamamoto, T Kozawa, A Nakano, K Okamoto, Y Yamamoto, T Ando, M Sato, H Komano, S Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　Vol. 43　No. 7A　p. L848-L850　2004年7月　研究論文（学術雑誌）
Electron dynamics in chemically amplified resists

T Kozawa, H Yamamoto, A Nakano, A Saeki, K Okamoto, S Tagawa

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY　Vol. 17　No. 3　p. 449-452　2004年　研究論文（学術雑誌）
Transient absorption spectroscopy of radical ions of rigid anti- and syn-tetrasilane

S Seki, K Okamoto, Y Matsui, S Tagawa, H Tsuji, A Toshimitsu, K Tamao

CHEMICAL PHYSICS LETTERS　Vol. 380　No. 1-2　p. 141-145　2003年10月　研究論文（学術雑誌）
Subpicosecond pulse radiolysis study of geminate ion recombination in liquid benzene

K Okamoto, A Saeki, T Kozawa, Y Yoshida, S Tagawa

CHEMISTRY LETTERS　Vol. 32　No. 9　p. 834-835　2003年9月　研究論文（学術雑誌）
Pulse radiolysis study of radical cations of polysilanes

T Kawaguchi, S Seki, K Okamoto, A Saeki, Y Yoshida, S Tagawa

CHEMICAL PHYSICS LETTERS　Vol. 374　No. 3-4　p. 353-357　2003年6月　研究論文（学術雑誌）
パルスラジオリシス法を用いたベンゼンの放射線化学初期過程の研究

岡本一将, 佐伯昭紀, かせ田浩司, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 60　No. 4-5　p. 417-422　2001年

MISC 194

EUVリソグラフィ用有機無機ハイブリッドレジストのリソグラフィ特性における基礎研究

山本洋揮, 伊藤(筒井)裕子, 岡本一将, 古澤孝弘

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 85th　2024年
パルスラジオリシスと量子化学計算によるポリスチレン誘導体のラジカルカチオンの置換基効果に関する研究

岡本一将, 室屋裕佐, 古澤孝弘

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2024　2024年
ポリスチレンの正電荷非局在性へのパルスラジオリシスおよびシミュレーションによるアプローチ

岡本一将, 山本洋揮, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2022　2022年
G-SPSCを用いた欠陥制御による色調表面パターニング

塚村順平, 高橋優樹, 張麗華, ジェームメルバート, 岡本一将, 渡辺精一

日本金属学会講演大会(Web)　Vol. 169th　2021年
鉛ペロブスカイト太陽電池の電子線照射効果

村上誉幸, 石割文崇, 岡本一将, 古澤孝弘, 佐伯昭紀

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 68th　2021年
化学増幅型レジストの電子線照射による膜厚依存性

前田尚輝, 岡本一将, 井狩優太, 誉田明宏, 古澤孝弘, 田村貴央

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2020　2020年
Mechanism of resist heating effect in chemically amplified resist

Y. Ikari, K. Okamoto, N. Maeda, A. Konda, T. Kozawa, T. Tamura

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　Vol. 11326　2020年
Sensitivity enhancement of chemically amplified EUV resist by adding diphenyl sulfone derivatives

Kazumasa Okamoto, Shunpei Kawai, Takahiro Kozawa

ADVANCES IN PATTERNING MATERIALS AND PROCESSES XXXVII　Vol. 11326　2020年
ポリスチレン-フェニルシラン誘導体溶液の電子線パルスラジオリシス

岡本一将, 岡本一将, 堀成生, 大沼正人, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2019　2019年
水中光合成による酸化鉄ナノ粒子の作製と異なる光源下での形態

ZHANG Lihua, 沖中憲之, 渡辺精一, 岡本一将

材料とプロセス(CD-ROM)　Vol. 32　No. 2　2019年
ジフェニルスルホン酸生成促進剤による化学増幅型レジストの感度向上

河合俊平, 岡本一将, 大沼正人, 古澤孝弘

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 80th　2019年
軟X線自由電子レーザーによるレジスト材料照射に関する研究

岡本一将, 河合俊平, 堀成生, 井狩優太, 前田尚輝, 誉田明宏, 古澤孝弘, 錦野将元, 石野雅彦, DINH Thanh-Hung, 木下博雄

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2019　2019年
化学増幅レジスト薄膜における電子線照射による熱影響

井狩優太, 岡本一将, 前田尚輝, 誉田明宏, 古澤孝弘, 田村貴央

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2019　2019年
パルスラジオリシス法を用いたレジスト材料の放射線化学初期過程の解明と応用

岡本一将, 古澤孝弘

放射線化学(Web)　No. 107　2019年
パルスラジオリシスによるフェニルスルホン化合物の放射線化学反応

岡本一将, 岡本一将, 河合俊平, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2018　2018年
フッ素系EUVレジストモデル分子の放射線誘起初期過程

岡本一将, 山本洋揮, 小林一雄, 古澤孝弘

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 79th　p. 1667-1667　2018年
出版者・発行元：公益社団法人応用物理学会
パルスラジオリシスによるレジスト材料の放射線化学初期過程の解明と展開

岡本一将, 岡本一将, 古澤孝弘

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 61st　2018年
液体フェニルシラン誘導体のパルスラジオリシス

堀成生, 岡本一将, 岡本一将, 山本洋揮, 室屋裕佐, 古澤孝弘, 大沼正人

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 61st　2018年
化学増幅型レジストへのスルホン化合物の添加効果

岡本一将, 岡本一将, 藤井槙哉, 山本洋揮, 古澤孝弘, 井谷俊郎

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 64th　2017年
カーボンナノウォールFETのプラズマプロセスの電極ノイズへの影響

河原敏男, RUPESH S. K., 大海雄介, 大野恭秀, 前橋兼三, 松本和彦, 岡本一将, 宇都宮里佐, 松葉晃明

表面科学学術講演会講演要旨集　Vol. 37th　2017年
チェコ共和国針葉樹林域における土壌および林床植物の⁴⁰K/K分布

福原晴海, 高橋俊輔, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2017　2017年
ポリスチレンのフェニルトリメトキシシラン溶液のパルスラジオリシス

堀成生, 岡本一将, 山本洋揮, 古澤孝弘, 藤吉亮子, 梅垣菊男

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 60th　2017年
グリーン応用のための水中結晶光合成によるナノ鉄水酸化物の創製

高井大, 張麗華, 岡本一将, 沖中憲之, 渡辺精一

材料とプロセス(CD-ROM)　Vol. 30　No. 2　2017年
亜鉛表面における酸化物ナノロッド微結晶作製のための水中光合成の光化学

ZHANG Lihua, JEEM Melbert, OKAMOTO Kazumasa, WATANABE Seiichi

日本金属学会講演概要(CD-ROM)　Vol. 161st　2017年
Effects of the plasma process for self-aligned nanocarbon field-effect transistors

Toshio Kawahara, Singh Kumar Rupesh, Kazuhiko Matsumoto, Yasuhide Ohno, Kazumasa Okamoto, Kenzo Maehashi, Risa Utsunomiya, Teruaki Matsuba

2017 INTERNATIONAL CONFERENCE ON NOISE AND FLUCTUATIONS (ICNF)　2017年
ポリビニルピロリドン微細構造上でのAuナノ粒子形成と制御

佃諭志, 岡本一将, 山本洋揮, 古澤孝弘

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 63rd　2016年
オーストリアにおける森林土壌中の環境放射性核種(¹³⁷Cs・²¹⁰Pb)の分布

村田一晃, LETTNER Herbert, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2016　2016年
チェコ共和国森林土壌における⁴⁰K同位体存在度(⁴⁰K/K)およびK存在状態

福原晴海, 高橋俊輔, 村田一晃, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2016　2016年
水中結晶光合成法による酸化銅ナノ表面構造体の創製

西野史香, JEEM Melbert, ZHANG Lihua, 岡本一将, 渡辺精一

表面技術協会講演大会講演要旨集　Vol. 134th　2016年
添加剤を用いた酸生成促進によるEUV用化学増幅型レジストの感度向上

藤井槙哉, 岡本一将, 山本洋揮, 古澤孝弘, 井谷俊郎

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 59th　2016年
ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピルベンゼンのラジカルイオンのダイナミクス

岡本一将, 岡本一将, 野村直矢, 山本洋揮, 古澤孝弘, 藤吉亮子, 梅垣菊男

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 59th　2016年
北大構内半原生林における土壌CO₂のダイナミクス

中村太智, NIVES Ogrinc, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本分析化学会年会講演要旨集　Vol. 65th　2016年
水中結晶光合成法による酸化銅表面ナノ構造の形成機構

西野史香, JEEM Melbert, 西山賢, 張麗華, 岡本一将, 渡辺精一

日本金属学会講演概要(CD-ROM)　Vol. 158th　2016年
水中結晶光合成法による鉄酸化物・水酸化物のナノ結晶作製

高井大, 西野史香, メルバートジーム, 張麗華, 岡本一将, 沖中憲之, 渡辺精一

日本金属学会講演概要(CD-ROM)　Vol. 159th　2016年
カーボンナノウォールFETのためのプラズマプロセス

河原敏男, Rupesh Singh, 大野恭秀, 前橋兼三, 松本和彦, 岡本一将, 宇都宮里佐, 松葉晃明

表面科学学術講演会要旨集　Vol. 36　p. 253-253　2016年
出版者・発行元：公益社団法人日本表面科学会
第100号記念特集〈第III部受賞者のその後〉： 2009年度奨励賞

岡本一将

放射線化学　Vol. 100　2015年
出版者・発行元：日本放射線化学会
EUVレジストに向けたフッ素ポリマーの放射線化学反応の解明

野村直矢, 岡本一将, 藤吉亮子, 梅垣菊男, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2015　2015年
光酸発生剤を添加した芳香族系レジスト樹脂のパルスラジオリシス

岡本一将, 石田拓也, 藤吉亮子, 梅垣菊男, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2015　2015年
パルスラジオリシスによるポリヒドロキシスチレン固体中での脱プロトン化反応に関する研究

山本洋揮, 岡本一将, 古澤孝弘

高分子学会予稿集(CD-ROM)　Vol. 64　No. 1　2015年
パルスラジオリシス法によるフッ素樹脂の放射線化学反応の解明

野村直矢, 岡本一将, 藤吉亮子, 梅垣菊男, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2015　2015年
低温バッファー層を用いたCNW-FETのノイズ解析

河原敏男, 川際智聖, 中川幸紀, 大野恭秀, 前橋兼三, 松本和彦, 岡本一将, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 吉村雅満, 松岡佑樹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 76th　2015年
水中結晶光合成法による酸化銅表面ナノ構造化

西野史香, JEEM Melbert, 張麗華, 岡本一将, 渡辺精一

日本鉄鋼協会日本金属学会両支部合同冬季講演大会概要集　Vol. 2015　2015年
Dynamics of Radical Ions of Fluorinated Polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography

Naoya Nomura, Kazumasa Okamoto, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Ryoko Fujiyoshi, Kikuo Umegaki

PHOTOMASK JAPAN 2015: PHOTOMASK AND NEXT-GENERATION LITHOGRAPHY MASK TECHNOLOGY XXII　Vol. 9658　2015年
Noise Spectroscopy of Self-aligned Carbon Nanowalls

Toshio Kawahara, Kazumasa Okamoto, Yasuhide Ohno, Kenzo Maehashi, Kazuhiko Matsumoto, Risa Utsunomiya, Teruaki Matsuba

2015 INTERNATIONAL CONFERENCE ON NOISE AND FLUCTUATIONS (ICNF)　2015年
チェコ共和国森林域における放射性セシウムの分布

高橋俊輔, SUCHARA Ivan, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2014　2014年
CNW-FETプロセスへの低温バッファー層の影響

河原敏男, 中川幸紀, 大野泰秀, 前橋謙三, 松本和彦, 岡本一将, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 吉村雅満, 松岡佑樹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 75th　2014年
ポリ(4-ヒドロキシスチレン)(PHS)濃厚溶液の脱プロトン反応の粘度効果

石田拓也, 岡本一将, 藤吉亮子, 梅垣菊男, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2014　2014年
パルスラジオリシスによるポリヒドロキシスチレン固体中での脱プロトン化反応に関する研究

山本洋揮, 岡本一将, 古澤孝弘

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 61st　2014年
Deprotonation mechanism of ionized poly(4-hydroxystyrene)

Toshihiko Susa, Kazumasa Okamoto, Takuya Ishida, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Ryoko Fujiyoshi, Kikuo. Umegaki

ADVANCES IN PATTERNING MATERIALS AND PROCESSES XXXI　Vol. 9051　2014年
Fluidity dependence of deprotonation kinetics of chemically amplified resist

Kazumasa Okamoto, Takuya Ishida, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Ryoko Fujiyoshi, Kikuo. Umegaki

ADVANCES IN PATTERNING MATERIALS AND PROCESSES XXXI　Vol. 9051　2014年
森林土壌空気CO₂の炭素同位体比-札幌・スロベニア森林域における検討-

村田敏哉, 岡本一将, 天野光, OGRINC Nives, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2013　2013年
北大構内における植物中の⁴⁰K同位体比

森元裕, 山口俊英, 村田敏哉, 高橋俊輔, 岡本一将, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2013　2013年
ポリ(4-ヒドロキシスチレン)のラジカルカチオンの脱プロトン反応

須佐俊彦, 岡本一将, 石田拓也, 山本洋揮, 古澤孝弘, 藤吉亮子, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 56th　2013年
ポリ(4-ヒドロキシスチレン)(PHS)濃厚溶液の脱プロトン反応の粘度効果

石田拓也, 岡本一将, 山本洋揮, 古澤考弘, 藤吉亮子, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 56th　2013年
福島森林土壌中の²²²Rnフラックスおよびその変動

大野望暁, 高橋俊輔, 森元裕, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集　Vol. 31st　2013年
高密度イオン化状態におけるEUVリソグラフィプロセスのシミュレーション

西野圭一郎, 岡本一将, 藤吉亮子, 梅垣菊男, 古澤孝弘

日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集　Vol. 31st　2013年
化学増幅型レジストモデル溶液のパルスラジオリシス及びパルスラジオリシス-レーザーフラッシュフォトリシス

井上浩彰, 岡本一将, 藤吉亮子, 住吉孝

日本化学会講演予稿集　Vol. 93rd　No. 2　2013年
化学増幅レジストモデル溶液のパルスラジオリシス

岡本一将, 山本洋揮, 古澤孝弘, 藤吉亮子, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 56th　2013年
森林域(北海道)における環境放射線測定

山口俊英, 大野望暁, VAUPOTIC Jana, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本放射線安全管理学会学術大会講演予稿集　Vol. 12th　2013年
カーボンナノウォールの自己配列化成長と電界効果素子の作製

河原敏男, 山口作太郎, 大野泰秀, 前橋謙三, 松本和彦, 岡本一将, 宇都宮里佐, 松葉晃明

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　Vol. 73rd　2012年8月27日
鉛-210比放射能を用いた土壌中の鉛の発生源評価

市川毅, 住吉孝, 岡本一将, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2012　2012年
北大工学部屋上における空間放射線量モニタリング

市川毅, MITRAYON Leeda, 村田敏哉, 山口俊英, 岡本一将, 藤吉亮子, 住吉孝

日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集　Vol. 30th　2012年
極端紫外自由電子レーザーによるレジスト高分子へのエネルギー付与

及川敬太, 岡本一将, 古澤孝弘, 初井宇記, 永園充, 亀島敬, 富樫格, 登野健介, 矢橋牧名, 木村洋昭, 仙波泰徳, 大橋治彦, 石川哲也, 藤吉亮子, 住吉孝

日本化学会講演予稿集　Vol. 92nd　No. 1　2012年
レジスト高分子の放射線化学

岡本一将, 住吉孝

日本化学会講演予稿集　Vol. 92nd　No. 1　2012年
AMS炭素同位体比を用いたスロベニア森林土壌中の炭素起源推定

村田敏哉, 天野光, 岡本一将, 住吉孝, Vaupotič Janja, Kobal Ivan, Ogrinc Nives, 藤吉亮子

日本原子力学会年会・大会予稿集　Vol. 2012　p. 767-767　2012年
出版者・発行元：一般社団法人日本原子力学会
北海道（札幌、苫小牧）における森林土壌中の環境放射性核種分布と線量評価

山口俊英, 岡本一将, 住吉孝, Kobal Ivan, Vaupotič Janja, 藤吉亮子

日本原子力学会年会・大会予稿集　Vol. 2012　p. 766-766　2012年
出版者・発行元：一般社団法人日本原子力学会
レジストモデル高分子のパルスラジオリシス

岡本一将, 古澤孝弘, 田川精一, 藤吉亮子, 住吉孝

日本原子力学会年会・大会予稿集　Vol. 2012　p. 102-102　2012年
出版者・発行元：一般社団法人日本原子力学会
森林土壌(スロベニア,苫小牧)中のカリウム同位体比(⁴⁰K/K)の深度分布

竹腰直樹, 市川毅, 岡林正訓, 作田陽佑, 岡本一将, 住吉孝, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2011　2011年
スロベニア森林における土壌中の鉛よび同位体(²¹⁰Pb)の分布

市川毅, 竹腰直樹, 岡林正訓, 作田陽佑, 岡本一将, 住吉孝, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2011　2011年
極端紫外自由電子レーザーによる電子線レジストへのエネルギー付与

及川敬太, 岡本一将, 岡本一将, 古澤孝弘, 古澤孝弘, 初井宇記, 永園充, 亀島敬, 富樫格, 登野健介, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 木村洋明, 木村洋明, 仙波泰徳, 大橋治彦, 大橋治彦, 石川哲也, 藤吉亮子, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 54th　2011年
極端紫外自由電子レーザーによる極薄膜高分子中のスパー制御

岡本一将, 岡本一将, 古澤孝弘, 古澤孝弘, 及川敬太, 初井宇記, 永園充, 亀島敬, 富樫格, 登野健介, 矢橋牧名, 矢橋牧名, 木村洋昭, 木村洋昭, 仙波泰徳, 大橋治彦, 大橋治彦, 石川哲也, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 54th　2011年
北海道大学苫小牧研究林の土壌表層におけるフォールアウト核種(¹³⁴Cs,¹³⁷Cs)の分布

新田美也子, 井上清登, HAO Le Cong, 岡本一将, 住吉孝, 藤吉亮子

日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集　Vol. 29th　2011年
北大構内半原生林におけるCO₂モニタリング

作田陽佑, 竹腰直樹, 岡林正訓, 坂野秀樹, 岡本一将, 住吉孝, 藤吉亮子, 天野光

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2010　2010年
スロベニア森林土壌中のカリウム同位体比(⁴⁰K/K)の深度分布

竹腰直樹, 坂野秀樹, 作田陽佑, 岡林正訓, 藤吉亮子, 岡本一将, 住吉孝

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2010　2010年
北海道内森林域におけるラドン測定

岡林正訓, 作田陽佑, 坂野秀樹, 竹腰直樹, 岡本一将, 住吉孝, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2010　2010年
極微細加工用高分子薄膜のイオン化ダイナミクス

岡本一将, 岡本一将, 田島康晴, 田島康晴, 古澤孝弘, 古澤孝弘, 初井宇記, 住吉孝

第4回XFEL利用ワークショップ平成22年　2010年
北海道内森林域におけるカリウム-40の分布と線量評価に関する基礎的検討

坂野秀樹, 竹腰直樹, 岡林正訓, 作田陽佑, 藤吉亮子, 岡本一将, 住吉孝

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2010　2010年
芳香族分子の電荷非局在性に関する研究

岡本一将

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 53rd　2010年
置換ベンゼン類-OH付加体の光化学反応における溶液pHの影響

多賀谷圭, SYAFIE Mohamad, 岡本一将, 藤吉亮子, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 53rd　2010年
置換ベンゼン類-OH付加体の光化学反応における溶液pHの影響

多賀谷圭, SYAFIE Mohamad, 岡本一将, 藤吉亮子, 住吉孝

日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集　Vol. 28th　2010年
アセタール残基を有するNoria誘導体の合成およびレジスト材料への応用

神宮司真由美, 工藤宏人, 西久保忠臣, 老泉博昭, 井谷俊朗, 田川精一, 山本洋揮, 岡本一将

高分子学会予稿集(CD-ROM)　Vol. 59　No. 2 Disk1　2010年
芳香族分子の電荷非局在性に関する研究

岡本一将

放射線化学(Web)　Vol. 90　No. 90　2010年
出版者・発行元：日本放射線化学会
アセタール残基を有するNoria誘導体のEB・EUVレジスト材料への応用

神宮司真由美, 工藤宏人, 西久保忠臣, 老泉博昭, 井谷俊朗, 岡本一将, 田川精一, 山本洋揮

高分子学会予稿集(CD-ROM)　Vol. 59　No. 1 Disk1　2010年
土壌表層における鉛およびその放射性同位体(²¹⁰Pb)の分布

山口孝幸, 藤吉亮子, 岡本一将, 住吉孝

日本分析化学会年会講演要旨集　Vol. 58th　2009年
フルオロベンゼン誘導体の放射線化学に関する研究

東野早希, 岡本一将, 佐伯昭紀, 古澤孝弘, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 52nd　2009年
ピリジン-塩素原子コンプレックスの生成と光化学

木戸勇太, 岡本一将, 藤吉亮子, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 52nd　2009年
フッ素化ナフタレンの放射線化学反応初期過程に関する研究

池田定達, 岡本一将, 佐伯昭紀, 古澤孝弘, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 52nd　2009年
スロベニアにおける森林土壌中のカリウム同位体比(⁴⁰K/K)の深度分布

竹腰直樹, 山口孝幸, 野島大孝, 藤吉亮子, 岡本一将, 住吉孝, KOBAL Ivan, VAUPOTIC Janja

日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集　Vol. 27th　2009年
Poly(4-hydroxystyrene)膜中での放射線誘起反応に関する研究

夏田健一郎, 古澤孝弘, 岡本一将, 佐伯昭紀, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 52nd　2009年
ポリスチレン-ポリ(4-ヒドロキシスチレン)共重合体のカチオンダイナミクス

岡本一将, 岡本一将, 古澤孝弘, 古澤孝弘, 田川精一, 田川精一, 住吉孝

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 52nd　2009年
アダマンチル基を有するNoria誘導体の合成とEB及びEUVレジストへの展開

陶山裕司, 工藤宏人, 西久保忠臣, 岡本一将, 古澤孝弘, 田川精一, 老泉博昭, 井谷俊朗

高分子学会予稿集(CD-ROM)　Vol. 58　No. 2 Disk1　2009年
芳香族ダイマーラジカルカチオンの放射線化学

岡本一将, 田川精一

放射線化学(Web)　Vol. 88　No. 88　2009年
出版者・発行元：日本放射線化学会
架橋PTFEの集束イオンビームによる微細加工とその高機能化に関する研究

高澤侑也, 福武直之, 裏川達也, 大島明博, 鷲尾方一, 岡本一将, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 88th　No. 1　2008年
架橋PTFEの集束イオンビームによる微細加工とその高機能化に関する研究

高澤侑也, 福武直之, 裏川達也, 大島明博, 鷲尾方一, 岡本一将, 田川精一

アイソトープ・放射線研究発表会要旨集　Vol. 45th　2008年
集束イオンビームによる架橋PTFEのナノスケール微細パターンの作成

福武直之, 裏川達也, 高澤侑也, 三好のぞみ, 大島明博, 鷲尾方一, 岡本一将, 松井良憲, 関修平, 田川精一

高分子学会予稿集(CD-ROM)　Vol. 57　No. 1 Disk1　2008年
電子線レジスト薄膜における酸発生剤の濃度効果

夏田健一郎, 古澤孝弘, 岡本一将, 田川精一

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 69th　No. 2　2008年
ポリ(4-メトキシスチレン)のパルスラジオリシス-ダイマーラジカルカチオン生成の置換基依存性

田中将史, 岡本一将, 岡本一将, 古澤孝弘, 古澤孝弘, 田川精一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 51st　2008年
集束イオンビームを用いたフッ素系高分子のナノ加工

福武直之, 高澤侑也, 五輪智子, 裏川達也, 鷲尾方一, 大島明博, 岡本一将, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 51st　2008年
電子線照射によるレジスト薄膜内の酸生成量における酸発生剤の構造依存性

夏田健一郎, 古澤孝弘, 岡本一将, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 51st　2008年
化学増幅型レジストベースポリマーのラジカルカチオンのダイナミクス

岡本一将, 岡本一将, 田中将史, 古澤孝弘, 古澤孝弘, 田川精一, 田川精一

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 69th　No. 2　2008年
ポリスチレン誘導体のパルスラジオリシス法を用いたラジカルカチオンのダイナミクスの研究

田中将史, 岡本一将, 古澤孝弘, 関修平, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 50th　2007年
電子線リソグラフィと電解めっきを用いたナノ構造体の作製

岡本一将, 初井宇紀, 小杉信博, 古澤孝弘, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 50th　2007年
機能性共役高分子の放射線誘起One Step-One Pod重合反応

小泉美子, 関修平, 岡本一将, 佐伯昭紀, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 50th　2007年
化学増幅型電子線レジストにおける酸発生効率の酸発生剤濃度依存性の研究

古澤孝弘, 岡本一将, 佐伯昭紀, 田川精一, 甲斐敏之, 下川努

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 50th　2007年
化学増幅型レジストにおける酸塩基平衡の研究

夏田健一郎, 古澤孝弘, 岡本一将, 田川精一

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 68th　No. 2　2007年
フッ素系樹脂の酸発生機構

山本洋揮, 古澤孝弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 田川精一, 安藤友之, 佐藤充, 駒野博司

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 49th　2006年
電子ビームにより超微細加工材料中に生成される中間活性種の空間分布

古澤孝弘, 山本洋揮, 佐伯昭紀, 岡本一将, 田川精一

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)　Vol. 2006　2006年
カーボンナノチューブ探針による高アスペクト比構造のSTM観察

本好謙司, 岸田優, 小西博文, 村田祐也, 冨田一裕, 木村雄彦, 岡本一将, 松井良憲, 田川精一, 吉本真也, 久保敬祐, 保原麗, 松田巌, 長谷川修司, 本多信一, 片山光浩

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 67th　No. 2　2006年
ポリヒドロキシスチレンの分子内ダイマーラジカルカチオン

岡本一将, 古澤孝弘, 関修平, 夏田健一郎, 山本洋揮, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 49th　2006年
化学増幅型レジストにおけるアミン効果とプロトンダイナミクス

夏田健一郎, 古澤孝弘, 岡本一将, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 49th　2006年
フッ素系樹脂の酸発生機構

山本洋揮, 古沢孝弘, 岡本一将, 田川精一, 安藤友之, 佐藤充, 駒野博司

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 53rd　No. 2　2006年
The reaction mechanism of poly [4-hydroxystyrene-co-4-(1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-hydroxypropyl)-styrene]

Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa, Tomoyuki Ando, Mitsuru Sato, Hiroji Komano

ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XXIII, PTS 1 AND 2　Vol. 6153　p. U1390-U1398　2006年
Nanoscale reaction analysis of resist materials for nanolithography

Takahiro Kozawa, Akinori Saeki, Kazumasa Okamoto, Seiichi Tagawa

2005 NSTI Nanotechnology Conference and Trade Show - NSTI Nanotech 2005 Technical Proceedings　p. 283-286　2005年12月1日
Dependence of acid yield on resist thickness in chemically amplified electron beam resist

T. Shigaki, K. Okamoto, T. Kozawa, H. Yamamoto, S. Tagawa

Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005: 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference　Vol. 2005　p. 112-113　2005年12月1日
UV-VIS-IRでの高SN比・高効率サブピコ秒パルスラジオリシス法の開発

佐伯昭紀, 古澤孝弘, 柏木茂, 岡本一将, 磯山悟郎, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 48th　2005年
低温マトリクス中γ線照射によるベンゼン誘導体トリマーラジカルカチオンの生成

岡本一将, 関修平, 藤堂統之, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 48th　2005年
電子線描画によるポリフルオレン誘導体の微細パターニングとその応用

土井雄介, 小泉美子, 佐伯昭紀, 関修平, 岡本一将, 古澤孝弘, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 48th　2005年
電子線を用いたカーボンナノチューブナノデバイスの作製

尾崎弘和, 前橋兼三, 大野恭秀, 井上恒一, 松本和彦, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 52nd　No. 1　2005年
ポリ4-ビトロキシスチレンとポリ4-メトキシスチレンの脱プロトン化挙動と酸発生量の関係

中野温朗, 岡本一将, 山本幸男, 古沢孝弘, 田川精一, 甲斐敏之, 根本宏明, 下川努

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 52nd　No. 2　2005年
電子線レジストにおける酸発生量の膜厚依存性

紫垣匠, 岡本一将, 山本洋揮, 中野温朗, 古沢孝弘, 田川精一

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 52nd　No. 2　2005年
臭素化したポリヒドロキシスチレンの放射線化学

山本洋揮, 古澤孝弘, 中野温朗, 岡本一将, 田川精一, 安藤友之, 佐藤充, 駒野博司

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 48th　2005年
化学増幅型レジストの放射線誘起反応機構の研究-酸形成過程のモデリングとシミュレーション-

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 中野温朗, 岡本一将, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会春の年会要旨集　Vol. 43rd　2005年
電子線・EUV化学増幅型レジストにおける不均一酸分布の可能性

山本洋揮, 中野温朗, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一, 安藤友之, 佐藤充, 駒野博司

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 52nd　No. 2　2005年
化学増幅型レジストの酸発生機構に由来する解像度劣化に関する研究

古沢孝弘, 山本洋揮, 中野温郎, 佐伯昭紀, 岡本一将, 田川精一

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 66th　No. 2　2005年
電子線リソグラフィにおける化学増幅型レジストの膜厚依存性

紫垣匠, 岡本一将, 古澤孝弘, 山本洋揮, 中野温朗, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 48th　2005年
ポリマーからの酸発生に関する研究

山本洋揮, 古沢孝弘, 中野温朗, 岡本一将, 田川精一, 安藤友之, 佐藤充, 駒野博司

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 66th　No. 2　2005年
化学増幅型レジストの反応中間体の空間分布に関する研究

古澤孝弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 48th　2005年
Deprotonation mechanism of poly(4-hydroxystyrene) and its derivative

A Nakano, K Okamoto, Y Yamamoto, T Kozawa, S Tagawa

Advances in Resist Technology and Processing XXII, Pt 1 and 2　Vol. 5753　p. 1034-1039　2005年
Dependence of acid yield on acid generator in chemically amplified resist for post-optical lithography

Nakano, A., Okamoto, K., Yamamoto, Y., Kozawa, T., Tagawa, S., Kai, T., Nemoto, H.

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　Vol. 44　No. 7 B　p. 232-233　2005年
Deprotonation mechanism of poly(4-hydroxystyrene) and its derivative

Atsuro Nakano, Kazumasa Okamoto, Yukio Yamamoto, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa, Toshiyuki Kai, Hiroaki Nemoto, Tsutomu Shimokawa

Progress in Biomedical Optics and Imaging - Proceedings of SPIE　Vol. 5753　No. II　p. 1034-1039　2005年
Potential cause of inhomogeneous acid distribution

H. Yamamoto, T. Kozawa, A. Nakano, K. Okamoto, S. Tagawa, T. Ando, M. Sato, H. Komano

Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004　p. 236-237　2004年12月1日
2-メチルペンタンマトリクス中におけるベンゼントリマーラジカルカチオンの生成

藤堂統之, 岡本一将, 関修平, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 47th　2004年
化学増幅型レジスト中におけるプロトンの生成・拡散に関する研究

山本洋揮, 古沢孝弘, 中野温朗, 岡本一将, 田川精一, 安藤友之, 佐藤充, 駒野博司

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 47th　2004年
電子線・X線化学増幅型レジストにおける酸発生効率のベースポリマー依存性

山本洋揮, 中野温朗, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　Vol. 51st　No. 2　2004年
化学増幅型レジストの放射線誘起反応機構の研究-放射線化学初期過程と解像度の関係-

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 中野温朗, 岡本一将, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会春の年会要旨集　Vol. 42nd　2004年
電子線描画によるポリフルオレン誘導体の微細パターニング

土井雄介, 小泉美子, 佐伯昭紀, 関修平, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 47th　2004年
電子線・X線・EUV化学増幅型レジストにおける酸発生効率のヒドロキシル基に対する保護率依存性

山本洋揮, 中野温朗, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一, 安藤友之, 佐藤充, 駒野博司

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 65th　No. 2　2004年
第46回放射線化学討論会報告

岡本一将, 古澤孝弘, 田中真人

放射線化学　No. 77　p. 58-60　2004年
出版者・発行元：日本放射線化学会
ポリシランカチオンラジカルの直接分光とその骨格構造依存性

川口友世, 関修平, 岡本一将, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 83rd　No. 1　2003年
メタノール溶媒和電子生成過程における電子捕捉反応の研究

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 関修平, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 46th　2003年
パルスラジオリシス法によるポリシラン上の正孔挙動と側鎖基の影響

関修平, 川口友世, 岡本一将, 佐伯昭紀, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 46th　2003年
サブピコ秒パルスラジオリシスによるハロカーボン(1-クロロプロパン,1-クロロブタン,1-クロロペンタン)の放射線化学初期過程の研究

竹谷考司, 友定寛, 佐伯昭紀, 岡本一将, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会春の年会要旨集　Vol. 41st　2003年
サブピコ秒パルスラジオリシス法を用いた液体ベンゼン中のジェミネートイオン再結合の研究

岡本一将, 佐伯昭紀, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 83rd　No. 1　2003年
サブピコ秒パルスラジオリシスを用いた液体ベンゼン誘導体中の過渡吸収

岡本一将, 佐伯昭紀, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 46th　2003年
サブピコ秒パルスラジオリシス法による化学増幅型レジストの放射線誘起反応機構の研究

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 竹谷考司, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会春の年会要旨集　Vol. 41st　2003年
芳香族高分子中におけるプロトンの生成・拡散に関する研究

山本洋揮, 古沢孝弘, 中野温朗, 岡本一将, 小林一雄, 関修平, 佐伯昭紀, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 46th　2003年
Polymer screening method for chemically amplified electron beam and X-ray resists

H. Yamamoto, A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa, S. Tagawa

Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2003 - 2003 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2003　p. 70-71　2003年
出版者・発行元：Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Effects of ester groups on proton generation and diffusion in polymethacrylate matrices

A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa, S. Tagawa

Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2003 - 2003 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2003　p. 120-121　2003年
出版者・発行元：Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
パルスラジオリシス法を用いたポリメタクリル酸メチルの放射線分解過程の研究

中野温朗, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 81st　No. 1　2002年
サブピコ秒パルスラジオリシスによるハロカーボンの放射線化学初期過程の研究

竹谷考司, 佐伯昭紀, 岡本一将, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 45th　2002年
パルスラジオリシス法を用いたポリシラン上の電荷挙動

川口友世, 岡本一将, 関修平, 吉田陽一, 田川精一

応用物理学会学術講演会講演予稿集　Vol. 63rd　No. 3　2002年
ポリシラン中のマイクロ波吸収法及びTOF法による電荷輸送特性評価及びその分子サイズ依存性

関修平, 川口友世, 岡本一将, 吉田陽一, 田川精一, GROZEMA F C, CANDEIAS L P, WARMAN J M

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 45th　2002年
パルスラジオリシスを用いた液体芳香族中での正電荷のダイナミクスの研究

藤堂統之, 岡本一将, 関修平, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 45th　2002年
パルスラジオリシス法を用いたベンゼンカチオン種の溶質添加系溶液での放射線化学反応の研究

藤堂統之, 岡本一将, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 81st　No. 1　2002年
パルスラジオリシスによるベンゼンカチオン種の近赤外過渡吸収

岡本一将, 藤堂統之, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 81st　No. 1　2002年
パルスラジオリシス法を用いたポリシラン上の電荷挙動

川口友世, 岡本一将, 関修平, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 45th　2002年
ポリメタクリル酸メチル骨格を持つ化学増幅型レジストの電子線リソグラフィへの適用の可能性に関する研究

中野温朗, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 45th　2002年
サブピコ秒パルスラジオリシス法による化学増幅型レジストの放射線誘起反応機構の研究

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 竹谷考司, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 45th　2002年
サブピコ秒パルスラジオリシスシステムの開発と溶媒和電子生成過程の研究

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 沼田佳朗, 岡本一将, かせ田浩司, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 44th　2001年
パルスラジオリシス法によるポリメタクリル酸メチルの放射線分解初期過程の研究

中野温朗, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 44th　2001年
サブ秒パルスラジオリシスシステムのS/N比の改善

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, かせ田浩司, 山本保, 末峰昌二, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会秋の大会予稿集　Vol. 2001　2001年
捕捉剤を添加した系でのジェミネートイオン再結合の挙動

佐伯昭紀, かせ田浩司, 岡本一将, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会秋の大会予稿集　Vol. 2001　2001年
サブピコ秒パルスラジオリシス法を用いたシクロヘキサン溶液中での溶質の中間活性種に関する研究

かせ田浩司, 佐伯昭紀, 岡本一将, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 44th　2001年
液体n-ドデカン中において溶質を添加した系でのジェミネートイオン再結合の挙動サブピコ秒パルスラジオリシスによる測定とシミュレーション

佐伯昭紀, かせ田浩司, 岡本一将, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 44th　2001年
ピコ秒パルスラジオリシス法によるベンゼン中間活性種の研究

岡本一将, 佐伯昭紀, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 79th　No. 1　2001年
Studies on the possibility of highly sensitive PMMA based chemically amplified resists for EB and X-ray lithography

A Nakano, K Okamoto, T Kozawa, S Tagawa

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2001, DIGEST OF PAPERS　p. 236-237　2001年
パルスラジオリシス法を用いた塩素系溶媒中におけるポリスチレンダイマーカチオンラジカルの研究

岡本一将, 三木美弥子, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 78th　No. 1　2000年
サブピコ秒パルスラジオリシス法による液体アルカン中におけるジェミネートイオン再結合の研究

佐伯昭紀, かせ田浩司, 岡本一将, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会春の年会要旨集　Vol. 38th　2000年
アクリル系,メタクリル系高分子(次世代超微細加工用レジスト)の放射線分解機構の研究

梅田智志, 岡本一将, 古沢孝弘, 山本幸男, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 78th　No. 1　2000年
フェムト秒パルスラジオリシスシステムの開発

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 沼田佳朗, 岡本一将, かせ田浩司, 山本保, 末峰昌二, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会春の年会要旨集　Vol. 38th　2000年
高時間分解能パルスラジオリシスシステムの開発 III

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 沼田佳朗, 岡本一将, かせ田浩司, 山本保, 末峰昌二, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 43rd　2000年
ピコ秒パルスラジオリシスを用いたベンゼン誘導体の研究

岡本一将, 佐伯昭紀, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 43rd　2000年
パルスラジオリシスによるポリスチレン,ベンゼン中間活性種の研究

岡本一将, 沼田佳朗, 佐伯昭紀, 古沢孝弘, 三木美弥子, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 42nd　1999年
フェムト秒レーザー同期パルスラジオリシス法による溶媒和電子形成過程の研究

佐伯昭紀, 水谷康弘, 沼田佳朗, 小嶋崇夫, 岡本一将, 三木美弥子, 古沢孝弘, 関修平, 田川精一

日本原子力学会春の年会要旨集　Vol. 37th　1999年
パルスラジオリシス法によるポリスチレンおよびベンゼン中間活性種の研究

岡本一将, 水谷康弘, 三木美弥子, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 76th　No. 1　1999年
レーザーフォトカソードRFガンを用いたピコ秒パルスラジオリシス法の開発

佐伯昭紀, 岡本一将, 古沢孝弘, 田川精一, 酒井文雄, 岡田康弘, 青木康, 遠藤彰, YANG J

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 42nd　1999年
フェムト秒レーザー同期パルスラジオリシス法による液体アルカン中における放射線化学初期過程の研究

佐伯昭紀, 岡本一将, 古沢孝弘, 関修平, 三木美弥子, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会秋の大会予稿集　Vol. 1999　1999年
高時間分解能パルスラジオリシスシステムの開発 (II)

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 沼田佳朗, 岡本一将, 三木美弥子, 山本保, 末峰昌二, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 42nd　1999年
溶媒和電子初期過程のパルスラジオリシスによる研究

沼田佳朗, 佐伯昭紀, 岡本一将, 古沢孝弘, 三木美弥子, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 42nd　1999年
高分子の放射線化学初期過程ポリスチレンの放射線化学反応

岡本一将, 水谷康弘, 佐伯昭紀, 田中知明, 古沢孝弘, 関修平, 三木美弥子, 吉田陽一, 田川精一

大阪大学産業科学研究所附属放射線実験所年報　Vol. 1998　1999年
フェムト秒レーザー同期によるピコ秒パルスラジオリシスの開発と利用

吉田陽一, 水谷康弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 沼田佳朗, 三木美弥子, 泉佳伸, 小嶋崇夫, 丑田公規

大阪大学産業科学研究所附属放射線実験所年報　Vol. 1998　1999年
フェムト秒パルス発生のための基礎研究

古沢孝弘, 水谷康弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 沼田佳朗, 横山和也, 山本保, 三木美弥子, 田川精一

大阪大学産業科学研究所附属放射線実験所年報　Vol. 1998　1999年
フェムト秒パルス発生のための基礎研究

古沢孝弘, 佐伯昭紀, 沼田佳朗, 水谷康弘, 岡本一将, 横山和也, 山本保, 関修平, 田川精一

大阪大学産業科学研究所附属放射線実験所年報　Vol. 1998　1999年
フェムト秒レーザー同期によるピコ秒パルスラジオリシスの開発と利用

吉田陽一, 佐伯昭紀, 岡本一将, 沼田佳朗, 古沢孝弘, 山本保, 三木美弥子, 泉佳伸, 丑田公規

大阪大学産業科学研究所附属放射線実験所年報　Vol. 1998　1999年
溶液系におけるポリスチレンのパルスラジオリシス

岡本一将, 水谷康弘, 古沢孝弘, 三木美弥子, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 41st　1998年
サブピコ秒パルスラジオリシス法の開発

吉田陽一, 古沢孝弘, 水谷康弘, 三木美弥子, 堀勝範, 岡本一将, 関修平, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 74th　No. 1　1998年
フェムト秒レーザー同期パルスラジオリシス法による溶媒和電子の過渡吸収スペクトル

水谷康弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 三木美弥子, 古沢孝弘, 関修平, 吉田陽一, 田川精一

日本原子力学会秋の大会予稿集　Vol. 1998　1998年
高時間分解能パルスラジオリシスシステムの開発

古沢孝弘, 水谷康弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 三木美弥子, 山本保, 末峰昌二, 関修平, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 41st　1998年
ポリスチレンのパルスラジオリシス

岡本一将, 水谷康弘, 三木美弥子, 古沢孝弘, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 74th　No. 1　1998年
サブピコ秒電子線パルスの発生と応用

古沢孝弘, 水谷康弘, 岡本一将, 三木美弥子, 山本保, 末峰昌二, 関修平, 吉田陽一, 田川精一

大阪大学産業科学研究所附属放射線実験所年報　Vol. 1996/1997　1998年
レーザー同期ピコ秒パルスラジオリシス法の開発

水谷康弘, 佐伯昭紀, 岡本一将, 三木美弥子, 関修平, 古沢孝弘, 丑田公規, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 41st　1998年
レーザー同期ピコ秒パルスラジオリシス法によるアルカン中のジェミネートイオンペアの挙動の研究電子捕捉剤効果

三木美弥子, 水谷康弘, 岡本一将, 泉佳伸, 古沢孝弘, 丑田公規, 吉田陽一, 田川精一

日本化学会講演予稿集　Vol. 74th　No. 1　1998年
レーザー同期ピコ秒パルスラジオリシス法によるアルカン中のジェミネートイオンペアの挙動の研究白色光による測定

三木美弥子, 水谷康弘, 岡本一将, 泉佳伸, 古沢孝弘, 丑田公規, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 41st　1998年
レーザー同期ピコ秒パルスラジオリシス法によるアルカン中のジェミネートイオンペアの挙動の研究

三木美弥子, 水谷康弘, 岡本一将, 泉佳伸, 古沢孝弘, 丑田公規, 吉田陽一, 田川精一

放射線化学討論会講演要旨集　Vol. 40th　1997年

特許・実用新案・意匠 6

薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均

特許第5988304号

出願日:2013/03/07

登録日:2016/08/19
カーボンナノウォール配列体およびカーボンナノウォールの製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均

特許第5886547号

出願日:2011/07/05

登録日:2016/02/19
薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均

特許第5856303号

出願日:2012/08/23

登録日:2015/12/18
薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均

WO2014-030239

出願日:2012/08/23
薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均

出願日:2013/03/07
カーボンナノウォール配列体およびカーボンナノウォールの製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均

出願日:2011/07/05

機関リポジトリ 1

大阪大学の学術機関リポジトリ（OUKA）に掲載されているコンテンツ

Dynamics of ionized poly(4-hydroxystyrene)-type resist polymers with tert-butoxycarbonyl-protecting group

Okamoto Kazumasa, Muroya Yusa, Kozawa Takahiro

Scientific Reports　Vol. 14　2024年7月20日