Improved polishing process for silicon wafers in semiconductor manufacturing

Yuta Seguchi, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the 58th CIRP Conference on Manufacturing Systems 2025, 2025／Procedia CIRP　Vol. 134　p. 139-144　2025/05　Research paper (international conference proceedings)

シリコンウェーハの両面研磨加工におけるウェーハエッジ部の平坦性向上

玉木佑機, 瀬口悠太, 佐竹うらら, 榎本俊之

第32回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　2025/03　Research paper (other academic)

シリコンウェーハの研磨加工におけるエッジ部の高平坦化に有効な研磨パッド設計

瀬口悠太, 佐竹うらら, 榎本俊之

2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　2025/03　Research paper (other academic)

Mechanisms of cutting soft tissues using snare-type tools

Jinghang Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Medical Engineering and Physics　Vol. 138　2025/03　Research paper (scientific journal)

ポリシングにおけるエッジ・ロールオフの形成要因と抑制技術

佐竹うらら

月刊トライボロジー　Vol. 447　No. 11　p. 40-45　2024/11

Reduction of sawing forces in bone cutting: Innovative oscillating saw mechanism based on trajectory analysis

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Journal of Materials Processing Technology　Vol. 332　p. 118563-118563　2024/11　Research paper (scientific journal)

骨切断時に発生する切削力に関する検討

西村千尋, 汪涵, 佐竹うらら, 榎本俊之

2024年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2024/09　Research paper (other academic)

生体軟組織の切断における組織損傷の抑制

仙田龍世, 佐竹うらら, 三部竜太郎, 榎本俊之

2024年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2024/09　Research paper (other academic)

シリコンウェーハの両面研磨加工において研磨パッド表面形状がウェーハ平坦性に及ぼす影響

瀬口悠太, 佐竹うらら, 榎本俊之

2024年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2024/09　Research paper (other academic)

外科手術における生体軟組織の切断に関する研究

佐竹うらら, 仙田龍世, 三部竜太郎, 榎本俊之

生体医工学シンポジウム2024講演論文集　2024/09　Research paper (other academic)

Comparative analysis of cutting characteristics of simulated and bovine bone

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the 6th CIRP Conference on Biomanufacturing 2024 (BioM 2024)　2024/06　Research paper (international conference proceedings)

Enhancing cut initiation in biological soft tissue cutting

Urara Satake, Ryutaro Sambe, Ryusei Senda, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the IUTAM Symposium on Mechanics of Soft Materials and Soft Robots　2024/05　Research paper (international conference proceedings)

Changes in edge shape during silicon wafer polishing: Roll-off and roll-up formation

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

CIRP Annals　2024/05　Research paper (scientific journal)

Numerical investigation of elastomeric solid cutting: Enhancing cut initiation for minimally invasive biological tissue cutting

Urara Satake, Ryutaro Sambe, Toshiyuki Enomoto

Journal of Manufacturing Science and Engineering　2024/03/01　Research paper (scientific journal)

Modeling of oscillating bone sawing forces with instantaneous cutting speed and depth of cut

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Journal of Materials Processing Technology　Vol. 324　p. 118225-118225　2024/03　Research paper (scientific journal)

Study on the instantaneous cutting forces in bone oscillating sawing

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

International Journal of Abrasive Technology　Vol. 12　No. 1　p. 15-25　2024/02　Research paper (scientific journal)

Effect of tool sharpness in cutting of rubber-like solids

Ryutaro Sambe, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the 38th Annual Meeting of American Society for Precision Engineering 2023 Annual Meeting　Vol. 81　p. 294-299　2023/11　Research paper (international conference proceedings)

Polishing pad design for uniform removal distributions in double-sided polishing

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

CIRP Annals　Vol. 72　No. 1　p. 289-292　2023/08　Research paper (scientific journal)

Serrated chip formation mechanism in orthogonal cutting of cortical bone at small depths of cut

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Journal of Materials Processing Technology　p. 118097-118097　2023/07　Research paper (scientific journal)

Kinematic analysis of double-sided polishing of silicon wafers for improving surface flatness

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Procedia CIRP　Vol. 117　p. 56-61　2023/06　Research paper (international conference proceedings)

シリコンウェーハの両面研磨加工におけるウェーハフラットネスの向上

三部竜太郎, 佐竹うらら, 榎本俊之

2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　p. 154-155　2023/03　Research paper (other academic)

Bone grinding using coarse-grained diamond wheels to suppress thermal damage

Vol. 78　p. 163-170　2022/11　Research paper (scientific journal)

両面研磨加工におけるシリコンウェーハの高平坦化

伊藤翔也, 佐竹うらら, 榎本俊之

日本機械学会第14回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集　p. 170-172　2022/10　Research paper (other academic)

シリコンウェーハの両面研磨加工におけるウェーハ平坦性向上

伊藤翔也, 佐竹うらら, 榎本俊之

2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　p. 394-395　2022/09　Research paper (other academic)

Nonuniformity of material removal in a double-sided polishing process: Formation of convex curves

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Precision Engineering　Vol. 77　p. 281-292　2022/09　Research paper (scientific journal)

エッジ・ロールオフを抑制する研磨パッド特性

佐竹うらら, 榎本俊之

2022年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　p. 37-38　2022/08　Research paper (other academic)

生産加工・工作機械部門「研削・研磨加工」

佐竹うらら

日本機械学会 機械工学年鑑2022　2022　Research paper (other academic)

Influence of blade edge shape on cutting force in surgical oscillating saw blade

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the 19th International Conference on Precision Engineering 2022　2022　Research paper (international conference proceedings)

Improvement of edge surface flatness of silicon wafer during polishing

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the 19th International Conference on Precision Engineering 2022　2022　Research paper (international conference proceedings)

Study on the instantaneous cutting forces in bone oscillating sawing

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the 24th International Symposium on Advances in Abrasive Technology　p. 496-502　2022　Research paper (international conference proceedings)

切断時の血管損傷を抑制する医療用剪刀の開発

三部竜太郎, 佐竹うらら, 榎本俊之

第29回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　2022　Research paper (other academic)

Stabilization of Material Removal Rate in Small Tool Polishing of Glass Lenses

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Proceedings of the 2022 International Symposium on Flexible Automation (ISFA2022)　2022　Research paper (international conference proceedings)

Surgical oscillating saw blade to suppress forces in bone cutting

Han Wang, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

CIRP Annals　Vol. 71　No. 1　p. 73-76　2022　Research paper (scientific journal)

A study on a cooling method for bone grinding using diamond bur for minimally invasive surgeries

Takeru Mizutani, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Precision Engineering　Vol. 70　p. 155-163　2021/07　Research paper (scientific journal)

骨切除時の熱侵襲を抑制する冷却方法の検討

水谷建, 佐竹うらら, 榎本俊之

2021年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　2021　Research paper (other academic)

研磨パッドの粘弾性特性がエッジ・ロールオフに及ぼす影響

佐竹うらら, 榎本俊之

2021年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　2021　Research paper (other academic)

Effects of Viscoelastic Behavior of Polishing Pad on Edge Roll-off during Silicon Wafer Polishing

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO

Proceedings of the JSME 2021 Conference on Leading Edge Manufacturing (LEM2021)　2021　Research paper (international conference proceedings)

Cutting performance by surgical scissors of tubular soft tissues such as blood vessels

Toshiyuki Enomoto, Xin Mao, Urara Satake

CIRP Annals　Vol. 70　No. 1　p. 69-72　2021　Research paper (scientific journal)

Improvement of Edge Surface Flatness in Polishing of Silicon Wafers

Senju MATSUI, Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO

Proceedings of the 18th International Conference on Precision Engineering　2020/11　Research paper (international conference proceedings)

Polishing pad for reducing edge roll-off while maintaining good global flatness of silicon wafer

Urara Satake, Senju Matsui, Toshiyuki Enomoto

Precision Engineering　Vol. 66　p. 577-592　2020/11　Research paper (scientific journal)

シリコンウェーハの両面ポリシング加工におけるウェーハの高平坦化

佐竹うらら

機械の研究　Vol. 72　No. 11　p. 843-850　2020/10　Research paper (other academic)

骨切除時の熱侵襲を抑制する冷却方法の検討

水谷建, 佐竹うらら, 榎本俊之

2020年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　2020/09　Research paper (other academic)

シリコンウェーハの研磨加工におけるエッジ平坦性の向上

松井千寿, 佐竹うらら, 榎本俊之

2020年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　2020/09　Research paper (other academic)

ウルトラファインバブルを用いた超仕上げ用水溶性油剤

Mao Xin, 佐竹うらら, 榎本俊之

2020年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　2020/09　Research paper (other academic)

Achieving Highly Stable Removal Rate in Small Tool Polishing of Glass Lenses

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Teppei MIYAGAWA, Takuya OHSUMI

Proceedings of the JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing (LEMP2020)　2020/08　Research paper (international conference proceedings)

熱侵襲を抑制する骨切除用ダイヤモンドバー

佐竹うらら, 榎本俊之

砥粒加工学会誌　Vol. 64　No. 4　p. 185-188　2020/04　Research paper (other academic)

Viscoelastic Behavior of Polishing Pad: Effects on Edge Roll-off during Silicon Wafer Polishing

Urara SATAKE, Sena HARADA, Toshiyuki ENOMOTO

Precision Engineering (Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology)　Vol. 62　p. 30-39　2020/03　Research paper (scientific journal)

New water-based fluids as alternatives to oil-based fluids in superfinishing processes

Toshiyuki Enomoto, Urara Satake, Xin Mao

CIRP Annals　Vol. 69　No. 1　p. 297-300　2020　Research paper (scientific journal)

Double-sided Polishing Conditions to Suppress Edge Roll-off of Silicon Wafer

Sena HARADA, Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO

Proceedings of 34th Annual Meeting of American Society for Precision Engineering，2019 ANNUAL MEETING　Vol. 71　p. 274-278　2019/11　Research paper (international conference proceedings)

ガラスレンズのスモールツール研磨加工における除去能率の安定性向上

佐竹うらら, 榎本俊之, 宮川鉄平, 大住拓也, 中川英則, 舟橋克紘

2019年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　2019/10　Research paper (other academic)

スモールツール研磨加工における除去能率の安定性向上

佐竹うらら, 榎本俊之, 宮川鉄平, 大住拓也, 中川英則, 舟橋克紘

2019年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　2019/10　Research paper (other academic)

Stabilization of removal rate in small tool polishing of glass lenses(2)

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Teppei MIYAGAWA, Takuya OHSUMI, Hidenori NAKAGAWA, Katsuhiro FUNABASHI

Procedia CIRP　Vol. 81　p. 210-215　2019/03　Research paper (international conference proceedings)

両面研磨加工におけるシリコンウェーハの高平坦化

池田亘亮, 佐竹うらら, 原田勢那, 榎本俊之

第26回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　2019/03　Research paper (other academic)

研磨パッドの粘弾性特性に着目したエッジ・ロールオフの抑制

原田勢那, 佐竹うらら, 榎本俊之, 尾林勇眞

2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　p. 121-122　2019/03　Research paper (other academic)

シリコンウェーハの両面研磨加工における平坦性の向上

王磊, 佐竹うらら, 福井克成, 榎本俊之

2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　p. 125-126　2019/03　Research paper (other academic)

Stabilization of Removal Rate in Small Tool Polishing of Glass Lenses

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Teppei MIYAGAWA, Takuya OHSUMI, Hidenori NAKAGAWA, Katsuhiro FUNABASHI

International Journal of Automation Technology　Vol. 13　No. 2　p. 221-229　2019/03　Research paper (scientific journal)

エッジ・ロールオフ抑制に有効な研磨パッドの選定方法

佐竹うらら, 榎本俊之, 小川貴大

2018年度日本機械学会年次大会講演論文集　2018/09　Research paper (other academic)

骨切除時の熱侵襲を抑制する医療用研削工具（工具の表面処理）

水谷建, 佐竹うらら, 榎本俊之

2018年度日本機械学会年次大会講演論文集　2018/09　Research paper (other academic)

Surgical diamond wheels for minimally invasive surgery in bone resection under saline supply

Takeru MIZUTANI, Toshiyuki ENOMOTO, Urara SATAKE

Procedia CIRP　Vol. 77　p. 243-246　2018/09　Research paper (international conference proceedings)

Achieving Stable Removal Rate in Polishing with Small Tools

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Teppei MIYAGAWA, Takuya OHSUMI, Hidenori NAKAGAWA, Katsuhiro FUNABASHI

Precision Engineering (Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology)　Vol. 55　p. 248-253　2018/09　Research paper (scientific journal)

Surgical Diamond Wheels for Minimally Invasive Surgery in Bone Resection under Small Quantity of Coolant Supply

Takeru MIZUTANI, Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO

Precision Engineering (Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology)　Vol. 56　p. 80-86　2018/09　Research paper (scientific journal)

生理食塩水供給下における骨切除時の熱侵襲を抑制する医療用研削工具

水谷 健, 榎本俊之, 佐竹うらら

2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　p. 753-754　2018/03　Research paper (other academic)

両面研磨加工におけるウェーハ厚さむら抑制のための加工条件最適化

福井克成, 廣瀬研二, 佐竹うらら, 榎本俊之, 杉原達哉

精密工学会誌　Vol. 84　No. 3　p. 277-283　2018/03　Research paper (scientific journal)

Surgical grinding tool for minimally thermal invasive surgery during bone resection (Saline as irrigation)

MIZUTANI Takeru, ENOMOTO Toshiyuki, KOZONO Fumiya, SATAKE Urara, SUGIHARA Tatsuya

Transactions of the JSME (in Japanese)　Vol. 84　No. 858　p. 17-00356-17-00356　2018/01　Research paper (scientific journal)

研磨加工におけるエッジ・ロールオフの抑制 ―研磨パッドの機械的特性と研磨加工条件に関する検討―

尾林勇眞, 佐竹うらら, 榎本俊之

2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　p. 243-244　2017/09　Research paper (other academic)

両面研磨加工におけるウェーハ厚さむら抑制のための加工条件最適化

福井克成, 廣瀬研二, 佐竹うらら, 榎本俊之

2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　p. 239-240　2017/09　Research paper (other academic)

Reducing Edge Roll-Off During Polishing of Substrates

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Yuma OBAYASHI, Tatsuya SUGIHARA

Precision Engineering (Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology)　Vol. 51　p. 97-102　2017/04　Research paper (scientific journal)

エッジ・ロールオフを抑制する研磨パッドの開発に関する研究

名部洲甫, 佐竹うらら, 尾林勇眞, 榎本俊之

第24回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　2017/03　Research paper (other academic)

シリコンウェーハ研磨加工におけるエッジ・ロールオフの抑制

尾林勇眞, 佐竹うらら, 榎本俊之

第23回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　2016/03　Research paper (other academic)

New evaluation method of polishing pad property for estimating edge roll-off of silicon wafer

Yuma Obayashi, Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

Materials Science Forum　Vol. 874　p. 34-39　2016　Research paper (international conference proceedings)

Optimization method for double-sided polishing process based on kinematical analysis

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto, Keitaro Fujii, Kenji Hirose

RESEARCH AND INNOVATION IN MANUFACTURING: KEY ENABLING TECHNOLOGIES FOR THE FACTORIES OF THE FUTURE - PROCEEDINGS OF THE 48TH CIRP CONFERENCE ON MANUFACTURING SYSTEMS　Vol. 41　p. 870-874　2016/01　Research paper (international conference proceedings)

Analytical Study on Double-Sided Polishing Process of 450 mm Silicon Wafers for Improving Global Flatness

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Kenji HIROSE, Keitaro FUJII

Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century　Vol. 2015　No. 8　p. No.1008-1"-"1008-4"　2015/10　Research paper (international conference proceedings)

シリコンウェーハ研磨加工における高平坦エッジの実現

佐竹うらら, 榎本俊之

日本械学会2015年度年次大会講演論文集　2015/09　Research paper (other academic)

エッジ・ロールオフ抑制を実現する研磨パッド

佐竹うらら, 松田浩輔, 榎本俊之

2015年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　Vol. 2015　p. 1019-1020　2015/03　Research paper (other academic)

シリコンウェーハ研磨加工におけるグローバルフラットネスとエッジサイトフラットネス

佐竹うらら, 榎本俊之, 廣瀬研二, 藤井慶太郎

日本機械学会 第10回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集　p. 181-182　2014/11　Research paper (other academic)

研磨パッドの変形特性がエッジ・ロールオフに及ぼす影響 除去量が少ない場合に有効な研磨パッド変形特性

佐竹うらら, 榎本俊之

2014年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　p. 601-602　2014/09　Research paper (other academic)

エッジ・ロールオフ抑制に有効な研磨パッドの選定 研磨パッド変形特性の評価方法

佐竹うらら, 榎本俊之

2014年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　p. 7-10　2014/09　Research paper (other academic)

シリコンウェーハ研磨加工におけるウェーハエッジ部の表面形状創成過程－研磨パッド変形量がエッジ・ロールオフ生成に及ぼす影響－

佐竹うらら, 榎本俊之

精密工学会誌　Vol. 80　No. 8　p. 777-782　2014/08　Research paper (scientific journal)

A new surgical grinding wheel for suppressing grinding heat generation in bone resection

Toshiyuki Enomoto, Hironori Shigeta, Tatsuya Sugihara, Urara Satake

CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 63　No. 1　p. 305-308　2014/08　Research paper (scientific journal)

Evaluation of polishing pad property by rubber hardness test - Estimating edge surface flatness of workpiece

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto

6TH CIRP INTERNATIONAL CONFERENCE ON HIGH PERFORMANCE CUTTING (HPC2014)　Vol. 14　p. 329-332　2014/06　Research paper (international conference proceedings)

ドレッサの偏摩耗抑制を考慮した研磨パッドの平坦化ドレス

松本拓, 藤井慶太郎, 佐竹うらら, 榎本俊之

第21回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　p. 1-2　2014/03　Research paper (other academic)

大口径シリコンウェーハの高平坦両面研磨加工に関する研究－駆動モータ負荷を考慮した加工条件の最適化－

藤井慶太郎, 佐竹うらら, 榎本俊之

2013年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　p. 233-234　2013/09　Research paper (other academic)

Polishing Pad Properties for Achieving High Edge Surface Flatness

Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Kenji HIROSE

Proceedings of the 13th euspen International Conference　Vol. 2　p. 257-260　2013/05　Research paper (international conference proceedings)

スエード研磨パッドを用いたシリコンウェーハ・エッジ部の高平坦仕上げ

松田浩輔, 佐竹うらら, 榎本俊之

第20回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　p. 127-128　2013/03　Research paper (other academic)

高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発

川北拓人, 佐竹うらら, 榎本俊之

第20回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　p. 125-126　2013/03　Research paper (other academic)

大口径シリコンウェーハの高平坦両面研磨加工に関する研究－駆動モータ負荷を考慮した加工条件の最適化－

藤井慶太郎, 佐竹うらら, 榎本俊之

第20回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　p. 123-134　2013/03　Research paper (other academic)

Spiral-structured fixed-abrasive pads for glass finishing

Toshiyuki Enomoto, Urara Satake, Tsutomu Fujita, Tatsuya Sugihara

CIRP Annals - Manufacturing Technology　Vol. 62　No. 1　p. 311-314　2013　Research paper (scientific journal)

高平坦エッジ形状を実現する研磨パッド特性（加工前エッジ形状がエッジ形状創成過程に及ぼす影響）

佐竹うらら, 榎本俊之

日本機械学会論文集（C編）　Vol. 78　No. 796　p. 3984-3994　2012/12　Research paper (scientific journal)

Improving Anti-Adhesion in Cutting of Aluminum Alloy by Micro Stripe Texture - Considering Texture Combination

Tatsuya Sugihara, Toshiyuki Enomoto, Satoshi Yukinaga, Kenji Hirose, Urara Satake

EMERGING TECHNOLOGY IN PRECISION ENGINEERING XIV　Vol. 523-524　No. 524　p. 1092-1097　2012/11　Research paper (international conference proceedings)

高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発（二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上）

佐竹うらら, 榎本俊之, 廣瀬研二

2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集　p. 61-62　2012/09　Research paper (other academic)

Highly wear-resistant cutting tools with textured surfaces in steel cutting

Toshiyuki Enomoto, Tatsuya Sugihara, Satoshi Yukinaga, Kenji Hirose, Urara Satake

CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 61　No. 1　p. 571-574　2012/08　Research paper (scientific journal)

Improvement of edge surface flatness by a new stacked polishing pad

Urara Satake, Toshiyuki Enomoto, Kousuke Matsuda

FIFTH CIRP CONFERENCE ON HIGH PERFORMANCE CUTTING 2012　Vol. 1　p. 675-676　2012/06　Research paper (international conference proceedings)

Improvement of Finishing Efficiency Considering Contact Behavior of Polishing Pad with Workpiece Surface

Naito Tatsuya, Sato Motoki, Satake Urara, Sugihara Tatsuya, Enomoto Toshiyuki

Proceedings of JSPE Semestrial Meeting　Vol. 2012　No. 0　p. 311-312　2012/03　Research paper (other academic)

高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発（二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上）

佐竹うらら, 榎本俊之, 三宅貴大, 田畑 憲一

日本機械学会論文集（C編）　Vol. 78　No. 786　p. 669-676　2012/02　Research paper (scientific journal)

Improving Anti-Adhesion in Cutting of Aluminum Alloy by Micro Stripe Texture - Considering Texture Combination

Tatsuya Sugihara, Toshiyuki Enomoto, Satoshi Yukinaga, Kenji Hirose, Urara Satake

EMERGING TECHNOLOGY IN PRECISION ENGINEERING XIV　Vol. 523-524　p. 1092-1097　2012　Research paper (international conference proceedings)

Improvement of Finishing Efficiency Considering Contact Behavior of Polishing Pad with Workpiece Surface

Tatusya NAITO, Motoki SATO, Urara SATAKE, Kenji HIROSE, Toshiyuki ENOMOTO

Proceedings of 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering　Vol. 2012　No. 0　p. No.3319-312　2011/11　Research paper (international conference proceedings)

研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究

内藤達也, 佐藤基起, 佐竹うらら, 廣瀬研二, 榎本俊之

日本機械学会論文集（C編）　Vol. 77　No. 783　p. 4308-4317　2011/11　Research paper (scientific journal)

構造解析を用いた高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発

佐竹うらら, 榎本俊之, 田畑憲一

2011年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集　p. 25-28　2011/09　Research paper (other academic)

Investigation of a Polishing Pad and a Carrier Film for Decreasing Edge Roll Off of Workpiece

Urara Satake, Wenxiao Wang, Toshiyuki Enomoto, Norikazu Tabata

ADVANCES IN ABRASIVE TECHNOLOGY XIV　Vol. 325　p. 476-481　2011/09　Research paper (scientific journal)

A newly developed polishing pad for achieving high surface flatness without edge roll off

T. Enomoto, U. Satake, T. Miyake, N. Tabata, T. Matsuo

CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY　Vol. 60　No. 1　p. 371-374　2011/08　Research paper (scientific journal)

構造解析を用いた高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発

佐竹うらら, 榎本俊之

第18回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会論文集　p. 107-108　2011/03　Research paper (other academic)